KR20080035286A - 인스펙션 장치의 광학헤드 어셈블리 - Google Patents

인스펙션 장치의 광학헤드 어셈블리 Download PDF

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KR20080035286A
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참앤씨(주)
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Abstract

본 발명은 평판 트리밍을 위한 인스펙션 장치의 광학헤드 어셈블리에 관한 것으로, 보다 상세하게는 레이저 트리밍 작업의 진행방향과 무관하게 기판을 검사할 수 있도록 구성된 평판 트리밍을 위한 인스펙션 장치의 광학헤드 어셈블리에 관한 것이다.
본 발명인 평판 트리밍을 위한 인스펙션 장치의 광학헤드 어셈블리를 이루는 구성수단은, 평판 트리밍을 위한 인스펙션 장치의 광학헤드 어셈블리에 있어서, 광원과, 상기 광원으로부터 방사되는 광을 집광하는 집광 렌즈 및 광의 경로를 조절하는 반사거울을 구비한 하나의 조명부, 상기 조명부를 통해 유입되는 광을 분할하고 광의 진행 경로를 조절하는 광 분할 소자를 구비한 하나의 광로 조절부, 상기 광로 조절부로부터 투과되는 반사광을 이용하여 인스펙션을 수행하는 하나의 CCD 카메라, 상기 광로 조절부와 수평선 상에 위치하여 상기 광로 조절부로부터 광을 유입받거나, 반사광을 상기 광로 조절부에 전달하는 세 개의 거울부, 상기 광로 조절부 하단에 위치하는 하나의 다이렉트 렌즈부와, 상기 거울부 하단에 위치하는 세 개의 리플렉트 렌즈부로 구성되며, 유입되는 광을 평행광으로 정형하여 피검사체에 투과하고, 피검사체로부터 반사된 반사광을 집광하는 렌즈부, 상기 렌즈부 상측에 위치하며, 렌즈부의 개방 또는 폐쇄를 수행하는 네 개의 셔터부, 상기 구성요소들의 동작을 각각 제어하는 제어부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
트리밍, 인스펙션, 광학헤드, 어셈블리

Description

인스펙션 장치의 광학헤드 어셈블리{optical head assembly of inspection unit}
도 1은 종래의 평판 트리머에 장착된 인스펙션부를 도시한 사시도이고,
도 2는 본 발명의 인스펙션 장치의 광학헤드 어셈블리를 도시한 사시도이며,
도 3은 본 발명의 광학헤드 어셈블리의 내부 구조를 설명하기 위한 분해도이고,
도 4는 본 발명의 렌즈부를 도시한 저면 사시도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 광원 20 : CCD 카메라
30 : 텔레센트릭 렌즈 40 : 이동수단
50 : 포커싱 렌즈 110 : 조명부
120 : CCD 카메라 130 : 렌즈부
132 :다이렉트 렌즈 136 : 리플렉트 렌즈
140 : 이동판 150 : 포커싱 렌즈
160 : 거울부 170 :셔터부
180 : 광로 조절부
본 발명은 평판 트리밍을 위한 인스펙션 장치의 광학헤드 어셈블리에 관한 것으로, 보다 상세하게는 레이저 트리밍 작업의 진행방향과 무관하게 기판을 검사할 수 있도록 구성된 평판 트리밍을 위한 인스펙션 장치의 광학헤드 어셈블리에 관한 것이다.
일반적으로 레이저 트리머(Laser trimmer)는 LCD 평판디스플레이(Flat Panel Display) 상에 형성된 회로의 절단(trimming)에 사용된다. 일반적으로 상기 레이저 트리머는 LCD 패널을 정치시키는 작업테이블과, 상기 작업테이블 상의 x축 및 y축에 장착되는 가이드와, 상기 가이드 상에 장착되어 자동이송되는 이동수단과, 회로를 절단하는 레이저부 및 상기 트리밍된 기판을 검사하는 인스펙션부로 구성된다.
보통 레이저에 의한 회로 절단 작업(트리밍)이 이루어진 후에는 CCD 카메라를 통해 기판을 검사하게 되는데 이 과정을 인스펙션이라고 한다. 인스펙션은 트리밍 작업 후 기판에 파티클이나 불량이 발생하였는지 여부를 조사하기 위한 것이다.
