KR101380481B1 - Heat treatment apparatus - Google Patents

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Abstract

열처리 장치는 열처리부 내에 피처리물이 수용된 상태에서 상기 열처리부 내의 공기를 순환시키면서 가열함으로써 상기 피처리물을 열처리하는 열처리 수단과, 외기를 가열하여 상기 열처리부 내로 들여보내고 상기 열처리부 내의 공기를 배기함으로써 상기 열처리부 내를 환기하는 환기 수단과, 상기 열처리 수단이 피처리물을 열처리하지 않을 때에는 상기 열처리 수단이 피처리물을 열처리할 때보다 상기 환기 수단에 의한 환기량을 저감시키는 환기량 조정 수단을 구비하고 있다. 이 열처리 장치는 열처리 장치 전체의 소비 전력을 저감시킬 수 있다. The heat treatment apparatus includes heat treatment means for heat-treating the workpiece by circulating air in the heat treatment portion while heating the workpiece in the heat treatment portion, and heating the outside air into the heat treatment portion to allow air in the heat treatment portion. Venting means for ventilating the inside of the heat treatment unit by exhausting, and ventilation amount adjusting means for reducing the ventilation amount by the ventilation means when the heat treatment means does not heat-treat the workpiece when the heat treatment means does not heat-treat the workpiece. Equipped. This heat treatment apparatus can reduce power consumption of the entire heat treatment apparatus.

열처리 장치, 소비 전력, 피처리물, 순환, 외기, 배기, 환기 Heat treatment device, power consumption, workpiece, circulation, outside air, exhaust, ventilation

Description

열처리 장치{Heat treatment apparatus}Heat treatment apparatus

본 발명은 피처리물을 열처리하는 열처리 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a heat treatment apparatus for heat-treating a workpiece.

종래 열처리 장치로는 피처리물이 수용된 열처리부 내에서 공기를 순환시킴으로써 상기 피처리물을 가열하고, 해당 피처리물을 열처리하는 것이 알려져 있다. Conventionally, as a heat treatment apparatus, it is known to heat the to-be-processed object by circulating air in the heat-treatment part in which the to-be-processed object is accommodated, and to heat-treat the said to-be-processed object.

이러한 열처리 장치는, 예컨대 FPD(평판 디스플레이)의 제조 공정에 있어서 포토레지스트(photoresist)나 유기물 박막의 프리베이크(prebake) 공정, 포스트베이크(postbake) 공정에 사용될 수 있다. 이들 공정에서는 유리 기판 등으로 이루어지는 피처리물이 열처리될 때 포토레지스트 등에 포함되는 휘발성 성분이 기화되어 다량의 승화물이 발생하고, 이 승화물이 재결정화되어 열처리 장치 주변으로 비산하거나 주변에 부착되거나 하는 등의 문제가 있었다. Such a heat treatment apparatus can be used, for example, in the prebake process of a photoresist, an organic thin film, or a postbake process in a manufacturing process of a flat panel display (FPD). In these processes, when a workpiece made of a glass substrate or the like is heat treated, a volatile component contained in a photoresist or the like is vaporized to generate a large amount of a sublimate, and the sublimate is recrystallized to scatter around or adhere to the heat treatment apparatus. There was a problem.

이 문제의 대책으로서, 예컨대 일본 특허 공개 평 10-141868호 공보에는, 외기를 도입하여 히터로 가열한 후에 상기 열처리부 내로 들여보내고 상기 열처리부 내의 공기를 배기함으로써 상기 열처리부 내를 환기하는 것이 기재되어 있다. 이와 같이 환기함으로써 승화물의 재결정화 및 주변에의 부착을 억제할 수 있다. As a countermeasure for this problem, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-141868 discloses ventilating the heat treatment part by introducing air into the heat treatment part after heating with a heater and then evacuating air in the heat treatment part. It is. By ventilating in this way, recrystallization of sublimate and adhesion to the periphery can be suppressed.

그러나, 상기와 같이 환기하려면 도입한 외기를 가열하는 데 매우 많은 전력 을 필요로 하여 열처리 장치 전체의 소비 전력이 커진다.However, in order to vent as mentioned above, very much electric power is required to heat the introduced external air, and the power consumption of the whole heat treatment apparatus becomes large.

본 발명의 목적은 전술한 문제를 해결한 열처리 장치를 제공하는 것이다. It is an object of the present invention to provide a heat treatment apparatus that solves the above-mentioned problem.

본 발명의 다른 목적은 열처리 장치 전체의 소비 전력을 저감시킬 수 있는 열처리 장치를 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide a heat treatment apparatus capable of reducing power consumption of the entire heat treatment apparatus.

구체적으로, 본 발명은, 열처리부 내에 피처리물이 수용된 상태에서 상기 열처리부 내의 공기를 순환시키면서 가열함으로써 상기 피처리물을 열처리하는 열처리 수단과, 외기를 가열하여 상기 열처리부 내로 들여보내고 상기 열처리부 내의 공기를 배기함으로써 상기 열처리부 내를 환기하는 환기 수단을 구비한 열처리 장치에 있어서, 상기 열처리 수단이 피처리물을 열처리하지 않을 때에는 상기 열처리 수단이 피처리물을 열처리할 때보다 상기 환기 수단에 의한 환기량을 저감시키는 환기량 조정 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 한다. Specifically, the present invention, the heat treatment means for heat-treating the object by heating while circulating the air in the heat treatment unit in the state that the object is contained in the heat treatment unit, and heat the outside air into the heat treatment unit and the heat treatment A heat treatment apparatus comprising a ventilation means for ventilating the inside of the heat treatment portion by evacuating air in a portion, wherein when the heat treatment means does not heat-treat the workpiece, the heat-treatment means is more effective than when the heat treatment means heat-treats the workpiece. It is characterized by further comprising a ventilation amount adjusting means for reducing the ventilation amount by.

또한 본 발명은, 피처리물의 수용이 가능한 열처리부와, 상기 열처리부 내의 온도가 상기 피처리물의 열처리가 가능한 온도가 되도록 공기를 가열하는 가열 수단과, 상기 열처리부 내를 환기하는 환기 수단을 구비한 열처리 장치에 있어서, 상기 피처리물의 열처리시 이외의 때에는 열처리시보다 상기 환기 수단에 의한 환기량을 저감시키는 환기량 조정 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 한다. In addition, the present invention is provided with a heat treatment portion that can accommodate the object, a heating means for heating the air so that the temperature in the heat treatment portion becomes a temperature at which the heat treatment object is possible, and a ventilation means for ventilating the inside of the heat treatment portion The heat treatment apparatus is characterized in that the ventilation amount adjusting means for reducing the amount of ventilation by the ventilation means is provided at a time other than at the time of heat treatment of the workpiece.

