JP6177616B2

JP6177616B2 - Heat treatment equipment

Info

Publication number: JP6177616B2
Application number: JP2013160255A
Authority: JP
Inventors: 裕也中西; 笠次　克尚; 克尚笠次; 健二岩野; 義彦浦崎; 真一池田
Original assignee: Koyo Thermo Systems Co Ltd
Current assignee: Koyo Thermo Systems Co Ltd
Priority date: 2013-08-01
Filing date: 2013-08-01
Publication date: 2017-08-09
Anticipated expiration: 2033-08-01
Also published as: TW201604287A; JP2015031428A; TWI572720B; TWI509079B; TW201506166A

Description

本発明は、熱処理装置に関する。 The present invention relates to a heat treatment apparatus.

半導体用の材料などの被処理物を熱処理するための、熱処理装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の熱処理装置は、炉内において、フードで被処理物を覆う構成を有している。フードには、ノズルが形成されている。このノズルから被処理物に向けて、熱風が送られる。 2. Description of the Related Art A heat treatment apparatus for heat treating an object to be processed such as a semiconductor material is known (for example, see Patent Document 1). The heat treatment apparatus described in Patent Document 1 has a configuration in which an object to be processed is covered with a hood in a furnace. A nozzle is formed in the hood. Hot air is sent from the nozzle toward the workpiece.

より具体的には、パネル状の被処理物が多数、上下に隙間をあけて配置されることによりブロックが構成されている。また、複数のブロックが、水平方向にも並んで配置されている。複数のブロックは、鉛直方向の位置がずらされた状態で配置されている。そして、ノズルは、当該ノズルに最も近いブロックにおける隙間に向けて熱風を送る。 More specifically, a block is configured by arranging a large number of panel-like objects to be processed with gaps therebetween. A plurality of blocks are also arranged in the horizontal direction. The plurality of blocks are arranged with their positions in the vertical direction shifted. The nozzle then sends hot air toward the gap in the block closest to the nozzle.

特開平６−２６７４２５号公報（［要約］）JP-A-6-267425 ([Summary])

ところで、熱処理装置においては、各被処理物の処理状態をより均一にするために、加熱された気体がより均等な分布で被処理物に供給されることが好ましい。しかしながら、特許文献１に記載の構成では、ノズルの向きが固定されており、ノズルの向きを変更することで、被処理物に向かう気流を調整することができない。 By the way, in the heat treatment apparatus, in order to make the processing state of each object to be processed more uniform, it is preferable that the heated gas is supplied to the object to be processed with a more even distribution. However, in the configuration described in Patent Document 1, the direction of the nozzle is fixed, and the airflow toward the object to be processed cannot be adjusted by changing the direction of the nozzle.

ここで、ノズルの向きを調整することで気流の向きなどを調整する構成が考えられる。しかしながら、ノズルが配置されている炉内は、熱処理中は、たとえば数百℃程度の高温となる。このため、作業員などがノズルの向きを調整するためには、熱処理装置の運転を停止した後、炉内の温度が低下するまで待つ必要があり、ノズルの調整作業に時間がかってしまう。また、ノズルの調整のために熱処理装置を一旦停止する必要がある。このため、ノズルの調整作業に手間がかかってしまう。 Here, the structure which adjusts the direction of airflow etc. by adjusting the direction of a nozzle can be considered. However, the inside of the furnace in which the nozzle is disposed becomes a high temperature of, for example, about several hundred degrees C during the heat treatment. For this reason, in order for an operator or the like to adjust the direction of the nozzle, it is necessary to wait until the temperature in the furnace decreases after the operation of the heat treatment apparatus is stopped, and it takes time to adjust the nozzle. Further, it is necessary to temporarily stop the heat treatment apparatus for adjusting the nozzle. For this reason, it takes time to adjust the nozzle.

本発明は、上記事情に鑑みることにより、熱処理装置において、高温の気流をより容易に調整できるようにすることを目的とする。 An object of this invention is to enable it to adjust a high temperature airflow more easily in a heat processing apparatus in view of the said situation.

（１）上記課題を解決するために、この発明のある局面に係わる熱処理装置は、加熱された気体が通過可能な通路と、被処理物を配置可能な処理室へ向けて前記通路を通過する気流を調整可能な、気流調整部材と、前記気流調整部材を前記通路の外部から操作可能な操作装置と、を備え、前記気流調整部材は、互いに離隔して配置され前記通路を塞ぐ割合を調整するための複数のシャッタ部材を含み、前記操作装置は、前記通路内において前記複数のシャッタ部材に連結された複数の連結部と、前記通路の外部に配置され前記連結部と連動して変位可能な操作部と、前記操作部と前記複数の連結部とを機械的に連結する主体部と、を含んでいる。 (1) In order to solve the above-described problem, a heat treatment apparatus according to an aspect of the present invention passes through the passage toward a passage through which heated gas can pass and a treatment chamber in which an object to be processed can be placed. An airflow adjustment member capable of adjusting an airflow; and an operation device capable of operating the airflow adjustment member from outside the passage , wherein the airflow adjustment members are arranged separately from each other and adjust a ratio of closing the passage. The operating device includes a plurality of connecting portions connected to the plurality of shutter members in the passage, and is displaceable in conjunction with the connecting portion disposed outside the passage. And a main part that mechanically connects the operation part and the plurality of connection parts .

この構成によると、気流調整部材が設けられていることにより、処理室内に配置された被処理物に供給される気流を調整することができる。これにより、被処理物に、より均等に熱風を供給することができる。また、操作装置が設けられていることにより、気流調整部材は、通路の外部から操作され得る。このため、作業員は、熱処理装置の運転中であっても、高温の通路内へ入ることなく、気流調整部材を操作できる。よって、熱処理装置を停止することなく、気流を調整できる。これにより、高温の気流をより容易に調整できる。 According to this configuration, by providing the airflow adjusting member, it is possible to adjust the airflow supplied to the object to be processed disposed in the processing chamber. Thereby, a hot air can be more uniformly supplied to a to-be-processed object. Further, since the operating device is provided, the airflow adjusting member can be operated from the outside of the passage. For this reason, the worker can operate the airflow adjusting member without entering the high-temperature passage even during the operation of the heat treatment apparatus. Therefore, the airflow can be adjusted without stopping the heat treatment apparatus. Thereby, a high temperature airflow can be adjusted more easily.

（２）好ましくは、前記熱処理装置は、前記通路を形成する整流室をさらに備え、前記整流室は、前記通路の内側と外側を仕切る複数の側壁を含み、各前記シャッタ部材には、前記シャッタ部材のスライド方向に延びるスライド用孔部が形成され、一の前記側壁に固定され前記スライド用孔部をスライド可能に支持するガイドピンをさらに備え、前記操作装置の主体部は、他の前記側壁に支持されているとともに、前記連結部および前記シャッタ部材を介して、前記ガイドピンに支持されている。 (2) Preferably, the heat treatment apparatus further includes a rectifying chamber that forms the passage, and the rectifying chamber includes a plurality of side walls that divide the inside and the outside of the passage, and each shutter member includes the shutter. A sliding hole extending in the sliding direction of the member is formed, and further includes a guide pin fixed to one of the side walls and slidably supporting the sliding hole, and the main part of the operating device is the other side wall And is supported by the guide pin through the connecting portion and the shutter member .

（３）より好ましくは、前記熱処理装置は、前記通路を形成する整流室と、前記操作部が配置される操作室と、をさらに備え、前記整流室は、前記操作室に隣接して配置され、かつ、前記処理室に隣接して配置されている。 (3) More preferably, the heat treatment apparatus further includes a rectification chamber that forms the passage, and an operation chamber in which the operation unit is disposed, and the rectification chamber is disposed adjacent to the operation chamber. And disposed adjacent to the processing chamber.

この構成によると、整流室、操作室、および、処理室をコンパクトに配置できる。よって、熱処理装置全体をコンパクトにすることができる。 According to this configuration, the rectifying chamber, the operation chamber, and the processing chamber can be arranged in a compact manner. Therefore, the whole heat treatment apparatus can be made compact.

（４）より好ましくは、前記整流室から前記処理室へ向かう方向と、前記整流室から前記操作室へ向かう方向とが異なっている。 (4) More preferably, the direction from the rectifying chamber toward the processing chamber is different from the direction from the rectifying chamber toward the operation chamber.

この構成によると、整流室において処理室へ向かう高温の気流から操作室への伝熱量を、小さくできる。よって、操作室が高温になることを抑制できる。 According to this configuration, the amount of heat transferred from the high-temperature air flow toward the processing chamber to the operation chamber in the rectifying chamber can be reduced. Therefore, it can suppress that an operation room becomes high temperature.

（５）好ましくは、前記整流室の出口に前記気流調整部材が配置されている。 (5) Preferably, the airflow adjusting member is disposed at the outlet of the rectifying chamber.

この構成によると、処理室へ向かう気流を、より確実に所望の流れとなるように調整できる。 According to this configuration, it is possible to adjust the air flow toward the processing chamber so as to obtain a desired flow more reliably.

（６）好ましくは、前記操作装置は複数設けられ、各前記操作装置は、互いに別の前記シャッタ部材に連結され、各前記操作装置が、それぞれ対応する前記複数のシャッタ部材を一括して変位可能に構成されている。 (6) Preferably, a plurality of the operation devices are provided, and the operation devices are connected to the shutter members different from each other, and the operation devices can collectively displace the corresponding shutter members. It is configured.

（７）好ましくは、前記気流調整部材は、前記通路に配置された風向調整部材を含み、
前記操作装置は、前記風向調整部材に連結され前記風向調整部材の向きを変更可能である。 (7) Preferably, the airflow adjustment member includes a wind direction adjustment member disposed in the passage,
The operating device is connected to the wind direction adjusting member and can change the direction of the wind direction adjusting member.

この構成によると、操作部材を用いて風向調整部材を変位させることで、通路を通って処理室に向かう気流の向きを調整することができる。 According to this configuration, it is possible to adjust the direction of the airflow toward the processing chamber through the passage by displacing the airflow direction adjusting member using the operation member.

（８）好ましくは、前記気体は、前記通路における前記気流の進行方向に対して交差する方向を向いて前記通路に導入される。 (8) Preferably, the gas is introduced into the passage in a direction that intersects the traveling direction of the airflow in the passage.

この構成によると、通路を通過する気流を発生させるためのファンなどの部材を、通路における気流の進行方向と交差する方向に配置することができる。これにより、上記ファンなどの部材を、通路における気流の進行方向に沿って配置する必要が無く、熱処理装置における各部材のレイアウトの自由度をより高くできる。その結果、たとえば、熱処理装置のさらなる小型化などを実現できる。 According to this configuration, a member such as a fan for generating an airflow that passes through the passage can be disposed in a direction that intersects the traveling direction of the airflow in the passage. Thereby, it is not necessary to arrange | position members, such as the said fan, along the advancing direction of the airflow in a channel | path, and the freedom degree of the layout of each member in a heat processing apparatus can be made higher. As a result, for example, further downsizing of the heat treatment apparatus can be realized.

本発明によると、熱処理装置において、高温の気流をより容易に調整できる。 According to the present invention, a high-temperature air flow can be more easily adjusted in a heat treatment apparatus.

