KR20080055127A - 전자부품 테스트용 핸들러 및 이의 구동방법 - Google Patents

전자부품 테스트용 핸들러 및 이의 구동방법 Download PDF

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KR20080055127A
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Abstract

본 발명은 전자부품 테스트용 핸들러 및 이의 구동방법을 개시한다. 본 발명에 따른 전자부품 테스트용 핸들러는 테스트할 전자부품들을 실장한 복수의 테스트 트레이들 각각이, 테스트 챔버를 포함한 별개의 일련의 챔버들을 경유되도록 하면서, 상기 전자부품들이 상기 테스트 챔버에서 테스트되도록 하는 테스트부를 구비하고, 상기 테스트부는: 복수의 테스트 트레이들 각각마다 별도로 마련된 일련의 챔버들을 구비하여 이루어진 복수의 트레이 경유 라인들과 상기 테스트 트레이 각각이 개별적으로 상기 별도로 마련된 일련의 챔버들을 경유하도록, 상기 하나의 트레이 경유 라인마다 설치된 트레이 이송 수단들과 상기 테스트 챔버에서 상기 테스트 트레이들을 개별적으로 외부 테스트 장치와 접속할 수 있도록 이동시키는 트레이 접속 수단을 구비한다.

Description

전자부품 테스트용 핸들러 및 이의 구동방법{Handler for testing electronic devices and method for driving the same}
도 1은, 본 발명의 실시예에 따른 전자부품 테스트용 핸들러를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 2는, 도 1의 핸들러에서 테스트부를 후측에서 도시한 사시도이다.
도 3은, 도 1의 핸들러에서 테스트부를 전측에서 도시한 사시도이다.
도 4a 내지 도 4e는, 도 1의 핸들러에서 테스트부에서 테스트 트레이가 이송 및 테스트 되는 과정을 도시한 개념도들이다.
＜도면의 주요부분에 대한 부호의 설명＞
110: 트레이 경유 라인 111: 프리 챔버
112: 테스트 챔버 113: 포스트 챔버
120: 트레이 이송 수단 121: 트레이 이송부재
127: 구동부재 130: 트레이 접속 수단
131: 반송판 132: 반송판 이동 장치
133: 회전모터 136: 랙 기어
137: 이동 축 T: 테스트 트레이
본 발명은 전자부품 테스트용 핸들러 및 이의 구동방법에 관한 것으로, 테스트부에서 전자부품을 각각의 챔버로 이동시켜 가면서, 여러 조건에서 전자부품의 불량 여부를 검출하는 전자부품 테스트용 핸들러 및 이의 구동방법에 관한 것이다.
일반적으로, 메모리 또는 비메모리 반도체 소자(이하 "전자부품"이라 함) 등은 생산 후 여러 가지 테스트 과정을 거치게 된다. 전자부품 테스트용 핸들러는 전자부품의 품질이 어느 정도이고, 불량품인지 여부를 자동으로 테스트하는데 사용되고 있는 장치를 일컫는다.
상기 전자부품 핸들러에는, 전자부품들을 테스트하는 테스트부와, 상기 전자부품들을 상기 테스트부에 공급하는 로딩부와, 테스트 완료된 전자부품들이 테스트결과에 따라 분류하는 언로딩부가 형성될 수 있다.
상기 테스트부는 여러 개로 분할된 밀폐 챔버들 내에 고온 또는 저온의 환경을 조성한 뒤, 전자부품이 장착된 테스트 트레이들을 순차적으로 이송하여 전자부품을 소정의 온도 조건하에서 테스트하는 것이다. 이 경우, 상기 테스트부는 프리 챔버(pre room)과, 테스트 챔버(test room)과, 포스트 챔버(post room)을 구비한다.
프리 챔버는 테스트 트레이가 테스트 받을 온도 조건이 되도록 예열 또는 예냉하는 챔버다. 테스트 챔버는 상기 프리 챔버로부터 이동된 테스트 트레이를 하이픽스보드와 같은 외부 테스트 장치와 결합시켜서 전자부품의 테스트를 행하는 챔버 다. 포스트챔버는 테스트 챔버에서 테스트 완료된 전자부품들을 다시 외부 조건과 동일 또는 유사하도록 만들어 주는 챔버다.
