JP6715365B2 - Heat treatment equipment - Google Patents

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Description

本発明は、加熱された雰囲気下で被処理物を処理するための、熱処理装置に関する。 The present invention relates to a heat treatment apparatus for treating an object to be treated under a heated atmosphere.

基板などの材料に熱処理を行うための、熱処理装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。熱処理装置の一例として、特許文献１に記載のＣＶＤ装置は、石英製の反応管を有している。反応管は、材料としてのウェハを収容するように構成されている。また、反応管内には、ソースが供給される。反応管内では、熱反応によって、ソースガスが活性化される。これにより、ウェハの表面に、所望の被膜が形成される。 A heat treatment apparatus for performing heat treatment on a material such as a substrate is known (for example, see Patent Document 1). As an example of the heat treatment apparatus, the CVD apparatus described in Patent Document 1 has a reaction tube made of quartz. The reaction tube is configured to accommodate a wafer as a material. Further, a source is supplied into the reaction tube. In the reaction tube, the source gas is activated by the thermal reaction. As a result, a desired film is formed on the surface of the wafer.

上記の熱処理装置は、横型炉であり、反応管が横向きに寝かされた姿勢で配置される。このため、反応管の開口部は水平方向を向いている。よって、反応管に対するウェハの出し入れは、ウェハを水平に移動させることで行われる。 The above-mentioned heat treatment apparatus is a horizontal furnace, and the reaction tube is arranged in a horizontal position. Therefore, the opening of the reaction tube is oriented in the horizontal direction. Therefore, the wafer is taken in and out of the reaction tube by moving the wafer horizontally.

特公平５−５６６４７号公報Japanese Patent Publication No. 5-56647

ウェハへの熱処理時、上記の反応管の開口部は、ドアによって閉じられる。ドアは、開閉機構を用いて開閉される。開閉機構は、たとえば、電動モータなどの動力源と、動力源の出力をドアに伝達する伝達機構と、を有している。 During the heat treatment of the wafer, the opening of the reaction tube is closed by a door. The door is opened and closed using an opening/closing mechanism. The opening/closing mechanism includes, for example, a power source such as an electric motor and a transmission mechanism that transmits the output of the power source to the door.

開閉機構は、反応管の近くに配置されるので、反応管からの熱を受けて高温となる。高い熱を受けることは、開閉機構にとって好ましくない。しかしながら、開閉機構を冷却するための専用の冷却装置を設けると、熱処理装置の構成が複雑になってしまう。 Since the opening/closing mechanism is arranged near the reaction tube, it receives heat from the reaction tube and becomes high in temperature. Receiving high heat is not desirable for the opening and closing mechanism. However, if a dedicated cooling device for cooling the opening/closing mechanism is provided, the structure of the heat treatment device becomes complicated.

本発明は、上記事情に鑑みることにより、熱処理装置において、より簡易な構成で、横型炉のドアを開閉するための開閉機構を冷却することができるようにすることを、目的とする。 In view of the above circumstances, it is an object of the present invention to allow a heat treatment apparatus to cool an opening/closing mechanism for opening/closing a door of a horizontal furnace with a simpler structure.

本願発明者は、鋭意研究の結果、横型炉にスカベンジャー部を設け、このスカベンジャー部を開閉機構の冷却に活用するとの着想を得るに至った。なお、スカベンジャー部は、横型炉の開口部の周囲を取り囲むように配置され、開口部の周囲の空間を、外部の空間と隔てている。そして、たとえば、ドアが開かれたときに横型炉内から開口部を通して出てきた高温の雰囲気および残留ガスは、スカベンジャー部に形成された排気口へ排出される。これにより、横型炉内のガスが不用意に大気に放出されることが防止されている。 As a result of earnest research, the inventor of the present application has come to the idea of providing a scavenger portion in a horizontal furnace and utilizing this scavenger portion for cooling the opening/closing mechanism. The scavenger portion is arranged so as to surround the periphery of the opening of the horizontal furnace, and separates the space around the opening from the outside space. Then, for example, the high temperature atmosphere and the residual gas that have come out from the inside of the horizontal furnace through the opening when the door is opened are discharged to the exhaust port formed in the scavenger portion. This prevents the gas in the horizontal furnace from being accidentally released to the atmosphere.

（１）上記の知見に基づいてなされた、この発明のある局面に係わる熱処理装置は、横向きに配置された開口部および前記開口部を開閉するためのドアを有する横型炉と、前記ドアを開閉動作させるための開閉機構と、前記開口部の周囲を取り囲むとともに、前記開口部の周囲に気流を発生させるためのスカベンジャー部と、を備え、前記スカベンジャー部は、前記スカベンジャー部内に冷却用ガスを通過させるために設けられ且つ前記開閉機構の少なくとも一部が配置される冷却用開口部を含んでいる。 (1) A heat treatment apparatus according to an aspect of the present invention, which is made based on the above findings, includes a horizontal furnace having an opening arranged laterally and a door for opening and closing the opening, and opening and closing the door. An opening/closing mechanism for operating and a scavenger portion for surrounding the periphery of the opening and for generating an airflow around the opening, the scavenger portion passing cooling gas through the scavenger portion. A cooling opening in which at least a part of the opening/closing mechanism is provided.

この構成によると、開閉機構は、冷却用開口部を通過する冷却用ガスに当てられることで冷却される。これにより、開閉機構が冷却される。すなわち、スカベンジャー部は、横型炉内から出てきたガスを排出する機能に加えて、開閉機構を冷却する機能も有している。このため、開閉機構を冷却するための専用の冷却装置を設ける必要がなく、熱処理装置の構成をより簡素にできる。以上の次第で、熱処理装置において、より簡易な構成で、横型炉のドアを開閉するための開閉機構を冷却することができる。 With this configuration, the opening/closing mechanism is cooled by being applied to the cooling gas passing through the cooling opening. As a result, the opening/closing mechanism is cooled. That is, the scavenger unit has a function of cooling the opening/closing mechanism in addition to the function of discharging the gas discharged from the horizontal furnace. Therefore, it is not necessary to provide a dedicated cooling device for cooling the opening/closing mechanism, and the configuration of the heat treatment device can be further simplified. According to the above, in the heat treatment apparatus, the opening/closing mechanism for opening/closing the door of the horizontal furnace can be cooled with a simpler configuration.

さらに、前記開閉機構は、前記ドアを開閉する駆動力を発生するためのアクチュエータを含み、前記アクチュエータは、前記スカベンジャー部に支持されている。 Further , the opening/closing mechanism includes an actuator for generating a driving force for opening/closing the door, and the actuator is supported by the scavenger portion.

この構成によると、アクチュエータを冷却用開口部の近傍に配置することができる。これにより、アクチュエータを、冷却用ガスによってより確実に冷却することができる。さらに、スカベンジャー部を、アクチュエータを支持するために用いることができる。これにより、アクチュエータを支持するための構成を簡素にすることができるので、熱処理装置の構成をより簡素にできる。 With this configuration, the actuator can be arranged near the cooling opening. As a result, the actuator can be cooled more reliably by the cooling gas. Additionally, the scavenger portion can be used to support the actuator. Thereby, the structure for supporting the actuator can be simplified, so that the structure of the heat treatment apparatus can be further simplified.

さらに、前記開閉機構は、前記アクチュエータと前記ドアとを連結するリンク機構を有し、前記リンク機構は、前記スカベンジャー部に支持されている。 Further , the opening/closing mechanism has a link mechanism that connects the actuator and the door, and the link mechanism is supported by the scavenger portion.

この構成によると、スカベンジャー部を、リンク機構の支持にも用いることができる。これにより、スカベンジャー部を支持するための構成を簡素にすることができるので、熱処理装置の構成をより簡素にできる。 With this configuration, the scavenger portion can also be used to support the link mechanism. With this, the structure for supporting the scavenger portion can be simplified, and thus the structure of the heat treatment apparatus can be further simplified.

（２）好ましくは、前記アクチュエータは、直線運動可能な出力部を有し、前記リンク機構は、所定の第１軸線回りに、前記ドアと一体的に揺動可能なリンク部材を有し、前記リンク部材は、所定の第２軸線回りを前記出力部と相対回転可能に前記出力部に連結されている。 (2) good Mashiku, the actuator has a linearly movable output unit, the link mechanism, about a first axis of Jo Tokoro, integrally have a swingable link member and the door The link member is connected to the output unit so as to be rotatable relative to the output unit about a predetermined second axis.

この構成によると、リンク部材を第１軸線回りに揺動させる簡易な構成で、ドアを開閉動作することができる。 With this configuration, the door can be opened and closed with a simple configuration in which the link member is swung around the first axis.

（３）好ましくは、前記冷却用開口部は、前記冷却用ガスを前記スカベンジャー部内に導入するための導入部と、前記冷却用ガスを前記スカベンジャー部内から排出するための排出部と、を含み、前記開閉機構の少なくとも一部は、前記導入部内に配置されている。 ( 3 ) Preferably, the cooling opening includes an introduction part for introducing the cooling gas into the scavenger part, and an exhaust part for exhausting the cooling gas from the scavenger part, At least a part of the opening/closing mechanism is arranged in the introduction part.

この構成によると、スカベンジャー部の外部からスカベンジャー部内に導入されたばかりの、より低温の冷却用ガスによって、開閉機構をより確実に冷却することができる。 With this configuration, the opening/closing mechanism can be cooled more reliably by the cooling gas having a lower temperature, which has just been introduced into the scavenger portion from the outside of the scavenger portion.

（４）より好ましくは、前記導入部と前記排出部とは、前記ドアを挟むように離隔して配置され、且つ、前記横型炉の長手方向において、離隔して配置されている。
( 4 ) More preferably, the introduction part and the discharge part are arranged so as to be separated so as to sandwich the door, and are arranged so as to be separated in the longitudinal direction of the horizontal furnace.

この構成によると、スカベンジャー部内において、横型炉内のガスと混ざった冷却用ガスが導入部に逆流することを、より確実に抑制できる。これにより、開閉機構が高温になることを、より確実に抑制できる。 According to this configuration, it is possible to more reliably prevent the cooling gas mixed with the gas in the horizontal furnace from flowing back to the introduction portion in the scavenger portion. As a result, it is possible to more reliably prevent the opening/closing mechanism from becoming hot.

本発明によると、熱処理装置において、より簡易な構成で、横型炉のドアを開閉するための開閉機構を冷却することができる。 According to the present invention, in the heat treatment apparatus, the opening/closing mechanism for opening/closing the door of the horizontal furnace can be cooled with a simpler configuration.

本発明の実施形態に係る熱処理装置の模式的な平面図であり、一部を破断した状態を示している。It is a typical top view of the heat treatment equipment concerning an embodiment of the present invention, and shows the state where a part was fractured. 図１のＩＩ−ＩＩ線に沿って熱処理装置を正面視した状態を示す図であり、一部を破断した状態を示している。It is a figure which shows the state which carried out the front view of the heat processing apparatus along the II-II line of FIG. 1, and has shown the state which partially fractured|ruptured. 熱処理装置について一部の部品の図示を省略した側面図であり、一部を破断した状態を示している。It is the side view which abbreviate|omitted illustration of some components about the heat processing apparatus, and has shown the state which partially fractured|ruptured. 図１の一部を拡大した図である。It is the figure which expanded a part of FIG. 図２の一部を拡大した図である。It is the figure which expanded a part of FIG. 図３の一部を拡大した図である。It is the figure which expanded a part of FIG. 熱処理装置における動作の一例を説明するための図である。It is a figure for explaining an example of operation in a heat treatment equipment.

以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しつつ説明する。尚、本発明は、被処理物を熱処理するための熱処理装置として広く適用することができる。 Embodiments for carrying out the present invention will be described below with reference to the drawings. The present invention can be widely applied as a heat treatment apparatus for heat treating an object to be treated.

［熱処理装置の概略構成］
図１は、本発明の実施形態に係る熱処理装置１の模式的な平面図であり、一部を破断した状態を示している。図２は、図１のＩＩ−ＩＩ線に沿って熱処理装置１を正面視した状態を示す図であり、一部を破断した状態を示している。図３は、熱処理装置１について一部の部品の図示を省略した側面図であり、一部を破断した状態を示している。図４は、図１の一部を拡大した図である。図５は、図２の一部を拡大した図である。図６は、図３の一部を拡大した図である。なお、以下では、熱処理装置１を図２に示す正面から見た状態を基準として、上下、左右、および、前後をいう。 [Schematic configuration of heat treatment equipment]
FIG. 1 is a schematic plan view of a heat treatment apparatus 1 according to an embodiment of the present invention, and shows a partially broken state. FIG. 2 is a diagram showing a state in which the heat treatment apparatus 1 is viewed from the front along the line II-II in FIG. 1, and shows a state in which a part is broken. FIG. 3 is a side view in which some of the parts of the heat treatment apparatus 1 are omitted, and a part of the heat treatment apparatus 1 is cut away. FIG. 4 is an enlarged view of a part of FIG. FIG. 5 is an enlarged view of a part of FIG. FIG. 6 is an enlarged view of a part of FIG. In the following, the heat treatment apparatus 1 will be referred to as up/down, left/right, and front/back with reference to the state as viewed from the front shown in FIG. 2.