本発明の実施形態に係る熱処理装置の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the heat processing apparatus which concerns on embodiment of this invention. 熱処理装置の主要部の平面図であり、一部を切断した状態で示している。It is a top view of the principal part of a heat treatment apparatus, and has shown in the state where a part was cut. 整流室の内部を進行方向の上流側から見た状態を示す図であり、一部を断面で示している。It is a figure which shows the state which looked at the inside of the rectification | straightening chamber from the upstream of the advancing direction, and has shown one part by the cross section. 本発明の第２実施形態にかかる熱処理装置の主要部の模式的な平面図であり、一部を断面で示している。It is a typical top view of the principal part of the heat processing apparatus concerning 2nd Embodiment of this invention, and has shown one part in the cross section. 熱処理装置の内部のルーバーの周辺の側面図であり、一部を断面で示している。It is a side view of the circumference | surroundings of the louver inside a heat processing apparatus, and one part is shown with the cross section. 熱処理装置の内部のルーバーの周辺の側面図であり、一部を断面で示している。It is a side view of the circumference | surroundings of the louver inside a heat processing apparatus, and one part is shown with the cross section. 変形例の主要部を示す平面図であり、一部を断面で示している。It is a top view which shows the principal part of a modification, and has shown one part by the cross section.

以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しつつ説明する。なお、本発明は、被処理物を熱処理するための熱処理装置として、広く適用することができる。 Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. Note that the present invention can be widely applied as a heat treatment apparatus for heat-treating an object to be processed.

図１は、本発明の実施形態に係る熱処理装置１の構成を示す模式図である。図１を参照して、熱処理装置１は、被処理物２００に熱処理を施すための装置である。被処理物２００は、たとえば、半導体ウェハであり、円板状に形成されている。熱処理装置１で行われる熱処理として、ベーキング処理などを例示することができる。 FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of a heat treatment apparatus 1 according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 1, heat treatment apparatus 1 is an apparatus for performing heat treatment on workpiece 200. The workpiece 200 is a semiconductor wafer, for example, and is formed in a disk shape. Examples of the heat treatment performed in the heat treatment apparatus 1 include baking treatment.

熱処理装置１は、筐体２と、熱風発生装置３と、整流室４と、処理室５と、ボート６と、気流戻し部材７と、複数のシャッタ部材（気流調整部材）８と、複数の操作装置９と、操作室１０と、を有している。 The heat treatment apparatus 1 includes a housing 2, a hot air generator 3, a rectifying chamber 4, a processing chamber 5, a boat 6, an airflow return member 7, a plurality of shutter members (airflow adjustment members) 8, and a plurality of An operation device 9 and an operation room 10 are provided.

筐体２は、たとえば、中空の箱形形状に形成されている。図１では、筐体２の一部は、想像線である二点鎖線で図示されている。筐体２は、熱風発生装置３、シャッタ部材８、および操作装置９の一部などを収容している。 The housing | casing 2 is formed in the hollow box shape, for example. In FIG. 1, a part of the housing 2 is illustrated by a two-dot chain line that is an imaginary line. The housing 2 accommodates the hot air generator 3, the shutter member 8, a part of the operation device 9, and the like.

熱風発生装置３は、筐体２内の気体を加熱し、この気体の流れとしての気流Ａ１を発生させるように構成されている。熱風発生装置３は、たとえば、筐体２の上部に配置されている。また、本実施形態では、熱風発生装置３は、整流室４の斜め上方に配置されている。 The hot air generator 3 is configured to heat the gas in the housing 2 and generate an air flow A1 as the gas flow. The hot air generator 3 is disposed, for example, at the top of the housing 2. In the present embodiment, the hot air generator 3 is disposed obliquely above the rectifying chamber 4.

熱風発生装置３は、架台１１と、ヒータ１２と、ファン１３と、ガイド部材１４と、を有している。 The hot air generator 3 includes a gantry 11, a heater 12, a fan 13, and a guide member 14.

架台１１は、熱風発生装置３の骨格として設けられており、たとえば、中空の箱状に形成されている。架台１１は、筐体２に固定されている。架台１１は、ヒータ１２、ファン１３およびガイド部材１４などを支持している。架台１１の内部には、気体が通過するための空間が形成されている。架台１１の内部の空間への入口には、ヒータ１２が配置されている。 The gantry 11 is provided as a skeleton of the hot air generator 3 and is formed in a hollow box shape, for example. The gantry 11 is fixed to the housing 2. The gantry 11 supports a heater 12, a fan 13, a guide member 14, and the like. A space for allowing gas to pass through is formed inside the gantry 11. A heater 12 is disposed at the entrance to the space inside the gantry 11.

ヒータ１２は、たとえば電熱式のヒータであり、熱処理室５を通過した気体を繰り返し加熱するために設けられている。ヒータ１２は、架台１１のたとえば一縁部に設置されている。ヒータ１２は、気体をたとえば数百℃に加熱する。ヒータ１２を通過した気体は、架台１１内において、ファン１３に吸い込まれる。 The heater 12 is, for example, an electrothermal heater, and is provided to repeatedly heat the gas that has passed through the heat treatment chamber 5. The heater 12 is installed, for example, at one edge of the gantry 11. The heater 12 heats the gas to, for example, several hundred degrees Celsius. The gas that has passed through the heater 12 is sucked into the fan 13 in the gantry 11.

ファン１３は、筐体２内において気流Ａ１を発生するために設けられている。ファン１３は、たとえば、電動モータおよびこの電動モータの出力軸に連結されたプロペラを含んでおり、この電動モータの駆動によって、プロペラが回転する。これにより、気流Ａ１が発生する。 The fan 13 is provided in order to generate the airflow A1 in the housing 2. The fan 13 includes, for example, an electric motor and a propeller coupled to the output shaft of the electric motor, and the propeller is rotated by driving the electric motor. Thereby, airflow A1 is generated.

なお、ファン１３は、気流を発生させることが可能であればよく、構造は限定されない。ファン１３として、プロペラファン、クロスフローファンなどを例示することができる。ファン１３は、高温の気体をガイド部材１４に向けて吹き出す。 The fan 13 is not limited as long as it can generate an airflow. Examples of the fan 13 include a propeller fan and a cross flow fan. The fan 13 blows out high-temperature gas toward the guide member 14.

ガイド部材１４は、気体を整流室４の通路１５に送るための案内部材として設けられている。ガイド部材１４は、たとえば、板状の部材であり、通路１５を向く一側面を有している。 The guide member 14 is provided as a guide member for sending gas to the passage 15 of the rectifying chamber 4. The guide member 14 is a plate-like member, for example, and has one side surface facing the passage 15.

整流室４は、ヒータ１２によって加熱された気体が通過可能な通路１５を形成する部分として設けられている。整流室４は、たとえば、中空の直方体状に形成されており、平面視において矩形状に形成されている。この整流室４の上端は開放されており、整流室４の内部に通路１５が形成されている。 The rectifying chamber 4 is provided as a portion that forms a passage 15 through which the gas heated by the heater 12 can pass. The rectifying chamber 4 is formed in, for example, a hollow rectangular parallelepiped shape, and is formed in a rectangular shape in plan view. The upper end of the rectifying chamber 4 is open, and a passage 15 is formed inside the rectifying chamber 4.

整流室４は、上下に延びる４つの側壁２１〜２４を有している。これら４つの側壁２１〜２４は、平面視において全体として矩形状に配置されている。側壁２１は、筐体２の前壁の一部を構成している。側壁２２は、側壁２１と向かい合って配置されており、通路１５と処理室５内の空間とを区切る隔壁として設けられている。 The rectifying chamber 4 has four side walls 21 to 24 extending vertically. These four side walls 21 to 24 are arranged in a rectangular shape as a whole in plan view. The side wall 21 constitutes a part of the front wall of the housing 2. The side wall 22 is disposed to face the side wall 21 and is provided as a partition wall that separates the passage 15 and the space in the processing chamber 5.

側壁２３は、筐体２の左側壁の一部を構成している。なお、本実施形態では、側壁２１と向かい合った作業員を基準にして、前後左右をいう。本実施形態では、側壁２３は、筐体２の他の部分から取り外し可能に設けられており、側壁２３を取り外すことで、作業員が筐体２内に出入りすることができる。側壁２４は、側壁２３と向かい合っており、筐体２内に位置している。本実施形態では、側壁２１〜２４および底壁で囲まれた領域が、通路１５である。 The side wall 23 constitutes a part of the left side wall of the housing 2. In the present embodiment, it refers to the front, rear, left and right with reference to the worker facing the side wall 21. In this embodiment, the side wall 23 is provided so as to be removable from other parts of the housing 2, and an operator can enter and exit the housing 2 by removing the side wall 23. The side wall 24 faces the side wall 23 and is located in the housing 2. In the present embodiment, a region surrounded by the side walls 21 to 24 and the bottom wall is the passage 15.

ガイド部材１４によって向きを変えられた気流Ａ１は、この通路１５の斜め上方から、この通路１５へ導かれる。すなわち、加熱された気体が通路１５を通過する。通路１５における気流Ａ１の進行方向の一例としての第２進行方向Ｄ２は、ガイド部材１４を通過した直後の気流Ａ１の進行方向としての第１進行方向Ｄ１とは異なっている。 The airflow A1 whose direction is changed by the guide member 14 is guided to the passage 15 from obliquely above the passage 15. That is, the heated gas passes through the passage 15. The second traveling direction D2 as an example of the traveling direction of the airflow A1 in the passage 15 is different from the first traveling direction D1 as the traveling direction of the airflow A1 immediately after passing through the guide member 14.

具体的には、第１進行方向Ｄ１は、筐体２の前斜め左下に向かう方向である。これに対し、第２進行方向Ｄ２は、筐体２の後方に向かって真っ直ぐ（略水平）に延びる方向であり、第１進行方向Ｄ１に対して交差している。このような構成により、気流Ａ１は、ガイド部材１４を通過した後、通路１５において向きを変更され、通路１５内を第２進行方向Ｄ２に沿って進む。側壁２２には、後述するノズル孔が複数形成されており、通路１５内の気体は、このノズル孔を通って処理室５へ進む。 Specifically, the first traveling direction D 1 is a direction toward the lower left front of the housing 2. On the other hand, the second traveling direction D2 is a direction extending straight (substantially horizontal) toward the rear of the housing 2 and intersects the first traveling direction D1. With such a configuration, the airflow A1 is changed in direction in the passage 15 after passing through the guide member 14, and proceeds in the second traveling direction D2 in the passage 15. A plurality of nozzle holes to be described later are formed in the side wall 22, and the gas in the passage 15 proceeds to the processing chamber 5 through the nozzle holes.

処理室５は、被処理物２００の熱処理時にこの被処理物２００が配置される部分として設けられている。処理室５は、整流室４に隣接するように形成されており、たとえば、中空の直方体状に形成されている。処理室５は、ドア１９を有している。作業員は、このドア１９を開いた状態で、被処理物２００が載せられたボート６を出し入れすることができる。 The processing chamber 5 is provided as a portion where the processing object 200 is disposed during the heat treatment of the processing object 200. The processing chamber 5 is formed so as to be adjacent to the rectifying chamber 4, and is formed in a hollow rectangular parallelepiped shape, for example. The processing chamber 5 has a door 19. An operator can take in and out the boat 6 on which the workpiece 200 is placed with the door 19 opened.

ボート６は、タワー状の部材である。ボート６は、複数の被処理物２００を上下に間隔をあけた状態で支持するように構成されている。また、熱処理装置１で熱処理が行われる際には、ドア１９は閉じられた状態である。処理室５には、排気口１６が形成されている。排気口１６は、たとえば、第２進行方向Ｄ２における処理室５の下流側の側壁に形成されている。処理室５内の気体は、排気口１６を通って気流戻し部材７に導入される。 The boat 6 is a tower-shaped member. The boat 6 is configured to support a plurality of objects to be processed 200 in a state of being vertically spaced. When the heat treatment is performed by the heat treatment apparatus 1, the door 19 is in a closed state. An exhaust port 16 is formed in the processing chamber 5. The exhaust port 16 is formed, for example, on the side wall on the downstream side of the processing chamber 5 in the second traveling direction D2. The gas in the processing chamber 5 is introduced into the airflow return member 7 through the exhaust port 16.

