KR20080001010A - 집진 장치를 구비한 카세트 반송 장비 및 그 집진 방법 - Google Patents

집진 장치를 구비한 카세트 반송 장비 및 그 집진 방법 Download PDF

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Abstract

글래스 기판을 적재한 카세트와 롤러 컨베이어 사이에 발생하는 파티클을 집진할 수 있는 집진 장치를 구비한 카세트 반송 장비 및 그 집진 방법이 제공된다. 카세트 반송 장비는, 글래스 기판이 적재된 카세트를 수납하는 스토커; 카세트로부터 글래스 기판을 언로딩하거나, 글래스 기판을 카세트로 로딩하는 이재 로봇; 인라인 방식으로 연결된 구동 롤러를 사용하여 글래스 기판이 수납된 카세트를 이동시키는 롤러 컨베이어; 및 롤러 컨베이어 상에 설치되며, 구동 롤러와 카세트 사이의 접촉 부분에서 발생하는 파티클을 집진하는 집진 장치를 포함한다. 집진 장치는 구동 롤러 외경에 장착된 브러쉬를 사용하여 카세트 하판에 부착된 파티클을 1차로 이탈시키고, 흡입기를 사용하여 1차로 이탈되어 부유 중인 파티클을 집진하여 외부로 배출한다.
액정 표시장치, 집진 장치, 롤러 컨베이어, 브러쉬, 흡입기, 카세트

Description

집진 장치를 구비한 카세트 반송 장비 및 그 집진 방법 {CASSETTE CONVEYOR HAVING DUST COLLECTOR, AND DUST COLLECTING METHOD THEREOF}
도 1은 종래의 기술에 따른 카세트 반송 장비의 구성도이다.
도 2는 종래의 기술에 따른 카세트 반송 장비의 문제점을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 집진 장치를 구비한 카세트 반송 장비의 구성도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 집진 장치의 구성도이다.
도 5a 내지 도 5c는 각각 본 발명의 실시예에 따른 브러쉬 유닛의 정면도, 상면도 및 측단면도이다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 실시예에 따른 흡입기의 구성도이다.
도 7a 및 도 7b는 각각 본 발명의 다른 실시예에 따른 브러쉬 유닛의 정면도 및 상면도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 집진 장치 구동 방법의 동작 흐름도이다.
<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명>
100: 카세트 반송 장비 110: 스토커(Stocker)
120: 이재 로봇 130: 롤러 컨베이어(Roller Conveyor)
140: 리프터(Lifter) 150: 카세트
160: 글래스 기판; 200: 집진 장치
210: 브러쉬 유닛 220: 흡입기
211, 311: 롤러 212, 312: 브러쉬
213, 313: 구동모터 214, 314: 구동축
215, 315: 집진 덕트(Duct) 216, 316: 배관
221: 흡입구 222: 흡입기 케이스
223: 필터 224: 흡입기 모터
225: 배출구 317: 위치감지 센서
본 발명은 액정 표시장치 제조 장비에 관한 것으로, 보다 구체적으로, 액정 표시장치용 글래스 기판을 반송하는 카세트 반송 장비 및 그 집진 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 액정표시장치(Liquid Crystal Display: LCD)는 투명한 절연 기판 상에 단위 화소가 형성된 어레이 기판 제조 공정, 및 적색, 녹색, 청색의 컬러필터가 형성된 컬러필터 기판 제조 공정을 진행한다.
상기와 같이 어레이 기판과 컬러필터 기판이 형성되면, 두 기판을 합착하고, 다시 이를 모니터 크기로 절단하는 그라인드 공정 등을 진행한다.
이때, 어레이 기판 또는 컬러필터 기판 상에 각각의 마스크 공정을 진행하여 매트릭스 형태의 화소 전극 또는 컬러필터를 형성하는데, 각각의 마스크 공정을 진행할 때마다 처리 공정이나 챔버(chamber)가 상이하므로, 글래스 기판들을 해당 공정 또는 챔버로 이송하는 작업을 주기적으로 실시한다.
이때, 액정 표시장치 제조 공정에서는 반송 장비를 사용하여 글래스 기판을 수납한 카세트를 운반하게 되는데, 그 중에서도 롤러(Roller)로 구동하여 이송하는 롤러 컨베이어(Roller conveyor)를 많이 적용하고 있다.