図１〜図３を参照して、熱処理装置１は、被処理物１００の表面に熱処理を施すことが可能に構成されている。この熱処理として、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）処理、拡散処理、アニール処理、半導体デバイスの製造処理、太陽電池の製造処理などを例示することができる。本実施形態では、被処理物１００は、半導体ウェハである。熱処理装置１は、被処理物１００を、反応性ガスの雰囲気下で熱処理することにより、被処理物１００の表面に薄膜を形成する。また、熱処理装置１は、横型熱処理装置である。被処理物１００は、熱処理装置１に対して出し入れされる際に、水平方向に移動される。熱処理装置１は、半導体製造工場などの工場の建物内に設置される。 With reference to FIGS. 1 to 3, the heat treatment apparatus 1 is configured to be able to perform heat treatment on the surface of the object 100 to be treated. Examples of this heat treatment include CVD (Chemical Vapor Deposition) treatment, diffusion treatment, annealing treatment, semiconductor device manufacturing treatment, and solar cell manufacturing treatment. In the present embodiment, the object to be processed 100 is a semiconductor wafer. The heat treatment apparatus 1 forms a thin film on the surface of the object 100 to be processed by heat-treating the object 100 to be processed in an atmosphere of a reactive gas. The heat treatment apparatus 1 is a horizontal heat treatment apparatus. The object 100 to be processed is moved in the horizontal direction when it is taken in and out of the heat treatment apparatus 1. The heat treatment apparatus 1 is installed in a building of a factory such as a semiconductor manufacturing factory.

熱処理装置１は、ドア２を含む横型炉３と、横型炉３内の雰囲気を加熱するためのヒータ４と、横型炉３の前部９を収容するための収容室５と、ドア２を開閉するための開閉機構６と、を有している。 The heat treatment apparatus 1 includes a horizontal furnace 3 including a door 2, a heater 4 for heating an atmosphere in the horizontal furnace 3, a housing chamber 5 for housing a front portion 9 of the horizontal furnace 3, and a door 2 for opening and closing the door 2. And an opening/closing mechanism 6 for

横型炉３は、被処理物１００を収納するために設けられている。また、横型炉３は、当該横型炉３内に収納された被処理物１００を、加熱された雰囲気下で熱処理するために設けられている。横型炉３は、中空に形成されている。横型炉３は、水平方向（前後方向）に細長く延びており、当該横型炉３の長手方向における一端部が、横向き（前方）に開放されている。 The horizontal furnace 3 is provided to store the object 100 to be processed. Further, the horizontal furnace 3 is provided to heat-treat the object 100 to be processed housed in the horizontal furnace 3 in a heated atmosphere. The horizontal furnace 3 is hollow. The horizontal furnace 3 is elongated in the horizontal direction (front-back direction), and one end portion in the longitudinal direction of the horizontal furnace 3 is opened laterally (forward).

横型炉３は、ドア２と、横型炉本体７と、を有している。 The horizontal furnace 3 has a door 2 and a horizontal furnace body 7.

横型炉本体７は、たとえば、石英（ＳｉＯ２）などを用いて円筒状（中空状）に形成されており、本実施形態では、前後に細長く延びている。横型炉本体７の後端部は、閉じられている。横型炉本体７の前端部には、横向きに配置された開口部７ａが形成されている。開口部７ａは、前方に向けて開放されたフランジ状に形成されている。すなわち、開口部７ａは、横型炉本体７における長手方向中間部に対して、横型炉本体７の径方向外方に張り出した形状を有している。 The horizontal furnace main body 7 is formed into a cylindrical shape (hollow shape) using, for example, quartz (SiO 2 ), and in the present embodiment, extends in the front-rear direction. The rear end of the horizontal furnace body 7 is closed. At the front end of the horizontal furnace body 7, an opening 7a is formed which is arranged sideways. The opening 7a is formed in a flange shape that is open toward the front. That is, the opening 7 a has a shape that projects outward in the radial direction of the horizontal furnace main body 7 with respect to the longitudinal intermediate portion of the horizontal furnace main body 7.

開口部７ａは、被処理物１００を通過させることが可能な大きさに形成されている。被処理物１００は、開口部７ａを通して、横型炉本体７に出し入れされる。被処理物１００は、たとえば、支持台１２に乗せられた状態で、横型炉本体７の外側から、開口部７ａを通して、横型炉本体７内に挿入される。この開口部７ａは、ドア２によって開閉される。 The opening 7a is formed in a size that allows the object to be processed 100 to pass therethrough. The object 100 to be processed is taken in and out of the horizontal furnace body 7 through the opening 7a. The workpiece 100 is inserted into the horizontal furnace main body 7 from the outside of the horizontal furnace main body 7 through the opening 7a while being placed on the support table 12, for example. The opening 7a is opened and closed by the door 2.

ドア２は、開口部７ａを開閉するために設けられている。ドア２は、たとえば、石英（ＳｉＯ２）を用いて形成されている。ドア２は、横型炉本体７内で被処理物１００の熱処理が行われている間、所定の閉位置Ｐ３に配置されることで横型炉本体７の開口部７ａを閉じる。これにより、ドア２は、横型炉本体７内の熱エネルギーおよび熱処理用ガスの流出を防止する。そして、ドア２は、横型炉本体７に対する被処理物１００の出し入れの際、所定の開位置Ｐ２に配置されることで横型炉本体７の開口部７ａを開く。これにより、ドア２は、横型炉本体７に対する被処理物１００の出し入れ作業の邪魔にならないように配置される。 The door 2 is provided to open and close the opening 7a. The door 2 is made of, for example, quartz (SiO 2 ). The door 2 closes the opening 7a of the horizontal furnace main body 7 by being arranged at a predetermined closed position P3 while the object 100 is being heat-treated in the horizontal furnace main body 7. Thereby, the door 2 prevents the thermal energy in the horizontal furnace body 7 and the heat treatment gas from flowing out. Then, the door 2 is arranged at a predetermined open position P2 to open the opening 7a of the horizontal furnace main body 7 when the workpiece 100 is taken in and out of the horizontal furnace main body 7. As a result, the door 2 is arranged so as not to interfere with the work of taking in and out the workpiece 100 with respect to the horizontal furnace body 7.

ドア２は、略円板状に形成されており、所定の厚みを有している。ドア２の外周部は、ドア２が閉位置Ｐ１にあるときに開口部７ａの端面に接触するように構成されている。上記の構成を有する横型炉３の前部９（横型炉本体７の前部およびドア２）は、収容室５に収容されている。 The door 2 is formed in a substantially disc shape and has a predetermined thickness. The outer peripheral portion of the door 2 is configured to come into contact with the end surface of the opening 7a when the door 2 is in the closed position P1. The front part 9 (the front part of the horizontal furnace body 7 and the door 2) of the horizontal furnace 3 having the above configuration is housed in the housing chamber 5.

収容室５は、横型炉３の前部９を収容する空間を形成するために設けられている。また、収容室５は、横型炉３の前部９の周囲に冷却用ガスの気流Ｆ１を発生させるために設けられている。この気流Ｆ１が生じることにより、収容室５の前部９は、気流Ｆ１によって冷却される、その結果、前部９の過熱が抑制される。また、横型炉３の内部から放出されるガスが気流Ｆ１によって排出される。 The housing chamber 5 is provided to form a space for housing the front portion 9 of the horizontal furnace 3. Further, the accommodation chamber 5 is provided to generate a cooling gas flow F1 around the front portion 9 of the horizontal furnace 3. When the air flow F1 is generated, the front portion 9 of the accommodation chamber 5 is cooled by the air flow F1, and as a result, overheating of the front portion 9 is suppressed. Further, the gas discharged from the inside of the horizontal furnace 3 is discharged by the air flow F1.

収容室５は、本実施形態では、略直方体状に形成されている。本実施形態では、収容室５は、平面視において横型炉３の前部を取り囲むように配置された４つの支柱１０に金属パネルなどの壁形成部材が設置された構成を有している。 The accommodation chamber 5 is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape in the present embodiment. In the present embodiment, the accommodation chamber 5 has a configuration in which a wall forming member such as a metal panel is installed on four pillars 10 arranged so as to surround the front portion of the horizontal furnace 3 in a plan view.

収容室５は、外郭部１１と、外郭部１１内において気流Ｆ１の通路を形成するためのスカベンジャー部１２と、を有している。 The storage chamber 5 has an outer shell portion 11 and a scavenger portion 12 for forming a passage of the airflow F1 inside the outer shell portion 11.

外郭部１１は、収容室５の外郭部を形成する部分として設けられている。外郭部１１内に、横型炉３の前部９、および、開閉機構６が収容されている。 The outer shell portion 11 is provided as a portion forming an outer shell portion of the accommodation chamber 5. The front part 9 of the horizontal furnace 3 and the opening/closing mechanism 6 are housed in the outer shell 11.

外郭部１１は、支柱１０と、底壁１３と、天壁１４と、左右一対の側壁としての左側壁１５および右側壁１６と、後壁１７と、前壁１８と、を有している。 The outer shell portion 11 has a column 10, a bottom wall 13, a ceiling wall 14, a left side wall 15 and a right side wall 16 as a pair of left and right side walls, a rear wall 17, and a front wall 18.

底壁１３、天壁１４、左側壁１５、右側壁１６、後壁１７、および、前壁１８は、金属板などのパネル状部材を用いて形成されている。底壁１３は、外郭部１１の四隅に配置された４つの支柱１０の下部に固定されており、横型炉３の前部９を下側から覆っている。一方、天壁１４は、４つの支柱１０の上部に固定されており、横型炉３の前部９を上側から覆っている。また、左側壁１５は、４つの支柱１０のうち左側の２つの支柱１０に固定されており、横型炉３の前部９を左側から覆っている。 The bottom wall 13, the top wall 14, the left side wall 15, the right side wall 16, the rear wall 17, and the front wall 18 are formed using panel-shaped members such as metal plates. The bottom wall 13 is fixed to the lower portions of the four columns 10 arranged at the four corners of the outer shell 11, and covers the front portion 9 of the horizontal furnace 3 from below. On the other hand, the ceiling wall 14 is fixed to the upper portions of the four columns 10 and covers the front portion 9 of the horizontal furnace 3 from above. Further, the left side wall 15 is fixed to the two left columns 10 out of the four columns 10 and covers the front part 9 of the horizontal furnace 3 from the left side.

右側壁１６は、４つの支柱１０のうち右側の２つの支柱１０に固定されており、横型炉３の前部９を右側から覆っている。後壁１７は、４つの支柱１０のうち後側の２つの支柱１０に固定されており、横型炉３の前部９を後側から覆っている。後壁１７には、横型炉本体７が貫通する貫通孔１７ａが形成されている。貫通孔１７ａは、横型炉３の外周面の形状に対応する形状に形成されており、横型炉本体７と後壁１７との間から気体が漏れることは、抑制されている。 The right side wall 16 is fixed to the two right columns 10 out of the four columns 10 and covers the front part 9 of the horizontal furnace 3 from the right side. The rear wall 17 is fixed to the two rear columns 10 of the four columns 10 and covers the front portion 9 of the horizontal furnace 3 from the rear side. The rear wall 17 is formed with a through hole 17a through which the horizontal furnace body 7 penetrates. The through hole 17 a is formed in a shape corresponding to the shape of the outer peripheral surface of the horizontal furnace 3, and gas leakage from between the horizontal furnace body 7 and the rear wall 17 is suppressed.

