KR20080060098A - 액정표시소자의 카세트 세정장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 카세트 세정장치는 카세트를 신속하고 용이하게 세정하기 위한 것으로, 세정액을 분사하여 카세트를 세정하는 세정기와, 세정된 카세트가 위치하고 열풍에 의한 와류를 형성하여 상기 카세트를 세정하는 건조기로 구성된다.
카세트, 세정, 건조, 열풍, 와류

Description

액정표시소자의 카세트 세정장치{APPARATUS FOR CLEANING CASSETTE OF LIQUID CRYSTAL DISPALY DEVICE}
도 1은 일반적인 액정표시소자의 단면도.
도 2는 액정표시소자를 제조하는 방법을 나타내는 흐름도.
도 3은 액정표시소자 카세트를 나타내는 사시도.
도 4는 본 발명에 따른 카세트세정장치의 세정기의 구조를 나타내는 도면.
도 5는 본 발명에 따른 카세트세정장치의 건조기의 구조를 나타내는 도면.
도 6은 본 발명에 따른 카세트세정장치의 제어부의 구조를 나타내는 블럭도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
130 : 카세트 150 : 세정기
160 : 세정챔버 162 : 노즐
170 : 건조기 180 : 건조챔버
182 : 유입기 184 : 유출기
190 : 제어부
본 발명은 액정표시소자의 카세트 세정장치에 관한 것으로, 특히 건조챔버내에 와류를 형성하여 세정액에 의해 세정된 카세트의 세정액을 건조함으로써 신속한 세정이 가능한 카세트 세정장치에 관한 것이다.
근래, 핸드폰(Mobile Phone), PDA, 노트북컴퓨터와 같은 각종 휴대용 전자기기가 발전함에 따라 이에 적용할 수 있는 경박단소용의 평판표시장치(Flat Panel Display Device)에 대한 요구가 점차 증대되고 있다. 이러한 평판표시장치로는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), FED(Field Emission Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등이 활발히 연구되고 있지만, 양산화 기술, 구동수단의 용이성, 고화질의 구현이라는 이유로 인해 현재에는 액정표시소자(LCD)가 각광을 받고 있다.
액정표시소자는 굴절률이방성을 이용하여 화면에 정보를 표시하는 장치이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 액정표시소자(1)는 하부기판(5)과 상부기판(3) 및 상기 하부기판(5)과 상부기판(3) 사이에 형성된 액정층(7)으로 구성되어 있다. 하부기판(5)은 구동소자 어레이(Array)기판이다. 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 하부기판(5)에는 복수의 화소가 형성되어 있으며, 각각의 화소에는 박막트랜지스터(Thin Film Transistor)와 같은 구동소자가 형성되어 있다. 상부기판(3)은 컬러필터(Color Filter)기판으로서, 실제 컬러를 구현하기 위한 컬러필터층이 형성되어 있다. 또한, 상기 하부기판(5) 및 상부기판(3)에는 각각 화소전극 및 공통전극이 형성되어 있으며 액정층(7)의 액정분자를 배향하기 위한 배향막이 도포되어 있다.
상기 하부기판(5) 및 상부기판(3)은 실링재(Sealing Material)(9)에 의해 합 착되어 있으며, 그 사이에 액정층(7)이 형성되어 상기 하부기판(5)에 형성된 구동소자에 의해 액정분자를 구동하여 액정층을 투과하는 광량을 제어함으로써 정보를 표시하게 된다.
액정표시소자의 제조공정은 크게 하부기판(5)에 구동소자를 형성하는 구동소자 어레이기판공정과 상부기판(3)에 컬러필터를 형성하는 컬러필터기판공정 및 셀(Cell)공정으로 구분될 수 있는데, 이러한 액정표시소자의 공정을 도 2를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
우선, 구동소자 어레이공정에 의해 하부기판(5)상에 배열되어 화소영역을 정의하는 복수의 게이트라인(Gate Line) 및 데이터라인(Data Line)을 형성하고 상기 화소영역 각각에 상기 게이트라인과 데이터라인에 접속되는 구동소자인 박막트랜지스터를 형성한다(S101). 또한, 상기 구동소자 어레이공정을 통해 상기 박막트랜지스터에 접속되어 박막트랜지스터를 통해 신호가 인가됨에 따라 액정층을 구동하는 화소전극을 형성한다.