종래의 레이저 트리머의 인스펙션부(1)는 도 1에 도시된 바와 같이 광원(10), CCD 카메라(20)와, 텔레센트릭(TELTECENTRIC) 렌즈(30), 이동수단(40) 및 포커싱 렌즈(50)를 포함하여 구성되었다. 여기서 상기 광원(10) 및 CCD 카메라(20) 등을 포함한 구성을 광학헤드 어셈블리라 한다.
상기 레이저부(미도시)는 포커싱 렌즈(50)의 상측에 구비되고, 이동수단(40)에 장착되어 이동수단(40)에 의해 수평이동하면서 트리밍 작업을 수행하게 된다.
상기 인스펙션부(1)는 레이저부(미도시)의 포커싱 렌즈(50)의 좌측에 위치하고, 레이저부와 마찬가지로 이동수단(40)에 장착되어 수평방향으로 이동할 수 있도록 구성된다.
따라서, 레이저부가 이동하면서 LCD 평판 상의 회로 절단 작업이 수행하면, 레이저부 좌측에 위치한 인스펙션부(1) 역시 따라 움직이면서 트리밍이 완료된 기판 부분을 검사하게 되는 것이다.
이러한 종래 장치를 사용할 경우, 인스펙션부가 레이저부의 좌측면에 구비되어 있기 때문에 트리밍의 진행방향이 왼쪽에서 오른쪽인 경우에만 인스펙션이 가능하다. 트리밍이 오른쪽에서 왼쪽으로 진행되면 인스펙션부가 레이저부의 앞쪽에 있게 되기 때문이다.
그 결과 한 지점의 작업이 완료되면 이동 수단(40)이 다시 시작 지점으로 이동하여 트리밍 진행 방향을 맞춘 후에 작업을 진행하여야만 인스펙션을 수행할 수 있게 된다.
따라서, 다수의 회로가 형성된 기판을 트리밍하기 위해서 이동 수단이 여러 번 움직여야 하고, 그 결과 택트 타임(TACT TIME)이 증가하여 생산성이 저하된다는 문제점이 있었다. 또한, 레이저 구동축이 바뀌는 경우(X축에서 Y축, 또는 Y축에서 X축)라면 아예 장치를 재배치하거나, 여러 번 이동해야 하는 번거로움도 있었다.
이처럼 종래의 장치를 이용할 경우 트리밍된 기판의 인스펙션을 수행하기 위 해서는 이동수단이 여러 번 움직여야 하고, 이로 인해 택트 타임이 길어져 공정 시간이 길어지고, 생산성이 저하된다는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 트리밍 방향과 무관하게 인스펙션을 수행할 수 있도록 구성하여 평판 트리밍 작업에 요구되는 이동횟수를 현저히 줄이고, 공정시간을 단축하여 생산성을 향상시킬 수 있는 평판트리밍을 위한 인스펙션 장치의 광학헤드 어셈블리를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명인 평판 트리밍을 위한 인스펙션 장치의 광학헤드 어셈블리를 이루는 구성수단은, 평판 트리밍을 위한 인스펙션 장치의 광학헤드 어셈블리에 있어서, 광원과, 상기 광원으로부터 방사되는 광을 집광하는 집광 렌즈 및 광의 경로를 조절하는 반사거울을 구비한 하나의 조명부, 상기 조명부를 통해 유입되는 광을 분할하고 광의 진행 경로를 조절하는 광 분할 소자를 구비한 하나의 광로 조절부, 상기 광로 조절부로부터 투과되는 반사광을 이용하여 인스펙션을 수행하는 하나의 CCD 카메라, 상기 광로 조절부와 수평선 상에 위치하여 상기 광로 조절부로부터 광을 유입받거나, 반사광을 상기 광로 조절부에 전달하는 세 개의 거울부, 상기 광로 조절부 하단에 위치하는 하나의 다이렉트 렌즈부와, 상기 거울부 하단에 위치하는 세 개의 리플렉트 렌즈부로 구성되며, 유입되는 광을 평행광으로 정형하여 피검사체에 투과하고, 피검사체로부터 반사된 반사광을 집광하는 렌즈부, 상기 렌즈부 상측에 위치하며, 렌즈부의 개방 또는 폐쇄를 수행하는 네 개의 셔터부, 상기 구성요소들의 동작을 각각 제어하는 제어부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 상기 광로 조절부와 상기 거울부에 빛의 투과량을 조절할 수 있는 조리개를 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 상기 셔터부는, 회전 솔레노이드와, 그 일단이 상기 회전 솔레노이드의 상부에 연결되고, 상기 회전 솔레노이드의 구동에 의해 회전되는 셔터 유닛과, 상기 셔터 유닛의 회전 각도를 제한하는 스톱퍼를 포함하여 구성되는 것을 그 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 인스펙션 장치는 상기와 같이 구성된 광학 헤드 어셈블리 2개를 나란히 배치하여 구성되는 것을 그 특징으로 한다.
