KR20080107401A - 판형 물품의 유체 처리 장치 - Google Patents

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세즈 아게
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Abstract

본 명세서에는 판형 물품의 유체 처리 장치로서, 판형 물품을 홀딩함과 동시에 회전 축선을 중심으로 판형 물품을 회전시키기 위한 로터리 헤드, 비접촉 상태로 상기 로터리 헤드를 현가 및 구동하기 위해 상기 로터리 헤드를 중심으로 반경방향으로 배치된 구동 수단, 상기 회전 축선과 실질적으로 동축인 실질적으로 원통형의 벽으로서, 상기 로터리 헤드 및 상기 구동 수단의 사이에 배치되고, 상기 로터리 헤드 및 상기 구동 수단의 사이의 틈새 내에 도입되는 원통형 벽, 및 상기 로터리 헤드 및 원통형 벽을 상기 회전 축선을 따라 축방향으로 상대 이동시키기 위한 승강 수단을 포함하는 판형 물품의 유체 처리 장치가 개시되어 있다.
판형 물품(plate-like article), 유체, 처리, 부상식(levitating), 스핀 척

Description

판형 물품의 유체 처리 장치{Device for Fluid Treating Plate-like Articles}
본 발명은 판형 물품의 유체 처리 장치에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 판형 물품을 홀딩함과 동시에 회전 축선을 중심으로 판형 물품을 회전시키기 위한 로터리 헤드 및 비접촉 상태로 상기 로터리 헤드를 현가 및 구동하기 위한 구동 수단을 포함한 판형 물품의 유체 처리 장치에 관한 것이다. 상기 구동 수단은 로터리 헤드의 주변에 반경 방향으로 배치된다.
상기 판상 물품은 반도체 웨이퍼 또는 콤팩트 디스크와 같은 디스크형 물품 및 평판 디스플레이와 같은 다각형 물품일 수 있다. 유체라는 용어는 액체(예, 에칭액, 세정액 또는 린스액), 기체, 및 초임계유체(예, 초임계 CO2)나 2상계 또는 다상계(예, 에어로졸)와 같은 기타의 유체를 포괄한다.
반도체 산업에서의 상기 구동 조립체 및 그 용도는 예를 들면 미국특허 US6485531로부터 공지된 것이다. 구동 조립체는 로터리 헤드 및 이 로터리 헤드를 비접촉 상태로 현가 및 구동하기 위한 구동 수단을 포함한다. 로터리 헤드의 축방향 및 반경방향 베어링 및 회전 속도는 원주방향으로 배치된 다수의 마그네틱 코일 에 의해 제어된다. 축방향 베어링은 또 영구 자석에 의해 수행될 수 있다. 상기 비접촉 상태로 로터리 헤드를 현가 및 구동하기 위한 구동 수단에 의해 구동되는 로터리 헤드는 부상식(levitating) 스핀 척이라고 불려진다.
본 발명의 목적은 회전 중인 판형 물품의 처리를 위한 개량된 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적은 본 발명의 판형 물품의 유체 처리 장치인 판형 물품을 홀딩함과 동시에 회전 축선을 중심으로 판형 물품을 회전시키기 위한 로터리 헤드, 비접촉 상태로 상기 로터리 헤드를 현가 및 구동하기 위해 상기 로터리 헤드를 중심으로 반경방향으로 배치된 구동 수단, 상기 회전 축선과 실질적으로 동축인 실질적으로 원통형의 벽으로서, 상기 로터리 헤드 및 상기 구동 수단의 사이에 배치되고, 상기 로터리 헤드 및 상기 구동 수단의 사이의 틈새 내에 도입되는 원통형 벽, 및 상기 로터리 헤드 및 원통형 벽을 상기 회전 축선을 따라 축방향으로 상대 이동시키기 위한 축방향 이동 수단을 포함하는 판형 물품의 유체 처리 장치에 의해 달성된다.