또한 본 발명은, 피처리물의 수용이 가능한 열처리부와, 상기 열처리부 내의 온도가 상기 피처리물의 열처리가 가능한 온도가 되도록 공기를 가열하는 가열 수 단과, 상기 열처리부 내를 환기하는 환기 수단을 구비한 열처리 장치에 있어서, 상기 피처리물의 열처리 종료 후에 상기 환기 수단에 의한 환기량을 저감시키는 환기량 조정 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 한다. In addition, the present invention includes a heat treatment unit capable of accommodating an object, a heating means for heating air such that the temperature in the heat treatment unit is a temperature at which the object can be heat treated, and ventilation means for ventilating the inside of the heat treatment unit. The heat treatment apparatus is characterized by comprising ventilation amount adjusting means for reducing the ventilation amount by the ventilation means after completion of the heat treatment of the workpiece.

상기한 바와 같은 본 발명의 열처리장치는 환기량 조정 수단에 의해 비열처리 시의 환기량을 억제할 수 있도록 되어 있으므로, 비열처리 시에 가열 수단이 외기를 가열하는 데 필요한 전력이 적어져 열처리 장치 전체의 소비 전력을 저감시킬 수 있는 효과를 제공한다.In the heat treatment apparatus of the present invention as described above, the ventilation amount during the non-heat treatment can be suppressed by the ventilation amount adjusting means, so that the power required for the heating means to heat the outside air during the non-heat treatment is reduced, and the consumption of the entire heat treatment apparatus is consumed. Provides the effect of reducing power.

이하, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태에 대하여 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the best form for implementing this invention is demonstrated in detail, referring drawings.

도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 열처리 장치(1A)의 개략 구성도이다. 이 열처리 장치(1A)는 FPD의 제조 공정에 사용되는 것으로서, 클린룸 내에 설치되는 소위 클린 오븐이라 불리는 것이다. 1 is a schematic configuration diagram of a heat treatment apparatus 1A according to a first embodiment of the present invention. This heat treatment apparatus 1A is used in the manufacturing process of FPD, and is called what is called a clean oven installed in a clean room.

상기 열처리 장치(1A)는 단열벽으로 공간이 둘러싸인 구성의 단열실(20)을 갖는 장치 본체(2)를 구비하고 있다. 단열실(20)의 내부는 격벽(24)에 의해 좌우로 칸막이되어 있다. 그리고, 격벽(24)보다 좌측 부분은 열처리부(21)로 되어 있고, 격벽(24)보다 우측 부분은 공조부(23)로 되어 있다. 격벽(24)에는 개구가 형성되며, 이 개구 내에 필터(31)가 배열 설치되어 있다. 이 개구를 통하여 통풍이 가능하게 되어 있다. 또한 도시는 생략하였으나, 장치 본체(2)에는 열처리부(21)의 내 부와 공조부(23)의 내부를 연통시키는 연통로가 설치되어 있다. 1 A of said heat processing apparatuses are equipped with the apparatus main body 2 which has the heat insulation chamber 20 of the structure which the space is surrounded by the heat insulation wall. The interior of the heat insulation chamber 20 is partitioned from side to side by the partition wall 24. The portion on the left side of the partition wall 24 is the heat treatment portion 21, and the portion on the right side of the partition wall 24 is the air conditioning portion 23. An opening is formed in the partition 24, and the filter 31 is arranged in this opening. Ventilation is enabled through this opening. Although not shown, the apparatus main body 2 is provided with a communication path for communicating the inside of the heat treatment unit 21 and the inside of the air conditioning unit 23.

상기 열처리부(21)의 내부에는 복수 개의 피처리물(이하, 단순히 작업편이라고 함)(W)을 상하로 나란한 상태에서 지지 가능한 작업편 지지부(22)가 설치되어 있다. 그리고, 작업편(W)은 이 작업편 지지부(22)에 지지된 상태에서 열처리부(21) 내에 수용된다. 작업편(W)은 예컨대 유리 기판 등이다. Inside the heat treatment part 21, a workpiece support part 22 capable of supporting a plurality of workpieces (hereinafter simply referred to as a workpiece) W in a state of being side by side up and down is provided. And the workpiece | work W is accommodated in the heat processing part 21 in the state supported by this workpiece support part 22. As shown in FIG. The workpiece W is, for example, a glass substrate.

상기 공조부(23)에는 히터(32) 및 송풍기(33)가 설치되어 있다. 가열 수단인 히터(32)는 통전에 의한 발열(줄 열)에 의해 공조부(23) 내의 공기를 가열한다. 송풍기(33)는 공조부(23) 내의 공기를 필터(31)를 통하여 열처리부(21) 내로 들여보낸다. 그리고, 송풍기(33)에 의해 열처리부(21) 내로 공기가 들여보내지면, 열처리부(21) 내의 공기는 도시 생략한 연통로를 통하여 공조부(23) 내로 복귀된다. 공조부(23) 내로 복귀된 공기는 다시 히터(32)에 의해 가열된다. 이와 같이 열처리부(21) 내의 공기는 공조부(23)와의 사이에서 순환하면서 가열되도록 되어 있으며, 이에 따라 열처리부(21) 내에 수용된 작업편(W)이 열처리된다. 즉, 히터(32) 및 송풍기(33)는 열처리부(21) 내의 공기를 순환시키면서 가열함으로써 작업편(W)을 열처리하는 열처리 수단(3)을 구성한다. 그리고, 히터(32)는 열처리부(21)와 공조부(23) 사이를 순환하는 공기를 작업편(W)의 열처리가 가능한 온도로 가열할 수 있도록 되어 있다. The air conditioner 23 is provided with a heater 32 and a blower 33. The heater 32 which is a heating means heats the air in the air conditioning unit 23 by heat generation (joule heat) by energization. The blower 33 introduces air in the air conditioning unit 23 into the heat treatment unit 21 through the filter 31. Then, when air is introduced into the heat treatment unit 21 by the blower 33, the air in the heat treatment unit 21 is returned to the air conditioning unit 23 through a communication path (not shown). The air returned into the air conditioner 23 is heated by the heater 32 again. In this way, the air in the heat treatment unit 21 is heated while circulating with the air conditioning unit 23, whereby the work piece W accommodated in the heat treatment unit 21 is heat treated. That is, the heater 32 and the blower 33 comprise the heat processing means 3 which heat-processes the workpiece | work W by heating, circulating the air in the heat processing part 21. As shown in FIG. The heater 32 is capable of heating air circulating between the heat treatment unit 21 and the air conditioning unit 23 to a temperature at which the work piece W can be heat treated.

