KR20080007097A - Heat treatment apparatus - Google Patents

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KR20080007097A
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유키오 나가노
히사미쯔 테젠
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에스펙 가부시키가이샤
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Abstract

A heat treatment apparatus is provided to prevent sublimate from being accumulated in an exhaust duct by decomposing the sublimate generated from an object being processed using a catalyst. A heat treatment apparatus comprises a heat treatment unit(21). The heat treatment apparatus heats the inside air of the heat treatment unit to heat-treat a processing object received in the heat treatment unit. The heat treatment apparatus heats the outside air to flow into the heat treatment unit and flow the air from the heat treatment unit into a discharging duct(5) such that the heat treatment unit is ventilated. A catalyst(6) is provided in the discharging duct to decompose sublimate generated from the object being processed when the processing object is heat-treated.

Description

열처리 장치{Heat treatment apparatus}Heat treatment apparatus

도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 열처리 장치의 개략 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram of a heat treatment apparatus according to a first embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 열처리 장치의 개략 구성도이다.2 is a schematic configuration diagram of a heat treatment apparatus according to a second embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 열처리 장치의 개략 구성도이다.3 is a schematic configuration diagram of a heat treatment apparatus according to a third embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 제4 실시 형태에 따른 열처리 장치의 개략 구성도이다.4 is a schematic configuration diagram of a heat treatment apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 간단한 설명** Brief description of the main parts of the drawing *

1A, 1B, 1C, 1D: 열처리 장치1A, 1B, 1C, 1D: Heat Treatment Apparatus

2: 본체 4: 흡기 덕트2: body 4: intake duct

5: 도출 덕트 6: 촉매5: lead duct 6: catalyst

7: 블로어 8: 댐퍼7: blower 8: damper

9: 열교환기 10: 히터9: heat exchanger 10: heater

20: 단열실 21: 열처리부20: heat insulation chamber 21: heat treatment unit

22: 지지부 23: 공조부22: support 23: air conditioning

24: 격벽 25: 통풍구24: bulkhead 25: vent

31: 필터 32: 가열기31: filter 32: heater

33: 송풍기 51: 배기 덕트33: blower 51: exhaust duct

52: 환류 덕트52: reflux duct

본 발명은 피처리물을 열처리하는 열처리 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a heat treatment apparatus for heat-treating a workpiece.

종래 열처리 장치로서 열처리부 내에 피처리물이 수용된 상태에서 상기 열처리부 내의 공기를 순환시키면서 가열하고, 이 가열 공기에 의해 상기 피처리물을 열처리하는 것이 알려져 있다.As a conventional heat treatment apparatus, it is known to heat the air in the heat treatment portion while circulating the object in the heat treatment portion, and to heat-treat the object with the heated air.

이러한 열처리 장치는 예를 들어 FPD(플래트 패널 디스플레이(Flat-Panel Display))의 제조 공정에 있어서 포토레지스트(photoresist)나 유기물 박막의 프리베이크(prebake) 공정, 포스트베이크 공정 등에 사용될 수 있다. 이들 공정에서는 유리 기판 등으로 이루어지는 피처리물이 열처리될 때 포토레지스트 등에 포함되는 휘발성 성분이 기화되어 다량의 승화물이 발생하고, 이 승화물이 재결정화되어 열처리 장치 주변으로 비산하거나 주변에 부착하거나 하는 등의 문제가 있었다.Such a heat treatment apparatus may be used, for example, in a photoresist or a prebake process of a thin film of organic material, a postbake process, or the like in the manufacturing process of a flat panel display (FPD). In these processes, when a workpiece formed of a glass substrate or the like is heat treated, a volatile component contained in a photoresist or the like is vaporized to generate a large amount of sublimation, and the sublimation is recrystallized to scatter around or adhere to the heat treatment apparatus. There was a problem.

이 문제의 해결책으로서, 예를 들어 일본 특허 공개공보 평 제10-141868호에는 외기를 가열하여 상기 열처리부 내로 들여보내는 한편, 상기 열처리부 내의 공기를 도출 덕트(duct) 내로 유출시킴으로써 상기 열처리부 내를 환기하는 것이 기재되어 있다. 이와 같이 열처리부 내를 환기함으로써 승화물의 재결정화 및 주변에의 부착을 억제할 수 있다.As a solution to this problem, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 10-141868 discloses that the outside air is heated and introduced into the heat treatment portion, while air in the heat treatment portion flows out into the duct. Ventilation is described. By ventilating the heat treatment portion in this manner, it is possible to suppress the recrystallization of the sublimation and adhesion to the surroundings.

그러나, 상기와 같이 환기한 경우에는 열처리부로부터 유출된 공기가 도출 덕트 내를 흐를 때 냉각되어 승화물이 도출 덕트 내에서 퇴적될 우려가 있다.However, in the case of the ventilation as described above, there is a fear that the air discharged from the heat treatment unit cools down when flowing through the derivation duct, and the sublimate is deposited in the deduction duct.

본 발명의 목적은 상술한 문제를 해결하는 열처리 장치를 제공하는 데에 있다. 또한 본 발명의 다른 목적은 승화물이 도출 덕트 내에서 퇴적되는 것을 억제할 수 있는 열처리 장치를 제공하는 데에 있다.An object of the present invention is to provide a heat treatment apparatus that solves the above problems. Another object of the present invention is to provide a heat treatment apparatus capable of suppressing deposition of a sublimate in a duct.

본 발명의 일면에 따르면, 열처리부 내에 피처리물이 수용된 상태에서 상기 열처리부 내의 공기를 순환시키면서 가열함으로써 상기 피처리물을 열처리함과 함께, 외기를 가열하여 상기 열처리부 내로 들여보내면서 상기 열처리부 내의 공기를 도출 덕트 내로 유출시킴으로써 상기 열처리부 내를 환기하는 열처리 장치에 있어서, 상기 도출 덕트에는 상기 피처리물을 열처리할 때 해당 피처리물로부터 발생하는 승화물을 분해 가능한 촉매가 마련되어 있다.According to an aspect of the present invention, the heat treatment is performed while circulating air in the heat treatment unit while the object is contained in the heat treatment unit, while heat-treating the object, and heating the outside air into the heat treatment unit while the heat treatment is performed. In the heat treatment apparatus for ventilating the inside of the heat treatment part by letting out the air in the part into the derivation duct, the derivation duct is provided with a catalyst capable of decomposing a sublimation generated from the object to be treated when the object is heat treated.