상기와 같은 로터리 헤드는 스핀 척이라고도 불려진다. 로터리 헤드는 판형 물품의 단부에 접촉하는 링을 이용하여 판형 물품을 홀딩할 수 있다. 판형 물품의 가감속을 위해 판형 물품은 단지 마찰 홀딩되어 있다. 이 판형 물품의 홀딩 상태는 판형 물품의 단부에 접촉하는 다수의 핀 또는 클로(claw)에 의해 지지될 수 있다. 상기 다수의 핀은 판형 물품을 파지하기 위해 이동할 수 있다. 상기 다수의 핀은 예를 들면 미국특허 US4903717에 기재된 바와 같이 치차에 의해 편심 이동될 수 있다. 그러나, 상기 치차는 원통 벽을 통해 비접촉 상태로 작용하는 마그네틱 스위치에 의해 구동될 수 있다. 미국특허 US5989342에서 다수의 편심 핀은 자기력에 의해 직접 구동된다. 예를 들면 미국특허 US5788453 또는 US5845662에는 다른 핀 구동 기구가 개시되어 있다. 유럽특허 EP1067590A2에는 다른 핀 개폐방법이 개시되어 있다. 여기서 다수의 핀이 원심력에 의해 폐쇄되고, 중력에 의해 개방된다. 미국특허 US5375291의 다수의 그리핑 클로(gripping claws)는 척이 가속되거나 감속될 때 폐쇄된다. 여기서 상기 이동운동은 회전이 가능하게 장착된 관성 질량에 의해 구동된다.
상기 부상식 스핀 척의 축방향 이동의 장점은 부재(예, 플레이트)와 판상 물품 사이의 거리를 변경하는 것에 있다. 상기 부재는 예를 들면 음파 처리나 가열 처리를 위한 플레이트일 수 있다. 다른 장점은 판상 물품을 스핀 척 상에 용이하게 장전하거나 제거할 수 있도록 상승된 위치까지 스핀 척을 상승시킬 수 있다는 것이다. 이와 같은 구성에 의해, 판상 물품은 폐쇄된 체임버 내에서 액체, 기체 또는 기타 다른 유체를 이용하여 처리될 수 있고, 체임버는 상측 커버만으로 폐쇄시킬 수 있다.
축방향 이동 수단은 유압 실린더, 기압 실린더, 볼 스핀들, 리니어 모터, 벨트 드라이브로 구성된 그룹으로부터 선택될 수 있다. 상기 축방향 이동 수단은 구동 수단을 축방향으로 이동시키고, 그에 따라 로터리 헤드를 간접적으로 축방향으로 이동시킨다. 다른 실시예에서, 축방향 이동 수단은 구동 수단의 일부이고, 여기서 로터리 헤드의 축방향 베어링은 일종의 리니어 모터로서 제공된다. 그 결과, 로터리 헤드는 구동 수단을 이동시키지 않는 상태에서 원통 벽에 대해 상대적으로 축방향 이동될 수 있다.
상기 로터리 헤드 및 구동 수단 사이의 틈새는 2-10 mm의 범위인 것이 바람직하다. 상기 틈새가 크면 클 수로 마그네틱 구동 조립체의 로우터와 스테이터 사이의 자기적 상호작용이 불량해진다.
일 실시예에서, 상기 원통형 벽은 폐쇄가 가능한 체임버의 일부이므로 판형 물품은 대기압과 상이한 선택이 가능한 압력에서 처리될 수 있다. 상기 대기압과 다른 압력은 최대 수 바아(예, 2-10 바아, 또는 초임계유체가 사용되는 경우는 최대 1000 바아) 또는 진공(예, 수 mPa 이하의 진공)으로 할 수 있다. 폐쇄가 가능한 체임버는 상기 원통형 벽에 대해 밀폐되는 개방이 가능한 커버를 포함하는 것이 바람직하다. 상기 개방이 가능한 커버에 의해 로터리 헤드 상에 판형 물품을 장전하거나 제거하기 위해 체임버에 접근하는 것이 용이해 진다.
구조를 단순화하기 위해, 상기 개방이 가능한 커버의 개방을 위한 수단은 축방향 이동 수단을 겸할 수 있다. 이 경우, 로터리 헤드 및 커버는 동시에 축방향으로 이동된다.