또한, 히터(32)는 작업편(W)을 열처리할 때에만 작동하는 것이 아니라, 비열처리 시에도 작동하고 있다. 즉, 작업편(W)이 열처리부(21) 내에 수용되어 있지 않을 때에도 히터(32)를 작동시켜 둠으로써 열처리부(21) 내의 온도가 소정의 온도로 유지되도록 되어 있다. In addition, the heater 32 operates not only only when heat-processing the workpiece | work W but also during non-heat processing. That is, even when the workpiece W is not accommodated in the heat treatment unit 21, the heater 32 is operated to maintain the temperature in the heat treatment unit 21 at a predetermined temperature.

상기 공조부(23)에는 흡기 덕트(41)가 접속되고, 상기 열처리부(21)에는 배기 덕트(42)가 접속되어 있다. 배기 덕트(42)의 도중에는 팬(블로어라고도 함)(43)이 설치되어 있다. 그리고, 팬(43)이 작동하면, 열처리부(21) 내의 공기가 배기 덕트(42)를 통하여 배기되고, 그에 따라 외기가 흡기 덕트(41)로부터 흡입되어 공조부(23) 내로 들여보내진다. 공조부(23) 내로 들여보내진 외기는 히터(32)에 의해 가열된 후에 필터(31)를 통하여 열처리부(21) 내로 들여보내진다. 이와 같이 하여 열처리부(21) 내가 환기된다. 즉, 흡기 덕트(41), 배기 덕트(42), 팬(43) 및 히터(32)는 외기를 가열하여 열처리부(21) 내로 들여보내고 열처리부(21) 내의 공기를 배기함으로써 열처리부(21) 내를 환기하는 환기 수단(4)을 구성한다. 그리고, 히터(32)는 이 환기 수단(4)과 전술한 열처리 수단(3)에 공통적으로 사용되도록 되어 있다. 또한, 환기 수단은 흡기 덕트(41), 배기 덕트(42) 및 팬(43)으로 구성하고, 히터(32)는 열처리 수단(3)의 한 요소로만 사용되도록 할 수도 있다. An intake duct 41 is connected to the air conditioning unit 23, and an exhaust duct 42 is connected to the heat treatment unit 21. A fan (also called a blower) 43 is provided in the middle of the exhaust duct 42. Then, when the fan 43 is operated, the air in the heat treatment unit 21 is exhausted through the exhaust duct 42, whereby the outside air is sucked from the intake air duct 41 and introduced into the air conditioner 23. The outside air introduced into the air conditioning unit 23 is heated by the heater 32 and then introduced into the heat treatment unit 21 through the filter 31. In this manner, the heat treatment portion 21 is ventilated. That is, the intake duct 41, the exhaust duct 42, the fan 43, and the heater 32 heat the outside air, introduce it into the heat treatment unit 21, and exhaust the air in the heat treatment unit 21. The ventilation means 4 which ventilates inside is comprised. The heater 32 is commonly used for the ventilation means 4 and the heat treatment means 3 described above. Further, the ventilation means may consist of the intake duct 41, the exhaust duct 42 and the fan 43, and the heater 32 may be used only as one element of the heat treatment means 3.

상기 흡기 덕트(41)는 외기를 도입하는 하나의 도입 덕트(41c)와, 이 도입 덕트(41c)에서 분기되는 2개의 유입 덕트(41a, 41b)를 갖는다. 외기는 2개의 유입 덕트(41a, 41b)를 통하여 공조부(23) 내로 유입된다. 또한, 도입 덕트(41c)가 설치되지 않아, 유입 덕트(41a, 41b)가 직접 외기를 도입하도록 되어 있을 수도 있다. The intake duct 41 has one inlet duct 41c for introducing outside air and two inlet ducts 41a, 41b branched from the inlet duct 41c. The outside air is introduced into the air conditioner 23 through the two inlet ducts 41a and 41b. In addition, the introduction duct 41c may not be provided, and the inflow ducts 41a and 41b may be configured to directly introduce external air.

상기 유입 덕트(41a, 41b) 중 어느 하나(도 1에서는 하측)의 유입 덕트(41a)에는 풍량 조정용 수동 댐퍼(44A)가 설치되어 있고, 나머지 하나(도 1에서는 상측)의 유입 덕트(41b)에는 풍량 조정용 자동 댐퍼(51A)가 설치되어 있다. The airflow manual damper 44A is provided in any one of the inflow ducts 41a and 41b (lower in FIG. 1), and the inlet duct 41b of the other (upper in FIG. 1) is provided. An air damper 51A for adjusting the air volume is provided.

상기 배기 덕트(42)는 열처리부(21) 내의 공기를 유출시키는 2개의 유출 덕트(42a, 42b)와, 이들 유출 덕트(42a, 42b)를 흐르는 공기를 모아 외부로 도출하는 하나의 도출 덕트(42c)를 가지고 있다. 그리고, 도출 덕트(42c)의 도중에 상기 팬(43)이 설치되어 있다. The exhaust duct 42 includes two outflow ducts 42a and 42b for outflowing the air in the heat treatment unit 21, and one outflow duct for collecting air flowing through these outflow ducts 42a and 42b to lead out. 42c). And the said fan 43 is provided in the middle of the delivery duct 42c.

상기 유출 덕트(42a, 42b) 중 어느 하나(도 1에서는 우측)의 유출 덕트(42a)에는 풍량 조정용 수동 댐퍼(44B)가 설치되어 있고, 나머지 하나(도 1에서는 좌측)의 유출 덕트(42b)에는 풍량 조정용 자동 댐퍼(51B)가 설치되어 있다. The airflow adjustment manual damper 44B is provided in any one of the outflow ducts 42a and 42b (right side in FIG. 1), and the outflow duct 42b of the other side (left side in FIG. 1) is provided. An automatic damper 51B for adjusting the air volume is provided.

