KR20080057803A - Apparatus and method for transfering glass substrate - Google Patents

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adsorption
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이일규
황보준도
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엘지전자 주식회사
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Abstract

An apparatus and a method for conveying a glass substrate are provided to sense adsorption in an adsorption sensor when the adsorption between the glass substrate and an air floating unit is generated and stop a conveyance chuck unit. An air floating unit(130) floats a glass substrate by air pressure. A conveyance chuck unit(200) grasps and conveys the glass substrate, and has an adsorption sensor capable of sensing that the glass substrate is adsorbed to the air floating unit. A pressure buffering part is composed in the conveyance chuck unit. When the glass substrate is adsorbed to the air floating unit, the pressure buffering part offsets pressure to the glass substrate.

Description

글래스 기판 이송 장치 및 방법 { Apparatus and method for transfering glass substrate } Glass substrate transfer apparatus and method {Apparatus and method for transfering glass substrate}

도 1은 종래 기술에 따라 에어(Air) 부상 유니트 상에서 글래스 기판을 이송하는 방법을 설명하기 위한 개략적인 평면도1 is a schematic plan view for explaining a method of transferring a glass substrate on an air floating unit according to the prior art

도 2는 종래 기술에 따라 에어 부상 유니트 상에 글래스 기판이 흡착되었을 때, 글래스 기판이 파손되는 것을 설명하기 위한 개략적인 평면도Figure 2 is a schematic plan view for explaining that the glass substrate is broken when the glass substrate is adsorbed on the air floating unit according to the prior art

도 3은 종래 기술에 따라 척 유니트 없이 에어 부상으로 글래스를 이송하는 방법을 설명하기 위한 개략적인 단면도Figure 3 is a schematic cross-sectional view for explaining a method for transferring the glass with air levitation without the chuck unit according to the prior art

도 4는 본 발명에 따른 글래스 기판 이송 장치의 개략적인 구성을 설명하기 위한 모식적인 평면도4 is a schematic plan view for explaining a schematic configuration of a glass substrate transfer apparatus according to the present invention.

도 5는 본 발명에 따른 글래스 기판 이송 장치에서 에어 부상 유니트 상에 글래스 기판이 흡착되었을 때, 글래스 기판이 파손되지 않는 것을 설명하기 위한 모식적인 평면도5 is a schematic plan view for explaining that the glass substrate is not broken when the glass substrate is adsorbed on the air floating unit in the glass substrate transfer apparatus according to the present invention.

도 6a 및 6b는 본 발명에 따른 이송 척 유니트가 글래스 기판 흡착시 구동되는 동작을 설명하기 위한 개략적인 일부 사시도6a and 6b are schematic partial perspective views for explaining the operation that the transfer chuck unit according to the present invention is driven when the glass substrate is attracted

도 7a 및 7b는 본 발명에 따른 이송 척 유니트가 글래스 기판 흡착시 구동되 는 동작을 설명하기 위한 개략적인 평면도7A and 7B are schematic plan views for explaining an operation in which the transfer chuck unit according to the present invention is driven when the glass substrate is adsorbed;

도 8a 및 8b는 본 발명에 따라 글래스 기판의 흡착을 감지하는 센서의 동작을 설명하기 위한 개략적인 단면도8a and 8b are schematic cross-sectional views for explaining the operation of the sensor for detecting the adsorption of the glass substrate in accordance with the present invention

도 9는 본 발명에 따라 글래스 기판 이송 방법을 도시한 플로우챠트9 is a flowchart illustrating a glass substrate transfer method according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

100 : 글래스 기판 130 : 에어 부상 유니트100: glass substrate 130: air floating unit

200 : 이송 척 유니트 210,230 : 압력 완충부200: feed chuck unit 210,230: pressure buffer

220 : 지지부 240 : 감지편220: support portion 240: sensing piece

250 : 흡착 감지부 251 : 발광부250: adsorption detection unit 251: light emitting unit

252 : 수광부252: light receiver

본 발명은 글래스 기판 이송 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 이송되는 글래스 기판이 흡착시, 글래스 기판의 파손을 방지할 수 있는 글래스 기판 이송 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a glass substrate transfer apparatus and method, and more particularly, to a glass substrate transfer apparatus and method that can prevent damage to the glass substrate when the glass substrate to be transferred is adsorbed.

최근, 디스플레이 산업의 급성장에 따라 액정 표시 장치와 플라즈마 디스플레이 패널 등의 평판 디스플레이 산업의 규모가 꾸준히 증가하고 있다. Recently, with the rapid growth of the display industry, the size of the flat panel display industry such as liquid crystal display devices and plasma display panels has been steadily increasing.