前壁１８は、４つの支柱１０のうちの前側の２つの支柱１０の間に配置されており、横型炉３の前部９を前側から覆っている。前壁１８は、左右一対の固定壁１８ａＬ，１８ａＲと、左右一対の可動壁１８ｂＬ，１８ｂＲと、を有している。左側の固定壁１８ａＬは、左前側の支柱１０に固定され、右側に向けて延びている。右側の固定壁１８ａＲは、右前側の支柱１０に固定され、左側に向けて延びている。これら左右一対の固定壁１８ａＬ，１８ａＲに隣接して、左右一対の可動壁１８ｂＬ，１８ｂＲが配置されている。 The front wall 18 is arranged between the two front columns 10 of the four columns 10 and covers the front portion 9 of the horizontal furnace 3 from the front side. The front wall 18 has a pair of left and right fixed walls 18aL and 18aR and a pair of left and right movable walls 18bL and 18bR. The fixed wall 18aL on the left side is fixed to the column 10 on the left front side and extends toward the right side. The fixed wall 18aR on the right side is fixed to the column 10 on the front right side and extends toward the left side. A pair of left and right movable walls 18bL, 18bR are arranged adjacent to the pair of left and right fixed walls 18aL, 18aR.

可動壁１８ｂＬ，１８ｂＲは、固定壁１８ａＬ，１８ａＲに対して左右に変位することで、収容室５の扉として機能するように構成されている。各可動壁１８ｂＬ，１８ｂＲは、開口部７ａに向かい合った閉位置Ｐ３と、左右方向における閉位置Ｐ３の外側の位置であって開口部７ａを収容室５の前方に開放させるための開位置Ｐ４と、の間を変位可能に構成されている。閉位置Ｐ３における一対の可動壁１８ｂＬ，１８ｂＲは、一対の固定壁１８ａＬ，１８ａＲと協働して、横型炉３の前部９を前側から覆っている。一方、開位置Ｐ４における一対の可動壁１８ｂＬ，１８ｂＲは、対応する固定壁１８ａＬ，１８ａＲと前後に重なるように配置され、横型炉３のドア２を前方に露呈させる。可動壁１８ｂＬ，１８ｂＲは、電動モータなどを含む駆動装置１９によって、開閉動作される。 The movable walls 18bL and 18bR are configured to function as doors of the accommodation chamber 5 by being displaced left and right with respect to the fixed walls 18aL and 18aR. Each movable wall 18bL, 18bR has a closed position P3 facing the opening 7a, and an open position P4 outside the closed position P3 in the left-right direction for opening the opening 7a in front of the accommodation chamber 5. , Is displaceable between them. The pair of movable walls 18bL and 18bR in the closed position P3 cooperate with the pair of fixed walls 18aL and 18aR to cover the front portion 9 of the horizontal furnace 3 from the front side. On the other hand, the pair of movable walls 18bL and 18bR at the open position P4 are arranged so as to overlap with the corresponding fixed walls 18aL and 18aR in the front and rear, and expose the door 2 of the horizontal furnace 3 to the front. The movable walls 18bL and 18bR are opened and closed by a drive device 19 including an electric motor and the like.

上記の構成により、底壁１３、天壁１４、左右一対の側壁１５，１６、後壁１７、および、前壁１８は、協働して直方体状の箱部分を形成している。これら底壁１３、天壁１４、左右一対の側壁１５，１６、後壁１７、および、前壁１８によって、横型炉３の前部９の周囲が取り囲まれている。上記の構成を有する外郭部１１内に、スカベンジャー部１２が配置されている。 With the above configuration, the bottom wall 13, the top wall 14, the pair of left and right side walls 15 and 16, the rear wall 17, and the front wall 18 cooperate to form a rectangular parallelepiped box portion. The bottom wall 13, the ceiling wall 14, the pair of left and right side walls 15 and 16, the rear wall 17, and the front wall 18 surround the front portion 9 of the horizontal furnace 3. The scavenger portion 12 is arranged in the outer shell portion 11 having the above configuration.

スカベンジャー部１２は、横型炉３の開口部７ａの周囲を取り囲むとともに、開口部７ａの周囲に気流Ｆ１を発生させるために設けられている。スカベンジャー部１２は、本実施形態では、横型炉３の長手方向である前後方向に沿って延びる空間を形成している、また、スカベンジャー部１２は、左右方向における収容室５の中間部で且つ上下方向における収容室５の中間部に配置されている。 The scavenger portion 12 surrounds the opening 7a of the horizontal furnace 3 and is provided to generate an air flow F1 around the opening 7a. In the present embodiment, the scavenger portion 12 forms a space extending along the front-rear direction which is the longitudinal direction of the horizontal furnace 3. Further, the scavenger portion 12 is an intermediate portion of the accommodation chamber 5 in the left-right direction and vertically It is arranged in the middle part of the accommodation chamber 5 in the direction.

本実施形態では、スカベンジャー部１２は、開口部７ａの右側方からスカベンジャー部１２内に冷却用ガス（本実施形態では、空気）を導入し、開口部７ａの周囲を通過させた後、冷却用ガスを開口部７ａの左側方からスカベンジャー部１２の外部に排出するように構成されている。これにより、開口部７ａの周囲が過熱することを抑制している。また、ドア２が開いたときなどに横型炉３内のガスが開口部７ａから収容室５の外部に不用意に漏れることを抑制している。 In the present embodiment, the scavenger portion 12 introduces a cooling gas (air in the present embodiment) into the scavenger portion 12 from the right side of the opening portion 7a, passes the gas around the opening portion 7a, and then cools it. The gas is discharged to the outside of the scavenger portion 12 from the left side of the opening 7a. This suppresses overheating around the opening 7a. Further, the gas in the horizontal furnace 3 is prevented from inadvertently leaking from the opening 7a to the outside of the storage chamber 5 when the door 2 is opened.

スカベンジャー部１２は、底壁２３と、天壁２４と、左右一対の側壁２５，２６と、後壁１７と、前壁１８と、を有している。すなわち、スカベンジャー部１２の一部としての前壁１８および後壁１７は、収容室５の一部としての前壁１８および後壁１７によって形成されている。 The scavenger portion 12 has a bottom wall 23, a top wall 24, a pair of left and right side walls 25 and 26, a rear wall 17, and a front wall 18. That is, the front wall 18 and the rear wall 17 as a part of the scavenger portion 12 are formed by the front wall 18 and the rear wall 17 as a part of the accommodation chamber 5.

底壁２３、天壁２４、左側壁２５、および、右側壁２６は、矩形状の金属板などのパネル状部材を用いて形成されている。底壁２３の前部は、たとえば、前壁１８の左右一対の固定壁１８ａＬ，１８ａＲに固定されている。また、底壁２３の後部は、後壁１７に固定されている。この底壁２３は、横型炉３の前部９を下側から覆っている。また、天壁２４の前部は、たとえば、前壁１８の左右一対の固定壁１８ａＬ，１８ａＲに固定されている。また、天壁２４の後部は、後壁１７に固定されている。天壁２４は、横型炉３の前部９を上側から覆っている。これら底壁２３および天壁２４は、収容室５の底壁１３および天壁１４に上下に挟まれるように配置されている。 The bottom wall 23, the top wall 24, the left side wall 25, and the right side wall 26 are formed by using a panel-shaped member such as a rectangular metal plate. The front portion of the bottom wall 23 is fixed to, for example, a pair of left and right fixed walls 18aL and 18aR of the front wall 18. The rear portion of the bottom wall 23 is fixed to the rear wall 17. The bottom wall 23 covers the front portion 9 of the horizontal furnace 3 from below. The front portion of the top wall 24 is fixed to, for example, a pair of left and right fixed walls 18aL and 18aR of the front wall 18. The rear portion of the top wall 24 is fixed to the rear wall 17. The ceiling wall 24 covers the front portion 9 of the horizontal furnace 3 from above. The bottom wall 23 and the ceiling wall 24 are arranged so as to be vertically sandwiched between the bottom wall 13 and the ceiling wall 14 of the accommodation chamber 5.

また、左側の側壁２５の前部は、たとえば、前壁１８の固定壁１８ａＬに固定されている。また、左側の側壁２５の後部は、後壁１７に固定されている。左側壁１５は、横型炉３の前部９を左側から覆っている。 The front portion of the left side wall 25 is fixed to, for example, the fixed wall 18aL of the front wall 18. The rear part of the left side wall 25 is fixed to the rear wall 17. The left side wall 15 covers the front part 9 of the horizontal furnace 3 from the left side.

右側の側壁２６は、側壁本体２７と、側壁本体２７に対して着脱可能な支持部材２８と、を有している。 The right side wall 26 has a side wall body 27 and a support member 28 that is attachable to and detachable from the side wall body 27.

側壁本体２７および支持部材２８は、矩形状に形成されている。側壁本体２７の前部は、たとえば、前壁１８の右側の固定壁１８ａＲに固定されている。また、側壁本体２７の後部は、後壁１７に固定されている。側壁本体２７の前寄り部分には、貫通孔２７ａが形成されている。貫通孔２７ａは、矩形状に形成された貫通孔である。 The side wall body 27 and the support member 28 are formed in a rectangular shape. The front portion of the side wall body 27 is fixed to, for example, the fixed wall 18aR on the right side of the front wall 18. The rear portion of the side wall body 27 is fixed to the rear wall 17. A through hole 27a is formed in the front portion of the side wall body 27. The through hole 27a is a through hole formed in a rectangular shape.

貫通孔２７ａの上端部は、横型炉本体７の上端部の近傍に位置している。また、貫通孔２７ａの下端部は、横型炉本体７の下端部の近傍に位置している。また、前後方向において、貫通孔２７ａの長さは、側壁本体２７の長さの半分以下程度に設定されている。この貫通孔２７ａの大部分は、支持部材２８によって塞がれている。 The upper end of the through hole 27 a is located near the upper end of the horizontal furnace body 7. The lower end of the through hole 27 a is located near the lower end of the horizontal furnace body 7. Further, in the front-rear direction, the length of the through hole 27a is set to be about half the length of the side wall body 27 or less. Most of the through hole 27a is blocked by the support member 28.

支持部材２８は、開閉機構６を支持するために、より具体的には、開閉機構６の後述するリンク機構３５および直動アクチュエータ３４を一括して支持するために設けられている。支持部材２８の外周部は、たとえば、ねじなどの固定部材を用いて、側壁本体２７における貫通孔２７ａの外周縁部に固定されている。支持部材２８は、横型炉本体７の開口部７ａおよびドア２と左右に向かい合うように配置されている。支持部材２８は、側壁本体２７の外側面に接触している。この構成により、作業員は、支持部材２８を、スカベンジャー部１２の外側の比較的広い空間においてスカベンジャー部１２に取り付けることができる。 The support member 28 is provided to support the opening/closing mechanism 6, and more specifically, to collectively support a link mechanism 35 and a linear actuator 34 of the opening/closing mechanism 6 which will be described later. The outer peripheral portion of the support member 28 is fixed to the outer peripheral edge portion of the through hole 27a in the side wall body 27 by using a fixing member such as a screw. The support member 28 is arranged so as to face the opening 7 a of the horizontal furnace body 7 and the door 2 in the left-right direction. The support member 28 is in contact with the outer surface of the side wall body 27. With this configuration, the worker can attach the support member 28 to the scavenger portion 12 in a relatively wide space outside the scavenger portion 12.

上記の構成により、右側壁２６は、横型炉３の前部９を右側から覆っている。これら左右一対の側壁２５，２６は、外郭部１１の左右一対の側壁１５，１６に左右に挟まれるように配置されている。また、底壁２３、天壁２４、および、左右一対の側壁２５，２６は、前後方向と直交する断面において、全体として矩形状に形成されている。すなわち、外郭部１１の内部において、スカベンジャー部１２は、前壁１８と後壁１７との間に、底壁２３、天壁２４、および、左右一対の側壁２５，２６で囲まれた直方体状の空間を形成している。この空間に、横型炉３の前部９が収容されている。 With the above configuration, the right side wall 26 covers the front portion 9 of the horizontal furnace 3 from the right side. The pair of left and right side walls 25 and 26 are arranged so as to be sandwiched between the pair of left and right side walls 15 and 16 of the outer shell 11 on the left and right. Further, the bottom wall 23, the top wall 24, and the pair of left and right side walls 25, 26 are formed in a rectangular shape as a whole in a cross section orthogonal to the front-rear direction. That is, inside the outer portion 11, the scavenger portion 12 has a rectangular parallelepiped shape surrounded by the bottom wall 23, the top wall 24, and the pair of left and right side walls 25, 26 between the front wall 18 and the rear wall 17. It forms a space. The front part 9 of the horizontal furnace 3 is housed in this space.

スカベンジャー部１２の左右一対の側壁２５，２６には、冷却用開口部８が形成されている。冷却用開口部８は、スカベンジャー部１２内に冷却用ガスを通過させるため（気流Ｆ１を発生させるため）に設けられている。本実施形態では、冷却用開口部８に、開閉機構６の少なくとも一部が配置されている。 A cooling opening 8 is formed in a pair of left and right side walls 25, 26 of the scavenger portion 12. The cooling opening 8 is provided to allow the cooling gas to pass through the scavenger portion 12 (to generate the air flow F1). In this embodiment, at least a part of the opening/closing mechanism 6 is arranged in the cooling opening 8.