또한, 상부기판(3)에는 컬러필터공정에 의해 컬러를 구현하는 R,G,B의 컬러필터층과 공통전극을 형성한다(S104).
이어서, 상기 상부기판(3) 및 하부기판(5)에 각각 배향막을 도포한 후 상부기판(3)과 하부기판(5) 사이에 형성되는 액정층의 액정분자에 배향규제력 또는 표면고정력(즉, 프리틸트각(Pretilt Angle)과 배향방향)을 제공하기 위해 상기 배향막을 러빙(Rubbing)한다(S102,S105). 그 후, 하부기판(5)에 셀갭(Cell Gap)을 일정하게 유지하기 위한 스페이서(Spacer)를 산포하고 상부기판(3)의 외곽부에 실링 재(9)를 도포한 후 상기 하부기판(5)과 상부기판(3)에 압력을 가하여 합착한다(S103,S106,S107).
한편, 상기 하부기판(5)과 상부기판(3)은 대면적의 유리기판으로 이루어져 있다. 다시 말해서, 대면적의 유리기판에 복수의 패널(Panel)영역이 형성되고, 상기 패널영역 각각에 구동소자인 TFT 및 컬러필터층이 형성되기 때문에 낱개의 액정패널을 제작하기 위해서는 상기 유리기판을 절단, 가공해야만 한다(S108). 이후, 상기와 같이 가공된 개개의 액정패널에 액정주입구를 통해 액정을 주입하고 상기 액정주입구를 봉지하여 액정층을 형성한 후 각 액정패널을 검사함으로써 액정패널을 제작하게 된다(S109,S110).
상기와 같은 각 공정들은 각각 별개의 공정라인으로 이루어져 있다. 따라서 하나의 공정이 종료된 기판(3,5)은 이후의 공정라인으로 이송되어 해당 공정이 진행되어야 하는데, 이러한 기판(3,5)의 이송은 주로 컨베이어나 자동대차(auto guide vehicle)에 의해 이루어진다. 그런데, 근래 대면적 액정표시소자가 제작됨에 따라 공장내에서 대면적 기판을 이송해야만 하는데, 컨베이어는 대면적 기판을 이송하는 데에는 적당하지 않기 때문에 주로 자동대차를 이용하여 기판을 공정라인 사이로 이송하고 있다.
이와 같이, 자동대차를 이용하여 기판을 이송하는 경우, 다수의 기판을 카세트에 수납하여 이송함으로써 많은 수의 기판을 이송할 수 있게 된다. 이때, 공정라인으로부터 기판을 언로딩하고 카세트에 수납하고 수납된 카세트를 반출하여 다음의 공정라인으로 로딩하는 것은 로보트에 의해 이루어진다.
도 3에 기판을 수납하여 자동대차에 의해 이동되는 액정표시소자의 카세트가 도시되어 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 카세트(30)는 하중 및 공정 진행상 외부환경 조건에 구조적 변형을 방지하기 위한 상부프레임(32)과 하부프레임(34) 및 측면플레이트(36)와, 측면플레이트(36)에 사이에 설치되는 선반플레이트(38)과, 선반플레이트(38)에 적층된 기판(10)이 과도하게 삽입되는 것을 방지하기 위한 스토퍼(42)를 구비한다.
여기서, 상부 프레임(32) 및 하부 프레임(34)은 카세트(30)의 구조를 견고하게 함과 아울러 하중에 의한 변형을 방지하기 위하여, 폭 방향의 폭플레이트(33)와 너비 방향으로 형성된 다수개의 너비플레이트(35)가 연결되어 구성되며, 측면플레이트(36)는 상부프레임(32)과 하부프레임(34) 사이의 각 모서리에 연결되어 상부프레임(2)과 하부프레임(34)을 지지하는 역할을 한다.
