KR100707390B1 - Apparatus for carring glass - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 이송장치에 관한 것으로서, 본 발명에 의한 기판이송장치는 기판을 고정하는 캐리어; 상기 캐리어를 자기부상한 상태에서 수평이송하는 하부 이송부; 및 상기 캐리어의 상부를 비접촉 상태로 유지시키는 상부 이송부;를 포함하여 이루어지며, 특히 상기 캐리어의 하부에는 영구자석이 구비되고, 상기 하부 이송부에는 상기 영구자석과 동일 또는 반대극성을 띄도록 제어되는 전자석이 구비되는 것이 바람직하다. The present invention relates to a substrate transfer apparatus, comprising a carrier for fixing a substrate; A lower conveying part configured to horizontally convey the carrier in a state of magnetic injuries; And an upper transfer part that maintains an upper portion of the carrier in a non-contact state. In particular, a lower portion of the carrier is provided with a permanent magnet, and the lower transfer part is controlled to have the same or opposite polarity as the permanent magnet. It is preferable that this is provided.

본 발명에 따르면, 기판을 수직상태로 고정한 캐리어의 하부를 자기부상한 후 수평이송할 수 있으며, 따라서 기판 이송시 비접촉식으로 인해 마찰력을 최소화하기 때문에 파티클에 의한 악영향을 원천적으로 차단할 수 있는 효과가 있다. According to the present invention, the lower portion of the carrier holding the substrate in the vertical state can be horizontally transported after the magnetic levitation, and therefore, since the frictional force is minimized due to the non-contact type during the substrate transfer, there is an effect of blocking the adverse effects caused by the particles. .

기판. 캐리어. 상부 이송부. 하부 이송부. 영구자석. 전자석. 자기부상. Board. carrier. Upper feed section. Lower feed section. Permanent magnet. Electromagnet. Magnetic levitation.

Description

기판 이송장치{Apparatus for carring glass}Substrate Feeder {Apparatus for carring glass}

도 1은 종래의 기판 이송장치를 나타내는 단면도이다. 1 is a cross-sectional view showing a conventional substrate transfer apparatus.

도 2 및 도 3은 도 1에 도시된 기판 이송장치의 요부 확대도이다. 2 and 3 are enlarged views of main parts of the substrate transfer apparatus shown in FIG. 1.

도 4는 본 발명에 의한 기판 이송장치를 나타내는 단면도이다. 4 is a cross-sectional view showing a substrate transfer apparatus according to the present invention.

도 5는 본 발명에 의한 기판 이송장치의 요부 확대도이다. 5 is an enlarged view illustrating main parts of the substrate transfer apparatus according to the present invention.

도 6은 본 발명에 의한 기판 이송장치의 작동상태도이다. 6 is an operational state diagram of the substrate transfer apparatus according to the present invention.

도 7은 본 발명에 의한 다른 실시예를 나타낸 것이다. Figure 7 shows another embodiment according to the present invention.

**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**** Description of the symbols for the main parts of the drawings **

1: 공정챔버 10: 상부 이송부1: process chamber 10: upper transfer part

11: 캐리어 가이드 20: 하부 이송부 11: carrier guide 20: lower feeder

30: 캐리어 31: 상부 캐리어바 30: carrier 31: upper carrier bar

32: 하부 캐리어바 33: 탑재부 32: lower carrier bar 33: mounting portion

PM: 영구자석 EM: 전자석 PM: permanent magnet EM: electromagnet

P: 전원공급부P: power supply

본 발명은 기판 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판을 수직상태로 고정한 캐리어의 하부를 자기부상한 후 수평이송할 수 있는 기판 이송장치에 관한 것이다. The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly, to a substrate transfer apparatus capable of horizontal transfer after magnetic levitation of the lower portion of the carrier holding the substrate in a vertical state.

반도체나 LCD, PDP 등의 평판 디스플레이 패널을 제조하기 위하여는 매우 복잡한 공정을 거치게 된다. 따라서 각 공정을 수행하기 위하여 웨이퍼 또는 유리 기판을 로딩 또는 언로딩하여야 하는데, 이러한 기판의 로딩 또는 언로딩을 위하여 수직으로 이동하는 캐리어에 의해서 각 공정챔버로 이송되는 방법이 사용되고 있다. In order to manufacture flat panel displays such as semiconductors, LCDs, and PDPs, a very complicated process is required. Therefore, in order to perform each process, a wafer or a glass substrate must be loaded or unloaded. A method of transferring the substrate to the process chamber by a carrier moving vertically for loading or unloading the substrate is used.

