KR20080031048A - 진공 라인 및 이를 모니터링 하기 위한 방법 - Google Patents

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KR20080031048A
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Abstract

본 발명은 공정 챔버로부터의 가스를 펌핑하기 위한 진공 라인을 제공하며, 상기 진공 라인은 적어도
펌프 본체 및 모터를 포함하는 펌프 유닛과,
가스 배기 시스템과,
모터와 관련된 함수적 파라미터를 측정하기 위한 제1 측정 수단과,
배기 시스템과 관련된 함수적 파라미터를 측정하기 위한 제2 측정 수단과,
상기 진공 라인의 가용 기간에 대한 예상 수단을 포함한다.
상기 예상 수단은 제1 수단에 의해 제공되는, 모터와 관련된 함수적 파라미터의 측정 및 제2 수단에 의해 제공되는, 배기 시스템과 관련된 함수적 파라미터의 측정으로부터 펌프 유닛의 고장 전의 진공 라인의 가용 기간을 계산한다. 다양한 변형에서, 진공 라인은 펌프 본체와 관련된 함수적 파라미터를 측정하기 위한 제3 수단을 더 포함하며, 상기 예상 수단은 이 파라미터의 측정을 고려하면서 가용 기간을 계산한다.
펌프 유닛, 배기 시스템, 파라미터, 공정 챔버, 펌핑 가스

Description

진공 라인 및 이를 모니터링 하기 위한 방법 {VACUUM LINE AND METHOD FOR MONITORING SAME}
본 발명은 공정 챔버에 결합된 진공 라인에 대한 예비적, 예방적 유지 보수 분야에 관한 것이다. 본 발명은 특정 상황에서 진공 라인이 고형물로 오염[막힘, 점유됨(seizing) 등]되는 현상의 진행에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 진단하기 위한 상기 현상의 모니터링 방법으로까지 확장되며, 예방적인 유지 보수 작업을 계획할 수 있다.
적어도 하나의 펌프 유닛을 포함하는 진공 라인은 가스를 사용하고 대기압보다 낮은 소정의 압력을 필요로 하는 다양한 공정에서 사용된다. 불행히도, 이러한 공정에 사용되는 가스는 고형 부산물로 변형될 수 있다. 이러한 부산물은 진공 라인의 내부 표면, 특히 파이프, 밸브, 및 다른 부속품의 표면과 펌프의 가동 및 고정 부품에 층의 형상으로 적층될 수 있거나, 또는 진공 라인의 사체적(dead volume)에 축적될 수 있다. 이 현상은 진공 라인, 특히, 펌프 유닛의 성능의 손실을 가져올 수 있거나, 또는 이로 인해 고장(failure)을 유발할 수 있다. 따라서, 진공 라인, 특히 펌프 유닛의 의문 요소를 제거하거나 또는 대체하기 위해, 관련 챔버 내의 진행 공정을 중단하는 것이 불가피하다. 생산 중 계획되지 않은 중단에 의한 비용이 상당하다.
현재, 진공 라인의 유지 보수는 개선 작동과 예방 작동에 기초된다.
개선 유지 보수는 신호, 특히 펌프 유닛에 통합된 센서에 의해 방출되는 신호의 함수로서 수행된다. 각각의 아날로그 측정에 대해 두 개의 한계치가 형성되며, 이는 경고 한계치와 경보 한계치이다. 경고 한계치는 공칭 용량에 대한 펌프 유닛의 사용 상태의 경향을 표시하는, 비정상적으로 높은 아날로그 값에 대응한다. 경보 한계치를 넘는다는 것은 펌프 유닛의 사용 상태가 유닛의 공칭 용량을 초과하여 펌프 유닛이 자동으로 정지한다는 것을 의미한다. 발생되는 작동의 크기를 최소화하기 위한 최적 상황은, 경고 레벨을 초과 하자마자 개선 작동을 수행할 수 있는 것이다.