종래에는 상기 테스트부에 프리 챔버와, 테스트 챔버와, 포스트 챔버가 각각 하나씩 구비되어서, 하나의 테스트 트레이가 이들로 이동하면서 테스트 받게 된다. 그런데 이 경우에는 통상적으로 프리 챔버에서 테스트 트레이가 테스트 받기 위한 조건으로 되는 스타트 업 시간(start up time)에 비하여 테스트 챔버에서의 테스트 시간이 길다. 따라서테스트부 전체에서의 테스트 트레이 이동 시간이 길어진다는 문제점이 있다.
또한, 그 반대로 스타트 업 시간(start up time)에 비하여 테스트 챔버에서의 테스트 시간이 짧은 경우에도, 테스트 챔버에서 테스트가 완료된 경우에 스타트 업 공정이 완료되지 않아서 테스트부 전체에서의 테스트트레이 이동 시간이 길어진다는 문제점이 있다.
본 발명은 이와 같은 문제점을 포함한 여러 문제점을 해결하기 위한 것으로, 테스트부에서 테스트 트레이가 이동하는 시간이 감축될 수 있는 구조를 가지는 전자부품 테스트용 핸들러 및 이의 구동방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
따라서, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 전자부품 테스트용 핸들러는, 테스트할 전자부품들을 실장한 복수의 테스트 트레이들 각각이, 테스트 챔버를 포함한 별개의 일련의 챔버들을 경유되도록 하면서, 상기 전자부품들이 상기 테스트 챔 버에서 테스트되도록 하는 테스트부를 구비하고, 상기 테스트부는: 복수의 테스트 트레이들 각각마다 별도로 마련된 일련의 챔버들을 구비하여 이루어진 복수의 트레이 경유 라인들과 상기 테스트 트레이 각각이 개별적으로 상기 별도로 마련된 일련의 챔버들을 경유하도록, 상기 하나의 트레이 경유 라인마다 설치된 트레이 이송 수단들과 상기 테스트 챔버에서 상기 테스트 트레이들을 개별적으로 외부 테스트 장치와 접속할 수 있도록 이동시키는 트레이 접속 수단을 구비한다.
이 경우 상기 트레이 이송 수단은: 상기 테스트 트레이들을 일련의 챔버들 사이로 이송하는 트레이 이송부재와 상기 트레이 이송부재를 구동하는 구동부재를 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 일련의 챔버는 테스트 트레이 이송 방향으로 차례로, 상기 테스트 트레이가 테스트되는 조건을 가지는 프리 챔버와, 상기 테스트 챔버와, 테스트 완료된 상기 테스트 트레이를 주변 분위기로 조절하는 포스트 챔버를 구비하고, 상기 트레이 접속 수단은: 상기 테스트 챔버에서 상기 각각의 테스트 트레이를 별도로 상기 외부 테스트 장치 방향으로 반송 가능하게 설치된 복수의 반송판들과 상기 반송판들 각각을 별도로 구동하는 복수의 반송판 이동 장치들을 구비하는 것이 바람직하다.
이 경우, 상기 반송판 이동 장치는: 회전모터와 상기 회전모터의 구동에 의하여 회전하는 랙 기어와 상기 랙 기어와 맞물리는 피니언기어부 및 상기 반송판에 결합되는 반송판 결합부를 구비하여서, 상기 랙 기어가 회전함에 따라서 직진 운동하여 상기 반송판이 직전 운동하도록 하는 이동 축을 구비하는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명의 다른 실시예에 따른 전자부품 테스트용 핸들러 구동방법은: 전자부품을 고정할 수 있는 홀딩수단이 복수 개 배열되는 테스트 트레이 상에 전자부품을 로딩하는 단계와 상기 테스트 트레이들을 일련의 챔버들로 구성되는 테스트부로 연속적으로 배송하는 단계와 상기 테스트 트레이와 상기 테스트 트레이에 로딩된 전자부품을 테스트하는 외부 테스트 장치가 서로 결합하는 테스트 사이트로 테스트 준비가 완료된 제1 테스트 트레이를 공급하는 단계와 개별적으로 구동하고 상기 제1 테스트 트레이를 밀어 상기 외부 테스트 장치와 결합시키는 트레이 접속수단으로 상기 제1 테스트 트레이를 상기 외부 테스트 장치와 결합시키는 단계와 상기 테스트 트레이를 상기 테스트부로부터 배출시키는 단계와 상기 제1 테스트 트레이 상의 전자부품을 분류하는 단계를 포함한다.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 전자부품 테스트용 핸들러(이하 '핸들러'라 칭함)의 구성의 일예를 개략적으로 도시한 개략도이다. 도 1을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 전자부품 테스트용 핸들러(10)는 여러 가지 테스트 중 고온 또는 저온의 환경을 조성하여, 전자부품이 이러한 온도 조건에서도 정상적인 동작을 할 수 있는가를 테스트한다.
