KR20080050819A - 이방성도전필름 부착 장치 - Google Patents

이방성도전필름 부착 장치 Download PDF

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KR20080050819A
KR20080050819A KR1020060121593A KR20060121593A KR20080050819A KR 20080050819 A KR20080050819 A KR 20080050819A KR 1020060121593 A KR1020060121593 A KR 1020060121593A KR 20060121593 A KR20060121593 A KR 20060121593A KR 20080050819 A KR20080050819 A KR 20080050819A
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이철행
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삼성전자주식회사
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Abstract

본 발명의 이방성도전필름 부착 장치는 기판이 안착되는 기판 스테이지와, 상기 기판 스테이지에 이방성 도전 필름을 공급하는 공급부와, 상기 공급부로부터 이방성 도전 필름을 기판 스테이지로 이송하는 캐리어와, 상기 기판 스페이지를 클리닝하기 위한 클리닝 부재로 구성된다.
상기와 같은 발명은 상기 이방성 도전 필름 부착 장치 내로 인입되는 패널이 이전 공정에서 발생된 깨진 유리 또는 이물질에 의한 파손을 방지하는 효과가 있다.
이방성 도전 필름, 공급부, 본딩부, 패널, 클리닝 부재

Description

이방성도전필름 부착 장치{ANISOTROPIC CONDUCTIVE FILM BONDING APPARATUS}
도 1은 본 발명에 따른 ACF 부착 장치를 나타낸 단면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 브러시 장치가 포함된 캐리어를 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 독립적인 브러시 장치를 나타낸 사시도이다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 브러시 장치의 동작을 나타낸 단면도이다.
< 도면 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
100: 공급부 120: 공급 릴 거치대
130: ACF 140: 공급 가이드 롤러
200: 본딩부 210: 기판 스테이지
220: 압착 프레스 230: 실린더
300: 회수부 320: 회수 가이드 롤러
400: 클리닝 부재 500: 캐리어
본 발명은 이방성도전필름 부착 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판 파손을 방지하기 위한 이방성도전필름 부착 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 표시 장치(FPD; Flat Panel Display)는 데스크탑 컴퓨터의 모니터 뿐만 아니라, 노트북 컴퓨터, PDA 등의 휴대용 컴퓨터나 휴대 전화 단말기 등의 소형 경량화된 시스템을 구현하는데 필수적인 표시 장치로, 이러한 평판 표시 장치는 액정 표시 장치(LCD; Liquid Crystal Display), 플라즈마 표시 장치(PDP; Plasma Display Panel), 전계 방출 표시 장치(FED; Field Emission Display) 등이 있다.
특히, 액정 표시 장치는 소형화, 경량화 및 저전력 소비화 등의 이점을 가지고 있어서 기존의 브라운관(CRT; Cathode Ray Tube)의 단점을 극복할 수 있는 대체 수단으로서 점차 주목받아 왔고, 현재는 평판 표시 장치를 필요로 하는 소형 및 중대형 제품으로 다양하게 적용되고 있다.
상기 LCD의 제조 공정에는 기판 상의 측변부 즉, 박막 트랜지스터 기판의 측변에 이방성도전필름(Anisotropic Conductive Film; ACF)을 도포하여 드라이버 IC 또는 연성인쇄회로기판(Flexible Printed Circuit, FPC)를 접합시키는 공정이 포함되고, 이러한 공정은 ACF 부착 장치 내에서 이루어진다.
즉, 컬러 필터(Color Filter; CF)가 형성된 유리 기판과, 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT)가 형성된 유리 기판 사이에 액정을 주입 합착하여 패널을 형성하고, 상기 패널을 셀 단위로 자른 후, 상기 셀 단위로 잘린 패널이 ACF 부착 장치 내로 인입되어 ACF 부착 공정을 수행하게 된다. 이때, 상기 ACF는 접착성 수지에 도전 입자가 산포된 것으로서, 소정의 전극 사이에 개재되어 외부로부터 압력이 가해지면 상기 도전 입자 표면의 절연막이 파괴되어 도전 입자가 상기 전극에 접촉됨으로써 상기 전극간이 전기적으로 단락된다.