気流戻し部材７は、処理室５を通過した気体を熱風発生装置３のヒータ１２に戻すために設けられている。気流戻し部材７は、たとえばダクト部材である。気流戻し部材７の一端は、排気口１６に接続されている。気流戻し部材７の他端は、ヒータ１２に接続されている。この構成により、排気口１６を通過した気流Ａ１は、気流戻し部材７の内部を通り、ヒータ１２に戻される。 The airflow return member 7 is provided to return the gas that has passed through the processing chamber 5 to the heater 12 of the hot air generator 3. The airflow return member 7 is, for example, a duct member. One end of the airflow return member 7 is connected to the exhaust port 16. The other end of the airflow return member 7 is connected to the heater 12. With this configuration, the airflow A1 that has passed through the exhaust port 16 passes through the airflow return member 7 and is returned to the heater 12.

熱処理装置１によって熱処理される複数の被処理物２００は、より均一な処理を施されるために、可能な限り均一に熱風を受けることが好ましい。このための構成について、より具体的に説明する。以下では、整流室４から処理室５に送られる熱風の分布を調整するための構成について説明する。 The plurality of objects 200 to be heat-treated by the heat treatment apparatus 1 are preferably subjected to hot air as uniformly as possible in order to perform more uniform treatment. The configuration for this will be described more specifically. Hereinafter, a configuration for adjusting the distribution of hot air sent from the rectifying chamber 4 to the processing chamber 5 will be described.

操作室１０は、整流室４から処理室５に送られる熱風の分布を作業員が調整する際に、当該作業員が作業を行う場所として設けられている。操作室１０は、筐体２の整流室４に隣接して配置されている。なお、本実施形態では、操作室１０は、筐体２の外部に配置されているけれども、筐体２の内部に配置されていてもよい。 The operation chamber 10 is provided as a place where the worker performs work when the worker adjusts the distribution of hot air sent from the rectifying chamber 4 to the processing chamber 5. The operation chamber 10 is disposed adjacent to the rectifying chamber 4 of the housing 2. In the present embodiment, the operation chamber 10 is disposed outside the housing 2, but may be disposed inside the housing 2.

図２は、熱処理装置１の主要部の平面図であり、一部を切断した状態で示している。図１および図２を参照して、操作室１０は、４つの側壁２３，２５〜２７と、ドア２８とを有している。すなわち、本実施形態では、側壁２３は、整流室４の一要素であり、かつ、操作室１０の一要素である。 FIG. 2 is a plan view of the main part of the heat treatment apparatus 1 and shows a state in which a part thereof is cut. With reference to FIGS. 1 and 2, the operation chamber 10 has four side walls 23, 25 to 27 and a door 28. That is, in this embodiment, the side wall 23 is an element of the rectifying chamber 4 and an element of the operation chamber 10.

これら４つの側壁２３，２５〜２７は、平面視において全体として矩形状に配置されている。たとえば、側壁２５にドア２８が取り付けられている。作業員は、このドア２８を通して、操作室１０に出入りすることができる。 These four side walls 23 and 25 to 27 are arranged in a rectangular shape as a whole in plan view. For example, a door 28 is attached to the side wall 25. An operator can enter and exit the operation room 10 through the door 28.

操作室１０と整流室４との間には、気密シール構造が採用されている。具体的には、本実施形態では、側壁２１と側壁２５との接続部にシール部材２９が配置されている。また、側壁２２と側壁２７との接続部にシール部材３０が配置されている。 An airtight seal structure is adopted between the operation chamber 10 and the rectifying chamber 4. Specifically, in the present embodiment, a seal member 29 is disposed at a connection portion between the side wall 21 and the side wall 25. In addition, a seal member 30 is disposed at a connection portion between the side wall 22 and the side wall 27.

シール部材２９，３０は、たとえば、シリコンゴム製であり、対応する側壁２１，２５；２２，２７間を気密的にシールしている。この構成により、熱処理装置１における熱処理動作時であっても、整流室４を通過する熱風は、操作室１０には入らない。したがって、上記の熱処理動作時であっても、操作室１０は常温に近い状態を維持され、操作室１０への作業員の入室が可能である。また、筐体２の外部の大気中の酸素が筐体２の内部に侵入することも抑制されており、これにより、処理室５内への酸素の侵入が抑制されている。 The sealing members 29 and 30 are made of, for example, silicon rubber, and hermetically seal between the corresponding side walls 21 and 25; 22 and 27. With this configuration, hot air passing through the rectifying chamber 4 does not enter the operation chamber 10 even during the heat treatment operation in the heat treatment apparatus 1. Therefore, even during the above heat treatment operation, the operation room 10 is maintained at a state close to normal temperature, and an operator can enter the operation room 10. In addition, oxygen in the atmosphere outside the housing 2 is also prevented from entering the inside of the housing 2, thereby suppressing oxygen from entering the processing chamber 5.

また、整流室４から処理室５へ向かう方向と、整流室４から操作室１０へ向かう方向とが異なっている。より具体的には、整流室４から処理室５へ向かう方向は、第２進行方向Ｄ２である。一方、整流室４から操作室１０へ向かう方向は、平面視において、第２進行方向Ｄ２と交差（直交）している。また、整流室４は、操作室１０に隣接して配置され、かつ、処理室５に隣接して配置されている。本実施形態では、整流室４は、操作室１０と１つの側壁（側壁２３）を共用している。また、整流室４は、処理室５と１つの側壁（側壁２２）を共用している。 Further, the direction from the rectifying chamber 4 to the processing chamber 5 is different from the direction from the rectifying chamber 4 to the operation chamber 10. More specifically, the direction from the rectifying chamber 4 to the processing chamber 5 is the second traveling direction D2. On the other hand, the direction from the rectifying chamber 4 to the operation chamber 10 intersects (orthogonally) the second traveling direction D2 in plan view. The rectifying chamber 4 is disposed adjacent to the operation chamber 10 and is disposed adjacent to the processing chamber 5. In the present embodiment, the rectifying chamber 4 shares one side wall (side wall 23) with the operation chamber 10. Further, the rectifying chamber 4 shares one side wall (side wall 22) with the processing chamber 5.

操作室１０において、作業員は、操作装置９を操作することにより、シャッタ部材８を操作することができる。これにより、シャッタ部材８を用いた、気流Ａ１の分布の調整が可能である。 In the operation room 10, an operator can operate the shutter member 8 by operating the operation device 9. Thereby, the distribution of the airflow A1 using the shutter member 8 can be adjusted.

図３は、整流室４の内部を第２進行方向Ｄ２の上流側から見た状態を示す図であり、一部を断面で示している。図１〜図３を参照して、シャッタ部材８は、前述したように、通路１５から処理室５へ向かう気流Ａ１の分布を調整するために設けられている。この場合の「気流Ａ１の分布」とは、第２進行方向Ｄ２と直交する方向における気流Ａ１の分布をいう。 FIG. 3 is a diagram showing a state in which the inside of the rectifying chamber 4 is viewed from the upstream side in the second traveling direction D2, and a part thereof is shown in cross section. 1 to 3, the shutter member 8 is provided to adjust the distribution of the airflow A 1 from the passage 15 toward the processing chamber 5 as described above. The “distribution of the airflow A1” in this case refers to the distribution of the airflow A1 in the direction orthogonal to the second traveling direction D2.

シャッタ部材８（８１〜８６）は、処理室５へ向けて通路１５を通過する気流Ａ１を調整するために設けられている。具体的には、シャッタ部材８（８１〜８６）は、側壁２２に形成された複数のノズル孔３１〜３６を開閉することで、通路１５を塞ぐ割合を調整する。シャッタ部材８の詳細な説明に先立ち、ノズル孔３１〜３６の構成を説明する。 The shutter member 8 (81 to 86) is provided to adjust the airflow A1 passing through the passage 15 toward the processing chamber 5. Specifically, the shutter member 8 (81 to 86) adjusts the ratio of closing the passage 15 by opening and closing the plurality of nozzle holes 31 to 36 formed in the side wall 22. Prior to detailed description of the shutter member 8, the configuration of the nozzle holes 31 to 36 will be described.

ノズル孔３１〜３６は、通路１５を通った気流Ａ１を処理室５へ吹き出すために設けられている。ノズル孔３１〜３６は、本発明の「処理室の出口」の一例である。ノズル孔３１〜３６は、複数（本実施形態では、３×６＝１８個）設けられている。各ノズル孔３１〜３６は、側壁２２を貫通しており、本実施形態では、矩形状に形成されている。各ノズル孔３１〜３６の大きさは同じである。ノズル孔３１〜３６は、側壁２２において規則的に配置されている。 The nozzle holes 31 to 36 are provided to blow out the airflow A1 that has passed through the passage 15 to the processing chamber 5. The nozzle holes 31 to 36 are an example of the “processing chamber outlet” in the present invention. A plurality of nozzle holes 31 to 36 (3 × 6 = 18 in this embodiment) are provided. Each nozzle hole 31-36 has penetrated the side wall 22, and is formed in the rectangular shape in this embodiment. The sizes of the nozzle holes 31 to 36 are the same. The nozzle holes 31 to 36 are regularly arranged on the side wall 22.

ノズル孔３１は、側壁２２の右上部に３つ形成されており、これら３つのノズル孔３１が左右方向に等間隔に並んでいる。ノズル孔３２は、側壁２２の左上部に３つ形成されており、これら３つのノズル孔３２が左右方向に等間隔に並んでいる。 Three nozzle holes 31 are formed in the upper right part of the side wall 22, and these three nozzle holes 31 are arranged at equal intervals in the left-right direction. Three nozzle holes 32 are formed in the upper left part of the side wall 22, and these three nozzle holes 32 are arranged at equal intervals in the left-right direction.

ノズル孔３３は、上下方向における側壁２２の中央部において、側壁２２の右寄りに３つ形成されており、これら３つのノズル孔３３が左右方向に等間隔に並んでいる。ノズル孔３４は、上下方向における側壁２２の中央部において、側壁２２の左寄りに３つ形成されており、これら３つのノズル孔３４が左右方向に等間隔に並んでいる。 Three nozzle holes 33 are formed on the right side of the side wall 22 at the center of the side wall 22 in the vertical direction, and these three nozzle holes 33 are arranged at equal intervals in the left-right direction. Three nozzle holes 34 are formed on the left side of the side wall 22 at the center of the side wall 22 in the vertical direction, and these three nozzle holes 34 are arranged at equal intervals in the left-right direction.

ノズル孔３５は、側壁２２の右下部に３つ形成されており、これら３つのノズル孔３５が左右方向に等間隔に並んでいる。ノズル孔３６は、側壁２２の左下部に３つ形成されており、これら３つのノズル孔３６が左右方向に等間隔に並んでいる。 Three nozzle holes 35 are formed in the lower right portion of the side wall 22, and these three nozzle holes 35 are arranged at equal intervals in the left-right direction. Three nozzle holes 36 are formed in the lower left part of the side wall 22, and these three nozzle holes 36 are arranged at equal intervals in the left-right direction.