상기 핸들러(10)는 테스트부(100)를 구비한다. 상기 테스트부(100)는 테스트할 전자부품들을 실장한 복수의 테스트 트레이(T)가 일련의 챔버들을 경유되도록 하면서, 상기 전자부품들이 테스트되도록 한다. 이와 함께 상기 핸들러(10)는 로딩부(30)와, 언로딩부(40)를 더 구비할 수 있다. 로딩부(30)는 테스트하기 위한 전자부품들을 로딩용 트레이(33)로부터 테스트 트레이(T)로 이송 및 장착하여 테스트부(100)로 공급한다. 이 경우, 상기 로딩부(30)는 제 1 버퍼부(31)를 더 구비할 수 있다. 제 1 버퍼부(31)는 고객용 트레이에 장착된 전자부품들을 이송하여 일정시간 보관한다.
언로딩부(40)는 테스트부(100)에서 테스트 완료된 전자부품들을 테스트 트레이(T)로부터 언로딩하여 테스트된 결과에 따라 분류한다. 이 경우, 상기 언로딩부(40)는 제 2 버퍼부(41)를 포함할 수 있다. 제 2 버퍼부(41)는 테스트를 마친 전자부품들을 각각의 분류용 트레이(42)에 분류시킨다.
이 경우 전자부품의 이송은 적어도 하나 이상의 전자부품 픽커(60)에 의하여 이루어질 수있다.
한편, 로딩부(30)와 언로딩부(40) 사이에는 교환부(32)를 더 형성할 수도 있다. 상기 교환부(32)는 제 1 버퍼부(32)로부터 전자부품을 이송받아 테스트부(100)로 이송함과 동시에, 테스트부(100)에서 테스트 완료된 전자부품들을 제 2 버퍼부(41)에 공급하는 역할을 한다.
이 경우, 상기 테스트부(100)는, 복수의 트레이 경유 라인(110)들과, 트레이 이송 수단(120; 도 2 참조)들과, 트레이 접속 수단(130; 도 2 참조)을 구비한다.
복수의 트레이 경유 라인(110)들은 테스트 트레이가 이송되는 경로를 의미한다. 상기 트레이 경유 라인(110)은 복수개로 구성되며, 각 경유 라인은 트레이가 이송되는 일련의 챔버들(11,112,113)의 배열로 이루어진다., 복수의 테스트 트레이(T)들 각각마다 별도로 마련된 일련의 룸(111, 112, 113)들을 구비하여 이루어진다. 이 경우, 일련의 챔버들은 각각의 테스트 챔버(112)을 중심으로 분포한다구비한다. 상기 테스트 챔버(112)들은 서로 개방되어서 하나의 공간을 이룰 수도 있고, 이와 달리 각각 별도의 공간에 분리되어 있을 수도 있다. 즉, 본 발명의 실시예에 따른 핸들러(10)에 구비된 테스트부(100)는 복수의 테스트 트레이(T)들이 별도의 트레이 경유 라인(110)을 따라서 이송되고, 두 개 이상의 테스트 트레이(T)가 테스트 챔버(112)에서 동시에 또는 독립적으로 외부 테스트 장치(50)와 접속할 수 있다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 핸들러에 구비된 트레이 이송 수단들과, 트레이 접속 수단들을 후측에서 도시한 사시도이다.
도 1 및 2에 도시된 바와 같이, 트레이 이송 수단(120)들은 상기 테스트 트레이 각각이 개별적으로 상기 별도로 마련된 일련의 챔버들을 경유하도록, 상기 트레이 경유 라인(110)마다 설치된다. 예를 들어 트레이 경유 라인(110)이 두 개인 경우, 테스트부에서 테스트 트레이들 두 개가 각각의 트레이 이송 수단(120)에 의하여 이동되면서 결함여부를 테스트 받을 수 있게 된다.