또한, 부분적인 또는 전체적인 예방 유지 보수 작동은, 형성된 주기에서 진공 라인이 사용되는 용도의 함수로서 수행된다. 이러한 주기성은 초기에 이론적으로 평가된 후 경험에 의해 조정된다. 그럼에도, 주기성은 펌프 유닛 내의 구성품 마모의 실제 상태 또는 진공 라인 오염의 실제 상태에 항상 적합한 것은 아니며, 이는 경고 및 경보 작동이 매우 늦게 또는 매우 일찍 수행되게 할 수 있다.
개선 유지 보수를 수행할 때, 펌프 유닛으로부터 아날로그 신호의 경고 및 경보 한계치를 추적하는 것은 어려워, 상기 추적은 고장 원인의 상세한 진단을 불가능하게 한다. 다른 문제는 시간에 걸쳐 변화하는 펌프 유닛의 비정상적인 거동의 진척에 있으며, 이는 유닛이 경고 한계치로부터 경보 한계치로 빠르게 지나가게 한다. 이러한 환경에서, 경보 한계치에 도달하기 전에 행동을 취하는 것은 거의 불가능하며, 이는 제조될 생산품(예를 들어, 반도체 웨이퍼), 및 펌프 유닛에도 돌이킬 수 없는 손상을 가져올 수 있다.
유럽 특허 제0 828 332호는 유지 보수 작업 간에 진공 펌프가 사용될 수 있는 가용 기간을 평가하는 것에 관한 것이다. 진공 펌프의 로터에 적층된 불필요한 재료의 양은 로터를 구동하는 모터에 의해 구동된 전류 및/또는 회전 토크를 측정함으로 평가된다.
상기 특허는 모터에만 관련된 파라미터를 고려한 단점을 개시한다. 무엇보다도, 이 측정은 항상 공지되지는 않는 펌핑된 가스 유동의 변화에 의해 부정확해진다. 그러므로, 측정할 때, 유동의 변화로 인한 전류 또는 토크의 변화와 펌프의 오염으로 인한 변화를 구별하는 것은 불가능하다. 따라서 상기 방법의 사용은 모터 토크에 대한 유동의 영향이 펌프 오염의 영향과 비교해 무시할만 한 작은 유동에 제한된다. 또한, 상기 방법은 펌프의 회전 부품의 동적 거동만을 평가한다. 예를 들어, 가스 배기 시스템이 막히는 것과 같은 비정상 거동이 펌프 유닛 외부 요소의 고장과 관련되었다면, 비정상 거동의 원인을 진단하는 것은 불가능하다.
미국 특허 출원 제2004/143418호는 건조 펌프 내에서 고장이 발생하는 시간을 결정하는 것에 관한 것이다. 이러한 펌프의 수명은 제조 공정의 특성(가스 유동, 압력, 기판 온도 등)과 결합된 펌프의 데이터 특성(전류, 온도, 진동 등)의 통계적 처리에 의해 평가된다. 상기 특허는 공정의 작동 상황을 고려하지 않고 펌프의 수명을 예상하는 것이 매우 어렵다는 것을 설명한다.
모니터링 되는 파라미터의 개수가 많으면, 파라미터를 이용하는 것이 복잡할 수 있다. 또한, 예비 분석 시스템은 자급식(self-contained)이 아니어서, 펌프를 관리하기 위한 서버와 장비 사이에 설치된 통신선을 필요로 하는 생산 장비에 의해 공급된 정보에 의존한다. 상기 통신선은 설정이 어려우며 (장비 제조자 또는 고객에 속한 데이터에 관련된 기밀성, 기술적 어려움 등), 적절한 작동은 보장되지 않는다.