또한, 상기 선반플레이트(38)는 측면플레이트(36) 사이에 상부프레임(32)과 직교하게 설치된다. 이 선반플레이트(38)의 내면에는 소정의 간격이 돌출되는 선반들(44)이 형성된다. 선반들(44)에는 도시하지 않은 로봇 및 사람의 수작업에 의해 기판(10)을 적층되고, 상기 스토퍼(42)는 기판(10)이 드나드는 입구의 반대쪽에 상부프레임(32)과 하부프레임(34)에 직교하게 연결되고 설치된다. 이러한, 스토퍼(42)는 카세트(30)가 이송될 때 기판(10)이 떨어지는 것을 방지함과 아울러 상부프레임(32)과 하부프레임(34)을 지지하는 역할을 한다.
상기와 같은 구조로 이루어진 카세트(30)의 선반(44)에는 공정이 종료된 기 판이 수납된 후, 자동대차에 의해 다음 공정으로 이동된다. 그런데, 이러한 카세트(30)는 공정이 종료된 기판을 수납한 후 이송하므로, 공정시 기판에 묻어있는 각종 오염물질들, 예를 들면 포토레지스트나 폴리이미드와 같은 유기물질이나 식각액과 같은 각종 화학약품들이 상기 카세트(30)의 선반(44)과 각종 플레이드에 잔류하게 된다. 따라서, 다른 기판을 수납하여 이송할 때 이들 화학약품이 수납되는 기판에 묻게 되는 경우, 기판이 오염되어 이후의 공정시 기판의 오염에 의해 공정불량이 발생하게 된다.
따라서, 기판을 수납하는 카세트(30)는 주기적으로 세정해야만 한다. 이러한 카세트(30)의 세정은 세정액에 의해 세정한 후 상기 세정액을 건조시킴으로서 잔류하는 오염물질을 제거할 수 있게 된다.
그러나, 이러한 카세트(30)의 세정은 다음과 같은 문제가 발생하게 된다.
근래, 액정표시소자의 크기가 증가함에 따라 기판을 이송하는 카세트(30)의 크기도 증가하고 있다. 따라서, 열풍에 의해 세정된 카세트(30)를 건조할 때 대형의 카세트(30)를 건조하기 위해서는 시간이 많이 소모된다. 더욱이, 대면적의 기판을 수납하여 이송할 때, 중량에 의해 기판이 휘어지는 것을 방지하기 위해 카세트(30)내에는 하나의 기판을 지지하기 위해 선반(44)이 카세트(30)의 중앙영역에 형성되어 상기 기판을 지지하게 되는데, 이러한 선반(44)의 증가는 카세트(30)의 구조를 복잡하게 하여 카세트(30)의 건조시 건조시간을 더욱 지연시키는 문제가 있었다.
본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위한 것으로, 건조챔버내에 열풍에 의한 와류를 형성하므로써 카세트의 신속한 건조가 가능한 카세트 세정장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 카세트 세정장치는 기판을 수납하는 카세트를 세정하는 세정기와, 세정된 카세트가 위치하며, 열풍에 의한 와류를 형성하여 상기 카세트를 세정하는 건조기로 구성된다.
상기 세정기는 세정챔버와, 상기 세정챔버상부에 구비되어 카세트에 세정액을 분사하는 노즐과, 상기 세정챔버 하부에 구비되어 카세트가 놓이는 테이블로 구성되며, 상기 건조기는 세정된 카세트가 위치하는 건조챔버와, 상기 건조챔버에 형성되어 열풍을 유입함에 따라 건조챔버내에 와류를 형성하는 복수의 유입구와, 상기 건조챔버에 형성되어 건조챔버내의 열풍을 배출하는 배출구로 이루어진다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 카세트 세정장치를 상세히 설명한다.
본 발명에 따른 카세트의 세정장치는 세정액에 의해 오염된 카세트를 세정하는 세정기와 세정기에 의해 세정된 카세트에 잔류하는 세정액을 건조시키는 건조기로 구성된다. 이때, 카세트의 세정과 건조는 별도의 세정챔버내에서 이루어질 수도 있고 동일한 챔버내에서 이루어질 수도 있는데, 이러한 세정장치를 설명하면 다음과 같다.