트레이 접속 수단은 테스트 챔버에서 상기 테스트 트레이들을 개별적으로 이동시켜서 하이픽스보드와 같은 외부 테스트 장치(50)와 결합할 수 있도록 이동시킨다한다.
일반적으로 테스트 트레이(T)는 트레이 경유 라인(110)에 구비된 각각의 챔 버들로 이동, 테스트 챔버(112)에서 외부 테스트 장치(50)와 상기 테스트 트레이(T)에 수납된 전자부품들이 접속되도록 한다. 이 경우, 상기 테스트 챔버(112)으로 테스트 트레이가 이송되는 때에는, 상기 테스트 트레이가 외부 테스트 장치와 간섭이 일어나지 않도록 일정 유격을 가지고 이동되고, 상기 테스트 챔버(112)에서 상기 트레이 접속 수단에 의하여 외부 테스트 장치와 결합하게 된다.
이 경우 본 발명에 의하면, 상기 외부 테스트 장치는 각각의 테스트 챔버(112)에 위치한 테스트 트레이(T)를 개별적으로 상기 외부 테스트 장치 방향으로 이동되도록 할 수 있다. 따라서, 각각의 테스트 챔버(112)에 위치하는 테스트 트레이를 독립적으로 테스트 받을 수 있다.
이 경우, 상기 일련의 챔버는 테스트 트레이 이송 방향으로 차례로, 상기 테스트 트레이가 테스트되는 조건을 가지는 프리 챔버(pre room; 111)과, 상기 테스트 챔버(test room; 112)과, 테스트 완료된 상기 테스트 트레이를 주변 조건과 동일 또는 유사한 조건으로 조절하는 포스트 챔버(post room; 113)을 구비할 수 있다. 이 경우 통상적으로 프리 챔버를 예열 챔버, 포스트 챔버를 디프로스트 챔버이라고 불리우기도 한다.
따라서 본 발명에 의하면, 하나의 테스트 트레이(Ta)가 프리 챔버(111)으로 이송되어서 예열 또는 예냉되어서 테스트 조건을 만족하는 대로, 다른 테스트 트레이(Tb)에 관계없이, 트레이 이송 수단(120)에 의하여 테스트 챔버(112)으로 이동될 수 있고, 또한 테스트 챔버(112)에서 별도의 트레이 접속 수단(130)에 의하여 외부 테스트 장치와 전자부품들이 접속하여 테스트 받을 수 있다.
상기 핸들러에서는, 두 개의 테스트 트레이(T)들이 동시에 프리 챔버(111)으로부터 테스트 챔버(112)으로 이송되고, 상기 테스트 챔버(112)에서 동시에 외부 테스트 장치(50)와 접속되며, 테스트 챔버(112)에서 테스트 완료된 테스트 트레이들이 동시에 포스트 챔버(113)으로 이동하는 트레이 이동 메카니즘을 가지도록 할 수 있다. 그러나, 이 경우에는 프리 챔버에서 테스트 챔버(112)으로 복수의 테스트 트레이(Ta, Tb)들을 동시에 이동시키기 때문에, 각각의 프리 챔버에 테스트 트레이들이 모두 배치되기 전에는, 하나의 테스트 트레이가 예열, 예냉 조건을 만족함에도 불구하고, 다른 테스트 트레이가 예열, 예냉 조건을 만족할 때까지 프리 챔버에 위치하여야 하며, 이로 인하여 프리 챔버에서 이른바 스타트 업(start-up) 시간이 증가하게 된다. 또한, 상기와 동일한 이유로 복수의 테스트 트레이가 모두 테스트 완료된 후에 동시에 테스트 트레이들을 포스트 챔버로 이동시킴에 따라 마지막 테스트 트레이 내의 반도체 소자를 모두 언로딩하고 핸들러 장비를 최종 정리하는 시간, 이런바 롯 엔드(lot-end) 시간이 증가하게 된다.
그러나 본 발명의 실시예에 의하면, 다른 테스트 트레이의 조건에 관계없이 프리 챔버(111)에서 예열, 또는 예냉 완료된 테스트 트레이가 독립적으로 테스트 챔버(112)으로 이동하여서 테스트 받고, 테스트 완료된 테스트 트레이는 별도로 포스트 챔버(113)으로 이동되어서 언로딩부로 이동될 수 있다. 이로 인하여 스타트 업(start-up) 시간 및 롯 엔드(lot-end) 시간이 감축되어서 전체적인 테스트 시간이 감소하게 된다.
