KR20080114497A - 감압 건조 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (5)
- 기판의 주면에 도포된 박막을 감압 건조하는 감압 건조 장치에 있어서,기판의 주위를 덮는 챔버와,상기 챔버 내에 있어서, 그 주면을 윗쪽으로 향하게 한 기판의 하면 중앙부를 지지하는 제1 지지 부재와, 그 주면을 윗쪽으로 향하게 한 기판의 하면 주변부를 지지하는 제2 지지 부재를 구비함과 더불어, 상기 제1 지지 부재의 지지 높이가 상기 제2 지지 부재의 지지 높이에 대해서 상대적으로 변경 가능하게 구성된 기판 지지 수단과,상기 챔버의 내부를 배기하여 감압하는 배기 수단을 구비하고,상기 기판 지지 수단은, 상기 배기 수단에 의한 배기 동작의 실행 중에, 기판을 그 중앙부를 아래쪽으로 휘게 한 오목 자세로 지지하는 것을 특징으로 하는 감압 건조 장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 기판 지지 수단은,상기 챔버 내에 있어서, 그 주면을 윗쪽으로 향하게 한 기판의 하면 중앙부를 지지하는 복수의 제1 지지핀과, 그 주면을 윗쪽으로 향하게 한 기판의 하면 주변부를 지지하는 복수의 제2 지지핀과, 상기 제1 지지핀을 상기 제2 지지핀에 대해서 상대적으로 승강시키는 승강 기구를 구비하는 감압 건조 장치.
- 청구항 2에 있어서,상기 배기 수단은, 그 배기량을 소량으로부터 다량으로 2단계로 전환 가능한 구성을 가지며,상기 기판 지지 수단은, 상기 배기 수단에 의해 소량의 배기량으로의 배기가 실행되고 있을 때 기판을 그 중앙부를 아래쪽으로 휘게 한 오목 자세로 지지하는 감압 건조 장치.
- 청구항 2에 있어서,상기 배기 수단은, 그 배기량을 소량으로부터 다량으로 2단계로 전환 가능한 구성을 가지며,상기 기판 지지 수단은, 상기 배기 수단에 의해 다량의 배기량으로의 배기가 실행되고 있을 때 기판을 그 중앙부를 아래쪽으로 휘게 한 오목 자세로 지지하는 감압 건조 장치.
- 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 기재된 감압 건조 장치에 있어서,상기 챔버를 가열하는 가열 수단을 구비하는 감압 건조 장치.
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