액정 표시 장치는 글래스 기판에 패턴을 하여 제품을 만드는 공정을 수행하며, 공정상의 정밀함을 더하기 위하여 공압을 이용하여 글래스 기판을 공중에 부양시키는 에어 부상시스템 역시 많은 발전을 이루어 왔다.The liquid crystal display device performs a process of making a product by patterning a glass substrate, and in order to add process precision, an air flotation system for supporting a glass substrate in the air by using pneumatic pressure has also been developed.

에어 부상시스템은 많은 공정에서 응용되고 있으나, 응용과정에서 기술적 난제들이 따르며, 특히 에어 부상 유니트와 글래스 기판 하면이 흡착되어 글래스 기판이 파손되는 문제는 공정상의 손실을 초래한다. The air flotation system has been applied in many processes, but technical difficulties are encountered in the application process, and in particular, the problem that the glass substrate breaks due to the adsorption of the air flotation unit and the bottom surface of the glass substrate causes a process loss.

또한, 에어 부상 유니트와 글래스 기판 하면의 흡착은 공압이 갑자기 떨어지는 등의 외부 공압 조건의 불안정성에 따라 불규칙적으로 발생할 수 있는 문제로서 에어 부상시스템을 잘 구성하더라도 공압의 불안정성을 완벽히 해결할 수는 없다.In addition, the adsorption of the air floating unit and the lower surface of the glass substrate may occur irregularly according to the instability of the external pneumatic condition such as sudden drop in air pressure, and even if the air floating system is well configured, the air instability may not be completely solved.

도 1은 종래 기술에 따라 에어(Air) 부상 유니트 상에서 글래스 기판을 이송하는 방법을 설명하기 위한 개략적인 평면도로서, 복수개의 에어 토출구(11)가 형성되어 있는 에어 부상 유니트(10) 상부에 글래스 기판(30)이 놓여지고, 상기 에어 부상 유니트(10)의 에어 토출구(11)로 토출되는 에어의 공압에 의해 상기 글래스 기판(30)은 부상된다.1 is a schematic plan view for explaining a method of transferring a glass substrate on an air floating unit according to the prior art, and a glass substrate on an air floating unit 10 having a plurality of air discharge ports 11 formed thereon. 30 is placed, and the glass substrate 30 is floated by the pneumatic pressure of the air discharged to the air discharge port 11 of the air floating unit 10.

그리고, 상기 글래스 기판(30)의 양단을 이송 척유니트(21)가 잡고 일방향으로 이송한다.Then, both ends of the glass substrate 30 are held by the transfer chuck unit 21 and transferred in one direction.

도 2는 종래 기술에 따라 에어 부상 유니트 상에 글래스 기판이 흡착되었을 때, 글래스 기판이 파손되는 것을 설명하기 위한 개략적인 평면도로서, 전술된 바와 같이, 이송 척 유니트(21)는 일방향으로 이동하며, 에어 부상 유니트(10)는 글 래스 기판(30) 하면을 공압으로 지지하고 있다. FIG. 2 is a schematic plan view for explaining that the glass substrate is broken when the glass substrate is adsorbed on the air floating unit according to the prior art. As described above, the transfer chuck unit 21 moves in one direction, The air floating unit 10 supports the bottom surface of the glass substrate 30 by pneumatic pressure.

이러한, 에어 부상 유니트(10) 상부에서 이송 척 유니트(21)에 의해 글래스 기판(30)이 이송되는 중, 외부 조건 등의 변화에 의한 공압의 불안정성으로 인하여 글래스 기판(30)이 에어 부상 유니트(10)에 흡착된다.While the glass substrate 30 is being transferred by the transfer chuck unit 21 from the upper portion of the air floating unit 10, the glass substrate 30 may be moved to the air floating unit due to instability of the air pressure due to a change in external conditions. 10) is adsorbed.

여기서, 상기 에어 부상 유니트(10)에 글래스 기판(30)이 흡착되는 경우에도, 이송 척 유니트(21)는 이송 명령이 해제가 되지 않아, 계속적으로 이송 명령을 수행한다.Here, even when the glass substrate 30 is adsorbed to the air floating unit 10, the transfer chuck unit 21 does not release the transfer command and continuously performs the transfer command.

그러므로, 상기 이송 척 유니트(21)의 이송하려는 힘에 의해, 상기 에어 부상 유니트(10)에 흡착되어 정지상태에 있는 글래스 기판(30)은 압력을 받아서, 파손되는 현상이 발생한다. Therefore, the glass substrate 30, which is attracted to the air floating unit 10 and is in a stationary state by the force to be conveyed by the transfer chuck unit 21, is subjected to pressure, resulting in a phenomenon of breakage.