도 4a 및 도 4b는 세정기와 건조기가 별도로 이루어지는 본 발명에 따른 카 세트 세정장치를 나타내는 도면으로, 도 4a는 세정기를 나타내는 도면이고 도 4b는 건조기를 나타내는 도면이다.
도 4a에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 카세트세정장치의 카세트세정기(150)는 세정챔버(160)와, 상기 세정챔버(160) 내부의 상부에 구비되어 카세트(130)에 세정액을 분사하는 노즐(162)과, 상기 노즐을 구동하는 구동 실린더(164), 상기 세정챔버(160) 내부 하부에 구비되어 카세트(130)가 놓이며 세정되는 카세트(130)를 회전시키는 테이블(166)로 구성된다. 이때, 세정되는 카세트(130)는 스토퍼(142)가 아래로 향한 상태, 즉 기판이 수납되는 입구(139)가 위를 향한 상태로 세정챔버(160) 내에 유입되지만, 입구(139)가 아래를 향한 상태로 세정챔버(160)내에 유입될 수도 있을 것이다. 상기 세정기의 테이블(166)은 카세트(130)의 스토퍼(142) 부분과 체결되어, 상기 테이블(166)이 회전함에 따라 상기 카세트(130)가 회전하게 된다.
상기 노즐(162)은 공급관(161)을 통해 순수(deionized water)와 같은 세정액을 공급하는 외부의 세정액 공급부(도면표시하지 않음)에 연결되어 세정액이 공급됨에 따라 상기 카세트(130)에 세정액을 분사함으로써 카세트(130)를 세정하게 된다.
상기와 같이, 카세트세정기(150)에서 세정액에 의해 세정된 카세트(130)는 도 4b에 도시된 카세트건조기(170)에 의해 건조된다.
도 4b에 도시된 바와 같이, 카세트건조기(170)는 건조챔버(180)와, 상기 건조챔버(180)의 하부에 배치되어 카세트(130)가 놓이는 테이블(181)과, 상기 챔 버(180)에 설치되어 외부로부터 고온의 건조한 열풍(Clean Dry Air)이 유입되는 복수의 유입구(182a,182b,182c)와, 상기 챔버(180)에 형성되어 내부의 열풍을 외부로 유출하는 유출구(183)로 이루어진다.
세정챔버(160)와 마찬가지로 상기 테이블(181)에 놓이는 카세트(130)는 기판이 수납되는 입구가 하부를 향한 상태로 상기 건조챔버(180) 내부로 로딩될 수도 있고 입구가 상부를 향한 상태로 로딩될 수도 있을 것이다. 또한, 상기 카세트(130)가 놓이는 테이블(161)은 고정될 수도 있지만 건조의 효율을 위해 회전할 수도 있을 것이다.
상기 유입구(182)는 외부의 열풍공급부(도면표시않음)와 연결되어 상기 열풍공급부로부터 고온의 건조한 열풍을 상기 건조챔버(180)내로 유입시킨다. 도 4b에 도시된 바와 같이, 상기 유입구(18)는 건조챔버(180)의 상부 및 하부에 복수개 형성된다. 도 4b에서는 비록 상기 유입구(182)가 3개 형성되어 있지만 본 발명의 건조챔버(180)에 단지 3개의 유입구만이 형성되는 것은 아니라, 2개의 유입구가 형성될 수도 있고 4개 이상의 유입구가 형성될 수도 있을 것이다.