다른 실시예에서, 상기 개방이 가능한 커버의 개방 수단 및 축방향 이동 수단은 상호 분리된다. 이와 같은 분리된 구성에 의해 로터리 헤드와 커버 사이의 거리를 변경할 수 있고, 이것은 특히 판상 물품의 처리를 위해 커버에 기능적 부재(예, 초음파 진동기, 가열 부재, 다수의 액체 분주기, 발광 소자(예, 자외선))가 장착되어 있는 경우에 유용하다. 유체 처리 중의 판형 물품과 커버 사이의 거리는 판형 물품을 로터리 헤드에 장전하거나 제거할 때의 거리에 비해 작게 선택할 수 있으므로 위와 같은 구성은 유용하다.
바람직한 실시예에서, 상기 개방이 가능한 커버는 이 커버의 양측이 처리되는 판형 물품에 선택적으로 대면할 수 있도록 플립운동(flippable)이 가능하게 장착된다. 이와 같은 플립운동이 가능한 커버의 사용시, 커버의 양측에는 상이한 기능의 부재들(예, 초음파 진동기, 가열 부재, 다수의 액체 분주기, 발광소자(예, 자외선))이 설치될 수 있다. 예를 들면, 일측에는 액체 분주 노즐 및 진동 부재(초음파 진동기)가 장착되고, 타측에는 가열 부재 및 기체 공급원이 장착된다. 예를 들면, 고압(예, 2 바아)에서 액체 초음파 처리가 수행된 후, 고온(예, 200-500 ℃)에서 진공 기체 처리가 수행될 수 있다.
상기 판형 물품의 상기 개방이 가능한 커버에 대면하는 측면이 유체 처리되는 경우, 개방이 가능한 커버는 제1의 매체 공급원에 연결되는 것이 바람직하다. 유체는 개방이 가능한 커버 내의 단일의 노즐 또는 다수의 노즐을 통해 분주된다.
다른 실시예에서, 판형 물품의 제2면에 매체를 공급하기 위해 제2의 매체 공급 수단이 제공된다. 이 구성은 판형 물품의 양면이 처리되는 경우에 유리하다.
또 다른 실시예에서, 축방향 이동 수단, 벽, 로터리 헤드 및 구동 수단의 상호간 배열은 상기 판형 물품이 상기 원통형 측벽에 의해 둘러싸인 공간 이외의 위치로 이동하도록 상기 로터리 헤드가 상기 회전 축선을 따라 이동될 수 있는 배열이다. 이것은 이송 수단(예, 로봇 엔드 이펙터(end effector))이 판형 물품의 장전 및 제거를 위해 용이하게 접근하는데 도움이 된다. 이것은 또 판형 물품으로부터 원통형 벽의 내부 이외의 영역 내로 액체가 비산될 때 도움이 된다. 이것은 또 후속 건조 공정들(예, 폐쇄 체임버 공정 후의 마란고니 건조와 스핀 건조의 조합)을 위해 도움이 된다.
상기 판형 물품의 유체 처리 장치는 상기 판형 물품에 실질적으로 평행함과 동시에 상기 처리되는 판형 물품에 대면하는 제1의 플레이트를 구비하는 것이 바람직하다. 상기 플레이트는 커버의 일부이거나, 커버에 대면하지 않는 커버의 대향측의 판형 물품에 대향하는 것일 수 있다. 축방향 이동 수단에 의해 판상 물품은 상기 플레이트에 접근될 수 있고, 판형 물품과 플레이트 사이의 간격(d1)은 수 cm(예, 5 cm) 내지 0.1mm(심지어 판형 물품과 접촉하는 0 mm)의 범위 내에서 선택될 수 있다. 제1의 플레이트에 초음파 진동기가 장착된 경우 최적의 초음파 성능을 가지도록 하기 위해 특정의 간격(d1)이 선택될 수 있다.