또한 본 발명의 다른 일면에 따르면, 내부에 피처리물을 수용 가능한 열처리부와, 상기 열처리부에 접속되는 도출 덕트(duct)와, 상기 피처리물을 열처리하기 위하여 외기를 가열하여 상기 열처리부 내로 들여보내는 공조부를 구비하는 열처리 장치로서, 상기 공조부는 외기를 상기 열처리부 내로 들여보냄으로써 상기 열처리부 내의 공기를 해당 공조부로 복귀시키지 않고 상기 도출 덕트 내로 유출시키는 것이고, 상기 도출 덕트는 상기 열처리부로부터 유출된 공기를 모두 외부로 배출하도록 구성되어 있으며, 이 도출 덕트에는 상기 피처리물을 열처리할 때 해당 피처리물로부터 발생하는 승화물을 분해 가능한 촉매가 마련되어 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a heat treatment unit capable of accommodating an object therein, a duct connected to the heat treatment unit, and heating the outside air to heat the object. A heat treatment apparatus having an air-conditioning portion to be introduced, wherein the air-conditioning portion flows air in the heat-treating portion into the air-flowing duct without returning the air in the heat-processing portion to the air-conditioning portion by introducing outside air into the heat-processing portion, and the air-flowing duct is discharged from the heat-treating portion. It is comprised so that the air which flowed out may be discharged | emitted to the outside, The said duct is equipped with the catalyst which can decompose the sublimation which arises from the said to-be-processed object when heat-processing the said to-be-processed object.

이하, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태에 대하여 도면을 참조하면서 상 세하게 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the best form for implementing this invention is demonstrated in detail, referring drawings.

도 1은 본 발명에 따른 열처리 장치의 일 실시 형태를 개략적으로 도시한 도면이다. 동 도면에 도시한 바와 같이, 제1 실시 형태에 따른 열처리 장치(1A)는 FPD의 제조 공정에 사용되는 것이며, 이 열처리 장치(1A)는 클린 룸(clean room) 내에 설치되는 소위 클린 오븐(clean oven)이라 불리는 것이다.1 is a view schematically showing an embodiment of a heat treatment apparatus according to the present invention. As shown in the figure, the heat treatment apparatus 1A according to the first embodiment is used in the manufacturing process of the FPD, and this heat treatment apparatus 1A is a so-called clean oven installed in a clean room. It is called an oven.

상기 열처리 장치(1A)는 단열벽으로 공간이 에워싸인 단열실(20)을 갖는 장치 본체(2)를 구비하고 있다. 상기 단열실(20)은 내부가 격벽(24)에 의해 구획되어 있어, 격벽(24)보다 좌측 부분이 열처리부(21)이고, 우측 부분이 공조부(23)로 되어 있다. 격벽(24)에는 개구가 형성되고, 이 개구 내에 필터(31)가 배열되어 설치되어 있다. 이에 따라, 필터(31)를 통한 통기가 가능하게 되어 있다. 또한 도시는 생략하였지만, 장치 본체(2)에는 열처리부(21)의 내부와 공조부(23)의 내부를 연통시키는 연통로가 설치되어 있다.The said heat processing apparatus 1A is equipped with the apparatus main body 2 which has the heat insulation chamber 20 by which the space was enclosed by the heat insulation wall. The inside of the said heat insulation chamber 20 is partitioned by the partition 24, and the left part is the heat processing part 21, and the right part is the air-conditioning part 23 rather than the partition 24. As shown in FIG. An opening is formed in the partition 24, and the filter 31 is arrange | positioned and provided in this opening. Thereby, ventilation through the filter 31 is attained. In addition, although not shown in figure, the apparatus main body 2 is provided with the communication path which communicates the inside of the heat processing part 21, and the inside of the air-conditioning part 23. As shown in FIG.

상기 열처리부(21)의 내부에는 작업편 지지부(22)가 설치되어 있다. 이 작업편 지지부(22)는 유리 기판 등으로 이루어지는 복수 개의 피처리물(이하, 간단히 작업편이라고 함)(W)을 상하로 나란한 상태에서 유지 가능하다. 이 작업편 지지부(22)에 작업편(W)이 유지됨으로써 해당 작업편(W)이 열처리부(21) 내에 수용된다.The workpiece support part 22 is provided inside the heat treatment part 21. This work piece support part 22 can hold | maintain the several to-be-processed object (henceforth simply called a workpiece | work) W which consists of a glass substrate etc. in the state which stood up and down. The workpiece W is held in the workpiece support 22 so that the workpiece W is accommodated in the heat treatment portion 21.

상기 공조부(23)에는 가열기(32) 및 송풍기(33)가 설치되어 있다. 가열기(32)는 공조부(23) 내의 공기를 가열하는 것이며, 송풍기(33)는 공조부(23) 내의 공기를 필터(31)를 통하여 열처리부(21) 내로 들여보내는 것이다. 그리고 송풍 기(33)에 의해 열처리부(21) 내로 공기가 들여보내지면, 열처리부(21) 내의 공기는 미도시된 연통로를 통하여 공조부(23) 내로 복귀한다. 그리고 공조부(23) 내로 복귀된 공기는 다시 가열기(32)에 의해 가열된다. 즉, 열처리부(21) 내의 공기는 순환하면서 가열되도록 되어 있으며, 이에 따라 열처리부(21) 내에 수용된 작업편(W)이 열처리되게 한다.The air conditioner 23 is provided with a heater 32 and a blower 33. The heater 32 heats the air in the air conditioner 23, and the blower 33 introduces the air in the air conditioner 23 into the heat treatment part 21 through the filter 31. When air is introduced into the heat treatment unit 21 by the blower 33, the air in the heat treatment unit 21 returns to the air conditioning unit 23 through a communication path not shown. The air returned to the air conditioner 23 is then heated by the heater 32 again. That is, the air in the heat treatment unit 21 is to be heated while circulating, thereby causing the work piece W accommodated in the heat treatment unit 21 to be heat treated.

나아가, 상기 공조부(23)에는 흡기 덕트(4)가 접속되고, 또한 상기 열처리부(21)에는 도출 덕트(5)가 접속되어 있다. 그리고 흡기 덕트(4)로부터 흡입된 외기가 공조부(23) 및 필터(31)를 지나 열처리부(21) 내로 들여보내짐과 함께, 열처리부(21) 내의 공기가 도출 덕트(5) 내로 유출됨으로써 열처리부(21) 내가 환기된다.Further, the air intake duct 4 is connected to the air conditioning unit 23, and the induction duct 5 is connected to the heat treatment unit 21. The outside air sucked from the intake duct 4 passes through the air conditioning unit 23 and the filter 31 into the heat treatment unit 21, and the air in the heat treatment unit 21 flows into the derivation duct 5. As a result, the heat treatment portion 21 is ventilated.

