KR20080023854A - 초임계 유체를 이용한 기판 건조 장치, 이를 구비한 기판처리 설비 및 기판 처리 방법 - Google Patents

초임계 유체를 이용한 기판 건조 장치, 이를 구비한 기판처리 설비 및 기판 처리 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 초임계 유체를 이용한 기판 건조 장치, 이를 구비한 기판 처리 설비 및 기판 처리 방법에 관한 것으로, 본 발명 기판 처리 설비는, 챔버와, 상기 챔버의 일부를 구성하며, 기판에 초임계 유체를 제공하여 상기 기판을 건조시키는 처리실과; 상기 챔버의 다른 일부를 구성하며, 상기 처리실을 상기 초임계 유체의 임계압력 이상으로 승압시키는 고압실을 포함하는 기판 건조 장치를 구비한다. 본 발명에 의하면, 고압실에 의해 건조처리실을 초임계 상태로 급속 승압시켜 초임계 유체로써 기판 건조처리를 진행할 수 있게 된다.
반도체, 초임계 유체, 초임계 이산화탄소

Description

초임계 유체를 이용한 기판 건조 장치, 이를 구비한 기판 처리 설비 및 기판 처리 방법{SUBSTRATE DRYER USING SUPERCRITICAL FLUID, APPARATUS HAVING THE SAME, AND METHOD FOR TREATING SUBSTRATES}
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비에 있어서 기판 건조 장치를 도시한 단면도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비에 있어서 순수한 유체의 PT(압력-온도) 선도를 도시한 그래프.
도 3 내지 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비에 있어서 기판 건조 장치에서의 기판 건조 처리를 설명하는 단계별 단면도.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비를 도시한 평면도.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >
100; 건조 장치 102; 챔버
104; 처리실 105; 기판 반송실
106; 기판 건조처리실 108; 고압실
110; 게이트 112; 로드
114; 승강기 118; 기판 지지부
120; 기판 122; 초임계 유체 공급노즐
124; 초임계 유체 배출구 128; 급속승압 밸브
130; 대기압유지 밸브 132A,132B; 안전핀
133A,133B; 스톱퍼 134; 격벽
본 발명은 기판 처리 설비 및 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 초임계 유체를 이용하여 기판을 건조시키는 기판 처리 설비 및 방법에 관한 것이다.
주지된 바와 같이, 약액과 초순수에 의해 습식 처리된 기판에 이소프로필알코올(IPA)과 질소(N2)와의 혼합가스를 제공하여 기판을 건조시키는 것이 종래이다. 그런데, 기판 건조시 기판에 형성된 미세 패턴에 들어간 초순수, 예를 들어 오목한 트렌치에 들어간 초순수를 빼내기가 곤란하였다. 또한, 미세 패턴을 형성하는 각각의 막질의 종류에 따른 건조 조건대응이 난해하였다. 따라서, 습식 처리된 미세 패턴에 대하여 효과적으로 건조 처리하기 위해 초임계 유체를 이용한 건조 처리 기술이 제안된 바 있었다.
초임계 유체를 이용한 건조 처리 기술에 관해서는 일본공개특허공보 평8-250464호에 개시된 바 있었다. 상기 공보에 개시된 기술은 기판을 초임계 처리 장치인 고압 용기내에 반입하고, 일련의 습식 처리를 진행한 후, 액체 이산화탄소를 장치 내에 도입하여 기판 표면의 알코올을 치환하고, 온도를 상승시켜 이산화탄소 를 초임계 상태로 만들어 초임계 건조 처리를 진행한 후 감압한다는 것이다.