제1의 플레이트가 저면 부재의 일부인 경우, 이 제1의 플레이트는 원통형 벽과 함께 컵을 형성한다. 이 컵 내에 액체가 충만된 경우, 로터리 헤드 및 판형 물체는 완전히 침지될 수 있다. 이 구성에 의해 싱글 웨이퍼 기술(single wafer technology)과 침지 기술(immersion technology)의 조합이 가능해 진다. 상기 컵에 개방이 가능한 커버를 설치하거나 설치하지 않을 수 있다.
상기 제1의 플레이트는 진동 부재에 음향적으로 연결되는 것이 바람직하고, 여기서 상기 제1의 플레이트는 커버의 일부이거나, 커버에 대면하지 않는 커버의 대향측의 판형 물품에 대향하는 것일 수 있다
제1의 플레이트에 추가하여 제2의 플레이트가 제공될 수 있다. 여기서, 제2의 플레이트는 판형 물품에 실질적으로 평행하고, 처리 중인 판형 물품을 중심으로 제1의 플레이트의 대향측에 배치된다. 따라서, 2개의 플레이트는 판형 물품의 양면을 동시 처리하거나 교대로 처리하도록 판형 물품의 인접부에 배치될 수 있다.
전술한 장치 및 방법의 실시예들의 조합은 본 발명의 범위 내에 포함된다.
본 발명의 추가의 세부 내용 및 장점은 바람직한 실시예의 상세한 설명으로부터 이해될 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1의 실시예의 개방상태의 개략 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제1의 실시예의 판형 물품을 장전(loading)하기 위한 개방상태의 개략 단면도이다.
도 3은 본 발명의 제1의 실시예의 개방상태의 개략 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제2의 실시예의 개방상태의 개략 단면도이다.
도 1은 본 발명의 판형 물품(W)의 유체 처리를 위한 장치(1)의 제1의 실시예의 개방 상태의 개략 단면도이다. 하측 프레임 플레이트(frame plate; 4)는 볼 스핀들(ball spindles; 3)에 의해 상측 프레임 플레이트(2)에 연결되어 있다. 볼 스핀들(3)은 한편으로는 프레임의 일부이고, 다른 한편으로는 축방향 이동 수단의 일부이다. 안정성을 향상시키기 위해 추가의 프레임 부분(도시 생략)이 제공될 수 있다.
하측 프레임 플레이트(4)의 상부에는 체임버의 저면 플레이트(7)가 하측 프 레임 플레이트(4)에 평행하게 부착되어 있다. 저면 플레이트(7)에는 볼 스핀들(3)과 실질적으로 평행한 회전 축선(A)을 구비하는 원통형 측벽(5)이 부착되어 있다. 원통형 측벽(5)은 저면 플레이트에 압밀(pressure-tight) 상태로 연결되어 있다. 이 압밀 연결은 측벽(5)과 저면 플레이트(7) 사이를 용접하거나, O링을 이용하여 시일링한 상태로 나사결합 또는 클램프 결합함으로써 달성된다. 또는 상기 원통형 측벽(5)과 저면 플레이트(7)는 일체로 제작될 수 있다.
척 유닛(10)은 볼 스핀들(3)에 축방향 이동이 가능하게 부착되어 있다. 이 척 유닛(10)은 원통형 측벽(5)을 둘러싸는 링 형상의 스테이터(11) 및 부상식 로터리 헤드(14)를 포함한다. 스테이터(11)는 스핀 척의 구동 및 스핀 척의 축방향과 반경방향의 베어링 지지를 위한 다수의 전자기 코일(electromagnetic coils; 12)을 포함한다. 또는 축방향 베어링을 위해 영구 자석을 사용할 수 있다. 로터리 헤드(14)는 링 형상으로서, 이 로터리 헤드의 외주에는 원주방향으로 다수의 영구 자석(15)이 배치되어 있다. 스테이터(11)의 내경 및 로터리 헤드(14)의 외경은 로우터와 스테이터 사이의 틈새(g1)의 치수가 2 - 5 mm의 범위가 되도록 선택된다. 측벽과 로우터 사이 및 측벽과 스테이터 사이에 공기 틈새가 존재하므로 측벽의 두께는 틈새(g1) 의 치수보다 약간 작다(예, 1.5 - 4.5 mm). 이와 같은 부상식 로우터를 포함하는 구동 조립체는 무베이링(bearing-free) 디스크 모터 또는 마그네틱 베어링을 구비한 모터라고 불려지고, 그 상세 내용은 미국특허 US6355998, US6249067 또는 US6222290에 개시되어 있다.