유입구(182)를 복수개 형성하는 것은 건조챔버(180)로 유입되는 열풍을 와류로 만들기 위한 것이다. 통상적으로 와류는 유체의 소용돌이 현상으로서, 유체의 유속차에 의해 발송하게 된다. 건조챔버(180)에 복수개의 유입구가 형성됨에 따라 유입되는 열풍이 건조챔버(180) 내에서 서로 충돌하여 유속차가 발생하며, 이 유속차에 의해 와류가 발생하게 된다. 와류는 소용돌이현상이기 때문에, 챔버내에서 다양한 방향으로의 열풍의 흐름을 만들어 낸다. 다시 말해서, 열풍이 하나의 방향으 로 흐르는 것이 아니라 다양한 방향으로 흐르기 때문에, 카세트(130)의 프레임이나 선반, 플레이트의 한쪽만이 상기 열풍에 노출되는 것이 아니라 여러 면이 상기 열풍에 노출되어 건조효율이 향상되는 것이다. 또한, 소용돌이현상에 의해 열풍이 유입구(182)로부터 유출구(184)로의 정해진 경로를 따라 흐르는 것이 아니라, 열풍이 건조챔버(180) 내에서 다양한 경로를 따라 흐르게 된다. 따라서, 건조챔버(180)의 중앙영역 뿐만 아니라 모서리영역을 포함한 전체 영역에 열풍이 골고르 흐르게 되어, 건조챔버(180) 전체에 걸쳐 균일한 온도를 유지할 수 있게 된다.
상기 유입구(182)의 갯수는 상기 건조챔버(180)의 크기와 형태 및 건조되는 카세트(130)의 형태, 배출구(184)에 따라 다르게 형성될 것이다. 유입구(182)의 갯수가 달라진다는 것은 건조챔버(180) 내에서 형성되는 와류의 숫자나 형태가 다르게 된다는 것을 의미하며, 이것은 건조챔버(180) 내에서 흐르는 열풍의 경로가 달라진다는 것을 의미한다. 따라서, 가장 효율적인 건조가 이루어질 수 있는 와류가 형성되도록 유입구(182)의 숫자와 위치 및 배출구(184)의 위치를 설계해야만 한다. 건조챔버(180) 내에 형성되는 와류는 유입구(182)를 통해 유입되는 열풍의 유입방향에 따라 달라질 수 있다. 따라서, 유입구(182)의 방향을 조절함으로써 건조챔버(180)내의 와류를 제어할 수 있게 된다.
한편, 상기 건조챔버(180)에는 복수의 온도센서(190a,190b,190c)가 설치되어 있다. 온도센서(190a,190b,190c)는 해당 영역의 온도를 측정하여 열풍의 와류에 의한 건조챔버(180)내의 온도를 측정한다.
상기 온도센서(190a,190b,190c)에서 측정된 온도느 제어부로 입력된다. 제어 부는 상기 온도센서(190a,190b,190c)에서 측정된 온도에 기초하여 건조챔버(180)로 유입되는 열풍의 유량을 제어함으로써 건조챔버(180)내에 와류를 형성하여 건조챔버(180) 내의 전체 영역의 온도를 설정된 온도로 유지하도록 한다.
도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제어부(190)는 온도센서(190a,190b,190c)에서 측정된 온도가 입력되어 해당 영역의 온도를 검출하는 온도검출부(192)와, 상기 검출된 온도를 설정된 온도와 비교하는 온도비교부(194)와, 상기 온도비교부(194)의 온도비교결과 각 영역의 온도가 설정된 온도와 다를 경우 각 영역의 설정된 온도와 검출된 온도의 차이를 산출하는 온도차산출부(196)와, 상기 온도차산출부(196)에서 산출된 각 영역의 온도차이에 기초하여 유입구(182)의 유량계를 제어하여 건조챔버(180)에 유입되는 열풍의 유량을 조절하는 온도조절부(198)로 이루어진다.
온도센서(190a,190b,190c)는 건조챔버(180) 내에 복수개 영역에 설치되어 건조챔버(180) 전체의 온도를 측정한다. 특히, 상기 온도센서(190a,190b,190c)는 건조챔버(180)의 구석영역에 형성되어 각 영역의 온도를 측정한다.
건조챔버(180)내에서 카세트(130)을 신속하게 건조시키기 위해서는 전체 건조챔버(180)의 온도가 균일해야만 하며, 이를 위해 건조챔버(180)내에 와류를 형성하여 열풍이 건조챔버(180)의 전체 영역에 균일하게 도달되도록 해야만 한다. 따라서, 상기 온도센서(190a,190b,190c)에 의해 측정된 온도가 설정된 온도와 다르고 온도센서(190a,190b,190c)가 설치된 영역이 설정된 온도와 다르다는 것은 건조챔버(180) 내에 원하는 형태와 숫자의 와류가 형성되지 않는다는 것을 의미한다.