冷却用開口部８は、気流Ｆ１の向きの成分が、左右方向、上下方向、および、前後方向の少なくとも一つを含むように構成されている。本実施形態では、冷却用開口部８は気流Ｆ１が、左右方向に沿って流れるとともに、上下方向に沿って流れ、さらに、前後方向にも沿って流れるように構成されている。これにより、冷却用開口部８は、スカベンジャー部１２内におけるガスの滞留を抑制し、スカベンジャー部１２内の温度をより確実に低下させる。また、横型炉３からスカベンジャー部１２内に放出されたガスをより確実に回収することが意図されている。 The cooling opening 8 is configured such that the component of the direction of the air flow F1 includes at least one of the left-right direction, the up-down direction, and the front-back direction. In the present embodiment, the cooling opening 8 is configured such that the airflow F1 flows in the left-right direction, the vertical direction, and the front-back direction. As a result, the cooling opening 8 suppresses the retention of gas in the scavenger portion 12 and more reliably lowers the temperature in the scavenger portion 12. Further, it is intended to more reliably recover the gas released from the horizontal furnace 3 into the scavenger portion 12.

図１〜図３および図６を参照して、冷却用開口部８は、冷却用ガスをスカベンジャー部１２内に導入するための導入部３１と、冷却用ガスをスカベンジャー部１２内から排出するための排出部３２と、を有している。 With reference to FIGS. 1 to 3 and 6, the cooling opening 8 serves to introduce the cooling gas into the scavenger portion 12 and to discharge the cooling gas from the scavenger portion 12. And a discharge section 32 of

導入部３１は、本実施形態では、スカベンジャー部１２の右側壁２６に形成されている。より具体的には、導入部３１は、右側壁２６の支持部材２８に形成されている。導入部３１は、支持部材２８を貫通する孔部として形成されている。導入部３１は、支持部材２８の前下側に形成されている。上下方向において、導入部３１の位置は、ドア２の下部寄りの部分の位置と揃えられている。この場合のドア２の下部とは、上下方向において、ドア２の中心部２ａの位置よりも下側の部分をいう。 In the present embodiment, the introduction portion 31 is formed on the right side wall 26 of the scavenger portion 12. More specifically, the introduction portion 31 is formed on the support member 28 of the right side wall 26. The introduction part 31 is formed as a hole penetrating the support member 28. The introduction portion 31 is formed on the lower front side of the support member 28. In the vertical direction, the position of the introduction part 31 is aligned with the position of the portion of the door 2 near the lower part. In this case, the lower portion of the door 2 refers to a portion below the central portion 2a of the door 2 in the vertical direction.

また、前後方向において、導入部３１の位置は、閉位置Ｐ１にあるドア２の前方の位置に設定されている。導入部３１は、本実施形態では、前後方向に細長い矩形状に形成されている。このように、側壁本体２７から取外し可能で且つ側壁本体２７の形状よりも小さい形状の支持部材２８に導入部３１を形成することで、導入部３１を形成する作業を、より容易に行うことができる。 Further, in the front-rear direction, the position of the introduction portion 31 is set to a position in front of the door 2 at the closed position P1. In the present embodiment, the introducing portion 31 is formed in a rectangular shape elongated in the front-rear direction. As described above, by forming the introduction portion 31 on the support member 28 that is removable from the side wall body 27 and has a shape smaller than the shape of the side wall body 27, the work of forming the introduction portion 31 can be performed more easily. it can.

本実施形態では、上下方向における導入部３１の長さは、前後方向における導入部３１の半分程度に設定されている。導入部３１には、たとえば、送風ファン２９によって、収容室５の外郭部１１のうちスカベンジャー部１２の右外側を流れる冷却用ガスが、スカベンジャー部１２内に導入される。導入部３１とは上下方向の位置、前後方向の位置、および、左右方向の位置の少なくとも１つ（本実施形態では、３つとも）が異なるようにして、排出部３２が配置されている。 In the present embodiment, the length of the introducing portion 31 in the vertical direction is set to be about half the length of the introducing portion 31 in the front-back direction. For example, a cooling gas that flows to the outside of the scavenger portion 12 of the housing chamber 5 outside the scavenger portion 12 is introduced into the scavenger portion 12 by the blower fan 29. The discharge unit 32 is arranged such that at least one of the vertical position, the front-back position, and the horizontal position (three in the present embodiment) are different from the introduction unit 31.

排出部３２は、スカベンジャー部１２内を通過した冷却用ガスをスカベンジャー部１２の外部へ排出するために設けられている。排出部３２は、左側壁２５に接続されたダクトとして形成されている。排出部３２は、前後方向において、導入部３１の後方に配置されている。排出部３２は、左側壁２５の後上側に形成されている。上下方向において、排出部３２の位置は、ドア２の上部寄りの部分の位置と揃えられている。この場合のドア２の上部とは、上下方向において、ドア２の中心部２ａの位置よりも上側の部分をいう。また、前後方向において、排出部３２の位置は、横型炉本体７の中間部の位置に設定されている。このように、導入部３１と排出部３２とは、ドア２を挟むようにして離隔して配置され、且つ、前後方向（横型炉３の長手方向）において、離隔して配置されている。 The discharge unit 32 is provided to discharge the cooling gas that has passed through the scavenger unit 12 to the outside of the scavenger unit 12. The discharge part 32 is formed as a duct connected to the left side wall 25. The discharge part 32 is arranged behind the introduction part 31 in the front-back direction. The discharge part 32 is formed on the upper rear side of the left side wall 25. In the vertical direction, the position of the discharge portion 32 is aligned with the position of the portion near the upper portion of the door 2. In this case, the upper portion of the door 2 refers to a portion above the position of the central portion 2a of the door 2 in the vertical direction. Further, in the front-rear direction, the position of the discharge part 32 is set to the position of the middle part of the horizontal furnace body 7. In this way, the introduction part 31 and the discharge part 32 are arranged so as to be separated so as to sandwich the door 2, and are also arranged so as to be separated in the front-rear direction (longitudinal direction of the horizontal furnace 3).

排出部３２には、たとえば、図示しない配管が接続されている。排出部３２および配管は、吸引ファン３０によって負圧が生じており、スカベンジャー部１２内を流れた冷却用ガスは、排出部３２を通して配管に吸引され、フィルタなどを通して大気に放出される。 A pipe (not shown) is connected to the discharge part 32, for example. A negative pressure is generated in the exhaust unit 32 and the pipe by the suction fan 30, and the cooling gas flowing in the scavenger unit 12 is sucked into the pipe through the exhaust unit 32 and released to the atmosphere through a filter or the like.

上記の構成により、冷却用ガスは、導入部３１からスカベンジャー部１２内に進入し、気流Ｆ１を生じながら、ドア２および開口部７ａの周囲を通過し、その後、左後上方に進み、排出部３２からスカベンジャー部１２の外部に排出される。このスカベンジャー部１２に、開閉機構６が設置されている。 With the above-described configuration, the cooling gas enters the scavenger portion 12 from the introduction portion 31 and passes around the door 2 and the opening portion 7a while generating the air flow F1, and then proceeds to the upper left rear portion to the discharge portion. It is discharged from 32 to the outside of the scavenger unit 12. The opening/closing mechanism 6 is installed in the scavenger unit 12.

図１、図２および図４〜図６を参照して、開閉機構６は、ドア２を開閉動作させるために設けられている。前述したように、開閉機構６の少なくとも一部は、冷却用開口部８の導入部３１内に配置されている。また、本実施形態では、開閉機構６の略全部に気流Ｆ１が当たるように構成されている。開閉機構６は、本実施形態では、スカベンジャー部１２内の右側領域、および、スカベンジャー部１２の右外側に配置されている。 With reference to FIGS. 1, 2 and 4 to 6, the opening/closing mechanism 6 is provided for opening/closing the door 2. As described above, at least a part of the opening/closing mechanism 6 is arranged in the introduction part 31 of the cooling opening 8. Further, in the present embodiment, the airflow F1 impinges on substantially the entire opening/closing mechanism 6. In the present embodiment, the opening/closing mechanism 6 is arranged on the right side region in the scavenger portion 12 and on the right outside of the scavenger portion 12.

開閉機構６は、ステーユニット３３と、直動アクチュエータ３４と、リンク機構３５と、を有している。 The opening/closing mechanism 6 includes a stay unit 33, a linear actuator 34, and a link mechanism 35.

ステーユニット３３は、直動アクチュエータ３４およびリンク機構３５を支持するために設けられている。ステーユニット３３は、支持部材２８に隣接して配置されており、この支持部材２８に固定されている。ステーユニット３３は、支持部材２８の右方および左方に延びている。また、ステーユニット３３は、冷却用開口部８の導入部３１に隣接して配置されている。 The stay unit 33 is provided to support the linear motion actuator 34 and the link mechanism 35. The stay unit 33 is arranged adjacent to the support member 28 and is fixed to the support member 28. The stay unit 33 extends to the right and left of the support member 28. Further, the stay unit 33 is arranged adjacent to the introduction portion 31 of the cooling opening 8.

ステーユニット３３は、第１ステー部３６と、第２ステー部３７と、を有している。 The stay unit 33 has a first stay portion 36 and a second stay portion 37.

第１ステー部３６は、リンク機構３５の後述するリンク部材４５を支持するために設けられている。第１ステー部３６は、スカベンジャー部１２内に配置されている。第１ステー部３６は、後述する第１軸線Ｓ１回りに揺動可能にリンク部材４５を支持し、支持部材２８に保持されている。第１ステー部３６は、ベースプレート３６ａと、上下一対の第１延伸部３６ｂと、を有している。 The first stay portion 36 is provided to support a link member 45, which will be described later, of the link mechanism 35. The first stay portion 36 is arranged in the scavenger portion 12. The first stay portion 36 supports the link member 45 so as to be swingable around a first axis S1 described later, and is held by the support member 28. The first stay portion 36 has a base plate 36a and a pair of upper and lower first extending portions 36b.

ベースプレート３６ａは、たとえば、略矩形の平板状に形成されている。ベースプレート３６ａは、支持部材２８のうちスカベンジャー部１２の内側を向く内側面に受けられており、ねじ部材などの固定部材３６ｃを用いて、支持部材２８に保持（固定）されている。より具体的には、ベースプレート３６ａには、上下方向に延びる長孔部３６ｄがベースプレート３６ａの四隅に形成されている。各長孔部３６ｄは、固定部材３６ｃに貫通されている。固定部材３６ｃによるベースプレート３６ａと支持部材２８の互いの固定が解除されている状態において、固定部材３６ｃに対するベースプレート３６ａの位置を調整することで、上下方向における第１ステー部３６の位置を調整することができる。 The base plate 36a is formed, for example, in a substantially rectangular flat plate shape. The base plate 36a is received by the inner surface of the support member 28 facing the inside of the scavenger portion 12, and is held (fixed) by the support member 28 using a fixing member 36c such as a screw member. More specifically, the base plate 36a is formed with elongated holes 36d extending in the vertical direction at four corners of the base plate 36a. Each long hole portion 36d is penetrated by the fixing member 36c. Adjusting the position of the first stay portion 36 in the vertical direction by adjusting the position of the base plate 36a with respect to the fixing member 36c in a state where the fixing of the base plate 36a and the supporting member 28 by the fixing member 36c is released. You can

ベースプレート３６ａの上部および下部から、第１延伸部３６ｂが延びている。各第１延伸部３６ｂは、水平に延びる板状に形成されており、ベースプレート３６ａから左前方に向けて延びる形状に形成されている。前後方向において、第１延伸部３６ｂの前端部は、ベースプレート３６ａの前端部の前方に配置されている。第１ステー部３６の右方に、第２ステー部３７が配置されている。 The first extending portion 36b extends from the upper and lower portions of the base plate 36a. Each of the first extending portions 36b is formed in a horizontally extending plate shape, and is formed in a shape extending from the base plate 36a toward the front left. In the front-rear direction, the front end portion of the first extending portion 36b is arranged in front of the front end portion of the base plate 36a. The second stay portion 37 is arranged to the right of the first stay portion 36.