즉, TFT 제조 공정, 컬러필터 제조 공정 및 셀 작업 공정시에 각각의 글래스 기판들을 이동시키는 방식은 하나의 공정이 진행된 기판들을 카세트에 적층하여 모아둔 다음에, 롤러 컨베이어(Roller Conveyor) 반송 장비에 탑재시켜 다음 공정으로 이동시킨다. 이러한 카세트 반송 장비는 여러 가지가 있으나, 투자비 및 장비 간소화를 위해 카세트와 롤러의 접촉을 통한 이송 방식인 롤러 컨베이어 방식이 주로 적용하고 있다. 최근 상기 카세트들을 이동시키기 위해 반송대차(Auto Guide Vehicle: AGV)가 사용되기도 한다.
한편, 도 1은 종래의 기술에 따른 카세트 반송 장비의 구성도이다.
도 1을 참조하면, 종래의 기술에 따른 카세트 반송 장비(10)는 글래스 기판(16)이 적재된 카세트(15)를 이동시키기 위해서, 스토커(11), 이재 로봇(12), 롤러 컨베이어(13) 및 리프터(14) 등을 포함하여 구성된다.
스토커(11)는 글래스 기판(16)이 적재된 카세트(15)를 수납하는 저장 장치이 다.
이재 로봇(12)는 카세트(15)로부터 글래스 기판(16)을 언로딩하거나, 글래스 기판(16)을 카세트(15)로 로딩하는 역할을 한다.
롤러 컨베이어(13)는 인라인 방식으로 연결된 구동 롤러를 사용하여 글래스 기판(16)이 수납된 카세트(15)를 스토커(11)와 다른 스토커 사이 또는 스토커(11)와 리프터(14) 사이를 이동시킨다. 여기서, 리프터(14)는 카세트(15)를 층간으로 이송하는 장비이다.
또한, FFU(Fan Filter Unit: 17)가 카세트 반송 장비(10), 실질적으로 클린룸 상에 설치되는데, 상기 FFU(17)는 필터를 이용하여 공기를 정화시킨다.
그런데, 종래의 카세트 반송 장비(10)에서 글래스(16)를 수납하는 카세트(15)는 카세트 하판과 구동 롤러의 마찰에 의해 이송되는데, 도면부호 A로 도시된 바와 같이, 카세트 하판과 구동 롤러의 접촉에 의해 파티클이 발생하고, 이러한 파티클은 상기 카세트(15) 하판에 묻어 다른 장비로 전위될 수 있다.
도 2는 종래의 기술에 따른 카세트 반송 장비의 문제점을 설명하기 위한 도면으로서, 도 1의 도면부호 A로 도시된 부분의 상세 도면이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 액정 표시장치 제조 공정에서, 글래스 기판(16)이 적재된 카세트(15)를 이송하기 위해서 롤러(19)를 회전시켜 토크(Torque)를 카세트(15)에 전달함으로써 카세트를 이송시킨다. 이때, 마찰 및 슬립(Slip) 현상으로 접촉면에 파티클이 발생하게 된다. 즉, 카세트(15)와 롤러(19)의 마찰에 의해 롤러(19)의 재질의 마모됨으로써, 파티클이 발생하게 된다.
다시 말하면, 종래의 기술에 따른 롤러 컨베이어 방식의 카세트 반송 장비는, 구동 롤러와 카세트 하판의 접촉에 의한 마모로 인해 파티클(Particle)이 많이 발생하고 있고, 이에 따라 액정 표시장치의 불량의 원인이 된다는 문제점이 있다. 즉, 롤러 재질 마모로 인해 발생한 파티클이 카세트에 수납되어 있는 글래스 기판을 오염시켜 액정 표시장치 제품의 직접적인 불량 원인이 되고 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 카세트와 롤러의 마찰에 의해 발생하는 파티클을 브러쉬 및 흡입기를 사용하여 집진함으로써, 액정 표시장치의 공정 수율을 향상시키고, 불량을 저감시킬 수 있는 카세트 반송 장비를 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는, 롤러 컨베이어 반송 장비의 신뢰성을 향상시키고, 안정성을 확보할 수 있는 집진 장치를 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는, 집진 장치 사용시 전력 소모를 줄일 수 있는 집진 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 카세트 반송 장비는, 글래스 기판이 적재된 카세트를 수납하는 스토커(Stocker); 상기 카세트로부터 상기 글래스 기판을 언로딩하거나, 상기 글래스 기판을 상기 카세트로 로딩하는 이재 로봇; 인라인 방식으로 연결된 구동 롤러를 사용하여 상기 글래스 기판이 수납된 카세트를 이동시키는 롤러 컨베이어(Roller Conveyor); 및 상기 롤러 컨베이어 상에 설치되며, 상기 구동 롤러와 카세트 사이의 접촉 부분에서 발생하는 파티클을 집진하는 집진 장치를 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 집진 장치는, 상기 구동 롤러 외경에 브러쉬를 장착하여, 상기 카세트 하판에 부착된 파티클을 1차로 이탈시키는 브러쉬 유닛; 및 상기 1차로 이탈되어 부유 중인 파티클을 집진하여 외부로 배출하는 흡입기를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 브러쉬 유닛은, 상기 구동 롤러 외경에 장착되어 함께 회전하는 브러쉬; 상기 브러쉬 외곽에 설치되며, 상기 브러쉬의 회전에 의해 1차로 이탈된 파티클을 집진하는 집진 덕트; 및 상기 집진 덕트를 통해 집진된 파티클을 상기 흡입기로 이송하기 위한 배관을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 브러쉬 유닛은, 상기 집진 덕트의 상부 덮개의 일측에 부착되며, 상기 카세트가 진입하는 입구쪽에 배치되는 위치감지 센서를 추가로 포함할 수 있다.