상기 유입 덕트(41b)에 설치된 자동 댐퍼(51A) 및 상기 유출 덕트(42b)에 설치된 자동 댐퍼(51B)는, 도 2에 도시한 바와 같은 환기량 조정 수단(5A)을 구성하는 것이다. 이 환기량 조정 수단(5A)은 자동 댐퍼(51A, 51B) 이외에, 자동 댐퍼(51A, 51B)의 열림도를 조정하기 위한 댐퍼 제어부(52)를 가지고 있다. The automatic damper 51A provided in the inflow duct 41b and the automatic damper 51B provided in the outflow duct 42b constitute the ventilation amount adjusting means 5A as shown in FIG. 2. This ventilation amount adjusting means 5A has a damper control part 52 for adjusting the opening degree of automatic dampers 51A, 51B in addition to automatic dampers 51A, 51B.

상기 댐퍼 제어부(52)는 상기 열처리 수단(3)이 작업편(W)을 열처리하지 않을 때에는 열처리 수단(3)이 작업편(W)을 열처리할 때보다 환기 수단(4)이 환기하는 환기량을 저감시키도록 자동 댐퍼(51A, 51B)의 구동을 제어한다. 이하, 도 3에 도시한 타이밍 차트를 참조하여 댐퍼 제어부(52)가 행하는 제어를 구체적으로 설명한다. The damper control unit 52 determines the amount of ventilation that the ventilation means 4 ventilates when the heat treatment means 3 does not heat the workpiece W, when the heat treatment means 3 does not heat the workpiece W. The drive of the automatic dampers 51A and 51B is controlled to reduce it. Hereinafter, the control performed by the damper control unit 52 will be described in detail with reference to the timing chart shown in FIG. 3.

먼저, 열처리부(21) 내에 작업편(W)이 반입되지 않았을 때에는, 댐퍼 제어부(52)는 유입 덕트(41b) 및 유출 덕트(42b)를 폐쇄하는 방향으로 자동 댐퍼(51A, 51B)를 구동하여 자동 댐퍼(51A, 51B)를 모두 닫힘 상태로 한다. 이 때의 환기량은 열처리부(21) 내의 정압을 일정하게 유지하는 정도이면 되며, 수동 댐퍼(44A, 44B) 의 열림도는 그러한 환기량을 확보할 수 있을 정도로 설정된다. 또한, 이 때의 자동 댐퍼(51A, 51B)는 모두 닫힘 상태일 필요는 없다. 즉, 수동 댐퍼(44A, 44B)와의 관계에 따라서는 유입 덕트(41b) 또는 유출 덕트(42b)를 약간 개방하는 상태일 수도 있다. First, when the workpiece W is not carried in the heat treatment part 21, the damper control part 52 drives automatic dampers 51A and 51B in the direction which closes the inflow duct 41b and the outflow duct 42b. The automatic dampers 51A and 51B are both closed. The ventilation amount at this time may be a grade which maintains the static pressure in the heat processing part 21 constant, and the opening degree of the passive dampers 44A and 44B is set so that such ventilation amount can be ensured. In addition, the automatic dampers 51A and 51B need not be in the closed state at this time. That is, the inlet duct 41b or the outlet duct 42b may be opened slightly depending on the relationship with the passive dampers 44A and 44B.

열처리부(21) 내에 작업편(W)이 반입되었을 때에는, 댐퍼 제어부(52)는 유입 덕트(41b) 및 유출 덕트(42b)를 개방하는 방향으로 자동 댐퍼(51A, 51B)를 구동한다. 이 때, 열처리부(21) 내의 공기의 온도가 흐트러지는 것을 방지하기 위하여, 댐퍼 제어부(52)는 소정 시간(예컨대 10분간) 동안 서서히 자동 댐퍼(51A, 51B)를 모두 열림 상태로 한다. 열처리부(21) 내에 작업편(W)이 반입되면, 열처리 수단(3)에 의한 작업편(W)의 열처리가 시작된다. 열처리에 수반하여 작업편(W)으로부터 휘발 성분의 증발이 시작되는데, 열처리 시작 직후에는 그 발생량이 적으므로 이와 같이 하여도 문제는 없다. When the workpiece | work W is carried in into the heat processing part 21, the damper control part 52 drives automatic dampers 51A and 51B in the direction which opens the inflow duct 41b and the outflow duct 42b. At this time, in order to prevent the temperature of the air in the heat treatment unit 21 from being disturbed, the damper control unit 52 gradually opens all of the automatic dampers 51A and 51B for a predetermined time (for example, 10 minutes). When the workpiece W is loaded into the heat treatment unit 21, the heat treatment of the workpiece W by the heat treatment means 3 starts. Evaporation of the volatile component from the work piece W starts with heat processing, but since the generation amount is small immediately after the start of heat processing, there is no problem even in this way.

여기서, 열처리부(21) 내에 작업편(W)이 반입되었을 때란, 열처리 장치 내에 설치된 작업편(W)의 유무를 검지하는 예컨대 광전 센서(도시 생략) 등의 작업편 검지 수단이 작업편(W)을 검지하였을 때이다. 또한, 열처리 장치(1A)가 FPD의 제조 공정에 인라인으로 조립되어 들어가는 경우에는, 도면 밖의 상류 장치 등으로부터 작업편 반입의 신호를 받도록 할 수도 있다. 또한 이러한 경우에는, 도 3 중에 화살표 a로 도시한 바와 같이, 상류 장치 등으로부터 작업편이 반입되는 일정 시간 전에 신호를 받도록 하여, 도 3 중에 2점 쇄선으로 도시한 바와 같이 작업편(W)이 실제로 반입되는 시점보다 먼저 자동 댐퍼(51A, 51B)의 구동을 시작하도록 할 수도 있다. Here, when the workpiece | work W is carried in into the heat processing part 21, workpiece detection means, such as a photoelectric sensor (not shown) which detects the presence or absence of the workpiece | work W installed in the heat processing apparatus, is a workpiece | work W ) Is detected. In addition, when 1 A of heat processing apparatuses are assembled inline in the manufacturing process of FPD, you may make it receive the signal of carrying in of a workpiece from the upstream apparatus etc. which are not shown. In this case, as shown by arrow a in FIG. 3, a signal is received from the upstream device or the like before a predetermined time to bring the work in, so that the work piece W actually appears as shown by the dashed-dotted line in FIG. 3. It is also possible to start the driving of the automatic dampers 51A and 51B before the time of carrying in.