스테이터(11)는 볼 스핀들 드라이브(13)을 구비하는 볼 스핀들(3)을 따라 축 방향으로 구동된다. 스테이터(11)의 상승 시 로우터 헤드(14) 및 판형 물품(W)은 원통형 측벽(5)에 대해 상승되고, 여기서 로터리 헤드(14)나 스테이터(11)의 어느 것도 원통형 측벽에 접촉하지 않는다.
로터리 헤드(14)는 판상 물품(웨이퍼 W)을 홀딩하기 위한 다수의 그리핑 핀(gripping pins; 18)을 포함하고 있다. 이들 그리핑 핀은 전술한 바와 같이 고정되어 있거나, 경사이동이 가능하거나, 편심이동이 가능하게 구성할 수 있다.
커버 유닛(20)은 원통형 측벽(5)의 상연부와 원통형 측벽(5)의 회전 축선(A)에 실질적으로 수직을 이루는 상측 프레임 플레이트(2)의 사이에 배치된다. 이 커버 유닛(20)은 커버(21) 및 커버 플레이트(22)를 위한 프레임을 포함하고 있다. 커버 유닛(20)은 볼 스핀들 드라이브(23)를 통해 볼 스핀들(3)에 축방향 이동이 가능하게 연결되어 있다. 따라서 상기 볼 스핀들 드라이브(23)는 볼 스핀들(3)을 따라 커버 유닛(20)을 상하방향으로 이동시킬 수 있다. 커버 유닛(20)이 하강 이동되면, 커버 플레이트 내의 환형의 요홈 내에 배치된 O링 시일(19)에 의해 원통형 측벽(5)의 상단부에 시일된다.
상측 커버 플레이트(22) 내에는 다수의 초음파 진동기(25)가 배치되어 있다. 그러나, 이 초음파 진동기는 커버 플레이트의 외면측에 음향적으로 연결되도록 부착될 수도 있다. 다수의 초음파 진동기(25)는 판형 물품의 반쪽 또는 일 섹터(sector) 부분에만 설치되어 있다. 따라서, 판형 물품을 1회전 시키면 그 전체 면이 초음파 진동 처리된다.
제1의 매체 공급원(M1)은 체임버(6)에 제1의 매체를 공급한다. 매체 공급 원(M1)은 커버 플레이트(22)의 중앙에 설치된 매체 공급 노즐(화살표로 도시됨)에 연결되어 커버 플레이트에 대면해 있는 판형 물품의 표면 상에 유체를 공급한다. 매체 공급원(M1)은 밸브(V1)에 의해 절환된다. 또는 다수의 상이한 매체가 상호 혼합되지 않도록 이들 상이한 매체 사이의 신속한 절환을 위해 다수의 밸브 열(valve cascade)이 제공될 수 있다. 이와 같은 매체는 예를 들면 액체, 기체 또는 기타의 유체일 수 있다. 따라서, 액체 공급 단계 후 건조 단계가 신속히 후속될 수 있고, 여기서 기체가 공급된 후 다시 액체 공급 단계가 후속될 수 있다.
제2의 매체 공급원(M2)은 체임버(6)와 유체 연통되어 있다. 매체 공급원(M2)은 저면 플레이트(7)에 설치된 매체 공급 노즐(화살표로 도시됨)에 연결되어 저면 플레이트에 대면해 있는 판형 물품의 표면 상에 유체를 공급한다. 그 결과, 판형 물품의 양면은 동시에 또는 교대로 동일하거나 상이한 액체에 의해 처리될 수 있다. 판형 물품의 양면이 상이한 액체에 의해 교대로 처리되거나 양면이 동일한 유체에 의해 동시에 처리되는 경우, 액체는 혼합되지 않은 상태로 수집될 수 있으므로 재사용이 가능해진다. 양면에 상이한 액체가 동시에 사용되는 경우, 이들 액체는 혼합되므로 재사용할 수 없게 된다. 매체 공급원(M2)은 밸브(V2)에 의해 절환된다.