하지만, 상기와 같은 공정을 수행할 때, 셀 단위로 자른 패널이 종종 커팅 미스(Cutting Miss)로 인하여 패널의 깨지게 되고, 상기 패널은 깨진 유리 조각을 동반한 채 ACF 부착 장치 내로 인입되게 된다. 따라서, 상기 깨진 유리 조각은 ACF 부착 장치 내에 남아있게 되어 다음 패널이 상기 ACF 부착 장치 내로 입인될 시 상기 패널의 깨지게 되는 문제점을 야기시킨다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 본 발명의 이방성도전필름 부착 장치는 상기 장치 내로 인입되는 패널의 파손을 방지하기 위한 이방성도전필름 부착 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 이방성도전필름 부착 장치는 기판이 안착되는 기판 스테이지와, 상기 기판 스테이지에 이방성 도전 필름을 공급하는 공급부와, 상기 공급부로부터 이방성 도전 필름을 기판 스테이지로 이송하는 캐리어와, 상기 기판 스페이지를 클리닝하기 위한 클리닝 부재를 포함한다.
상기 클리닝 부재는 브러시인 것을 특징으로 한다.
상기 브러시에 일단이 연결되는 수평 지지대와, 상기 수평 지지대의 타단에는 하부로 절곡 형성된 수직 지지대를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 수평 지지대는 상기 브러시를 전후 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 한다.
상기 수직 지지대는 상기 브러시를 상하 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 한다.
상기 수직 지지대의 하부는 캐리어와 연결된 것을 특징으로 한다.
상기 수직 지지대의 하부에는 이동 유닛이 더 설치된 것을 특징으로 한다.
상기 이동 유닛은 상기 브러시를 좌우로 이동시키는 것을 특징으로 한다.
상기 브러시의 재질은 열가소성 수지 계열의 수지인 것을 특징으로 한다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면상의 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
도 1은 본 발명에 따른 ACF 부착 장치를 나타낸 단면도이고, 도 2는 본 발명에 따른 브러시 장치가 포함된 캐리어를 나타낸 사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 독립적인 브러시 장치를 나타낸 사시도이고, 도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 브러시 장치의 동작을 나타낸 단면도이다.
도 1을 참조하면, 상기 ACF 부착 장치는 ACF(130)를 공급하는 공급부(100)와, 상기 공급된 ACF(130)를 기판(G) 상에 본딩하는 본딩부(200)와, 상기 본딩부(200)에서 ACF층(134)이 제거된 ACF(130)를 회수하는 회수부(300)와, 상기 본딩부(200)의 일측에 마련되어 본딩부(200) 내에 마련된 기판 스테이지(210)를 클리링 하기 위한 클리닝 부재(400)와, 상기 공급부(100), 본딩부(200), 회수부(300)를 따라 ACF(130)를 인입 및 인출하는 캐리어(500)를 포함한다.
상기 공급부(100)는 상기 본딩부(200)의 일측에 마련되고, ACF(130)가 감겨진 공급 릴 거치대(120)와, 상기 ACF(130)를 안내하는 다수의 공급 가이드 롤러(140)를 포함한다.
상기 공급 릴 거치대(120)는 통상 회전 취출 롤러를 사용하며, 상기 회전 취출 롤러에는 ACF(130)가 감겨져 있다. 이때, 상기 ACF(130)는 수지 계열인 접착성 수지 테이프(132)와, 상기 수지 테이프(132)의 일면에 형성된 도전 입자가 산포된 ACF층(134)과, 상기 수지 테이프(132) 및 ACF층(134)을 보호하도록 양면에 보호 부재(136)가 마련된다. 상기 공급 가이드 롤러(140)는 자유 구름 롤러로서, ACF(130)를 상기 본딩부(200)로 가이드 하는 역할을 한다. 즉, 상기 공급 릴 거치대(120)로부터 인출된 ACF(130)는 상기 공급 가이드 롤러(140)의 외곽면을 따라 이동하고, 이에 의해 본딩부(200) 내부로 인입된다.
상기 본딩부(200)는 공급부(100)의 일측에 마련되고, 기판(G)이 안착되는 기판 스테이지(210)와, 상기 기판 스테이지(210)의 상부에 마련된 압착 프레스(220)를 포함한다.