도 3은 종래 기술에 따라 척 유니트 없이 에어 부상으로 글래스를 이송하는 방법을 설명하기 위한 개략적인 단면도로서, 복수개의 에어 토출구들(12)이 형성되어 있는 에어 부상 유니트(10) 상부에 글래스 기판(30)이 놓여지고, 상기 에어 부상 유니트(10)의 에어 토출구들(11)로 토출되는 에어에 의해 상기 글래스 기판(30)이 이송된다.3 is a schematic cross-sectional view for describing a method of transferring glass by air floating without a chuck unit according to the related art, and includes a glass substrate on an air floating unit 10 having a plurality of air discharge holes 12 formed therein. 30 is placed, and the glass substrate 30 is transferred by the air discharged to the air discharge ports 11 of the air floating unit 10.

이때, 상기 에어 토출구들(11)은 경사져 있고, 경사진 에어 토출구들(11)을 통하여 에어가 토출된다.At this time, the air outlets 11 are inclined, and air is discharged through the inclined air outlets 11.

그러므로, 상기 에어 부상 유니트(10)에 놓인 글래스 기판(30)은 상기 경사진 에어 토출구들(11)에서 토출된 에어에 의해 부상되고, 에어의 토출되는 방향(도 3의 화살표 방향)으로 이송된다.Therefore, the glass substrate 30 placed in the air floating unit 10 is floated by the air discharged from the inclined air discharge ports 11 and is transferred in the direction in which air is discharged (arrow direction in FIG. 3). .

즉, 이 방법은 에어 부상 유니트(10)의 에어 토출구들(11)를 진행방향으로 비스듬히 기울여 줌으로써, 글래스 기판(30)이 별도의 이송 척 유니트 없이 에어 부상 유니트(10) 상부를 부상하여 일방향으로 이송되는 것이다. That is, the method tilts the air discharge ports 11 of the air floating unit 10 in the traveling direction at an angle, so that the glass substrate 30 floats the upper portion of the air floating unit 10 without a separate transfer chuck unit in one direction. To be transported.

그러나, 이런 종래 기술의 방법은 부가적인 힘의 매개체가 없이, 상기 글래스 기판의 이송을 에어에 의해서만 의존함으로써, 에어의 난류 유동에 의한 예측할 수 없는 힘의 분배 때문에, 일방향으로 정확히 글래스 기판을 이송하기가 어려운 문제점이 있다. However, this prior art method transfers the glass substrate accurately in one direction due to the unpredictable distribution of force due to turbulent flow of air, by relying solely on the conveyance of the glass substrate without any additional medium of force. There is a difficult problem.

또한, 글래스 기판의 이송속도가 외부 공압 조건의 변화에 민감하게 반응하여 일정한 속도를 보장받을 수 없는 문제점이 있다.In addition, the transfer speed of the glass substrate is sensitive to the change in the external pneumatic condition, there is a problem that can not be guaranteed a constant speed.

본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 글래스 기판과 에어 부상 유니트간 흡착이 발생할 때, 흡착 감지 센서에서 흡착을 감지하고, 이송 척 유니트를 정지시킴으로써, 글래스 기판의 파손을 방지할 수 있는 글래스 기판 이송 장치 및 방법을 제공하는 데 목적이 있다.The present invention, in order to solve the above problems, when the adsorption occurs between the glass substrate and the air floating unit, by the adsorption detection sensor to detect the adsorption, stop the transfer chuck unit, it is possible to prevent damage to the glass substrate It is an object to provide a glass substrate transfer apparatus and method.

본 발명의 다른 목적은 글래스 기판이 흡착될 때, 이송 척 유니트의 이송력으로 글래스 기판에 인가되는 압력을, 압력 완충부로 상쇄하여 글래스 기판의 파손 을 방지할 수 있는 글래스 기판 이송 장치 및 방법을 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a glass substrate transfer apparatus and method capable of preventing breakage of the glass substrate by offsetting the pressure applied to the glass substrate by the transfer force of the transfer chuck unit when the glass substrate is adsorbed by a pressure buffer. There is.

상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 양태(樣態)는, A preferred aspect for achieving the above objects of the present invention,

글래스 기판을 공압으로 부상시키는 에어 부상 유니트와; An air floating unit which floats the glass substrate by pneumatic pressure;

상기 글래스 기판의 양단을 잡고 이송할 수 있으며, 상기 글래스 기판이 에어 부상 유니트에 흡착되는 것을 감지할 수 있는 흡착 감지 센서가 구비된 이송 척 유니트로 구성된 글래스 기판 이송 장치가 제공된다.There is provided a glass substrate transfer apparatus comprising a transfer chuck unit having a suction sensing sensor capable of holding and transporting both ends of the glass substrate and detecting the glass substrate being adsorbed to the air floating unit.