국제공개번호 제2004/011810호는 펌프를 포함한 시스템의 상태를 모니터링하는 방법에 관한 것으로서, 상기 펌프는 미리 설정된 상태 하에서 테스트 되는 테스트 단계를 더 포함한다. 테스트 주기 동안, 시스템의 적절한 작동을 나타내는 신호가 기록된다. 펌프는 테스트 단계(생산 단계가 아님) 동안의 모터의 전류 소비 또는 토크를 측정함으로 진단된다. 테스트 상태는, 특히, 펌핑된 가스 유동은 동일한 가스 유동 상태 하에 저장된 기준과 측정 결과를 비교할 수 있게 하기 위해 미리 설정된다.
조직적인 이유로, 펌프 유닛을 테스트하는 진행을 위해 생산을 중단하는 것은 매우 어렵기 때문에, 이 방법은 연속 생산 주기 동안 실행될 수 없다. 또한, 이 방법은 펌프 배기 시스템의 막힘을 예상할 수 없다.
그러므로, 문제는, 진공 라인 외부 파라미터의 상태는 고려하지 않고 생산을 중단하지 않으면서, 펌핑된 유동의 양에 관계없이, 가장 적절한 순간에 예방 유지 보수 작동을 계획하면서 펌프 유닛의 고장을 예상하기 위해, 적어도 하나의 펌프 유닛을 포함하는 진공 라인의 고형물 오염 상태(막힘, 점유됨 등)를 진단하는 것이다.
본 발명은 공정 챔버로부터의 펌핑 가스를 위한 진공 라인을 제공하며, 상기 진공 라인은 적어도
펌프 본체 및 모터를 구비한 펌프 유닛과,
가스 배기 시스템과,
모터와 관련된 함수적 파라미터를 측정하기 위한 제1 측정 수단과,
배기 시스템과 관련된 함수적 파라미터를 측정하기 위한 제2 측정 수단과,
상기 진공 라인의 가용 기간을 계산하기 위한 예상 수단을 포함한다.
본 발명에 따르면 상기 예상 수단은 제1 수단에 의해 제공되는, 모터와 관련된 함수적 파라미터의 측정 및 제2 수단에 의해 제공되는, 배기 시스템과 관련된 함수적 파라미터의 측정을 기초로 펌프 유닛의 고장 전의 진공 라인의 가용 기간을 계산한다.
바람직하게는, 모터와 관련된 함수적 파라미터를 측정하기 위한 수단은 모터에 의해 소비된 동력 또는 전류, 모터의 회전 토크 및 진동으로부터 선택된 적어도 하나의 특성을 측정하기 위한 수단이다. 더 바람직하게, 모터와 관련된 함수적 파라미터를 측정하기 위한 수단은 모터에 의해 소비된 동력을 측정하기 위한 수단이다.
배기 시스템과 관련된 함수적 파라미터를 측정하기 위한 수단은 배기 시스템에서의 가스의 압력을 측정하기 위한 수단이다.
바람직하게는 본 발명의 진공 라인은 모터에 의해 소비된 동력을 측정하기 위한 제1 수단, 배기 시스템에서의 가스 압력을 측정하기 위한 제2 수단, 및 모터에 의해 소비된 동력의 측정과 배기 시스템에서의 가스 압력의 측정을 기초로 진공 라인의 가용 기간을 예상하기 위한 수단을 포함한다.
본 발명의 변형에서, 진공 라인은 펌프 본체와 관련된 함수적 파라미터를 측정하기 위한 제3 수단을 더 포함할 수 있다. 바람직하게, 펌프 본체와 관련된 함수적 파라미터를 측정하기 위한 수단은 펌프 본체의 온도, 펌프 본체의 기계 및/또는 음파 진동, 질소 세척 유량, 및 온도 조절 밸브의 위치로부터 선택된 적어도 하나의 특성을 측정하기 위한 수단이다.
바람직하게, 진공 라인은 펌프 본체와 관련된 함수적 파라미터의 측정을 사용함으로, 진공 라인의 가용 기간을 예상하기 위한 수단을 더 포함한다.
