KR20080039724A - 다층 나노선 및 이의 형성방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 철(Fe)/금(Au)의 다층 구조를 갖는 나노선 형성 방법에 관한 것으로, 특히 생체 적합성(Biocompatibility)을 갖는 바코드(Barcode) 형 다층(Multilayer) 구조의 나노선을 펄스 전기도금법(Pulsed Electrodeposition)에 의해 하나의 도금조 안에서 양극산화 알루미늄(Anodic Aluminum Oxide, AAO) 나노틀(Nanotemplate)을 사용하여 합성함으로써 나노선의 모양 및 크기 제어가 용이하다.
다층 나노선, 나노 바코드, 펄스 전기도금법, 나노기술

Description

다층 나노선 형성방법{Method of Manufacturing Multilayered Nanowires}
도 1은 본 발명에 따라 Fe/Au 바코드(Barcode) 형 다층 나노선을 형성하는 방법을 나타내는 모식도,
도 2는 본 발명에 따라 형성한 Fe/Au 바코드(Barcode) 형 다층 나노선의 주사현미경(SEM) 사진,
도 3은 본 발명에 따라 형성한 다층구조의 Fe/Au 나노선으로 (a) 투과전자현미경(TEM)의 라인스캐닝(Line Scanning) 이미지 (b) 철(Fe)의 원소 매핑(Elemental Mapping) 이미지 (c) 금(Au)의 원소 매핑(Elemental Mapping) 이미지,
도 4는 본 발명에 따라 형성한 Fe/Au 나노선의 투과전자현미경(TEM) 사진으로 (a) Fe(50 nm)/Au(65 nm)의 다층구조를 갖는 나노선의 형상 및 (b) Fe(55 nm)/Au(100 nm)의 다층구조를 갖는 나노선의 형상,
도 5는 본 발명에 따라 형성한 전기도금한 다층구조의 Fe/Au 나노선의 진동 시편 마그네토미터(Vibrating Sample Magnetometer, VSM)으로 측정한 자기이력곡선,
도 6은 나노선의 각층의 원소의 순도를 높이기 위해 유도결합 플라즈마 방출분광기 (Inductively Coupled Plasma Atomic Emission Spectrophotometer, ICP-AES)를 사용하여 분석한 결과를 나타내는 도면.
본 발명은 다층 구조를 갖는 나노선 형성 방법에 관한 것으로, 특히 펄스 전기도금법(Pulsed Electrodeposition)에 의해서 하나의 도금조 안에서 양극산화 알루미늄(AAO: Anodic Aluminum Oxide) 나노 틀(Nanotemplate)을 사용하여 철(Fe)/금(Au)의 다층(Multilayer) 구조를 갖는 바코드(Barcode) 형 나노선을 합성하는 방법에 관한 것이다.
금속 나노입자는 미소전자공학(Microelectronics), 광양자학, 촉매반응, 생명공학 등 다방면에 응용될 수 있으며, 이 중에서 나노선(Nanowire) 구조는 고밀도의 자성 메모리, 거대자기저항(GMR, Giant Magnetoresistance) 센서와 같은 분야에서 나노틀 구조를 이용하여 자성 나노선의 크기, 모양, 결정도 등을 조절할 수 있어 나노틀을 활용한 나노선의 합성방법이 주목을 받아왔으며, 많은 연구가 진행되고 있다. 이러한 연구에 더불어 다층의 나노선 구조를 제조함으로서 각 층이 갖는 고유한 물성이 발현됨은 물론, 각 층의 역할분담에 따른 시너지 작용을 통해서 새로운 응용분야가 창출되고 있다.