상기 도출 덕트(5)의 일단부는 열처리부(21)에 접속되어 있다. 도출 덕트(5)는 외부로 개방되는 배기 덕트(51)와, 이 배기 덕트(51)에서 분기되어 상기 흡기 덕트(4)로 연결되는 환류 덕트(52)를 가지고 있다. 배기 덕트(51)는 상기 열처리부(21)로부터 유출된 공기를 직접 외부로 배출하기 위한 것이고, 환류 덕트(52)는 상기 열처리부(21)로부터 유출된 공기를 상기 흡기 덕트(4)를 통하여 다시 열처리부(21) 내로 들여보내기 위한 것이다.One end of the lead-out duct 5 is connected to the heat treatment portion 21. The lead-out duct 5 has an exhaust duct 51 which opens to the outside, and the reflux duct 52 branched from the exhaust duct 51 and connected to the intake duct 4. The exhaust duct 51 is for directly discharging the air flowing out of the heat treatment unit 21 to the outside, the reflux duct 52 is the air flowing out from the heat treatment unit 21 through the intake duct (4) It is intended to be introduced into the heat treatment unit 21 again.

상기 환류 덕트(52)의 도중에는 블로어(7)와 촉매(6)가 마련되어 있다. 촉매(6)는 상기 배기 덕트(51)에 있어서 상기 환류 덕트(52)가 분기되는 위치보다 상류측의 부분에 배치되어 있다. 또한 촉매(6)는 도 1에서 2점 쇄선으로 나타낸 바와 같이, 환류 덕트(52)에 있어서 블로어(7)의 상류측의 부분에 마련되어 있을 수도 있다.A blower 7 and a catalyst 6 are provided in the middle of the reflux duct 52. The catalyst 6 is arrange | positioned in the upstream part rather than the position where the said reflux duct 52 branches in the said exhaust duct 51. In addition, the catalyst 6 may be provided in the upstream part of the blower 7 in the reflux duct 52, as shown by the dashed-dotted line in FIG.

상기 촉매(6)는 상기 작업편(W)을 열처리할 때 해당 작업편(W)으로부터 발생하는 승화물의 산화 분해 반응을 촉진시키기 위한 것이다. 본 발명의 실시 형태에서는 촉매(6)를 구성하는 활성 금속으로서 백금(Pt)이나 팔라듐(Pd) 등의 귀금속이나 이들 귀금속의 합금과 같은 것이 채용된다. 이들 촉매(6)는 약 150 내지 200℃ 정도의 온도 분위기 하에서 촉매 활성을 나타낸다. 촉매(6)를 통과하는 공기의 온도는 열처리 온도나 덕트의 배선 방법에 따라 달라지므로, 촉매 활성에 충분한 온도에서 촉매(6)를 통과하지 않는 경우에는 촉매(6) 앞에 히터(10)를 부착하여 촉매 활성 온도까지 공기의 온도를 상승시키면 된다. 또한 작업편(W)으로부터 발생하는 승화물에 촉매독이라 일컬어지는 물질(Si, P, S 등을 포함하는 유기 화합물)이 들어 있는 경우에는 촉매(6)가 피독될 수 있다. 이러한 경우에는 촉매(6)의 앞쪽(상류측)에 전처리재(알루미나, 세라믹 등)를 배열하여 설치하면 좋다.The catalyst 6 is for promoting the oxidative decomposition reaction of the sublimation generated from the workpiece W when the workpiece W is heat treated. In the embodiment of the present invention, as the active metal constituting the catalyst 6, a noble metal such as platinum (Pt) or palladium (Pd) or an alloy of these noble metals is employed. These catalysts 6 exhibit catalytic activity under a temperature atmosphere of about 150 to 200 ° C. Since the temperature of the air passing through the catalyst 6 depends on the heat treatment temperature or the wiring method of the duct, the heater 10 is attached in front of the catalyst 6 when the catalyst 6 is not passed at a temperature sufficient for the catalyst activity. What is necessary is just to raise the temperature of air to catalyst active temperature. In addition, when the sublimate generated from the workpiece W contains a substance called an organic compound (Si, P, S, etc.), the catalyst 6 may be poisoned. In such a case, the pretreatment material (alumina, ceramics, etc.) may be arranged in front of the catalyst 6 (upstream side).

또한 상기 흡기 덕트(4) 및 도출 덕트(5)에는 적당한 곳에 풍량 조정용 댐퍼(8)가 설치되어 있다.Moreover, the air volume adjustment damper 8 is provided in the intake duct 4 and the discharge duct 5 at an appropriate position.

그리고, 전술한 열처리가 수행됨과 함께, 블로어(7)가 구동되면, 열처리부(21) 내의 공기가 배기 덕트(51)의 일단부로부터 흡인되어 배기 덕트(51) 내로 유입된다. 배기 덕트(51) 내로 유입된 공기에는 작업편(W)으로부터 발생한 승화물이 포함되어 있는데, 이 승화물은 촉매(6)에 접촉하여 분해된다. 그 후에 공기의 일부는 배기 덕트(51)의 도중으로부터 환류 덕트(52) 내로 유입되어 블로어(7)에 흡인되고, 나머지는 배기 덕트(51)의 타단부로부터 외부로 배출된다. 또한 열처리 부(21) 내의 공기가 배기 덕트(51) 내로 유출되면, 그에 따라 흡기 덕트(4)로부터 외기가 흡입되어 공조부(23) 내로 들여보내진다. 여기서 외기는 가열기(32)에 의해 가열되고, 그 후 필터(31)를 통하여 열처리부(21) 내로 들여보내진다. 즉, 가열기(32)는 두 개의 기능, 즉 외기를 가열하는 기능과 전술한 바와 같이 열처리부(21) 내의 공기를 순환시키면서 가열하는 기능을 가지고 있다.In addition, when the above heat treatment is performed and the blower 7 is driven, air in the heat treatment unit 21 is sucked from one end of the exhaust duct 51 and flows into the exhaust duct 51. The air introduced into the exhaust duct 51 contains a sublimate generated from the workpiece W, which is decomposed in contact with the catalyst 6. Thereafter, a part of the air flows into the reflux duct 52 from the middle of the exhaust duct 51 and is sucked into the blower 7, and the rest is discharged to the outside from the other end of the exhaust duct 51. In addition, when the air in the heat treatment part 21 flows out into the exhaust duct 51, the outside air is sucked in from the intake duct 4, and is sent in into the air conditioner 23 by this. The outside air is heated by the heater 32 and is then introduced into the heat treatment unit 21 through the filter 31. That is, the heater 32 has two functions, that is, the function of heating the outside air and the function of heating while circulating the air in the heat treatment unit 21 as described above.