도 1 내지 도 3을 참조하여 종래의 기판 이송장치의 구성을 설명한다. 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 캐리어(131)는 기판을 장착하는 탑재부(133)와 상부 이송경로의 캐리어 가이드(111) 내부에 위치하는 상부 캐리어바(131)와, 롤러(121)와 접촉하여 롤러(121)의 구동에 의해 수평이송을 위한 구동력을 제공받는 하부 캐리어바(132)로 구성된다. 위와 같이 구성된 캐리어(130)는 상부 이송부(110) 및 하부 이송부(120)로 이루어진 기판 이송장치에 의해 공정챔버(100)내에서 또는 각 챔버와 챔버들 사이에서 수평이송된다. A configuration of a conventional substrate transfer apparatus will be described with reference to FIGS. 1 to 3. As shown in FIG. 1, the carrier 131 is in contact with a mounting portion 133 on which a substrate is mounted, an upper carrier bar 131 located inside the carrier guide 111 of the upper transfer path, and a roller 121. The lower carrier bar 132 is provided with a driving force for the horizontal transfer by the drive of the roller 121. The carrier 130 configured as described above is horizontally transported in the process chamber 100 or between the chambers and the chambers by the substrate transfer device including the upper transfer unit 110 and the lower transfer unit 120.

도 2는 도 1에 도시된 기판 이송장치의 상부 이송부(110)를 나타낸 것이다. 구체적으로 설명하면 양측면에 제 1 및 제 2 자석(112,113)이 구비된 캐리어 가이드(111)가 설치되어 있으며, 상기 제 1 자석 및 제 2 자석(112,113)은 캐리어 가이드(111)의 내측면에 마주보도록 배치되어 있다. 그리고 제 1 자석 및 제 2 자석 (112,113) 사이에는 상부 캐리어바(131)가 설치되어 있으며, 상기 제 1 자석 및 제 2 자석(112,113)에 대향하는 상부 캐리어바(131)의 측면에는 제 1 자석 및 제 2 자석(112,113)과 동일극이 대향하는 제 3 자석(114)이 배치되어 있다. 위와 같은 구성으로 인해 캐리어 가이드(111)의 제 1 자석 및 제 2 자석(112,113)과 그 사이에 배치된 제 3 자석(114)들 사이에 척력이 작용하여 상부 캐리어바(131)는 캐리어 가이드(111)의 중심에 위치하게 되어 비접촉상태가 된다.2 illustrates the upper transfer unit 110 of the substrate transfer apparatus illustrated in FIG. 1. Specifically, carrier guides 111 having first and second magnets 112 and 113 are provided on both side surfaces, and the first and second magnets 112 and 113 face inner surfaces of the carrier guide 111. It is arranged to see. An upper carrier bar 131 is disposed between the first magnet and the second magnets 112 and 113, and a first magnet is provided on a side surface of the upper carrier bar 131 opposite to the first and second magnets 112 and 113. And a third magnet 114 facing the same pole as the second magnets 112 and 113. Due to the above configuration, a repulsive force is applied between the first and second magnets 112 and 113 of the carrier guide 111 and the third magnets 114 disposed therebetween, so that the upper carrier bar 131 is formed by the carrier guide ( 111) is placed in the center of the non-contact state.

도 3을 참조하면, 하부 이송부(120)는 구동부(122)에 의해 회전하는 롤러(121)가 구비되어 있으며, 상기 롤러(121)에는 하부 캐리어바(132)가 정합하도록 오목한 형태의 홈이 형성되어 있다. 따라서, 하부 캐리어바(132)는 회전하는 롤러(121)의 오목홈에 접촉하며, 수평이동을 하게 된다. Referring to FIG. 3, the lower conveying unit 120 is provided with a roller 121 that is rotated by the driving unit 122, and the roller 121 has a concave groove formed to match the lower carrier bar 132. It is. Accordingly, the lower carrier bar 132 contacts the concave groove of the rotating roller 121 and moves horizontally.