특히, 철(Fe)/금(Au)의 다층의 구조를 갖는 나노선은 생체적합성(Biocompatibility)를 갖고 있어 생명공학의 분야에서 응용(Application)이 가능하다는 장점을 갖는다. 금이 뛰어난 생체적합성을 가지고 있어, 생체기능성(Bio- Functionalization)을 부여할 수 있게 해준다. 바이오를 기반으로 하는 생명공학에서는 금을 바탕으로 하는 연구, 즉 금으로 구조물을 만든 뒤에 그 위에 기능성을 부여하는 연구가 많이 진행되어 있다. 특히, 금은 독특한 광학적, 화학적 특성을 가지고 있어서, 고감도 진단분석, 포토닉스(Photonics)가 가능한 영상과 치료, 약물/유전자 전달 그리고 응고치료(Thermal Ablation) 와 방사선 치료(Radiotherapy)의 개선과 같은 다양한 의학적인 응용에 있어서 금에 대한 연구가 진행되고 있다. 기능성 금 코팅은 나노입자가 금 표면에 부착이 가능한 바이오 마커(Marker)나 링커(Linker)와 함께 사용될 수 있도록 표면을 제공한다.
한편, 철(Fe)층은 자성적인 성질을 갖는다는 점에서 매력적이다. 특히 생명과학과 의학에서의 잠재적인 응용분야로 꼽히고 있는, 자기공명 영상(Magnetic Resonance Imaging, MRI)의 조영제, 악성세포에 대한 발열요법, 화학요법과 방사선요법의 첨가제, 세포막 조절, 자성 분리와 세포 배열 그리고 표시된 (Labeled) 세포나 다른 생물학적인 물질의 진로추적, 약물전달, 특정한 부위를 대상으로 작용하는 약물, 유전자 및 방사선 핵 치료, 나노 탐침과 바이오 센서 분야 등 많은 분야에 적용되는 신기술에서는, 나노구조물의 움직임을 제어하기 위해 자기적 성질을 이용하는 연구가 많이 진행되고 있다.
이와 같이 기본적으로 생체적합성을 갖는 재료들로 합성된 나노선의 기본적인 성질 외에 생명공학분야에서 요구되는 조건(기능성을 부여할 수 있는 금층, 자성성질을 이용할 수 있게 만들어 주는 철층)을 만족하는 다층구조의 나노선은 많은 장점들을 갖는다. 이러한 나노선의 합성으로 각 성질들을 이용하여 적용될 수 있는 분야 뿐 만이 아니고, 각 성질들의 시너지 작용으로 인한 새로운 시장의 창출도 가능할 것으로 예상하고 있다.
다층의 나노구조, 바코드(Barcode) 나노선과 관련한 연구는 많은 그룹에서 진행되고 있다. 그러나 생체적합성을 갖는 나노선에 대한 연구는 이루어지지 않고 있다.
또한, 나노 구조의 크기는 생체친화적인 응용에 중요한 요소들 중에 하나로 세포(10-100 μm), 바이러스(20-450 nm), 단백질(5-50 nm) 또는 유전자(폭 2 nm 길이 10-100 nm) 등의 크기에 맞도록 조절이 가능하여야 한다.
따라서 생체적합성 있는 철(Fe)/금(Au)의 다층(Multilayer) 구조를 갖는 바코드(Barcode) 형 나노선을 효율적으로 합성하는 방법이 요구된다.
본 발명의 목적은 철(Fe)/금(Au)의 다층(Multilayer) 구조를 갖는 바코드(Barcode) 형 나노선을 효율적으로 합성하는 방법을 제공하는 것이다.
이러한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 양극산화 알루미늄 나노틀을 이용하여 제1전류를 사용하여 철을, 상기 제 1 전류보다 낮은 제 2 전류를 사용하여 금을 상기 나노틀의 세공(Pore)으로 서로 번갈아 충진되게 하여 철-금 다층 나노선을 형성하는 전기도금 공정과 상기 양극 산화 나노틀을 에칭하는 공정을 포함하는 바코드 형 철-금 다층 나노선 형성 방법을 제공한다.
또한, 이외에 이러한 바코드 형 철-금 다층 나노선 형성 방법과 다른 실시 예 또는 구성요소의 변경, 추가 등에 의한 다른 실시예의 제공이 가능하다.
본 발명은 하나의 도금조 안에서 양극산화 알루미늄(Anodic Aluminum Oxide, AAO) 나노 틀(Nanotemplate)을 사용하여 펄스 전기도금법(Pulsed Electrodeposition)으로 다층(Multilayer) 구조를 갖는 바코드(Barcode)형 나노선을 합성하는 방법에 관한 것이다.