상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 다른 양태(樣態)는, Another preferred aspect for achieving the above object of the present invention,

글래스 기판을 공압으로 부상시키는 에어 부상 유니트 상부에 글래스 기판을 올려놓는 단계와;Placing the glass substrate on top of the air flotation unit that floats the glass substrate pneumatically;

상기 글래스 기판의 양단을 이송 척 유니트로 잡고 이송하는 단계와;Holding both ends of the glass substrate with a transfer chuck unit and transferring the glass substrate;

상기 글래스 기판이 에어 부상 유니트에 흡착되었는가 여부를 판단하는 단계와;Determining whether the glass substrate is adsorbed to the air floating unit;

상기 글래스 기판이 에어 부상 유니트에 흡착되었으면, 이송 척 유니트의 이송을 중단하는 단계를 포함하여 구성된 글래스 기판 이송 방법이 제공된다.If the glass substrate is adsorbed to the air floating unit, there is provided a glass substrate transfer method comprising the step of stopping the transfer of the transfer chuck unit.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명에 따른 글래스 기판 이송 장치의 개략적인 구성을 설명하기 위한 모식적인 평면도로서, 글래스 기판(130)을 공압으로 부상시키는 에어 부상 유니트(100)와; 상기 글래스 기판(130)을 잡고 이송할 수 있으며, 상기 글래스 기판(130)이 에어 부상 유니트(100)에 흡착되는 것을 감지할 수 있는 흡착 감지 센서가 구비된 이송 척 유니트(200)로 구성된다.4 is a schematic plan view for explaining a schematic configuration of a glass substrate transfer apparatus according to the present invention, including: an air floating unit 100 for floating the glass substrate 130 at pneumatic pressure; The glass substrate 130 may be grabbed and transported, and the glass substrate 130 may include a transport chuck unit 200 having an adsorption detection sensor that may sense that the glass substrate 130 is adsorbed by the air floating unit 100.

여기서, 상기 에어 부상 유니트(100)는 복수개의 에어 토출구들(110)이 형성되어 있고, 이 복수개의 에어 토출구들(110)에서 에어가 토출되어 상기 글래스 기판(130)을 부상시킨다.Here, the air floating unit 100 has a plurality of air discharge ports 110 formed therein, and air is discharged from the plurality of air discharge holes 110 to float the glass substrate 130.

본 발명은 상기 이송 척 유니트(200)에 흡착 감지 센서를 설치하여, 상기 글래스 기판(130)이 상기 에어 부상 유니트(100)에 흡착되는 것을 감지할 수 있다.The present invention may install an adsorption detection sensor on the transfer chuck unit 200 to detect that the glass substrate 130 is adsorbed on the air floating unit 100.

그러므로, 상기 에어 부상 유니트(200) 상부로 부상하여 일방향으로 이송되는 상기 글래스 기판(130)과 상기 에어 부상 유니트(200) 간의 흡착이 발생할 때, 그 흡착을 흡착 감지 센서에서 순간적으로 감지하고, 상기 이송 척 유니트(200)를 정지시킴으로서 상기 글래스 기판(130)의 파손을 방지할 수 있는 것이다.Therefore, when adsorption occurs between the glass substrate 130 and the air flotation unit 200 which are lifted to the air floating unit 200 and transported in one direction, the adsorption is momentarily sensed by the adsorption detection sensor, and By stopping the transfer chuck unit 200, it is possible to prevent the glass substrate 130 from being damaged.

한편, 상기 글래스 기판과 에어 부상 유니트간의 흡착되었는데도 불구하고, 이송 명령을 받은 이송 척 유니트는 계속 이송되려고 하고, 이 이송 척 유니트의 이송되려는 힘은 흡착으로 정지상태에 놓여 있는 글래스 기판에 압력을 인가하게 된다.On the other hand, despite the adsorption between the glass substrate and the air floating unit, the transfer chuck unit that has received the transfer command continues to be transferred, and the force to be conveyed by the transfer chuck unit applies pressure to the glass substrate which is stopped by adsorption. Done.

이렇게, 글래스 기판에 인가되는 압력을, 본 발명은 이송 척 유니트에 압력 완충부를 설치하여 상쇄시키는 것이다.In this way, the pressure applied to the glass substrate is offset by providing a pressure buffer in the transfer chuck unit.

이때, 상기 압력 완충부(210)는 도 4에 도시된 바와 같이, 이송 척 유니트(200)의 후단부에 형성되는 것이 바람직하다.At this time, the pressure buffer 210 is preferably formed in the rear end of the transfer chuck unit 200, as shown in FIG.