第２ステー部３７は、リンク機構３５の後述する直動アクチュエータ３４を支持するために設けられている。第２ステー部３７は、スカベンジャー部１２の右外側において、外郭部１１内に配置されている。第２ステー部３７は、後述する第３軸線Ｓ３回りに揺動可能に直動アクチュエータ３４を支持し支持部材２８に保持されている。第２ステー部３７の位置は、第１ステー部３６の位置よりも低く設定されている。第２ステー部３７は、ベースプレート３７ａと、上下一対の第２延伸部３７ｂと、を有している。 The second stay portion 37 is provided to support a later-described linear motion actuator 34 of the link mechanism 35. The second stay portion 37 is arranged inside the outer shell portion 11 on the right outside of the scavenger portion 12. The second stay portion 37 supports the linear actuator 34 so as to be swingable around a third axis S3, which will be described later, and is held by the support member 28. The position of the second stay portion 37 is set lower than the position of the first stay portion 36. The second stay portion 37 has a base plate 37a and a pair of upper and lower second extending portions 37b.

ベースプレート３７ａは、たとえば、略矩形の平板状に形成されている。本実施形態では、ベースプレート３６，３７のベースプレート３６ａ，３７ａは、前後方向の位置が揃えられている。ベースプレート３７ａは、支持部材２８のうちスカベンジャー部１２の外側を向く外側面に受けられており、ねじ部材などの固定部材３７ｃを用いて、支持部材２８に保持（固定）されている。より具体的には、ベースプレート３７ａには、上下方向に延びる長孔部３７ｄがベースプレート３７の四隅に形成されている。各長孔部３７ｄは、固定部材３７ｃに貫通されている。固定部材３７ｃによるベースプレート３７ａと支持部材２８の互いの固定が解除されている状態において、固定部材３７ｃに対するベースプレート３７ａの位置を調整することで、上下方向における第２ステー部３７の位置を調整することができる。 The base plate 37a is formed, for example, in a substantially rectangular flat plate shape. In this embodiment, the base plates 36a and 37a of the base plates 36 and 37 are aligned in the front-rear direction. The base plate 37a is received by the outer surface of the support member 28 facing the outside of the scavenger portion 12, and is held (fixed) by the support member 28 using a fixing member 37c such as a screw member. More specifically, the base plate 37a is formed with elongated holes 37d extending in the vertical direction at the four corners of the base plate 37. Each long hole portion 37d is penetrated by the fixing member 37c. Adjusting the position of the second stay portion 37 in the vertical direction by adjusting the position of the base plate 37a with respect to the fixing member 37c in a state where the fixing of the base plate 37a and the supporting member 28 by the fixing member 37c is released. You can

ベースプレート３７ａの上部および下部から、第２延伸部３７ｂが延びている。各第２延伸部３７ｂは、水平に延びる板状に形成されており、ベースプレート３７ａから右前方に向けて延びる形状に形成されている。前後方向において、第２延伸部３７ｂの前端部は、ベースプレート３７ａの前端部の前方に配置されている。上記の構成を有するステーユニット３３によって、開閉機構６（直動アクチュエータ３４およびリンク機構３５）が支持されている。 The second extending portion 37b extends from the upper and lower portions of the base plate 37a. Each of the second extending portions 37b is formed in a plate shape that extends horizontally, and is formed in a shape that extends from the base plate 37a toward the front right. In the front-rear direction, the front end portion of the second extending portion 37b is arranged in front of the front end portion of the base plate 37a. The opening/closing mechanism 6 (the linear motion actuator 34 and the link mechanism 35) is supported by the stay unit 33 having the above configuration.

直動アクチュエータ３４は、ドア２を開閉する駆動力を発生するためのアクチュエータとして設けられている。直動アクチュエータ３４は、たとえば、流体圧シリンダである。流体圧シリンダとして、空気圧シリンダ、および、油圧シリンダを例示することができる。直動アクチュエータ３４は、本実施形態では、水平に配置されている。 The linear actuator 34 is provided as an actuator for generating a driving force for opening and closing the door 2. The linear actuator 34 is, for example, a fluid pressure cylinder. A pneumatic cylinder and a hydraulic cylinder can be illustrated as a fluid pressure cylinder. The linear actuator 34 is horizontally arranged in the present embodiment.

また、直動アクチュエータ３４は、冷却用開口部８の導入部３１を貫通するように配置されている。すなわち、直動アクチュエータ３４は、収容室５内において、スカベンジャー部１２の外部と内部にまたがって配置されている。また、直動アクチュエータ３４の高さ位置（上下方向の位置）は、ドア２の中心部２ａの高さ位置よりも低く設定されている。これにより、横型炉３内のガスが開口部７ａからスカベンジャー部１２内において横型炉３の外部に流れたときに、高温のガスの対流が直動アクチュエータ３４に到達することを抑制できる。 Further, the linear actuator 34 is arranged so as to penetrate the introducing portion 31 of the cooling opening 8. That is, the linear motion actuator 34 is arranged in the accommodation chamber 5 so as to extend outside and inside the scavenger unit 12. Further, the height position (vertical position) of the linear actuator 34 is set lower than the height position of the central portion 2 a of the door 2. Thereby, when the gas in the horizontal furnace 3 flows from the opening 7a to the outside of the horizontal furnace 3 in the scavenger portion 12, it is possible to suppress the convection of the high temperature gas from reaching the linear actuator 34.

直動アクチュエータ３４は、固定部３８と、固定部３８に支持された出力部３９と、出力部３９の先端に固定されたアタッチメント４０と、を有している。本実施形態では、固定部３８は、シリンダ部によって形成され、出力部３９は、シリンダ部から突出するロッドによって形成されている。なお、固定部３８がロッドによって形成され、出力部３９がシリンダ部によって形成されてもよい。 The linear motion actuator 34 has a fixed portion 38, an output portion 39 supported by the fixed portion 38, and an attachment 40 fixed to the tip of the output portion 39. In the present embodiment, the fixed portion 38 is formed by a cylinder portion, and the output portion 39 is formed by a rod protruding from the cylinder portion. The fixed portion 38 may be formed by a rod and the output portion 39 may be formed by a cylinder portion.

固定部３８は、前述したように、シリンダ部によって形成されており、細長い円柱状に形成されている。固定部３８は、図示しないポンプなどに接続されており、ポンプの動作によって生じた流体圧を受けるように構成されている。固定部３８は、外郭部１１内において、スカベンジャー部１２の外部に配置されている。固定部３８は、導入部３１と左右方向に向かい合うように配置されている。 As described above, the fixing portion 38 is formed by the cylinder portion, and is formed in an elongated cylindrical shape. The fixed portion 38 is connected to a pump or the like (not shown), and is configured to receive the fluid pressure generated by the operation of the pump. The fixed portion 38 is arranged outside the scavenger portion 12 in the outer shell 11. The fixed portion 38 is arranged so as to face the introduction portion 31 in the left-right direction.

固定部３８の外周部のたとえば一端部には、鉛直方向に延びる第３支軸４３が設けられている。第３支軸４３は、固定部３８のたとえば上端部および下端部に形成されており、第２ステー部３７の第２延伸部３７ｂに向けて延びている。各第３支軸４３は、第２延伸部３７ｂの先端部に形成された孔部に嵌合されている。これにより、固定部３８（直動アクチュエータ３４）は、スカベンジャー部１２に対して、当該第３支軸４３の軸線としての第３軸線Ｓ３回りを揺動可能である。 A third support shaft 43 extending in the vertical direction is provided at, for example, one end of the outer peripheral portion of the fixed portion 38. The third support shaft 43 is formed at, for example, the upper end portion and the lower end portion of the fixed portion 38, and extends toward the second extending portion 37b of the second stay portion 37. Each third support shaft 43 is fitted in a hole formed at the tip of the second extending portion 37b. As a result, the fixed portion 38 (the linear actuator 34) can swing with respect to the scavenger portion 12 about the third axis S3 as the axis of the third support shaft 43.

第３軸線Ｓ３は、後述する第１軸線Ｓ１および第２軸線Ｓ２の双方と平行である。また、固定部３８は、第３支軸４３を介して第２ステー部３７に支持されている。すなわち、第２ステー部３７は、直動アクチュエータ３４を第３軸線Ｓ３回りに揺動可能に支持し且つ支持部材２８に支持されている。これにより、直動アクチュエータ３４は、スカベンジャー部１２の右側壁１６の支持部材２８に支持されている。固定部３８の一端部から、出力部３９が突出している。 The third axis S3 is parallel to both a first axis S1 and a second axis S2 described later. The fixed portion 38 is supported by the second stay portion 37 via the third support shaft 43. That is, the second stay portion 37 supports the linear actuator 34 so as to be swingable around the third axis S3 and is supported by the support member 28. As a result, the linear motion actuator 34 is supported by the support member 28 of the right side wall 16 of the scavenger unit 12. The output part 39 projects from one end of the fixed part 38.

出力部３９は、前述したように、ロッドによって形成されており、上記の流体圧を受けて固定部３８に対する直線運動を行うように構成されている。出力部３９は、固定部３８によって当該固定部３８に対する固定部３８の直線運動が可能に構成されている。出力部３９は、スカベンジャー部１２の外部に配置された固定部３８から冷却用開口部８の導入部３１を貫通してスカベンジャー部１２内に向けて延びるように配置されている。出力部３９の先端部は、雄ねじ部を含んでいる。出力部３９の先端部には、アタッチメント４０が取り付けられている。 As described above, the output portion 39 is formed of a rod, and is configured to perform the linear motion with respect to the fixed portion 38 by receiving the above fluid pressure. The output section 39 is configured such that the fixed section 38 can linearly move the fixed section 38 with respect to the fixed section 38. The output part 39 is arranged so as to extend from the fixed part 38 arranged outside the scavenger part 12 through the introduction part 31 of the cooling opening 8 toward the inside of the scavenger part 12. The tip portion of the output portion 39 includes a male screw portion. An attachment 40 is attached to the tip of the output unit 39.

アタッチメント４０は、出力部３９をリンク機構３５に取り付けるために設けられている。アタッチメント４０は、棒状に形成されている。アタッチメント４０の基端側部分には、雌ねじ部が形成されている。この雌ねじ部の後述するリンク部材４５には、出力部３９の先端部の雄ねじ部がねじ結合している。これにより、アタッチメント４０は、出力部３９に対する位置調整可能に出力部３９に固定されている。また、出力部３９の先端部には、ロックナット４４がねじ結合しており、出力部３９とアタッチメント４０とを互いに固定している。アタッチメント４０の先端部は、Ｕ字状に形成されており、リンク部材４５の後述する入力側アーム部４６を挟むように配置されている。アタッチメント４０の先端部には、連結部４０ａが形成されている。 The attachment 40 is provided to attach the output unit 39 to the link mechanism 35. The attachment 40 is formed in a rod shape. A female screw portion is formed on the base end side portion of the attachment 40. A male screw portion at the tip of the output portion 39 is screwed to a link member 45 of the female screw portion, which will be described later. As a result, the attachment 40 is fixed to the output unit 39 so that the position of the attachment 40 can be adjusted. A lock nut 44 is screwed to the tip of the output section 39 to fix the output section 39 and the attachment 40 to each other. The tip of the attachment 40 is formed in a U shape, and is arranged so as to sandwich an input side arm portion 46 of the link member 45 described later. A connecting portion 40a is formed at the tip of the attachment 40.

連結部４０ａは、リンク機構３５の後述する第２支軸４２が連結される部分として設けられている。本実施形態では、連結部４０ａは、アタッチメント４０を上下に貫通する貫通孔部として形成されている。連結部４０ａは、スカベンジャー部１２内とスカベンジャー部１２外との間を移動可能に配置されている。上記の構成を有する直動アクチュエータ３４は、リンク機構３５に接続されている。 The connecting portion 40a is provided as a portion to which a second support shaft 42 of the link mechanism 35, which will be described later, is connected. In the present embodiment, the connecting portion 40a is formed as a through-hole portion that vertically penetrates the attachment 40. The connecting portion 40a is movably arranged between the inside of the scavenger portion 12 and the outside of the scavenger portion 12. The linear motion actuator 34 having the above configuration is connected to the link mechanism 35.

リンク機構３５は、直動アクチュエータ３４の出力部３９とドア２とを連結するために設けられている。より具体的には、リンク機構３５は、直動アクチュエータ３４の出力部３９の直線運動を、ドア２を開閉するための揺動運動に変換するために設けられている。また、本実施形態では、リンク機構３５は、スカベンジャー部１２の下部寄りに配置された直動アクチュエータ３４からの出力を、直動アクチュエータ３４の位置よりも上方の位置においてドア２に伝達するように構成されている。このリンク機構３５は、ステーユニット３３を介してスカベンジャー部１２の右側壁２６の支持部材２８に支持されている。 The link mechanism 35 is provided to connect the output section 39 of the linear actuator 34 and the door 2. More specifically, the link mechanism 35 is provided to convert the linear motion of the output portion 39 of the linear motion actuator 34 into a swing motion for opening and closing the door 2. In addition, in the present embodiment, the link mechanism 35 transmits the output from the linear motion actuator 34 arranged near the lower portion of the scavenger unit 12 to the door 2 at a position higher than the position of the linear motion actuator 34. It is configured. The link mechanism 35 is supported by a support member 28 on the right side wall 26 of the scavenger portion 12 via a stay unit 33.