이하에서 본 발명의 실시예로 생체 적합성을 갖는 철(Fe)/금(Au)의 다층(Multilayer) 구조를 갖는 바코드형 나노선을 합성하는 방법을 설명한다.
구체적으로는 한 개의 도금조 속에 철 2가 이온을 나타내는 Iron (II) Sulfate Heptahydrate(FeSO4 7H2O 278.02 g/mol) 전구체(Precursor)와 금 1가 이온을 나타내는 Potassium Dicyanoaurate(Ⅰ)(KAu(CN)2 288.10 g/mol) 전구체를 일정 비율로 갖는 용액에 AAO를 음극에 위치시키고, 펄스도금 방법, 즉 환원 전위의 차이를 이용하여, 높은 전류와 낮은 전류를 번갈아 가면서 인가하여 높은 전류에서는 철을, 낮은 전류에서는 금이 전기도금 되도록 하여 철(Fe)와 금(Au)의 다층의 나노선을 형성한다.
이하에서 도면을 참조하여 구체적인 철(Fe)와 금(Au)의 다층의 나노선 형성 방법을 설명한다.
도 1은 본 발명에 따라 Fe/Au 바코드(Barcode) 형 다층 나노선의 제조방법을 나타내는 모식도이다.
도 1의 A는 나노틀을 나타낸다. 나노틀로는 양극산화 알루미늄(Anodic Aluminum Oxide, AAO) 나노틀, 무기재료(Inorganic) 나노틀 또는 고분자 나노틀을 사용한다. 여기에서는 양극 산화 알루미늄 나노틀을 사용하는 경우를 도시한다. 양극산화 알루미늄을 나노틀 세공(Pore)의 지름에 따라 나노선의 크기가 정해지며, 나노선의 형성 시간 및 속도에 따라 나노선 길이가 결정된다.
여기에서 사용한 양극산화 알루미늄 나노틀은 직경이 200 나노미터 크기인 세공을 다수 갖는다.
다음에 B로 표시되어 있는 도면은 다층박막 나노선을 전기도금으로 제작하기 위하여, 전기도금 전에 전자빔 증착법(Electron Beam Evaporation)으로 양극산화 알루미늄 나노틀의 밑면에 250 nm 두께의 은(Ag) 전극층을 형성한다. 이 전극층은 전기도금 시 음극 전극 역할을 한다. 여기서 전극층으로 다른 금속 또는 다른 전도성 물질 층을 사용할 수 있다.
다음에 도 1의 C로 표시되어 있는 도면은 양극 산화 알루미늄 나노틀의 세공 각각에 전기도금 방법으로 다층 구조를 갖는 바코드형 Fe/Au 나노선을 형성하는 공정을 나타낸다.
높은 전압이나 전류에서는 Fe 층이 합성되고, 낮은 전압이나 전류에서는 Au 층이 합성되도록 번갈아 전압이나 전류를 인가하는 펄스 도금법으로 양극산화 알루미늄 나노틀 세공 안에 Fe/Au 바코드 나노선이 합성되도록 한다.
한 개의 도금조 내에 Iron (II) Sulfate Heptahydrate(FeSO4 7H2O 278.02 g/mol)와 Potassium dicyanoaurate(Ⅰ)(KAu(CN)2 288.10 g/mol)을 일정 비율을 가지도록 몰(mole) 농도를 맞추어 전구체(precursor)로 사용하는 전기도금을 위한 전해액을 만든다. 전류의 항상성을 유지하기 위해 붕산(H3BO3)을 버퍼솔루션으로 추가한다.
여기에서 한 개의 도금조 안에 두 종류의 전구체를 같이 넣고 두 개의 원소가 각각 한 층을 이루는 나노선을 합성해야 하기 때문에 전구체의 선택 시 두 종류의 전구체가반응을 해서 합성물을 생성하지 않아야 한다. 즉, 각각의 원소가 이온상태로 존재하고 있어야만 한다. 따라서 철 이온(2+, 3+)과 화합물을 만들어서 금이 이온상태로 존재하지 않는 것으로 추정되는 비시안(Non-Cyanide) 계 금((Ⅲ))은 사용할 수 없다.