도 5는 본 발명에 따른 글래스 기판 이송 장치에서 에어 부상 유니트 상에 글래스 기판이 흡착되었을 때, 글래스 기판이 파손되지 않는 것을 설명하기 위한 모식적인 평면도로서, 글래스 기판(130)이 에어 부상 유니트(100) 상부에서 이송 척 유니트(200)에 의해 이송되는 중, 상기 글래스 기판(130)이 에어 부상 유니트(100)에 흡착되면, 흡착 감지 센서는 흡착을 감지하고, 이송 척 유니트(200)는 이송을 중단한다. 5 is a schematic plan view for explaining that the glass substrate is not damaged when the glass substrate is adsorbed on the air floating unit in the glass substrate transfer apparatus according to the present invention, and the glass substrate 130 is the air floating unit 100. When the glass substrate 130 is adsorbed to the air floating unit 100, the adsorption detection sensor detects adsorption while the glass chuck unit 200 is transported by the transport chuck unit 200. Stop.

이때, 전술된 바와 같이, 상기 이송 척 유니트(200)는 이송 신호를 계속 받고 있는 상태이므로, 이송 상태의 상기 이송 척 유니트(200)는 정지 상태의 상기 글래스 기판(130)에 압력을 인가하게 된다.In this case, as described above, since the transfer chuck unit 200 is continuously receiving the transfer signal, the transfer chuck unit 200 in the transfer state applies pressure to the glass substrate 130 in the stopped state. .

이런 압력을 상기 이송 척 유니트(200)에 설치된 압력 완충부(210)에서 상쇄됨으로써, 상기 글래스 기판(130)이 흡착되어 정지상태에 있더라도, 상기 글래스 기판(130)은 파손되지 않는다.This pressure is canceled by the pressure buffer 210 installed in the transfer chuck unit 200, so that the glass substrate 130 is not damaged even when the glass substrate 130 is adsorbed and stopped.

상기 압력 완충부(210)는 탄성력의 팽창 또는 수축에 의해 압력이 상쇄되는 것이다. The pressure buffer 210 is to cancel the pressure by the expansion or contraction of the elastic force.

그리고, 상기 글래스 기판에 인가되는 압력을 상쇄시키기 위하여, 상기 압력 완충부(210)의 탄성력 변화는 자유롭게 설계할 수 있는 것이며, 또한, 상기 압력 완충부(210)를 이송 척 유니트에 설치하는 위치도 자유롭게 설계 변경할 수 있는 것이다.In addition, in order to cancel the pressure applied to the glass substrate, the change in the elastic force of the pressure buffer unit 210 can be freely designed, and also the position at which the pressure buffer unit 210 is installed in the transfer chuck unit. You can freely change the design.

도 6a 및 6b는 본 발명에 따른 이송 척 유니트가 글래스 기판 흡착시 구동되는 동작을 설명하기 위한 개략적인 일부 사시도로서, 이송 척 유니트에는 글래스 기판의 양단을 지지하는 한 쌍의 지지부들이 구비되어 있다.6A and 6B are schematic partial perspective views illustrating an operation of driving the transfer chuck unit according to the present invention when the glass substrate is adsorbed. The transfer chuck unit is provided with a pair of supports for supporting both ends of the glass substrate.

이 한 쌍의 지지부들 중, 글래스 기판이 이송되는 방향과 반대 방향에 있는 지지부(220)에 도 6a와 같은 압력 완충부(230)가 연결되어 설치되어 있다.Among the pair of supports, a pressure buffer 230 as shown in FIG. 6A is connected to the support 220 in a direction opposite to the direction in which the glass substrate is transferred.

상기 지지부(220)에는 글래스 기판(130)이 올려져 지지되어 있는 것이다.The glass substrate 130 is mounted on the support part 220 to be supported.

그리고, 상기 지지부(220)에는 감지편(240)이 연결되어 있고, 상기 감지편(240)이 삽입되어 흡착을 감지할 수 있는 흡착 감지부(250)가 이송 척 유니트에 장착되어 있다.In addition, the sensing unit 240 is connected to the support unit 220, and the sensing unit 240 is inserted into the transfer chuck unit to detect the adsorption.

이 감지편(240)과 흡착 감지부(250)는 전술된 흡착 감지 센서의 구성요소이다. The sensing piece 240 and the suction detection unit 250 are components of the above-described adsorption detection sensor.

즉, 흡착 감지 센서는 상기 감지편(240)과 상기 흡착 감지부(250)로 이루어진 말굽센서인 것이 바람직하다.That is, the adsorption detection sensor is preferably a horseshoe sensor consisting of the detection piece 240 and the adsorption detection unit 250.