그리고, 열처리부(21) 내에 작업편(W)이 반입되고나서 소정 시간 경과 후 작업편(W)이 열처리부(21)로부터 반출될 때까지의 동안에는, 댐퍼 제어부(52)는 소정의 환기량이 확보되도록 자동 댐퍼(51A, 51B)를 모두 열림 상태로 유지한다. Then, the damper control unit 52 provides a predetermined amount of ventilation for a while until the workpiece W is carried out from the heat treatment unit 21 after a predetermined time after the workpiece W is loaded into the heat treatment unit 21. The automatic dampers 51A and 51B are kept open so as to be secured.

열처리 수단(3)에 의한 작업편(W)의 열처리가 종료하여 작업편(W)이 열처리부(21)로부터 반출되면, 댐퍼 제어부(52)는 작업편(W)이 열처리부(21)로부터 완전히 반출되고나서 일정 시간 경과한 후, 바꾸어 말하면 상기 작업편 검지 수단이 작업편 없음을 검지하였을 때부터 일정 시간 경과 후에 유입 덕트(41b) 및 유출 덕트(42b)를 폐쇄하는 방향으로 자동 댐퍼(51A, 51B)를 구동하고, 자동 댐퍼(51A, 51B)를 모두 닫힘 상태로 한다. 이 때, 열처리부(21) 내의 공기의 온도가 흐트러지는 것을 방지하거나 열처리부(21) 내에 잔류하는 휘발 성분을 포함한 공기를 배출하거나 하기 위하여, 댐퍼 제어부(52)는 소정 시간(예컨대 10분간) 동안 자동 댐퍼(51A, 51B)를 모두 열림 상태로 한다. 즉, 작업편(W)의 열처리 시 이외의 때의 환기량은 작업편(W)의 열처리 시의 환기량보다 적게 되어 있다. 또한, 휘발 성분의 발생량에 따라서는 작업편(W)이 열처리부(21)로부터 반출되는 것과 동시에 자동 댐퍼(51A, 51B)의 구동을 시작하도록 할 수도 있다. When the heat treatment of the workpiece W by the heat treatment means 3 is completed and the workpiece W is taken out from the heat treatment portion 21, the damper controller 52 causes the workpiece W to be removed from the heat treatment portion 21. After a certain time has elapsed since being completely discharged, in other words, the damper 51A is automatically closed in the direction of closing the inlet duct 41b and the outlet duct 42b after a predetermined time since the workpiece detecting means detects no workpiece. And 51B are driven, and both the automatic dampers 51A and 51B are closed. At this time, in order to prevent the temperature of the air in the heat treatment unit 21 from being disturbed or to discharge the air containing the volatile components remaining in the heat treatment unit 21, the damper control unit 52 may have a predetermined time (for example, 10 minutes). The automatic dampers 51A and 51B are both opened. That is, the ventilation amount at the time of the heat treatment of the workpiece | work W except for the heat processing of the workpiece | work W is made smaller than the ventilation amount at the time of heat treatment of the workpiece | work W. In addition, depending on the amount of volatile components generated, the work piece W may be taken out of the heat treatment unit 21 and the driving of the automatic dampers 51A and 51B may be started.

이와 같이 제1 실시 형태의 열처리 장치(1A)에서는 환기량 조정 수단(5A)에 의해 비열처리 시의 환기량을 억제할 수 있도록 되어 있으므로, 비열처리 시에 히터(32)가 외기를 가열하는 데 필요한 전력이 적어져, 열처리 장치 전체의 소비 전력을 저감시킬 수 있다. Thus, in the heat processing apparatus 1A of 1st Embodiment, since the ventilation amount at the time of a non-heat processing can be suppressed by 5 A of ventilation amount adjusting means, the electric power required for the heater 32 to heat external air at the time of a non-heat processing is performed. This decreases the power consumption of the entire heat treatment apparatus.

또한, 제1 실시 형태에서는 유입 덕트(41a, 41b) 및 유출 덕트(42a, 42b)를 각각 2개 설치한 형태를 도시하였으나, 자동 댐퍼(51A, 51B)로서 슬릿 있는 댐퍼를 채용하면, 어느 하나의 유입 덕트(41a) 및 어느 하나의 유출 덕트(42a) 및 수동 댐퍼(44A, 44B)를 생략하는 것도 가능하다. In addition, although the form which provided two inflow ducts 41a and 41b and two outflow ducts 42a and 42b was shown in 1st Embodiment, when the damper with a slit is employ | adopted as the automatic dampers 51A and 51B, either It is also possible to omit the inlet duct 41a and any one outlet duct 42a and the passive dampers 44A and 44B.

다음, 도 4 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 열처리 장치(1B)를 설명한다. 또한, 제1 실시 형태와 동일 구성 부분에는 동일 부호를 붙이고 그 설명을 생략한다. Next, the heat treatment apparatus 1B according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 4 to 6. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same component part as 1st Embodiment, and the description is abbreviate | omitted.

제2 실시 형태에 따른 열처리 장치(1B)에서는 흡기 덕트(41) 및 배기 덕트(42)가 각각 하나의 덕트로 구성되고, 이들 흡기 덕트(41) 및 배기 덕트(42)에 수동 댐퍼(44A, 44B)가 설치되어 있다. In the heat treatment apparatus 1B according to the second embodiment, the intake duct 41 and the exhaust duct 42 each consist of one duct, and the passive dampers 44A, 44B) is installed.

열처리 장치(1B)는 열처리 수단(3)이 작업편(W)을 열처리하지 않을 때에는 열처리 수단(3)이 작업편(W)을 열처리할 때보다 환기 수단(4)에 의한 환기량을 저감시키는 환기량 조정 수단(5B)을 구비하고 있다. 이 환기량 조정 수단(5B)은 팬(43)의 회전수를 제어하는 팬 제어부(53)를 가지고 있다. The heat treatment apparatus 1B is a ventilation amount which reduces the ventilation amount by the ventilation means 4 when the heat treatment means 3 does not heat-process the workpiece | work W, when heat treatment means 3 heat-processes the workpiece | work W. The adjusting means 5B is provided. This ventilation amount adjustment means 5B has a fan control part 53 which controls the rotation speed of the fan 43. As shown in FIG.