여기서, 상기 위치감지 센서는 상기 반송 중인 카세트가 상기 집진 장치의 브러쉬에 도달하는 것을 감지하며, 상기 위치감지 센서가 상기 카세트의 도달을 감지할 경우, 상기 흡입기를 구동하고, 상기 카세트의 이탈을 감지할 경우, 상기 흡입기의 구동을 중단하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 집진 덕트는 상기 흡입기의 흡입력에 대응하여 상기 파티클이 집진되는 개구부 크기가 조절되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 흡입기는, 상기 브러쉬 유닛의 배관과 연결되어 상기 파티클을 흡입하는 흡입구; 상기 부유된 파티클이 흡입될 수 있도록 흡입력을 발생시키는 모터; 및 상기 흡입된 파티클을 외부로 배출하는 배출구를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 흡입구 및 모터 사이에 배치되어 상기 흡입된 파티클을 여과시키는 필터를 추가로 포함할 수 있고, 상기 필터는, 상기 흡입된 파티클 중 상대적으로 크기가 큰 파티클을 1차로 여과하는 프리 필터(Pre Filter); 및 상기 흡입된 파티클 중 상대적으로 크기가 작은 파티클을 2차로 여과하는 중간 필터(Medium Filter)를 포함할 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 카세트 반송 장비용 집진 장치는, 인라인 방식으로 연결된 구동 롤러 외경에 브러쉬를 장착하여, 글래스 기판이 적재된 카세트 하판에 부착된 파티클을 1차로 이탈시키는 브러쉬 유닛; 및 상기 1차로 이탈되어 부유 중인 파티클을 집진하여 외부로 배출하는 흡입기를 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 브러쉬 유닛은 롤러 컨베이어 상에 설치되며, 상기 구동 롤러와 카세트 사이의 접촉 부분에서 발생하는 파티클을 1차로 이탈시키는 것을 특징으로 한다.
한편, 본 발명에 따른 카세트 반송 장비용 집진 방법은, a) 인라인 방식으로 진행하는 롤러 컨베이어의 구동 롤러를 구동시키는 단계; b) 글래스 기판이 적재된 카세트가 상기 구동 롤러를 따라 소정 위치에 도달하는지 감지하는 단계: c) 상기 카세트가 상기 소정 위치에 도달한 경우, 집진 장치를 구동하여 상기 카세트 하판에 부착된 파티클을 집진하는 단계; d) 상기 글래스 기판이 적재된 카세트가 상기 소정 위치를 이탈하는지 감지하는 단계; 및 e) 상기 카세트가 상기 소정 위치를 이탈한 경우, 상기 집진 장치의 구동을 중단하는 단계를 포함하여 이루어진다.