또한, 테스트 완료된 전자부품들을 다시 테스트(retest) 하는 경우에는, 리 테스트하는 전자부품의 수가 많지 않아서 복수의 테스트 트레이를 이동시킬 필요가 없다. 이 경우에는 리테스트할 테스트 트레이만 트레이 이송 수단(120)과, 트레이 접속 수단(130)을 이용하여서 테스트 할 수 있다.
이 경우, 상기 트레이 이송 수단(120)은, 상기 테스트 트레이들과 일련의 챔버들 사이로 이송하는 트레이 이송부재(121)와, 상기 트레이 이송부재(121)를 구동하는 구동부재(127)를 구비할 수 있다. 즉, 트레이 이송 수단(120)마다 구동부재(127)가 설치됨으로써, 테스트 트레이를 일련의 챔버로 이동시킬 수 있다.
상기 트레이 이송부재(121)의 일 예를 들면, 핸들러 본체에 결합되며 테스트 트레이 이동 경로를 따라서 연장 형성된 가이드 부재(122)와, 상기 가이드 부재(122)에 상기 테스트 트레이 이동 경로를 따라 이동 가능하게 결합된 이동 부재(123)와, 상기 이동 부재에 상기 테스트 트레이 방향으로 이동 가능하게 결합된 이송 핀(124)을 구비할 수 있다. 이 경우, 상기 이송 핀(124)은 테스트 트레이 방향으로 움직인 경우에는 상기 테스트 트레이의 결합 홀에 결합된다.
따라서, 이송 핀(124)이 테스트 트레이(T)에 결합한 채로, 이동 부재(123)가 가이드 부재(122)를 따라서 이동하게 되면, 상기 이송핀(124)에 결합된 테스트 트레이(T)가 상기 이동 부재(123)와 연동하여 이동된다. 이 경우 상기 가이드 부재(122)는 회전 모터와 결합된 볼 스크류 축이거나, 밸트 등의 이송 장치일 수 있다.
상기 트레이 이송 수단(120)은, 상기 가이드 부재(122)가 테스트 챔버(112)을 따라서 연장되도록 배치될 수 있다. 따라서 상기 이동 부재(123)가 프리 챔 버(111) 방향으로 이동하여, 상기 프리 챔버(111)에 위치한 테스트 트레이와 결합된 상태로 포스트 챔버쪽으로 이동함으로써 상기 테스트 트레이를 테스트 챔버(112)으로 이송시킬 수 있다. 그 후에 다시 이동 부재(123)가 다시 프리 챔버로 이동하여서 후행되는 테스트 트레이와 결합되어서 테스트 챔버(112)으로 이동시킬 수 있다. 이 경우 상기 이동 부재(123)는, 테스트 완료되어 테스트 챔버(112)에 위치한 선행 테스트 트레이를 포스트 챔버 방향으로 이동시키는 선행 트레이 구동부(125)를 더 구비할 수 있다.
그러나 본 발명에 구비된 트레이 이송 수단(120)은 상기한 구조에 한정되는 것은 아니며, 상기 테스트 트레이를 일련의 챔버들을 따라 이동시킬 수 있는 구조라면 본 발명에 포함된다.
한편, 상기 트레이 접속 수단(130)은, 복수의 반송판(131)들과, 복수의 반송판 이동 장치(132)들을 구비할 수 있다. 상기 복수의 반송판(131)들은 상기 테스트 챔버(112)에서 상기 각각의 테스트 트레이를 별도로 상기 외부 테스트 장치(50) 방향으로 반송 가능하게 설치된다. 반송판 이동 장치(132)들 각각은 상기 반송판(131)들 각각이 별개로 움직일 수 있도록 구동한다.
상기 트레이 접속 수단(130)의 일예를 도 3을 참조하여 설명하면, 상기 트레이 접속 수단(130)이 회전모터(133)와, 랙 기어(136)와, 이동 축(137)을 구비할 수 있다.
회전모터(133)는 핸들러의 베이스(미도시)에 결합된다. 상기 랙 기어(136)는 상기 회전모터(133)의 구동에 의하여 회전한다. 이동 축(137)은 피니언 기어 부(138) 및 반송판 결합부(미도시)를 구비한다. 피니언 기어부(138)는 상기 랙 기어(136)와 맞물려서, 상기 랙 기어의 회전에 따라서 전 후방으로 직진 운동한다. 상기 반송판 결합부는 상기 반송판(131)에 결합되어서 상기 피니언 기어부(138)의 직진운동에 따라서 상기 반송판(131)을 직진 운동하도록 한다.