그렇지만, 상술한 기술은 고압 용기 내로 처리액을 도입하여야 하므로 처리액에 의한 부식 문제와 같은 안정성 측면에서 불리한 점이 발견된다. 게다가, 처리 장치는 높은 압력에 견딜 필요가 있으므로 배관의 구경을 크게 취하는 것이 곤란하기 때문에 처리액의 츨입에 소요되는 시간이 지나치게 오래 걸려 생산성 측면에서도 불리한 점이 발견된다. 또한, 고압의 필요성이 없는 습식 처리까지도 고압 용기에서 실시하는 것은 경제적으로 보아도 낭비이며 현실적이지 못하다.
본 발명은 상술한 종래 기술상의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 세정부와는 별개로 초임계 유체 건조 장치를 구비하는 건조 장치를 갖는 기판 처리 설비 및 방법을 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 처리 설비는 처리액의 영향을 받지 않도록 세정부와는 별개로 건조 장치를 마련하고, 건조 장치는 초임계 유체를 이용하여 기판 건조 처리를 하는 것을 특징으로 한다.
상기 특징을 구현할 수 있는 본 발명의 실시예에 따른 기판 건조 장치는, 챔버와; 상기 챔버의 일부를 구성하며, 기판에 초임계 유체를 제공하여 상기 기판을 건조시키는 처리실과; 상기 챔버의 다른 일부를 구성하며, 상기 처리실을 상기 초임계 유체의 임계압력 이상으로 승압시키는 고압실을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 실시예의 기판 건조 장치에 있어서, 상기 처리실은 상기 기판을 적재하고 반출하는 기판 반송처리실과, 상기 기판 반송실과는 격리 가능하고 상기 초임계 유체가 제공되고 배출되는 기판 건조처리실을 포함한다.
본 실시예의 기판 건조 장치에 있어서, 상기 처리실은 상기 기판 반송처리실과 상기 기판 건조처리실을 공간적으로 구분시켜 상기 기판 건조처리실을 상기 기판 반송처리실과 격리시키는 승강 가능한 게이트를 포함한다. 상기 게이트는 상기 기판을 적재시키는 기판 지지부와 조합된다. 상기 게이트는 상기 게이트를 승강시키는 승강부와 로드를 매개로 조합된다.
본 실시예의 기판 건조 장치에 있어서, 상기 승강부는 상기 게이트와 조합된 승강기와, 상기 게이트의 최하강 위치를 설정하는 스톱퍼와, 상기 게이트를 록킹시키는 안전핀과, 상기 게이트의 승강을 안내하는 레일을 포함한다.
본 실시예의 기판 건조 장치에 있어서, 상기 기판 건조처리실과 상기 고압실과의 사이에 배치되고, 상기 고압실과 상기 기판 건조처리실을 공간적으로 개방시켜 상기 기판 건조처리실을 상기 초임계 유체의 임계압력 이상으로 승압시켜 초임계 상태로 변화시키는 제1 밸브를 포함한다.
본 실시예의 기판 건조 장치에 있어서, 상기 기판 건조처리실에 배치되고, 상기 기판 건조처리실을 상기 초임계 상태에서 대기압 상태로 감암시키는 제2 밸브를 포함한다.
상기 특징을 구현할 수 있는 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비는, 기판을 유입 및 반출시키는 로딩부와; 기판에 대해 세정 처리하는 세정처리부와; 상 기 기판에 대해 초임계 유체를 제공하여 상기 기판을 건조처리시키는 처리실과, 상기 건조처리실을 상기 초임계 유체의 임계압력 이상으로 급속 승압시키는 고압실을 포함하는 건조처리부와; 상기 기판을 상기 로딩부와 상기 세정처리부와 상기 건조처리부 사이에서 반송시키는 반송로봇을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 실시예의 기판 처리 설비에 있어서, 상기 건조처리부는, 상기 처리실과 상기 고압실을 구비하는 챔버와; 상기 처리실을 기판이 적재되고 반송되는 기판 반송처리실과, 초임계 유체가 제공되어 상기 기판을 건조처리하는 기판 건조처리실로 구분시키는 게이트와; 상기 기판 건조처리실과 상기 고압실 사이에 배치되어 상기 기판 건조처리실과 상기 고압실을 공간적으로 개방시켜 상기 기판 건조처리실을 상기 초임계 유체의 임계압력 이상으로 급속하게 승압시키는 급속승압 밸브와; 상기 초임계 유체의 임계압력 이상으로 승압된 기판 건조처리실을 대기압으로 감압시켜 유지시키는 대기압유지 밸브를 포함한다.