複数の上記ノズル孔３１〜３６のそれぞれに対応して、複数のシャッタ部材８（８１〜８６）が配置されている。シャッタ部材８１〜８６は、それぞれ、対応するノズル孔３１〜３６に隣接して配置されている。すなわち、シャッタ部材８１〜８６は、整流室４の出口に配置されている。各シャッタ部材８は、たとえば、金属板を用いて矩形状に形成されており、整流室４において、側壁２２の側面と平行に配置されている。各シャッタ部材８は、側壁２２の側面に接触するように配置されている。 A plurality of shutter members 8 (81 to 86) are arranged corresponding to the plurality of nozzle holes 31 to 36, respectively. The shutter members 81 to 86 are disposed adjacent to the corresponding nozzle holes 31 to 36, respectively. That is, the shutter members 81 to 86 are arranged at the outlet of the rectifying chamber 4. Each shutter member 8 is formed in a rectangular shape using, for example, a metal plate, and is arranged in parallel with the side surface of the side wall 22 in the rectifying chamber 4. Each shutter member 8 is disposed so as to contact the side surface of the side wall 22.

シャッタ部材８（８１〜８６）は、開口部８ａ（８１ａ〜８６ａ）と、スライド用孔部８ｂ（８１ｂ〜８６ｂ）とを有している。 The shutter member 8 (81-86) has an opening 8a (81a-86a) and a slide hole 8b (81b-86b).

開口部８１ａ〜８６ａは、対応するノズル孔３１〜３６に熱風を通過させるために設けられている。開口部８１ａ〜８６ａは、対応するシャッタ部材８１〜８６において、対応するノズル孔３１〜３６の数と同じ数設けられている。すなわち、本実施形態では、シャッタ部材８１〜８６のそれぞれにおいて、３つの開口部８１ａ〜８６ａが設けられている。本実施形態では、開口部８１ａ〜８６ａの形状は、それぞれ、対応するノズル孔３１〜３６の大きさと略同一である。 The openings 81a to 86a are provided to allow hot air to pass through the corresponding nozzle holes 31 to 36. The openings 81 a to 86 a are provided in the same number as the corresponding nozzle holes 31 to 36 in the corresponding shutter members 81 to 86. That is, in this embodiment, three openings 81a to 86a are provided in each of the shutter members 81 to 86. In the present embodiment, the shapes of the openings 81a to 86a are substantially the same as the sizes of the corresponding nozzle holes 31 to 36, respectively.

シャッタ部材８１〜８６のそれぞれにおいて、開口部８１ａ〜８６ａの左右方向の配置ピッチは、対応するノズル孔３１〜３６の左右方向の配置ピッチと同じである。 In each of the shutter members 81 to 86, the arrangement pitch in the left-right direction of the openings 81a to 86a is the same as the arrangement pitch in the left-right direction of the corresponding nozzle holes 31 to 36.

スライド用孔部８１ｂ〜８６ｂは、それぞれ、対応するシャッタ部材８１〜８６の変位を案内するために設けられている。スライド用孔部８１ｂ〜８６ｂは、それぞれ、対応するシャッタ部材８１〜８６のたとえば四隅に設けられている。本実施形態では、各スライド用孔部８１ｂ〜８６ｂは、左右方向に延びる細長い形状に形成されている。スライド用孔部８１ｂ〜８６ｂには、それぞれ、対応するガイドピン４１〜４６が貫通されている。 The slide holes 81b to 86b are provided to guide the displacement of the corresponding shutter members 81 to 86, respectively. The slide holes 81b to 86b are provided at, for example, the four corners of the corresponding shutter members 81 to 86, respectively. In the present embodiment, each of the slide holes 81b to 86b is formed in an elongated shape extending in the left-right direction. Corresponding guide pins 41 to 46 are respectively passed through the slide holes 81b to 86b.

各ガイドピン４１〜４６は、側壁２２に固定されている。上記の構成により、シャッタ部材８１〜８６は、対応するガイドピン４１〜４６に支持されており、かつ、左右方向にスライド可能である。そして、各シャッタ部材８１〜８６は、左右方向に変位することで、対応するノズル孔３１〜３６を塞ぐ状態と、対応するノズル孔３１〜３６の少なくとも一部を開放する状態とを実現できる。このように、シャッタ部材８１〜８６によって、通路１５（ノズル孔３１〜３６）を塞ぐ割合を調整可能であり、通路１５を通過する気流Ａ１の分布を調整可能である。 Each guide pin 41 to 46 is fixed to the side wall 22. With the above configuration, the shutter members 81 to 86 are supported by the corresponding guide pins 41 to 46 and can slide in the left-right direction. And each shutter member 81-86 can implement | achieve the state which block | closes corresponding nozzle hole 31-36, and the state which open | releases at least one part of corresponding nozzle hole 31-36 by displacing in the left-right direction. In this way, the ratio of closing the passage 15 (nozzle holes 31 to 36) can be adjusted by the shutter members 81 to 86, and the distribution of the airflow A1 passing through the passage 15 can be adjusted.

図３では、シャッタ部材８１，８２，８５，８６のそれぞれが、対応するノズル孔３１，３２，３５，３６を通路１５に開放している状態を示している。また、図３では、シャッタ部材８３，８４のそれぞれが、対応するノズル孔３３，３４を塞いでいる状態を示している。これらのシャッタ部材８１〜８６は、操作装置９（９１〜９３）によって操作される。 FIG. 3 shows a state in which each of the shutter members 81, 82, 85, 86 opens the corresponding nozzle holes 31, 32, 35, 36 to the passage 15. FIG. 3 shows a state where the shutter members 83 and 84 block the corresponding nozzle holes 33 and 34, respectively. These shutter members 81-86 are operated by the operating device 9 (91-93).

操作装置９１〜９３は、対応するシャッタ部材８１，８２；８３，８４；８５，８６を通路１５の外部から操作するために設けられている。本実施形態では、各操作装置９１〜９３は、金属などの耐熱性に優れた材料を用いており、単一部材として設けられている。なお、各操作装置９１〜９３は、複数の部材を組み合わせて形成されていてもよい。 The operation devices 91 to 93 are provided for operating the corresponding shutter members 81, 82; 83, 84; 85, 86 from the outside of the passage 15. In this embodiment, each operation device 91 to 93 uses a material having excellent heat resistance such as metal and is provided as a single member. In addition, each operating device 91 to 93 may be formed by combining a plurality of members.

操作装置９１は、左右方向に並ぶ２つのシャッタ部材８１，８２を一括して変位させるために設けられている。 The operating device 91 is provided to collectively displace two shutter members 81 and 82 arranged in the left-right direction.

操作装置９１は、主体部９１ａと、操作部９１ｂと、２つの連結部９１ｃ，９１ｄと、を有している。 The operating device 91 includes a main body portion 91a, an operating portion 91b, and two connecting portions 91c and 91d.

主体部９１ａは、左右方向に延びる部材として設けられている。本実施形態では、主体部９１ａは、丸軸状に形成されている。主体部９１ａは、操作室１０（整流室４）の側壁２３を貫通している。主体部９１ａは、ブッシュ５１を介して側壁２３に支持されている。ブッシュ５１は、たとえば、ＰＴＦＥ（PolyTetraFluoroEthylene）などを材料とする円環状の部材であり、摩擦係数が比較的小さい。主体部９１ａは、ブッシュ５１によって、左右方向にスライド可能に支持されている。また、ブッシュ５１が設けられていることにより、通路１５から操作室１０内への熱風の侵入が抑制されている。主体部９１ａの一端部に操作部９１ｂが設けられている。 The main body portion 91a is provided as a member extending in the left-right direction. In the present embodiment, the main body portion 91a is formed in a round shaft shape. The main body 91a penetrates the side wall 23 of the operation chamber 10 (rectifying chamber 4). The main body portion 91 a is supported on the side wall 23 via the bush 51. The bush 51 is an annular member made of, for example, PTFE (PolyTetraFluoroEthylene) and has a relatively small friction coefficient. The main body 91a is supported by the bush 51 so as to be slidable in the left-right direction. In addition, the provision of the bush 51 suppresses the entry of hot air from the passage 15 into the operation chamber 10. An operation unit 91b is provided at one end of the main body 91a.

操作部９１ｂは、作業員が操作装置９１を操作する際に把持されるグリップ部として設けられており、連結部９１ｃ，９１ｄと連動して変位可能である。本実施形態では、操作部９１ｂは、主体部９１ａと一体に形成された棒状部分であり、通路１５の外部である操作室１０に配置されている。なお、操作部９１ｂの材料の熱伝導率は、主体部９１ａの熱伝導率よりも低く設定されていることが好ましい。作業員から操作部９１ｂに与えられた力は、主体部９１ａを介して連結部９１ｃ，９１ｄに伝わる。 The operation portion 91b is provided as a grip portion that is gripped when an operator operates the operation device 91, and can be displaced in conjunction with the connecting portions 91c and 91d. In the present embodiment, the operation portion 91 b is a rod-like portion formed integrally with the main portion 91 a and is disposed in the operation chamber 10 that is outside the passage 15. In addition, it is preferable that the heat conductivity of the material of the operation part 91b is set lower than the heat conductivity of the main part 91a. The force given to the operation part 91b from the worker is transmitted to the connecting parts 91c and 91d via the main part 91a.

連結部９１ｃ，９１ｄは、対応するシャッタ部材８１，８２に連結される部分として設けられている。連結部９１ｃ，９１ｄは、通路１５内に配置されている。連結部９１ｃ，９１ｄは、たとえば、丸軸状に形成されている。連結部９１ｃ，９１ｄは、主体部８１ａから対応するシャッタ部材８１，８２に延びており、対応するシャッタ部材８１，８２のたとえば下部に固定されている。 The connecting portions 91c and 91d are provided as portions connected to the corresponding shutter members 81 and 82. The connecting portions 91 c and 91 d are disposed in the passage 15. The connecting portions 91c and 91d are formed in a round shaft shape, for example. The connecting portions 91c and 91d extend from the main body portion 81a to the corresponding shutter members 81 and 82, and are fixed to, for example, the lower portions of the corresponding shutter members 81 and 82.

上記の構成により、作業員が操作部９１ｂを把持して操作部９１ｂを左右方向に変位させると、この変位は、主体部９１ａを介して対応する連結部９１ｃ，９１ｄおよびシャッタ部材８１，８２に伝わる。その結果、シャッタ部材８１，８２の位置が変更され、ノズル孔３１，３２の開度が調整される。 With the above configuration, when an operator grips the operation unit 91b and displaces the operation unit 91b in the left-right direction, this displacement is applied to the corresponding connecting units 91c and 91d and the shutter members 81 and 82 via the main body 91a. It is transmitted. As a result, the positions of the shutter members 81 and 82 are changed, and the opening degrees of the nozzle holes 31 and 32 are adjusted.

次に、操作装置９２について説明する。操作装置９２は、操作装置９１と同様の構成であるので、操作装置９１と重複する説明については、一部省略する。 Next, the operation device 92 will be described. Since the operation device 92 has the same configuration as the operation device 91, a part of the description overlapping with the operation device 91 is omitted.

操作装置９２は、左右方向に並ぶ２つのシャッタ部材８３，８４を一括して変位させるために設けられている。 The operating device 92 is provided to collectively displace two shutter members 83 and 84 arranged in the left-right direction.

操作装置９２は、主体部９２ａと、操作部９２ｂと、２つの連結部９２ｃ，９２ｄと、を有している。 The operating device 92 includes a main body portion 92a, an operating portion 92b, and two connecting portions 92c and 92d.

これら主体部９２ａ、操作部９２ｂ、および２つの連結部９２ｃ，９２ｄは、それぞれ、対応する主体部９１ａ、操作部９１ｂ、および２つの連結部９１ｃ，９１ｄと同様の構成を有している。また、操作装置９２は、操作装置９１と同様に配置されている。ただし、操作装置９２は、操作装置９１の下方に位置している。 The main body portion 92a, the operation portion 92b, and the two connection portions 92c and 92d have the same configuration as the corresponding main body portion 91a, operation portion 91b, and the two connection portions 91c and 91d, respectively. The operation device 92 is arranged in the same manner as the operation device 91. However, the operating device 92 is located below the operating device 91.

