JP2019132581A - Thermal treatment device - Google Patents

Thermal treatment device Download PDF

Info

Publication number
JP2019132581A
JP2019132581A JP2019072347A JP2019072347A JP2019132581A JP 2019132581 A JP2019132581 A JP 2019132581A JP 2019072347 A JP2019072347 A JP 2019072347A JP 2019072347 A JP2019072347 A JP 2019072347A JP 2019132581 A JP2019132581 A JP 2019132581A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
opening
scavenger
door
heat treatment
treatment apparatus
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2019072347A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP6715366B2 (en
Inventor
真一 池田
Shinichi Ikeda
真一 池田
梅田 文雄
Fumio Umeda
文雄 梅田
昌浩 西岡
Masahiro Nishioka
昌浩 西岡
義彦 浦崎
Yoshihiko Urasaki
義彦 浦崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JTEKT Thermo Systems Corp
Original Assignee
Koyo Thermo Systems Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Koyo Thermo Systems Co Ltd filed Critical Koyo Thermo Systems Co Ltd
Priority to JP2019072347A priority Critical patent/JP6715366B2/en
Publication of JP2019132581A publication Critical patent/JP2019132581A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6715366B2 publication Critical patent/JP6715366B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Furnace Housings, Linings, Walls, And Ceilings (AREA)
  • Muffle Furnaces And Rotary Kilns (AREA)
  • Furnace Details (AREA)

Abstract

To cool an opening/closing mechanism for opening and closing a door of a horizontal furnace with a simpler structure in a thermal treatment device.SOLUTION: A thermal treatment device 1 includes: a horizontal furnace 3 having an opening 7a horizontally disposed and a door 2; an opening and closing mechanism 6 for opening and closing the door 2; and a scavenger part 12 which encloses a periphery of the opening 7a and is used to generate airflow in the periphery of the opening 7a. The scavenger part 12 includes a cooling opening 8. An introduction part 31 of the cooling opening 8 is provided so as to cause a cooling gas to flow in the scavenger part 12, and a part of the opening and closing mechanism 6 is disposed in the introduction part 31.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、加熱された雰囲気下で被処理物を処理するための、熱処理装置に関する。   The present invention relates to a heat treatment apparatus for processing an object to be processed in a heated atmosphere.

基板などの材料に熱処理を行うための、熱処理装置が知られている(たとえば、特許文献1参照)。熱処理装置の一例として、特許文献1に記載のCVD装置は、石英製の反応管を有している。反応管は、材料としてのウェハを収容するように構成されている。また、反応管内には、ソースが供給される。反応管内では、熱反応によって、ソースガスが活性化される。これにより、ウェハの表面に、所望の被膜が形成される。   2. Description of the Related Art A heat treatment apparatus for performing a heat treatment on a material such as a substrate is known (see, for example, Patent Document 1). As an example of the heat treatment apparatus, the CVD apparatus described in Patent Document 1 has a quartz reaction tube. The reaction tube is configured to receive a wafer as a material. A source is supplied into the reaction tube. In the reaction tube, the source gas is activated by a thermal reaction. Thereby, a desired film is formed on the surface of the wafer.

上記の熱処理装置は、横型炉であり、反応管が横向きに寝かされた姿勢で配置される。このため、反応管の開口部は水平方向を向いている。よって、反応管に対するウェハの出し入れは、ウェハを水平に移動させることで行われる。   The above heat treatment apparatus is a horizontal furnace, and is arranged in a posture in which the reaction tube is laid sideways. For this reason, the opening of the reaction tube faces the horizontal direction. Therefore, the wafer is taken in and out of the reaction tube by moving the wafer horizontally.

特公平5−56647号公報Japanese Patent Publication No. 5-56647

ウェハへの熱処理時、上記の反応管の開口部は、ドアによって閉じられる。ドアは、開閉機構を用いて開閉される。開閉機構は、たとえば、電動モータなどの動力源と、動力源の出力をドアに伝達する伝達機構と、を有している。   During the heat treatment of the wafer, the opening of the reaction tube is closed by a door. The door is opened and closed using an opening / closing mechanism. The opening / closing mechanism has, for example, a power source such as an electric motor and a transmission mechanism that transmits the output of the power source to the door.

開閉機構は、反応管の近くに配置されるので、反応管からの熱を受けて高温となる。高い熱を受けることは、開閉機構にとって好ましくない。しかしながら、開閉機構を冷却するための専用の冷却装置を設けると、熱処理装置の構成が複雑になってしまう。   Since the opening / closing mechanism is arranged near the reaction tube, it receives a heat from the reaction tube and becomes high temperature. It is not preferable for the opening / closing mechanism to receive high heat. However, when a dedicated cooling device for cooling the opening / closing mechanism is provided, the configuration of the heat treatment device becomes complicated.

本発明は、上記事情に鑑みることにより、熱処理装置において、より簡易な構成で、横型炉のドアを開閉するための開閉機構を冷却することができるようにすることを、目的とする。   In view of the above circumstances, an object of the present invention is to allow an opening / closing mechanism for opening / closing a door of a horizontal furnace to be cooled with a simpler configuration in a heat treatment apparatus.

本願発明者は、鋭意研究の結果、横型炉にスカベンジャー部を設け、このスカベンジャー部を開閉機構の冷却に活用するとの着想を得るに至った。なお、スカベンジャー部は、横型炉の開口部の周囲を取り囲むように配置され、開口部の周囲の空間を、外部の空間と隔てている。そして、たとえば、ドアが開かれたときに横型炉内から開口部を通して出てきた高温の雰囲気および残留ガスは、スカベンジャー部に形成された排気口へ排出される。これにより、横型炉内のガスが不用意に大気に放出されることが防止されている。   As a result of earnest research, the inventor of the present application has come up with the idea that a scavenger portion is provided in a horizontal furnace and this scavenger portion is used for cooling the opening / closing mechanism. The scavenger portion is disposed so as to surround the periphery of the opening of the horizontal furnace, and the space around the opening is separated from the external space. For example, when the door is opened, the high-temperature atmosphere and residual gas that have come out of the horizontal furnace through the opening are discharged to an exhaust port formed in the scavenger portion. This prevents the gas in the horizontal furnace from being inadvertently released to the atmosphere.

(1)上記の知見に基づいてなされた、この発明のある局面に係わる熱処理装置は、横向きに配置された開口部および前記開口部を開閉するためのドアを有する横型炉と、前記ドアを開閉動作させるための開閉機構と、前記開口部の周囲を取り囲むとともに、前記開口部の周囲に気流を発生させるためのスカベンジャー部と、を備え、前記スカベンジャー部は、前記スカベンジャー部内に冷却用ガスを通過させるために設けられ且つ前記開閉機構の少なくとも一部が配置される冷却用開口部を含んでいる。   (1) A heat treatment apparatus according to an aspect of the present invention made based on the above knowledge is a horizontal furnace having a laterally arranged opening and a door for opening and closing the opening, and opening and closing the door. An opening / closing mechanism for operating, and a scavenger part surrounding the periphery of the opening and generating an air flow around the opening, the scavenger part passing the cooling gas into the scavenger part And a cooling opening portion in which at least a part of the opening / closing mechanism is disposed.

この構成によると、開閉機構は、冷却用開口部を通過する冷却用ガスに当てられることで冷却される。これにより、開閉機構が冷却される。すなわち、スカベンジャー部は、横型炉内から出てきたガスを排出する機能に加えて、開閉機構を冷却する機能も有している。このため、開閉機構を冷却するための専用の冷却装置を設ける必要がなく、熱処理装置の構成をより簡素にできる。以上の次第で、熱処理装置において、より簡易な構成で、横型炉のドアを開閉するための開閉機構を冷却することができる。   According to this configuration, the opening / closing mechanism is cooled by being applied to the cooling gas passing through the cooling opening. Thereby, the opening / closing mechanism is cooled. That is, the scavenger unit has a function of cooling the opening / closing mechanism in addition to the function of discharging the gas that has come out of the horizontal furnace. For this reason, it is not necessary to provide a dedicated cooling device for cooling the opening / closing mechanism, and the configuration of the heat treatment device can be simplified. As described above, in the heat treatment apparatus, the opening / closing mechanism for opening / closing the door of the horizontal furnace can be cooled with a simpler configuration.

(2)好ましくは、前記開閉機構は、前記ドアを開閉する駆動力を発生するためのアクチュエータを含み、前記アクチュエータは、前記スカベンジャー部に支持されている。   (2) Preferably, the opening / closing mechanism includes an actuator for generating a driving force for opening / closing the door, and the actuator is supported by the scavenger portion.

この構成によると、アクチュエータを冷却用開口部の近傍に配置することができる。これにより、アクチュエータを、冷却用ガスによってより確実に冷却することができる。さらに、スカベンジャー部を、アクチュエータを支持するために用いることができる。これにより、アクチュエータを支持するための構成を簡素にすることができるので、熱処理装置の構成をより簡素にできる。   According to this configuration, the actuator can be disposed in the vicinity of the cooling opening. Thereby, the actuator can be cooled more reliably by the cooling gas. Further, the scavenger portion can be used to support the actuator. Thereby, since the structure for supporting an actuator can be simplified, the structure of the heat treatment apparatus can be further simplified.

(3)より好ましくは、前記開閉機構は、前記アクチュエータと前記ドアとを連結するリンク機構を有し、前記リンク機構は、前記スカベンジャー部に支持されている。   (3) More preferably, the opening / closing mechanism includes a link mechanism that connects the actuator and the door, and the link mechanism is supported by the scavenger portion.

この構成によると、スカベンジャー部を、リンク機構の支持にも用いることができる。これにより、スカベンジャー部を支持するための構成を簡素にすることができるので、熱処理装置の構成をより簡素にできる。   According to this configuration, the scavenger portion can also be used to support the link mechanism. Thereby, since the structure for supporting a scavenger part can be simplified, the structure of a heat processing apparatus can be simplified more.

(4)より好ましくは、前記アクチュエータは、直線運動可能な出力部を有し、前記リンク機構は、前記ドアと所定の第1軸線回りに一体的に揺動可能なリンク部材を有し、前記リンク部材は、所定の第2軸線回りを前記出力部と相対回転可能に前記出力部に連結されている。   (4) More preferably, the actuator has an output part capable of linear motion, and the link mechanism has a link member that can swing integrally with the door around a predetermined first axis, The link member is connected to the output unit so as to be rotatable around a predetermined second axis relative to the output unit.

この構成によると、リンク部材を第1軸線回りに揺動させる簡易な構成で、ドアを開閉動作することができる。   According to this configuration, the door can be opened and closed with a simple configuration in which the link member is swung around the first axis.

(5)好ましくは、前記冷却用開口部は、前記冷却用ガスを前記スカベンジャー部内に導入するための導入部と、前記冷却用ガスを前記スカベンジャー部内から排出するための排出部と、を含み、前記開閉機構の少なくとも一部は、前記導入部内に配置されている。   (5) Preferably, the cooling opening includes an introduction part for introducing the cooling gas into the scavenger part, and a discharge part for discharging the cooling gas from the scavenger part, At least a part of the opening / closing mechanism is disposed in the introduction part.

この構成によると、スカベンジャー部の外部からスカベンジャー部内に導入されたばかりの、より低温の冷却用ガスによって、開閉機構をより確実に冷却することができる。   According to this configuration, the opening / closing mechanism can be more reliably cooled by the cooler cooling gas just introduced into the scavenger portion from the outside of the scavenger portion.

(6)より好ましくは、前記導入部と前記排出部とは、前記ドアを挟むように離隔して配置され、且つ、前記横型炉の長手方向において、離隔して配置されている。   (6) More preferably, the introduction part and the discharge part are spaced apart so as to sandwich the door, and are spaced apart in the longitudinal direction of the horizontal furnace.

この構成によると、スカベンジャー部内において、横型炉内のガスと混ざった冷却用ガスが導入部に逆流することを、より確実に抑制できる。これにより、開閉機構が高温になることを、より確実に抑制できる。   According to this structure, it can suppress more reliably that the gas for cooling mixed with the gas in a horizontal furnace flows back into an introduction part in a scavenger part. Thereby, it can suppress more reliably that an opening-and-closing mechanism becomes high temperature.

本発明によると、熱処理装置において、より簡易な構成で、横型炉のドアを開閉するための開閉機構を冷却することができる。   According to the present invention, in the heat treatment apparatus, the opening / closing mechanism for opening and closing the door of the horizontal furnace can be cooled with a simpler configuration.

本発明の実施形態に係る熱処理装置の模式的な平面図であり、一部を破断した状態を示している。It is a typical top view of the heat treatment apparatus concerning the embodiment of the present invention, and has shown the state where a part was fractured. 図1のII−II線に沿って熱処理装置を正面視した状態を示す図であり、一部を破断した状態を示している。It is a figure which shows the state which looked at the heat processing apparatus from the front along the II-II line | wire of FIG. 1, and has shown the state which fractured | ruptured partially. 熱処理装置について一部の部品の図示を省略した側面図であり、一部を破断した状態を示している。It is the side view which abbreviate | omitted illustration of some components about the heat processing apparatus, and has shown the state which fractured | ruptured. 図1の一部を拡大した図である。It is the figure which expanded a part of FIG. 図2の一部を拡大した図である。It is the figure which expanded a part of FIG. 図3の一部を拡大した図である。It is the figure which expanded a part of FIG. 熱処理装置における動作の一例を説明するための図である。It is a figure for demonstrating an example of operation | movement in a heat processing apparatus.

