KR20080056409A - 플렉시블 기판용 기판 홀딩장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판의 하면에 박막을 코팅하는 진공가열증착 공정에 사용할 수 있는 기판 홀딩 장치에 관한 것으로서, 특히 플렉시블 기판을 홀딩할 수 있으며 탈 부착이 용이한 플렉시블 기판 홀딩장치에 관한 것이다.

이와 같은 본 발명의 기판 홀딩장치는 상면이 격자 형태 혹은 벌집 형태(12)인 사각 판(1)의 하면에 점착제(21)를 고정하고, 상면에서 하면까지 관통하는 다수 개의 공기 주입구(13)가 배열되는 것으로서,

이에 따라, 점착제와 공기압을 이용하여 플렉시블 기판을 휘지 않게 고정할 수 있고, 용이한 탈착과 부착을 할 수 있는 효과가 있다.

기판 척, 점착제, 홀딩장치, 진공가열증착, 플렉시블 기판

Description

플렉시블 기판용 기판 홀딩장치{Apparatus for holding flexible substarate}

도 1은 본 발명의 실시예를 도시한 상측 사시도

도 2는 본 발명의 실시예를 도시한 하측 사시도

반도체 혹은 평판 디스플레이의 제작에 많이 사용되는 진공가열증착법은 진공 챔버 내의 하측에 코팅 물질을 증발시켜 분출하는 증발원을 위치시키고 상측에 기판을 고정하여 증발된 물질이 증착되도록 하는 박막 제작 방법이다.

이러한 진공가열증착법은 고순도의 균일한 박막 제작이 가능하기 때문에 많이 사용되고 있지만 기판을 증착할 면을 아래로 향하게 고정시켜야 한다는 점에서 플렉시블 기판을 사용하기에 어려움이 있다.

플렉시블 기판은 휘거나 말아서 보관할 수 있는 플렉시블 디스플레이를 개발할 수 있는 중요한 소재이지만 단순한 클리핑이나 점착제를 이용하여 플렉시블 기 판을 홀딩할 경우 기판이 휘어지며, 탈착 시 기판이 꺾이는 문제가 있다.

본 발명은 상기의 문제점을 해결하여 플렉시블 기판을 진공가열증착법에 적용하기 위한 것으로서, 플렉시블 기판을 휘지 않게 고정할 수 있고 플렉시블 기판의 탈착과 부착이 용이하고 탈착시 플렉시블 기판이 꺾이는 것을 방지할 수 있는 플렉시블 기판용 기판 홀딩장치를 제공하고자 한다.

이러한 본 발명은 하면에 플렉시블 기판을 부착하여 공정을 수행할 수 있는 기판 홀딩장치(1)를 구성함에 있어서, 상면이 격자 형태 혹은 벌집 형태(12)인 사각 판의 하면에 점착제(21)를 고정하고, 상면에서 하면까지 관통하는 다수 개의 공기 주입구(13)가 배열되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 기판용 기판 홀딩장치에 의해 달성된다.

본 발명의 실시예를 도면을 참고하여 자세히 설명하면 다음과 같다.

도 1과 도 2는 본 발명의 실시예를 도시한 것으로서, 도 1은 상측에서 바라본 사시도를 도시한 것이고, 도 2는 하측에서 바라본 사시도를 도시한 것이다.

본 발명의 플렉시블 기판용 기판 홀딩장치는 도 1과 도 2에 도시된 바와 같이, 상면이 격자 형태 혹은 벌집 형태(12)로 형성되어 있는 사각 판(1)의 하면 전 체 혹은 일부분에 점착제(21)를 고정하고, 상면에서 하면까지 관통하는 다수 개의 공기 주입구(13)가 배열되는 것을 그 기술상의 특징으로 한다.