主体部９２ａは、操作室１０（整流室４）の側壁２３を貫通している。主体部９２ａは、ブッシュ５２を介して側壁２２に支持されている。ブッシュ５２は、ブッシュ５１と同様の構成を有している。主体部９２ａは、ブッシュ５２によって、左右方向にスライド可能に支持されている。また、ブッシュ５２が設けられていることにより、通路１５から操作室１０内への熱風の侵入が抑制されている。 The main body 92a penetrates the side wall 23 of the operation chamber 10 (rectifying chamber 4). The main body 92 a is supported by the side wall 22 via the bush 52. The bush 52 has the same configuration as the bush 51. The main body 92a is supported by the bush 52 so as to be slidable in the left-right direction. In addition, the provision of the bushing 52 suppresses the entry of hot air from the passage 15 into the operation chamber 10.

連結部９２ｃ，９２ｄは、対応するシャッタ部材８３，８４に連結される部分として設けられている。連結部９２ｃ，９２ｄは、主体部９２ａから対応するシャッタ部材８３，８４に延びており、対応するシャッタ部材８３，８４のたとえば下部に固定されている。 The connecting portions 92c and 92d are provided as portions connected to the corresponding shutter members 83 and 84. The connecting portions 92c and 92d extend from the main body portion 92a to the corresponding shutter members 83 and 84, and are fixed to, for example, the lower portions of the corresponding shutter members 83 and 84.

上記の構成により、作業員が操作部９２ｂを把持して操作部９２ｂを左右方向に変位させると、この変位は、主体部９２ａを介して対応する連結部９２ｃ，９２ｄおよびシャッタ部材８３，８４に伝わる。その結果、シャッタ部材８３，８４の位置が変更され、ノズル孔３３，３４との開度が調整される。 With the above configuration, when an operator grips the operation unit 92b and displaces the operation unit 92b in the left-right direction, this displacement is applied to the corresponding connecting units 92c and 92d and the shutter members 83 and 84 via the main body 92a. It is transmitted. As a result, the positions of the shutter members 83 and 84 are changed, and the opening degree with the nozzle holes 33 and 34 is adjusted.

次に、操作装置９３について説明する。操作装置９３は、操作装置９１と同様の構成であるので、操作装置９１と重複する説明については、一部省略する。 Next, the operating device 93 will be described. Since the operation device 93 has the same configuration as the operation device 91, a part of the description overlapping with the operation device 91 is omitted.

操作装置９３は、左右方向に並ぶ２つのシャッタ部材８５，８６を一括して変位させるために設けられている。 The operating device 93 is provided to collectively displace two shutter members 85 and 86 arranged in the left-right direction.

操作装置９３は、主体部９３ａと、操作部９３ｂと、２つの連結部９３ｃ，９３ｄと、を有している。 The operating device 93 includes a main body portion 93a, an operating portion 93b, and two connecting portions 93c and 93d.

これら主体部９３ａ、操作部９３ｂ、および２つの連結部９３ｃ，９３ｄは、それぞれ、対応する主体部９１ａ、操作部９１ｂ、および２つの連結部９１ｃ，９１ｄと同様の構成を有している。また、操作装置９３は、操作装置９１と同様に配置されている。ただし、操作装置９３は、操作装置９２の下方に位置している。 The main body portion 93a, the operation portion 93b, and the two connection portions 93c and 93d have the same configuration as the corresponding main body portion 91a, operation portion 91b, and the two connection portions 91c and 91d, respectively. The operation device 93 is arranged in the same manner as the operation device 91. However, the operating device 93 is located below the operating device 92.

主体部９３ａは、操作室１０（整流室４）の側壁２３を貫通している。主体部９３ａは、ブッシュ５３を介して側壁２３に支持されている。ブッシュ５３は、ブッシュ５１と同様の構成を有している。主体部９３ａは、ブッシュ５３によって、左右方向にスライド可能に支持されている。また、ブッシュ５３が設けられていることにより、通路１５から操作室１０内への熱風の侵入が抑制されている。 The main part 93a penetrates the side wall 23 of the operation chamber 10 (rectifying chamber 4). The main body 93 a is supported by the side wall 23 via the bush 53. The bush 53 has the same configuration as the bush 51. The main body 93a is supported by the bush 53 so as to be slidable in the left-right direction. In addition, the provision of the bush 53 suppresses the entry of hot air from the passage 15 into the operation chamber 10.

連結部９３ｃ，９３ｄは、対応するシャッタ部材８５，８６に連結される部分として設けられている。連結部９３ｃ，９３ｄは、主体部９３ａから対応するシャッタ部材８５，８６に延びており、対応するシャッタ部材８５，８６のたとえば下部に固定されている。 The connecting portions 93c and 93d are provided as portions connected to the corresponding shutter members 85 and 86. The connecting portions 93c and 93d extend from the main body portion 93a to the corresponding shutter members 85 and 86, and are fixed to, for example, the lower portions of the corresponding shutter members 85 and 86.

上記の構成により、作業員が操作部９３ｂを把持して操作部９３ｂを左右方向に変位させると、この変位は、主体部９３ａを介して対応する連結部９３ｃ，９３ｄおよびシャッタ部材８５，８６に伝わる。その結果、シャッタ部材８５，８６の位置が変更され、ノズル孔３５，３６の開度が調整される。 With the above configuration, when the operator grips the operation portion 93b and displaces the operation portion 93b in the left-right direction, this displacement is applied to the corresponding connecting portions 93c and 93d and the shutter members 85 and 86 via the main body portion 93a. It is transmitted. As a result, the positions of the shutter members 85 and 86 are changed, and the opening degrees of the nozzle holes 35 and 36 are adjusted.

以上説明したように、本発明の熱処理装置１によると、シャッタ部材８が設けられていることにより、処理室５内に配置された被処理物２００に供給される気流Ａ１の分布を調整することができる。これにより、第２進行方向Ｄ２に沿って見て、処理室５における気流Ａ１の分布をより均等にできるので、被処理物２００に、より均等に熱風を供給することができる。また、操作装置９が設けられていることにより、シャッタ部材８は、通路１５の外部の操作室１０から操作され得る。このため、作業員は、熱処理装置１の運転中であっても、高温の通路１５内へ入ることなく、シャッタ部材８を操作できる。よって、熱処理装置１を停止することなく、気流Ａ１の分布を調整できる。これにより、高温の気流Ａ１をより容易に調整できる。 As described above, according to the heat treatment apparatus 1 of the present invention, by providing the shutter member 8, the distribution of the air flow A 1 supplied to the workpiece 200 disposed in the processing chamber 5 is adjusted. Can do. Thereby, since the distribution of the air flow A1 in the processing chamber 5 can be made more uniform as viewed along the second traveling direction D2, hot air can be supplied to the workpiece 200 more evenly. Further, since the operation device 9 is provided, the shutter member 8 can be operated from the operation chamber 10 outside the passage 15. For this reason, the worker can operate the shutter member 8 without entering the high-temperature passage 15 even during the operation of the heat treatment apparatus 1. Therefore, the distribution of the airflow A1 can be adjusted without stopping the heat treatment apparatus 1. Thereby, the high temperature airflow A1 can be adjusted more easily.

より詳細には、シャッタ部材８の位置調整の際に、ヒータ１２の停止および通路１５の冷却を待つことなく、作業員によるシャッタ部材８の位置調整を行うことができる。したがって、シャッタ部材８の位置調整のために熱処理装置１を停止する必要がなく、シャッタ部材８の位置調整作業を、迅速に、かつ、気流Ａ１を生じさせたままの状態で行うことができる。 More specifically, when adjusting the position of the shutter member 8, the operator can adjust the position of the shutter member 8 without waiting for the heater 12 to stop and the passage 15 to cool down. Therefore, it is not necessary to stop the heat treatment apparatus 1 for adjusting the position of the shutter member 8, and the position adjusting operation of the shutter member 8 can be performed quickly and with the airflow A1 generated.

また、熱処理装置１によると、操作装置９１〜９３のそれぞれにおいて、操作部９１ｂ，９２ｂ，９３ｂが操作されることで対応する連結部９１ｃ，９１ｄ；９２ｃ，９２ｄ；９３ｃ，９３ｄが動作され、その結果、対応するシャッタ部材８１，８２；８３，８４；８５，８６が変位する。これにより、シャッタ部材８を用いた気流Ａ１の調整を容易に行うことができる。このように、操作装置９を用いてシャッタ部材８を変位させることで、処理室５に向かう気流Ａ１の分布を調整できる。 Further, according to the heat treatment apparatus 1, in each of the operation devices 91 to 93, the operation portions 91b, 92b, and 93b are operated to operate the corresponding connection portions 91c, 91d; 92c, 92d; 93c, and 93d. As a result, the corresponding shutter members 81, 82; 83, 84; 85, 86 are displaced. Thereby, adjustment of airflow A1 using shutter member 8 can be performed easily. In this way, by displacing the shutter member 8 using the operating device 9, the distribution of the airflow A1 toward the processing chamber 5 can be adjusted.

また、ノズル孔３１〜３６およびシャッタ部材８１〜８６は、側壁２２における複数の領域に分散して配置されている。これにより、シャッタ部材８１，８２の位置と、シャッタ部材８３，８４の位置と、シャッタ部材８５，８６の位置を個別に調整することで、第２進行方向Ｄ２から見た処理室５の各領域への熱風の供給量を、より均一に設定することができる。 Further, the nozzle holes 31 to 36 and the shutter members 81 to 86 are arranged in a plurality of regions in the side wall 22. Thereby, each area | region of the process chamber 5 seen from the 2nd advancing direction D2 by adjusting the position of the shutter members 81 and 82, the position of the shutter members 83 and 84, and the position of the shutter members 85 and 86 separately. The amount of hot air supplied to can be set more uniformly.

また、熱処理装置１によると、整流室４は、操作室１０に隣接して配置され、かつ、処理室５に隣接して配置されている。この構成によると、整流室４、操作室１０、および、処理室５をコンパクトに配置できる。よって、熱処理装置１の全体をコンパクトにすることができる。 Further, according to the heat treatment apparatus 1, the rectifying chamber 4 is disposed adjacent to the operation chamber 10 and is disposed adjacent to the processing chamber 5. According to this configuration, the rectifying chamber 4, the operation chamber 10, and the processing chamber 5 can be arranged in a compact manner. Therefore, the whole heat processing apparatus 1 can be made compact.

また、熱処理装置１によると、整流室４から処理室５へ向かう方向と、整流室４から操作室１０へ向かう方向とが異なっている。この構成によると、整流室４において処理室５へ向かう高温の気流Ａ１から操作室１０への伝熱量を、小さくできる。よって、操作室１０が高温になることを抑制できる。 Further, according to the heat treatment apparatus 1, the direction from the rectifying chamber 4 to the processing chamber 5 is different from the direction from the rectifying chamber 4 to the operation chamber 10. According to this configuration, the amount of heat transfer from the high-temperature airflow A1 toward the processing chamber 5 to the operation chamber 10 in the rectifying chamber 4 can be reduced. Therefore, it can suppress that the operation room 10 becomes high temperature.

また、熱処理装置１によると、整流室４の出口としてのノズル孔３１〜３６に、シャッタ部材８が配置されている。この構成によると、処理室５へ向かう気流Ａ１を、より確実に所望の流れとなるように調整できる。 Further, according to the heat treatment apparatus 1, the shutter member 8 is disposed in the nozzle holes 31 to 36 as the outlets of the rectifying chamber 4. According to this configuration, it is possible to adjust the airflow A1 toward the processing chamber 5 so as to obtain a desired flow more reliably.