또한 블로어(7)로부터 배출되는 공기는 환류 덕트(52)에서 흡기 덕트(4)로 공급되어 다시 열처리부(21) 내로 들여보내진다.In addition, the air discharged from the blower 7 is supplied from the reflux duct 52 to the intake duct 4 and then introduced into the heat treatment unit 21 again.

이와 같이 제1 실시 형태에 따른 열처리 장치(1A)에서는 열처리부(21) 내의 공기가 도출 덕트(5) 내를 흐를 때 촉매(6)에 접촉하고, 이 촉매(6)에 의해 공기 중의 승화물이 분해된다. 따라서, 승화물이 도출 덕트(5)에 있어서 촉매(6)가 마련된 위치보다 하류측의 부분에 퇴적되는 것을 억제할 수 있다. 또한 촉매(6)는 블로어(7)보다 상류측에 마련되어 있으므로 블로어(7) 내에 승화물이 퇴적되는 것도 억제할 수 있다.Thus, in the heat processing apparatus 1A which concerns on 1st Embodiment, when the air in the heat processing part 21 flows in the discharge | emission duct 5, it contacts the catalyst 6, and this catalyst 6 sublimates in air. This is broken down. Therefore, it is possible to suppress the sublimation from being deposited on the downstream side than the position where the catalyst 6 is provided in the lead-out duct 5. In addition, since the catalyst 6 is provided on the upstream side of the blower 7, it is also possible to suppress the deposition of a sublimate in the blower 7.

또한 열처리부(21)로부터 유출된 공기가 촉매(6)에 접촉한 후에 환류 덕트(52) 및 흡기 덕트(4)를 통하여 다시 열처리부(21) 내로 들여보내지므로, 열처리부(21)로부터 유출된 공기를 재이용할 수 있다. 이에 따라, 흡기 덕트(4)에 흡입되는 외기의 흡기량 및 배기 덕트(51)로부터 외부로 배출되는 배기량을 모두 작게 억제할 수 있어 에너지 절감화를 도모할 수 있다.In addition, since the air flowing out from the heat treatment unit 21 contacts the catalyst 6 and then flows back into the heat treatment unit 21 through the reflux duct 52 and the intake duct 4, it flows out of the heat treatment unit 21. The used air can be reused. Thereby, both the intake amount of the outside air sucked into the intake duct 4 and the exhaust amount discharged | emitted to the outside from the exhaust duct 51 can be suppressed small, and energy saving can be aimed at.

다음, 도 2를 참조하여 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 열처리 장치(1B)에 대하여 설명한다. 또한, 이하에 개시된 제2 내지 제4 실시 형태에서는 제1 실시 형 태에 따른 열처리 장치(1A)와 동일 구성 부분에는 동일 부호를 붙이고 그 설명을 생략한다.Next, the heat processing apparatus 1B which concerns on 2nd Embodiment of this invention is demonstrated with reference to FIG. In addition, in 2nd-4th embodiment disclosed below, the same code | symbol is attached | subjected to 1st of the heat processing apparatus 1A which concerns on 1st Embodiment, and the description is abbreviate | omitted.

제2 실시 형태에 따른 열처리 장치(1B)에서는, 도출 덕트(5)가 하나의 배기 덕트(51)로만 구성되어 있다. 바꾸어 말하면, 이 도출 덕트(5)에서는 배기 덕트(51)로부터 환류 덕트(52)가 분기되지 않는다. 따라서 제2 실시 형태에서는 열처리부(21)로부터 유출된 공기는 배기 덕트(51)에 의해 모두 열처리 장치(1B)의 외부로 배출된다. 또한 배기 덕트(51)의 하류단 근방에는 블로어(7)가 설치되어 있으며, 이 블로어(7)의 상류측에는 촉매(6)가 마련되어 있다.In the heat treatment apparatus 1B according to the second embodiment, the lead-out duct 5 is composed of only one exhaust duct 51. In other words, the reflux duct 52 does not branch from the exhaust duct 51 in this lead-out duct 5. Therefore, in 2nd Embodiment, all the air which flowed out from the heat processing part 21 is discharged | emitted by the exhaust duct 51 to the exterior of the heat processing apparatus 1B. A blower 7 is provided near the downstream end of the exhaust duct 51, and a catalyst 6 is provided upstream of the blower 7.

또한 제2 실시 형태에 따른 열처리 장치(1B)에는 열교환기(9)가 설치되어 있다. 이 열교환기(9)는 배기 덕트(51)에 있어서 블로어(7)와 촉매(6)와의 사이에 위치함과 함께, 흡기 덕트(4)의 도중에 위치해 있다. 이 열교환기(9)는 흡기 덕트(4) 내를 흐르는 외기와 배기 덕트(51)에 있어서 촉매(6)보다 하류측의 부분을 흐르는 공기와의 사이에서 열교환을 행한다.In addition, a heat exchanger 9 is provided in the heat treatment apparatus 1B according to the second embodiment. The heat exchanger 9 is located between the blower 7 and the catalyst 6 in the exhaust duct 51 and is located in the middle of the intake duct 4. The heat exchanger 9 performs heat exchange between the air flowing in the intake duct 4 and the air flowing in a portion downstream from the catalyst 6 in the exhaust duct 51.

이와 같이 열교환기(9)가 설치되어 있으면, 열교환기(9)에 의해 열처리부(21)로부터 유출된 공기의 열을 이용하여 외기를 가열할 수 있기 때문에 에너지 절감화를 도모할 수 있다. 게다가 열교환기(9)에 의해 외기와의 사이에서 열교환이 행해지는 공기는 촉매(6)에 의해 승화물이 이미 분해된 것이므로, 열교환에 의해 상기 공기가 냉각되어도 열교환기(9) 내에서 승화물이 퇴적되는 것을 억제할 수 있다. In this way, if the heat exchanger 9 is provided, the outside air can be heated by using the heat of the air flowing out of the heat treatment unit 21 by the heat exchanger 9, and thus energy saving can be achieved. Furthermore, since the sublimation is already decomposed by the catalyst 6, the air heat exchanged between the outside air by the heat exchanger 9 is sublimed in the heat exchanger 9 even if the air is cooled by heat exchange. This deposition can be suppressed.