상기와 같이 구성된 종래 기판 이송장치는 하부 이송부(120)에서 캐리어(130)가 수평방향으로 이송하기 위한 구동력을 제공하게 된다. 즉, 회전하는 롤러(121)에 의해 캐리어(130)는 이송 구동력을 제공받게 된다. 상부 이송부(110)에서는 상부 캐리어바(131)의 양측에서 작용하는 척력에 의해 캐리어 가이드(111)의 중심을 지나게 되며, 이 때, 캐리어 가이드(111)와 상부 캐리어바(131)는 비접촉한 상태에서 캐리어(130)가 이동하게 된다. The conventional substrate transfer apparatus configured as described above provides a driving force for transferring the carrier 130 in the horizontal direction in the lower transfer unit 120. That is, the carrier 130 is provided with a conveying driving force by the rotating roller 121. In the upper conveying unit 110 passes through the center of the carrier guide 111 by the repulsive force acting on both sides of the upper carrier bar 131, the carrier guide 111 and the upper carrier bar 131 is in a non-contact state In the carrier 130 is moved.

상기와 같이 구성된 종래 기판 이송장치는 하부 이송부(120)의 롤러(121)에 정합하는 하부 캐리어바(132)가 롤러(121)로부터 이탈되는 현상이 종종 발생하게 되는데, 이러한 이탈현상이 발생하면 불량이 증가하고 생산성이 떨어지는 문제가 있다. In the conventional substrate transfer apparatus configured as described above, a phenomenon in which the lower carrier bar 132 matching with the roller 121 of the lower transfer part 120 is separated from the roller 121 often occurs, and when such a separation phenomenon occurs, a defect occurs. There is a problem of increasing productivity and falling.

특히, 회전하는 롤러(121)에 접촉한 상태에서 이송되기 때문에 마찰력이 크고, 파티클에 의한 악영향도 있다. In particular, since it is conveyed in contact with the rotating roller 121, frictional force is large, and there is also a bad influence by a particle.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 기판을 수직상태로 고정한 캐리어의 하부를 자기부상한 후 수평이송할 수 있는 비접촉식 기판 이송장치를 제공함에 있다. The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a non-contact substrate transfer apparatus capable of horizontal transfer after the magnetic levitation of the lower portion of the carrier fixing the substrate in a vertical state.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 기판이송장치는 기판을 고정하는 캐리어; 상기 캐리어를 자기부상한 상태에서 수평이송하는 하부 이송부; 및 상기 캐리어의 상부를 비접촉 상태로 유지시키는 상부 이송부;를 포함하여 이루어진다. In order to achieve the above object, a substrate transfer apparatus according to the present invention includes a carrier for fixing a substrate; A lower conveying part configured to horizontally convey the carrier in a state of magnetic injuries; And an upper transfer part that maintains an upper portion of the carrier in a non-contact state.

특히 상기 캐리어의 하부에는 영구자석이 구비되고, 상기 하부 이송부에는 상기 영구자석과 동일 또는 반대극성을 띄도록 제어되는 전자석이 구비되는 것이 바람직하다. In particular, the lower portion of the carrier is provided with a permanent magnet, the lower transfer portion is preferably provided with an electromagnet that is controlled to have the same or opposite polarity as the permanent magnet.

또한 상기 전자석은 다수개로 구성되며, 상기 다수개의 전자석은 각각 별도의 전원공급부가 구비되는 것이 더욱 바람직하다. In addition, the electromagnet is composed of a plurality, it is more preferable that each of the plurality of electromagnet is provided with a separate power supply.

본 발명에 의한 기판 이송장치의 캐리어는 기판을 수평지게 고정할 수도 있으나 수직상태로 고정하는 것이 바람직하다. The carrier of the substrate transfer apparatus according to the present invention may fix the substrate horizontally but is preferably fixed in a vertical state.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성 및 작용을 구체적으로 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail the configuration and operation of the present invention.

도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명에 의한 기판 이송장치는 캐리어(30)와, 하부 이송부(20)와, 상부 이송부(10)를 포함하여 이루어진다. 4 and 5, the substrate transfer apparatus according to the present invention includes a carrier 30, a lower transfer portion 20, and an upper transfer portion 10.