また、熱処理装置１によると、ヒータ１２を通過した気体は、熱風発生装置３から、通路１５における気流Ａ１の第２進行方向Ｄ２に対して交差する第１進行方向Ｄ１を向いて通路１５に導入される。この構成によると、通路１５を通過する気流Ａ１を発生させるためのファン１３などの部材を、通路１５における気流Ａ１の第２進行方向Ｄ２と交差する第１進行方向Ｄ１に沿って配置することができる。これにより、ファン１３などの部材を、通路１５における気流Ａ１の第２進行方向Ｄ２に沿って配置する必要が無く、熱処理装置１におけるファン１３などの部材のレイアウトの自由度をより高くできる。本実施形態では、ファン１３が通路１５の上方に配置されている。その結果、熱処理装置１を水平方向に大型化しなくてよく、熱処理装置１のさらなる小型化を実現できる。 Further, according to the heat treatment apparatus 1, the gas that has passed through the heater 12 is introduced from the hot air generator 3 into the passage 15 in the first traveling direction D 1 that intersects the second traveling direction D 2 of the airflow A 1 in the passage 15. Is done. According to this configuration, the member such as the fan 13 for generating the airflow A1 passing through the passage 15 can be disposed along the first traveling direction D1 that intersects the second traveling direction D2 of the airflow A1 in the passage 15. it can. Thereby, it is not necessary to arrange members such as the fan 13 along the second traveling direction D2 of the airflow A1 in the passage 15, and the degree of freedom of layout of the members such as the fan 13 in the heat treatment apparatus 1 can be further increased. In the present embodiment, the fan 13 is disposed above the passage 15. As a result, it is not necessary to enlarge the heat treatment apparatus 1 in the horizontal direction, and further downsizing of the heat treatment apparatus 1 can be realized.

［第２実施形態］
図４は、本発明の第２実施形態にかかる熱処理装置１Ａの主要部の模式的な平面図であり、一部を断面で示している。図５および図６は、熱処理装置１Ａの内部のルーバー１００の周辺の側面図であり、一部を断面で示している。図４〜図６を参照して、熱処理装置１Ａは、熱処理装置１の構成に加えて、ルーバー１００と、ルーバー１００を操作するための第２操作装置１１０と、をさらに備えている。 [Second Embodiment]
FIG. 4 is a schematic plan view of a main part of the heat treatment apparatus 1A according to the second embodiment of the present invention, and a part thereof is shown in cross section. 5 and 6 are side views of the periphery of the louver 100 inside the heat treatment apparatus 1A, and a part thereof is shown in cross section. 4 to 6, the heat treatment apparatus 1 A further includes a louver 100 and a second operating device 110 for operating the louver 100 in addition to the configuration of the heat treatment apparatus 1.

ルーバー１００は、整流室４の通路１５を通過する熱風の分布を調整するために設けられている。より具体的には、ルーバー１００は、通路１５における気流Ａ１の左右方向の向きを調整するために設けられている。 The louver 100 is provided to adjust the distribution of hot air passing through the passage 15 of the rectifying chamber 4. More specifically, the louver 100 is provided to adjust the horizontal direction of the airflow A1 in the passage 15.

ルーバー１００（１０１，１０２）は、本実施形態では、複数（２つ）設けられており、通路１５内に配置されている。第２進行方向Ｄ２に沿って、ルーバー１００、シャッタ部材８の順にこれらルーバー１００およびシャッタ部材８が配置されている。ルーバー１００は、上下に延びる部材として設けられている。ルーバー１０１，１０２は、左右方向に離隔して配置されている。ルーバー１０１は、たとえば、シャッタ部材８１と前後方向に並んでいる。また、ルーバー１０２は、たとえば、シャッタ部材８２と前後方向に並んでいる。 In the present embodiment, a plurality (two) of louvers 100 (101, 102) are provided and arranged in the passage 15. The louver 100 and the shutter member 8 are arranged in the order of the louver 100 and the shutter member 8 along the second traveling direction D2. Louver 100 is provided as a member extending vertically. Louvers 101 and 102 are spaced apart in the left-right direction. For example, the louver 101 is aligned with the shutter member 81 in the front-rear direction. In addition, the louver 102 is aligned with the shutter member 82 in the front-rear direction, for example.

ルーバー１００（１０１，１０２）は、上下方向（鉛直方向）に延びる軸線回りを揺動可能に構成されており、矢印Ｃ１，Ｃ２方向に揺動可能である。 The louver 100 (101, 102) is configured to be swingable about an axis extending in the vertical direction (vertical direction), and can swing in the directions of arrows C1, C2.

ルーバー１０１は、軸部１０１ａと、枠１０１ｂ，１０１ｃと、ルーバー本体１０１ｄ，１０１ｅと、を有している。 The louver 101 includes a shaft portion 101a, frames 101b and 101c, and louver bodies 101d and 101e.

軸部１０１ａは、上下方向に延びている。本実施形態では、軸部１０１ａは、３つの棒状部材によって形成されている。軸部１０１ａの下端部は、整流室４の底壁に回転可能に支持されている。より具体的には、底壁には、凹部１１１ｅが形成されており、この凹部１１１ｅに軸部１０１ａの下端部が嵌め込まれている。また、軸部１０１ａの上端部は、たとえば側壁２４から延びるステー５５に回転可能に支持されている。より具体的には、ステー５５は、たとえば、細長い板状に形成されており、このステー５５の下面に凹部１１１ｅが形成されている。この凹部１１１ｅに軸部１０１ａの上端部が嵌め込まれている。軸部１０１ａは、枠１０１ｂ，１０１ｃを支持している。 The shaft portion 101a extends in the vertical direction. In the present embodiment, the shaft portion 101a is formed by three rod-shaped members. A lower end portion of the shaft portion 101 a is rotatably supported on the bottom wall of the rectifying chamber 4. More specifically, a recess 111e is formed in the bottom wall, and the lower end portion of the shaft portion 101a is fitted into the recess 111e. Moreover, the upper end part of the axial part 101a is rotatably supported by the stay 55 extended from the side wall 24, for example. More specifically, the stay 55 is formed in, for example, an elongated plate shape, and a recess 111e is formed on the lower surface of the stay 55. The upper end portion of the shaft portion 101a is fitted into the recess 111e. The shaft portion 101a supports the frames 101b and 101c.

枠１０１ｂ，１０１ｃは、それぞれ、対応するルーバー本体１０１ｄ，１０１ｅを支持するために設けられている。枠１０１ｂ，１０１ｃは、それぞれ、軸部１０１ａの途中部に固定されている。枠１０１ｂの下方に枠１０１ｃが配置されている。枠１０１ｂ，１０１ｃは、それぞれ、側面視において略Ｕ字状に形成されており、第２進行方向Ｄ２の下流側に向けて開放されている。枠１０１ｂ，１０１ｃのそれぞれに、対応するルーバー本体１０１ｄ，１０１ｅが固定されている。 The frames 101b and 101c are provided to support the corresponding louver bodies 101d and 101e, respectively. Each of the frames 101b and 101c is fixed to a middle portion of the shaft portion 101a. A frame 101c is disposed below the frame 101b. Each of the frames 101b and 101c is formed in a substantially U shape in a side view, and is opened toward the downstream side in the second traveling direction D2. Corresponding louver bodies 101d and 101e are fixed to the frames 101b and 101c, respectively.

ルーバー本体１０１ｄ，１０１ｅは、本発明の「気流調整部材、風向調整部材」の一例であり、通路１５を通過する気流Ａ１を調整するために設けられている。ルーバー本体１０１ｄ，１０１ｅは、それぞれ、ガイド部材１４（図４〜６では図示せず）によって通路１５の上方から通路１５へ向けて送られてきた気流Ａ１に当てられる。 The louver bodies 101d and 101e are an example of the “airflow adjustment member, wind direction adjustment member” of the present invention, and are provided to adjust the airflow A1 passing through the passage 15. The louver bodies 101d and 101e are respectively applied to the airflow A1 sent from the upper side of the passage 15 toward the passage 15 by the guide member 14 (not shown in FIGS. 4 to 6).

ルーバー本体１０１ｄ，１０１ｅは、たとえば、側面視において矩形状に形成された平板状の部材である。なお、ルーバー本体１０１ｄ，１０１ｅの形状は、特に限定されず、図５で想像線である２点鎖線で示すように、側面視で一部が欠けた形状であってもよい。本実施形態では、ルーバー本体１０１ｄの一部は、対応する枠１０１ｂで囲まれた領域内に配置されており、ルーバー本体１０１ｄの残りの部分は、側面視において枠１０１ｂから突出している。同様に、ルーバー本体１０１ｅの一部は、対応する枠１０１ｃで囲まれた領域内に配置されており、ルーバー本体１０１ｅの残りの部分は、側面視において枠１０１ｃから突出している。 The louver bodies 101d and 101e are, for example, flat members formed in a rectangular shape in a side view. In addition, the shape of the louver bodies 101d and 101e is not particularly limited, and may be a shape that is partially missing in a side view as shown by a two-dot chain line that is an imaginary line in FIG. In the present embodiment, a part of the louver body 101d is disposed in a region surrounded by the corresponding frame 101b, and the remaining part of the louver body 101d protrudes from the frame 101b in a side view. Similarly, a part of the louver body 101e is disposed in a region surrounded by the corresponding frame 101c, and the remaining part of the louver body 101e protrudes from the frame 101c in a side view.

上記の構成により、軸部１０１ａが軸部１０１ａ回りの矢印Ｃ１方向に揺動すると、枠１０１ｃ，１０１ｄおよびルーバー本体１０１ｄ，１０１ｅが軸部１０１ａの軸線回りを揺動する。ルーバー本体１０１ｄ，１０１ｅの向きによって、気流Ａ１の向きが調整される。 With the above configuration, when the shaft portion 101a swings in the direction of the arrow C1 around the shaft portion 101a, the frames 101c and 101d and the louver bodies 101d and 101e swing around the axis of the shaft portion 101a. The direction of the airflow A1 is adjusted according to the direction of the louver bodies 101d and 101e.

次に、ルーバー１０２について説明する。ルーバー１０２は、ルーバー１０１と同様の構成であるので、ルーバー１０１と重複する説明については、一部省略する。 Next, the louver 102 will be described. Since the louver 102 has the same configuration as the louver 101, a part of the description overlapping with the louver 101 is omitted.

ルーバー１０２は、軸部１０２ａと、枠１０２ｂ，１０２ｃと、ルーバー本体１０２ｄ，１０２ｅと、を有している。 The louver 102 has a shaft portion 102a, frames 102b and 102c, and louver bodies 102d and 102e.

これら軸部１０２ａ、枠１０２ｂ，１０２ｃ、およびルーバー本体１０２ｄ，１０２ｅは、それぞれ、対応する軸部１０１ａ、枠１０１ｂ，１０１ｃ、およびルーバー本体１０１ｄ，１０１ｅと同様の構成を有している。 The shaft portion 102a, the frames 102b and 102c, and the louver bodies 102d and 102e have the same configuration as the corresponding shaft portion 101a, the frames 101b and 101c, and the louver bodies 101d and 101e, respectively.