상기 기판 스테이지(210)는 기판(G)의 형상과 동일한 형상으로 형성된다. 이때, 상기 기판 스테이지(210)에는 상기 기판(G)을 상기 기판 스테이지(120)에 고정시키기 위해 척(미도시)이 더 마련될 수 있으며, 상기 척으로는 상기 기판(G)을 파지하는 기계척 또는 진공을 이용한 흡착 수단인 진공척일 수 있다. 상기 압착 프레 스(220)는 상기 기판 스테이지(210)의 상부에 마련되고, 상기 압착 프레스(210)의 상부에는 실린더(230)가 구비되어, 상기 실린더(230)에 의해 상기 압착 프레스(220)는 상하 이동 가능하게 설치된다.
따라서, 상기 ACF(130)가 상기 공급부(100)로부터 본딩부(200)에 인입되면 상기 ACF(130)는 상기 기판 스테이지(210)의 상부에 마련된 기판(G)과 수평으로 소정 거리 이격되어 배치되고, 상기 ACF(130) 상부에 마련된 압착 프레스(220)는 상기 압착 프레스(220)에 연결된 실린더(230)에 의해 하강하게 되고, 이에 의해 상기 기판(G) 상부에 마련된 ACF(130)를 가압하여 기판(G)에 ACF층(134)을 접착시킨다.
상기 회수부(300)는 상기 본딩부(200)의 타측, 구체적으로는 상기 본딩부(200)의 일측에 마련된 공급부(100)와 대향하는 타측에 마련되고, 회수 릴 거치대(310)와, 상기 ACF(130)을 안내하는 다수의 회수 가이드 롤러(320)를 포함한다.
상기 회수 릴 거치대(310)는 통상 회전 권취 롤러를 사용하며, 상기 권취 롤러에는 본딩 작업을 통해 ACF층(134)이 제거된 ACF(130)가 감겨진다. 또한, 다수의 회수 가이드 롤러(320)는 자유 구름 롤러로서, 상기 본딩 작업을 마친 ACF(130)를 상기 회수 릴 거치대(310)로 가이드 하는 역할을 한다. 즉, 상기 본딩부(200)로부터 ACF층(134)을 기판(G)에 본딩한 후, 상기 ACF층(134)이 제거된 ACF(130)는 상기 본딩부(200)로부터 인출되어 상기 회수 가이드 롤러(320)를 통해 회수 릴 거치대(310)로 감기게 된다. 이때, 상기 회수 릴 거치대(310)에 본딩된 ACF(130)가 다 감기게 되면, 상기 회수 릴 거치대(310)는 교체된다.
상기 클리닝 부재(400)는 상기 기판 스테이지(210)의 일측에 마련되며, 상기 클리닝 부재(400)는 상기 기판 스테이지(210)의 상부를 클리닝 하는 역할을 한다. 상기 클리닝 부재(400)에 대해서는 이후 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
상기 캐리어(500)는 공급부(100)와 본딩부(200) 및 회수부(300)와 인접하게 설치되며, 공급부(100)와 본딩부(200) 및 회수부(300)와 인접하는 곳에 이송 레일(미도시)이 설치되어 있어, 상기 이송 레일을 따라 이동가능하고, 이에 의해 상기 ACF(130)를 이동시키는 역할을 한다.
즉, 상기 캐리어(500)는 그립 장치(Gripper, 510)와, 분리 장치(Separator, 520)와, 위치 보정 장치(Positioner, 530)와, 롤러 가이드(Roller Guide, 540)와, 상기 그립 장치(510), 분리 장치(520), 위치 보정 장치(530) 및 롤러 가이드(540)를 고정 및 이동시키는 이송부(550)를 포함한다.