도 6b와 같이, 글래스 기판(130)이 에어 부상 유니트에 흡착되었을 때, 상기 글래스 기판(130)은 정지상태이고, 이송 척 유니트는 이송상태이다.As shown in FIG. 6B, when the glass substrate 130 is adsorbed to the air floating unit, the glass substrate 130 is in a stopped state, and the transfer chuck unit is in a conveyed state.

그러므로, 이송 척 유니트의 후단부에 존재하는 지지부(220)에 연결된 압력 완충부(230)는 이송 척 유니트의 이송하려는 힘에 의해, 압축된다.Therefore, the pressure buffer 230 connected to the support 220 existing at the rear end of the transfer chuck unit is compressed by the force to transfer the transfer chuck unit.

즉, 도 6b에 도시된 바와 같이, 상기 압력 완충부(230)가 용수철이 포함된 구조라면, 용수철이 압축되는 것이다.That is, as shown in Figure 6b, if the pressure buffer 230 is a structure containing a spring, the spring is compressed.

따라서, 이송 척 유니트의 이동으로, 상기 압력 완충부(230)가 상기 지지부(220)에 압축되고, 이송 척 유니트에 설치되어 있는 흡착감지부(250)는 상기 지지부(220)에 연결되어 있는 감지편(240)을 삽입된다.Therefore, due to the movement of the transfer chuck unit, the pressure buffer 230 is compressed to the support 220, the adsorption detection unit 250 installed in the transfer chuck unit is detected that is connected to the support 220 Piece 240 is inserted.

결국, 상기 흡착 감지부(250)는 글래스 기판이 에어 부상 유니트에 흡착된 것을 감지할 수 있게 되는 것이고, 상기 지지부(220)에 지지되어 있는 글래스 기판에 전달되는 이송 척 유니트의 압력은 상기 압력 완충부(230)에 의해 상쇄되는 것이다.As a result, the adsorption detection unit 250 is able to detect that the glass substrate is adsorbed to the air floating unit, the pressure of the transfer chuck unit delivered to the glass substrate supported by the support unit 220 is the pressure buffer It is offset by the unit 230.

도 7a 및 7b는 본 발명에 따른 이송 척 유니트가 글래스 기판 흡착시 구동되는 동작을 설명하기 위한 개략적인 평면도로서, 도 7a와 같이, 이송 척 유니트(200)는 글래스 기판(130)을 지지할 수 있는 한 쌍의 지지부들(220,221)이 장착되어 있고, 상기 글래스 기판(130)은 한 쌍의 지지부들(220,221)에 지지되어, 이송 척 유니트(200)에 의해 이송된다.7A and 7B are schematic plan views illustrating an operation of driving the transfer chuck unit according to the present invention when the glass substrate is adsorbed. As shown in FIG. 7A, the transfer chuck unit 200 may support the glass substrate 130. A pair of supports 220 and 221 are mounted, and the glass substrate 130 is supported by the pair of supports 220 and 221 and is transported by the transfer chuck unit 200.

여기서, 도 7a의 화살표 방향으로 상기 글래스 기판(130)이 이송되고 있을 때, 상기 글래스 기판(130)이 에어 부상 유니트에 흡착되면, 도 7b와 같은 상태가 된다.Here, when the glass substrate 130 is transported in the arrow direction of FIG. 7A, when the glass substrate 130 is adsorbed to the air floating unit, the glass substrate 130 is in a state as shown in FIG. 7B.

즉, 상기 글래스 기판(130)이 흡착되더라도, 상기 이송 척 유니트(200)는 이동하려고 한다.That is, even if the glass substrate 130 is adsorbed, the transfer chuck unit 200 tries to move.

이런, 이송 척 유니트(200)의 이동하려는 힘에 의해, 상기 압력 완충부(230)는 상기 지지부(220)에 가압되어, 이송 척 유니트(200)의 이송되는 힘에 의한 압력을 완충시키고, 지지부(220)에 연결된 감지편(240)은 흡착 감지부(250)에 삽입된다.Such, by the force to move the transfer chuck unit 200, the pressure buffer 230 is pressed by the support 220, to buffer the pressure due to the conveying force of the transfer chuck unit 200, the support portion The sensing piece 240 connected to the 220 is inserted into the adsorption sensing unit 250.

그러므로, 흡착 감지 센서는 상기 글래스 기판(130)의 흡착을 감지하게 된다.Therefore, the adsorption detection sensor detects the adsorption of the glass substrate 130.