軸部１０２ａの下端部は、整流室４の底壁に回転可能に支持されている。より具体的には、底壁には、凹部１１２ｅが形成されており、この凹部１１２ｅに軸部１０２ａの下端部が嵌め込まれている。また、軸部１０２ａの上端部は、たとえば側壁２３から延びるステー５６に回転可能に支持されている。より具体的には、ステー５６は、たとえば、細長い板状に形成されており、このステー５６の下面に凹部１１２ｅが形成されている。この凹部１１２ｅに軸部１０２ａの上端部が嵌め込まれている。軸部１０２ａは、枠１０２ｂ，１０２ｃを支持している。 A lower end portion of the shaft portion 102 a is rotatably supported on the bottom wall of the rectifying chamber 4. More specifically, a recess 112e is formed in the bottom wall, and the lower end portion of the shaft portion 102a is fitted into the recess 112e. The upper end portion of the shaft portion 102a is rotatably supported by a stay 56 extending from the side wall 23, for example. More specifically, the stay 56 is formed in, for example, an elongated plate shape, and a recess 112 e is formed on the lower surface of the stay 56. The upper end portion of the shaft portion 102a is fitted into the recess 112e. The shaft portion 102a supports the frames 102b and 102c.

枠１０２ｂ，１０２ｃは、それぞれ、対応するルーバー本体１０２ｄ，１０２ｅを支持するために設けられている。枠１０２ｂの下方に枠１０２ｃが配置されている。枠１０２ｂ，１０２ｃのそれぞれに、対応するルーバー本体１０２ｄ，１０２ｅが固定されている。 The frames 102b and 102c are provided to support the corresponding louver bodies 102d and 102e, respectively. A frame 102c is disposed below the frame 102b. Corresponding louver bodies 102d and 102e are fixed to the frames 102b and 102c, respectively.

上記の構成により、軸部１０２ａが軸部１０２ａ回りの矢印Ｃ２方向に揺動すると、枠１０２ｂ，１０２ｃおよびルーバー本体１０２ｄ，１０２ｅが軸部１０２ａの軸線回りを揺動する。ルーバー本体１０２ｄ，１０２ｅの向きによって、気流Ａ１の向きが調整される。 With the above configuration, when the shaft portion 102a swings in the direction of the arrow C2 around the shaft portion 102a, the frames 102b and 102c and the louver bodies 102d and 102e swing around the axis of the shaft portion 102a. The direction of the airflow A1 is adjusted by the direction of the louver bodies 102d and 102e.

上記の構成を有するルーバー１００（１０１，１０２）は、第２操作装置１１０（１１１，１１２）によって操作されることで、向きを変更される。第２操作装置１１１，１１２は、対応するルーバー１０１，１０２を通路１５の外部から操作するために設けられている。本実施形態では、各第２操作装置１１１，１１２は、操作装置９と同様の材料を用いて形成されている。 The direction of the louver 100 (101, 102) having the above configuration is changed by being operated by the second operating device 110 (111, 112). The second operating devices 111 and 112 are provided to operate the corresponding louvers 101 and 102 from the outside of the passage 15. In the present embodiment, the second operating devices 111 and 112 are formed using the same material as the operating device 9.

第２操作装置１１１は、ルーバー１０１を揺動させるために設けられている。 The second operating device 111 is provided for swinging the louver 101.

第２操作装置１１１は、主体部１１１ａと、操作部１１１ｂと、連結部１１１ｃと、を有している。 The second operating device 111 includes a main part 111a, an operating part 111b, and a connecting part 111c.

主体部１１１ａは、左右方向に延びる部材として設けられている。本実施形態では、主体部１１１ａは、丸軸状に形成されている。主体部１１１ａは、操作室１０（整流室４）の側壁２３を貫通している。主体部１１１ａは、ブッシュ１５７を介して側壁２３に支持されている。ブッシュ１５７は、たとえば、ＰＴＦＥ（PolyTetraFluoroEthylene）などを材料とする円環状の部材であり、摩擦係数が比較的小さい。主体部１１１ａは、ブッシュ１５７によって、左右方向にスライド可能に支持されている。また、ブッシュ１５７が設けられていることにより、通路１５から操作室１０内への熱風の侵入が抑制されている。主体部１１１ａの一端部に操作部１１１ｂが設けられている。 The main body 111a is provided as a member extending in the left-right direction. In the present embodiment, the main body 111a is formed in a round shaft shape. The main body 111a penetrates the side wall 23 of the operation chamber 10 (rectifying chamber 4). The main body portion 111 a is supported on the side wall 23 via the bush 157. The bush 157 is an annular member made of, for example, PTFE (PolyTetraFluoroEthylene) and has a relatively small friction coefficient. The main body 111a is supported by the bush 157 so as to be slidable in the left-right direction. Further, the provision of the bush 157 suppresses the entry of hot air from the passage 15 into the operation chamber 10. An operation unit 111b is provided at one end of the main body 111a.

操作部１１１ｂは、作業員が操作装置１１１を操作する際に把持されるグリップ部として設けられており、連結部１１１ｃと連動して変位可能である。本実施形態では、操作部１１１ｂは、主体部１１１ａと一体に形成された棒状部分であり、操作室１０に配置されている。なお、操作部１１１ｂの材料の熱伝導率は、主体部１１１ａの熱伝導率よりも低いことが好ましい。作業員から操作部１１１ｂに与えられた力は、主体部１１１ａを介して連結部１１１ｃに伝わる。 The operation portion 111b is provided as a grip portion that is gripped when an operator operates the operation device 111, and can be displaced in conjunction with the connecting portion 111c. In the present embodiment, the operation unit 111 b is a bar-shaped part formed integrally with the main body part 111 a and is disposed in the operation chamber 10. In addition, it is preferable that the heat conductivity of the material of the operation part 111b is lower than the heat conductivity of the main part 111a. The force given to the operation part 111b from the worker is transmitted to the connecting part 111c through the main part 111a.

連結部１１１ｃは、ルーバー１０１に連結される部分として設けられている。連結部１１１ｃは、通路１５内に配置されている。連結部１１１ｃは、たとえば、球面継手である。 The connecting part 111 c is provided as a part connected to the louver 101. The connecting portion 111 c is disposed in the passage 15. The connecting part 111c is, for example, a spherical joint.

連結部１１１ｃは、凸部１１１ｄと凹部１１１ｅとを有している。 The connection part 111c has the convex part 111d and the recessed part 111e.

凸部１１１ｄは、突起状に形成されており、ルーバー１０１のたとえば枠１０１ｂに固定されている。凸部１１１ｄの先端部は、球状に形成されている。凸部１１１ｄは、凹部１１１ｅに嵌め込まれている。凹部１１１ｅは、凸部１１１ｄを受け容れる球面状の空間を形成しており、主体部１１１ａの一端部に固定されている。これにより、連結部１１１ｃは、枠１０１ｂなどを介してルーバー本体１０１ｄ，１０１ｅに連結されている。 The convex portion 111d is formed in a protruding shape, and is fixed to the frame 101b of the louver 101, for example. The tip of the convex portion 111d is formed in a spherical shape. The convex portion 111d is fitted into the concave portion 111e. The concave portion 111e forms a spherical space that accepts the convex portion 111d, and is fixed to one end portion of the main portion 111a. Thereby, the connection part 111c is connected with the louver main bodies 101d and 101e via the frame 101b.

上記の構成により、作業員が操作部１１１ｂを把持して操作部１１１ｂを左右方向に変位させると、この変位は、主体部１１１ａおよび連結部１１１ｃを介して、枠１０１ｂに伝わる。これにより、ルーバー１０１は、軸部１０１ａの回りを揺動し、ルーバー本体１０１ｄ，１０１ｅの向きが変更される。 With the above configuration, when the operator grips the operation unit 111b and displaces the operation unit 111b in the left-right direction, the displacement is transmitted to the frame 101b via the main body 111a and the coupling unit 111c. As a result, the louver 101 swings around the shaft portion 101a, and the orientation of the louver bodies 101d and 101e is changed.

次に、第２操作装置１１２について説明する。第２操作装置１１２は、第２操作装置１１１と同様の構成であるので、第２操作装置１１１と重複する説明については、一部省略する。第２操作装置１１２は、ルーバー１０２を揺動させるために設けられている。 Next, the second controller device 112 will be described. Since the second operating device 112 has the same configuration as the second operating device 111, a part of the description overlapping with the second operating device 111 is omitted. The second operating device 112 is provided for swinging the louver 102.

第２操作装置１１２は、主体部１１２ａと、操作部１１２ｂと、連結部１１２ｃと、を有している。 The 2nd operating device 112 has the main-body part 112a, the operation part 112b, and the connection part 112c.

これら主体部１１２ａ、操作部１１２ｂ、および連結部１１２ｃは、それぞれ、対応する主体部１１１ａ、操作部１１１ｂ、および連結部１１１ｃと同様の構成を有している。 The main body part 112a, the operation part 112b, and the connection part 112c have the same configuration as the corresponding main body part 111a, operation part 111b, and connection part 111c, respectively.

主体部１１２ａは、操作室１０（整流室４）の側壁２３を貫通している。主体部１１２ａは、ブッシュ１５８を介して側壁２３に支持されている。ブッシュ１５８は、ブッシュ１５７と同様の部材である。主体部１１２ａは、ブッシュ１５８によって、左右方向にスライド可能に支持されている。また、ブッシュ１５８が設けられていることにより、通路１５から操作室１０内への熱風の侵入が抑制されている。 The main body 112a penetrates the side wall 23 of the operation chamber 10 (rectifying chamber 4). The main body 112a is supported on the side wall 23 via the bush 158. The bush 158 is a member similar to the bush 157. The main body 112a is supported by the bush 158 so as to be slidable in the left-right direction. In addition, the provision of the bush 158 suppresses the entry of hot air from the passage 15 into the operation chamber 10.

連結部１１２ｃは、ルーバー１０２に連結される部分として設けられている。連結部１１２ｃは、通路１５内に配置されている。連結部１１２ｃは、たとえば、球面継手である。 The connecting part 112 c is provided as a part connected to the louver 102. The connecting portion 112 c is disposed in the passage 15. The connection part 112c is, for example, a spherical joint.

連結部１１２ｃは、凸部１１２ｄと凹部１１２ｅとを有している。 The connection part 112c has the convex part 112d and the recessed part 112e.

凸部１１２ｄは、突起状に形成されており、ルーバー１０２のたとえば枠１０２ｂに固定されている。凸部１１２ｄの先端部は、球状に形成されている。凸部１１２ｄは、凹部１１２ｅに嵌め込まれている。凹部１１２ｅは、凸部１１２ｄを受け容れる球面状の空間を形成しており、主体部１１２ａの一端部に固定されている。これにより、連結部１１２ｃは、枠１０２ｂなどを介してルーバー本体１０２ｄ，１０２ｅに連結されている。 The protrusion 112d is formed in a protruding shape, and is fixed to the frame 102b of the louver 102, for example. The tip of the convex portion 112d is formed in a spherical shape. The convex portion 112d is fitted into the concave portion 112e. The concave portion 112e forms a spherical space that accepts the convex portion 112d, and is fixed to one end portion of the main portion 112a. Thereby, the connection part 112c is connected with the louver main bodies 102d and 102e via the frame 102b.

上記の構成により、作業員が操作部１１２ｂを把持して操作部１１２ｂを左右方向に変位させると、この変位は、主体部１１２ａおよび連結部１１２ｃを介して、枠１０２ｂに伝わる。これにより、ルーバー１０２は、矢印Ｃ２に示すように軸部１０２ａの回りを揺動し、ルーバー本体１０２ｄ，１０２ｅの向きが変更される。 With the above configuration, when the operator grips the operation unit 112b and displaces the operation unit 112b in the left-right direction, the displacement is transmitted to the frame 102b via the main body 112a and the connection unit 112c. As a result, the louver 102 swings around the shaft portion 102a as shown by the arrow C2, and the orientation of the louver bodies 102d and 102e is changed.