상기 팬 제어부(53)는, 도 6에 도시한 바와 같이, 열처리부(21) 내에 작업편(W)이 반입되지 않았을 때에는 팬(43)의 회전수를 작게 유지하고, 열처리부(21) 내에 작업편(W)이 반입되었을 때 소정 시간(예컨대 10분간) 동안 팬(43)의 회전수를 점점 크게 한다. As illustrated in FIG. 6, the fan control unit 53 keeps the rotational speed of the fan 43 small when the workpiece W is not carried in the heat treatment unit 21, and the inside of the heat treatment unit 21. When the workpiece W is brought in, the rotation speed of the fan 43 is gradually increased for a predetermined time (for example, 10 minutes).

또한 제1 실시 형태와 마찬가지로, 열처리부(21) 내에 작업편(W)이 반입되었을 때란, 열처리 장치 내에 설치된 작업편(W)의 유무를 검지하는 예컨대 광전 센 서(도시 생략) 등이 작업편(W)을 검지하였을 때이다. 또한 열처리 장치(1B)가 FPD의 제조 공정에 인라인으로 조립되어 들어가는 경우에는, 상류 장치 등으로부터 작업편 반입의 신호를 받도록 할 수도 있고, 상류 장치 등으로부터 작업편이 반입되는 일정 시간 전에 신호를 받도록 하여, 작업편(W)이 실제로 반입되기 전부터 팬(43)의 회전수를 크게 하도록 할 수도 있다. In addition, similarly to the first embodiment, when the workpiece W is loaded into the heat treatment unit 21, for example, a photoelectric sensor (not shown) which detects the presence or absence of the workpiece W installed in the heat treatment apparatus is a workpiece. When (W) is detected. In addition, when the heat treatment apparatus 1B is assembled in-line into the manufacturing process of the FPD, it is also possible to receive a signal of bringing the workpiece from an upstream apparatus or the like, or to receive a signal before a certain time before the workpiece is brought in from the upstream apparatus or the like. The rotation speed of the fan 43 may be increased before the workpiece W is actually carried in.

그리고, 열처리부(21)에 작업편(W)이 반입되면 열처리 수단(3)에 의한 작업편(W)의 열처리가 시작되는데, 열처리부(21) 내에 작업편(W)이 반입되고나서 소정 시간 경과 후 작업편(W)이 열처리부(21)로부터 반출될 때까지의 동안에는 팬 제어부(53)는 소정의 환기량이 확보되도록 팬(43)의 회전수를 유지한다. And when the workpiece | work W is carried in to the heat processing part 21, the heat processing of the workpiece | work W by the heat processing means 3 starts, but after the workpiece | work W is carried in into the heat processing part 21, the predetermined | prescribed thing is carried out. After the time elapses, the fan control unit 53 maintains the rotation speed of the fan 43 so that the predetermined ventilation amount is secured until the workpiece W is unloaded from the heat treatment unit 21.

열처리 수단(3)에 의한 작업편(W)의 열처리가 종료하고, 작업편(W)이 열처리부(21)로부터 반출되면, 팬 제어부(53)는 작업편(W)이 열처리부(21)로부터 반출되고나서 일정 시간 경과한 후에, 소정 시간(예컨대 10분간) 동안 팬(43)의 회전수를 점점 작게 한다. 또한 제1 실시 형태와 마찬가지로, 작업편(W)이 열처리부(21)로부터 반출되는 것과 동시에 팬(43)의 회전수를 작게 하도록 할 수도 있다. When the heat treatment of the workpiece W by the heat treatment means 3 is completed and the workpiece W is taken out from the heat treatment portion 21, the fan control unit 53 causes the workpiece W to be heat treated at the heat treatment portion 21. After a certain time has elapsed since being discharged from the device, the rotation speed of the fan 43 is gradually decreased for a predetermined time (for example, 10 minutes). In addition, similarly to the first embodiment, the workpiece W can be carried out from the heat treatment unit 21 and the rotation speed of the fan 43 can be reduced.

이와 같이 하여도 제1 실시 형태와 동일한 효과를 얻을 수 있다. Even in this way, the same effects as in the first embodiment can be obtained.

또한, 팬 제어부(53)는 도 7에 도시한 바와 같이, 열처리부(21) 내에 작업편(W)이 반입되지 않았을 때에는 팬(43)을 정지해 두고, 열처리부(21) 내에 작업편(W)이 반입되기 전에 팬(43)을 저회전수로 회전시킬 수도 있다. 또는, 도 7 중에 2점 쇄선으로 도시한 바와 같이, 열처리부(21) 내에 작업편(W)이 반입될 때까지 팬(43)을 정지해 두고, 작업편(W)이 반입되면 팬(43)을 구동하도록 할 수도 있다. In addition, as shown in FIG. 7, the fan control part 53 stops the fan 43 when the workpiece | work W is not carried in the heat processing part 21, and the workpiece | work ( The fan 43 may be rotated at a low rotation speed before W) is carried in. Alternatively, as shown by the dashed-dotted line in FIG. 7, the fan 43 is stopped until the workpiece W is loaded into the heat treatment unit 21, and the fan 43 is loaded when the workpiece W is loaded. ) Can be driven.

다음, 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 열처리 장치에 대하여 설명한다. 이 열처리 장치는, 도시는 생략하였으나, 제1 실시 형태의 열처리 장치(1A)의 환기량 조정 수단(5A)에 제2 실시 형태의 팬 제어부(53)를 추가한 것이다. 즉, 환기량 조정 수단(5A)은 댐퍼 제어부(52)와 팬 제어부(53)를 포함하고 있다. Next, the heat treatment apparatus according to the third embodiment of the present invention will be described. Although not shown, this heat treatment apparatus adds the fan control portion 53 of the second embodiment to the ventilation amount adjusting means 5A of the heat treatment apparatus 1A of the first embodiment. That is, the ventilation amount adjusting means 5A includes a damper control unit 52 and a fan control unit 53.

이러한 열처리 장치라면, 도 8에 도시한 바와 같이, 자동 댐퍼(51A, 51B)와 팬(43)을 독립적으로, 또는 관련시켜 제어하는 것도 가능하다. 예컨대 팬(43)의 구동과 자동 댐퍼(51A, 51B)의 개방을 동시에 하거나 시간적으로 엇갈리게 하여 양자를 구동하도록 할 수도 있다. With such a heat treatment apparatus, as shown in FIG. 8, the automatic dampers 51A and 51B and the fan 43 can be controlled independently or in association with each other. For example, both the drive of the fan 43 and the opening of the automatic dampers 51A and 51B may be simultaneously or staggered in time.