도 8a 및 8b는 본 발명에 따라 글래스 기판의 흡착을 감지하는 센서의 동작을 설명하기 위한 개략적인 단면도로서, 도 8a와 같이, 감지편(240)이 삽입되어 흡착을 감지할 수 있는 흡착감지부(250)는 발광부(251)와 수광부(252)를 구비하고 있다.8A and 8B are schematic cross-sectional views illustrating the operation of a sensor for detecting adsorption of a glass substrate according to the present invention. As shown in FIG. 8A, an adsorption sensing unit capable of detecting adsorption by inserting a sensing piece 240 is illustrated. 250 includes a light emitting unit 251 and a light receiving unit 252.

이때, 글래스 기판의 흡착으로, 감지편(240)이 흡착감지부(250)에 삽입되면, 도 8b에 도시된 바와 같이, 상기 발광부(251)에서 조사된 광이 상기 감지편(240)으로 차단되어 글래스 기판의 흡착을 감지할 수 있게 된다. At this time, when the sensing piece 240 is inserted into the adsorption detecting unit 250 by adsorption of the glass substrate, as shown in FIG. 8B, the light irradiated from the light emitting unit 251 is directed to the sensing piece 240. It can be blocked to detect the adsorption of the glass substrate.

도 9는 본 발명에 따라 글래스 기판 이송 방법을 도시한 플로우챠트로서, 먼저, 글래스 기판을 공압으로 부상시키는 에어 부상 유니트 상부에 글래스 기판을 올려놓고, 상기 글래스 기판의 양단을 이송 척 유니트로 잡고 이송한다.(S10단계)9 is a flowchart illustrating a glass substrate transfer method according to the present invention. First, a glass substrate is placed on an air floating unit that floats a glass substrate pneumatically, and both ends of the glass substrate are held by a transfer chuck unit. (Step S10)

그 후, 상기 글래스 기판이 에어 부상 유니트에 흡착되었는가 여부를 판단한다.(S20단계)Thereafter, it is determined whether the glass substrate is adsorbed to the air floating unit.

여기서, 상기 흡착 여부는, 전술된 바와 같은 이송 척 유니트에 장착되어 있는 흡착 감지 센서로 상기 글래스 기판이 에어 부상 유니트에 흡착되었는지를 감지하여 판단한다.Here, the adsorption is determined by detecting whether the glass substrate is adsorbed to the air floating unit by the adsorption detection sensor mounted on the transfer chuck unit as described above.

이어서, 상기 S20단계에서, 상기 글래스 기판이 에어 부상 유니트에 흡착되었으면, 이송 척 유니트의 이송을 중단한다.(S30단계)Subsequently, in step S20, when the glass substrate is adsorbed to the air floating unit, the transfer of the transfer chuck unit is stopped.

상기 글래스 기판이 에어 부상 유니트에 흡착된 경우, 이송 척 유니트의 이송력으로 글래스 기판에 인가되는 압력을, 이송 척 유니트에 장착되어 있는 압력 완충부로 상쇄하는 것이 바람직하다.When the glass substrate is adsorbed by the air floating unit, it is preferable to offset the pressure applied to the glass substrate by the transfer force of the transfer chuck unit to the pressure buffer unit mounted on the transfer chuck unit.

그리고, 상기 S20단계에서, 상기 글래스 기판이 에어 부상 유니트에 흡착되지 않았으면, 글래스 기판의 배출을 완료할 수 있게 된다.(S40단계)And, in step S20, if the glass substrate is not adsorbed to the air floating unit, it is possible to complete the discharge of the glass substrate (step S40).

이상 상술한 바와 같이, 본 발명은 에어 부상 유니트 상부로 부상하여 일방향으로 이송되는 글래스 기판과 에어 부상 유니트간의 흡착이 발생할 때, 그 흡착을 흡착 감지 센서에서 순간적으로 감지하고 이송 척 유니트를 정지시킴으로써, 글래스 기판의 파손을 방지할 수 있는 효과가 있다.As described above, in the present invention, when adsorption occurs between the glass substrate and the air floating unit conveyed in one direction by rising above the air floating unit, the adsorption is momentarily sensed by the adsorption detection sensor and the feed chuck unit is stopped. There is an effect that can prevent damage to the glass substrate.

또한, 본 발명은 글래스 기판이 에어 부상 유니트에 흡착될 때, 이송 척 유니트의 이송되려는 힘으로 글래스 기판에 인가되는 압력을, 압력 완충부로 상쇄시킴으로써, 글래스 기판의 파손을 방지할 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention has the effect of preventing damage to the glass substrate by canceling the pressure applied to the glass substrate by the pressure buffer portion when the glass substrate is adsorbed to the air floating unit, by the force to be conveyed by the transfer chuck unit. .