본 실시예의 기판 처리 설비에 있어서, 상기 건조처리부는, 상기 게이트를 상기 처리실 내에서 승강시키는 승강부와, 상기 기판을 적재하며 상기 게이트와 조합되어 상기 기판 반송처리실과 상기 기판 건조처리실 사이에서 승강하는 기판 지지부를 더 포함한다.
상기 특징을 구현할 수 있는 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 방법은, 건조처리실과 고압실로 구분되는 챔버를 제공하는 단계와; 상기 건조처리실로 기판을 제공하는 단계와; 상기 건조처리실을 초임계 유체의 임계압력 이상으로 승압시키는 단계와; 상기 초임계 유체를 상기 건조처리실로 제공하여 상기 기판을 건조처리하 는 단계와; 상기 건조처리실을 상기 초임계 유체의 임계압력 이상의 상태에서 대기압 상태로 감압하는 단계와; 상기 기판을 상기 건조처리실로부터 반출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 실시예의 기판 처리 방법에 있어서, 상기 건조처리실을 초임계 유체의 임계압력 이상으로 승압시키는 단계는, 상기 고압실과 상기 건조처리실을 공간적으로 개방시켜 상기 건조처리실을 승압시키는 단계를 포함한다.
본 실시예의 기판 처리 방법에 있어서, 상기 고압실과 상기 건조처리실을 공간적으로 개방시켜 상기 건조처리실을 승압시키는 단계는, 상기 고압실을 상기 건조처리실과 구분시키는 격벽에 배치된 제1 밸브를 개방시키는 단계를 포함한다.
본 실시예의 기판 처리 방법에 있어서, 상기 건조처리실을 상기 초임계 유체의 임계압력 이상의 상태에서 대기압 상태로 감압하는 단계는, 상기 건조처리실에 배치된 제2 밸브를 개방시켜 상기 건조처리실의 압력을 감압하는 단계를 포함한다.
본 실시예의 기판 처리 방법에 있어서, 상기 건조처리실을 초임계 유체의 임계압력 이상으로 승압시키는 단계 이전에, 상기 챔버 내에서 승강 가능한 게이트를 하강시켜 상기 건조처리실을 밀폐시키는 단계를 더 포함한다.
본 실시예의 기판 처리 방법에 있어서, 상기 챔버 내에서 승강 가능한 게이트를 하강시켜 상기 건조처리실을 밀폐시키는 단계는, 상기 게이트가 하강된 상태에서 안전핀으로써 상기 게이트를 록킹시키는 단계를 포함한다.
본 실시예의 기판 처리 방법에 있어서, 상기 기판을 상기 건조처리실로부터 반출하는 단계는, 상기 안전핀을 풀어 상기 게이트를 언록킹시키고, 상기 언록킹된 게이트를 상승시키는 단계를 포함한다.
본 발명에 의하면, 액체의 세정효과를 가지고 기체의 점성을 가지는 초임계 유체를 이용하여 기판을 워터마크 없이 효과적으로 건조 처리할 수 있게 된다. 게다가, 기판 건조 장치는 건조처리실 이외에 별도로 고압실을 구비하고 있어서 건조처리실을 급속으로 초임계 상태로 만들 수 있게 된다.