여기서, 제1 실시 형태에서는 환류 덕트(52)가 설치되어 있어, 촉매(6)에 접 촉한 후의 공기가 다시 열처리부(21) 내로 들여보내지도록 되어 있기 때문에, 촉매(6)가 어떠한 이유로 열화된 경우에는 승화물을 포함하는 공기가 다시 열처리부(21) 내로 들여보내짐으로써 열처리부(21) 내의 승화물 농도가 상승할 우려가 있다. 이에 대하여 제2 실시 형태에서는 열처리부(21)로부터 유출된 공기는 배기 덕트(51)에 의해 모두 열처리 장치(1B)의 외부로 배출되도록 되어 있으므로, 촉매(6)에 접촉한 후의 공기가 다시 열처리부(21) 내로 들여보내지지 않는다. 따라서, 비록 촉매(6)가 열화되어도 열처리부(21) 내의 승화물 농도가 상승하지 않는다. 게다가 항상 프레시한 외기가 흡기 덕트(4)를 통하여 단열실(20)로 도입되게 된다.Here, in the first embodiment, the reflux duct 52 is provided so that the air after contacting the catalyst 6 is introduced into the heat treatment unit 21 again, so that the catalyst 6 deteriorates for some reason. In this case, the air containing the sublimate is introduced into the heat treatment unit 21 again, so that the sublimation concentration in the heat treatment unit 21 may increase. On the other hand, in the second embodiment, since all the air flowing out from the heat treatment unit 21 is discharged to the outside of the heat treatment apparatus 1B by the exhaust duct 51, the air after contacting the catalyst 6 is heat treated again. It is not sent into the part 21. Therefore, even if the catalyst 6 deteriorates, the sublimation concentration in the heat treatment unit 21 does not increase. In addition, the fresh outside air is always introduced into the heat insulation chamber 20 through the intake duct 4.

또한 제1 실시 형태에서는 환류 덕트(52) 내의 풍향을 일 방향으로 하기 위하여 블로어(7)가 반드시 필요해지는데, 제2 실시 형태에서는 구성에 따라서는 블로어(7)를 생략하는 것도 가능해진다.In addition, in the first embodiment, the blower 7 is necessarily required in order to keep the wind direction in the reflux duct 52 in one direction. In the second embodiment, the blower 7 may be omitted depending on the configuration.

다음, 도 3을 참조하여 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 열처리 장치(1C)에 대하여 설명한다. 제3 실시 형태에 따른 열처리 장치(1C)는 제1 실시 형태에 따른열처리 장치(1A)의 구성과 제2 실시 형태에 따른 열처리 장치(1B)의 구성을 조합한 것이다. 제3 실시 형태에서는 열처리부(21)로부터 유출된 공기를 재이용할 수 있음과 함께, 열처리부(21)로부터 유출된 공기의 열을 이용하여 외기를 가열할 수 있다.Next, the heat treatment apparatus 1C according to the third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 3. The heat treatment apparatus 1C according to the third embodiment combines the configuration of the heat treatment apparatus 1A according to the first embodiment and the configuration of the heat treatment apparatus 1B according to the second embodiment. In the third embodiment, the air flowing out of the heat treatment unit 21 can be reused, and the outside air can be heated using the heat of the air flowing out of the heat treatment unit 21.

즉, 제3 실시 형태에서는 촉매(6)가 배기 덕트(51)에 있어서 환류 덕트(52)가 분기되는 위치보다 상류측의 부분에 설치되어 있으며, 블로어(7)는 배기 덕트(51)에 있어서 환류 덕트(52)가 분기되는 위치보다 하류측에 설치되어 있다. 나 아가서는, 열교환기(9)는 배기 덕트(51)에 있어서 환류 덕트(52)가 분기되는 위치와 블로어(7)가 설치된 위치와의 사이에 개재됨과 함께, 흡기 덕트(4)의 도중에 개재되어 있다.That is, in 3rd Embodiment, the catalyst 6 is installed in the upstream part rather than the position where the reflux duct 52 branches in the exhaust duct 51, and the blower 7 in the exhaust duct 51 It is provided downstream from the position where the reflux duct 52 branches. Furthermore, the heat exchanger 9 is interposed between the position where the reflux duct 52 branches in the exhaust duct 51 and the position where the blower 7 is installed, and is interposed in the middle of the intake duct 4. It is.

이와 같이 하면, 제1 실시 형태에 및 제2 실시 형태의 효과를 얻을뿐만 아니라, 열교환기(9)에 의한 열교환을 보다 효과적으로 행할 수 있다는 효과를 얻을 수 있다. 즉, 열처리부(21)로부터 유출된 공기를 환류 덕트(52) 및 흡기 덕트(4)를 통하여 재이용함으로써 흡기량을 작게 억제할 수 있게 되어 있으므로, 소량의 외기를 가열하면 되어 열교환기(9)에 의한 열교환을 효과적으로 행할 수 있다.By doing in this way, not only the effect of 1st Embodiment and 2nd Embodiment can be acquired, but the effect that heat exchange by the heat exchanger 9 can be performed more effectively can be acquired. That is, since the amount of intake air can be reduced by reusing the air flowing out from the heat treatment unit 21 through the reflux duct 52 and the intake duct 4, a small amount of outside air can be heated to the heat exchanger 9. Heat exchange can be effectively performed.

또한 본 발명의 실시 형태에서는 배기 덕트(51)에 있어서 환류 덕트(52)가 분기되는 위치보다 상류측의 부분에 촉매(6)가 마련되어 있는데, 촉매(6)는 환류 덕트(52) 및 배기 덕트(51)에 있어서 환류 덕트(52)가 분기되는 위치보다 하류측으로서 열교환기(9)의 상류측의 부분에 각각 마련되어 있을 수도 있다.Moreover, in embodiment of this invention, although the catalyst 6 is provided in the upstream part rather than the position where the reflux duct 52 branches in the exhaust duct 51, the catalyst 6 is a reflux duct 52 and an exhaust duct. In 51, it may be provided in the upstream part of the heat exchanger 9 as a downstream side from the position where the reflux duct 52 branches.

다음, 도 4를 참조하여 본 발명의 제4 실시 형태에 따른 열처리 장치(1D)에 대하여 설명한다. 제4 실시 형태에 따른 열처리 장치(1D)에서는 격벽(24)에 의해 단열벽(20)이 상하로 구획되어 있다. 그리고, 장치 본체(2)의 측벽에는 공조부(23)에 연통되도록 흡기 덕트(4)가 접속됨과 함께, 열처리부(21)에 연통되도록 도출 덕트(5)가 접속되어 있다. 흡기 덕트(4)와 도출 덕트(5)는 같은 측(도 4에서 우측)의 측벽에 접속되어 있다. 또한 제4 실시 형태에서는 제1 실시 형태와 같은 도시 생략한 연통로가 설치되어 있지 않으며, 격벽(24)은 상기 측벽에 있어서 흡기 덕트(4) 가까이에 접속되어 있다. 그리고 격벽(24)과 단열실(20)의 내벽면과의 사이에 통풍 구(25)가 형성되어 있으며, 이 통풍구(25)에 의해서만 공조부(23)의 내부와 열처리부(21)의 내부가 연통되어 있다.Next, the heat treatment apparatus 1D according to the fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 4. In the heat treatment apparatus 1D according to the fourth embodiment, the heat insulating wall 20 is partitioned up and down by the partition wall 24. The intake duct 4 is connected to the side wall of the apparatus main body 2 so as to communicate with the air conditioning unit 23, and the lead-out duct 5 is connected to communicate with the heat treatment unit 21. The intake duct 4 and the lead-out duct 5 are connected to the side wall of the same side (right side in FIG. 4). In addition, in the 4th embodiment, the communication path which is not shown in figure like the 1st embodiment is not provided, and the partition 24 is connected to the intake duct 4 in the said side wall. An air vent 25 is formed between the partition wall 24 and the inner wall surface of the heat insulating chamber 20. Only the air vent 25 allows the inside of the air conditioning unit 23 and the inside of the heat treatment unit 21. Is in communication.