또한, 환원성이 좋은 원소의 이온 함량과 환원성이 좋지 못한 원소 함량의 비율 조정을 통해, 다층의 구조에서 각각의 원소를 분리 할 수 있도록 해야 한다. 사용한 용액의 철 대 금 이온의 몰 농도의 비는 40:1에서 4:1 범위(바람직하게는 16:1)로 귀한(Noble)한 금속인 금의 농도를 상대적으로 낮게 첨가하여 두 종류의 원소가 각각 한 층을 이루는 나노선을 합성할 수 있다.
전해액은 초순수(Deionized Water)를 이용하여 제조하고, 수소이온화 농도(pH Value)를 붕산(H3BO3)을 이용하여 일정하게 유지하여 전류의 항상성을 유지할 수 있게 한다.
나노틀에 펄스 전기도금을 실행하여 Fe/Au 다층구조 바코드형 나노선을 형성한다. 철 이온의 전기도금을 위하여 10 mA/cm2 의 전류를 가하였고, 금 이온의 전기도금을 위하여 1.0 mA/cm2 의 전류를 인가하였다.
철과 금은 각각 서로 다른 환원 전위(Electrochemical Potential)를 갖는데, 이러한 환원 전위의 차이를 이용하여, 위에 기술한 바와 같이 상대적으로 높은 전류에서는 철을, 상대적으로 낮은 전류를 인가하였을 경우에는 금의 도금이 가능하다. 이렇게 함으로써 Fe/Au 다층박막 나노선 제조가 가능하다.
다음에는 도 1의 D라고 표시되어 있는 공정으로, 개별의 다층박막 나노선을 획득하기 위하여, 양극산화 나노틀을 상온에서 1 시간동안 1 M의 수산화나트륨(NaOH) 용액 처리를 하면 나노틀과 전극층이 모두 녹고 바코드형 철/금의 다층박막 나노선을 분리할 수 있다.
나노선의 직경은 세공의 크기가 다른 양극 산화 알루미늄 나노틀을 사용함으로써 제어가 가능하고, 나노선의 철과 금의 각 층의 두께는 전기도금 시간을 변경함으로써 제어 가능하다.
도 2는 본 발명에 따라 형성한 Fe/Au 바코드(Barcode) 형 다층 나노선의 주사현미경(Scanning Electron Microscope, SEM) 사진이다.
즉, AAO(양극산화알루미늄)속에 Fe / Au의 다층의 나노선이 합성되어 있는 상태를 FE-SEM으로 보여주는 그림, 밝은(흰)색을 띠는 부분은 금 부분이고, 어두운 부분은 철이 위치해 있다. 밝은 부분과 어두운 부분이 교대로 있는 다층의 구조를 확인할 수 있다.
다층 나노와이어의 각층은 철과 금으로 이루어지는데, 철(Fe) 층(Layer)은 10 mA/cm2 에서 4 초(sec) 이고, 금(Au) 층(Layer) 은 1.0 mA/cm2 에서 60 초(sec) 실험조건에서 형성한 100 주기 적층에 대한 사진이다. 여기서 Fe 성장속도는 28.5 nm/sec이고, Au 성장속도는 0.52 nm/sec이다.
고분해능 투과전자현미경(High-Resolution Transmission Electron Microscope, HRTEM)은 바코드 나노선에서 Fe 및 Au 각층의 길이, 형상, 원소분포와 같은 다양한 정보를 제공한다. 또한 HRTEM을 이용하여 얻은 격자(Lattice) 사진은 결정화도를 분명하게 보여준다. HRTEM 분석을 통해서 두께를 확인한 결과 Fe 층이 평균적으로 57 nm, Au 층이 31 nm를 갖는 것으로 조사되었다.