마지막으로, 다른 센서, 예를 들어, 진동 센서, 음파 센서, 또는 가속도계도 펌프 유닛에 통합될 수 있다.
유리하게는, 예상 수단은 제1 수단에 의해 제공된 모터와 관련된 함수적 파라미터의 측정, 제2 수단에 의해 제공된 배기 시스템과 관련된 함수적 파라미터의 측정, 및 제3 수단에 의해 제공된 펌프 본체와 관련된 함수적 파라미터의 측정에 기초해서 펌프 유닛의 고장 전의 진공 라인의 가용 기간을 계산한다.
그러므로, 본 발명의 진공 라인은 자기 진단, 즉, 진공 라인 외부의 신호들과 상호 관련 없이 수행되는 진단을 수행할 수 있다.
진단하기 적합한 시스템을 포함하는 본 발명의 진공 라인의 사용은, 진공 라인을 포함하는 설비가 활성 생산 단계에 있을 동안 큰 고장을 피할 수 있게 하며, 이는 고장을 예상함으로 가능하다. 이러한 상황에서의 임의의 고장은 제조되는 생산품의 질을 저하시키고 훼손시킬 수도 있어, 소비자에게 재정상의 중대한 손실을 입힌다.
또한 본 발명은 임의의 선행 청구항 중 하나에 따른 진공 라인을 모니터링하는 방법을 제공하며, 이 방법은
모터와 관련된 함수적 파라미터를 측정하는 단계와,
가스 배기 시스템과 관련된 함수적 파라미터를 측정하는 단계와,
모터와 관련하여 측정된 함수적 파라미터 및 배기 시스템과 관련하여 측정된 함수적 파라미터의 시간에 대한 변화를 상호 관련짓는 단계와,
이로부터, 고장 전의 진공 라인의 예상 가용 기간을 유추해내는 단계를 포함한다.
본 발명의 방법은 진공 라인 내에서 오염 현상의 진행을 판단하고 추적하는 단계로 구성된다. 오염은 진공 라인에 결합된 공정 챔버 내에서 실시되는 공정 동안, 공정 가스의 변형으로부터 발생되는 고형 부산물에 의해 발생 된다. 이 현상은 펌프를 구동하는 모터 및 배기 시스템에 위치된 센서와 같은 측정 수단으로부터의 특정 신호의 시간에 대한 특성적인 변화를 사용해서 모니터링 된다.
예상 가용 기간은 특히, 진공 라인이 막히는 위험을 평가하기 위해, 측정된 파라미터의 진폭의 시간에 대한 변화를 기초로 통계적 처리에 의해 얻어진다.
바람직하게는, 본원에 개시된 파라미터는 첫째로, 모터와 관련된 적어도 하나의 함수적 파라미터이며, 둘째로, 배기 시스템과 관련된 적어도 하나의 함수적 파라미터이다.
바람직하게는, 모터와 관련하여 측정된 함수적 파라미터는 모터에 의해 소비된 동력 또는 전류, 모터의 회전 토크, 및 진동으로부터 선택된 적어도 하나의 특성이다. 더 바람직하게, 모터와 관련하여 측정된 함수적 파라미터는 소비된 동력이다.
바람직하게, 배기 시스템과 관련하여 측정된 함수적 파라미터는 배기 시스템에서의 가스 압력이다.
상호 관련하여 추적하기 특히 유리한 파라미터는 모터에 의해 소비된 동력과 배기 시스템에서의 압력이다. 본 발명의 바람직한 실시예에서, 모터와 관련하여 측정된 함수적 파라미터는 모터에 의해 소비된 동력이며, 가스 배기 시스템과 관련하여 측정된 함수적 파라미터는 배기 시스템에서의 가스 압력이며, 진공 라인의 가용 기간은 모터에 의해 소비된 동력과 배기 시스템에서의 가스 압력의 시간에 대한 상호 관련 변화로부터 계산된다.