또한, 상기 제어부는 상기 셔터부를 제어하여 피사체의 검사 지점과 동축 방향에 있는 렌즈부를 개방시키고, 나머지 렌즈부는 폐쇄시키는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 상기와 같은 구성수단으로 이루어진 평판 트리밍을 위한 인스펙션 장치의 광학헤드 어셈블리에 관한 바람직한 실시예를 설명한다.
도 2는 본 발명인 평판 트리밍을 위한 인스펙션 장치의 광학헤드 어셈블리를 도시한 사시도이며, 도 3은 본 발명의 광학 헤드 어셈블리의 내부 구조를 설명하기 위한 분해도이다. 이를 참조하여 설명한다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 인스펙션 장치의 광학헤드 어셈블리는 평판 트리밍을 위한 인스펙션 장치의 광학헤드 어셈블리에 있어서, 광원과, 상기 광원으로부터 방사되는 광을 집광하는 집광 렌즈 및 광의 경로를 조절하는 반사거울을 구비한 하나의 조명부(110), 상기 조명부를 통해 유입되는 광을 분할하고 광의 진행 경로를 조절하는 광 분할 소자를 구비한 하나의 광로 조절부(180), 상기 광로 조절부(180)로부터 투과되는 반사광을 이용하여 인스펙션을 수행하는 하나의 CCD 카메라(120), 상기 광로 조절부(180)와 수평선 상에 위치하여 상기 광로 조절부로부터 광을 유입받거나, 반사광을 상기 광로 조절부에 전달하는 세 개의 거울부(160), 상기 광로 조절부 하단에 위치하는 하나의 다이렉트 렌즈부와, 상기 거울부 하단에 위치하는 세 개의 리플렉트 렌즈부로 구성되며, 유입되는 광을 평행광으로 정형하여 피검사체에 투과하고, 피검사체로부터 반사된 반사광을 집광하는 렌즈부(130), 상기 렌즈부(130) 상측에 위치하며, 렌즈부의 개방 또는 폐쇄를 수행하는 네 개의 셔터부(170), 상기 구성요소들의 동작을 각각 제어하는 제어부(미도시)를 포함하여 이루어진다.
상기 조명부(110)는 기판을 검사하기 위한 조명을 제공하기 위한 것으로, 광원(미도시), 집광렌즈(112), 반사 거울(114)을 포함하여 구성된다. 광원(미도시)은 기판 검사에 필요한 조명을 제공하기 위한 것이고, 집광렌즈(112)는 광원으로부터 방사된 광을 모아주기 위한 것이다. 또한 상기 반사 거울(114)은 비스듬하게 설치 되어 빛이 광로 조절부(180)로 투과될 수 있도록 하기 위한 것이다.
광원으로부터 방사된 광은 집광렌즈(112)에 의해 모아져 반사 거울(114)로 입사되고, 반사 거울을 통해 반사되어 후술할 광로 조절부(180)로 입사한다. 상기 조명부(110)는 사각 플레이트의 이동판(140)의 일변 일측에 하나만이 구비된다. 한편, 상기 이동판(140)은 이동수단(미도시)에 의하여 소정 방향으로 이동한다.
상기 광로 조절부(180)는 조명부(110)에서 제공되는 빛이나 피검사체에서 반사된 빛을 분할하고, 빛의 경로를 조절하기 위한 것으로, 상기 조명부(110)의 일측에 장착되고, 그 하단은 후술할 다이렉트 렌즈부(132)와 연결되어 있다.