상기 그립 장치(510)는 ACF(130)를 파지하는 역할을 하며, 상기 그립 장치(510)의 끝단에는 통상적으로 상기 ACF(130)의 상하부에서 가압하도록 한 쌍이 맞물러 회전하는 롤러(미도시)로 구성된다. 상기 분리 장치(520)는 상기 그립 장치(510)의 일측에 마련되며, ACF(130)의 표면을 덮고 있는 보호 부재(136)를 제거하는 역할을 한다. 또한, 상기 위치 보정 장치(530)는 본딩부(200)로 인입된 ACF(130)를 상기 본딩될 기판(G)의 상부, 구체적으로는 상기 TFT가 형성된 유리 기판 상에 위치하도록 보정하는 역할을 한다. 상기 롤러 가이드(540)는 위치가 보정된 ACF(130)의 위치를 수평으로 유지시켜주는 역할을 한다. 또한, 이송부(550)는 상기 그립 장치(510), 분리 장치(520), 위치 보정 장치(530) 및 롤러 가이드(540)를 상부에 고정시켜 공급부(100), 본딩부(200) 및 회수부(300)를 따라 이동시키는 역할을 한다.
한편, 도 2에 도시된 바와 같이 상기 클리닝 부재(400)는 브러시(410)와, 상기 브러시(410)의 일단과 연결된 수평 지지대(420)와, 상기 수평 지지대(420)의 끝단에 수직으로 절곡 형성된 수직 지지대(430)와, 상기 수직 지지대(430)를 지지하는 이송 유닛(440)을 포함한다.
즉, 상기 브러시(410)의 재질은 내마모성이 우수한 열가소성 수지 계열인 PBT(PolyButylene Terephthalate)로서, 상기 기판 스테이지(210) 상부에 깨진 유리 조각 등의 이물질을 제거하는 역할을 한다. 이때, 상기 브러시(410)는 회전하면서 상기 스테이지의 상부를 클리닝한다.
상기 수평 지지대(420)는 상기 브러시(410)와 연결되고, 상기 브러시(410)를 지지하며 전후 방향 즉, 기판 스테이지(210) 방향으로 이동시키는 역할을 한다. 즉, 상기 수평 지지대(420)는 상기 기판 스테이지(210) 방향으로 이동하여 상기 수평 지지대(420)에 연결된 브러시(410)를 상기 기판 스테이지(210)의 상부로 이동시킨다. 이때, 상기 수평 지지대(420)는 실린더 또는 리니어 가이드(Linear Motor; LM Guide)가 사용될 수 있다.
상기 수직 지지대(430)는 상기 수평 지지대(420)의 끝단에 하부로 절곡되어 형성되어 있으며, 상기 브러시(410)를 상하로 이동시키는 역할을 한다. 즉, 상기 수직 지지대(430)는 상기 수평 지지대(420)에 의해 기판 스테이지(210)의 상부로 이동한 브러시(410)를 하강시켜 상기 기판 스테이지(210)와 접촉시킨다. 이때, 상기 수직 지지대(430)는 실린더 또는 리니어 가이드(Linear Motor; LM Guide)가 사 용될 수 있다.
상기 이송 유닛(440)은 상기 수직 지지대(430)의 하부에 마련되어 있으며, 상기 본딩부(200)의 변부와 이격되어 마련되며 구체적으로 상기 캐리어(500)의 일측에 마련되어 있으며, 캐리어(500)의 이동하는 레일(미도시)을 따라 이동한다. 즉, 상기 이송 유닛(440)은 상기 기판 스테이지(210) 상부에 위치된 브러시(410)를 좌우 방향으로 이동시킨다. 이때, 상기 이송 유닛(440)은 캐리어(500)가 이동하는 레일을 따라 이동하였지만, 상기 레일에 인접하는 또 다른 레일을 형성하여 이동할 수 있음은 물론이다. 즉, 이는 상기 캐리어(500)와 간섭을 받지 않고, 자유롭게 이동할 수 있는 효과가 있다.
따라서, 상기 브러시(410)는 이송 유닛(440)에 의해 기판 스테이지(210) 일측으로 이동하고, 수평 지지대(420)에 의해 전진하여 기판 스테이지(210) 상부로 이동한 후, 수직 지지대(430)에 의해 상기 브러시(410)가 하강하여 상기 기판 스테이지(210)와 접촉하게 된다. 이후, 상기 브러시(410)는 수평 지지대(420) 및 이송 유닛(440)에 의해 전후 및 좌우 방향으로 이동하면서, 상기 기판 스테이지(210)의 상부를 클리닝하게 된다.