以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しつつ説明する。尚、本発明は、被処理物を熱処理するための熱処理装置として広く適用することができる。   Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. Note that the present invention can be widely applied as a heat treatment apparatus for heat treating an object to be treated.

[熱処理装置の概略構成]
図1は、本発明の実施形態に係る熱処理装置1の模式的な平面図であり、一部を破断した状態を示している。図2は、図1のII−II線に沿って熱処理装置1を正面視した状態を示す図であり、一部を破断した状態を示している。図3は、熱処理装置1について一部の部品の図示を省略した側面図であり、一部を破断した状態を示している。図4は、図1の一部を拡大した図である。図5は、図2の一部を拡大した図である。図6は、図3の一部を拡大した図である。なお、以下では、熱処理装置1を図2に示す正面から見た状態を基準として、上下、左右、および、前後をいう。
[Schematic configuration of heat treatment equipment]
FIG. 1 is a schematic plan view of a heat treatment apparatus 1 according to an embodiment of the present invention, showing a partially broken state. FIG. 2 is a diagram showing a state in which the heat treatment apparatus 1 is viewed from the front along the line II-II in FIG. 1, and shows a state in which a part thereof is broken. FIG. 3 is a side view in which some parts of the heat treatment apparatus 1 are not shown, and shows a state in which a part thereof is broken. FIG. 4 is an enlarged view of a part of FIG. FIG. 5 is an enlarged view of a part of FIG. FIG. 6 is an enlarged view of a part of FIG. In the following, the heat treatment apparatus 1 is referred to as up, down, left, right, and back, based on the state seen from the front shown in FIG.

図1〜図3を参照して、熱処理装置1は、被処理物100の表面に熱処理を施すことが可能に構成されている。この熱処理として、CVD(Chemical Vapor Deposition)処理、拡散処理、アニール処理、半導体デバイスの製造処理、太陽電池の製造処理などを例示することができる。本実施形態では、被処理物100は、半導体ウェハである。熱処理装置1は、被処理物100を、反応性ガスの雰囲気下で熱処理することにより、被処理物100の表面に薄膜を形成する。また、熱処理装置1は、横型熱処理装置である。被処理物100は、熱処理装置1に対して出し入れされる際に、水平方向に移動される。熱処理装置1は、半導体製造工場などの工場の建物内に設置される。   With reference to FIGS. 1-3, the heat processing apparatus 1 is comprised so that heat processing can be performed to the surface of the to-be-processed object 100. FIG. Examples of the heat treatment include CVD (Chemical Vapor Deposition) processing, diffusion processing, annealing processing, semiconductor device manufacturing processing, solar cell manufacturing processing, and the like. In the present embodiment, the workpiece 100 is a semiconductor wafer. The heat treatment apparatus 1 forms a thin film on the surface of the object 100 by heat-treating the object 100 under a reactive gas atmosphere. The heat treatment apparatus 1 is a horizontal heat treatment apparatus. The workpiece 100 is moved in the horizontal direction when being taken in and out of the heat treatment apparatus 1. The heat treatment apparatus 1 is installed in a building of a factory such as a semiconductor manufacturing factory.

熱処理装置1は、ドア2を含む横型炉3と、横型炉3内の雰囲気を加熱するためのヒータ4と、横型炉3の前部9を収容するための収容室5と、ドア2を開閉するための開閉機構6と、を有している。   The heat treatment apparatus 1 opens and closes the horizontal furnace 3 including the door 2, the heater 4 for heating the atmosphere in the horizontal furnace 3, the storage chamber 5 for storing the front portion 9 of the horizontal furnace 3, and the door 2. And an opening / closing mechanism 6.

横型炉3は、被処理物100を収納するために設けられている。また、横型炉3は、当該横型炉3内に収納された被処理物100を、加熱された雰囲気下で熱処理するために設けられている。横型炉3は、中空に形成されている。横型炉3は、水平方向(前後方向)に細長く延びており、当該横型炉3の長手方向における一端部が、横向き(前方)に開放されている。   The horizontal furnace 3 is provided for storing the workpiece 100. Moreover, the horizontal furnace 3 is provided in order to heat-process the to-be-processed object 100 accommodated in the said horizontal furnace 3 in the heated atmosphere. The horizontal furnace 3 is formed hollow. The horizontal furnace 3 is elongated in the horizontal direction (front-rear direction), and one end portion in the longitudinal direction of the horizontal furnace 3 is opened sideways (forward).

横型炉3は、ドア2と、横型炉本体7と、を有している。   The horizontal furnace 3 has a door 2 and a horizontal furnace body 7.

横型炉本体7は、たとえば、石英(SiO)などを用いて円筒状(中空状)に形成されており、本実施形態では、前後に細長く延びている。横型炉本体7の後端部は、閉じられている。横型炉本体7の前端部には、横向きに配置された開口部7aが形成されている。開口部7aは、前方に向けて開放されたフランジ状に形成されている。すなわち、開口部7aは、横型炉本体7における長手方向中間部に対して、横型炉本体7の径方向外方に張り出した形状を有している。 The horizontal furnace body 7 is formed in a cylindrical shape (hollow shape) using, for example, quartz (SiO 2 ) or the like, and in the present embodiment, it elongates back and forth. The rear end portion of the horizontal furnace body 7 is closed. At the front end portion of the horizontal furnace body 7, an opening 7a arranged in a horizontal direction is formed. The opening 7a is formed in a flange shape opened forward. That is, the opening 7 a has a shape protruding outward in the radial direction of the horizontal furnace body 7 with respect to the intermediate portion in the longitudinal direction of the horizontal furnace body 7.

開口部7aは、被処理物100を通過させることが可能な大きさに形成されている。被処理物100は、開口部7aを通して、横型炉本体7に出し入れされる。被処理物100は、たとえば、支持台12に乗せられた状態で、横型炉本体7の外側から、開口部7aを通して、横型炉本体7内に挿入される。この開口部7aは、ドア2によって開閉される。   The opening 7a is formed in a size that allows the workpiece 100 to pass therethrough. The workpiece 100 is taken in and out of the horizontal furnace body 7 through the opening 7a. For example, the workpiece 100 is inserted into the horizontal furnace body 7 from the outside of the horizontal furnace body 7 through the opening 7a while being placed on the support base 12. The opening 7 a is opened and closed by the door 2.

ドア2は、開口部7aを開閉するために設けられている。ドア2は、たとえば、石英(SiO)を用いて形成されている。ドア2は、横型炉本体7内で被処理物100の熱処理が行われている間、所定の閉位置P3に配置されることで横型炉本体7の開口部7aを閉じる。これにより、ドア2は、横型炉本体7内の熱エネルギーおよび熱処理用ガスの流出を防止する。そして、ドア2は、横型炉本体7に対する被処理物100の出し入れの際、所定の開位置P2に配置されることで横型炉本体7の開口部7aを開く。これにより、ドア2は、横型炉本体7に対する被処理物100の出し入れ作業の邪魔にならないように配置される。 The door 2 is provided to open and close the opening 7a. The door 2 is formed using, for example, quartz (SiO 2 ). The door 2 closes the opening 7a of the horizontal furnace body 7 by being disposed at a predetermined closed position P3 while the heat treatment of the workpiece 100 is performed in the horizontal furnace body 7. Thereby, the door 2 prevents the thermal energy in the horizontal furnace main body 7 and the heat treatment gas from flowing out. The door 2 opens at the opening 7a of the horizontal furnace body 7 by being placed at a predetermined opening position P2 when the workpiece 100 is taken in and out of the horizontal furnace body 7. Thereby, the door 2 is arrange | positioned so that it may not interfere with the taking in / out operation | work of the to-be-processed object 100 with respect to the horizontal furnace main body 7. FIG.

ドア2は、略円板状に形成されており、所定の厚みを有している。ドア2の外周部は、ドア2が閉位置P1にあるときに開口部7aの端面に接触するように構成されている。上記の構成を有する横型炉3の前部9(横型炉本体7の前部およびドア2)は、収容室5に収容されている。   The door 2 is formed in a substantially disc shape and has a predetermined thickness. The outer peripheral part of the door 2 is configured to contact the end surface of the opening 7a when the door 2 is in the closed position P1. The front portion 9 (the front portion of the horizontal furnace main body 7 and the door 2) of the horizontal furnace 3 having the above configuration is accommodated in the accommodation chamber 5.

収容室5は、横型炉3の前部9を収容する空間を形成するために設けられている。また、収容室5は、横型炉3の前部9の周囲に冷却用ガスの気流F1を発生させるために設けられている。この気流F1が生じることにより、収容室5の前部9は、気流F1によって冷却される、その結果、前部9の過熱が抑制される。また、横型炉3の内部から放出されるガスが気流F1によって排出される。   The storage chamber 5 is provided to form a space for storing the front portion 9 of the horizontal furnace 3. The storage chamber 5 is provided in order to generate an air flow F1 of the cooling gas around the front portion 9 of the horizontal furnace 3. By generating this air flow F1, the front portion 9 of the storage chamber 5 is cooled by the air flow F1, and as a result, overheating of the front portion 9 is suppressed. Further, the gas released from the inside of the horizontal furnace 3 is discharged by the air flow F1.

収容室5は、本実施形態では、略直方体状に形成されている。本実施形態では、収容室5は、平面視において横型炉3の前部を取り囲むように配置された4つの支柱10に金属パネルなどの壁形成部材が設置された構成を有している。   In the present embodiment, the storage chamber 5 is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape. In the present embodiment, the storage chamber 5 has a configuration in which a wall forming member such as a metal panel is installed on four support columns 10 arranged so as to surround the front portion of the horizontal furnace 3 in a plan view.

収容室5は、外郭部11と、外郭部11内において気流F1の通路を形成するためのスカベンジャー部12と、を有している。   The storage chamber 5 includes an outer shell portion 11 and a scavenger portion 12 for forming a passage for the air flow F1 in the outer shell portion 11.

外郭部11は、収容室5の外郭部を形成する部分として設けられている。外郭部11内に、横型炉3の前部9、および、開閉機構6が収容されている。   The outer portion 11 is provided as a portion that forms the outer portion of the storage chamber 5. A front part 9 of the horizontal furnace 3 and an opening / closing mechanism 6 are accommodated in the outer shell part 11.

外郭部11は、支柱10と、底壁13と、天壁14と、左右一対の側壁としての左側壁15および右側壁16と、後壁17と、前壁18と、を有している。   The outer shell 11 includes a support column 10, a bottom wall 13, a top wall 14, a left side wall 15 and a right side wall 16 as a pair of left and right side walls, a rear wall 17, and a front wall 18.

底壁13、天壁14、左側壁15、右側壁16、後壁17、および、前壁18は、金属板などのパネル状部材を用いて形成されている。底壁13は、外郭部11の四隅に配置された4つの支柱10の下部に固定されており、横型炉3の前部9を下側から覆っている。一方、天壁14は、4つの支柱10の上部に固定されており、横型炉3の前部9を上側から覆っている。また、左側壁15は、4つの支柱10のうち左側の2つの支柱10に固定されており、横型炉3の前部9を左側から覆っている。   The bottom wall 13, the top wall 14, the left side wall 15, the right side wall 16, the rear wall 17, and the front wall 18 are formed using a panel-like member such as a metal plate. The bottom wall 13 is fixed to the lower part of the four support columns 10 arranged at the four corners of the outer shell part 11 and covers the front part 9 of the horizontal furnace 3 from the lower side. On the other hand, the top wall 14 is fixed to the upper part of the four support columns 10 and covers the front part 9 of the horizontal furnace 3 from above. Further, the left side wall 15 is fixed to the left two struts 10 among the four struts 10 and covers the front portion 9 of the horizontal furnace 3 from the left side.

右側壁16は、4つの支柱10のうち右側の2つの支柱10に固定されており、横型炉3の前部9を右側から覆っている。後壁17は、4つの支柱10のうち後側の2つの支柱10に固定されており、横型炉3の前部9を後側から覆っている。後壁17には、横型炉本体7が貫通する貫通孔17aが形成されている。貫通孔17aは、横型炉3の外周面の形状に対応する形状に形成されており、横型炉本体7と後壁17との間から気体が漏れることは、抑制されている。   The right side wall 16 is fixed to the right two columns 10 among the four columns 10 and covers the front portion 9 of the horizontal furnace 3 from the right side. The rear wall 17 is fixed to the two rear columns 10 among the four columns 10 and covers the front portion 9 of the horizontal furnace 3 from the rear side. A through hole 17 a through which the horizontal furnace body 7 passes is formed in the rear wall 17. The through hole 17 a is formed in a shape corresponding to the shape of the outer peripheral surface of the horizontal furnace 3, and gas leakage from between the horizontal furnace body 7 and the rear wall 17 is suppressed.

