KR20080097757A - 테스트핸들러 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (7)
- 로딩위치와 상기 로딩위치와 일정 간격 이격된 언로딩위치를 포함하는 순환경로를 순환하는 테스트트레이;상기 언로딩위치에서 상기 테스트트레이의 일부 영역에 적재된 반도체소자를 파지하여 언로딩시키는 언로딩장치; 및상기 언로딩장치의 파지위치가 특정될 수 있도록 상기 언로딩장치의 언로딩작업에 대응하여 상기 테스트트레이를 상기 언로딩위치에서 상기 로딩위치 방향으로 단계적으로 이동시키는 테스트트레이이송장치; 를 포함하는 것을 특징으로 하는테스트핸들러.
- 제1항에 있어서,상기 언로딩장치의 파지동작을 위해 상기 언로딩위치에 위치된 상기 테스트트레이의 일 부분을 외부에 국부적으로 노출시키는 덮개플레이트; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는테스트핸들러.
- 로딩위치와 상기 로딩위치와 일정 간격 이격된 언로딩위치를 포함하는 순환경로를 순환하는 테스트트레이;상기 언로딩위치에서 상기 테스트트레이의 일부 영역에 적재된 반도체소자를 파지하여 언로딩시키는 언로딩장치;상기 로딩위치에서 상기 테스트트레이의 다른 일부 영역으로 반도체소자를 적재하여 로딩시키는 로딩장치; 및상기 언로딩장치의 파지위치 및 상기 로딩장치의 적재위치가 특정될 수 있도록 상기 언로딩장치의 언로딩작업 및 상기 로딩장치의 로딩작업에 대응하여 상기 테스트트레이를 상기 순환경로 상의 순환방향으로 단계적으로 이동시키는 테스트트레이이송장치; 를 포함하며,상기 언로딩위치와 상기 로딩위치 간의 이격거리는 상기 테스트트레이의 길이보다 짧은 것을 특징으로 하는테스트핸들러.
- 제3항에 있어서,상기 언로딩위치와 상기 로딩위치 사이에 위치된 상기 테스트트레이의 또 다른 일부 영역에 반도체소자가 모두 언로딩되었는지 여부를 검출하기 위한 소자검출센서; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는테스트핸들러.
- 제3항에 있어서,상기 언로딩장치의 파지동작 및 상기 로딩장치의 적재동작을 위해 상기 언로딩위치 및 상기 로딩위치에 위치된 상기 테스트트레이의 일 부분들을 외부에 국부 적으로 노출시키는 덮개플레이트; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는테스트핸들러.
- 로딩위치와 상기 로딩위치와 일정 간격 이격된 언로딩위치를 포함하는 순환경로를 순환하는 테스트트레이 상에 적재된 반도체소자를 언로딩시키기 위하여 반도체소자를 파지하는 파지위치가 특정되도록 언로딩작업에 대응하여 상기 테스트트레이를 상기 언로딩위치에서 상기 로딩위치 방향으로 단계적으로 이동시키면서 상기 파지위치에 위치된 상기 테스트트레이의 일부 영역에 적재된 반도체소자들을 언로딩시키는 것을 특징으로 하는테스트핸들러의 언로딩방법.
- 테스트트레이의 일 부분-언로딩위치에 위치된 부분-에서는 언로딩작업을 수행하고, 상기 테스트트레이의 다른 부분-로딩위치에 위치된 부분-에서는 로딩작업을 수행하되, 상기 언로딩작업 및 상기 로딩작업에 대응하여 상기 테스트트레이를 순환방향-상기 언로딩위치 및 상기 로딩위치를 포함하는 순환경로 상의 순환방향-으로 단계적으로 이동시킴으로써 상기 테스트트레이의 부분들이 상기 언로딩위치 및 상기 로딩위치를 순차적으로 경유할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는테스트핸들러의 작동방법.
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