또한 상기 광로 조절부(180)는 그 내부에 빛을 분할하고, 광로를 조정하는 광 분할 소자(182)를 구비하는 것을 특징으로 한다. 상기 광 분할 소자(182)는 빔 스플리터(BEAM SPLITTER)인 것이 바람직하다.
상기 조명부(110)에서 광로 조절부(180)로 빛이 입사되면, 상기 광 분할 소자(182)가 입사광을 분할하여 일부는 후술할 다이렉트 렌즈(132) 쪽으로, 나머지는 세 개의 거울부(160) 쪽으로 투과되도록 함으로써 촬영에 필요한 조명을 제공한다.
또한, 상기 광로 조절부(180)에 피검사체로부터 반사된 반사광이 입사한 경우에는 광 분할 소자(182)가 상기 반사광이 CCD 카메라(120) 쪽으로 투과되도록 광로를 조절함으로써, 피검사체의 촬상 정보를 CCD 카메라(120)에 전달하는 역할을 수행한다.
이처럼 본원 발명은 광로 조절부(180)를 구비함으로써 후술할 세 개의 리플렉트 렌즈부(136)에 별도의 조명을 설치하지 않고도 기판을 촬상할 수 있도록 하였 으며, 리플렉트 렌즈부에서 촬상된 신호를 CCD카메라로 전송함으로써, 별도의 CCD 카메라를 설치하지 않고도 원하는 지점에서 인스펙션이 수행될 수 있도록 하였다.
또한, 본 발명의 광로 조절부(180)는 그 상단의 CCD 카메라의 하단과 연결되는 부분에 조리개(184)를 구비하는 것이 바람직하다. 조리개를 구비하면 빛이 투과량을 조절할 수 있다는 장점이 있다.
또한, 광로 조절부(180) 상부에 조리개(184)를 구비하면, 조명부로부터 빛이 입사되는 경우에는 상기 조리개(184)를 닫아 CCD 카메라 쪽으로 빛이 입사되는 것을 원천 차단함으로써 CCD 카메라에 잘못된 영상 정보가 전달되는 것을 방지할 수 있다는 장점이 있다.
상기 세 개의 거울부(160)는 상기 광로 조절부(180)와 리플렉트 렌즈부(136) 사이에서 광을 전달하기 위한 것으로, 광로 조절부(180)와 평행한 위치에 형성되고, 리플렉트 렌즈부(136) 상측과 연결되어 있다. 상기 세 개의 거울부(160)는 상기 광로 조절부(180)와 수평선 상에 위치하되, 상기 이동판(140)의 나머지 세 변에 하나씩 위치한다.
또한, 상기 거울부(160)는 그 내부에 반사 거울(162)을 구비하는 것을 특징으로 한다. 상기 반사 거울(162)은 경사지게 설치되어, 입사된 광을 일정한 경로로 반사하는 역할을 한다.
이를 구체적으로 살펴보면, 먼저 광로 조절부(180)의 광 분할 소자(182)에 의해 일부 광이 세 개의 거울부(160) 쪽으로 입사하게 된다. 세 개의 거울부(160)로 입사한 빛은 반사 거울(162)에 의해 원하는 각도로 반사되어 각각의 리플렉트 렌즈부(136)로 투과된 후, 피검사체를 촬상하게 된다.
한편, 피검사체의 영상 정보를 가지고 반사된 반사광은 다시 리플렉트 렌즈부(136)를 거쳐 거울부(160)로 입사되고, 반사 거울(162)에 의해 반사되어 광로 조절부(180)로 투과된 후 이미 언급한 바와 같이 광 분할 소자(182)에 의해 CCD 카메라(120)로 입사하게 된다.
이처럼, 본원 발명은 거울부를 구비함으로써 별도의 CCD 카메라를 설치하지 않고도, 간단하게 원하는 지점의 기판 촬상 신호를 얻을 수 있도록 하였다.
또한, 본 발명의 거울부(160)는 광로 조절부(180) 방향으로 설치된 조리개(164)를 더 구비하여 빛의 투과량을 조절할 수 있도록 하는 것이 바람직하다. 후술할 리플렉트 렌즈부를 사용하지 않을 때 조리개를 닫아두면 광로 조절부로 빛이 투과되는 것을 방지함으로써 CCD 카메라에 잘못된 촬상신호가 전달되는 것을 방지할 수 있다.