前壁18は、4つの支柱10のうちの前側の2つの支柱10の間に配置されており、横型炉3の前部9を前側から覆っている。前壁18は、左右一対の固定壁18aL,18aRと、左右一対の可動壁18bL,18bRと、を有している。左側の固定壁18aLは、左前側の支柱10に固定され、右側に向けて延びている。右側の固定壁18aRは、右前側の支柱10に固定され、左側に向けて延びている。これら左右一対の固定壁18aL,18aRに隣接して、左右一対の可動壁18bL,18bRが配置されている。   The front wall 18 is disposed between two front columns 10 among the four columns 10 and covers the front portion 9 of the horizontal furnace 3 from the front side. The front wall 18 has a pair of left and right fixed walls 18aL and 18aR and a pair of left and right movable walls 18bL and 18bR. The left fixed wall 18aL is fixed to the left front support column 10 and extends toward the right side. The right fixed wall 18aR is fixed to the right front column 10 and extends toward the left side. A pair of left and right movable walls 18bL and 18bR are disposed adjacent to the pair of left and right fixed walls 18aL and 18aR.

可動壁18bL,18bRは、固定壁18aL,18aRに対して左右に変位することで、収容室5の扉として機能するように構成されている。各可動壁18bL,18bRは、開口部7aに向かい合った閉位置P3と、左右方向における閉位置P3の外側の位置であって開口部7aを収容室5の前方に開放させるための開位置P4と、の間を変位可能に構成されている。閉位置P3における一対の可動壁18bL,18bRは、一対の固定壁18aL,18aRと協働して、横型炉3の前部9を前側から覆っている。一方、開位置P4における一対の可動壁18bL,18bRは、対応する固定壁18aL,18aRと前後に重なるように配置され、横型炉3のドア2を前方に露呈させる。可動壁18bL,18bRは、電動モータなどを含む駆動装置19によって、開閉動作される。   The movable walls 18bL and 18bR are configured to function as doors of the storage chamber 5 by being displaced left and right with respect to the fixed walls 18aL and 18aR. Each movable wall 18bL, 18bR has a closed position P3 facing the opening 7a, and an open position P4 for opening the opening 7a to the front of the storage chamber 5 at a position outside the closed position P3 in the left-right direction. Are configured to be displaceable. The pair of movable walls 18bL and 18bR at the closed position P3 covers the front portion 9 of the horizontal furnace 3 from the front side in cooperation with the pair of fixed walls 18aL and 18aR. On the other hand, the pair of movable walls 18bL and 18bR at the open position P4 are arranged so as to overlap the corresponding fixed walls 18aL and 18aR in the front-rear direction, and expose the door 2 of the horizontal furnace 3 to the front. The movable walls 18bL and 18bR are opened and closed by a driving device 19 including an electric motor.

上記の構成により、底壁13、天壁14、左右一対の側壁15,16、後壁17、および、前壁18は、協働して直方体状の箱部分を形成している。これら底壁13、天壁14、左右一対の側壁15,16、後壁17、および、前壁18によって、横型炉3の前部9の周囲が取り囲まれている。上記の構成を有する外郭部11内に、スカベンジャー部12が配置されている。   With the above configuration, the bottom wall 13, the top wall 14, the pair of left and right side walls 15, 16, the rear wall 17 and the front wall 18 cooperate to form a rectangular parallelepiped box portion. The bottom wall 13, the top wall 14, the pair of left and right side walls 15 and 16, the rear wall 17, and the front wall 18 surround the front portion 9 of the horizontal furnace 3. A scavenger portion 12 is disposed in the outer shell portion 11 having the above configuration.

スカベンジャー部12は、横型炉3の開口部7aの周囲を取り囲むとともに、開口部7aの周囲に気流F1を発生させるために設けられている。スカベンジャー部12は、本実施形態では、横型炉3の長手方向である前後方向に沿って延びる空間を形成している、また、スカベンジャー部12は、左右方向における収容室5の中間部で且つ上下方向における収容室5の中間部に配置されている。   The scavenger portion 12 surrounds the periphery of the opening 7a of the horizontal furnace 3 and is provided to generate an air flow F1 around the opening 7a. In this embodiment, the scavenger portion 12 forms a space extending along the front-rear direction, which is the longitudinal direction of the horizontal furnace 3, and the scavenger portion 12 is an intermediate portion of the storage chamber 5 in the left-right direction and is vertically It is arrange | positioned in the intermediate part of the storage chamber 5 in a direction.

本実施形態では、スカベンジャー部12は、開口部7aの右側方からスカベンジャー部12内に冷却用ガス(本実施形態では、空気)を導入し、開口部7aの周囲を通過させた後、冷却用ガスを開口部7aの左側方からスカベンジャー部12の外部に排出するように構成されている。これにより、開口部7aの周囲が過熱することを抑制している。また、ドア2が開いたときなどに横型炉3内のガスが開口部7aから収容室5の外部に不用意に漏れることを抑制している。   In the present embodiment, the scavenger portion 12 introduces a cooling gas (air in this embodiment) into the scavenger portion 12 from the right side of the opening 7a, passes through the periphery of the opening 7a, and then is used for cooling. The gas is discharged from the left side of the opening 7a to the outside of the scavenger unit 12. Thereby, it is suppressed that the circumference | surroundings of the opening part 7a overheat. Further, the gas in the horizontal furnace 3 is prevented from inadvertently leaking from the opening 7 a to the outside of the storage chamber 5 when the door 2 is opened.

スカベンジャー部12は、底壁23と、天壁24と、左右一対の側壁25,26と、後壁17と、前壁18と、を有している。すなわち、スカベンジャー部12の一部としての前壁18および後壁17は、収容室5の一部としての前壁18および後壁17によって形成されている。   The scavenger portion 12 includes a bottom wall 23, a top wall 24, a pair of left and right side walls 25 and 26, a rear wall 17, and a front wall 18. That is, the front wall 18 and the rear wall 17 as part of the scavenger portion 12 are formed by the front wall 18 and the rear wall 17 as part of the storage chamber 5.

底壁23、天壁24、左側壁25、および、右側壁26は、矩形状の金属板などのパネル状部材を用いて形成されている。底壁23の前部は、たとえば、前壁18の左右一対の固定壁18aL,18aRに固定されている。また、底壁23の後部は、後壁17に固定されている。この底壁23は、横型炉3の前部9を下側から覆っている。また、天壁24の前部は、たとえば、前壁18の左右一対の固定壁18aL,18aRに固定されている。また、天壁24の後部は、後壁17に固定されている。天壁24は、横型炉3の前部9を上側から覆っている。これら底壁23および天壁24は、収容室5の底壁13および天壁14に上下に挟まれるように配置されている。   The bottom wall 23, the top wall 24, the left side wall 25, and the right side wall 26 are formed using a panel-like member such as a rectangular metal plate. The front portion of the bottom wall 23 is fixed to, for example, a pair of left and right fixed walls 18aL and 18aR of the front wall 18. Further, the rear portion of the bottom wall 23 is fixed to the rear wall 17. The bottom wall 23 covers the front portion 9 of the horizontal furnace 3 from the lower side. The front portion of the top wall 24 is fixed to, for example, a pair of left and right fixed walls 18aL and 18aR of the front wall 18. The rear portion of the top wall 24 is fixed to the rear wall 17. The top wall 24 covers the front portion 9 of the horizontal furnace 3 from above. The bottom wall 23 and the top wall 24 are disposed so as to be sandwiched between the bottom wall 13 and the top wall 14 of the storage chamber 5.

また、左側の側壁25の前部は、たとえば、前壁18の固定壁18aLに固定されている。また、左側の側壁25の後部は、後壁17に固定されている。左側壁15は、横型炉3の前部9を左側から覆っている。   Moreover, the front part of the left side wall 25 is being fixed to the fixed wall 18aL of the front wall 18, for example. The rear portion of the left side wall 25 is fixed to the rear wall 17. The left side wall 15 covers the front portion 9 of the horizontal furnace 3 from the left side.

右側の側壁26は、側壁本体27と、側壁本体27に対して着脱可能な支持部材28と、を有している。   The right side wall 26 includes a side wall main body 27 and a support member 28 that can be attached to and detached from the side wall main body 27.

側壁本体27および支持部材28は、矩形状に形成されている。側壁本体27の前部は、たとえば、前壁18の右側の固定壁18aRに固定されている。また、側壁本体27の後部は、後壁17に固定されている。側壁本体27の前寄り部分には、貫通孔27aが形成されている。貫通孔27aは、矩形状に形成された貫通孔である。   The side wall body 27 and the support member 28 are formed in a rectangular shape. The front portion of the side wall body 27 is fixed to, for example, a fixed wall 18aR on the right side of the front wall 18. Further, the rear portion of the side wall main body 27 is fixed to the rear wall 17. A through hole 27 a is formed in the front portion of the side wall body 27. The through hole 27a is a through hole formed in a rectangular shape.

貫通孔27aの上端部は、横型炉本体7の上端部の近傍に位置している。また、貫通孔27aの下端部は、横型炉本体7の下端部の近傍に位置している。また、前後方向において、貫通孔27aの長さは、側壁本体27の長さの半分以下程度に設定されている。この貫通孔27aの大部分は、支持部材28によって塞がれている。   The upper end portion of the through hole 27 a is located in the vicinity of the upper end portion of the horizontal furnace body 7. Further, the lower end portion of the through hole 27 a is located in the vicinity of the lower end portion of the horizontal furnace body 7. In the front-rear direction, the length of the through hole 27 a is set to about half or less of the length of the side wall body 27. Most of the through hole 27 a is closed by the support member 28.

支持部材28は、開閉機構6を支持するために、より具体的には、開閉機構6の後述するリンク機構35および直動アクチュエータ34を一括して支持するために設けられている。支持部材28の外周部は、たとえば、ねじなどの固定部材を用いて、側壁本体27における貫通孔27aの外周縁部に固定されている。支持部材28は、横型炉本体7の開口部7aおよびドア2と左右に向かい合うように配置されている。支持部材28は、側壁本体27の外側面に接触している。この構成により、作業員は、支持部材28を、スカベンジャー部12の外側の比較的広い空間においてスカベンジャー部12に取り付けることができる。   The support member 28 is provided to support the opening / closing mechanism 6, more specifically, to collectively support a later-described link mechanism 35 and linear motion actuator 34 of the opening / closing mechanism 6. The outer peripheral portion of the support member 28 is fixed to the outer peripheral edge portion of the through hole 27a in the side wall body 27 using, for example, a fixing member such as a screw. The support member 28 is disposed so as to face the opening 7 a of the horizontal furnace body 7 and the door 2 in the left-right direction. The support member 28 is in contact with the outer surface of the side wall body 27. With this configuration, the worker can attach the support member 28 to the scavenger portion 12 in a relatively wide space outside the scavenger portion 12.

上記の構成により、右側壁26は、横型炉3の前部9を右側から覆っている。これら左右一対の側壁25,26は、外郭部11の左右一対の側壁15,16に左右に挟まれるように配置されている。また、底壁23、天壁24、および、左右一対の側壁25,26は、前後方向と直交する断面において、全体として矩形状に形成されている。すなわち、外郭部11の内部において、スカベンジャー部12は、前壁18と後壁17との間に、底壁23、天壁24、および、左右一対の側壁25,26で囲まれた直方体状の空間を形成している。この空間に、横型炉3の前部9が収容されている。   With the above configuration, the right side wall 26 covers the front portion 9 of the horizontal furnace 3 from the right side. The pair of left and right side walls 25 and 26 are arranged so as to be sandwiched between the pair of left and right side walls 15 and 16 of the outer shell 11. Further, the bottom wall 23, the top wall 24, and the pair of left and right side walls 25, 26 are formed in a rectangular shape as a whole in a cross section orthogonal to the front-rear direction. That is, the scavenger portion 12 is formed in a rectangular parallelepiped shape surrounded by a bottom wall 23, a top wall 24, and a pair of left and right side walls 25, 26 between the front wall 18 and the rear wall 17. A space is formed. The front portion 9 of the horizontal furnace 3 is accommodated in this space.

スカベンジャー部12の左右一対の側壁25,26には、冷却用開口部8が形成されている。冷却用開口部8は、スカベンジャー部12内に冷却用ガスを通過させるため(気流F1を発生させるため)に設けられている。本実施形態では、冷却用開口部8に、開閉機構6の少なくとも一部が配置されている。   A cooling opening 8 is formed in the pair of left and right side walls 25 and 26 of the scavenger portion 12. The cooling opening 8 is provided to allow the cooling gas to pass through the scavenger portion 12 (to generate the air flow F1). In the present embodiment, at least a part of the opening / closing mechanism 6 is disposed in the cooling opening 8.