以上説明したように、本発明の第２実施形態にかかる熱処理装置１Ａによると、第１実施形態にかかる熱処理装置１と同様の作用および効果を得ることができる。また、ルーバー１００が設けられていることにより、処理室５内に配置された被処理物２００に供給される気流Ａ１の分布を調整することができる。これにより、第２進行方向Ｄ２から見て、処理室５における気流Ａ１の分布をより均等にできるので、被処理物２００に、より均等に熱風を供給することができる。また、第２操作装置１１０が設けられていることにより、ルーバー１００は、通路１５の外部の操作室１０から操作され得る。このため、作業員は、熱処理装置１Ａの運転中であっても、高温の通路１５へ入ることなく、ルーバー１００を操作できる。よって、熱処理装置１Ａを停止することなく、気流Ａ１の向きを調整できる。これにより、高温の気流Ａ１を、より容易に調整できる。 As described above, according to the heat treatment apparatus 1A according to the second embodiment of the present invention, the same operations and effects as those of the heat treatment apparatus 1 according to the first embodiment can be obtained. In addition, by providing the louver 100, the distribution of the airflow A1 supplied to the workpiece 200 disposed in the processing chamber 5 can be adjusted. Thereby, since the distribution of the airflow A1 in the processing chamber 5 can be made more uniform as seen from the second traveling direction D2, hot air can be supplied to the workpiece 200 more evenly. In addition, the louver 100 can be operated from the operation chamber 10 outside the passage 15 by providing the second operating device 110. For this reason, the worker can operate the louver 100 without entering the high-temperature passage 15 even during the operation of the heat treatment apparatus 1A. Therefore, the direction of the airflow A1 can be adjusted without stopping the heat treatment apparatus 1A. Thereby, the high temperature airflow A1 can be adjusted more easily.

より詳細には、ルーバー１００の位置調整の際に、ヒータ１２の停止および通路１５の冷却を待つことなく、作業員によるルーバー１００の位置調整を行うことができる。したがって、ルーバー１００の位置調整のために熱処理装置１を停止する必要がなく、ルーバー１００の位置調整作業を、迅速に、かつ、気流Ａ１を生じさせたままの状態で行うことができる。 More specifically, when adjusting the position of the louver 100, the operator can adjust the position of the louver 100 without waiting for the heater 12 to stop and the passage 15 to cool. Therefore, it is not necessary to stop the heat treatment apparatus 1 for adjusting the position of the louver 100, and the position adjusting operation of the louver 100 can be performed quickly and with the airflow A1 generated.

また、熱処理装置１Ａによると、第２操作装置１１１，１１２のそれぞれにおいて、操作部１１１ｂ，１１２ｂが操作されることで連結部１１１ｃ，１１２ｃが動作され、その結果、対応するルーバー１０１，１０２が変位する。これにより、ルーバー１０１，１０２を用いた気流Ａ１の調整を容易に行うことができる。このように、第２操作装置１１１，１１２を用いてルーバー１０１，１０２を変位させることで、処理室５に向かう気流Ａ１の分布を調整できる。 Further, according to the heat treatment apparatus 1A, in each of the second operating devices 111 and 112, the operating portions 111b and 112b are operated to operate the connecting portions 111c and 112c, and as a result, the corresponding louvers 101 and 102 are displaced. To do. Thereby, adjustment of airflow A1 using louvers 101 and 102 can be performed easily. As described above, the distribution of the airflow A1 toward the processing chamber 5 can be adjusted by displacing the louvers 101 and 102 using the second operating devices 111 and 112.

また、ルーバー本体１０１ｄ，１０１ｅ；１０２ｄ，１０２ｅは、通路１５内において複数の領域に分散して配置されている。これにより、ルーバー１０１と、ルーバー１０２のそれぞれの向きを個別に調整することで、第２進行方向Ｄ２から見た処理室５の各領域への熱風の供給量を、より均一に設定することができる。 The louver bodies 101d and 101e; 102d and 102e are arranged in a plurality of regions in the passage 15. Thereby, by individually adjusting the directions of the louver 101 and the louver 102, the amount of hot air supplied to each region of the processing chamber 5 viewed from the second traveling direction D2 can be set more uniformly. it can.

また、熱処理装置１Ａによると、シャッタ部材８に加えて、ルーバー１００が設けられている。このため、ルーバー１００の向きの調整を行うことで、シャッタ部材８の左右方向の位置については微調整を行うのみで、処理室５における気流Ａ１をより均等にできる。このように、シャッタ部材８とルーバー１００との相乗効果によって、シャッタ部材８の調整にかかる手間を少なくすることができる。 Further, according to the heat treatment apparatus 1 A, the louver 100 is provided in addition to the shutter member 8. For this reason, by adjusting the direction of the louver 100, the airflow A1 in the processing chamber 5 can be made more uniform by only finely adjusting the position of the shutter member 8 in the left-right direction. Thus, the time and effort required to adjust the shutter member 8 can be reduced by the synergistic effect of the shutter member 8 and the louver 100.

以上、本発明の実施形態について説明したけれども、本発明は上述の実施の形態に限られるものではない。本発明は、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能である。 As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited to the above-mentioned embodiment. The present invention can be variously modified as long as it is described in the claims.

[変形例]
（１）上述の第２実施形態では、ルーバー１０１，１０２の各軸部１０１ａ，１０２ａが鉛直方向に延びる形態を例に説明した。しかしながら、この通りでなくてもよい。たとえば、図７に示すように、ルーバー１０１の軸部１０１ａは、垂直方向に対して交差する方向に延びていてもよい。たとえば、ルーバー１０１の軸部１０１ａは、水平方向に延びていてもよい。この場合、ルーバー１０１の軸部１０１ａは、整流室４の側壁２３，２４に回転可能に支持される。そして、軸部１０１ａの一端部は、操作室１０内に配置され、この一端部が操作部９１ｂとして用いられる。この場合、操作装置９Ｂは、連結部としての枠１０１ｂ，１０１ｃと、操作部９１ｂとを有することとなる。 [Modification]
(1) In the second embodiment described above, an example in which the shaft portions 101a and 102a of the louvers 101 and 102 extend in the vertical direction has been described. However, this need not be the case. For example, as illustrated in FIG. 7, the shaft portion 101 a of the louver 101 may extend in a direction that intersects the vertical direction. For example, the shaft portion 101a of the louver 101 may extend in the horizontal direction. In this case, the shaft portion 101 a of the louver 101 is rotatably supported by the side walls 23 and 24 of the rectifying chamber 4. And the one end part of the axial part 101a is arrange | positioned in the operation chamber 10, and this one end part is used as the operation part 91b. In this case, the operating device 9B has frames 101b and 101c as connecting portions and an operating portion 91b.

（２）また、上述の各実施形態では、操作装置９および第２操作装置１１０が、いずれも、通路１５の内部と外部とを仕切る側壁２３を貫通する形態について説明した。しかしながら、この通りでなくてもよい。たとえば、操作室１０に配置された操作部９１ｂ，９２ｂ，９３ｂ，１１１ｂ，１１２ｂと、通路１５内に配置された部材（連結部など）とを、磁石などを用いて非接触の状態で連結してもよい。 (2) In each of the above-described embodiments, the operation device 9 and the second operation device 110 have been described as penetrating the side wall 23 that partitions the inside and the outside of the passage 15. However, this need not be the case. For example, the operation parts 91b, 92b, 93b, 111b, 112b arranged in the operation chamber 10 and members (connection parts etc.) arranged in the passage 15 are connected in a non-contact state using a magnet or the like. May be.

（３）また、上述の各実施形態において、排気口１６に、本発明のシャッタ部材とこのシャッタ部材を操作する操作装置とを設けてもよい。 (3) Further, in each of the above-described embodiments, the exhaust port 16 may be provided with the shutter member of the present invention and an operation device for operating the shutter member.

本発明は、熱処理装置として、広く適用することができる。 The present invention can be widely applied as a heat treatment apparatus.

１，１Ａ熱処理装置
４整流室
５処理室
８シャッタ部材（気流調整部材）
９，９Ｂ操作装置
１０操作室
１５通路
３１〜３６ノズル孔（処理室の出口）
９１ｂ，９２ｂ，９３ｂ操作部
９１ｃ，９１ｄ連結部
９２ｃ，９２ｄ連結部
９３ｃ，９３ｄ連結部
１０１ｄ，１０１ｅ，１０２ｄ，１０２ｅルーバー本体（気流調整部材、風向調整部材）
１１０第２操作装置（操作装置）
１１１ｂ，１１２ｂ操作部
１１１ｃ，１１２ｃ連結部
２００被処理物
Ａ１気流
1, 1A Heat treatment device 4 Rectification chamber 5 Processing chamber 8 Shutter member (air flow adjustment member)
9, 9B Operating device 10 Operating chamber 15 Passage 31-36 Nozzle hole (outlet of processing chamber)
91b, 92b, 93b Operation part 91c, 91d Connection part 92c, 92d Connection part 93c, 93d Connection part 101d, 101e, 102d, 102 e Louver main body (airflow adjustment member, wind direction adjustment member)
110 Second controller (operator)
111b, 112b Operation part 111c, 112c Connection part 200 To-be-processed object A1 Airflow

Claims

A passage through which heated gas can pass;
An airflow adjusting member capable of adjusting an airflow passing through the passage toward a processing chamber in which an object can be disposed;
An operating device capable of operating the airflow adjusting member from outside the passage;
Equipped with a,
The airflow adjusting member includes a plurality of shutter members arranged to be spaced apart from each other and adjusting a ratio of closing the passage.
The operating device includes a plurality of connecting portions connected to the plurality of shutter members in the passage, an operating portion disposed outside the passage and displaceable in conjunction with the connecting portion, the operating portion, and the The heat processing apparatus characterized by including the main-body part which connects a some connection part mechanically .

The heat treatment apparatus according to claim 1,
Further comprising a rectifying chamber forming the passage,
The rectifying chamber includes a plurality of side walls that divide the inside and the outside of the passage,
Each shutter member is formed with a slide hole extending in the sliding direction of the shutter member,
A guide pin fixed to the one side wall and slidably supporting the slide hole;
The main body of the operating device is supported by the other side wall, and is supported by the guide pin through the connecting portion and the shutter member .

The heat treatment apparatus according to claim 1 or 2,
A rectifying chamber forming the passage;
An operation room in which the operation unit is disposed,
The rectifying chamber is disposed adjacent to the operation chamber, and is disposed adjacent to the processing chamber.

The heat treatment apparatus according to claim 3,
A heat treatment apparatus, wherein a direction from the rectifying chamber toward the processing chamber is different from a direction from the rectifying chamber toward the operation chamber.

The heat treatment apparatus according to claim 3 or 4, wherein
The heat treatment apparatus, wherein the air flow adjusting member is disposed at an outlet of the rectifying chamber.

The heat treatment apparatus according to any one of claims 1 to 5,
A plurality of the operating devices are provided,
Each of the operation devices is connected to the shutter member different from each other,
Each of the operation devices is configured to be capable of collectively displacing the corresponding plurality of shutter members .

The heat treatment apparatus according to any one of claims 1 to 6,
The airflow adjustment member includes an airflow direction adjustment member disposed in the passage,
The operation device is connected to the wind direction adjusting member and is capable of changing the direction of the wind direction adjusting member.

It is the heat processing apparatus of any one of Claims 1-7,
The heat treatment apparatus according to claim 1, wherein the gas is introduced into the passage in a direction that intersects a traveling direction of the airflow in the passage.