또한, 제1 내지 제3 실시 형태에 있어서는 환기 수단의 흡기 덕트(41)의 도중에 히터를 별도로 설치하여, 흡기 덕트(41)를 열처리부(21)에 직접 접속할 수도 있다. In addition, in 1st-3rd embodiment, a heater is provided separately in the middle of the intake duct 41 of a ventilation means, and the intake duct 41 can also be directly connected to the heat processing part 21. FIG.

여기서, 본 실시 형태의 개요에 대하여 설명한다. Here, the outline | summary of this embodiment is demonstrated.

(1)본 실시 형태에서는 환기량 조정 수단에 의해 비열처리 시의 환기량을 억제할 수 있도록 되어 있으므로, 비열처리 시에 환기 수단이 외기를 가열하는 데 필요한 전력이 적어져 열처리 장치 전체의 소비 전력을 저감시킬 수 있다. (1) In this embodiment, since the ventilation amount at the time of a non-heat processing is suppressed by the ventilation amount adjustment means, the power required for a ventilation means to heat outside air at the time of a non-heat processing is reduced, and the power consumption of the whole heat processing apparatus is reduced. You can.

(2)본 실시 형태에서는 상기 환기 수단은 외기를 흡입하는 흡기 덕트와, 상기 열처리부 내의 공기를 배기하는 배기 덕트를 가지며, 상기 환기량 조정 수단은 상기 흡기 덕트와 배기 덕트의 각각에 설치되는 풍량 조정용 자동 댐퍼와, 상기 열처리 수단이 피처리물을 열처리할 때에는 상기 흡기 덕트 및 배기 덕트를 개방하는 방향으로 상기 자동 댐퍼를 구동하고, 상기 열처리 수단이 피처리물을 열처리하지 않을 때에는 상기 흡기 덕트 및 배기 덕트를 폐쇄하는 방향으로 상기 자동 댐퍼를 구동하는 제어를 행하는 댐퍼 제어부를 갖는다. (2) In this embodiment, the said ventilation means has the intake duct which inhales outside air, and the exhaust duct which exhausts the air in the said heat processing part, The said ventilation amount adjustment means for air volume adjustment provided in each of the intake duct and exhaust duct An automatic damper and the automatic damper are driven in a direction to open the intake duct and the exhaust duct when the heat treatment means heat-treats the workpiece, and the intake duct and exhaust when the heat treatment means does not heat-treat the workpiece. It has a damper control part which performs control to drive the said automatic damper in the direction which closes a duct.

(3)본 실시 형태에서는 상기 환기 수단은 상기 열처리부 내의 공기를 배기하는 배기 덕트와, 상기 배기 덕트의 도중에 설치되는 팬을 가지며, 상기 환기량 조정 수단은 상기 열처리 수단이 피처리물을 열처리할 때에는 상기 팬의 회전수를 크게 하고, 상기 열처리 수단이 피처리물을 열처리하지 않을 때에는 상기 팬의 회전수를 작게 하는 제어를 행하는 팬 제어부를 갖는다. (3) In this embodiment, the said ventilation means has an exhaust duct which exhausts the air in the said heat processing part, and the fan provided in the middle of the said exhaust duct, The said ventilation amount adjustment means is a thing when the said heat processing means heat-processes a to-be-processed object It has a fan control part which makes the rotation speed of the said fan large, and performs control which makes the rotation speed of the said fan small when the heat processing means does not heat-process a to-be-processed object.

(4)본 실시 형태에서는 상기 열처리부와 칸막이된 공조부를 구비하고, 상기 열처리 수단은 상기 열처리부 내의 공기를 상기 공조부와의 사이에서 순환시키면서 가열한다. (4) In this embodiment, the said heat processing part and the partitioned air conditioning part are provided, and the said heat processing means heats, circulating the air in the said heat processing part between the said air conditioning part, and the said heat processing means.

(5)본 실시 형태에서는 환기량 조정 수단에 의해 비열처리 시의 환기량을 억제할 수 있도록 되어 있으므로, 비열처리 시에 가열 수단이 외기를 가열하는 데 필요한 전력이 적어져 열처리 장치 전체의 소비 전력을 저감시킬 수 있다. (5) In this embodiment, since the ventilation amount at the time of specific heat processing can be suppressed by the ventilation amount adjusting means, the electric power required for heating the outside air by the heating means at the time of specific heat processing becomes small, and the power consumption of the whole heat processing apparatus is reduced. You can.

도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 열처리 장치의 개략 구성도이다. 1 is a schematic configuration diagram of a heat treatment apparatus according to a first embodiment of the present invention.

도 2는 제1 실시 형태의 환기량 조정 수단의 블럭도이다. 2 is a block diagram of the ventilation amount adjusting means of the first embodiment.

도 3은 제1 실시 형태에 따른 열처리 장치의 타이밍 차트이다. 3 is a timing chart of the heat treatment apparatus according to the first embodiment.

도 4는 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 열처리 장치의 개략 구성도이다. 4 is a schematic configuration diagram of a heat treatment apparatus according to a second embodiment of the present invention.

도 5는 제2 실시 형태의 환기량 조정 수단의 블럭도이다. Fig. 5 is a block diagram of the ventilation amount adjusting means of the second embodiment.

도 6은 제2 실시 형태에 따른 열처리 장치의 타이밍 차트이다. 6 is a timing chart of the heat treatment apparatus according to the second embodiment.

도 7은 변형예의 타이밍 차트이다. 7 is a timing chart of a modification.

도 8은 제3 실시 형태에 따른 열처리 장치의 타이밍 차트이다. 8 is a timing chart of the heat treatment apparatus according to the third embodiment.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 간략한 설명*BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG.