冷却用開口部8は、気流F1の向きの成分が、左右方向、上下方向、および、前後方向の少なくとも一つを含むように構成されている。本実施形態では、冷却用開口部8は気流F1が、左右方向に沿って流れるとともに、上下方向に沿って流れ、さらに、前後方向にも沿って流れるように構成されている。これにより、冷却用開口部8は、スカベンジャー部12内におけるガスの滞留を抑制し、スカベンジャー部12内の温度をより確実に低下させる。また、横型炉3からスカベンジャー部12内に放出されたガスをより確実に回収することが意図されている。   The cooling opening 8 is configured such that the component of the direction of the airflow F1 includes at least one of the left-right direction, the up-down direction, and the front-rear direction. In the present embodiment, the cooling opening 8 is configured such that the air flow F1 flows along the left-right direction, flows along the up-down direction, and further flows along the front-rear direction. Thereby, the cooling opening 8 suppresses the retention of gas in the scavenger portion 12 and more reliably lowers the temperature in the scavenger portion 12. Further, it is intended to more reliably recover the gas released from the horizontal furnace 3 into the scavenger section 12.

図1〜図3および図6を参照して、冷却用開口部8は、冷却用ガスをスカベンジャー部12内に導入するための導入部31と、冷却用ガスをスカベンジャー部12内から排出するための排出部32と、を有している。   With reference to FIGS. 1 to 3 and 6, the cooling opening 8 is configured to introduce the cooling gas into the scavenger part 12 and to discharge the cooling gas from the scavenger part 12. The discharge part 32 of the.

導入部31は、本実施形態では、スカベンジャー部12の右側壁26に形成されている。より具体的には、導入部31は、右側壁26の支持部材28に形成されている。導入部31は、支持部材28を貫通する孔部として形成されている。導入部31は、支持部材28の前下側に形成されている。上下方向において、導入部31の位置は、ドア2の下部寄りの部分の位置と揃えられている。この場合のドア2の下部とは、上下方向において、ドア2の中心部2aの位置よりも下側の部分をいう。   In this embodiment, the introduction part 31 is formed on the right side wall 26 of the scavenger part 12. More specifically, the introduction portion 31 is formed on the support member 28 of the right side wall 26. The introduction part 31 is formed as a hole that penetrates the support member 28. The introduction portion 31 is formed on the lower front side of the support member 28. In the vertical direction, the position of the introduction portion 31 is aligned with the position of the portion near the lower portion of the door 2. The lower part of the door 2 in this case refers to a part below the position of the center part 2a of the door 2 in the vertical direction.

また、前後方向において、導入部31の位置は、閉位置P1にあるドア2の前方の位置に設定されている。導入部31は、本実施形態では、前後方向に細長い矩形状に形成されている。このように、側壁本体27から取外し可能で且つ側壁本体27の形状よりも小さい形状の支持部材28に導入部31を形成することで、導入部31を形成する作業を、より容易に行うことができる。   In the front-rear direction, the position of the introduction portion 31 is set to a position in front of the door 2 at the closed position P1. In the present embodiment, the introduction portion 31 is formed in a rectangular shape that is elongated in the front-rear direction. As described above, the introduction portion 31 is formed on the support member 28 that is detachable from the side wall body 27 and is smaller than the shape of the side wall body 27, so that the operation of forming the introduction portion 31 can be performed more easily. it can.

本実施形態では、上下方向における導入部31の長さは、前後方向における導入部31の半分程度に設定されている。導入部31には、たとえば、送風ファン29によって、収容室5の外郭部11のうちスカベンジャー部12の右外側を流れる冷却用ガスが、スカベンジャー部12内に導入される。導入部31とは上下方向の位置、前後方向の位置、および、左右方向の位置の少なくとも1つ(本実施形態では、3つとも)が異なるようにして、排出部32が配置されている。   In this embodiment, the length of the introduction part 31 in the up-down direction is set to about half of the introduction part 31 in the front-rear direction. For example, the cooling gas flowing in the outer right portion of the scavenger portion 12 in the outer portion 11 of the storage chamber 5 is introduced into the scavenger portion 12 by the blower fan 29. The discharge part 32 is arranged such that at least one (all three in the present embodiment) of the position in the vertical direction, the position in the front-rear direction, and the position in the left-right direction is different from the introduction part 31.

排出部32は、スカベンジャー部12内を通過した冷却用ガスをスカベンジャー部12の外部へ排出するために設けられている。排出部32は、左側壁25に接続されたダクトとして形成されている。排出部32は、前後方向において、導入部31の後方に配置されている。排出部32は、左側壁25の後上側に形成されている。上下方向において、排出部32の位置は、ドア2の上部寄りの部分の位置と揃えられている。この場合のドア2の上部とは、上下方向において、ドア2の中心部2aの位置よりも上側の部分をいう。また、前後方向において、排出部32の位置は、横型炉本体7の中間部の位置に設定されている。このように、導入部31と排出部32とは、ドア2を挟むようにして離隔して配置され、且つ、前後方向(横型炉3の長手方向)において、離隔して配置されている。   The discharge unit 32 is provided to discharge the cooling gas that has passed through the scavenger unit 12 to the outside of the scavenger unit 12. The discharge part 32 is formed as a duct connected to the left side wall 25. The discharge part 32 is arranged behind the introduction part 31 in the front-rear direction. The discharge part 32 is formed on the rear upper side of the left side wall 25. In the vertical direction, the position of the discharge portion 32 is aligned with the position of the portion near the upper portion of the door 2. The upper part of the door 2 in this case refers to a part above the position of the center part 2a of the door 2 in the vertical direction. In the front-rear direction, the position of the discharge part 32 is set to the position of the intermediate part of the horizontal furnace body 7. Thus, the introduction part 31 and the discharge part 32 are spaced apart so as to sandwich the door 2, and are spaced apart in the front-rear direction (longitudinal direction of the horizontal furnace 3).

排出部32には、たとえば、図示しない配管が接続されている。排出部32および配管は、吸引ファン30によって負圧が生じており、スカベンジャー部12内を流れた冷却用ガスは、排出部32を通して配管に吸引され、フィルタなどを通して大気に放出される。   For example, a pipe (not shown) is connected to the discharge unit 32. A negative pressure is generated in the discharge part 32 and the pipe by the suction fan 30, and the cooling gas flowing in the scavenger part 12 is sucked into the pipe through the discharge part 32 and released to the atmosphere through a filter or the like.

上記の構成により、冷却用ガスは、導入部31からスカベンジャー部12内に進入し、気流F1を生じながら、ドア2および開口部7aの周囲を通過し、その後、左後上方に進み、排出部32からスカベンジャー部12の外部に排出される。このスカベンジャー部12に、開閉機構6が設置されている。   With the above configuration, the cooling gas enters the scavenger portion 12 from the introduction portion 31 and passes around the door 2 and the opening portion 7a while generating the air flow F1, and then proceeds to the upper left rear, and the discharge portion 32 is discharged to the outside of the scavenger section 12. An opening / closing mechanism 6 is installed in the scavenger portion 12.

図1、図2および図4〜図6を参照して、開閉機構6は、ドア2を開閉動作させるために設けられている。前述したように、開閉機構6の少なくとも一部は、冷却用開口部8の導入部31内に配置されている。また、本実施形態では、開閉機構6の略全部に気流F1が当たるように構成されている。開閉機構6は、本実施形態では、スカベンジャー部12内の右側領域、および、スカベンジャー部12の右外側に配置されている。   With reference to FIGS. 1, 2, and 4 to 6, the opening / closing mechanism 6 is provided to open and close the door 2. As described above, at least a part of the opening / closing mechanism 6 is disposed in the introduction portion 31 of the cooling opening 8. Moreover, in this embodiment, it is comprised so that the airflow F1 may hit substantially all of the opening / closing mechanism 6. FIG. In the present embodiment, the opening / closing mechanism 6 is disposed on the right side region in the scavenger portion 12 and on the right outside of the scavenger portion 12.

開閉機構6は、ステーユニット33と、直動アクチュエータ34と、リンク機構35と、を有している。   The opening / closing mechanism 6 includes a stay unit 33, a linear motion actuator 34, and a link mechanism 35.

ステーユニット33は、直動アクチュエータ34およびリンク機構35を支持するために設けられている。ステーユニット33は、支持部材28に隣接して配置されており、この支持部材28に固定されている。ステーユニット33は、支持部材28の右方および左方に延びている。また、ステーユニット33は、冷却用開口部8の導入部31に隣接して配置されている。   The stay unit 33 is provided to support the linear motion actuator 34 and the link mechanism 35. The stay unit 33 is disposed adjacent to the support member 28 and is fixed to the support member 28. The stay unit 33 extends to the right and left of the support member 28. Further, the stay unit 33 is disposed adjacent to the introduction portion 31 of the cooling opening 8.

ステーユニット33は、第1ステー部36と、第2ステー部37と、を有している。   The stay unit 33 includes a first stay portion 36 and a second stay portion 37.

第1ステー部36は、リンク機構35の後述するリンク部材45を支持するために設けられている。第1ステー部36は、スカベンジャー部12内に配置されている。第1ステー部36は、後述する第1軸線S1回りに揺動可能にリンク部材45を支持し、支持部材28に保持されている。第1ステー部36は、ベースプレート36aと、上下一対の第1延伸部36bと、を有している。   The first stay portion 36 is provided to support a link member 45 described later of the link mechanism 35. The first stay portion 36 is disposed in the scavenger portion 12. The first stay portion 36 supports the link member 45 so as to be swingable around a first axis S <b> 1 described later, and is held by the support member 28. The first stay portion 36 includes a base plate 36a and a pair of upper and lower first extending portions 36b.

ベースプレート36aは、たとえば、略矩形の平板状に形成されている。ベースプレート36aは、支持部材28のうちスカベンジャー部12の内側を向く内側面に受けられており、ねじ部材などの固定部材36cを用いて、支持部材28に保持(固定)されている。より具体的には、ベースプレート36aには、上下方向に延びる長孔部36dがベースプレート36aの四隅に形成されている。各長孔部36dは、固定部材36cに貫通されている。固定部材36cによるベースプレート36aと支持部材28の互いの固定が解除されている状態において、固定部材36cに対するベースプレート36aの位置を調整することで、上下方向における第1ステー部36の位置を調整することができる。   The base plate 36a is formed in a substantially rectangular flat plate shape, for example. The base plate 36a is received on the inner surface of the support member 28 facing the inside of the scavenger portion 12, and is held (fixed) to the support member 28 using a fixing member 36c such as a screw member. More specifically, long holes 36d extending in the vertical direction are formed in the base plate 36a at the four corners of the base plate 36a. Each long hole part 36d is penetrated by the fixing member 36c. In the state where the fixing of the base plate 36a and the support member 28 by the fixing member 36c is released, the position of the first stay portion 36 in the vertical direction is adjusted by adjusting the position of the base plate 36a with respect to the fixing member 36c. Can do.

ベースプレート36aの上部および下部から、第1延伸部36bが延びている。各第1延伸部36bは、水平に延びる板状に形成されており、ベースプレート36aから左前方に向けて延びる形状に形成されている。前後方向において、第1延伸部36bの前端部は、ベースプレート36aの前端部の前方に配置されている。第1ステー部36の右方に、第2ステー部37が配置されている。   A first extending portion 36b extends from the upper and lower portions of the base plate 36a. Each first extending portion 36b is formed in a horizontally extending plate shape, and is formed in a shape extending from the base plate 36a toward the left front. In the front-rear direction, the front end portion of the first extending portion 36b is disposed in front of the front end portion of the base plate 36a. A second stay portion 37 is disposed on the right side of the first stay portion 36.

第2ステー部37は、リンク機構35の後述する直動アクチュエータ34を支持するために設けられている。第2ステー部37は、スカベンジャー部12の右外側において、外郭部11内に配置されている。第2ステー部37は、後述する第3軸線S3回りに揺動可能に直動アクチュエータ34を支持し支持部材28に保持されている。第2ステー部37の位置は、第1ステー部36の位置よりも低く設定されている。第2ステー部37は、ベースプレート37aと、上下一対の第2延伸部37bと、を有している。   The second stay portion 37 is provided to support a linear motion actuator 34 (to be described later) of the link mechanism 35. The second stay portion 37 is disposed in the outer portion 11 on the right outer side of the scavenger portion 12. The second stay portion 37 supports the linear actuator 34 so as to be swingable around a third axis S3 described later, and is held by the support member 28. The position of the second stay part 37 is set lower than the position of the first stay part 36. The second stay portion 37 includes a base plate 37a and a pair of upper and lower second extending portions 37b.

ベースプレート37aは、たとえば、略矩形の平板状に形成されている。本実施形態では、ベースプレート36,37のベースプレート36a,37aは、前後方向の位置が揃えられている。ベースプレート37aは、支持部材28のうちスカベンジャー部12の外側を向く外側面に受けられており、ねじ部材などの固定部材37cを用いて、支持部材28に保持(固定)されている。より具体的には、ベースプレート37aには、上下方向に延びる長孔部37dがベースプレート37の四隅に形成されている。各長孔部37dは、固定部材37cに貫通されている。固定部材37cによるベースプレート37aと支持部材28の互いの固定が解除されている状態において、固定部材37cに対するベースプレート37aの位置を調整することで、上下方向における第2ステー部37の位置を調整することができる。   The base plate 37a is formed in a substantially rectangular flat plate shape, for example. In the present embodiment, the base plates 36a and 37a of the base plates 36 and 37 are aligned in the front-rear direction. The base plate 37a is received by the outer surface of the support member 28 facing the outside of the scavenger portion 12, and is held (fixed) to the support member 28 using a fixing member 37c such as a screw member. More specifically, long holes 37 d extending in the vertical direction are formed in the base plate 37 a at the four corners of the base plate 37. Each long hole part 37d is penetrated by the fixing member 37c. In the state where the fixing of the base plate 37a and the support member 28 by the fixing member 37c is released, the position of the second stay portion 37 in the vertical direction is adjusted by adjusting the position of the base plate 37a with respect to the fixing member 37c. Can do.