이하, 본 발명에 따른 기판 건조 장치, 이를 갖는 기판 처리 설비 및 기판 처리 방법을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
본 발명과 종래 기술과 비교한 이점은 첨부된 도면을 참조한 상세한 설명과 특허청구범위를 통하여 명백하게 될 것이다. 특히, 본 발명은 특허청구범위에서 잘 지적되고 명백하게 청구된다. 그러나, 본 발명은 첨부된 도면과 관련해서 다음의 상세한 설명을 참조함으로써 가장 잘 이해될 수 있다. 도면에 있어서 동일한 참조부호는 다양한 도면을 통해서 동일한 구성요소를 나타낸다.
(실시예)
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비에 있어서 기판을 건조 처리하는 건조 장치를 도시한 단면도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명 실시예의 건조 장치(100)는 챔버(102)를 가지며, 챔버(102)는 챔버(102) 내에서 가로 방향으로 연장된 격벽(134)에 의해 상부의 처리실(104)과 하부의 고압실(108)로 구분된다.
챔버(102)의 상측면(102C)에는 승강기(114)가 배치되고, 승강기(114)는 로 드(112)를 매개로 게이트(110)의 상면(110A)과 연결된다. 게이트(110)는 승강기(114)에서 발생된 동력을 전달받아 상하 승강한다. 게이트(110)의 승강은 좌우 양측의 레일(116A,116B)에 의해 유도된다. 게이트(110)는 챔버(102)의 좌측벽(102A) 내에 배치된 스톱퍼(133A) 및 우측벽(102B) 내에 배치된 스톱퍼(133B)에 의해 그 최하강 위치가 결정되고, 최하강 위치에 있는 게이트(110)는 처리실(104)을 상부의 기판 반송처리실(105)과 하부의 기판 건조처리실(106)로 구분한다.
챔버(102)의 좌측벽(102A) 및 우측벽(102B) 각각에는 안전핀(132A,132B)이 각각 구비되어 있어, 게이트(110)가 최하강 위치에 있을 때 안전핀(132A,132B)이 챔버(102)의 내측으로 이동함으로써 게이트(110)를 록킹시킨다. 게이트(110)의 하면(110B)에는 건조 처리 대상물인 기판(120)을 1매 또는 다수매 지지하는 기판 지지부(118)가 연결된다.
건조처리실(106)로 건조용 유체를 제공하는 공급노즐(122)과 배출하는 배출구(124)가 마련된다. 건조용 유체는 밸브(122A)가 개방된 공급노즐(122)을 통해 기판 건조처리실(106)로 제공되어 기판(120)에 대한 건조처리에 이용되고 밸브(124A)가 개방된 배출구(124)를 통해 건조처리실(106)로부터 배출된다. 건조용 유체로는 초임계 유체를 채택하여 사용한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비에 있어서 순수한 유체의 PT(압력-온도) 선도를 도시한 그래프이다.
도 2를 참조하면, 순수한 유체를 삼중점(2)까지 온도를 올리면서 고체의 증기압을 측정하고, 삼중점(2) 이상에서는 순수 액체의 증기압을 측정하면 승화곡 선(1-2 선) 및 기화곡선(2-C 선)과 같은 압력-온도(PT) 곡선을 그릴 수 있다. 여기서, 용융곡선(2-3 선)은 고체-액체의 평형관계를 나타낸다. 초임계 유체는 임계온도(Tc) 및 임계압력(Pc) 이상의 영역에 있는 유체로서 기체와 액체의 구별이 모호해져 임계압력 이상의 압력을 가하여도 액화가 되지 않는 비응측성 특성을 가진다. 즉, 초임계 유체의 물성은 액체적인 성질과 기체적인 성질을 모두 가지고 있어서, 기체와 같은 확산도와 점성, 액체와 같은 용해능력을 가지고 있다. 본 실시예에서는 초임계 이산화탄소(Supercritical CO2)를 건조용 유체로 채택한다. 참고적으로, 초임계 이산화탄소는 임계온도가 31℃ 이고, 임계압력이 72.8 기압(atm) 정도로서 임계영역(35℃, 75atm)에서의 점성은 0.03cP, 표면장력은 0 dynes/cm, 밀도는 300kg/㎥의 물성을 가진다.