도출 덕트(5)는 제2 실시 형태와 마찬가지로 배기 덕트(51)로만 구성되어 있어, 열처리부(21)로부터 유출된 공기가 모두 열처리 장치(1D)의 외부로 배출되도록 되어 있다. 또한 배기 덕트(51)에는 블로어(7)가 설치되어 있지 않고, 촉매(6) 및 히터(10)만이 설치되어 있다.The lead-out duct 5 is comprised only with the exhaust duct 51 like 2nd Embodiment, and all the air which flowed out from the heat processing part 21 is discharged | emitted to the exterior of the heat processing apparatus 1D. In addition, the blower 7 is not provided in the exhaust duct 51, and only the catalyst 6 and the heater 10 are provided.

이와 같은 구성의 열처리 장치(1D)에서는 공조부(23)에 설치된 송풍기(33)를 가동시키면, 외기가 흡기 덕트(4)로부터 흡입되어 공조부(23) 내로 들여보내진다. 외기는 공조부(23) 내에서 가열기(32)에 의해 가열된다. 그 후, 가열된 외기는 송풍기(33)에 의해 통풍구(25)를 지나 열처리부(21) 내로 들여보내진다. 이에 따라, 도시 생락한 작업편이 열처리됨과 함게, 열처리부(21) 내의 공기가 배기 덕트(51) 내로 유출된다. 즉, 제4 실시 형태에서는 도면의 화살표(a)로 도시한 바와 같이, 열처리부(21) 내의 공기를 순환시키지 않고 일 방향으로 유동시켜 모두 배기 덕트(51) 내로 유출시키고 있다. 이와 같이 제4 실시 형태의 공조부(23)는 흡기 덕트(4)를 통하여 도입된 외기를 열처리부(21) 내로 들여보냄으로써 열처리부(21) 내의 공기를 해당 공조부(23)로 복귀시키지 않고 배기 덕트(51) 내로 유출시키는 기능을 갖는다. 그리고, 열처리부(21) 내의 공기가 모두 배기 덕트(51) 내로 유출되도록 되어 있으므로, 열처리부(21) 내에서 발생한 승화물을 포함하는 공기가 공조부(23)로 유입되지 않는다.In the heat treatment apparatus 1D of such a structure, when the blower 33 provided in the air-conditioning part 23 is operated, outside air will be sucked in from the intake duct 4, and it will be let in into the air-conditioning part 23. FIG. The outside air is heated by the heater 32 in the air conditioner 23. Thereafter, the heated outside air is introduced into the heat treatment unit 21 through the ventilation port 25 by the blower 33. Thereby, while the workpiece which was shown in figure is heat-treated, the air in the heat processing part 21 flows out into the exhaust duct 51. FIG. That is, in 4th Embodiment, as shown by the arrow (a) of a figure, it flows in one direction, without circulating the air in the heat processing part 21, and all flows out into the exhaust duct 51. FIG. Thus, the air conditioner 23 of 4th Embodiment returns the air in the heat processing part 21 to the said air-conditioning part 23 by letting in the outside air introduce | transduced through the intake duct 4 into the heat processing part 21. As shown in FIG. It has a function to flow out into the exhaust duct 51 without. And since all the air in the heat processing part 21 is made to flow out into the exhaust duct 51, air containing the sublimate which generate | occur | produced in the heat processing part 21 does not flow into the air conditioning part 23. As shown in FIG.

이와 같은 구성에 있어서도, 배기 덕트(51)에 촉매(6)를 마련함으로써 승화 물이 배기 덕트(51) 내에서 퇴적되는 것을 억제할 수 있다.Also in such a structure, by providing the catalyst 6 in the exhaust duct 51, it can suppress that a sublimation deposits in the exhaust duct 51. FIG.

또한, 배기 덕트(51)로만 구성된 도출 덕트(5)의 효과는 제2 실시 형태와 동일하다.In addition, the effect of the lead-out duct 5 comprised only by the exhaust duct 51 is the same as that of 2nd Embodiment.

여기서 실시 형태의 개요에 대하여 설명한다.Here, the outline | summary of embodiment is demonstrated.

(1)본 발명의 실시 형태에 따르면, 열처리부 내의 공기가 도출 덕트 내를 흐를 때 촉매에 접촉한다. 이 공기 중에는 피처리물로부터 발생한 승화물이 포함되는데, 이 승화물은 촉매에 의해 분해되기 때문에 승화물이 배기 덕트 내에서 퇴적되는 것을 억제할 수 있다.(1) According to the embodiment of the present invention, the air in the heat treatment portion contacts the catalyst when flowing in the discharge duct. This air contains a sublimate generated from the object to be processed. Since the sublimate is decomposed by the catalyst, the sublimation can be prevented from being deposited in the exhaust duct.

(2)본 발명의 실시 형태의 열처리 장치는 외기를 흡입하기 위한 흡기 덕트를 구비한다. 상기 도출 덕트는 상기 열처리부로부터 유출된 공기를 직접 외부로 배출하기 위한 배기 덕트와, 이 배기 덕트에서 분기되어 상기 흡기 덕트에 연결되며, 상기 열처리부로부터 유출된 공기를 상기 흡기 덕트를 통하여 다시 열처리부 내로 들여보내기 위한 환류 덕트를 가지고 있다. 상기 촉매는 상기 흡기 덕트에 있어서 환류 덕트가 분기되는 위치보다 상류측의 부분 또는 환류 덕트에 마련되어 있다. 따라서, 열처리부로부터 유출된 공기가 촉매에 접촉한 후에 환류 덕트 및 흡기 덕트를 통하여 다시 열처리부 내로 들여보내지도록 되어 있으므로, 열처리부로부터 유출된 공기가 재이용된다. 이에 따라, 흡기 덕트에 흡입되는 외기의 흡기량 및 배기 덕트로부터 외부로 배출되는 배기량을 모두 작게 억제할 수 있어 에너지 절감화를 도모할 수 있다.(2) The heat treatment apparatus of the embodiment of the present invention includes an intake duct for sucking outside air. The derivation duct is an exhaust duct for directly discharging the air discharged from the heat treatment unit to the outside, and is branched from the exhaust duct and connected to the intake duct, and the air discharged from the heat treatment unit is heat treated again through the intake duct. It has a reflux duct for introduction into the division. The catalyst is provided in the upstream portion or the reflux duct from the position where the reflux duct branches in the intake duct. Therefore, since the air flowing out from the heat treatment unit is brought into the heat treatment unit again through the reflux duct and the intake duct after contacting the catalyst, the air discharged from the heat treatment unit is reused. As a result, both the intake amount of the outside air sucked into the intake duct and the exhaust amount discharged to the outside from the exhaust duct can be suppressed to be small, and energy saving can be achieved.