ベースプレート37aの上部および下部から、第2延伸部37bが延びている。各第2延伸部37bは、水平に延びる板状に形成されており、ベースプレート37aから右前方に向けて延びる形状に形成されている。前後方向において、第2延伸部37bの前端部は、ベースプレート37aの前端部の前方に配置されている。上記の構成を有するステーユニット33によって、開閉機構6(直動アクチュエータ34およびリンク機構35)が支持されている。   A second extending portion 37b extends from the upper and lower portions of the base plate 37a. Each second extending portion 37b is formed in a horizontally extending plate shape, and is formed in a shape extending from the base plate 37a toward the right front. In the front-rear direction, the front end portion of the second extending portion 37b is disposed in front of the front end portion of the base plate 37a. The opening / closing mechanism 6 (the linear actuator 34 and the link mechanism 35) is supported by the stay unit 33 having the above-described configuration.

直動アクチュエータ34は、ドア2を開閉する駆動力を発生するためのアクチュエータとして設けられている。直動アクチュエータ34は、たとえば、流体圧シリンダである。流体圧シリンダとして、空気圧シリンダ、および、油圧シリンダを例示することができる。直動アクチュエータ34は、本実施形態では、水平に配置されている。   The linear actuator 34 is provided as an actuator for generating a driving force for opening and closing the door 2. The linear actuator 34 is, for example, a fluid pressure cylinder. Examples of the fluid pressure cylinder include a pneumatic cylinder and a hydraulic cylinder. In the present embodiment, the linear actuator 34 is disposed horizontally.

また、直動アクチュエータ34は、冷却用開口部8の導入部31を貫通するように配置されている。すなわち、直動アクチュエータ34は、収容室5内において、スカベンジャー部12の外部と内部にまたがって配置されている。また、直動アクチュエータ34の高さ位置(上下方向の位置)は、ドア2の中心部2aの高さ位置よりも低く設定されている。これにより、横型炉3内のガスが開口部7aからスカベンジャー部12内において横型炉3の外部に流れたときに、高温のガスの対流が直動アクチュエータ34に到達することを抑制できる。   Further, the linear actuator 34 is disposed so as to penetrate the introduction part 31 of the cooling opening 8. That is, the linear motion actuator 34 is disposed in the housing chamber 5 so as to extend over and outside the scavenger portion 12. Further, the height position (vertical position) of the linear actuator 34 is set lower than the height position of the central portion 2 a of the door 2. Thereby, when the gas in the horizontal furnace 3 flows from the opening 7 a to the outside of the horizontal furnace 3 in the scavenger portion 12, it is possible to prevent high-temperature gas convection from reaching the linear motion actuator 34.

直動アクチュエータ34は、固定部38と、固定部38に支持された出力部39と、出力部39の先端に固定されたアタッチメント40と、を有している。本実施形態では、固定部38は、シリンダ部によって形成され、出力部39は、シリンダ部から突出するロッドによって形成されている。なお、固定部38がロッドによって形成され、出力部39がシリンダ部によって形成されてもよい。   The linear actuator 34 includes a fixed portion 38, an output portion 39 supported by the fixed portion 38, and an attachment 40 fixed to the tip of the output portion 39. In the present embodiment, the fixing portion 38 is formed by a cylinder portion, and the output portion 39 is formed by a rod protruding from the cylinder portion. In addition, the fixing | fixed part 38 may be formed with a rod, and the output part 39 may be formed with a cylinder part.

固定部38は、前述したように、シリンダ部によって形成されており、細長い円柱状に形成されている。固定部38は、図示しないポンプなどに接続されており、ポンプの動作によって生じた流体圧を受けるように構成されている。固定部38は、外郭部11内において、スカベンジャー部12の外部に配置されている。固定部38は、導入部31と左右方向に向かい合うように配置されている。   As described above, the fixing portion 38 is formed by a cylinder portion, and is formed in an elongated cylindrical shape. The fixed portion 38 is connected to a pump or the like (not shown), and is configured to receive a fluid pressure generated by the operation of the pump. The fixing portion 38 is disposed outside the scavenger portion 12 in the outer shell portion 11. The fixing portion 38 is disposed so as to face the introduction portion 31 in the left-right direction.

固定部38の外周部のたとえば一端部には、鉛直方向に延びる第3支軸43が設けられている。第3支軸43は、固定部38のたとえば上端部および下端部に形成されており、第2ステー部37の第2延伸部37bに向けて延びている。各第3支軸43は、第2延伸部37bの先端部に形成された孔部に嵌合されている。これにより、固定部38(直動アクチュエータ34)は、スカベンジャー部12に対して、当該第3支軸43の軸線としての第3軸線S3回りを揺動可能である。   A third support shaft 43 extending in the vertical direction is provided, for example, at one end of the outer peripheral portion of the fixed portion 38. The third support shaft 43 is formed at, for example, the upper end portion and the lower end portion of the fixed portion 38, and extends toward the second extending portion 37 b of the second stay portion 37. Each third support shaft 43 is fitted in a hole formed at the tip of the second extending portion 37b. Accordingly, the fixed portion 38 (linear motion actuator 34) can swing around the third axis S3 as the axis of the third support shaft 43 with respect to the scavenger portion 12.

第3軸線S3は、後述する第1軸線S1および第2軸線S2の双方と平行である。また、固定部38は、第3支軸43を介して第2ステー部37に支持されている。すなわち、第2ステー部37は、直動アクチュエータ34を第3軸線S3回りに揺動可能に支持し且つ支持部材28に支持されている。これにより、直動アクチュエータ34は、スカベンジャー部12の右側壁16の支持部材28に支持されている。固定部38の一端部から、出力部39が突出している。   The third axis S3 is parallel to both a first axis S1 and a second axis S2, which will be described later. Further, the fixed portion 38 is supported by the second stay portion 37 via the third support shaft 43. That is, the second stay portion 37 supports the linear motion actuator 34 so as to be swingable about the third axis S3 and is supported by the support member 28. Thereby, the linear actuator 34 is supported by the support member 28 of the right side wall 16 of the scavenger portion 12. An output portion 39 protrudes from one end portion of the fixed portion 38.

出力部39は、前述したように、ロッドによって形成されており、上記の流体圧を受けて固定部38に対する直線運動を行うように構成されている。出力部39は、固定部38によって当該固定部38に対する固定部38の直線運動が可能に構成されている。出力部39は、スカベンジャー部12の外部に配置された固定部38から冷却用開口部8の導入部31を貫通してスカベンジャー部12内に向けて延びるように配置されている。出力部39の先端部は、雄ねじ部を含んでいる。出力部39の先端部には、アタッチメント40が取り付けられている。   As described above, the output unit 39 is formed of a rod, and is configured to perform linear motion with respect to the fixed unit 38 by receiving the fluid pressure. The output unit 39 is configured such that the fixed unit 38 can linearly move the fixed unit 38 with respect to the fixed unit 38. The output part 39 is arranged so as to extend from the fixed part 38 arranged outside the scavenger part 12 through the introduction part 31 of the cooling opening 8 toward the scavenger part 12. The distal end portion of the output portion 39 includes a male screw portion. An attachment 40 is attached to the tip of the output unit 39.

アタッチメント40は、出力部39をリンク機構35に取り付けるために設けられている。アタッチメント40は、棒状に形成されている。アタッチメント40の基端側部分には、雌ねじ部が形成されている。この雌ねじ部の後述するリンク部材45には、出力部39の先端部の雄ねじ部がねじ結合している。これにより、アタッチメント40は、出力部39に対する位置調整可能に出力部39に固定されている。また、出力部39の先端部には、ロックナット44がねじ結合しており、出力部39とアタッチメント40とを互いに固定している。アタッチメント40の先端部は、U字状に形成されており、リンク部材45の後述する入力側アーム部46を挟むように配置されている。アタッチメント40の先端部には、連結部40aが形成されている。   The attachment 40 is provided to attach the output unit 39 to the link mechanism 35. The attachment 40 is formed in a rod shape. An internal thread portion is formed on the proximal end portion of the attachment 40. A male screw portion at the tip of the output portion 39 is screwed to a link member 45 described later of the female screw portion. Thereby, the attachment 40 is being fixed to the output part 39 so that position adjustment with respect to the output part 39 is possible. Further, a lock nut 44 is screwed to the distal end portion of the output portion 39, and the output portion 39 and the attachment 40 are fixed to each other. The distal end portion of the attachment 40 is formed in a U shape, and is arranged so as to sandwich an input side arm portion 46 described later of the link member 45. A connecting portion 40 a is formed at the distal end portion of the attachment 40.

連結部40aは、リンク機構35の後述する第2支軸42が連結される部分として設けられている。本実施形態では、連結部40aは、アタッチメント40を上下に貫通する貫通孔部として形成されている。連結部40aは、スカベンジャー部12内とスカベンジャー部12外との間を移動可能に配置されている。上記の構成を有する直動アクチュエータ34は、リンク機構35に接続されている。   The connecting portion 40a is provided as a portion to which a later-described second support shaft 42 of the link mechanism 35 is connected. In this embodiment, the connection part 40a is formed as a through-hole part which penetrates the attachment 40 up and down. The connection part 40a is arrange | positioned so that a movement between the inside of the scavenger part 12 and the scavenger part 12 outside is possible. The linear actuator 34 having the above configuration is connected to a link mechanism 35.

リンク機構35は、直動アクチュエータ34の出力部39とドア2とを連結するために設けられている。より具体的には、リンク機構35は、直動アクチュエータ34の出力部39の直線運動を、ドア2を開閉するための揺動運動に変換するために設けられている。また、本実施形態では、リンク機構35は、スカベンジャー部12の下部寄りに配置された直動アクチュエータ34からの出力を、直動アクチュエータ34の位置よりも上方の位置においてドア2に伝達するように構成されている。このリンク機構35は、ステーユニット33を介してスカベンジャー部12の右側壁26の支持部材28に支持されている。   The link mechanism 35 is provided to connect the output part 39 of the linear actuator 34 and the door 2. More specifically, the link mechanism 35 is provided to convert the linear motion of the output portion 39 of the linear actuator 34 into a swing motion for opening and closing the door 2. In the present embodiment, the link mechanism 35 transmits the output from the linear actuator 34 arranged near the lower part of the scavenger portion 12 to the door 2 at a position above the position of the linear actuator 34. It is configured. The link mechanism 35 is supported by the support member 28 on the right side wall 26 of the scavenger portion 12 via the stay unit 33.

リンク機構35は、リンク部材45と、第1支軸41と、第2支軸42と、第3支軸43と、リンク部材45をドア2に結合する結合部49と、を有している。   The link mechanism 35 includes a link member 45, a first support shaft 41, a second support shaft 42, a third support shaft 43, and a connecting portion 49 that connects the link member 45 to the door 2. .

すなわち、第3支軸43は、直動アクチュエータ34の一部であるとともに、リンク機構35の一部でもある。そして、本実施形態では、第1支軸41の中心軸線は第1軸線S1であり、第2支軸42の中心軸線は第2軸線S2であり、第3支軸43の中心軸線は第3軸線S3である。リンク機構35は、直動アクチュエータ34の出力部39の直線運動を、鉛直方向に延びる第1軸線S1回りの揺動運動に変換しこの揺動運動をドア2に伝達する。   That is, the third support shaft 43 is a part of the linear motion actuator 34 and a part of the link mechanism 35. In this embodiment, the center axis of the first support shaft 41 is the first axis S1, the center axis of the second support shaft 42 is the second axis S2, and the center axis of the third support shaft 43 is the third axis. This is the axis S3. The link mechanism 35 converts the linear motion of the output portion 39 of the linear actuator 34 into a swing motion around the first axis S <b> 1 extending in the vertical direction, and transmits this swing motion to the door 2.

リンク部材45は、ドア2と第1軸線S1回りに一体的に揺動可能に構成されている。リンク部材45は、平面視でたとえば、略L字状に形成された部分である。リンク部材45は、第1支軸41を介して第1ステー部36に支持されており、第1軸線S1回りを揺動可能である。リンク部材45は、支持部材28の近傍に配置されており、残りの一部は、外郭部11内においてスカベンジャー部12の外部に配置されている。リンク部材45の大部分は、スカベンジャー部12内に配置されている。リンク部材45は、開口部8の導入部31に隣接する部分から上方に延びている。   The link member 45 is configured to be swingable integrally with the door 2 and the first axis S1. The link member 45 is a part formed in, for example, a substantially L shape in plan view. The link member 45 is supported by the first stay portion 36 via the first support shaft 41, and can swing around the first axis S1. The link member 45 is disposed in the vicinity of the support member 28, and the remaining part is disposed outside the scavenger portion 12 in the outer shell portion 11. Most of the link member 45 is disposed in the scavenger portion 12. The link member 45 extends upward from a portion of the opening 8 adjacent to the introduction portion 31.