온도차산출부(196)에서는 복수의 온도센서(190a,190b,190c)에 측정된 온도를 설정된 온도와 비교함으로써 건조챔버(180) 내에서의 온도편차를 산출한다. 상기 온도차산출부(196)에서는 온도차이를 산출함으로써 건조챔버(180) 내부의 전체 온도편차를 산출하는 것이다.
온도조절부(198)에서는 건조챔버(180) 내부의 온도가 설정된 온도와 다를 경우 또는 건조챔버(180) 내부의 온도에 위치에 따른 편차가 발생하는 경우, 이를 제어하여 항상 설정된 온도를 유지하도록 한다. 즉, 온도조절부(198)는 건조챔버(180)에 공급되는 열풍의 유량을 조절함으로써 건조챔버(180) 내에 원하는 와류를 형성함으로써 내부의 온도를 조절하는 것이다. 건조챔버(180) 내부의 온도에 편차가 발생한다는 것은 복수의 유입구(182)를 통해 유입되는 열풍에 의한 와류의 형성이 잘못되어 열풍이 건조챔버(180) 전체에 균일하게 퍼지지 않기 때문이다. 따라서, 온도조절부(198)는 온도센서(190a,190b,190c)에 의해 측정된 각 영역 사이의 온도편차에 기초하여 각각의 유입구(182)를 통해 공급되는 열풍의 유량을 조절함으로써 건조챔버(180) 내에 와류를 형성함으로써 카세트(130)를 건조할 수 있게 된다. 이때, 상기 온도조절부(198)는 상기 유입구(182)의 각도를 변경하여 열풍의 유입 경로를 조절하므로써 와류를 형성할 수도 있을 것이다.
상기와 같이, 건조챔버(180)의 복수의 영역을 측정하여 열풍의 유량을 조절하여 와류를 형성함으로써 열풍이 건조챔버(180)의 전체를 흐르게 할 수 있게 되어, 건조챔버(180)내의 온도를 균일하게 유지할 수 있게 된다.
이와 같이, 본 발명에서는 건조챔버(180)내에 와류를 형성하여 건조챔 버(180) 전체에 걸쳐 열풍을 골고루 흐르게 함으로써 건조온도를 낮추고 건조시간을 단축할 수 있게 된다.
종래 세정장치에서 카세트(130)를 건조하기 위해 건조챔버(180)에 공급되는 열풍의 온도가 60∼70도인 경우 약 50∼60분 정도의 건조시간이 필요한 반면에, 본 발명에서는 열풍의 온도가 60∼70도인 경우 약 35∼45분의 건조시간이 필요하게 되고 열풍의 온도가 40∼50도인 경우 약 50∼60분의 건조시간이 필요하게 된다. 즉, 종래 세정장치와 동일한 온도에서는 건조시간을 단축할 수 있고 동일한 건조시간에서는 온도를 낮출 수 있게 되는 것이다.
이와 같이, 본 발명에서는 건조온도를 낮추거나 건조시간을 단축함으로써 카세트(130)가 고온의 환경에 노출되는 것을 최대한으로 감소시킬 수 있게 되므로, 고온의 환경에 의한 카세트의 변경 등을 효과적으로 방지할 수 있게 되는 것이다.
한편, 본 발명이 상술한 설명에만 한정되는 것은 아니라, 본 발명의 세정장치는 카세트의 세정장치에만 한정되는 것이 아니라 다른 물품을 세정하는데 적용될 수 있을 것이다.
또한, 상세한 설명에서는 세정장치의 세정기와 건조기가 각각 별도의 챔버로 구성되어 있지만, 상기 세정기와 건조기가 동일한 챔버로 구성될 수도 있을 것이다. 즉, 하나의 챔버에 세정기와 건조기가 형성될 수도 있는 것이다. 이 경우, 상기 챔버 내에는 세정액을 분사하는 노즐이 구비될 뿐만 열풍이 공급되는 복수의 유입구와 열풍이 배출되는 유출구가 형성될 것이다. 이 경우에도 상기 노즐로 분사된 세정액에 의한 세정이나 열풍의 와류에 의한 건조는 도 4 및 도 5에 도시된 세정챔 버와 건조챔버와 동일하게 이루어질 것이다.