상기 트레이 접속 수단(130)의 구조에 대한 일예를 도 3을 참조하여 보다 상세히 설명한다. 이 경우 도 3에는 트레이 경유 라인이 상하에 걸쳐서 두 개인 것이 도시되고 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 않고 세 개 이상일 수도 있는 것이 명확하다. 도 3을 참조하면, 테스트부의 상하측에 각각 상측 테스트 챔버(112a) 및 하측 테스트 챔버(112b)이 배치된다.
이 경우 상측 테스트 챔버(112a)에 배치된 테스트 트레이(Ta)를 외부 테스트 장치로 이동시키기 위한 상측 트레이 접속 수단(130a)은 상측 회전축(135a)과, 상측 랙 기어(136a)와, 상측 이동 축(137a)과, 상측 반송판(131a)을 구비할 수 있다.
상측 회전축(135a)은 상기 핸들러의 베이스에 결합된 상측 회전모터(133a)와 상기 상측 회전모터(133a)와 직접 또는 벨트 등의 구동 전달 부재(134)에 의하여 간접적으로 결합되어서, 상기 상측 회전모터(133a)의 구동에 의하여 회전하며 상측 테스트 챔버(112a; 도 4a 참조)을 상하에 걸쳐 배치된다.
상측 이동 축(137a)은 상기 상측 회전축(135a)에 결합된 적어도 하나 이상의 상측 랙 기어(136a)와, 상기 상측 랙 기어(136a)에 맞물리는 피니언 기어부(138)를 구비하여 상기 랙 기어의 회전에 따라서 테스트 트레이 방향 및 그 반대방향으로 직진 운동한다.
상측 반송판(131a)은 상기 상측 이동 축(137a)에 결합된다. 이 경우 상기 상측 트레이 접속 수단(130a)은 상기 상측 이동 축(137a)과 결합되며 상기 상측 반송판(131a)을 지지하는 상측 지지부재(139a)가 더 구비할 수 있다.
이와 함께 하측 테스트 챔버(112b; 도 4a 참조)에 배치된 테스트 트레이(T2)를 외부 테스트 장치로 이동시키기 위한 하측 트레이 접속 수단(130)은, 하측 회전축(135b)과, 하측 이동 축(137b)과, 하측 반송판(131b)을 구비할 수 있다.
하측 회전축(135b)은 상기 핸들러의 베이스에 결합된 하측 회전모터(133b)와 상기 하측 회전모터(133b)와 직접 또는 벨트 등의 구동 전달 부재(134)에 의하여 간접적으로 결합되어서, 상기 하측 회전모터의 구동에 의하여 회전하며 하측 테스트 챔버(112b; 도 4a 참조)을 상하에 걸쳐 배치된다.
하측 이동 축(137b)은 상기 하측 회전축(135b)에 결합된 적어도 하나 이상의 하측 랙 기어(136b)와, 상기 하측 랙 기어(136b)에 맞물리는 피니언 기어부(138)를 구비하여 상기 하측 랙 기어(136b)의 회전에 따라서 외부 테스트 장치 방향 및 그 반대방향으로 직진 운동한다.
하측 반송판(131b)은 상기 하측 이동 축(137b)에 결합된다. 이 경우 상기 하측 트레이 접속 수단(130b)은 상기 하측 이동 축(137)과 결합되며 상기 반송판을 지지하는 하측 지지부재(139b)가 더 구비할 수 있다.
상기와 같은 구조를 가진 핸들러에서의 테스트 트레이 테스트 방법의 각 단계의 일예를 도 4a 내지 도 4e를 참조하여 설명한다. 이 경우 도 4a 내지 도 4e에는 설명의 편의상 트레이 경유 라인(110)이 상하에 걸쳐 2개가 배치되어서, 하, 상 측 트레이 경유 라인(110b, 110a)에 하측 테스트 트레이("제1 테스트 트레이"라고도 칭함 Tb) 및 상측 테스트 트레이("제2 테스트 트레이"라고도 칭함 Ta,) 각각이 이송되어 테스트 된다.