유체는 밸브(V4)에 의해 절환되는 드레인(D)에 의해 배출된다. 그러나, 유체는 또 매체 공급원(M1, M2)의 각 공급관에 진공을 가함으로써 배출될 수도 있다.
이하, 도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명의 장치의 작용에 대해 설명한다. 커버 유닛(20)이 상승되면 체임버가 개방된다. 동시에 도 2에 도시된 바와 같이 척 유닛(10)이 상승되면 로봇 엔드 이펙트(도시 생략, 예, 포크(fork), 웨이퍼 그리퍼)에 의해 로우터에 용이하게 접근할 수 있다. 로우터 헤드(14) 상에 판형 물품(W)이 설치된다. 그 후, 로터리 헤드가 작업 위치까지 하강되고, 커버가 폐쇄되고(도 3 참조), 처리 공정이 개시된다.
처리 중에 매체 공급원(M1, M2)을 통해 판형 물품의 양면 상에 세정액이 분주되고, 액체는 드레인(D)을 통해 배출된다. 초음파 처리(예, 1.5 MHz)를 위해 판형 물품과 다수의 초음파 진동기(25)를 포함하는 커버 플레이트 사이의 간격(d1)은 축소된다(예, 1 mm 까지). 간격(d1)은 주기적으로 변화시킬 수 있다(예, 0.5 내지 1.5 mm 범위). 또, 압력(예, 대기압보다 0.5 바아 큰1.5 바아)이 가해질 수 있고, 압력은 주기적으로 변화될 수 있다(예, 10 Hz의 주기에 대해 ±0.2 바아의 압력 변화). 또는 상기 주기적 압력 변화는 1 바아 미만의 압력 또는 1 바아 주변의 압력을 사용할 수 있다(따라서, 상승된 압력으로부터 진공압까지 주기적으로 절환됨). 탈이온수(DI-water)를 이용한 추가의 린스 단계 후, 액체는 기체(예, IPA/N2)를 이용하여 직접 배출시키거나 제2의 린스 액체(예, 2-프로판올)을 이용하여 배출시킨다. 제2의 린스 액체는 그 후 기체(예, N2)에 의해 배출된다. 추가의 건조는 체임버의 배기에 의해 수행된다. 불활성 기체를 이용하여 체임버를 퍼지처리(purging)한 후, 체임버를 개방하여 로터리 헤드로부터 판형 물품을 꺼낸다.
도 4는 본 발명의 제2의 실시예를 도시한 것이다. 제2의 실시예는 독립적으로 적용되는 2개의 추가 특징을 가진다. 제1의 추가 특징은 수평 축선(H)을 중심 으로 플립운동이 가능한 커버(21)의 프레임(flippable frame)이다. 커버(21)의 프레임에는 제1의 커버 플레이트(22) 이외에 제2의 커버 플레이트(24)가 부착되어 있다. 가열 부재(26)는 제2의 커버 플레이트의 부재이고, 매체 공급원(M3)은 중앙 노즐과 유체 연통되어 있다. 또 커버 플레이트(22)나 커버 플레이트(24)를 선택적으로 사용할 수 있다. 플립운동이 가능한 커버 프레임은 상측 커버에만 사용되거나 하측 커버에만 사용되거나 이들 양측의 커버에 모두 사용될 수 있다.
도 4에 도시된 제2의 추가 특징은 중앙 저면 플레이트(27)로서, 이것의 형상 및 치수는 판형 물품에 근접할 수 있는 형상 및 치수로 선택된다. 간격(d2)은 0.5-2 mm의 범위로 할 수 있다. 저면 플레이트(27)에는 초음파 진동기(28)가 장착된다. 가열부재가 추가물이나 대체물로서 제공될 수 있다.