이때, 상기 수평 지지대(420) 및 수직 지지대(430)는 독립적으로 연결될 수 있으며, 일체로 형성할 수 있음은 물론이다.
상기에서는 클리닝 장치(400)가 상기 기판 스테이지(210)의 일측에 마련된 것으로 도시되었으나, 상기 본딩부(200)의 상부 및 측면에 설치될 수 있음은 물론이다. 하지만, 설비상 상부 및 측면의 공간이 좁아 설치상의 어려움이 있기 때문에 상기 실시예에 도시된 바와 같이 구성하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 클리닝 부재(400)는 도 3에 도시된 바와 같이 구성할 수도 있다. 즉, 상기 클리닝 부재(400)는 상기 캐리어(500)의 이송 부재(550)의 상부에 설치되고, 브러시(410)와, 수평 지지대(420)와 수직 지지대(430)를 포함한다.
즉, 상기 브러시(410)는 수평 지지대(420)와 그 일단이 연결되고, 상기 수평 지지대(420)는 수직 지지대(430)와 연결되어 있다. 또한, 상기 수직 지지대(430)는 상기 캐리어(500)의 이송 부재(550)의 상부에 고정되어 있다. 이때, 상기 수평 지지대(420) 및 수직 지지대(430)는 실린더 또는 LM 가이드로 형성될 수 있으며, 상기 수평 지지대(420) 및 수직 지지대(430)는 상기 브러시(410)를 전후 방향 즉, 기판 스테이지(210)의 방향 및 그 반대 방향과, 상기 브러시(410)를 상하 방향 즉, 기판 스테이지(210)의 상부에 가까운 방향 및 그 반대 방향으로 이동시킨다.
상기에서는 상기 클리닝 부재(400)가 이송 부재(550)의 끝단 즉, 공급부(100)에 가장 가까운 곳에 마련되었지만, 어느 곳에 설치되어도 무방하다.
따라서, 상기와 같은 구성은 클리닝 부재(400)를 별다른 구성 없이 캐리어(500)의 이송 부재(550)의 상부에 설치할 수 있으므로, 그 구성이 용이하다는 효과가 있다.
이하에서는 도 1과, 도 4a 및 도 4b를 참조하여, 상기 ACF 부착 방법에 대해 설명한다.
먼저, 전공정을 마친 기판이 언로딩되면, 상기 클리닝 부재(400)의 이송 유닛(440)은 상기 브러시(410)를 상기 기판 스테이지(210) 일측으로 이동시킨다. 상 기 기판 스테이지(210)의 일측으로 이동된 브러시(410)는 상기 브러시(410)에 연결된 수평 지지대(420)에 의해 전진하여 기판 스테이지(210)의 상부로 이동한다. 이후, 상기 수평 지지대(420)에 연결된 수직 지지대(430)를 하강시켜 상기 브러시(410)를 기판 스테이지(210)와 접촉시키도록 한다.
상기 기판 스테이지(210)와 접촉된 브러시(410)는 회전하기 시작하고, 이에 의해 기판 스테이지(210)의 상부에 전공정을 마친 기판에 의해 발생된 깨진 유리나 이물질을 제거한다. 이때, 상기 브러시(410)는 이송 유닛(440)의 이동 및 수평 지지대(420)의 이동에 의해 기판 스테이지(210)의 상부 전면을 따라 이동하여 상기 기판 스테이지(210)의 상부의 이물질을 제거한다.
상기와 같이 기판 스테이지(210)의 클리닝 작업을 마치면, ACF(130)가 부착되어질 기판(G)이 상기 본딩부(200)로 로딩되어 기판 스테이지(210) 상부에 안착된다.
이후, 공급부(100)에 마련된 공급 릴 거치대(120)를 회전시켜 상기 공급 릴 거치대(120)에 감겨진 ACF(130)를 다수의 공급 가이드 롤러(130)의 외부를 따라 이동하게 되고, 상기 ACF(130)는 본딩부(200) 내로 인입된다.