リンク機構３５は、リンク部材４５と、第１支軸４１と、第２支軸４２と、第３支軸４３と、リンク部材４５をドア２に結合する結合部４９と、を有している。 The link mechanism 35 includes a link member 45, a first support shaft 41, a second support shaft 42, a third support shaft 43, and a connecting portion 49 that connects the link member 45 to the door 2. ..

すなわち、第３支軸４３は、直動アクチュエータ３４の一部であるとともに、リンク機構３５の一部でもある。そして、本実施形態では、第１支軸４１の中心軸線は第１軸線Ｓ１であり、第２支軸４２の中心軸線は第２軸線Ｓ２であり、第３支軸４３の中心軸線は第３軸線Ｓ３である。リンク機構３５は、直動アクチュエータ３４の出力部３９の直線運動を、鉛直方向に延びる第１軸線Ｓ１回りの揺動運動に変換しこの揺動運動をドア２に伝達する。 That is, the third support shaft 43 is a part of the linear motion actuator 34 and also a part of the link mechanism 35. In the present embodiment, the center axis of the first support shaft 41 is the first axis S1, the center axis of the second support shaft 42 is the second axis S2, and the center axis of the third support shaft 43 is the third axis. It is the axis S3. The link mechanism 35 converts the linear motion of the output portion 39 of the linear motion actuator 34 into a swing motion around the first axis S1 extending in the vertical direction and transmits this swing motion to the door 2.

リンク部材４５は、ドア２と第１軸線Ｓ１回りに一体的に揺動可能に構成されている。リンク部材４５は、平面視でたとえば、略Ｌ字状に形成された部分である。リンク部材４５は、第１支軸４１を介して第１ステー部３６に支持されており、第１軸線Ｓ１回りを揺動可能である。リンク部材４５は、支持部材２８の近傍に配置されており、残りの一部は、外郭部１１内においてスカベンジャー部１２の外部に配置されている。リンク部材４５の大部分は、スカベンジャー部１２内に配置されている。リンク部材４５は、開口部８の導入部３１に隣接する部分から上方に延びている。 The link member 45 is configured to be integrally swingable around the door 2 and the first axis S1. The link member 45 is, for example, a substantially L-shaped portion in plan view. The link member 45 is supported by the first stay portion 36 via the first support shaft 41 and can swing around the first axis S1. The link member 45 is arranged near the support member 28, and the remaining part is arranged outside the scavenger portion 12 inside the outer shell portion 11. Most of the link member 45 is arranged in the scavenger portion 12. The link member 45 extends upward from a portion of the opening 8 adjacent to the introduction portion 31.

リンク部材４５は、入力側アーム部４６と、中間軸部４７と、出力側アーム部４８と、を有している。 The link member 45 has an input side arm portion 46, an intermediate shaft portion 47, and an output side arm portion 48.

入力側アーム部４６は、リンク部材４５において直動アクチュエータ３４の出力部３９からの駆動力が入力される板状部分として設けられている。入力側アーム部４６は、略水平に延びるアーム状に形成されている。入力側アーム部４６は、冷却用開口部８の導入部３１の周囲に配置されており、第１軸線Ｓ１回りのリンク部材４５の揺動に伴って、スカベンジャー部１２から導入部３１を通ってスカベンジャー部１２の外部に突出するように変位する。 The input side arm portion 46 is provided as a plate-shaped portion of the link member 45 to which the driving force from the output portion 39 of the linear motion actuator 34 is input. The input side arm portion 46 is formed in an arm shape that extends substantially horizontally. The input side arm portion 46 is arranged around the introduction portion 31 of the cooling opening portion 8, and passes from the scavenger portion 12 through the introduction portion 31 as the link member 45 swings about the first axis S1. It is displaced so as to project to the outside of the scavenger portion 12.

入力側アーム部４６の先端部は、直動アクチュエータ３４側に向けて膨らんだ形状に形成されており、この先端部に、第２支軸４２が設けられている。第２支軸４２は、鉛直方向に延びる軸部である。第２支軸４２は、直動アクチュエータ３４のアタッチメント４０に連結されている。 The tip end portion of the input side arm portion 46 is formed in a shape that bulges toward the linear motion actuator 34 side, and the second support shaft 42 is provided at this tip end portion. The second support shaft 42 is a shaft portion that extends in the vertical direction. The second support shaft 42 is connected to the attachment 40 of the linear motion actuator 34.

なお、第２支軸４２は、入力側アーム部４６およびアタッチメント４０の双方と相対回転可能であってもよいし、入力側アーム部４６およびアタッチメント４０の何れか一方のみと相対回転可能であってもよい。上記の構成により、リンク部材４５は、第２軸線Ｓ２回りを直動アクチュエータ３４の出力部３９と相対回転可能に出力部３９に連結されている。入力側アーム部４６の基端部は、第１支軸４１に連結されている。 The second support shaft 42 may be rotatable relative to both the input-side arm portion 46 and the attachment 40, or may be rotatable relative to only one of the input-side arm portion 46 and the attachment 40. Good. With the above configuration, the link member 45 is connected to the output portion 39 so as to be rotatable relative to the output portion 39 of the linear actuator 34 around the second axis S2. The base end portion of the input side arm portion 46 is connected to the first support shaft 41.

第１支軸４１は、鉛直方向に延びる軸部である。第１支軸４１は、第１ステー部３６の上下一対の第１延伸部３６ｂによって上下両端部を支持された構成を有しているとともに、第１延伸部３６ｂから抜けることを規制されるように構成されている。第１支軸４１は、第１延伸部３６ｂの先端部に配置されている。第１支軸４１の下部は、入力側アーム部４６を貫通しており、この入力側アーム部４６に連結されている。また、入力側アーム部４６の基端部は、中間軸部４７に固定されている。 The first support shaft 41 is a shaft portion that extends in the vertical direction. The first support shaft 41 has a structure in which both upper and lower end portions are supported by the pair of upper and lower first extending portions 36b of the first stay portion 36, and is prevented from coming off from the first extending portion 36b. Is configured. The first support shaft 41 is arranged at the tip of the first extending portion 36b. The lower portion of the first support shaft 41 penetrates the input side arm portion 46 and is connected to the input side arm portion 46. Further, the base end portion of the input side arm portion 46 is fixed to the intermediate shaft portion 47.

中間軸部４７は、鉛直方向に延びる円筒状部分であり、第１ステー部３６の上下一対の第１延伸部３６ｂの間に配置されている。中間軸部４７に第１支軸４１が挿入されており、中間軸部４７は、第１支軸４１を取り囲んでいる。中間軸部４７の上端部に、出力側アーム部４８が固定されている。 The intermediate shaft portion 47 is a cylindrical portion extending in the vertical direction, and is arranged between the pair of upper and lower first extending portions 36b of the first stay portion 36. The first support shaft 41 is inserted into the intermediate shaft portion 47, and the intermediate shaft portion 47 surrounds the first support shaft 41. An output side arm portion 48 is fixed to the upper end portion of the intermediate shaft portion 47.

出力側アーム部４８は、リンク部材４５のうち直動アクチュエータ３４の出力部３９からの駆動力をドア２側へ出力する部分として設けられている。出力側アーム部４８は、略水平に延びるアーム状に形成されている。出力側アーム部４８は、スカベンジャー部１２内において、冷却用開口部８の導入部３１の上方に配置されている。出力側アーム部４８は、中間軸部４７からドア２の中心部２ａに向けて延びている。 The output side arm portion 48 is provided as a portion of the link member 45 that outputs the driving force from the output portion 39 of the linear motion actuator 34 to the door 2 side. The output side arm portion 48 is formed in an arm shape that extends substantially horizontally. The output side arm portion 48 is arranged in the scavenger portion 12 above the introduction portion 31 of the cooling opening portion 8. The output side arm portion 48 extends from the intermediate shaft portion 47 toward the central portion 2a of the door 2.

出力側アーム部４８は、上部４８ａと、下部４８ｂと、を有している。 The output side arm portion 48 has an upper portion 48a and a lower portion 48b.

上部４８ａは、扁平な板状に形成されている。上部４８ａの基端部は、第１ステー部３６の上側の第１延伸部３６ｂと、中間軸部４７との間に配置されており、第１支軸４１に貫通されている。なお、上部４８ａ、中間軸部４７、および、入力側アーム部４６は、第１支軸４１と第１軸線Ｓ１回りを一体に回転してもよいし、第１支軸４１とは第１軸線Ｓ１回りに相対回転可能であってもよい。上部４８ａの下面に下部４８ｂが固定されている。 The upper part 48a is formed in a flat plate shape. The base end portion of the upper portion 48 a is disposed between the first extending portion 36 b on the upper side of the first stay portion 36 and the intermediate shaft portion 47, and penetrates the first support shaft 41. The upper portion 48a, the intermediate shaft portion 47, and the input side arm portion 46 may integrally rotate around the first support shaft 41 and the first axis S1, or the first support shaft 41 and the first axis line. It may be relatively rotatable around S1. The lower portion 48b is fixed to the lower surface of the upper portion 48a.

下部４８ｂは、縦向きに配置された細長い板状部分として設けられている。下部４８ｂは、第１支軸４１から離隔する方向に直線状に延びている。下部４８ｂは、結合部４９に固定されている。すなわち、リンク機構３５の出力側アーム部４８は、結合部４９を介してドア２に固定されている。結合部４９は、リンク部材４５に対するドア２の位置調整を可能な態様でドア２とリンク部材４５とを結合するために設けられている。 The lower portion 48b is provided as an elongated plate-shaped portion arranged vertically. The lower portion 48b extends linearly in a direction away from the first support shaft 41. The lower portion 48b is fixed to the connecting portion 49. That is, the output side arm portion 48 of the link mechanism 35 is fixed to the door 2 via the coupling portion 49. The connecting portion 49 is provided to connect the door 2 and the link member 45 in a manner that the position of the door 2 with respect to the link member 45 can be adjusted.

図１、図２および図４を参照して、結合部４９は、アーム側結合部５１と、中間部５２と、ドア側結合部５３と、を有している。 With reference to FIGS. 1, 2, and 4, the joint portion 49 includes an arm-side joint portion 51, an intermediate portion 52, and a door-side joint portion 53.

アーム側結合部５１は、出力側アーム部４８の下部４８ｂと平行に延びる縦向きの板状に形成されている。アーム側結合部５１は、下部４８ｂの前方に配置されている。アーム側結合部５１には、アーム側結合部５１の長手方向に延びる長孔部５１ａが形成されている。この長孔部５１ａを貫通するねじなどの固定部材４８ｄによって、出力側アーム部４８と結合部４９とが結合されている。アーム側結合部５１は、固定部材４８ｄによるアーム側結合部５１と下部４８ｂとの固定が解除された状態において、出力側アーム部４８の長手方向における結合部４９とリンク部材４５（ドア２）との相対位置を調整可能である。アーム側結合部５１は、当該アーム側結合部５１の長手方向に沿って延びる中間部５２の基端側部分に固定されている。この中間部５２の先端側部分には、ドア側結合部５３が固定されている。 The arm side coupling portion 51 is formed in a vertically oriented plate shape extending in parallel with the lower portion 48b of the output side arm portion 48. The arm-side coupling portion 51 is arranged in front of the lower portion 48b. The arm-side coupling portion 51 is formed with a long hole portion 51 a extending in the longitudinal direction of the arm-side coupling portion 51. The output side arm portion 48 and the coupling portion 49 are coupled by a fixing member 48d such as a screw penetrating the elongated hole portion 51a. The arm-side coupling portion 51 is connected to the coupling portion 49 and the link member 45 (door 2) in the longitudinal direction of the output-side arm portion 48 in a state where the fixing of the arm-side coupling portion 51 and the lower portion 48b by the fixing member 48d is released. The relative position of can be adjusted. The arm-side joint portion 51 is fixed to a base end side portion of an intermediate portion 52 extending along the longitudinal direction of the arm-side joint portion 51. A door-side coupling portion 53 is fixed to the tip end side portion of the intermediate portion 52.

