KR20080045605A - 약액 공급장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (10)
- 액체 유입구 및 액체 유출구에 연통하는 펌프실과 구동실을 나누는 탄성변형자재의 구분막이 설치된 펌프와,상기 피스톤을 축방향으로 왕복운동시키고, 상기 비압축성매체를 통해서 상기 펌프실을 팽창수축시키는 구동수단과,상기 피스톤과 상기 실린더와의 사이에 설치되고, 상기 피스톤이 상기 접동면에 연결됨과 동시에 비압축성매체가 봉입된 씰 실을 형성하는 탄성변형자재의 탄성변형부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급장치.
- 제1항에 있어서, 상기 탄성변형부재를 벨로스 커버에 의해 형성하고, 상기 벨로스 커버의 평균 유효경을 상기 피스톤의 상기 접동면 외경과 거의 동일하게 설정하는 것을 특징으로 하는 약액 공급장치.
- 제2항에 있어서, 상기 피스톤에 상기 접동면의 외경보다도 소경의 소경부를 형성하고, 상기 벨로스 커버를 상기 실린더의 개구단부와 상기 피스톤의 기단부와 의 사이에 설치하며, 상기 벨로스 커버와 상기 소경부와의 사이에 상기 씰 실을 형성하는 특징으로 하는 약액 공급장치.
- 제2항에 있어서, 상기 실린더의 상기 접동면 내경보다도 대경의 대경공을 상기 실린더에 형성하고, 상기 벨로스 커버를 상기 피스톤의 기단부와 상기 실린더의 개구단부와의 사이에 설치하며, 상기 벨로스 커버와 상기 대경공과의 사이에 상기 씰 실을 형성하는 것을 특징으로 하는 약액 공급장치.
- 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 씰 실의 압력을 검출하는 씰 실 압력검출수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급장치.
- 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 구동실의 압력을 검출하는 구동실 압력검출수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급장치.
- 제 1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 구동실은 상기 실린더에 설치된 구분막과 상기 피스톤에 의해 구획 형성되는 것을 특징으로 하는 약액공급 장치.
- 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 구동실은 상기 펌프에 설치된 펌프측의 구동실과 상기 실린더와 상기 피스톤에 의해 형성되는 피스톤측의 구동실로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 공급장치.
- 제 1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 구분막은 다이어프램인 것을 특징으로 하는 약액 공급장치.
- 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 구분막은 튜브인 것을 특징으로 하는 약액 공급장치.
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