リンク部材45は、入力側アーム部46と、中間軸部47と、出力側アーム部48と、を有している。   The link member 45 has an input side arm portion 46, an intermediate shaft portion 47, and an output side arm portion 48.

入力側アーム部46は、リンク部材45において直動アクチュエータ34の出力部39からの駆動力が入力される板状部分として設けられている。入力側アーム部46は、略水平に延びるアーム状に形成されている。入力側アーム部46は、冷却用開口部8の導入部31の周囲に配置されており、第1軸線S1回りのリンク部材45の揺動に伴って、スカベンジャー部12から導入部31を通ってスカベンジャー部12の外部に突出するように変位する。   The input side arm portion 46 is provided as a plate-like portion to which the driving force from the output portion 39 of the linear motion actuator 34 is input in the link member 45. The input side arm portion 46 is formed in an arm shape extending substantially horizontally. The input side arm portion 46 is disposed around the introduction portion 31 of the cooling opening 8 and passes through the introduction portion 31 from the scavenger portion 12 as the link member 45 swings around the first axis S1. The scavenger unit 12 is displaced so as to protrude to the outside.

入力側アーム部46の先端部は、直動アクチュエータ34側に向けて膨らんだ形状に形成されており、この先端部に、第2支軸42が設けられている。第2支軸42は、鉛直方向に延びる軸部である。第2支軸42は、直動アクチュエータ34のアタッチメント40に連結されている。   The distal end portion of the input side arm portion 46 is formed in a shape swelled toward the linear motion actuator 34 side, and a second support shaft 42 is provided at the distal end portion. The second support shaft 42 is a shaft portion extending in the vertical direction. The second support shaft 42 is connected to the attachment 40 of the linear motion actuator 34.

なお、第2支軸42は、入力側アーム部46およびアタッチメント40の双方と相対回転可能であってもよいし、入力側アーム部46およびアタッチメント40の何れか一方のみと相対回転可能であってもよい。上記の構成により、リンク部材45は、第2軸線S2回りを直動アクチュエータ34の出力部39と相対回転可能に出力部39に連結されている。入力側アーム部46の基端部は、第1支軸41に連結されている。   The second support shaft 42 may be relatively rotatable with both the input side arm portion 46 and the attachment 40, or may be relatively rotated with only one of the input side arm portion 46 and the attachment 40. Also good. With the above configuration, the link member 45 is connected to the output unit 39 so as to be rotatable relative to the output unit 39 of the linear actuator 34 around the second axis S2. A base end portion of the input side arm portion 46 is connected to the first support shaft 41.

第1支軸41は、鉛直方向に延びる軸部である。第1支軸41は、第1ステー部36の上下一対の第1延伸部36bによって上下両端部を支持された構成を有しているとともに、第1延伸部36bから抜けることを規制されるように構成されている。第1支軸41は、第1延伸部36bの先端部に配置されている。第1支軸41の下部は、入力側アーム部46を貫通しており、この入力側アーム部46に連結されている。また、入力側アーム部46の基端部は、中間軸部47に固定されている。   The first support shaft 41 is a shaft portion extending in the vertical direction. The first support shaft 41 has a configuration in which both upper and lower ends are supported by a pair of upper and lower first extending portions 36b of the first stay portion 36, and is prevented from coming out of the first extending portion 36b. It is configured. The first support shaft 41 is disposed at the distal end portion of the first extending portion 36b. A lower portion of the first support shaft 41 passes through the input side arm portion 46 and is connected to the input side arm portion 46. Further, the base end portion of the input side arm portion 46 is fixed to the intermediate shaft portion 47.

中間軸部47は、鉛直方向に延びる円筒状部分であり、第1ステー部36の上下一対の第1延伸部36bの間に配置されている。中間軸部47に第1支軸41が挿入されており、中間軸部47は、第1支軸41を取り囲んでいる。中間軸部47の上端部に、出力側アーム部48が固定されている。   The intermediate shaft portion 47 is a cylindrical portion extending in the vertical direction, and is disposed between a pair of upper and lower first extending portions 36 b of the first stay portion 36. The first support shaft 41 is inserted into the intermediate shaft portion 47, and the intermediate shaft portion 47 surrounds the first support shaft 41. An output side arm portion 48 is fixed to the upper end portion of the intermediate shaft portion 47.

出力側アーム部48は、リンク部材45のうち直動アクチュエータ34の出力部39からの駆動力をドア2側へ出力する部分として設けられている。出力側アーム部48は、略水平に延びるアーム状に形成されている。出力側アーム部48は、スカベンジャー部12内において、冷却用開口部8の導入部31の上方に配置されている。出力側アーム部48は、中間軸部47からドア2の中心部2aに向けて延びている。   The output side arm portion 48 is provided as a portion of the link member 45 that outputs the driving force from the output portion 39 of the linear actuator 34 to the door 2 side. The output side arm portion 48 is formed in an arm shape extending substantially horizontally. The output side arm portion 48 is disposed above the introduction portion 31 of the cooling opening 8 in the scavenger portion 12. The output side arm portion 48 extends from the intermediate shaft portion 47 toward the center portion 2 a of the door 2.

出力側アーム部48は、上部48aと、下部48bと、を有している。   The output side arm part 48 has an upper part 48a and a lower part 48b.

上部48aは、扁平な板状に形成されている。上部48aの基端部は、第1ステー部36の上側の第1延伸部36bと、中間軸部47との間に配置されており、第1支軸41に貫通されている。なお、上部48a、中間軸部47、および、入力側アーム部46は、第1支軸41と第1軸線S1回りを一体に回転してもよいし、第1支軸41とは第1軸線S1回りに相対回転可能であってもよい。上部48aの下面に下部48bが固定されている。   The upper part 48a is formed in a flat plate shape. The base end portion of the upper portion 48 a is disposed between the first extending portion 36 b on the upper side of the first stay portion 36 and the intermediate shaft portion 47, and penetrates through the first support shaft 41. The upper portion 48a, the intermediate shaft portion 47, and the input side arm portion 46 may rotate integrally around the first support shaft 41 and the first axis S1, and the first support shaft 41 is the first axis. Relative rotation may be possible around S1. A lower part 48b is fixed to the lower surface of the upper part 48a.

下部48bは、縦向きに配置された細長い板状部分として設けられている。下部48bは、第1支軸41から離隔する方向に直線状に延びている。下部48bは、結合部49に固定されている。すなわち、リンク機構35の出力側アーム部48は、結合部49を介してドア2に固定されている。結合部49は、リンク部材45に対するドア2の位置調整を可能な態様でドア2とリンク部材45とを結合するために設けられている。   The lower portion 48b is provided as an elongated plate-like portion arranged in the vertical direction. The lower portion 48 b extends linearly in a direction away from the first support shaft 41. The lower part 48 b is fixed to the coupling part 49. That is, the output side arm portion 48 of the link mechanism 35 is fixed to the door 2 via the coupling portion 49. The coupling portion 49 is provided to couple the door 2 and the link member 45 in such a manner that the position of the door 2 can be adjusted with respect to the link member 45.

図1、図2および図4を参照して、結合部49は、アーム側結合部51と、中間部52と、ドア側結合部53と、を有している。   Referring to FIGS. 1, 2, and 4, coupling portion 49 includes arm side coupling portion 51, intermediate portion 52, and door side coupling portion 53.

アーム側結合部51は、出力側アーム部48の下部48bと平行に延びる縦向きの板状に形成されている。アーム側結合部51は、下部48bの前方に配置されている。アーム側結合部51には、アーム側結合部51の長手方向に延びる長孔部51aが形成されている。この長孔部51aを貫通するねじなどの固定部材48dによって、出力側アーム部48と結合部49とが結合されている。アーム側結合部51は、固定部材48dによるアーム側結合部51と下部48bとの固定が解除された状態において、出力側アーム部48の長手方向における結合部49とリンク部材45(ドア2)との相対位置を調整可能である。アーム側結合部51は、当該アーム側結合部51の長手方向に沿って延びる中間部52の基端側部分に固定されている。この中間部52の先端側部分には、ドア側結合部53が固定されている。   The arm side coupling portion 51 is formed in a vertically oriented plate shape extending in parallel with the lower portion 48 b of the output side arm portion 48. The arm side coupling portion 51 is disposed in front of the lower portion 48b. The arm side coupling portion 51 is formed with a long hole portion 51 a extending in the longitudinal direction of the arm side coupling portion 51. The output-side arm portion 48 and the coupling portion 49 are coupled by a fixing member 48d such as a screw that passes through the long hole portion 51a. In the state where the fixing of the arm side connecting portion 51 and the lower portion 48b by the fixing member 48d is released, the arm side connecting portion 51 is connected to the connecting portion 49 and the link member 45 (door 2) in the longitudinal direction of the output side arm portion 48. The relative position of can be adjusted. The arm side coupling portion 51 is fixed to the proximal end side portion of the intermediate portion 52 extending along the longitudinal direction of the arm side coupling portion 51. A door side coupling portion 53 is fixed to the tip side portion of the intermediate portion 52.

ドア側結合部53は、縦向きに配置された板状部分として形成されている。ドア側結合部53のたとえば上部と下部には、上下に延びる長孔部53a,53bが形成されている。各長孔部53a,53bには、雄ねじなどの固定部材53cが貫通している。この固定部材53cは、ドア側結合部53とドア2とを互いに固定している。固定部材53cによるドア側結合部53とドア2との固定が解除されている状態において、上下方向における結合部49(リンク部材45)とドア2との相対位置を調整可能である。   The door side coupling | bond part 53 is formed as a plate-shaped part arrange | positioned vertically. Long hole portions 53a and 53b extending in the vertical direction are formed in, for example, an upper portion and a lower portion of the door side coupling portion 53. A fixing member 53c such as a male screw passes through each of the long hole portions 53a and 53b. The fixing member 53c fixes the door side coupling portion 53 and the door 2 to each other. In a state where the fixing of the door side connecting portion 53 and the door 2 by the fixing member 53c is released, the relative position between the connecting portion 49 (link member 45) and the door 2 in the vertical direction can be adjusted.

また、開閉機構6に関連して、ストッパ部55が設けられている。ストッパ部55は、ドア2が横型炉3の開口部7a側に過度に変位することを規制するために設けられている。ストッパ部55は、たとえば、ドア2が閉位置P1にあるときに出力側アーム部48の下部48bに接触するように配置されている。ストッパ部55は、たとえば、ボルトを用いて形成されており、当該ストッパ部55の先端部が、出力側アーム部48に接触する部分である。ストッパ部55は、ブラケット56を介して第1ステー部36に固定されている。   Further, a stopper portion 55 is provided in relation to the opening / closing mechanism 6. The stopper portion 55 is provided to restrict the door 2 from being excessively displaced toward the opening 7 a side of the horizontal furnace 3. For example, the stopper portion 55 is disposed so as to contact the lower portion 48b of the output side arm portion 48 when the door 2 is in the closed position P1. The stopper portion 55 is formed using, for example, a bolt, and the tip portion of the stopper portion 55 is a portion that contacts the output side arm portion 48. The stopper portion 55 is fixed to the first stay portion 36 via a bracket 56.

以上が、熱処理装置1の概略構成である。上記の構成を有する熱処理装置1において、被処理物100に熱処理を施すために被処理物100が横型炉3に出し入れされる際、まず、可動壁18bL,18bRが閉位置P3から開位置P4へ変位し、スカベンジャー部12が前方に開放される。そして、直動アクチュエータ34は、出力部39を、固定部38側に向けて直線変位させる。これにより、熱処理装置1における動作の一例を説明するための図である図7に示すように、直動アクチュエータ34は、出力部39を変位させることで、リンク部材45の入力側アーム部46を固定部38側に引き寄せ、リンク部材45を第1軸線S1回りに揺動させる。   The above is the schematic configuration of the heat treatment apparatus 1. In the heat treatment apparatus 1 having the above-described configuration, when the workpiece 100 is put into and out of the horizontal furnace 3 in order to heat-treat the workpiece 100, first, the movable walls 18bL and 18bR are moved from the closed position P3 to the open position P4. As a result, the scavenger portion 12 is opened forward. Then, the linear motion actuator 34 linearly displaces the output unit 39 toward the fixed unit 38 side. Thereby, as shown in FIG. 7 which is a figure for demonstrating an example of operation | movement in the heat processing apparatus 1, the linear motion actuator 34 displaces the input side arm part 46 of the link member 45 by displacing the output part 39. As shown in FIG. The link member 45 is swung around the first axis S <b> 1 by being drawn toward the fixed portion 38.