도 3은 본 발명에 따라 형성한 다층구조의 Fe/Au 나노선으로 (a) 투과전자현미경의 라인스캐닝(Line Scanning) 이미지, (b) 철(Fe)의 원소 매핑(Elemental Mapping) 이미지, (c) 금(Au)의 원소 매핑(Elemental Mapping) 이미지이다.
여기서의 실험조건은 다음과 같다. 즉, Fe는 20 mA/cm2 에서 4 sec, 그리고 Au는 1 mA/cm2 에서 120 sec 인가한다. FE-SEM으로는 정확히 원소를 확인하기 어렵기 때문에 TEM을 이용하여 원소의 분석 및 각 원소의 분포를 확인한 TEM 사진이다. 1 M NaOH로 녹여내고 한 개의 나노선을 대상으로 TEM으로 찍은 사진이다.
도 3(a)는 TEM 이미지와 원소 라인스캐닝을 보여준다. 위쪽 그래프는 철을 나타내고, 아래쪽 그래프는 금의 비율을 보여준다. 도 3(b)는 철의 원소 매핑(Elemental Mapping이고 도 3(c)는 금의 원소매핑(Elemental Mapping)이다. 도 3(b) 및 (c)에서 각층은 철이 110 nm, 금이 30 nm로 다층 구조를 이루고 있음을 알 수 있다. (Elemental Mapping이고 도 3(c)는 금의 원소매핑(Elemental Mapping)이다.
도 4는 본 발명에 따라 형성한 Fe/Au 나노선 투과전자현미경(TEM) 사진으로 (a) Fe(50 nm)/Au(65 nm)의 다층구조를 갖는 나노선의 형상, (b) Fe(55 nm)/Au(100 nm)의 다층구조를 갖는 나노선의 형상을 나타낸다.
여기에서 어두운 부분은 금 부분이고 밝은 부분은 철 부분이다. 각각의 두께는 이미지에 표시된 바와 같다.
도 5는 본 발명에 따라 형성한 전기도금한 다층구조의 Fe/Au 나노선의 진동 시편 마그네토미터(Vibrating Sample Magnetometer, VSM)로 측정한 자기이력곡선을 나타낸다. 여기서 진동 시편 마그네토미터는 진동형 시료 자속계라고도 한다.
진동 시편 마그네토미터(Vibrating Sample Magnetometer, VSM)로 측정한 Fe / Au 다층 구조의 나노선에 대한 자성특성을 측정한 것이다. 나노선의 축방향과 평행하게(Parallel) 자기장을 인가한 경우와 수직한(Perpendicular) 방향으로 인가한 경우를 나타낸다.
자화용이축(Easy Axis)은 나노선과 평행한 방향임을 알 수 있다. 보자력(Coercivity)은 나노선과 평행한 방향이 42 Oe, 수직인 방향이 36 Oe임을 알 수 있다. 이와 같은 연자성(Soft Magnetic) 성질을 가진 물질은 바이오 응용 (Bio- Application)에서 용이한데, 그 이유는 자성 나노구조의 자성성질 때문에 발생하는 뭉침(Agglomeration) 현상을 예방하여 분산이 용이하기 때문이다.
진동시편마그네토미터(Vibrating Sample Magnetometer, VSM)로 측정한 자성 나노구조의 자기적 특성을 살펴볼 때, 본 기술로 얻어진 시료는 높은 자화율(Susceptibility)을 갖고 있으며, 외부 자기장에 대한 민감도가 높아 생명공학 분야의 응용에 유리하다. 또한, 초상자성(Superparamagnetism)에 가까운 특성으로 말미암아 생체 내외에서 나노구조의 분산이 원활하다.
또한, 특정 발병 부위에 나노구조를 위치시키고, 세포와 생물분자 간에 선택적 상호 반응을 발생시킬 수 있게 하는 기술이 필요하다. 이러한 이유로 표면을 특정 기능화 할 수 있게 하는 금 코팅 기술이 요구되는 바, 본 기술에서 개발한 Fe/Au 다층 나노선은 금 구조를 포함하고 있어 따로 금 코팅이 필요 없는 신소재이다.