도 1을 다시 참조하면, 고압실(108)은 게이트(110)에 의해 밀폐된 건조처리실(106)을 이산화탄소의 임계영역에 상당하는 상태로 급속하게 변화시킬 수 있도록 마련된다. 고압실(108)은 급속승압 밸브(126)가 개방될 때 건조처리실(106)이 고압의 상태, 최소한 이산화탄소의 임계압력 이상으로 유지되도록 그 압력이 설정된다. 급속승압 밸브(126)가 개방되면 건조처리실(106)은 이산화탄소의 임계압력 이상으로 승압된다. 건조처리실(106)이 승압된 상태에서 초임계 이산화탄소가 건조처리실(106)로 제공되어 기판(120)에 대한 건조처리가 진행된다.
건조처리실(106)에서의 건조처리가 완료되면 기판(120)의 언로딩을 위해 건조처리실(106)을 고압 상태에서 대기압 상태로 변화시킬 필요가 있다. 그러므로, 건조처리실(106)을 대기압으로 설정되게끔 하는 대기압유지 밸브(130)가 배치된다. 대기압유지 밸브(130)는 챔버(102)의 측벽, 예를 들어, 우측벽(102B)에 마련된다. 건조처리실(106)에서 기판(120)에 대한 건조처리가 완료되면 대기압유지 밸브(130)가 개방되어 건조처리실(106)은 고압의 상태에서 대기압 상태로 감압된다.
도 3 내지 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비에 있어서 기판 건조 장치에서의 기판 건조 처리를 설명하는 단계별 단면도이다.
도 3을 참조하면, 건조처리 대상이 되는 기판(120)을 건조 장치(100)로 로딩시킨다. 기판(120)의 로딩은 게이트(110)가 상승된 상태에서 기판(120)을 지지부(118)에 1매 또는 다수매 지지함으로써 구현된다. 처리실(104)은 대기압 상태로 유지시킨다. 고압실(108)은 후술한 바와 같이 급속승압 밸브(126)가 개방될 때 건조처리실(106)이 최소한 이산화탄소의 임계압력(72.8 기압) 이상으로 설정되도록 고압의 상태를 유지하도록 한다.
도 4를 참조하면, 기판(120)이 지지부(118)에 지지된 상태에서 게이트(110)를 하강시켜 건조처리실(106)을 밀폐시킨다. 게이트(110)가 하강된 상태에서 안전핀(132a,132B)을 건조처리실(106) 안쪽으로 슬라이드시켜 게이트(110)의 양 가장자리를 내리누르도록 하여 게이트(110)를 록킹시킨다. 게이트(110)가 록킹된 상태에서 급속승압 밸브(126)를 열어 건조처리실(106)이 상술한 바와 같이 이산화탄소의 임계압력 이상으로 급속하게 승압되도록 한다. 건조처리실(106)이 이산화탄소의 임계압력(Pc) 이상으로 승압되면 도 2에서 알 수 있듯이 기화선(2-C 선)을 따라 온도도 임계온도(Tc) 이상으로 승온된다. 건조처리실(106)은 초임계 상태, 가령 35℃ 및 75 기압(atm)으로 유지시킨다.
도 5를 참조하면, 건조처리실(106)이 이산화탄소의 임계압력(Pc) 이상의 초임계 상태로 유지되면 급속승압 밸브(126)를 밀폐시키고 밸브(122A)을 열어 공급노즐(122)을 통해 초임계 이산화탄소를 건조처리실(106)로 제공시킨다. 이에 따라, 건조처리실(106)에서는 기판(120)에 대한 건조처리가 고압 상태에서 진행된다. 건조처리실(106)을 일정시간 동안 초임계 상태로 유지하여 기판(120)에 대한 건조처리를 진행한 후 초임계 이산화탄소를 배출구(124)를 통해 배출시킨다. 다르게, 건조처리실(106)을 초임계 상태로 유지시키면서 초임계 이산화탄소를 공급 및 배출시키면서 기판(120)을 건조처리하여도 좋다.