또한, 펌프 본체와 관련된 함수적 파라미터를 측정하는 것이 가능하다. 바람직하게는, 펌프 본체와 관련된 함수적 파라미터는 펌프 본체의 처리, 펌프 본체의 진동, 질소 세척 유량, 및 처리 조절 밸브의 위치로부터 선택된 적어도 하나의 특성이다. 예로서, 처리 조절 물 밸브의 개방 또는 폐쇄 상태와 관련된 정보는, 펌프 본체의 온도를 판독함으로써 직접 볼 수 없는 냉각 네트워크의 고장을 나타낼 수 있다.
또한, 펌프가 연결된 관리 네트워크의 데이터를 기록해서 시간에 대한 펌프 유닛 파라미터에서의 변화를 직접적인 관찰함으로, 유지 보수 조직 및 펌프의 기능적 상태의 진단을 완성할 수 있다.
또한, 선택된 각각의 파라미터의 시간에 대한 변화의 상호 관련성을 추적하는 것은, 선택적으로, 진공 라인의 외부 파라미터(예를 들어, 진공 라인이 연결된 장비의 파라미터 특성)와 측정된 파라미터를 상호 관련짓는 것을 포함한다.
본 발명은 다양한 장점을 가진다. 본 발명의 방법은 진공 라인에 합체된 측정 수단에 의해 제공된 데이터를 이용 및 활용하며, 상기 데이터는 펌프 유닛의 비정상 작동을 판단하기 위해, 또한 아날로그 신호가 경고 및 경보 한계치를 초과하기 전에 문제를 미리 예상하기 위한 진단을 수행하기 위해 기록될 수 있다.
본 발명의 방법은 가스 배기 시스템 내 청결 상태에서 오염의 영향을 판단할 수 있다. 그러므로, 본 발명의 방법은 펌핑된 가스를 배출하기 위한 파이프, 상기 파이프 내의 트랩이나 직렬 밸브, 또는 상기 파이프와 가스 처리 시스템 사이의 연결부 등, 펌프 유닛 외부 요소의 오염을 탐지한다.
진단 시스템의 사용시, 본 발명의 방법은 예비적인 유지 보수를 특별히 제공할 수 있으며, 즉, 실제 필요할 때만 진공 라인의 유지 보수를 수행할 수 있게 한다. 이는, 고가이면서 종종 정당화될 수 없는 예방적인 유지 보수 작업을 피할 수 있게 한다. 그러므로, 빠른 진단은 구성품 마모와 관련된 위험을 최소화시켜, 유지 보수의 비용을 더 감소시킬 수 있게 한다.
본 발명은 현장에서 펌프 유닛 자체에, 또는 원격 시스템에 펌프 유닛의 관리 네트워크가 통합될 수 있는 진단 소프트웨어 응용에 사용할 수 있다. 본 발명은 상기 소프트웨어 응용이 진공 라인의 자기 진단 즉, 펌프 유닛 외부의 신호와 상호 관련 없이 진단을 수행할 수 있게 한다.
자동 진단 감시 시스템이 관련되었을 때, 본 발명은 진공 라인의 판에 박힌 모니터링을 감소시킬 수 있으며, 유지 보수를 위해 신뢰할 수 있는 직원의 고용 가능성을 증가시킬 수 있다.
본 발명의 다른 목적, 특성 및 이점은 제한되지 않는 특정 실시예의 하기 설명 및 첨부된 도면으로부터 명백해진다.
도1은 본 발명의 진공 라인의 다이어그램이다.
도2는 처리하는 동안 펌프 유닛에 수용된 가스 유동의 변화와 관련하여 배기 시스템에서의 가스 압력 및 모터에 의해 소비된 동력의 반복적 변화를 나타내며, 횡좌표를 따라 단위 없이 표시된 시간(T)에 대해, 모터에 의해 소비된 와트(W) 단위의 동력(M) 및 밀리바(mbar) 단위의 가스 압력(G)이 종좌표를 따라 표시된다.