(3)본 발명의 실시 형태의 열처리 장치에서는 상기 촉매가 상기 배기 덕트에 있어서 환류 덕트가 분기되는 위치보다 상류측의 부분에 마련되어 있다. 그리고 상기 흡기 덕트 내를 흐르는 외기와 상기 배기 덕트에 있어서 환류 덕트가 분기되는 위치보다 하류측의 부분을 흐르는 공기로 열교환을 수행시키는 열교환기를 구비하고 있다. 따라서, 열교환기에 의해 열처리부로부터 유출된 공기의 열을 이용하여 외기를 가열할 수 있기 때문에 에너지 절감화를 도모할 수 있다. 게다가 열교환기에 의해 외기와 열교환이 이루어지는 공기는 촉매에 접촉한 후의 공기이며, 승화물이 이미 분해된 공기이기 때문에, 열교환에 의해 상기 공기가 냉각되어도 열교환기 내에서 승화물이 퇴적되는 것을 억제할 수 있다. 또한 환류 덕트 및 흡기 덕트에 의해 열처리부로부터 유출된 공기를 재이용하므로 에너지 절감화를 도모할 수 있다. 또한 외부로부터 도입되는 흡기량을 작게 억제할 수 있게 되어 있으므로 열교환기에 의한 열교환을 효과적으로 행할 수 있다.(3) In the heat treatment apparatus of embodiment of this invention, the said catalyst is provided in the upstream part rather than the position where a reflux duct branches in the said exhaust duct. And a heat exchanger for performing heat exchange with outside air flowing in the intake duct and air flowing downstream from the position where the reflux duct branches in the exhaust duct. Therefore, since the outside air can be heated using the heat of the air which flowed out from the heat treatment unit by the heat exchanger, energy saving can be achieved. In addition, the air which is heat-exchanged with the outside air by the heat exchanger is the air after contacting the catalyst, and since the sublimation is already decomposed air, it is possible to suppress the deposition of the sublimation in the heat exchanger even if the air is cooled by heat exchange. have. In addition, since the air flowing out of the heat treatment unit by the reflux duct and the intake duct is reused, energy saving can be achieved. In addition, since the intake air amount introduced from the outside can be reduced to a small extent, heat exchange by a heat exchanger can be effectively performed.

(4)본 발명의 실시 형태의 열처리 장치에서는 외기를 흡입하기 위한 흡기 덕트와, 이 흡기 덕트 내를 흐르는 외기와 상기 도출 덕트에 있어서 촉매가 마련된 위치보다 하류측의 부분을 흐르는 공기로 열교환을 수행시키는 열교환기를 구비한다. 따라서, 열교환기에 의해 열처리부로부터 유출된 공기의 열을 이용하여 외기를 가열할 수 있기 때문에 에너지 절감화를 도모할 수 있다. 게다가, 열교환기에 의해 외기와 열교환이 이루어지는 공기는 촉매에 접촉하여 승화물이 이미 분해된 것이므로 열교환에 의해 상기 공기가 냉각되어도 열교환기 내에서 승화물이 퇴적되는 것을 억제할 수 있다.(4) In the heat treatment apparatus according to the embodiment of the present invention, heat exchange is performed by an intake duct for sucking outside air, and air flowing through a portion downstream of the air flowing through the intake duct and a position in which the catalyst is provided in the lead-out duct. It is provided with a heat exchanger. Therefore, since the outside air can be heated using the heat of the air which flowed out from the heat treatment unit by the heat exchanger, energy saving can be achieved. In addition, since the air which is heat-exchanged with the outside air by the heat exchanger is in contact with the catalyst and the sublimation has already been decomposed, it is possible to suppress the deposition of the sublimation in the heat exchanger even when the air is cooled by the heat exchanger.

(5)본 발명의 실시 형태의 열처리 장치에서는 공조부에 의해 외기를 열처리 부 내로 들여보냄으로써 열처리부 내의 공기를 공조부에 복귀시키지 않고 도출 덕트 내로 유출시킨다. 즉, 이 구성에서는 열처리부 내의 공기를 순환시키지 않고 모두 도출 덕트 내로 유출시키고 있다. 이러한 구성에 있어서도 도출 덕트에 촉매를 마련함으로써 승화물이 도출 덕트 내에서 퇴적되는 것을 억제할 수 있다. 게다가 열처리부로부터 도출 덕트 내로 유출된 공기는 모두 외부로 배출되도록 되어 있으므로, 촉매에 접촉한 후의 공기가 다시 열처리부 내로 들여보내지지 않는다. 따라서, 비록 촉매가 열화되어도 열처리부 내의 승화물 농도가 상승하지 않는다.(5) In the heat treatment apparatus according to the embodiment of the present invention, the air in the heat treatment portion is introduced into the heat treatment portion by the air conditioning portion to allow air in the heat treatment portion to flow out into the duct without returning to the air conditioning portion. That is, in this structure, all the air in a heat processing part flows out into the duct without circulating. Also in such a structure, by providing a catalyst in a lead-out duct, it can suppress that a sublimate deposits in a lead-out duct. In addition, since all the air which flows out from the heat treatment unit into the duct is discharged to the outside, the air after contacting the catalyst is not introduced into the heat treatment unit again. Therefore, even if the catalyst deteriorates, the sublimation concentration in the heat treatment portion does not rise.

본 발명에 따른 열처리 장치를 이용하면 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.Use of the heat treatment apparatus according to the present invention can obtain the following effects.

첫째. 공기 중에는 피처리물로부터 발생한 승화물은 촉매에 의해 분해되기 때문에 승화물이 배기 덕트 내에서 퇴적되는 것을 억제할 수 있다.first. In the air, since the sublime generated from the object to be processed is decomposed by the catalyst, it is possible to suppress the deposition of the sublimate in the exhaust duct.