도 6을 참조하면, 대기압유지 밸브(130)를 열어 건조처리실(106)을 대기압 상태로 감압시킨다. 건조처리실(106)이 임계압력에서 대기압으로 감압되면 안전핀(132A,132B)을 열어 게이트(110)를 상승시킨다. 이후에 기판(120)을 기판 지지부(118)에서 언로딩시켜 기판 반송실(105)로부터 외부로 반송시킨다.
이상에서 설명한 건조 장치(100)는 도 7에 도시된 바와 같이 매엽식 기판 처리 설비(1000)의 일부로 구성될 수 있다. 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 매엽식 기판 처리 설비(1000)를 도시한 평면도이다.
도 7을 참조하면, 기판의 로딩/언로딩부(500)에서 기판(120)이 장치(1000)로 로딩되고, 기판 반송로봇(600)에 의해 버퍼부(700)에서 일시적으로 대기한 다음, 기판 반송로봇(650)에 의해 각 처리부(100,200,300,400)로 반송되어 처리된다. 처리부(200-400) 중 적어도 어느 하나(200)는 기판(120)에 대한 세정 처리를 진행하 는 세정부를 포함한다. 세정부(200)에서 세정처리된 기판(120)은 건조 장치(100)로 반송되어 초임계 유체에 의해 건조된다. 건조된 기판(120)은 기판 반송로봇(650)에 의해 버퍼부(700)로 옮겨지고, 기판 반송로봇(600)에 의해 버퍼부(700)에서 기판 로딩/언로딩부(500)로 반송되어 언로딩된다. 본 실시예의 건조 장치(100)는 설명한 매엽식 기판 처리 설비(1000) 이외에 배치식 기판 처리 설비에도 적용될 수 있음은 물론이다.
이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니며, 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 할 것이다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 액체의 세정효과를 가지고 기체의 점성을 가지는 초임계 유체를 이용하여 기판을 워터마크 없이 효과적으로 건조 처리할 수 있게 된다. 그러므로, 안정적이고 양호한 기판 건조 처리가 가능해져 생산성 내지 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다. 또한, 기판 건조 장치를 매엽식 또는 배치식 기판 처리 장치에 호환적으로 적용 가능하다.

Claims (18)

  1. 챔버와;
    상기 챔버의 일부를 구성하며, 기판에 초임계 유체를 제공하여 상기 기판을 건조시키는 처리실과;
    상기 챔버의 다른 일부를 구성하며, 상기 처리실을 상기 초임계 유체의 임계압력 이상으로 승압시키는 고압실;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 처리실은, 상기 기판을 적재하고 반출하는 기판 반송처리실과, 상기 기판 반송실과는 격리 가능하고 상기 초임계 유체가 제공되고 배출되는 기판 건조처리실을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 처리실은 상기 기판 반송처리실과 상기 기판 건조처리실을 공간적으로 구분시켜 상기 기판 건조처리실을 상기 기판 반송처리실과 격리시키는 승강 가능한 게이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 게이트는 상기 기판을 적재시키는 기판 지지부와 조합되는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 게이트는 상기 게이트를 승강시키는 승강부와 로드를 매개로 조합된 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 승강부는, 상기 게이트와 조합된 승강기와, 상기 게이트의 최하강 위치를 설정하는 스톱퍼와, 상기 게이트를 록킹시키는 안전핀과, 상기 게이트의 승강을 안내하는 레일을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
  7. 제2항에 있어서,
    상기 기판 건조처리실과 상기 고압실과의 사이에 배치되고, 상기 고압실과 상기 기판 건조처리실을 공간적으로 개방시켜 상기 기판 건조처리실을 상기 초임계 유체의 임계압력 이상으로 승압시켜 초임계 상태로 변화시키는 제1 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 기판 건조처리실에 배치되고, 상기 기판 건조처리실을 상기 초임계 상 태에서 대기압 상태로 감암시키는 제2 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