먼저 도 4a에 도시된 바와 같이, 로딩부로부터 하측 테스트 트레이(Tb)를 하측 프리 챔버(111b) 내로 이송한다. 그리고 상기 하측 프리 챔버(111b) 내의 조건을 테스트 조건과 실질적으로 동일하게 되도록 한다.
이와 함께, 도 4b에 도시된 바와 같이, 로딩부 혹은 하측 프리 챔버(111b)으로부터 상측 테스트 트레이(Ta)가 상측 프리 챔버(111a)으로 이송되고, 상기 상측 프리 챔버(111a)에서 테스트 조건으로 예냉 또는 예열된다. 이 때에 먼저 테스트 조건을 만족하는 하측 테스트 트레이(Tb)는 하측 트레이 이송 수단(120b)에 의하여 하측 테스트 챔버(112b)으로 이송되고, 상기 하측 테스트 챔버의 테스트 사이트에서 하측 트레이 접속 수단(130b; 도 3 참조)에 의하여 외부 테스트 장치와 결합되어서 테스트된다.
그 후에 도 4c에 도시된 바와 같이, 상기 상측 프리 챔버(111a)에서 예냉 또는 예열이 완료된 상측 테스트 트레이(Tb)가 상측 트레이 이송 수단(120)에 의하여 상측 프리 챔버(111a)으로 이송되고, 이미 테스트 진행 중인 하측 테스트 트레이(Tb)와 별도로 상측 테스트 챔버(112a)에서 상기 상측 트레이 접속 수단(130a; 도 3 참조)에 의하여 외부 테스트 장치와 결합되어서 테스트된다.
그 후에 도 4d에 도시된 바와 같이, 먼저 테스트 완료된 하측 테스트 트레이(Tb)는 하측 트레이 이송 수단(120b)에 의하여 하측 포스트 챔버(113b)으로 이송 되어서 외부 조건과 동일 또는 유사하게 된다.
그 후에 도 4e에 도시된 바와 같이, 후에 테스트 완료된 상측 테스트 트레이(Tb)는 상측 트레이 이송 수단(120)에 의하여 상측 포스트 챔버(113a)으로 이송되어지고, 이와 별도로 하측 포스트 챔버(113b)에서 일정 시간을 가진 하측 테스트 트레이(Tb)는 언로딩부로 이송되어서, 상기 하측 테스트 트레이 상의 전자부품을 분류하는 단계를가지게 된다.
이상과 같이, 본 발명에 따른 전자부품 테스트용 핸들러는 사이즈는 커게 증가하지 않으면서 많은 수의 전자부품들을 테스트 할 수 있다.
또한, 테스트 트레이 각각이 별도의 수단에 의하여 이송 및 테스트됨으로써, 핸들러가 초기 정렬되는 프리 챔버에서의 스타트 업(start up) 시간과, 테스트 챔버에서 정렬 시간과, 핸들러의 동작이 최종 마무리되는 포스트 룸에서의 롯 시간(lot-end time) 등이 감축될 수 있어서, 전체적인 핸들러의 전자부품 테스트 시간이 감축된다.
또한, 테스트할 전자부품의 수에 맞추어서 이송 필요한 테스트 트레이만 이송시킬 수 있음으로써, 이동 불필요한 테스트 트레이를 이동시키기 위한 구동력을 가지지 않으며 그 테스트 시간 또한 감축된다.