상기 캐리어(30)는 기판을 수직상태로 장착하는 탑재부(33)와, 상기 탑재부(33)의 상하측에 구비된 상부 캐리어바(31) 및 하부 캐리어바(32)가 형성되어 있다. The carrier 30 includes a mounting part 33 for mounting a substrate in a vertical state, and an upper carrier bar 31 and a lower carrier bar 32 provided above and below the mounting part 33.

특히, 상기 하부 캐리어바(32)의 하단에는 영구자석(PM)이 구비되어 있다. In particular, the lower end of the lower carrier bar 32 is provided with a permanent magnet (PM).

본 실시예에서 상부 이송부(10)는 도 1 및 도 2에 도시된 종래의 상부 이송부(110)와 그 구성 및 작용이 동일하다. 즉, 양측면에 제 1 및 제 2 자석이 구비된 캐리어 가이드(11)가 설치되어 있으며, 상기 제 1 자석 및 제 2 자석은 캐리어 가이드(11)의 내측면에 마주보도록 배치되어 있다. 그리고 제 1 자석 및 제 2 자석 사이에는 상부 캐리어바(31)가 설치되어 있으며, 상기 제 1 자석 및 제 2 자석에 대향하는 상부 캐리어바(31)의 측면에는 제 1 자석 및 제 2 자석과 동일극이 대향하는 제 3 자석이 배치되어 있다In the present embodiment, the upper transfer unit 10 has the same configuration and operation as the conventional upper transfer unit 110 shown in FIGS. 1 and 2. That is, the carrier guide 11 with the first and second magnets are provided on both side surfaces, and the first magnet and the second magnet are disposed to face the inner surface of the carrier guide 11. An upper carrier bar 31 is disposed between the first magnet and the second magnet, and the same side of the upper carrier bar 31 as the first magnet and the second magnet is opposite to the first magnet and the second magnet. The 3rd magnet which the pole opposes is arrange | positioned.

상기 하부 이송부(20)는 상기 영구자석(PM)의 하방에 위치하는 다수개의 전자석(EM) 및 상기 전자석(EM)에 특정 극성의 자력을 제공하는 전원공급부(P)가 연결되어 있다. The lower transfer part 20 is connected to a plurality of electromagnets (EM) positioned below the permanent magnet (PM) and a power supply unit (P) for providing a magnetic force of a specific polarity to the electromagnet (EM).

도 6을 참조하면, 하부 캐리어바(32)의 하단에 'N'극을 가지는 영구자석(PM) 이 구비되어 있고, 그 하방에는 다수개의 전자석(EM1~EM9) 및 각 전자석(EM1~EM9)에 연결되는 전원공급부(P1~P9)가 구비되어 있음을 알 수 있다. Referring to FIG. 6, a permanent magnet (PM) having an 'N' pole is provided at a lower end of the lower carrier bar 32, and a plurality of electromagnets EM 1 to EM 9 and respective electromagnets EM 1 are provided below. It can be seen that the power supply units P 1 to P 9 connected to the EM 9 are provided.

이를 참조하여, 본 발명에 의한 작용을 설명하면, 상기 영구자석(PM)에 근접하는 EM1~EM3 전자석에는 상기 영구자석(PM)과 같은 극성인 'N'극을 띄도록 P1~P3전원공급부를 제어하고, 상기 EM3 전자석의 우측에 위치한 EM4~EM6 전자석은 'S'극을 띄도록 P4~P6을 제어한다. 이와 같이 상기 전자석들의 극성을 제어하면, 상기 기판을 고정한 캐리어는 그 하단에 구비된 'N'극의 영구자석과 'N'극의 EM1~EM3 전자석의 사이의 척력에 의하여 자기부상하게 되며, 이와 동시에 'S'극의 EM4~EM6 전자석과는 인력이 작용하게 된다. 따라서 결과적으로 상기 기판이 고정된 캐리어는 자기부상에 의한 비접촉 상태에서 EM4~EM6 가 위치하는 우측으로 수평이송하게 된다. Referring to this, when explaining the operation according to the present invention, EM 1 ~ EM 3 electromagnet close to the permanent magnet (PM) P 1 ~ P so as to have a 'N' pole of the same polarity as the permanent magnet (PM) 3 to control the power supply, the EM 4 ~ EM 6 electromagnet located on the right side of the EM 3 electromagnet controls the P 4 ~ P 6 to have a 'S' pole. As such, when the polarities of the electromagnets are controlled, the carrier fixing the substrate is magnetically injured by the repulsive force between the permanent magnet of the 'N' pole and the EM 1 ~ EM 3 electromagnet of the 'N' pole provided at the bottom thereof. At the same time, the attraction force works with the EM 4 ~ EM 6 electromagnets of the 'S' pole. As a result, the carrier on which the substrate is fixed moves horizontally to the right where EM 4 to EM 6 are positioned in a non-contact state by magnetic levitation.