인입된 ACF(130)는 그립 장치(510)에 의해 ACF(130)를 파지되고, 그립 장치(510)를 통과한 ACF(130)는 분리 장치(520)에 의해 상기 ACF(130)를 보호하고 있는 보호 부재(136)를 제거한다. 이후, 상기 보호 부재(136)가 제거된 ACF(130)는 위치 보정 장치(530)에 의해 ACF(130)가 본딩될 기판(G)의 상부에 위치시키고, 롤러 가이드(540)를 통해 상기 ACF(130)가 상기 기판(G)과 수평으로 유지시켜준다.
상기와 같이 준비된 ACF(130)는 상기 기판 스테이지(210)의 상부에 마련된 압착 프레스(220)에 연결된 실린더(230)에 의해 압착 프레스(220)가 하강하게 되고, 이에 의해 ACF(130)에 형성된 ACF층(134)이 기판(G) 상에 본딩되게 된다.
이후, ACF층(134)이 제거된 ACF(130)는 회수부(300)에 마련된 회수 가이드 롤러(320)의 외부를 따라 이동하게 되고, 회수 릴 거치대(310)에 감겨지게 되어 상기 공정을 마치게 된다.
상기에서는 ACF 부착 장치 내에 표시 패널이 안착되어 ACF가 본딩되는 모습을 도시하였으나, 상기 표시 패널 이외에 PCB 기판이 적용될 수 있음은 물론이다.
또한, 상기에서는 상기 클리닝 부재가 기판 스테이지를 클리닝 하였지만, ACF가 본딩될 기판이 로딩되었을 때, 상기 인입된 기판의 상부를 클리닝 할 수 있음은 물론이다.
이상에서는 도면 및 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명은 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 클리닝 부재를 포함하는 이방성도전필름 부착 장치 상기 이방성 도전 필름 부착 장치 내로 인입되는 패널이 이전 공정에서 발생된 깨진 유리 또는 이물질에 의한 파손을 방지하는 효과가 있다.

Claims (9)

  1. 기판이 안착되는 기판 스테이지와,
    상기 기판 스테이지에 이방성 도전 필름을 공급하는 공급부와,
    상기 공급부로부터 이방성 도전 필름을 기판 스테이지로 이송하는 캐리어와,
    상기 기판 스페이지를 클리닝하기 위한 클리닝 부재
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 이방성 도전 필름 부착 장치.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 클리닝 부재는 브러시인 것을 특징으로 하는 이방성 도전 필름 부착 장치.
  3. 청구항 2에 있어서, 상기 브러시에 일단이 연결되는 수평 지지대와, 상기 수평 지지대의 타단에는 하부로 절곡 형성된 수직 지지대를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이방성 도전 필름 부착 장치.
  4. 청구항 3에 있어서, 상기 수평 지지대는 상기 브러시를 전후 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 이방성 도전 필름 부착 장치.
  5. 청구항 4에 있어서, 상기 수직 지지대는 상기 브러시를 상하 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 이방성 도전 필름 부착 장치.
  6. 청구항 5에 있어서, 상기 수직 지지대의 하부는 캐리어와 연결된 것을 특징으로 하는 이방성 도전 필름 부착 장치.
  7. 청구항 5에 있어서, 상기 수직 지지대의 하부에는 이동 유닛이 더 설치된 것을 특징으로 하는 이방성 도전 필름 부착 장치.
  8. 청구항 7에 있어서, 상기 이동 유닛은 상기 브러시를 좌우로 이동시키는 것을 특징으로 하는 이방성 도전 필름 부착 장치.
  9. 청구항 2 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 있어서, 상기 브러시의 재질은 열가소성 수지 계열의 수지인 것을 특징으로 하는 이방성 도전 필름 부착 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100974335B1 (ko) * 2008-10-09 2010-08-05 (주)오토엠아이티 시트 어셈블리 머시인에 적용된 원판 필름 합착 스테이지의공기압 완충장치
KR101399158B1 (ko) * 2012-10-25 2014-05-30 희성전자 주식회사 일체형 터치 스크린 패널의 제조장치 및 제조방법
KR20160085393A (ko) * 2015-01-07 2016-07-18 삼성디스플레이 주식회사 디스플레이 장치 제조방법 및 이를 위한 제조장치

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