ドア側結合部５３は、縦向きに配置された板状部分として形成されている。ドア側結合部５３のたとえば上部と下部には、上下に延びる長孔部５３ａ，５３ｂが形成されている。各長孔部５３ａ，５３ｂには、雄ねじなどの固定部材５３ｃが貫通している。この固定部材５３ｃは、ドア側結合部５３とドア２とを互いに固定している。固定部材５３ｃによるドア側結合部５３とドア２との固定が解除されている状態において、上下方向における結合部４９（リンク部材４５）とドア２との相対位置を調整可能である。 The door-side coupling portion 53 is formed as a plate-shaped portion arranged vertically. For example, upper and lower portions of the door-side coupling portion 53 are formed with elongated hole portions 53a and 53b extending vertically. A fixing member 53c such as a male screw penetrates each of the long hole portions 53a and 53b. The fixing member 53c fixes the door-side connecting portion 53 and the door 2 to each other. In the state where the fixing of the door-side joint portion 53 and the door 2 by the fixing member 53c is released, the relative position between the joint portion 49 (link member 45) and the door 2 in the vertical direction can be adjusted.

また、開閉機構６に関連して、ストッパ部５５が設けられている。ストッパ部５５は、ドア２が横型炉３の開口部７ａ側に過度に変位することを規制するために設けられている。ストッパ部５５は、たとえば、ドア２が閉位置Ｐ１にあるときに出力側アーム部４８の下部４８ｂに接触するように配置されている。ストッパ部５５は、たとえば、ボルトを用いて形成されており、当該ストッパ部５５の先端部が、出力側アーム部４８に接触する部分である。ストッパ部５５は、ブラケット５６を介して第１ステー部３６に固定されている。 Further, a stopper portion 55 is provided in association with the opening/closing mechanism 6. The stopper portion 55 is provided to prevent the door 2 from excessively displacing toward the opening 7 a side of the horizontal furnace 3. The stopper portion 55 is arranged, for example, so as to contact the lower portion 48b of the output side arm portion 48 when the door 2 is at the closed position P1. The stopper portion 55 is formed by using, for example, a bolt, and the tip end portion of the stopper portion 55 is a portion in contact with the output side arm portion 48. The stopper portion 55 is fixed to the first stay portion 36 via a bracket 56.

以上が、熱処理装置１の概略構成である。上記の構成を有する熱処理装置１において、被処理物１００に熱処理を施すために被処理物１００が横型炉３に出し入れされる際、まず、可動壁１８ｂＬ，１８ｂＲが閉位置Ｐ３から開位置Ｐ４へ変位し、スカベンジャー部１２が前方に開放される。そして、直動アクチュエータ３４は、出力部３９を、固定部３８側に向けて直線変位させる。これにより、熱処理装置１における動作の一例を説明するための図である図７に示すように、直動アクチュエータ３４は、出力部３９を変位させることで、リンク部材４５の入力側アーム部４６を固定部３８側に引き寄せ、リンク部材４５を第１軸線Ｓ１回りに揺動させる。 The above is the schematic configuration of the heat treatment apparatus 1. In the heat treatment apparatus 1 having the above configuration, when the object 100 to be processed is put in and taken out of the horizontal furnace 3 to perform the heat treatment on the object 100, first, the movable walls 18bL and 18bR are moved from the closed position P3 to the open position P4. It is displaced and the scavenger portion 12 is opened forward. Then, the linear motion actuator 34 linearly displaces the output portion 39 toward the fixed portion 38 side. As a result, the linear motion actuator 34 displaces the output part 39 to move the input side arm part 46 of the link member 45, as shown in FIG. 7, which is a diagram for explaining an example of the operation in the heat treatment apparatus 1. The link member 45 is pulled toward the fixed portion 38 side and is swung around the first axis S1.

このとき、入力側アーム部４６の先端部は、冷却用開口部８の導入部３１を通ってスカベンジャー部１２の内部からスカベンジャー部１２の外部へ変位する。また、出力側アーム部４８は、結合部４９とともにドア２を第１軸線Ｓ１回りに変位させ、ドア２を開位置Ｐ２まで変位させる。これにより、横型炉３の開口部７ａが露呈する。よって、被処理物１００を横型炉３に出し入れすることができる。この際、直動アクチュエータ３４は、リンク部材４５の入力側アーム部４６とは第２軸線Ｓ２回りを相対回転し、且つ、第２ステー部３７（支持部材２８）とは第３軸線Ｓ３回りを相対回転する。 At this time, the tip portion of the input side arm portion 46 is displaced from the inside of the scavenger portion 12 to the outside of the scavenger portion 12 through the introduction portion 31 of the cooling opening 8. Further, the output side arm portion 48 displaces the door 2 around the first axis S1 together with the coupling portion 49, and displaces the door 2 to the open position P2. As a result, the opening 7a of the horizontal furnace 3 is exposed. Therefore, the object 100 to be processed can be taken in and out of the horizontal furnace 3. At this time, the linear motion actuator 34 rotates relative to the input side arm portion 46 of the link member 45 about the second axis S2, and rotates about the third axis S3 about the second stay portion 37 (support member 28). Rotate relative.

この際、収容室５の前壁１８の可動壁１８ｂＬ，１８ｂＲは、開位置Ｐ４に変位しているので、ドア２の一部が収容室５の外部に突出する動作を妨げずに済む。 At this time, since the movable walls 18bL and 18bR of the front wall 18 of the storage chamber 5 are displaced to the open position P4, it is not necessary to prevent the movement of a part of the door 2 to the outside of the storage chamber 5.

ドア２が閉じられる際、直動アクチュエータ３４は、出力部３９を、固定部３８から突出する方向に向けて直線変位させる。これにより、出力部３９は、リンク部材４５の入力側アーム部４６をスカベンジャー部１２側に揺動させることで、リンク部材４５を第１軸線Ｓ１回りに変位させる。このとき、入力側アーム部４６の先端部は、冷却用開口部８の導入部３１を通ってスカベンジャー部１２の外部からスカベンジャー部１２の内部へ変位する。 When the door 2 is closed, the linear motion actuator 34 linearly displaces the output portion 39 in the direction of protruding from the fixed portion 38. As a result, the output section 39 swings the input side arm section 46 of the link member 45 toward the scavenger section 12 side to displace the link member 45 around the first axis S1. At this time, the tip end portion of the input side arm portion 46 is displaced from the outside of the scavenger portion 12 to the inside of the scavenger portion 12 through the introduction portion 31 of the cooling opening 8.

また、出力側アーム部４８は、結合部４９とともにドア２を第１軸線Ｓ１回りに変位させ、図１に示すようにドア２を閉位置Ｐ１まで変位させる。これにより、横型炉３の開口部７ａがドア２によって塞がれる。この際、直動アクチュエータ３４は、リンク部材４５とは第２軸線Ｓ２回りを相対回転し、且つ、第２ステー部３７（支持部材２８）とは第３軸線Ｓ３回りを相対回転する。 Further, the output side arm portion 48 displaces the door 2 around the first axis S1 together with the coupling portion 49, and displaces the door 2 to the closed position P1 as shown in FIG. As a result, the opening 7 a of the horizontal furnace 3 is closed by the door 2. At this time, the linear motion actuator 34 relatively rotates around the second axis S2 with respect to the link member 45, and relatively rotates around the third axis S3 with respect to the second stay portion 37 (support member 28).

ドア２によって開口部７ａが閉じられた後、収容室５の前壁１８の可動壁１８ｂＬ，１８ｂＲは、閉位置Ｐ３まで変位される。これにより、収容室５が閉じられる。 After the opening 7a is closed by the door 2, the movable walls 18bL and 18bR of the front wall 18 of the accommodation chamber 5 are displaced to the closed position P3. Thereby, the accommodation chamber 5 is closed.

以上説明したように、熱処理装置１によると、スカベンジャー部１２は、開閉機構６の直動アクチュエータ３４の出力部３９およびリンク部材４５の入力側アーム部４６が配置される冷却用開口部８を含んでいる。この構成によると、開閉機構６は、冷却用開口部８を通過する冷却用ガスに当てられることで冷却される。これにより、開閉機構６が冷却される。すなわち、スカベンジャー部１２は、横型炉３内から出てきたガスを排出する機能に加えて、開閉機構６を冷却する機能も有している。このため、開閉機構６を冷却するための専用の冷却装置を設ける必要がなく、熱処理装置１の構成をより簡素にできる。以上の次第で、熱処理装置１において、より簡易な構成で、横型炉３のドア２を開閉するための開閉機構６を冷却することができる。 As described above, according to the heat treatment apparatus 1, the scavenger portion 12 includes the cooling opening portion 8 in which the output portion 39 of the linear motion actuator 34 of the opening/closing mechanism 6 and the input side arm portion 46 of the link member 45 are arranged. I'm out. According to this configuration, the opening/closing mechanism 6 is cooled by being applied to the cooling gas passing through the cooling opening 8. As a result, the opening/closing mechanism 6 is cooled. That is, the scavenger unit 12 has a function of cooling the opening/closing mechanism 6 in addition to the function of discharging the gas discharged from the horizontal furnace 3. Therefore, it is not necessary to provide a dedicated cooling device for cooling the opening/closing mechanism 6, and the heat treatment device 1 can be more simply configured. As described above, in the heat treatment apparatus 1, the opening/closing mechanism 6 for opening/closing the door 2 of the horizontal furnace 3 can be cooled with a simpler configuration.

また、熱処理装置１によると、開閉機構６の直動アクチュエータ３４は、第２ステー部３７を介してスカベンジャー部１２に支持されている。この構成によると、直動アクチュエータ３４を冷却用開口部８の導入部３１の近傍に配置することができる。これにより、直動アクチュエータ３４を、冷却用ガスによってより確実に冷却することができる。さらに、スカベンジャー部１２を、直動アクチュエータ３４を支持するために用いることができる。これにより、直動アクチュエータ３４を支持するための構成を簡素にすることができるので、熱処理装置１の構成をより簡素にできる。 Further, according to the heat treatment apparatus 1, the linear motion actuator 34 of the opening/closing mechanism 6 is supported by the scavenger portion 12 via the second stay portion 37. According to this structure, the linear actuator 34 can be arranged in the vicinity of the introduction portion 31 of the cooling opening 8. As a result, the linear actuator 34 can be cooled more reliably by the cooling gas. Further, the scavenger portion 12 can be used to support the linear actuator 34. As a result, the structure for supporting the linear motion actuator 34 can be simplified, so that the structure of the heat treatment apparatus 1 can be further simplified.

また、熱処理装置１によると、開閉機構６のリンク機構３５は、スカベンジャー部１２に支持されている。この構成によると、スカベンジャー部１２を、リンク機構３５の支持にも用いることができる。これにより、スカベンジャー部１２を支持するための構成を簡素にすることができるので、熱処理装置１の構成をより簡素にできる。 Further, according to the heat treatment apparatus 1, the link mechanism 35 of the opening/closing mechanism 6 is supported by the scavenger unit 12. With this configuration, the scavenger portion 12 can also be used to support the link mechanism 35. As a result, the structure for supporting the scavenger unit 12 can be simplified, so that the structure of the heat treatment apparatus 1 can be further simplified.

また、熱処理装置１によると、直動アクチュエータ３４は、直線運動可能な出力部３９を有している。また、リンク機構３５は、ドア２と第１軸線Ｓ１回りに一体的に揺動可能なリンク部材４５を有している。そして、リンク部材４５は、第２軸線Ｓ２回りを出力部３９と相対回転可能に出力部３９に連結されている。この構成によると、リンク部材４５を第１軸線Ｓ１回りに揺動させる簡易な構成で、ドア２を開閉動作することができる。 Further, according to the heat treatment apparatus 1, the linear motion actuator 34 has the output unit 39 capable of linear movement. Further, the link mechanism 35 has a link member 45 that is integrally swingable around the door 2 and the first axis S1. The link member 45 is connected to the output portion 39 so as to be rotatable relative to the output portion 39 around the second axis S2. With this configuration, the door 2 can be opened and closed with a simple configuration in which the link member 45 is swung around the first axis S1.

また、熱処理装置１によると、開閉機構６における直動アクチュエータ３４の出力部３９、および、リンク部材４５の入力側アーム部４６は、少なくとも一時的に冷却用開口部８のうちの導入部３１内に配置される。この構成によると、スカベンジャー部１２の外部からスカベンジャー部１２内に導入されたばかりの、より低温の冷却用ガスによって、開閉機構６をより確実に冷却することができる。 Further, according to the heat treatment apparatus 1, the output portion 39 of the linear motion actuator 34 in the opening/closing mechanism 6 and the input side arm portion 46 of the link member 45 are at least temporarily inside the introduction portion 31 of the cooling opening 8. Is located in. According to this configuration, the opening/closing mechanism 6 can be cooled more reliably by the cooler cooling gas that has just been introduced into the scavenger portion 12 from the outside of the scavenger portion 12.