본 발명은 구체적인 예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.Although the invention has been described in detail only with respect to specific examples, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the spirit of the invention, and such modifications and variations belong to the appended claims.

Claims (8)

글래스 기판을 공압으로 부상시키는 에어 부상 유니트와; An air floating unit which floats the glass substrate by pneumatic pressure; 상기 글래스 기판을 잡고 이송할 수 있으며, 상기 글래스 기판이 에어 부상 유니트에 흡착되는 것을 감지할 수 있는 흡착 감지 센서가 구비된 이송 척 유니트로 구성된 글래스 기판 이송 장치.And a glass chuck unit which is capable of holding and transferring the glass substrate, and having a suction chuck unit configured to detect that the glass substrate is adsorbed by the air floating unit. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 이송 척 유니트에는,In the transfer chuck unit, 상기 글래스 기판이 상기 에어 부상 유니트에 흡착시, 상기 글래스 기판에 인가되는 압력을 상쇄시키는 압력 완충부가 더 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 글래스 기판 이송 장치.And a pressure buffer unit for canceling the pressure applied to the glass substrate when the glass substrate is attracted to the air floating unit. 제 2 항에 있어서, The method of claim 2, 상기 이송 척 유니트에 상기 글래스 기판의 양단을 지지하는 한 쌍의 지지부들이 구비되어 있고,The transfer chuck unit is provided with a pair of support portions for supporting both ends of the glass substrate, 상기 글래스 기판이 이송되는 방향과 반대 방향에 있는 지지부에 상기 압력 완충부가 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 글래스 기판 이송 장치.The glass substrate transfer apparatus, characterized in that the pressure buffer unit is connected to the support in the direction opposite to the direction in which the glass substrate is transferred. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 흡착 감지 센서는,The adsorption detection sensor, 말굽 센서인 것을 특징으로 하는 글래스 기판 이송 장치.Glass substrate transfer apparatus characterized in that the horseshoe sensor. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 이송 척 유니트에 상기 글래스 기판의 양단을 지지하는 한 쌍의 지지부들이 구비되어 있고,The transfer chuck unit is provided with a pair of support portions for supporting both ends of the glass substrate, 상기 흡착 감지 센서는,The adsorption detection sensor, 상기 글래스 기판이 이송되는 방향과 반대 방향에 있는 지지부에 연결된 감지편과; 상기 감지편이 삽입되어 흡착을 감지할 수 있는 흡착감지부로 이루어진 것을 특징으로 하는 글래스 기판 이송 장치.A sensing piece connected to a support part in a direction opposite to a direction in which the glass substrate is transferred; Glass substrate transfer apparatus, characterized in that the sensing piece is inserted into the adsorption detection unit for detecting the adsorption. 글래스 기판을 공압으로 부상시키는 에어 부상 유니트 상부에 글래스 기판을 올려놓는 단계와;Placing the glass substrate on top of the air flotation unit that floats the glass substrate pneumatically; 상기 글래스 기판의 양단을 이송 척 유니트로 잡고 이송하는 단계와;Holding both ends of the glass substrate with a transfer chuck unit and transferring the glass substrate; 상기 글래스 기판이 에어 부상 유니트에 흡착되었는가 여부를 판단하는 단계 와;Determining whether the glass substrate is adsorbed to the air floating unit; 상기 글래스 기판이 에어 부상 유니트에 흡착되었으면, 이송 척 유니트의 이송을 중단하는 단계를 포함하여 구성된 글래스 기판 이송 방법.And stopping the transfer of the transfer chuck unit when the glass substrate is adsorbed to the air floating unit. 제 6 항에 있어서, The method of claim 6, 상기 흡착 여부는, Whether the adsorption is, 상기 이송 척 유니트에 장착되어 있는 흡착 감지 센서로 상기 글래스 기판이 에어 부상 유니트에 흡착되었는지를 감지하여 판단하는 것을 특징으로 하는 글래스 기판 이송 방법.And a glass substrate transfer method detecting and determining whether the glass substrate is adsorbed to the air floating unit by an adsorption detection sensor mounted to the transfer chuck unit. 제 6 항에 있어서, The method of claim 6, 상기 이송 척 유니트에는 압력 완충부가 장착되어 있으며,The transfer chuck unit is equipped with a pressure buffer, 상기 글래스 기판이 에어 부상 유니트에 흡착된 경우, When the glass substrate is adsorbed to the air floating unit, 상기 이송 척 유니트의 이송력으로 글래스 기판에 인가되는 압력을, 상기 압력 완충부로 상쇄하는 것을 특징으로 하는 글래스 기판 이송 방법.And a pressure applied to the glass substrate by the transfer force of the transfer chuck unit to offset the pressure buffer unit.
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