상기 렌즈부(130)는 피검사체인 기판에 조명으로 제공하고, 피검사체로부터 반사된 반사광을 배출하기 위한 것으로, 상술한 광로 조절부(180)와 거울부(160) 하단에 위치한다. 그 위치에 따라 하나의 다이렉트(DIRECT) 렌즈부(132)와 세 개의 리플렉트(REFLECT) 렌즈부(136)로 구별되는데, 이에 관해서는 후술하도록 한다.
상기 광로 조절부(180)를 거쳐 제공되는 광이 렌즈부(130)로 투과되면, 렌즈부는 이를 평행광으로 정형하여 피검사체에 투과한다. 또한 렌즈부(130)는 피검사체로부터 반사된 반사광은 집광한 후 광로 조절부로 배출한다.
본 발명의 CCD 카메라(120)는 광로 조절부(180)와 연결되어 광로 조절부로부 터 제공되는 반사광를 전달받아 기판 검사를 수행하기 위한 것으로, 광로 조절부(180) 상측에 구비된다.
이미 언급한 바와 같이 피검사체로부터 반사되는 반사광은 하나의 다이렉트 렌즈부(132)를 거쳐 광로 조절부(180)로 전달되거나, 세개의 리플렉트 렌즈부(136)와 거울부(160)를 거쳐 광로 조절부(180)로 전달된다. 광로 조절부(180)로 전달된 반사광은 광 분할 소자(182)에 의해 CCD 카메라(120) 방향으로 경로가 굴절되고, CCD 카메라(120)는 반사광에 포함된 영상 정보를 이용하여 인스펙션을 수행한다.
상기 네개의 셔터부(170)는 렌즈부(130)를 개방하거나 차단하기 위한 것으로 렌즈부(130) 상측에 구비된다. 셔터부(170)는 검사 지점이 아닌 위치에 있는 렌즈부(130)는 그 상측을 차단하여 빛이 통과하지 못하도록 하고, 검사하고자 하는 지점과 동축에 있는 렌즈부만 개방함으로써 CCD 카메라에 원하는 지점의 반사광만 전달되도록 한다. 이는 CCD 카메라에 잘못된 정보가 전달되는 것을 방지하기 위한 것이다.
상기 셔터부(170)는 제어부(미도시)의 제어에 따라 피사체의 검사 지점과 동축 방향에 있는 렌즈부를 개방시키거나, 나머지 렌즈를 폐쇄시키는 동작을 수행한다.
한편, 본 발명의 셔터부(170)는 렌즈부로 빛이 투과되는 것을 차단하는 셔터 유닛(172)과, 상기 셔터 유닛의 일단과 연결되고 상기 셔터 유닛을 회전하게 하는 회전 솔레노이드(174) 및 상시 셔터 유닛의 회전 각도를 조절하기 위한 스토퍼(176)로 구성될 수 있다.
이 경우 평상시에는 모두 셔터 유닛에 의해 닫혀있는 상태로 있다가, 트리밍 작업이 시작되면, 검사하고자 하는 지점과 동축에 있는 렌즈부 상측의 셔터부의 회전 솔레노이드가 작동하여 셔터 유닛을 회전시킴으로써 렌즈부를 개방한다. 이때 스토퍼에 의해 일정 각도 이상으로는 회전되지 않도록 한다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명의 인스펙션 장치는 광로 조절부와 거울부, 셔터부를 포함하는 광학 헤드 어셈블리를 장착하여, 레이저부의 전방과 후방, 두 지점에서 기판을 검사할 수 있도록 구성되어 있다. 따라서 트리밍 작업이 진행되는 방향이 바뀌더라도 인스펙션을 수행할 수 있게 되므로, 방향을 맞추기 위해 이동할 필요가 없게 된다.
도 4는 본 발명의 렌즈부를 설명하기 위한 도면이다. 본 발명의 렌즈부는 그 장착 위치에 따라, 하나의 다이렉트 렌즈부(132)와 세 개의 리플렉트 렌즈부(136)으로 구별된다.
도 4에 도시된 바와 같이, 상기 하나의 다이렉트 렌즈부(132)는 CCD 카메라와 동축상에 위치하고, 광로 조절부 하단과 연결되고, 상기 세 개의 리플렉트 렌즈부(136)는 거울부(160) 하단과 연결된다.