플렉시블 기판을 휘지 않게 고정하기 위해서는 기판이 고정되는 기판 홀딩장치 자체를 휘지 않을 정도의 두께로 제작해야 한다. 그런데, 기판의 크기가 커질수록 기판 홀딩장치의 두께는 두꺼워 져야 하므로 기판 홀딩장치 자체의 무게가 너무 커져서 기판의 이송이 어려울 수 있다. 본 발명에서는 도 1에 도시된 바와 같이 기판 홀딩장치의 상면에 격자 구조 혹은 벌집 구조(12)를 형성하여 기판 홀딩장치의 무게를 줄이면서도 기판 홀딩장치가 휘지 않을 수 있도록 하였다.

플렉시블 기판을 기판 홀딩장치에 부착하기 위하여 본 발명에서는 기판 홀딩장치 하면에 기판 홀딩장치와 플렉시블 기판을 접착시킬 수 있는 점착제(21)를 고정하였다. 이 때 점착제는 진공에서 물성이 변하지 않으며, 여러 번의 재접착이 가능하고, 탈착시 기판에 이물질이 남지 않는 점착제를 사용하는 것이 좋은데, 반데르발스 힘을 이용하여 접착하는 점착제를 추천할 수 있을 것이다.

상기와 같은 점착제를 기판의 모서리에서만 고정할 경우 기판의 중앙이 휘어지거나 변형되어 굴곡이 생길 수 있으므로 양면 접착제를 이용하여 기판의 뒷면에서 전체 면적에 고르게 접착하는 것이 좋다. 이러한 점착제의 배치는 기판 홀딩장치의 하면 전체에 점착제를 고정할 수도 있고, 원형 혹은 다각형의 형태로 하면 전체에 고르게 배열할 수도 있다. 이때 점착제의 접착력이 너무 클 경우 기판의 탈착시 어려움을 격을 수 있으므로 기판이 떨어지지 않을 정도의 최소한의 접착력이 되도록 하는 것이 좋을 것이다.

플렉시블 기판의 탈착을 위해서는 상기 다수 개의 공기 주입구(13)를 이용하여 도시되지 않은 공기 주입장치에 의해 주입된 공기압으로 기판 전체 면적에 고르게 힘을 가하여 탈착할 수 있다. 점착제에 부착된 플렉시블 기판을 한쪽 모서리부터 떼어낼 경우 기판이 꺾이게 되어 증착된 박막에 손상을 가져올 수 있지만, 본 발명에서는 플렉시블 기판의 전체 면적에 고르게 힘을 가하여 플렉시블 기판이 꺾이지 않는 상태로 탈착할 수 있는 것이다. 이 때 공기 주입구를 통해 주입된 공기압을 기판에 직접 가하여 기판을 탈착시킬 수도 있고, 공기압이 점착제 혹은 도시되지 않은 탄성막을 부풀어 오르게 하여 기판을 탈착시킬 수도 있다.

상기 도면과 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 자세히 설명하기 위한 일 예로서, 본 발명의 범위는 상기 도면과 실시예에 한정되지 않는다.

이상과 같은 본 발명은, 진공가열증착 공정 중에서 플렉시블 기판을 고정하고 부착과 탈착을 하기 위하여 진공에서 사용 가능한 점착제와 공기압을 이용함으로써, 플렉시블 기판을 평탄하게 고정할 수 있고, 부착과 탈착이 용이하며, 탈착시 박막에 손상을 최소화할 수 있는 효과를 가진다.

Claims (2)

1. 하면에 플렉시블 기판을 부착하여 공정을 수행할 수 있는 기판 홀딩장치(1)를 구성함에 있어서,

   사각 판의 하면 전체 혹은 일부분에 점착제(21)를 고정하고,

   상면에서 하면까지 관통하는 다수 개의 공기 주입구(13)가 배열되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 기판용 기판 홀딩장치
2. 상기 1항에 있어서, 사각 판은,

   상면이 격자 형태 혹은 벌집 형태(12)로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 플렉시블 기판용 기판 홀딩장치

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