도 6은 나노선의 각층의 원소의 순도를 높이기 위해 유도결합 플라즈마 방출분광기(Inductively Coupled Plasma Atomic Emission Spectrophotometer, ICP-AES)를 사용하여 분석한 결과를 나타내는 도면이다. 같은 조건의 용액을 사용하여 0, 0.25, 0.5, 1, 1.5, 2.5, 5, 10, 15, 20, 30, 40 mA/Cm2 의 전류를 인가하여 나노선을 합성한다. 그리고 각 나노선들의 원소별 질량 퍼센트를 유도결합 플라즈마 방출 분광기를 사용하여 분석하였다.
결과를 보면, 30 mA/Cm2는 Fe 층을 위한 최적의 조건이고, 1.5 mA/Cm2 는 Au 층을 위한 최적의 조건임을 알 수 있다.
이러한 본 발명에서 철과 금의 다층 박막을 형성하고, 양극 산화 나노틀을 에칭하는 공정 다음에 상기 두개의 금속 박막중 하나의 금속 박막을 화학 에칭하면 하나의 원판형 금속 나노입자 형성도 가능하다.
한편, 본 발명의 상세한 설명에서 바람직한 실시 예 등을 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명할 것이다.
본 발명에 펄스 전기도금법(Pulsed Electrodeposition)으로 하나의 도금조 안에서 양극산화 알루미늄(Anodic Aluminum Oxide, AAO) 나노틀(Nanotemplate)을 사용하여 생체 적합성(Biocompatibility)을 갖는 철/금의 다층(Multilayer) 구조를 갖는 바코드(Barcode) 형 나노선을 합성할 수 있다. 본 발명은 공정이 간단하고, 제조비용이 저렴할 뿐 아니라, 우수한 재현성을 가지며, 나노선의 모양 및 크기 제어도 용이하게 할 수 있다.

Claims (20)

  1. 바코드 형 철(Fe)-금(Au) 다층 나노선 형성 방법에 있어서,
    양극산화 나노틀을 이용하여 제1전류를 사용하여 철을, 상기 제 1 전류보다 낮은 제 2 전류를 사용하여 금을 상기 나노틀의 세공(Pore)으로 서로 번갈아 충진시켜 철-금 다층 나노선을 형성하는 전기도금 공정,
    상기 양극산화 나노틀을 에칭하는 공정을 포함하는 바코드 형 철-금 다층 나노선 형성 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 양극산화 나노틀은 양극산화 알루미늄 나노틀 임을 특징으로 하는 바코드 형 철-금 다층 나노선 형성 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 전기도금 공정 전에 전자빔 증착법으로 상기 양극산화 알루미늄 나노틀의 밑면에 전도성 물질층을 형성하는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 바코드 형 철-금 다층 나노선 형성 방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 전기도금 공정에 사용하는 전해액은 Iron (II) Sulfate Heptahydrate(FeSO4 7H2O)와 Potassium Dicyanoaurate(Ⅰ)(KAu(CN)2l)인 것을 특징으로 하는 바코드 형 철-금 다층 나노선 형성 방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 Iron (II) Sulfate Heptahydrate(FeSO4 7H2O)와 Potassium Dicyanoaurate(Ⅰ)(KAu(CN)2l)의 비율은 40:1에서 4:1 범위인 것을 특징으로 하는 바코드 형 철-금 다층 나노선 형성 방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 양극 산화 나노틀을 에칭하는 공정은 NaOH를 사용하는 것을 특징으로 하는 바코드 형 철-금 다층 나노선 형성 방법.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제 1 전류는 30 mA/Cm2 이고, 상기 제 2 전류는 1.5 mA/Cm2 임을 특징으로 하는 바코드 형 철-금 다층 나노선 형성 방법.