상기 하나의 다이렉트 렌즈부(132)의 상측에는 빛의 투과량을 조절하기 위한 조리개(134)를 구비하는 것이 바람직하다. 본 발명의 렌즈부(130)는 한 번에 하나씩만 동작하므로, 동작하지 않는 렌즈부에는 빛이 투과되지 못하도록 하고, 동작하는 렌즈부에만 빛이 투과되도록 하여야 한다. 한편, 상기 세 개의 리플렉트 렌즈부(136)의 경우 거울부에 구비된 조리개로 빛을 투과 또는 차단을 조절할 수 있으 므로, 별도의 조리개를 구비할 필요가 없다. 그러나 다이렉트 렌즈부(132)의 경우에는 그 상측의 광로 조절부(180)와 연결되는 부분에 조리개를 구비하여 빛의 투과를 조절하도록 하는 것이 바람직하다.
이하, 상기 다이렉트 렌즈부와 인플렉트 렌즈부의 작동을 구체적으로 살펴보기로 한다.
먼저 레이저가 포커싱 렌즈(150)을 통과하여 기판의 트리밍 작업을 수행하면, 트리밍 방향에 따라 인스펙션을 수행할 수 있는 위치의 렌즈부 상측에 부착된 셔터부의 회전 솔레노이드가 작동하여 셔터 유닛을 회전시며 해당 렌즈부를 개방한다.
개방된 렌즈부가 다이렉트 렌즈부인 경우에는, 광원으로부터 방사된 광은 집광 렌즈와 반사 거울을 거쳐 광로 조절부로 투과된다. 광 분할 소자에 의해 50%의 빛은 다이렉트 렌즈부 방향으로 굴절되어 진행하고, 50%의 빛은 거울부 방향으로 진행하게 된다.
다이렉트 렌즈부로 투과된 빛은 렌즈부를 통과하여 피검사체인 기판 표면에 의해 반사되어 다시 다이렉트 렌즈부로 거쳐 광로 조절부로 투과된다. 광로 조절부로 투과된 반사광은 광 분할 소자에 의해 CCD 카메라으로 투과되고, CCD 카메라는 반사광이 포함하고 있는 정보를 분석함으로써 인스펙션을 수행한다.
한편, 거울부 방향으로 진행된 빛은 거울부에 장착된 조리개 또는 셔터부의 셔터 유닛에 의해 차단되어 렌즈부로 입사되지 않는다.
다음으로 개방된 렌즈부가 다이렉트 렌즈부인 경우 역시 광원에서 방사된 광은 광로 조절부로 투과되고, 광로 조절부 내부의 광 분할 소자에 의해 50%의 빛은 다이렉트 렌즈부 방향으로 굴절되어 진행하고, 50%의 빛은 거울부 방향으로 진행하게 된다.
이 경우 다이렉트 렌즈부 방향으로 진행된 빛은 셔터 유닛에 의해 차단되며, 거울부 방향으로 빛만 투과된다. 거울부 내부로 입사한 빛은 반사거울에 의해 반사되어 리플렉트 렌즈를 통과하여 피검사체인 기판에 도달한다. 기판으로부터 반사된 빛은 입사 경로와 동일하게 리플렉트 렌즈, 거울면을 거쳐 광로 조절부로 투과되고, 광 분할 소자에 의해 CCD 카메라에 투과된다. CCD 카메라는 반사광이 포함하고 있는 정보를 분석함으로써 인스펙션을 수행한다.
본 발명의 인스펙션 장치는, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기한 구성요소로 구성된 광학 헤드 어셈블리 2개를 나란히 설치하는 것이 바람직하다.
광학 헤드 어셈블리 2개를 나란히 설치하면, 4면에서 기판을 검사할 수 있게 되므로, 수평으로 방향에서 바뀌는 경우뿐만이 아니라, 이동축이 X축에서 Y축으로 또는 그 반대로 바뀌게 되는 경우에도 부가적인 이동 없이 작업을 진행할 수 있다는 장점이 있다. 따라서 하나의 기판을 트리밍하는데 필요한 공정 시간이 현저하게 감소할 뿐만 아니라, 다양한 지점에서 검사를 수행할 수 있도록 함으로써 트리밍 작업과 거의 동시에 인스펙션을 수행할 수 있게 된다.