상술한 바와 같이, 본 발명에서는 복수의 유입구를 통해 열풍을 유입하여 건조챔버내에 와류를 형성함으로써 다음과 같은 효과를 얻을 수 있게 된다.
첫째, 와류에 의해 건조챔버 내에 열풍이 다양한 경로로 흐르게 함으로써 신속한 카세트의 건조가 가능하게 된다.
둘째, 와류에 의해 건조챔버 내에 열풍이 다양한 경로로 흐르게 함으로써 열풍의 온도를 낮출 수 있게 된다.
셋째, 열풍에 노출되는 카세트의 노출시간을 감소시킴에 따라 고온에 의한 카세트의 변형을 방지할 수 있게 된다.

Claims (15)

  1. 기판을 수납하는 카세트를 세정하는 세정기; 및
    세정된 카세트가 위치하며, 열풍에 의한 와류를 형성하여 상기 카세트를 세정하는 건조기로 구성된 카세트 세정장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 세정기는,
    세정챔버;
    상기 세정챔버상부에 구비되어 카세트에 세정액을 분사하는 노즐; 및
    상기 세정챔버 하부에 구비되어 카세트가 놓이는 테이블로 구성된 카세트 세정장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 테이블은 회전하는 것을 특징으로 카세트 세정장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 세정액은 순수를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 세정장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 건조기는,
    세정된 카세트가 위치하는 건조챔버;
    상기 건조챔버에 형성되어 열풍을 유입함에 따라 건조챔버내에 와류를 형성 하는 복수의 유입구; 및
    상기 건조챔버에 형성되어 건조챔버내의 열풍을 배출하는 배출구로 이루어진 것을 특징으로 하는 카세트 세정장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 열풍의 온도는 60∼70도인 것을 특징으로 하는 카세트 세정장치.
  7. 제6항에 있어서, 카세트는 열풍에 35∼45분 건조되는 것을 특징으로 하는 카세트 건조장치.
  8. 제5항에 있어서, 상기 열풍의 온도는 40∼50도인 것을 특징으로 하는 카세트 세정장치.
  9. 제8항에 있어서, 카세트는 열풍에 50∼60분 건조되는 것을 특징으로 하는 카세트 건조장치.
  10. 제5항에 있어서, 상기 건조기는 카세트가 위치한 테이블을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 세정장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 테이블을 회전하는 것을 특징으로 하는 카세트 세정 장치.
  12. 제5항에 있어서, 상기 건조기는 건조챔버에 설치되어 건조챔버 내부의 온도를 검출하는 복수의 온도센서를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 세정장치.
  13. 제1항에 있어서, 건조챔버에서 측정된 온도를 기초로 건조챔버로 공급되는 열풍의 유량을 조절하여 건조챔버 전체의 온도를 균일하게 조절하는 제어부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 세정장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 제어부는,
    건조챔버의 측정된 온도를 기초로 건조챔버 전체 영역의 온도를 검출하는 온도검출부;
    상기 온도검출부에서 검출된 온도를 설정된 온도와 비교하는 비교부
    상기 검출된 온도와 설정된 온도에 차이가 있을 경우, 챔버 내의 전체 영역의 온도편차를 산출하는 온도차산출부; 및
    상기 온도차산출부에서 산출된 온도차를 기초로 건조챔버로 유입되는 열풍의 유량을 제어하여 온도를 조절하는 온도조절부로 이루어진 것을 특징으로 하는 카세트 세정장치.
  15. 카세트가 위치하는 챔버;
    상기 챔버내에 설치되어 상기 카세트에 세정액을 분사하는 노즐;
    상기 챔버에 형성되어 열풍을 유입함에 따라 건조챔버내에 와류를 형성하는 복수의 유입구; 및
    상기 건조챔버에 형성되어 건조챔버내의 열풍을 배출하는 배출구로 구성된 카세트 세정장치.
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