このとき、入力側アーム部46の先端部は、冷却用開口部8の導入部31を通ってスカベンジャー部12の内部からスカベンジャー部12の外部へ変位する。また、出力側アーム部48は、結合部49とともにドア2を第1軸線S1回りに変位させ、ドア2を開位置P2まで変位させる。これにより、横型炉3の開口部7aが露呈する。よって、被処理物100を横型炉3に出し入れすることができる。この際、直動アクチュエータ34は、リンク部材45の入力側アーム部46とは第2軸線S2回りを相対回転し、且つ、第2ステー部37(支持部材28)とは第3軸線S3回りを相対回転する。   At this time, the distal end portion of the input side arm portion 46 is displaced from the inside of the scavenger portion 12 to the outside of the scavenger portion 12 through the introduction portion 31 of the cooling opening 8. Moreover, the output side arm part 48 displaces the door 2 around the first axis S1 together with the coupling part 49, and displaces the door 2 to the open position P2. Thereby, the opening part 7a of the horizontal furnace 3 is exposed. Therefore, the workpiece 100 can be taken in and out of the horizontal furnace 3. At this time, the linear actuator 34 rotates relative to the input side arm portion 46 of the link member 45 about the second axis S2, and the second stay portion 37 (support member 28) about the third axis S3. Relative rotation.

この際、収容室5の前壁18の可動壁18bL,18bRは、開位置P4に変位しているので、ドア2の一部が収容室5の外部に突出する動作を妨げずに済む。   At this time, since the movable walls 18bL and 18bR of the front wall 18 of the storage chamber 5 are displaced to the open position P4, it is not necessary to prevent the operation in which a part of the door 2 protrudes outside the storage chamber 5.

ドア2が閉じられる際、直動アクチュエータ34は、出力部39を、固定部38から突出する方向に向けて直線変位させる。これにより、出力部39は、リンク部材45の入力側アーム部46をスカベンジャー部12側に揺動させることで、リンク部材45を第1軸線S1回りに変位させる。このとき、入力側アーム部46の先端部は、冷却用開口部8の導入部31を通ってスカベンジャー部12の外部からスカベンジャー部12の内部へ変位する。   When the door 2 is closed, the linear actuator 34 linearly displaces the output unit 39 in a direction protruding from the fixed unit 38. Thereby, the output part 39 displaces the link member 45 around the first axis S <b> 1 by swinging the input side arm part 46 of the link member 45 to the scavenger part 12 side. At this time, the distal end portion of the input side arm portion 46 is displaced from the outside of the scavenger portion 12 to the inside of the scavenger portion 12 through the introduction portion 31 of the cooling opening 8.

また、出力側アーム部48は、結合部49とともにドア2を第1軸線S1回りに変位させ、図1に示すようにドア2を閉位置P1まで変位させる。これにより、横型炉3の開口部7aがドア2によって塞がれる。この際、直動アクチュエータ34は、リンク部材45とは第2軸線S2回りを相対回転し、且つ、第2ステー部37(支持部材28)とは第3軸線S3回りを相対回転する。   Moreover, the output side arm part 48 displaces the door 2 around the first axis S1 together with the coupling part 49, and displaces the door 2 to the closed position P1 as shown in FIG. Thereby, the opening 7 a of the horizontal furnace 3 is closed by the door 2. At this time, the linear actuator 34 relatively rotates around the second axis S2 with the link member 45, and relatively rotates around the third axis S3 with the second stay portion 37 (support member 28).

ドア2によって開口部7aが閉じられた後、収容室5の前壁18の可動壁18bL,18bRは、閉位置P3まで変位される。これにより、収容室5が閉じられる。   After the opening 7a is closed by the door 2, the movable walls 18bL and 18bR of the front wall 18 of the storage chamber 5 are displaced to the closed position P3. Thereby, the storage chamber 5 is closed.

以上説明したように、熱処理装置1によると、スカベンジャー部12は、開閉機構6の直動アクチュエータ34の出力部39およびリンク部材45の入力側アーム部46が配置される冷却用開口部8を含んでいる。この構成によると、開閉機構6は、冷却用開口部8を通過する冷却用ガスに当てられることで冷却される。これにより、開閉機構6が冷却される。すなわち、スカベンジャー部12は、横型炉3内から出てきたガスを排出する機能に加えて、開閉機構6を冷却する機能も有している。このため、開閉機構6を冷却するための専用の冷却装置を設ける必要がなく、熱処理装置1の構成をより簡素にできる。以上の次第で、熱処理装置1において、より簡易な構成で、横型炉3のドア2を開閉するための開閉機構6を冷却することができる。   As described above, according to the heat treatment apparatus 1, the scavenger portion 12 includes the cooling opening 8 in which the output portion 39 of the linear actuator 34 of the opening / closing mechanism 6 and the input side arm portion 46 of the link member 45 are disposed. It is out. According to this configuration, the opening / closing mechanism 6 is cooled by being applied to the cooling gas passing through the cooling opening 8. Thereby, the opening / closing mechanism 6 is cooled. That is, the scavenger unit 12 has a function of cooling the opening / closing mechanism 6 in addition to a function of discharging the gas that has come out of the horizontal furnace 3. For this reason, it is not necessary to provide a dedicated cooling device for cooling the opening / closing mechanism 6, and the configuration of the heat treatment apparatus 1 can be simplified. Depending on the above, in the heat treatment apparatus 1, the opening / closing mechanism 6 for opening and closing the door 2 of the horizontal furnace 3 can be cooled with a simpler configuration.

また、熱処理装置1によると、開閉機構6の直動アクチュエータ34は、第2ステー部37を介してスカベンジャー部12に支持されている。この構成によると、直動アクチュエータ34を冷却用開口部8の導入部31の近傍に配置することができる。これにより、直動アクチュエータ34を、冷却用ガスによってより確実に冷却することができる。さらに、スカベンジャー部12を、直動アクチュエータ34を支持するために用いることができる。これにより、直動アクチュエータ34を支持するための構成を簡素にすることができるので、熱処理装置1の構成をより簡素にできる。   Further, according to the heat treatment apparatus 1, the direct acting actuator 34 of the opening / closing mechanism 6 is supported by the scavenger portion 12 via the second stay portion 37. According to this configuration, the direct acting actuator 34 can be disposed in the vicinity of the introduction portion 31 of the cooling opening 8. Thereby, the direct acting actuator 34 can be cooled more reliably by the cooling gas. Further, the scavenger portion 12 can be used to support the linear actuator 34. Thereby, since the structure for supporting the linear actuator 34 can be simplified, the structure of the heat treatment apparatus 1 can be further simplified.

また、熱処理装置1によると、開閉機構6のリンク機構35は、スカベンジャー部12に支持されている。この構成によると、スカベンジャー部12を、リンク機構35の支持にも用いることができる。これにより、スカベンジャー部12を支持するための構成を簡素にすることができるので、熱処理装置1の構成をより簡素にできる。   Further, according to the heat treatment apparatus 1, the link mechanism 35 of the opening / closing mechanism 6 is supported by the scavenger portion 12. According to this configuration, the scavenger portion 12 can also be used to support the link mechanism 35. Thereby, since the structure for supporting the scavenger part 12 can be simplified, the structure of the heat treatment apparatus 1 can be further simplified.

また、熱処理装置1によると、直動アクチュエータ34は、直線運動可能な出力部39を有している。また、リンク機構35は、ドア2と第1軸線S1回りに一体的に揺動可能なリンク部材45を有している。そして、リンク部材45は、第2軸線S2回りを出力部39と相対回転可能に出力部39に連結されている。この構成によると、リンク部材45を第1軸線S1回りに揺動させる簡易な構成で、ドア2を開閉動作することができる。   Further, according to the heat treatment apparatus 1, the direct acting actuator 34 has the output unit 39 that can move linearly. Further, the link mechanism 35 has a link member 45 that can swing integrally around the door 2 and the first axis S1. The link member 45 is connected to the output unit 39 so as to be rotatable relative to the output unit 39 around the second axis S2. According to this configuration, the door 2 can be opened and closed with a simple configuration in which the link member 45 is swung around the first axis S1.

また、熱処理装置1によると、開閉機構6における直動アクチュエータ34の出力部39、および、リンク部材45の入力側アーム部46は、少なくとも一時的に冷却用開口部8のうちの導入部31内に配置される。この構成によると、スカベンジャー部12の外部からスカベンジャー部12内に導入されたばかりの、より低温の冷却用ガスによって、開閉機構6をより確実に冷却することができる。   According to the heat treatment apparatus 1, the output portion 39 of the linear actuator 34 and the input side arm portion 46 of the link member 45 in the opening / closing mechanism 6 are at least temporarily in the introduction portion 31 of the cooling opening 8. Placed in. According to this configuration, the opening / closing mechanism 6 can be more reliably cooled by the cooler cooling gas just introduced into the scavenger portion 12 from the outside of the scavenger portion 12.

また、熱処理装置1によると、冷却用開口部8において、導入部31と排出部32とは、ドア2を挟むように離隔して配置され、且つ、横型炉3の長手方向において、離隔して配置されている。この構成によると、スカベンジャー部12内において、横型炉3内のガスと混ざった冷却用ガスが導入部31に逆流することを、より確実に抑制できる。これにより、開閉機構6が高温になることを、より確実に抑制できる。   Further, according to the heat treatment apparatus 1, in the cooling opening 8, the introduction part 31 and the discharge part 32 are arranged so as to sandwich the door 2, and are separated in the longitudinal direction of the horizontal furnace 3. Has been placed. According to this configuration, it is possible to more reliably prevent the cooling gas mixed with the gas in the horizontal furnace 3 from flowing backward into the introduction portion 31 in the scavenger portion 12. Thereby, it can suppress more reliably that the opening-and-closing mechanism 6 becomes high temperature.

また、熱処理装置1によると、開閉機構6にリンク機構35が設けられていることにより、直動アクチュエータ34を、ドア2の位置からより離隔した位置に配置できる。これにより、直動アクチュエータ34に横型炉3からの高熱が届くことを抑制できる。よって、直動アクチュエータ34へ負荷の低減を通じて開閉機構6の耐久性をより高くできる。また、機械的な構造であるリンク機構35であれば、高熱に起因するリンク機構35の動作不良をより確実に抑制できる。以上の次第で、熱処理装置1において、横型炉3における開閉機構6の耐久性をより高くできる。   In addition, according to the heat treatment apparatus 1, since the opening / closing mechanism 6 is provided with the link mechanism 35, the linear motion actuator 34 can be disposed at a position further away from the position of the door 2. Thereby, it is possible to suppress high heat from the horizontal furnace 3 from reaching the linear motion actuator 34. Therefore, the durability of the opening / closing mechanism 6 can be further increased by reducing the load on the direct acting actuator 34. Moreover, if it is the link mechanism 35 which is a mechanical structure, the malfunctioning of the link mechanism 35 resulting from high heat can be suppressed more reliably. As described above, in the heat treatment apparatus 1, the durability of the opening / closing mechanism 6 in the horizontal furnace 3 can be further increased.

また、熱処理装置1によると、直動アクチュエータ34の出力部39の動作に伴って、リンク部材45およびドア2が第1軸線S1回りを揺動する。これにより、ドア2が開閉動作される。この際、直動アクチュエータ34自体も第3軸線S3回りを揺動することで、出力部39のスムーズな直線運動を実現できる。   Further, according to the heat treatment apparatus 1, the link member 45 and the door 2 swing around the first axis S <b> 1 with the operation of the output unit 39 of the linear actuator 34. Thereby, the door 2 is opened and closed. At this time, the linear motion actuator 34 itself also swings around the third axis S3, so that a smooth linear motion of the output unit 39 can be realized.

また、熱処理装置1によると、支持部材28は、リンク機構35および直動アクチュエータ34を一括して支持している。この構成によると、開閉機構6(リンク機構35および直動アクチュエータ34)、および、支持部材28をユニットとして形成することができる。これにより、熱処理装置1の組立時において、リンク機構35および直動アクチュエータ34を別々に取り扱う場合と比べて、リンク機構35および直動アクチュエータ34の取り扱いを、より容易に行うことができる。   Further, according to the heat treatment apparatus 1, the support member 28 collectively supports the link mechanism 35 and the linear actuator 34. According to this configuration, the opening / closing mechanism 6 (the link mechanism 35 and the linear actuator 34) and the support member 28 can be formed as a unit. Thereby, when assembling the heat treatment apparatus 1, the link mechanism 35 and the linear actuator 34 can be handled more easily than when the link mechanism 35 and the linear actuator 34 are handled separately.

また、熱処理装置1によると、支持部材28は、スカベンジャー部12に設けられている。この構成によると、開口部7aの周囲に配置されるスカベンジャー部12を、開閉機構6(リンク機構35および直動アクチュエータ34)を支持するための部材としても用いることができる。したがって、リンク機構35および直動アクチュエータ34を支持するための専用の部材を設ける必要がなく、熱処理装置1の構成を、より簡素にできる。   Further, according to the heat treatment apparatus 1, the support member 28 is provided on the scavenger portion 12. According to this structure, the scavenger part 12 arrange | positioned around the opening part 7a can also be used as a member for supporting the opening / closing mechanism 6 (link mechanism 35 and linear motion actuator 34). Therefore, it is not necessary to provide a dedicated member for supporting the link mechanism 35 and the linear actuator 34, and the configuration of the heat treatment apparatus 1 can be simplified.