상기와 같은 구성 및 바람직한 실시예를 가지는 본 발명은 광학 헤드 어셈블리를 구비함으로 트리밍 작업이 진행되는 지점의 전방과 후방에서 기판을 검사할 수 있도록 함으로써, 트리밍이 진행되는 방향에 무관하게 인스펙션을 수행할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명은 인스펙션을 위해 시작 지점으로 돌아갈 필요없이 작업을 진행할 수 있어 불필요한 이동을 없앰으로써, 공정시간을 현저히 단축시켰으며, 트리밍 작업과 거의 동시에 인스펙션을 수행할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명은 거울부와 광로 조절부를 구비함으로써 복수개의 CCD 카메라를 설치하지 않고도 반사광을 이용하여 간단하게 원하는 지점의 기판 촬상 신호를 얻을 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명은 광학 헤드 어셈블리 2개를 나란히 배열할 함으로써 4면에서 기판을 검사할 수 있기 때문에 레이저 이동 방향이 X축에서 Y축으로 바뀌는 등 이동축이 바뀌는 경우에도 부가적인 이동 없이 작업을 진행할 수 있도록 하였다.

Claims (7)

  1. 평판 트리밍을 위한 인스펙션 장치의 광학헤드 어셈블리에 있어서,
    광원과, 상기 광원으로부터 방사되는 광을 집광하는 집광 렌즈 및 광의 경로를 조절하는 반사거울을 구비한 하나의 조명부;
    상기 조명부를 통해 유입되는 광을 분할하고 광의 진행 경로를 조절하는 광 분할 소자를 구비한 하나의 광로 조절부;
    상기 광로 조절부로부터 투과되는 반사광을 이용하여 인스펙션을 수행하는 하나의 CCD 카메라;
    상기 광로 조절부와 수평선 상에 위치하여 상기 광로 조절부로부터 광을 유입받거나, 반사광을 상기 광로 조절부에 전달하는 세 개의 거울부;
    상기 광로 조절부 하단에 위치하는 하나의 다이렉트 렌즈부와, 상기 거울부 하단에 위치하는 세 개의 리플렉트 렌즈부로 구성되며, 유입되는 광을 평행광으로 정형하여 피검사체에 투과하고, 피검사체로부터 반사된 반사광을 집광하는 렌즈부;
    상기 렌즈부 상측에 위치하며, 렌즈부의 개방 또는 폐쇄를 수행하는 네 개의 셔터부;
    상기 구성요소들의 동작을 각각 제어하는 제어부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 인스펙션 장치의 광학헤드 어셈블리.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 광 분할 소자는 빔 스플리터(BEAM SPLITTER)인 것을 특징으로 하는 인스펙션 장치의 광학헤드 어셈블리.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 광로 조절부는 상면에 빛의 투과량을 조절할 수 있는 조리개를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 인스펙션 장치의 광학헤드 어셈블리.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 거울부는 광로 조절부 방향으로 빛의 투과량을 조절할 수 있는 조리개를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 인스펙션 장치의 광학헤드 어셈블리.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 셔터부는,
    회전 솔레노이드와,
    그 일단이 상기 회전 솔레노이드의 상부에 연결되고, 상기 회전 솔레노이드의 구동에 의해 회전되는 셔터 유닛과,
    상기 셔터 유닛의 회전 각도를 제한하는 스톱퍼로 구성된 것을 특징으로 하 는 인스펙션 장치의 광학헤드 어셈블리.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 광학 헤드 어셈블리 2개가 나란히 배치되는 것을 특징으로 하는 인스펙션 장치의 광학헤드 어셈블리.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 제어부는 상기 셔터부를 제어하여 피사체의 검사 지점과 동축 방향에 있는 렌즈부를 개방시키고, 나머지 렌즈부는 폐쇄시키는 것을 특징으로 하는 인스펙션 장치의 광학헤드 어셈블리.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS61202081A (ja) * 1985-03-06 1986-09-06 神鋼電機株式会社 溶解炉
KR930010597A (ko) * 1991-11-08 1993-06-22 이헌조 카메라의 화상처리 광학계 장치
KR20060106256A (ko) * 2005-04-07 2006-10-12 범광기전(주) 영상획득장치

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