KR20080023854A - 초임계 유체를 이용한 기판 건조 장치, 이를 구비한 기판처리 설비 및 기판 처리 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (18)
- 챔버와;상기 챔버의 일부를 구성하며, 기판에 초임계 유체를 제공하여 상기 기판을 건조시키는 처리실과;상기 챔버의 다른 일부를 구성하며, 상기 처리실을 상기 초임계 유체의 임계압력 이상으로 승압시키는 고압실;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
- 제1항에 있어서,상기 처리실은, 상기 기판을 적재하고 반출하는 기판 반송처리실과, 상기 기판 반송실과는 격리 가능하고 상기 초임계 유체가 제공되고 배출되는 기판 건조처리실을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
- 제2항에 있어서,상기 처리실은 상기 기판 반송처리실과 상기 기판 건조처리실을 공간적으로 구분시켜 상기 기판 건조처리실을 상기 기판 반송처리실과 격리시키는 승강 가능한 게이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
- 제3항에 있어서,상기 게이트는 상기 기판을 적재시키는 기판 지지부와 조합되는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
- 제3항에 있어서,상기 게이트는 상기 게이트를 승강시키는 승강부와 로드를 매개로 조합된 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
- 제3항에 있어서,상기 승강부는, 상기 게이트와 조합된 승강기와, 상기 게이트의 최하강 위치를 설정하는 스톱퍼와, 상기 게이트를 록킹시키는 안전핀과, 상기 게이트의 승강을 안내하는 레일을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
- 제2항에 있어서,상기 기판 건조처리실과 상기 고압실과의 사이에 배치되고, 상기 고압실과 상기 기판 건조처리실을 공간적으로 개방시켜 상기 기판 건조처리실을 상기 초임계 유체의 임계압력 이상으로 승압시켜 초임계 상태로 변화시키는 제1 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
- 제7항에 있어서,상기 기판 건조처리실에 배치되고, 상기 기판 건조처리실을 상기 초임계 상 태에서 대기압 상태로 감암시키는 제2 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
- 기판을 유입 및 반출시키는 로딩부와;기판에 대해 세정 처리하는 세정처리부와;상기 기판에 대해 초임계 유체를 제공하여 상기 기판을 건조처리시키는 처리실과, 상기 건조처리실을 상기 초임계 유체의 임계압력 이상으로 급속 승압시키는 고압실을 포함하는 건조처리부와;상기 기판을 상기 로딩부와 상기 세정처리부와 상기 건조처리부 사이에서 반송시키는 반송로봇;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.
- 제9항에 있어서,상기 건조처리부는,상기 처리실과 상기 고압실을 구비하는 챔버와;상기 처리실을 기판이 적재되고 반송되는 기판 반송처리실과, 초임계 유체가 제공되어 상기 기판을 건조처리하는 기판 건조처리실로 구분시키는 게이트와;상기 기판 건조처리실과 상기 고압실 사이에 배치되어 상기 기판 건조처리실과 상기 고압실을 공간적으로 개방시켜 상기 기판 건조처리실을 상기 초임계 유체의 임계압력 이상으로 급속하게 승압시키는 급속승압 밸브와;상기 초임계 유체의 임계압력 이상으로 승압된 기판 건조처리실을 대기압으로 감압시켜 유지시키는 대기압유지 밸브;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.
- 제10항에 있어서,상기 건조처리부는, 상기 게이트를 상기 처리실 내에서 승강시키는 승강부와, 상기 기판을 적재하며 상기 게이트와 조합되어 상기 기판 반송처리실과 상기 기판 건조처리실 사이에서 승강하는 기판 지지부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.
- 건조처리실과 고압실로 구분되는 챔버를 제공하는 단계와;상기 건조처리실로 기판을 제공하는 단계와;상기 건조처리실을 초임계 유체의 임계압력 이상으로 승압시키는 단계와;상기 초임계 유체를 상기 건조처리실로 제공하여 상기 기판을 건조처리하는 단계와;상기 건조처리실을 상기 초임계 유체의 임계압력 이상의 상태에서 대기압 상태로 감압하는 단계와;상기 기판을 상기 건조처리실로부터 반출하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
- 제12항에 있어서,상기 건조처리실을 초임계 유체의 임계압력 이상으로 승압시키는 단계는,상기 고압실과 상기 건조처리실을 공간적으로 개방시켜 상기 건조처리실을 승압시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
- 제13항에 있어서,상기 고압실과 상기 건조처리실을 공간적으로 개방시켜 상기 건조처리실을 승압시키는 단계는,상기 고압실을 상기 건조처리실과 구분시키는 격벽에 배치된 제1 밸브를 개방시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
- 제12항에 있어서,상기 건조처리실을 상기 초임계 유체의 임계압력 이상의 상태에서 대기압 상태로 감압하는 단계는, 상기 건조처리실에 배치된 제2 밸브를 개방시켜 상기 건조처리실의 압력을 감압하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
- 제12항에 있어서,상기 건조처리실을 초임계 유체의 임계압력 이상으로 승압시키는 단계 이전에, 상기 챔버 내에서 승강 가능한 게이트를 하강시켜 상기 건조처리실을 밀폐시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
- 제16항에 있어서,상기 챔버 내에서 승강 가능한 게이트를 하강시켜 상기 건조처리실을 밀폐시키는 단계는, 상기 게이트가 하강된 상태에서 안전핀으로써 상기 게이트를 록킹시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
- 제17항에 있어서,상기 기판을 상기 건조처리실로부터 반출하는 단계는, 상기 안전핀을 풀어 상기 게이트를 언록킹시키고, 상기 언록킹된 게이트를 상승시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
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