  9. 기판을 유입 및 반출시키는 로딩부와;
    기판에 대해 세정 처리하는 세정처리부와;
    상기 기판에 대해 초임계 유체를 제공하여 상기 기판을 건조처리시키는 처리실과, 상기 건조처리실을 상기 초임계 유체의 임계압력 이상으로 급속 승압시키는 고압실을 포함하는 건조처리부와;
    상기 기판을 상기 로딩부와 상기 세정처리부와 상기 건조처리부 사이에서 반송시키는 반송로봇;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 건조처리부는,
    상기 처리실과 상기 고압실을 구비하는 챔버와;
    상기 처리실을 기판이 적재되고 반송되는 기판 반송처리실과, 초임계 유체가 제공되어 상기 기판을 건조처리하는 기판 건조처리실로 구분시키는 게이트와;
    상기 기판 건조처리실과 상기 고압실 사이에 배치되어 상기 기판 건조처리실과 상기 고압실을 공간적으로 개방시켜 상기 기판 건조처리실을 상기 초임계 유체의 임계압력 이상으로 급속하게 승압시키는 급속승압 밸브와;
    상기 초임계 유체의 임계압력 이상으로 승압된 기판 건조처리실을 대기압으로 감압시켜 유지시키는 대기압유지 밸브;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 건조처리부는, 상기 게이트를 상기 처리실 내에서 승강시키는 승강부와, 상기 기판을 적재하며 상기 게이트와 조합되어 상기 기판 반송처리실과 상기 기판 건조처리실 사이에서 승강하는 기판 지지부;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.
  12. 건조처리실과 고압실로 구분되는 챔버를 제공하는 단계와;
    상기 건조처리실로 기판을 제공하는 단계와;
    상기 건조처리실을 초임계 유체의 임계압력 이상으로 승압시키는 단계와;
    상기 초임계 유체를 상기 건조처리실로 제공하여 상기 기판을 건조처리하는 단계와;
    상기 건조처리실을 상기 초임계 유체의 임계압력 이상의 상태에서 대기압 상태로 감압하는 단계와;
    상기 기판을 상기 건조처리실로부터 반출하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 건조처리실을 초임계 유체의 임계압력 이상으로 승압시키는 단계는,
    상기 고압실과 상기 건조처리실을 공간적으로 개방시켜 상기 건조처리실을 승압시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 고압실과 상기 건조처리실을 공간적으로 개방시켜 상기 건조처리실을 승압시키는 단계는,
    상기 고압실을 상기 건조처리실과 구분시키는 격벽에 배치된 제1 밸브를 개방시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
  15. 제12항에 있어서,
    상기 건조처리실을 상기 초임계 유체의 임계압력 이상의 상태에서 대기압 상태로 감압하는 단계는, 상기 건조처리실에 배치된 제2 밸브를 개방시켜 상기 건조처리실의 압력을 감압하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
  16. 제12항에 있어서,
    상기 건조처리실을 초임계 유체의 임계압력 이상으로 승압시키는 단계 이전에, 상기 챔버 내에서 승강 가능한 게이트를 하강시켜 상기 건조처리실을 밀폐시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 챔버 내에서 승강 가능한 게이트를 하강시켜 상기 건조처리실을 밀폐시키는 단계는, 상기 게이트가 하강된 상태에서 안전핀으로써 상기 게이트를 록킹시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 기판을 상기 건조처리실로부터 반출하는 단계는, 상기 안전핀을 풀어 상기 게이트를 언록킹시키고, 상기 언록킹된 게이트를 상승시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
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