위와 같은 방법으로 상기 캐리어가 EM1~EM3 전자석의 상부에서 EM4~EM6 전자석의 상부로 수평이송하면, 'S'극인 상기 EM4~EM6 전자석은 'N'극이 되도록 제어하고, 그 우측에 위치하는 EM7~EM9 전자석은 'S'극이 되도록 제어함으로써 상기 캐리어를 계속하여 우측방향으로 수평이송시킬 수 있는 것이다. 이 때, 상기 EM1~EM3 전자석에는 극성을 갖지 않도록 전원을 차단하거나 또는 'N'극을 갖도록 제어하는 것이 바람직하다. When the carrier is horizontally transferred in the upper part of the 1 ~ EM 3 electromagnet EM to the upper portion of the EM 4 ~ EM 6 electromagnets in the same manner as above, 'S' poles the EM 4 ~ EM 6 electromagnets are controlled so that the 'N' pole, The EM 7 to EM 9 electromagnets located on the right side can be continuously transported in the right direction by controlling the 'S' pole. At this time, the EM 1 ~ EM 3 electromagnet is preferably controlled so as to cut off the power or have an 'N' pole so as not to have a polarity.

도 7은 본 발명에 의한 다른 실시예로서, 상기 전원공급부는 다수개의 전자석(EM1~EM9)에 각각 별도로 형성될 수도 있으나, 도 7에 도시된 바와 같이, 이웃하는 소정 개수의 전자석은 동일한 극성을 갖도록 하나의 전원장치에 병렬로 연결될 수도 있는 것이다. 7 is another embodiment according to the present invention, the power supply may be formed separately in each of the plurality of electromagnets (EM 1 ~ EM 9 ), as shown in Figure 7, the predetermined number of neighboring electromagnets are the same It may be connected in parallel to one power supply to have polarity.

본 발명에 따르면, 기판을 수직상태로 고정한 캐리어의 하부를 자기부상한 후 수평이송할 수 있다. According to the present invention, the lower portion of the carrier fixing the substrate in the vertical state can be horizontally transferred after the magnetic levitation.

따라서 기판 이송시 비접촉식으로 인해 마찰력을 최소화하기 때문에 파티클에 의한 악영향을 원천적으로 차단할 수 있는 효과가 있다. Therefore, since the frictional force is minimized due to the non-contact type when transferring the substrate, there is an effect that the adverse effects caused by the particles can be blocked at the source.

Claims (4)

하부에 영구자석(PM)이 구비되고, 기판을 고정하는 캐리어(30);A permanent magnet (PM) is provided at the bottom, the carrier 30 for fixing the substrate; 상기 영구자석(PM)과 동일 또는 반대극성을 띄도록 제어되는 전자석(EM)이 구비되어 상기 캐리어(30)를 자기부상한 상태에서 수평이송하는 하부 이송부(20); 및 A lower transfer part 20 provided with an electromagnet (EM) controlled to have the same or opposite polarity as that of the permanent magnet (PM) to horizontally transfer the carrier 30 in a state of magnetic injuries; And 상기 캐리어(30)의 상부를 비접촉 상태로 유지시키는 상부 이송부(10);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치. And an upper transfer part (10) for maintaining an upper portion of the carrier (30) in a non-contact state. 삭제delete 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 전자석(EM)은 다수개로 구성되며, 상기 다수개의 전자석은 각각 별도의 전원공급부(P)가 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치. The electromagnet (EM) is composed of a plurality, the plurality of electromagnets substrate transfer apparatus, characterized in that each is provided with a separate power supply (P). 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 캐리어(30)는 상기 기판을 수직상태로 고정하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치. The carrier (30) is a substrate transport apparatus, characterized in that for fixing the substrate in a vertical state.
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