2: 본체 2: body

20: 단열실 21: 열처리부20: heat insulation chamber 21: heat treatment unit

22: 작업편 지지부 23: 공조부22: workpiece support 23: air conditioning unit

24: 격벽24: bulkhead

3: 열처리 수단3: heat treatment means

31: 필터 32: 히터31: filter 32: heater

33: 송풍기 33: blower

4: 환기수단 4: ventilation means

41: 흡기 덕트 42: 배기 덕트41: intake duct 42: exhaust duct

43: 팬43: fan

Claims (6)

열처리부 내에 피처리물이 수용된 상태에서 상기 열처리부 내의 공기를 순환시키면서 가열함으로써 상기 피처리물을 열처리하는 열처리 수단과, 외기를 가열하여 상기 열처리부 내로 들여보내고 상기 열처리부 내의 공기를 배기함으로써 상기 열처리부 내를 환기하는 환기 수단을 구비한 열처리 장치에 있어서, Heat treatment means for heat-treating the workpiece by circulating air in the heat treatment portion while heating the object in the heat treatment portion, and heating the outside air into the heat treatment portion to exhaust the air in the heat treatment portion; A heat treatment apparatus comprising a ventilation means for ventilating an inside of a heat treatment portion, 상기 열처리 수단이 작업편 검지수단에 의해 작업편 없음을 검지하는 일에 따라서 피처리물을 열처리하지 않을 때에는, 상기 열처리 수단이 작업편 검지수단에 의해 작업편 있음을 검지하는 일에 따라서 또는 상류장치에 의해 작업편 반입의 신호에 따라서 피처리물을 열처리할 때보다 상기 환기 수단에 의한 환기량을 저감시키는 환기량 조정 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 열처리 장치. When the heat treatment means does not heat-treat the workpiece in accordance with the workpiece detection means detecting no workpiece, the heat treatment means detects the workpiece by the workpiece detection means or the upstream apparatus. And a ventilation amount adjusting means for reducing the ventilation amount by said ventilation means than when heat-treating an object to be processed according to the signal of carrying in of a workpiece. 제 1 항에 있어서, 상기 환기 수단은 외기를 흡입하는 흡기 덕트와, 상기 열처리부 내의 공기를 배기하는 배기 덕트를 가지며, 2. The ventilation apparatus according to claim 1, wherein the ventilation means has an intake duct for sucking outside air, and an exhaust duct for exhausting air in the heat treatment part. 상기 환기량 조정 수단은, The ventilation amount adjusting means, 상기 흡기 덕트와 상기 배기 덕트의 각각에 설치되는 풍량 조정용 자동 댐퍼와, An automatic damper for adjusting the air volume provided in each of the intake duct and the exhaust duct; 상기 열처리 수단이 피처리물을 열처리할 때에는 상기 흡기 덕트 및 상기 배기 덕트를 개방하는 방향으로 상기 자동 댐퍼를 구동하고, 상기 열처리 수단이 피처리물을 열처리하지 않을 때에는 상기 흡기 덕트 및 상기 배기 덕트를 폐쇄하는 방향으로 상기 자동 댐퍼를 구동하는 제어를 행하는 댐퍼 제어부를 갖는 것을 특징으로 하는 열처리 장치. When the heat treatment means heat-treats the workpiece, the automatic damper is driven in the direction of opening the intake duct and the exhaust duct, and when the heat treatment means does not heat-treat the workpiece, the intake duct and the exhaust duct And a damper control unit for controlling to drive the automatic damper in the closing direction. 제 1 항에 있어서, 상기 환기 수단은 상기 열처리부 내의 공기를 배기하는 배기 덕트와, 상기 배기 덕트의 도중에 설치되는 팬을 가지며, 2. The ventilation apparatus of claim 1, wherein the ventilation means has an exhaust duct for exhausting air in the heat treatment unit, and a fan provided in the middle of the exhaust duct, 상기 환기량 조정 수단은, 상기 열처리 수단이 피처리물을 열처리할 때에는 상기 팬의 회전수를 크게 하고, 상기 열처리 수단이 피처리물을 열처리하지 않을 때에는 상기 팬의 회전수를 작게 하는 제어를 행하는 팬 제어부를 갖는 것을 특징으로 하는 열처리 장치. The ventilation amount adjusting means is a fan for controlling to increase the rotation speed of the fan when the heat treatment means heat-treats the workpiece, and to reduce the rotation speed of the fan when the heat treatment means does not heat-treat the workpiece. And a control unit. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 열처리부와 칸막이된 공조부를 구비하며, The said heat processing part and the air-conditioning part partitioned are provided, 상기 열처리 수단은 상기 열처리부 내의 공기를 상기 공조부와의 사이에서 순환시키면서 가열하는 것을 특징으로 하는 열처리 장치. And the heat treatment means heats the air in the heat treatment portion while circulating with the air conditioning portion. 피처리물의 수용이 가능한 열처리부와, 상기 열처리부 내의 온도가 상기 피처리물의 열처리가 가능한 온도가 되도록 공기를 가열하는 가열 수단과, 상기 열처리부 내를 환기하는 환기 수단을 구비한 열처리 장치에 있어서, In the heat treatment apparatus provided with the heat processing part which can accommodate a to-be-processed object, the heating means which heats air so that the temperature in the said heat-processing part may become the temperature which can heat-process the said to-be-processed object, and the ventilation means which ventilates the inside of the said heat processing part, , 작업편 검지수단에 의해 작업편 있음을 검지하는 일에 따라서 또는 상류장치에 의해 작업편 반입의 신호에 따라서 상기 피처리물을 열처리하는 때 이외의 때에는 열처리시보다 상기 환기 수단에 의한 환기량을 저감시키는 환기량 조정 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 열처리 장치. When the workpiece is detected by the workpiece detection means or when the workpiece is heat-treated according to the signal of carrying the workpiece by the upstream device, the ventilation amount by the ventilation means is reduced more than during the heat treatment. And a ventilation amount adjusting means. 피처리물의 수용이 가능한 열처리부와, 상기 열처리부 내의 온도가 상기 피처리물의 열처리가 가능한 온도가 되도록 공기를 가열하는 가열 수단과, 상기 열처리부 내를 환기하는 환기 수단을 구비한 열처리 장치에 있어서, In the heat treatment apparatus provided with the heat processing part which can accommodate a to-be-processed object, the heating means which heats air so that the temperature in the said heat-processing part may become the temperature which can heat-process the said to-be-processed object, and the ventilation means which ventilates the inside of the said heat processing part, , 작업편 검지수단에 의해 작업편 없음을 검지하는 일에 따라서 상기 피처리물의 열처리를 종료한 후에 상기 환기 수단에 의한 환기량을 저감시키는 환기량 조정 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 열처리 장치. And a ventilation amount adjusting means for reducing the ventilation amount by the ventilation means after the heat treatment of the workpiece is finished in accordance with the detection of the absence of the workpiece by the workpiece detection means.
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