Claims (15)

  1. 판형 물품의 유체 처리 장치로서,
    판형 물품을 홀딩함과 동시에 회전 축선을 중심으로 판형 물품을 회전시키기 위한 로터리 헤드,
    비접촉 상태로 상기 로터리 헤드를 현가 및 구동하기 위해 상기 로터리 헤드를 중심으로 반경방향으로 배치된 구동 수단,
    상기 회전 축선과 실질적으로 동축인 실질적으로 원통형의 벽으로서, 상기 로터리 헤드 및 상기 구동 수단의 사이에 배치되고, 상기 로터리 헤드 및 상기 구동 수단의 사이의 틈새 내에 도입되는 원통형 벽, 및
    상기 로터리 헤드 및 원통형 벽을 상기 회전 축선을 따라 축방향으로 상대 이동시키기 위한 축방향 이동 수단을 포함하는 판형 물품의 유체 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 축방향 이동 수단은 유압 실린더, 기압 실린더, 볼 스핀들, 리니어 모터, 벨트 드라이브로 구성된 그룹으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 판형 물품의 유체 처리 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 로터리 헤드 및 구동 수단 사이의 틈새는 2-10 mm의 범위인 것을 특징으로 하는 판형 물품의 유체 처리 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 벽은 폐쇄 가능한 체임버의 일부이고, 그 결과 상기 판형 물품은 대기압과 다른 선택이 가능한 압력에서 처리될 수 있는 것을 특징으로 하는 판형 물품의 유체 처리 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 폐쇄 가능한 체임버는 상기 원통 벽에 대해 밀폐된 개방이 가능한 커버를 포함하는 것을 특징으로 하는 판형 물품의 유체 처리 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 개방이 가능한 커버의 개방을 위한 수단은 방향 이동 수단을 겸하는 것을 특징으로 하는 판형 물품의 유체 처리 장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 개방이 가능한 커버의 개방을 위한 수단 및 축방향 이동 수단은 상호 분리된 것을 특징으로 하는 판형 물품의 유체 처리 장치.
  8. 제5항에 있어서, 상기 개방이 가능한 커버는 이 커버의 양측이 처리되는 판형 물품에 선택적으로 대면하도록 플립운동이 가능하게 장착된 것을 특징으로 하는 판형 물품의 유체 처리 장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 개방이 가능한 커버는 제1의 매체 공급원에 연결되는 것을 특징으로 하는 판형 물품의 유체 처리 장치.
  10. 제2항에 있어서, 상기 판형 물품의 제2측면에 매체를 공급하기 위한 제2의 매체 공급 수단을 구비하는 특징으로 하는 판형 물품의 유체 처리 장치.
  11. 제1항에 있어서, 축방향 이동 수단, 벽, 로터리 헤드 및 구동 수단의 상호간 배열은 상기 판형 물품이 상기 원통형 측벽에 의해 둘러싸인 공간 이외의 위치로 이동하도록 상기 로터리 헤드가 상기 회전 축선을 따라 이동될 수 있는 배열인 것을 특징으로 하는 판형 물품의 유체 처리 장치.
  12. 제1항에 있어서, 상기 판형 물품에 실질적으로 평행함과 동시에 상기 처리되는 판형 물품에 대면하는 제1의 플레이트를 구비하는 것을 특징으로 하는 판형 물품의 유체 처리 장치.
  13. 제13항에 있어서, 상기 제1의 플레이트는 상기 벽과 함께 컵을 형성하는 저면 부재의 일부인 것을 특징으로 하는 판형 물품의 유체 처리 장치.
  14. 제12항에 있어서, 상기 제1의 플레이트는 진동 부재에 음향적으로 연결된 것을 특징으로 하는 판형 물품의 유체 처리 장치.
  15. 제12항에 있어서, 상기 판상 물품에 실질적으로 평행한 제2의 플레이트를 구비하는 것을 특징으로 하는 판형 물품의 유체 처리 장치.
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