둘째. 흡기 덕트에 흡입되는 외기의 흡기량 및 배기 덕트로부터 외부로 배출되는 배기량을 모두 작게 억제할 수 있어 에너지 절감화를 도모할 수 있다.second. Both the amount of intake air of the outside air sucked into the intake duct and the amount of exhaust discharged to the outside from the exhaust duct can be reduced to a small degree, and energy saving can be achieved.

셋째. 열교환기에 의해 열처리부로부터 유출된 공기의 열을 이용하여 외기를 가열할 수 있기 때문에 에너지 절감화를 도모할 수 있고, 외부로부터 도입되는 흡기량을 작게 억제할 수 있게 되어 있으므로 열교환기에 의한 열교환을 효과적으로 행할 수 있다.third. Since the outside air can be heated by using the heat of the air flowing out of the heat treatment unit by the heat exchanger, energy saving can be achieved, and the amount of intake air introduced from the outside can be suppressed to be small. Can be.

넷째. 열교환기에 의해 외기와 열교환이 이루어지는 공기는 촉매에 접촉하여 승화물이 이미 분해된 것이므로 열교환에 의해 상기 공기가 냉각되어도 열교환기 내에서 승화물이 퇴적되는 것을 억제할 수 있다.fourth. Since the air which is heat-exchanged with the outside air by the heat exchanger is in contact with the catalyst and the sublimate has already been decomposed, it is possible to suppress the deposition of the sublimate in the heat exchanger even when the air is cooled by the heat exchanger.

다섯째. 열처리부로부터 도출 덕트 내로 유출된 공기는 모두 외부로 배출되도록 되어 있으므로, 촉매에 접촉한 후의 공기가 다시 열처리부 내로 들여보내지지 않기 때문에 촉매가 열화되어도 열처리부 내의 승화물 농도가 상승하지 않는다.fifth. Since all the air which flows out from the heat treatment part into the duct is discharged to the outside, the air after contacting the catalyst is not introduced into the heat treatment part again, so that even if the catalyst deteriorates, the sublimation concentration in the heat treatment part does not increase.

Claims (5)

열처리부 내에 피처리물이 수용된 상태에서 상기 열처리부 내의 공기를 순환시키면서 가열함으로써 상기 피처리물을 열처리함과 함께, 외기를 가열하여 상기 열처리부 내로 들여보내면서 상기 열처리부 내의 공기를 도출 덕트 내로 유출시킴으로써 상기 열처리부 내를 환기하는 열처리 장치에 있어서,Heats the object by heating while circulating air in the heat treatment part while the object is accommodated in the heat treatment part, and heats the outside air into the heat treatment part while drawing air into the heat treatment part into the duct. In the heat treatment apparatus for ventilating the inside of the heat treatment portion by flowing out, 상기 도출 덕트에는 상기 피처리물을 열처리할 때 해당 피처리물로부터 발생하는 승화물을 분해할 수 있는 촉매가 구비되는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.And the catalyst for decomposing a sublimation generated from the target object when the heat treatment member is heat-treated. 제1항에 있어서, 외기를 흡입하기 위한 흡기 덕트를 더 구비하고,According to claim 1, further comprising an intake duct for sucking the outside air, 상기 도출 덕트는 상기 열처리부로부터 유출된 공기를 직접 외부로 배출하기 위한 배기 덕트와, 상기 배기 덕트에서 분기되어 상기 흡기 덕트에 연결되며, 상기 열처리부로부터 유출된 공기를 상기 흡기 덕트를 통하여 다시 열처리부 내로 들여보내기 위한 환류 덕트를 구비하고 있으며,The derivation duct is an exhaust duct for directly discharging the air discharged from the heat treatment unit to the outside, and is branched from the exhaust duct and connected to the intake duct, and the air discharged from the heat treatment unit is heat treated again through the intake duct. It has a reflux duct for feeding into the part, 상기 촉매는 상기 배기 덕트에 있어서 환류 덕트가 분기되는 위치보다 상류측의 부분 또는 환류 덕트에 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.The catalyst is a heat treatment apparatus, characterized in that provided in the upstream portion or the reflux duct than the position where the reflux duct is branched in the exhaust duct. 제2항에 있어서, 상기 촉매는 상기 배기 덕트에 있어서 환류 덕트가 분기되는 위치보다 상류측의 부분에 마련되어 있고,The said catalyst is provided in the upstream part rather than the position where a reflux duct branches in the said exhaust duct, 상기 흡기 덕트 내를 흐르는 외기와 상기 배기 덕트에 있어서 환류 덕트가 분기되는 위치보다 하류측의 부분을 흐르는 공기로 열 교환을 수행시키는 열교환기를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.And a heat exchanger for performing heat exchange with outside air flowing in the intake duct and air flowing downstream a portion of the exhaust duct in the exhaust duct. 제1항에 있어서, 외기를 흡입하기 위한 흡기 덕트와,The air intake duct of claim 1, further comprising: 상기 흡기 덕트 내를 흐르는 외기와 상기 도출 덕트에 있어서 촉매가 마련된 위치보다 하류측의 부분을 흐르는 공기로 열 교환을 수행시키는 열 교환기를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.And a heat exchanger configured to perform heat exchange with outside air flowing in the intake duct and air flowing downstream from the position where the catalyst is provided in the lead-out duct. 내부에 피처리물을 수용하는 열처리부와, 상기 열처리부에 접속되는 도출 덕트와, 상기 피처리물을 열처리하기 위하여 외기를 가열하여 상기 열처리부 내로 들여보내는 공조부를 구비하며,A heat treatment part for receiving a workpiece therein, a lead-out duct connected to the heat treatment part, and an air conditioner for heating the outside air and introducing it into the heat treatment part for heat treatment of the workpiece; 상기 공조부는 외기를 상기 열처리부 내로 들여보냄으로써 상기 열처리부 내의 공기를 해당 공조부로 복귀시키지 않고 상기 도출 덕트 내로 유출시키고,The air conditioning unit introduces outside air into the heat treatment unit to allow air in the heat treatment unit to flow into the derivation duct without returning the air to the air conditioning unit. 상기 도출 덕트는 상기 열처리부로부터 유출된 공기를 모두 외부로 배출하도록 구성되어 있으며, 상기 도출 덕트에는 상기 피처리물을 열처리할 때 해당 피처리물로부터 발생하는 승화물을 분해하는 촉매가 구비되는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.The derivation duct is configured to discharge all the air discharged from the heat treatment unit to the outside, the derivation duct is provided with a catalyst for decomposing the sublimation generated from the object to be treated when the heat treatment Heat treatment device characterized in that.
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