도3은 대기압으로부터의 가스를 펌핑함으로 유발되는, 가스 압력 및 모터에 의해 소비된 동력의 순간적 변화를 도시하며, 횡좌표를 따라 단위 없이 표시된 시간(T)에 대해, 와트 단위의 동력(M)이 좌측 종좌표를 따라 표시되며, 밀리바 단위의 압력(G)이 종좌표를 따라 표시된다.
도4는 시동 후 모터에 의해 소비되는 동력의 점진적인 감소를 도시하며, 와트 단위의 동력(M) 및 밀리바 단위의 압력(G)은 종좌표를 따라 표시되며, 시간(T)은 횡좌표를 따라 단위 없이 표시된다.
도5는 배기 파이프가 막혀서 유발되는, 가스 압력 및 모터에 의해 소비된 동력의 점진적인 증가를 도시하며, 시간(T)은 횡좌표를 따라 단위 없이 표시되는 반면, 와트 단위의 동력(M) 및 밀리바 단위의 압력(G)은 종좌표를 따라 표시된다.
도6은 펌프 유닛의 이동식 부품의 긴급 차단 신호인, 모터에 의해 소비된 동력의 임의의 변화를 도시하며, 와트 단위의 동력(M)은 종좌표를 따라 표시되며, 시간(T)은 횡좌표를 따라 단위 없이 표시된다.
도1에 도시된 장비는 기판을 처리하기 위한 공정 챔버(1)를 포함한다. 예로서, 적층, 에칭 또는 이온 주입 공정이 가해지거나, 또는 실리콘 웨이퍼 상에 마이크로전자 장치를 조립할 때 이용될 것 같은 열 처리가 가해질 수 있다. 또한, 상기 처리는 미세 전자 기계 시스템(MEMs) 또는 미세 광학 전자 기계적 시스템(MOMESs)을 제조하기 위한 반도체 기판의 미세 가공일 수 있다. 공정 챔버(1)는 밸브(3a, 3b, 3c)로 끼워지는 파이프(2)에 의해 모터(5)에 의해 구동되는 펌프 본체(4)와 연결된다. 펌프 본체(4)는 소음기(7)를 통해 배기 파이프(6)에 연결된다. 파이프(6)는 반응의 고형 부산물을 포획하기 위해 트랩(8)에 끼워질 수 있다. 이행된 공정의 가스 부산물이 통상의 배기관(9)에서 배기 되는 것이 부적합할 때, 가스는 밸브(11a, 11b)를 사용하여, 처리 장비(10)를 통해 배기 된다. 공정 가스는 공정 챔버(1)에, 챔버(1)를 펌프 본체(4)에 연결하는 파이프(2)에, 펌프 본체(4)에, 소음기(7)에, 가스 처리 장비(10)로 이어지는 파이프(6)에, 트랩(8)에, 그리고 밸브(11a, 11b)에 축적될 수 있는 고형 부산물로 변형될 수 있다. 또한, 펌프 유 닛의 상류에 형성된 부산물이 중력에 의해 펌프 본체(4)로 이동되거나 펌핑되어, 펌프 본체(4), 소음기(7), 펌핑된 가스를 배기시키는 파이프(6), 트랩(8), 및 밸브(11a, 11b)를 오염시키는 것이 종종 발생한다.