  8. 바코드형 철(Fe)-금(Au) 다층 나노선 형성 방법에 있어서,
    한 개의 도금조 속에 Iron (II) Sulfate Heptahydrate(FeSO4 7H2O)와 Potassium Dicyanoaurate(Ⅰ)(KAu(CN)2l)을 40:1에서 4:1 범위의 비율의 용액을 제조하는 단계;
    하부에 전도성 물질층을 가지는 양극산화 알루미늄 나노틀을 음극에 위치시키고, 펄스를 사용하여 제 1 전류와 제 2 전류를 교대로 인가하여 철-금 다층 나노선을 형성하는 단계; 와
    상기 양극 산화 나노틀을 에칭하는 공정을 포함하는 바코드형 철-금 다층 나노선 형성 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 나노틀은 양극산화 알루미늄 나노틀 임을 특징으로 하는 바코드 형 철-금 다층 나노선 형성 방법.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 전도성 물질층을 전자빔 증착법으로 250 nm 두께로 형성된 것을 특징으로 하는 철-금 다층 나노선 형성 방법.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 Iron (II) Sulfate Heptahydrate(FeSO4 7H2O)와 Potassium Dicyanoaurate(Ⅰ)(KAu(CN)2l)의 비율은 16:1 인 것을 특징으로 하는 바코드형 철- 금 다층 나노선 형성 방법.
  12. 제8항에 있어서,
    상기 양극산화 알루미늄 나노틀을 에칭하는 공정은 NaOH를 사용하는 것을 특징으로 하는 바코드 형 철-금 다층 나노선 형성 방법.
  13. 제8항에 있어서,
    상기 제 1 전류는 30 mA/Cm2 이고, 상기 제 2 전류는 1.5 mA/Cm2 임을 특징으로 하는 바코드 형 철-금 다층 나노선 형성 방법.
  14. 바코드형 철(Fe)-금(Au) 다층 나노선 형성 방법에 있어서,
    한 개의 도금조 속에 철 2가 이온을 나타내는 전구체와 금 1가 이온을 나타내는 전구체 용액을 제조하는 단계;하부에 증착한 전도성 물질층을 갖는 양극산화 알루미늄 나노틀을 음극에 위치시키고, 펄스를 사용하여 제1 전류와 제2 전류을 교대로 인가하여 철-금 다층 나노선을 형성하는 단계; 와
    상기 양극산화 알루미늄 나노틀을 에칭하는 공정을 포함하는 바코드 형 철-금 다층 나노선 형성 방법.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 나노틀은 양극산화 알루미늄 나노틀 임을 특징으로 하는 바코드 형 철-금 다층 나노선 형성 방법.
  16. 제14항에 있어서,
    상기 전도성 물질층은 전자빔 증착법으로 250 nm 두께로 형성된 것을 특징으로 하는 철-금 다층 나노선 형성 방법.
  17. 제14항에 있어서,
    상기 철 2가 이온을 나타내는 전구체와 금 1가 이온을 나타내는 전구체 용액은 Iron (II) Sulfate Heptahydrate(FeSO4 7H2O)와 Potassium Dicyanoaurate(Ⅰ)(KAu(CN)2l)의 40:1에서 4:1 범위의 비율 용액인 것을 특징으로 하는 바코드 형 철-금 다층 나노선 형성 방법.
  18. 제14항에 있어서,
    상기 양극 산화 나노틀을 에칭하는 공정은 NaOH를 사용하는 것을 특징으로 하는 바코드 형 철-금 다층 나노선 형성 방법.
  19. 제14항에 있어서,
    상기 제 1 전류는 30 mA/Cm2 이고, 상기 제 2 전류는 1.5 mA/Cm2 임을 특징 으로 하는 바코드 형 철-금 다층 나노선 형성 방법.
  20. 원판형 철 또는 금 나노입자 형성 방법에 있어서,
    한 개의 도금조 속에 철 2가 이온을 나타내는 전구체와 금 1가 이온을 나타내는 전구체 용액을 제조하는 단계;
    하부에 증착한 전도성 물질층을 갖는 양극산화 알루미늄 나노틀을 음극에 위치시키고, 펄스를 사용하여 제1 전류와 제2 전류을 교대로 인가하여 철-금 다층 나노선을 형성하는 단계;
    상기 양극산화 알루미늄 나노틀을 에칭하는 단계; 및
    상기 두 개의 금속 박막중 하나의 금속 박막을 화학 에칭하는 공정을 포함하는 원판형 철 또는 금 나노입자 형성 방법.
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