また、熱処理装置1によると、支持部材28から延びる第1ステー部36、および、支持部材28から延びる第2ステー部37によって、開閉機構6のリンク機構35および直動アクチュエータ34を堅固に支持することができる。また、支持部材28にリンク部材45および直動アクチュエータ34を直接取り付ける場合と比べて、リンク部材45および直動アクチュエータ34のレイアウトの自由度をより高くできる。   Further, according to the heat treatment apparatus 1, the link mechanism 35 and the linear motion actuator 34 of the opening / closing mechanism 6 are firmly supported by the first stay portion 36 extending from the support member 28 and the second stay portion 37 extending from the support member 28. be able to. Further, compared to the case where the link member 45 and the direct acting actuator 34 are directly attached to the support member 28, the degree of freedom of layout of the link member 45 and the direct acting actuator 34 can be further increased.

以上、本発明の実施形態について説明したけれども、本発明は上述の実施の形態に限られない。本発明は、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能である。   As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited to the above-mentioned embodiment. The present invention can be variously modified as long as it is described in the claims.

(1)上述の実施形態では、開閉機構6の直動アクチュエータ34およびリンク機構35がステーユニット33を介してスカベンジャー部12に支持される形態を例に説明した。しかしながら、この通りでなくてもよい。たとえば、直動アクチュエータ34およびリンク機構35は、他の構成によって支持されていてもよい。   (1) In the above-described embodiment, an example in which the linear actuator 34 and the link mechanism 35 of the opening / closing mechanism 6 are supported by the scavenger portion 12 via the stay unit 33 has been described. However, this need not be the case. For example, the linear actuator 34 and the link mechanism 35 may be supported by other configurations.

(2)また、上述の実施形態では、導入部31は、開閉機構6のリンク部材45の一部、および、直動アクチュエータ34の出力部39の一部を収容可能に構成されていた。しかしながら、この通りでなくてもよい。たとえば、導入部31を十分な長さ、幅および高さを有する胴状に形成し、開閉機構6のより多くの部分(たとえば、開閉機構6の全部)が導入部31内に配置されるようにしてもよい。   (2) Moreover, in the above-mentioned embodiment, the introduction part 31 was comprised so that accommodation of a part of link member 45 of the opening-closing mechanism 6 and a part of output part 39 of the linear motion actuator 34 was possible. However, this need not be the case. For example, the introduction portion 31 is formed in a body shape having a sufficient length, width, and height so that a larger portion of the opening / closing mechanism 6 (for example, the entire opening / closing mechanism 6) is disposed in the introduction portion 31. It may be.

(3)また、上述の実施形態では、開閉機構6が、冷却用開口部8の導入部31の周囲に配置される形態を例に説明した。しかしながら、この通りでなくてもよい。たとえば、開閉機構6は、冷却用開口部8の排出部32の周囲に配置されてもよい。この場合、開閉機構6の少なくとも一部は、排出部32内に配置される。   (3) In the above-described embodiment, the opening / closing mechanism 6 has been described as an example in which the opening / closing mechanism 6 is disposed around the introduction portion 31 of the cooling opening 8. However, this need not be the case. For example, the opening / closing mechanism 6 may be disposed around the discharge portion 32 of the cooling opening 8. In this case, at least a part of the opening / closing mechanism 6 is disposed in the discharge unit 32.

(4)また、上述の実施形態では、リンク機構35に第2支軸42、および、第3支軸43が設けられる形態を例に説明したけれども、この通りでなくてもよい。たとえば、第2支軸42および第3支軸43に代えて、球面継手などの他の継手が用いられてもよい。   (4) In the above-described embodiment, the second support shaft 42 and the third support shaft 43 are provided in the link mechanism 35 as an example. However, this need not be the case. For example, instead of the second support shaft 42 and the third support shaft 43, another joint such as a spherical joint may be used.

本発明は、熱処理装置として、広く適用することができる。   The present invention can be widely applied as a heat treatment apparatus.

1 熱処理装置
2 ドア
3 横型炉
6 開閉機構
7a 開口部
8 冷却用開口部
12 スカベンジャー部
31 導入部
32 排出部
34 直動アクチュエータ(アクチュエータ)
35 リンク機構
39 出力部
45 リンク部材
S1 第1軸線
S2 第2軸線
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Heat processing apparatus 2 Door 3 Horizontal furnace 6 Opening and closing mechanism 7a Opening part 8 Cooling opening part 12 Scavenger part 31 Introduction part 32 Discharge part 34 Direct acting actuator (actuator)
35 Link mechanism 39 Output unit 45 Link member S1 First axis S2 Second axis

(1)上記の知見に基づいてなされた、この発明のある局面に係わる熱処理装置は、横向きに配置された開口部および前記開口部を開閉するためのドアを有する横型炉と、前記ドアを開閉動作させるための開閉機構と、前記開口部の周囲を取り囲むとともに、前記開口部の周囲に気流を発生させるためのスカベンジャー部と、を備え、前記スカベンジャー部は、側壁と、前記スカベンジャー部内に冷却用ガスを通過させるために設けられ且つ前記開閉機構の少なくとも一部が配置される冷却用開口部と、を含み、前記側壁は、貫通孔が形成された側壁本体と、この側壁本体に対して着脱可能に且つ前記貫通孔を塞ぐように配置され前記開閉機構を支持するための支持部材と、を含み、前記冷却用開口部は、前記支持部材を貫通して形成され前記冷却用ガスを前記スカベンジャー部内に導入する導入部を有している。 (1) A heat treatment apparatus according to an aspect of the present invention made based on the above knowledge is a horizontal furnace having a laterally arranged opening and a door for opening and closing the opening, and opening and closing the door. An opening / closing mechanism for operating, and a scavenger portion for enclosing the periphery of the opening and generating airflow around the opening, the scavenger portion being a side wall, and for cooling in the scavenger portion seen containing a cooling opening at least a part of and the opening and closing mechanism is provided for passing the gas is disposed, wherein the side wall includes a side wall main body in which a through hole is formed, relative to the side wall main body A support member that is detachably disposed and closes the through-hole and supports the opening / closing mechanism, wherein the cooling opening is formed through the support member before The cooling gas has the introduction portion for introducing into the scavenger unit.

(4)より好ましくは、前記アクチュエータは、直線運動可能な出力部を有し、前記リンク機構は、所定の第1軸線回りに、前記ドアと一体的に揺動可能なリンク部材を有し、前記リンク部材は、所定の第2軸線回りを前記出力部と相対回転可能に前記出力部に連結されている。 (4) More preferably, the actuator has a linearly movable output unit, the link mechanism, about a first axis of Jo Tokoro, has the door and integrally swingable link member The link member is connected to the output unit so as to be rotatable around a predetermined second axis relative to the output unit.

(5)好ましくは、前記冷却用開口部は、前記導入部と、前記冷却用ガスを前記スカベンジャー部内から排出するための排出部と、を含み、前記開閉機構の少なくとも一部は、前記導入部内に配置されている。
(5) Preferably, the cooling apertures, a front Kishirube join the club, anda discharge portion for discharging the cooling gas from within the scavenger portion, at least a portion of said opening and closing mechanism, the introduction It is arranged in the department.

Claims (6)

横向きに配置された開口部および前記開口部を開閉するためのドアを有する横型炉と、
前記ドアを開閉動作させるための開閉機構と、
前記開口部の周囲を取り囲むとともに、前記開口部の周囲に気流を発生させるためのスカベンジャー部と、を備え、
前記スカベンジャー部は、前記スカベンジャー部内に冷却用ガスを通過させるために設けられ且つ前記開閉機構の少なくとも一部が配置される冷却用開口部を含んでいることを特徴とする、熱処理装置。
A horizontal furnace having a laterally arranged opening and a door for opening and closing the opening;
An opening and closing mechanism for opening and closing the door;
A scavenger portion that surrounds the periphery of the opening and generates an airflow around the opening, and
The said scavenger part is provided in order to let the gas for cooling pass in the said scavenger part, and contains the opening part for cooling in which at least one part of the said opening-and-closing mechanism is arrange | positioned, The heat processing apparatus characterized by the above-mentioned.
請求項1に記載の熱処理装置であって、
前記開閉機構は、前記ドアを開閉する駆動力を発生するためのアクチュエータを含み、
前記アクチュエータは、前記スカベンジャー部に支持されていることを特徴とする、熱処理装置。
The heat treatment apparatus according to claim 1,
The opening and closing mechanism includes an actuator for generating a driving force for opening and closing the door,
The heat treatment apparatus, wherein the actuator is supported by the scavenger portion.
請求項2に記載の熱処理装置であって、
前記開閉機構は、前記アクチュエータと前記ドアとを連結するリンク機構を有し、
前記リンク機構は、前記スカベンジャー部に支持されていることを特徴とする、熱処理装置。
The heat treatment apparatus according to claim 2,
The opening / closing mechanism has a link mechanism that connects the actuator and the door,
The heat treatment apparatus, wherein the link mechanism is supported by the scavenger portion.
請求項3に記載の熱処理装置であって、
前記アクチュエータは、直線運動可能な出力部を有し、
前記リンク機構は、前記ドアと所定の第1軸線回りに一体的に揺動可能なリンク部材を有し、
前記リンク部材は、所定の第2軸線回りを前記出力部と相対回転可能に前記出力部に連結されていることを特徴とする、熱処理装置。
The heat treatment apparatus according to claim 3,
The actuator has an output part capable of linear motion,
The link mechanism has a link member that can swing integrally with the door and a predetermined first axis,
The heat treatment apparatus, wherein the link member is connected to the output unit so as to be rotatable around a predetermined second axis relative to the output unit.
請求項1〜請求項4の何れか1項に記載の熱処理装置であって、
前記冷却用開口部は、前記冷却用ガスを前記スカベンジャー部内に導入するための導入部と、前記冷却用ガスを前記スカベンジャー部内から排出するための排出部と、を含み、
前記開閉機構の少なくとも一部は、前記導入部内に配置されていることを特徴とする、熱処理装置。
The heat treatment apparatus according to any one of claims 1 to 4,
The cooling opening includes an introduction part for introducing the cooling gas into the scavenger part, and a discharge part for discharging the cooling gas from the scavenger part,
At least a part of the opening / closing mechanism is disposed in the introduction part.
請求項5に記載の熱処理装置であって、
前記導入部と前記排出部とは、前記ドアを挟むように離隔して配置され、且つ、前記横型炉の長手方向において、離隔して配置されていることを特徴とする、熱処理装置。
The heat treatment apparatus according to claim 5,
The heat treatment apparatus, wherein the introduction section and the discharge section are spaced apart so as to sandwich the door, and are spaced apart in the longitudinal direction of the horizontal furnace.
JP2019072347A 2019-04-04 2019-04-04 Heat treatment equipment Active JP6715366B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019072347A JP6715366B2 (en) 2019-04-04 2019-04-04 Heat treatment equipment

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019072347A JP6715366B2 (en) 2019-04-04 2019-04-04 Heat treatment equipment

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015146592A Division JP6571433B2 (en) 2015-07-24 2015-07-24 Heat treatment equipment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2019132581A true JP2019132581A (en) 2019-08-08
JP6715366B2 JP6715366B2 (en) 2020-07-01

Family

ID=67547407

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019072347A Active JP6715366B2 (en) 2019-04-04 2019-04-04 Heat treatment equipment

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6715366B2 (en)

Also Published As

Publication number Publication date
JP6715366B2 (en) 2020-07-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6263407B2 (en) Heat treatment equipment
US6756566B2 (en) Convection heating system for vacuum furnaces
US7977611B2 (en) Systems and methods for providing localized heat treatment of metal components
JP2000003918A (en) Semiconductor heat-treating device and method
ES2524702T3 (en) Retort furnace for heat treatment of metal workpieces
JP4896205B2 (en) Heat insulator having heat exchange function and heat utilization device in exhaust system of internal combustion engine using the same
US20140338591A1 (en) Converging mirror furnace
JP6571433B2 (en) Heat treatment equipment
JP2019132581A (en) Thermal treatment device
JP2019135442A (en) Thermal treatment device
JP6670405B2 (en) Heat treatment equipment
TWI613411B (en) Industrial furnace
JP2017028144A (en) Heat treatment device
CN113611637A (en) Exhaust device and semiconductor heat treatment equipment
JP2019096894A (en) Thermal treatment device
JP5944281B2 (en) Heat treatment equipment
JP4987539B2 (en) Heating device
US20110115137A1 (en) Retort Furnace for Heat Treating Metal Workpieces
JP2015031428A (en) Thermal treatment device
JP5467786B2 (en) heating furnace
JP2004069113A (en) Gas range
JP5697771B2 (en) heating furnace
JP2019196112A (en) Vehicle front part structure
JP2019184081A (en) Hot air dryer, and its method
JP6378374B2 (en) Heat treatment equipment

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190411

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190411

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20200526

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20200608

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6715366

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250