정상 작동과 관련된 펌프 유닛의 함수적 파라미터 값의 변화는, 예를 들어,
·도2에 도시된 바와 같이, 생산 작동이 진행되는 동안 펌프 유닛에 도달하는 가스 유동의 변화로 인해, 모터에 의해 소비된 동력(M)[곡선(21)]의 변화 및 배기 시스템에서의 가스 압력(G)[곡선(20)]의 변화와 같이 시간에 걸쳐 반복적이고 재현적이거나,
·도3에 도시된 바와 같이, 대기압에서 가스의 체적을 펌핑함으로써, 모터에 의해 소비된 동력(M)[곡선(31)]과 가스 압력(G)[곡선(30)]이 동시에 갑자기 증가하는 것과 같이 순간적이거나,
·도4에 도시된 바와 같이, 펌프 유닛의 가열과, 정지되었을 때 펌프 본체에 축적된 고형 찌꺼기의 점진적인 제거로 인해, 개시 후 유닛의 제1 펌프의 모터에 의해 소비된 동력(M')[곡선(41)]이 점진적으로 감소하는 것과 같이 시간 연속적일 수 있다. 곡선(40)은 유닛의 제2 펌프의 모터에 의해 소비된 동력(M)을 도시한다.
비정상 작동과 관련된 파라미터 값의 변화는,
·도5에 도시된 바와 같이, 펌핑된 가스가 이송되는 파이프의 막힘을 나타내는, 모터에 의해 소비된 동력(M)[곡선(50)] 및 배기 시스템에서의 가스 압력(G)[곡선(51)]이 점진적으로 증가하는 것과 같이 시간 연속적일 수 있거나,
·도6에 도시된 바와 같이, 곡선(60)은 이동식 부분의 긴급 차단 신호인, 모 터에 의해 소비된 동력(M)의 연속 피크와 같이 임의적일 수 있다.
본 발명은 특히 펌프 유닛의 비가역적 고장, 특히 가스 배기 시스템에서의 소음기, 트랩, 파이프, 또는 밸브의 막힘을 초래하기 전 또는 펌핑된 가스의 변형으로부터 초래된 고형 부산물에 의한 펌프 유닛의 내부가 막히는 특정 상황에서 상기 현상들을 감지할 수 있게 한다.
막힘은 모터에 의해 소비된 동력(M) 및 가스 압력(G)의 시간에 대한 변화를 추적함으로 식별된다. 수학적 알고리즘이 이러한 변화를 측정하고, 미리 설정된 임계적 아날로그 한계치에 도달하기 전까지의 남은 시간을 계산하기 위해 결정되었다.
물론, 본 발명은 전술된 실시예에 국한되지 않으며, 본 발명의 사상 내에서 당업자에 의해 다양해질 수 있다. 특히, 본 발명의 범주 내에서 작동 상태에 대한 더 많은 정보를 얻기 위해, 진공 라인의 내부적이든 또는 외부적이든 다른 파라미터를 모니터링하도록 결정하는 것이 가능하다.

Claims (15)

  1. 공정 챔버로부터의 가스를 펌핑하기 위한 진공 라인으로서, 적어도
    펌프 본체 및 모터를 포함하는 펌프 유닛과,
    가스 배기 시스템과,
    모터와 관련된 함수적 파라미터를 측정하기 위한 제1 측정 수단과,
    배기 시스템과 관련된 함수적 파라미터를 측정하기 위한 제2 측정 수단과,
    상기 진공 라인의 가용 기간에 대한 예상 수단을 포함하는 진공 라인에 있어서,
    상기 예상 수단은 제1 수단에 의해 제공되는, 모터와 관련된 함수적 파라미터의 측정 및 제2 수단에 의해 제공되는, 배기 시스템과 관련된 함수적 파라미터의 측정을 기초로, 펌프 유닛의 고장 전의 진공 라인의 가용 기간을 계산하는 것을 특징으로하는 진공 라인.
  2. 제1항에 있어서, 모터와 관련된 함수적 파라미터를 측정하기 위한 제1 측정 수단은 모터에 의해 소비된 동력, 모터에 의해 소비된 전류, 모터의 회전 토크, 및 모터 진동으로부터 선택된 적어도 하나의 특성을 측정하기 위한 수단을 포함하는 진공 라인.