또한, 일정한 시간 테스트가 완료된 다음, 불량 판정된 반도체소자 등의 전자부품을 다시 더 테스트하는 리테스트(retest)시 테스트 트레이를 낱장으로 배송하면서 테스트할 수 있어 효율적으로 리테스트를 실시할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 예를 들어, 본 발명은 테스트 트레이를 반도체 소자의 배송 수단으로 사용하는 핸들러를 그 대상으로 하지만, 테스트 트레이가 이닌, 모듈IC의 케리어를 그 대상으로 하여서도 실시될 수 있다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

Claims (7)

  1. 테스트할 전자부품들을 실장한 복수의 테스트 트레이들 각각이, 테스트 챔버를 포함한 별개의 일련의 챔버들을 경유되도록 하면서, 상기 전자부품들이 상기 테스트 챔버에서 테스트되도록 하는 테스트부를 구비하고,
    상기 테스트부는:
    복수의 테스트 트레이들 각각마다 별도로 마련된 일련의 챔버들을 구비하여 이루어진 복수의 트레이 경유 라인들과
    상기 테스트 트레이 각각이 개별적으로 상기 별도로 마련된 일련의 챔버들을 경유하도록, 상기 하나의 트레이 경유 라인마다 설치된 트레이 이송 수단들과
    상기 테스트 챔버에서 상기 테스트 트레이들을 개별적으로 외부 테스트 장치와 접속할 수 있도록 이동시키는 트레이 접속 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 전자부품 테스트용 핸들러.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 트레이 이송 수단은:
    상기 테스트 트레이들을 일련의 챔버들 사이로 이송하는 트레이 이송부재와, 상기 트레이 이송부재를 구동하는 구동부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 전자부품 테스트용 핸들러.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 일련의 챔버는 테스트 트레이 이송 방향으로 차례로, 상기 테스트 트레이가 테스트되는 조건을 가지는 프리 챔버와, 상기 테스트 챔버와, 테스트 완료된 상기 테스트 트레이를 주변 분위기로 조절하는 포스트 챔버를 구비하고,
    상기 트레이 접속 수단은: 상기 테스트 챔버에서 상기 각각의 테스트 트레이를 별도로 상기 외부 테스트 장치 방향으로 반송 가능하게 설치된 복수의 반송판들과 상기 반송판들 각각을 별도로 구동하는 복수의 반송판 이동 장치들을 구비하는 것을 특징으로 하는 전자부품 테스트용 핸들러.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 반송판 이동 장치는 :
    회전모터와
    상기 회전모터의 구동에 의하여 회전하는 랙 기어와
    상기 랙 기어와 맞물리는 피니언 기어부 및 상기 반송판에 결합되는 반송판 결합부를 구비하여서, 상기 랙 기어가 회전함에 따라서 직진 운동하여 상기 반송판이 직전 운동하도록 하는 이동 축을 구비하는 것을 특징으로 하는 전자부품 테스트용 핸들러.
  5. 테스트할 전자부품들을 실장한 복수의 테스트 트레이들 각각이, 테스트 챔버를 포함한 별개의 일련의 챔버들을 경유되도록 하면서, 상기 전자부품들이 상기 테 스트 챔버에서 테스트되도록 하는 테스트부를 구비하고,
    상기 테스트부는:
    복수의 테스트 트레이들 각각이 상기 테스트부로 배송될 수 있게 상기 일련의 챔버들을 경유하여 설치되는 마다 별도로 마련된 일련의 룸들을 구비하여 이루어진 복수의트레이 경유 라인들과
    상기 테스트 트레이 각각이 개별적으로 상기 별도로 마련된 일련의 룸들을 경유하도록,상기 트레이 경유 라인들 상에서 이동할 수 있게 상기 하나의 트레이 경유 라인마다 설치된 트레이 이송 수단들과
    상기 테스트 챔버에서 상기 테스트 트레이들을 개별적으로 외부 테스트 장치와 접속할 수 있도록 이동시키는 트레이 접속 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 전자부품 테스트용 핸들러.
  6. 전자부품을 고정할 수 있는 홀딩수단이 복수 개 배열되는 테스트 트레이 상에 전자부품을 로딩하는 단계
    상기 테스트 트레이들을 일련의 챔버들로 구성되는 테스트부로 연속적으로 배송하는 단계
    상기 테스트 트레이와 상기 테스트 트레이에 로딩된 전자부품을 테스트하는 외부 테스트 장치가 서로 결합하는 테스트 사이트로 테스트 준비가 완료된 제1 테스트 트레이를 공급하는 단계
    개별적으로 구동하고 상기 제1 테스트 트레이를 밀어 상기 외부 테스트 장치 와 결합시키는 트레이 접속수단으로 상기 제1 테스트 트레이를 상기 외부 테스트 장치와 결합시키는 단계
    상기 테스트 트레이를 상기 테스트부로부터 배출시키는 단계 및
    상기 제1 테스트 트레이 상의 전자부품을 분류하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자부품 테스트용 핸들러 구동방법.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 테스트 사이트는 복수개이며, 상기 테스트 사이트에서 상기 제 1 테스트 트레이가 테스트 되는 중, 제 2 테스트 트레이가 공급되어 더 테스트 되는 것을 특징으로 하는 전자부품 테스트용 핸들러 구동방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN108896858A (zh) * 2018-07-16 2018-11-27 博众精工科技股份有限公司 随动电芯短路测试机构及电芯短路测试系统

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