また、熱処理装置１によると、冷却用開口部８において、導入部３１と排出部３２とは、ドア２を挟むように離隔して配置され、且つ、横型炉３の長手方向において、離隔して配置されている。この構成によると、スカベンジャー部１２内において、横型炉３内のガスと混ざった冷却用ガスが導入部３１に逆流することを、より確実に抑制できる。これにより、開閉機構６が高温になることを、より確実に抑制できる。 Further, according to the heat treatment apparatus 1, in the cooling opening 8, the introduction part 31 and the discharge part 32 are arranged so as to be separated so as to sandwich the door 2, and are separated in the longitudinal direction of the horizontal furnace 3. It is arranged. According to this configuration, it is possible to more reliably prevent the cooling gas mixed with the gas in the horizontal furnace 3 from flowing back to the introduction portion 31 in the scavenger portion 12. As a result, it is possible to more reliably prevent the opening/closing mechanism 6 from becoming hot.

また、熱処理装置１によると、開閉機構６にリンク機構３５が設けられていることにより、直動アクチュエータ３４を、ドア２の位置からより離隔した位置に配置できる。これにより、直動アクチュエータ３４に横型炉３からの高熱が届くことを抑制できる。よって、直動アクチュエータ３４へ負荷の低減を通じて開閉機構６の耐久性をより高くできる。また、機械的な構造であるリンク機構３５であれば、高熱に起因するリンク機構３５の動作不良をより確実に抑制できる。以上の次第で、熱処理装置１において、横型炉３における開閉機構６の耐久性をより高くできる。 Further, according to the heat treatment apparatus 1, since the opening/closing mechanism 6 is provided with the link mechanism 35, the linear motion actuator 34 can be arranged at a position further separated from the position of the door 2. As a result, it is possible to suppress the high heat from the horizontal furnace 3 from reaching the linear motion actuator 34. Therefore, the durability of the opening/closing mechanism 6 can be further increased by reducing the load on the linear motion actuator 34. In addition, the link mechanism 35 having a mechanical structure can more reliably suppress malfunction of the link mechanism 35 due to high heat. According to the above, in the heat treatment apparatus 1, the durability of the opening/closing mechanism 6 in the horizontal furnace 3 can be further increased.

また、熱処理装置１によると、直動アクチュエータ３４の出力部３９の動作に伴って、リンク部材４５およびドア２が第１軸線Ｓ１回りを揺動する。これにより、ドア２が開閉動作される。この際、直動アクチュエータ３４自体も第３軸線Ｓ３回りを揺動することで、出力部３９のスムーズな直線運動を実現できる。 Further, according to the heat treatment apparatus 1, the link member 45 and the door 2 swing around the first axis S1 in accordance with the operation of the output portion 39 of the linear motion actuator 34. As a result, the door 2 is opened and closed. At this time, the linear motion actuator 34 itself also swings around the third axis S3, whereby a smooth linear motion of the output unit 39 can be realized.

また、熱処理装置１によると、支持部材２８は、リンク機構３５および直動アクチュエータ３４を一括して支持している。この構成によると、開閉機構６（リンク機構３５および直動アクチュエータ３４）、および、支持部材２８をユニットとして形成することができる。これにより、熱処理装置１の組立時において、リンク機構３５および直動アクチュエータ３４を別々に取り扱う場合と比べて、リンク機構３５および直動アクチュエータ３４の取り扱いを、より容易に行うことができる。 Further, according to the heat treatment apparatus 1, the supporting member 28 collectively supports the link mechanism 35 and the linear motion actuator 34. With this configuration, the opening/closing mechanism 6 (the link mechanism 35 and the linear motion actuator 34) and the support member 28 can be formed as a unit. Accordingly, when the heat treatment apparatus 1 is assembled, the link mechanism 35 and the linear motion actuator 34 can be handled more easily than in the case where the link mechanism 35 and the linear motion actuator 34 are separately handled.

また、熱処理装置１によると、支持部材２８は、スカベンジャー部１２に設けられている。この構成によると、開口部７ａの周囲に配置されるスカベンジャー部１２を、開閉機構６（リンク機構３５および直動アクチュエータ３４）を支持するための部材としても用いることができる。したがって、リンク機構３５および直動アクチュエータ３４を支持するための専用の部材を設ける必要がなく、熱処理装置１の構成を、より簡素にできる。 Further, according to the heat treatment apparatus 1, the support member 28 is provided on the scavenger unit 12. With this configuration, the scavenger portion 12 arranged around the opening 7a can also be used as a member for supporting the opening/closing mechanism 6 (the link mechanism 35 and the linear motion actuator 34). Therefore, it is not necessary to provide a dedicated member for supporting the link mechanism 35 and the linear motion actuator 34, and the structure of the heat treatment apparatus 1 can be further simplified.

また、熱処理装置１によると、支持部材２８から延びる第１ステー部３６、および、支持部材２８から延びる第２ステー部３７によって、開閉機構６のリンク機構３５および直動アクチュエータ３４を堅固に支持することができる。また、支持部材２８にリンク部材４５および直動アクチュエータ３４を直接取り付ける場合と比べて、リンク部材４５および直動アクチュエータ３４のレイアウトの自由度をより高くできる。 According to the heat treatment apparatus 1, the link mechanism 35 and the linear actuator 34 of the opening/closing mechanism 6 are firmly supported by the first stay portion 36 extending from the support member 28 and the second stay portion 37 extending from the support member 28. be able to. Further, compared to a case where the link member 45 and the linear motion actuator 34 are directly attached to the support member 28, the degree of freedom in layout of the link member 45 and the linear motion actuator 34 can be increased.

以上、本発明の実施形態について説明したけれども、本発明は上述の実施の形態に限られない。本発明は、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能である。 Although the embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above embodiment. The present invention can be variously modified within the scope of the claims.

（１）上述の実施形態では、開閉機構６の直動アクチュエータ３４およびリンク機構３５がステーユニット３３を介してスカベンジャー部１２に支持される形態を例に説明した。しかしながら、この通りでなくてもよい。たとえば、直動アクチュエータ３４およびリンク機構３５は、他の構成によって支持されていてもよい。 (1) In the above-described embodiment, the linear actuator 34 and the link mechanism 35 of the opening/closing mechanism 6 are supported by the scavenger portion 12 via the stay unit 33 as an example. However, this need not be the case. For example, the linear motion actuator 34 and the link mechanism 35 may be supported by other configurations.

（２）また、上述の実施形態では、導入部３１は、開閉機構６のリンク部材４５の一部、および、直動アクチュエータ３４の出力部３９の一部を収容可能に構成されていた。しかしながら、この通りでなくてもよい。たとえば、導入部３１を十分な長さ、幅および高さを有する胴状に形成し、開閉機構６のより多くの部分（たとえば、開閉機構６の全部）が導入部３１内に配置されるようにしてもよい。 (2) Further, in the above-described embodiment, the introduction section 31 is configured to be able to accommodate a part of the link member 45 of the opening/closing mechanism 6 and a part of the output section 39 of the linear motion actuator 34. However, this need not be the case. For example, the introduction portion 31 is formed in a barrel shape having a sufficient length, width, and height so that a larger portion of the opening/closing mechanism 6 (for example, the entire opening/closing mechanism 6) is arranged in the introduction portion 31. You may

（３）また、上述の実施形態では、開閉機構６が、冷却用開口部８の導入部３１の周囲に配置される形態を例に説明した。しかしながら、この通りでなくてもよい。たとえば、開閉機構６は、冷却用開口部８の排出部３２の周囲に配置されてもよい。この場合、開閉機構６の少なくとも一部は、排出部３２内に配置される。 (3) Further, in the above-described embodiment, the mode in which the opening/closing mechanism 6 is arranged around the introduction portion 31 of the cooling opening 8 has been described as an example. However, this need not be the case. For example, the opening/closing mechanism 6 may be arranged around the discharge portion 32 of the cooling opening 8. In this case, at least a part of the opening/closing mechanism 6 is arranged inside the discharge section 32.

（４）また、上述の実施形態では、リンク機構３５に第２支軸４２、および、第３支軸４３が設けられる形態を例に説明したけれども、この通りでなくてもよい。たとえば、第２支軸４２および第３支軸４３に代えて、球面継手などの他の継手が用いられてもよい。 (4) In the above-described embodiment, the link mechanism 35 is provided with the second support shaft 42 and the third support shaft 43 as an example. However, this is not necessary. For example, instead of the second support shaft 42 and the third support shaft 43, another joint such as a spherical joint may be used.

本発明は、熱処理装置として、広く適用することができる。 The present invention can be widely applied as a heat treatment apparatus.

１ 熱処理装置
２ ドア
３ 横型炉
６ 開閉機構
７ａ 開口部
８ 冷却用開口部
１２ スカベンジャー部
３１ 導入部
３２ 排出部
３４ 直動アクチュエータ（アクチュエータ）
３５ リンク機構
３９ 出力部
４５ リンク部材
Ｓ１ 第１軸線
Ｓ２ 第２軸線 1 Heat Treatment Device 2 Door 3 Horizontal Furnace 6 Opening/Closing Mechanism 7a Opening 8 Cooling Opening 12 Scavenger 31 Introducing 32 Discharging 34 34 Direct Actuator (Actuator)
35 link mechanism 39 output part 45 link member S1 first axis S2 second axis

Claims (4)

横向きに配置された開口部および前記開口部を開閉するためのドアを有する横型炉と、
前記ドアを開閉動作させるための開閉機構と、
前記開口部の周囲を取り囲むとともに、前記開口部の周囲に気流を発生させるためのスカベンジャー部と、を備え、
前記スカベンジャー部は、前記スカベンジャー部内に冷却用ガスを通過させるために設けられ且つ前記開閉機構の少なくとも一部が配置される冷却用開口部を含み、
前記開閉機構は、前記ドアを開閉する駆動力を発生するためのアクチュエータと、前記アクチュエータと前記ドアとを連結するリンク機構と、を有し、
前記アクチュエータおよび前記リンク機構は、前記スカベンジャー部に支持されていることを特徴とする、熱処理装置。 A horizontal furnace having a laterally arranged opening and a door for opening and closing the opening,
An opening and closing mechanism for opening and closing the door,
While surrounding the periphery of the opening, a scavenger portion for generating an air flow around the opening, and
The scavenger unit, viewed contains at least cooling openings partially disposed of and the opening and closing mechanism is provided for passing a cooling gas into the scavenger unit,
The opening/closing mechanism includes an actuator for generating a driving force for opening/closing the door, and a link mechanism connecting the actuator and the door,
The heat treatment apparatus, wherein the actuator and the link mechanism are supported by the scavenger unit . 請求項１に記載の熱処理装置であって、
前記アクチュエータは、直線運動可能な出力部を有し、
前記リンク機構は、所定の第１軸線回りに、前記ドアと一体的に揺動可能なリンク部材を有し、
前記リンク部材は、所定の第２軸線回りを前記出力部と相対回転可能に前記出力部に連結されていることを特徴とする、熱処理装置。 The heat treatment apparatus according to claim 1 ,
The actuator has an output unit capable of linear movement,
Wherein the link mechanism includes a first axis line of Jo Tokoro, has the door and integrally swingable link member,
The heat treatment apparatus, wherein the link member is connected to the output unit so as to be rotatable relative to the output unit about a predetermined second axis. 請求項１または請求項２に記載の熱処理装置であって、
前記冷却用開口部は、前記冷却用ガスを前記スカベンジャー部内に導入するための導入部と、前記冷却用ガスを前記スカベンジャー部内から排出するための排出部と、を含み、
前記開閉機構の少なくとも一部は、前記導入部内に配置されていることを特徴とする、熱処理装置。 The heat treatment apparatus according to claim 1 or 2 , wherein
The cooling opening includes an introduction unit for introducing the cooling gas into the scavenger unit, and an exhaust unit for exhausting the cooling gas from the scavenger unit,
At least a part of the opening/closing mechanism is arranged in the introduction part, and the heat treatment apparatus is characterized. 請求項３に記載の熱処理装置であって、
前記導入部と前記排出部とは、前記ドアを挟むように離隔して配置され、且つ、前記横型炉の長手方向において、離隔して配置されていることを特徴とする、熱処理装置。 The heat treatment apparatus according to claim 3 ,
The heat treatment apparatus, wherein the introduction part and the discharge part are arranged so as to be separated so as to sandwich the door, and are arranged so as to be separated in the longitudinal direction of the horizontal furnace.
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