  3. 제2항에 있어서, 모터와 관련된 함수적 파라미터를 측정하기 위한 제1 측정 수단은 모터에 의해 소비된 동력을 측정하기 위한 수단을 포함하는 진공 라인.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 배기 시스템과 관련된 함수적 파라미터를 측정하기 위한 제2 수단은 배기 시스템에서의 가스 압력을 측정하기 위한 수단을 포함하는 진공 라인.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 모터에 의해 소비된 동력을 측정하기 위한 제1 측정 수단, 배기 시스템에서의 가스 압력을 측정하기 위한 제2 측정 수단, 및 모터에 의해 소비된 동력의 측정과 배기 시스템에서의 가스 압력의 측정으로부터 진공 라인의 가용 기간을 예상하기 위한 예상 수단을 포함하는 진공 라인.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 펌프 본체와 관련된 함수적 파라미터를 측정하기 위한 제3 측정 수단을 더 포함하는 진공 라인.
  7. 제6항에 있어서, 펌프 본체와 관련된 함수적 파라미터를 측정하기 위한 수단은 펌프 본체의 처리, 펌프 본체의 진동, 질소 세척 유량, 및 처리 조절 밸브의 위치로부터 선택된 적어도 하나의 특성을 측정하기 위한 수단을 포함하는 진공 라인.
  8. 제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 예상 수단은 제1 수단에 의해 제공되는, 모터와 관련된 함수적 파라미터의 측정, 제2 수단에 의해 제공되는, 배기 시스템과 관련된 함수적 파라미터의 측정, 및 제3 수단에 의해 제공되는, 펌프 본체와 관련된 함수적 파라미터의 측정을 기초로, 펌프 유닛의 고장 전의 진공 라인의 가용 기간을 계산하는 진공 라인.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 따른 진공 라인을 모니터링하기 위한 방법이며,
    모터와 관련된 함수적 파라미터를 측정하는 단계와,
    가스 배기 시스템과 관련된 함수적 파라미터를 측정하는 단계와,
    모터와 관련하여 측정된 함수적 파라미터 및 배기 시스템과 관련하여 측정된 함수적 파라미터의 시간에 대한 변화를 상호 관련짓는 단계와,
    이로부터, 고장 전의 진공 라인의 예상 가용 기간을 유추해내는 단계를 포함하는 진공 라인 모니터링 방법.
  10. 제9항에 있어서, 예상 가용 기간은 측정된 파라미터의 진폭의 시간에 대한 변화를 기초로 통계적 처리에 의해 얻어지는 진공 라인 모니터링 방법.
  11. 제9항 또는 제10항에 있어서, 모터와 관련하여 측정된 함수적 파라미터는 모터에 의해 소비된 동력, 모터에 의해 소비된 전류, 모터의 회전 토크, 및 모터의 진동으로부터 선택된 적어도 하나의 특성에 의해 구성되는 진공 라인 모니터링 방 법.
  12. 제9항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 가스 배기 시스템과 관련하여 측정된 함수적 파라미터는 배기 시스템에서의 가스 압력인 진공 라인 모니터링 방법.
  13. 제9항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 모터와 관련하여 측정된 함수적 파라미터는 모터에 의해 소비된 동력이며, 가스 배기 시스템과 관련하여 측정된 함수적 파라미터는 배기 시스템에서의 가스 압력이며, 진공 라인의 가용 기간은 모터에 의해 소비된 동력 및 배기 시스템에서의 가스 압력의 시간에 대한 상호 관련 변화로부터 계산되는 진공 라인 모니터링 방법.
  14. 제9항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서, 펌프 본체와 관련된 함수적 파라미터도 측정되는 진공 라인 모니터링 방법.
  15. 제14항에 있어서, 펌프 본체와 관련된 함수적 파라미터는 펌프 본체의 온도, 펌프 본체의 진동, 질소 세척 유량, 및 온도 조절 밸브의 위치로부터 선택되는 적어도 하나의 특성에 의해 구성되는 진공 라인 모니터링 방법.
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