여기서, 상기 c) 단계의 집진 장치는, 상기 구동 롤러 외경에 장착된 브러쉬를 사용하여 상기 카세트 하판에 부착된 파티클을 1차로 이탈시키고, 흡입기를 사용하여 상기 1차로 이탈되어 부유 중인 파티클을 집진하여 외부로 배출하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 흡입기는 상기 카세트가 상기 소정 위치에 있는 경우에만 구동되며, 상기 집진 장치는 상기 흡입기의 흡입력에 대응하여 상기 파티클이 집진되는 개구부 크기를 조절하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 b) 단계 및 d) 단계는 위치감지 센서를 사용하여 수행되며, 상기 위치감지 센서는 상기 집진 덕트의 상부 덮개의 일측에 부착되며, 상기 카세트가 진입하는 입구쪽에 배치되는 것을 특징으로 한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있을 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전 하게 알려주기 위해 제공되는 것으로, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 집진 장치를 구비한 카세트 반송 장비 및 그 집진 방법을 상세히 설명한다.
먼저, 본 발명의 실시예는 카세트 반송 장비인 인라인 방식의 롤러 컨베이어에 파티클 집진 장치를 장착함으로써, 카세트 하판에 묻어 있는 파티클을 제거하고 이를 액정 표시장치에에 영향이 없는 클린룸 하부로 배출하는 것을 특징으로 한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 집진 장치를 구비한 카세트 반송 장비의 구성도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 집진 장치를 구비한 카세트 반송 장비(100)는, 스토커(110), 이재 로봇(120), 롤러 컨베이어(130), 리프터(140) 및 집진 장치(200)를 포함한다.
스토커(110)는 글래스 기판이 적재된 카세트(150)를 수납하며, 이재 로봇(120)은 상기 카세트(150)로부터 상기 글래스 기판을 언로딩하거나, 상기 글래스 기판을 상기 카세트로 로딩하게 된다.
롤러 컨베이어(130)는 인라인 방식으로 연결된 구동 롤러를 사용하여 상기 글래스 기판이 수납된 카세트(150)를 스토커(110)와 다른 스토커 사이 또는 스토커(110) 및 리프터(140) 사이를 이동시킨다.
집진 장치(200)는 상기 롤러 컨베이어(130) 상에 설치되며, 상기 구동 롤러 와 카세트(150) 사이의 접촉 부분에서 발생하는 파티클을 집진하게 된다. 이때, 상기 집진 장치(200)는, 상기 구동 롤러 외경에 브러쉬를 장착하여, 상기 카세트 하판에 부착된 파티클을 1차로 이탈시키는 브러쉬 유닛(210), 및 상기 1차로 이탈되어 부유 중인 파티클을 집진하여 외부로 배출하는 흡입기(220)로 이루어진다.
구체적으로, 상기 집진 장치(200)는 구동 롤러 외경에 브러쉬를 장착하여 카세트(150) 하판에 묻어 있는 파티클을 1차 이탈시키고, 부유하는 파티클은 흡입기(220)의 압력에 의해 배관을 통해 클린룸 외부로 배출된다.
상기 공기 흡입기(220)는 일반적으로 공사 현장에서 사용하는 장치로서, 스모그나 유독 가스 배출시 사용하고 있으나, 본 발명의 실시예는 일반 흡입기에 필터가 부착되어 클림룸용으로 사용될 수 있고, 흡입기 모터의 회전시 발생하는 압력에 의해 상기 파티클이 함유된 공기를 흡입하여 외부로 배출하게 된다.
이때, 파티클 집합조가 상기 흡입기 외부에 설치될 수 있고, 상기 파티클 집합조는 경사면을 가짐으로써, 상기 배출된 파티클을 용이하게 모을 수 있다.
상기 집진 장치(200)의 구체적인 설명은 도 4 내지 도 7을 참조하여 후술하기로 한다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 집진 장치의 구성도이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 집진 장치는 브러쉬 유닛(210) 및 흡입기(220)를 포함한다.
상기 브러쉬 유닛(210)은 인라인 방식으로 연결된 구동 롤러 외경에 브러쉬를 장착하여, 글래스 기판이 적재된 카세트(150) 하판에 부착된 파티클을 1차로 이 탈시키는 역할을 한다. 즉, 상기 브러쉬 유닛(210)은 롤러 컨베이어 상에 설치되며, 상기 구동 롤러와 카세트(150) 사이의 접촉 부분에서 발생하는 파티클을 1차로 이탈시킨다.
흡입기(220)는 상기 1차로 이탈되어 부유 중인 파티클을 집진하여 외부로 배출하는 역할을 한다. 이때, 상기 파티클을 여과시키는 필터(223)를 추가로 포함할 수 있다.
한편, 도 5a 내지 도 5c는 각각 본 발명의 실시예에 따른 브러쉬 유닛의 정면도, 상면도 및 측단면도이다.
도 5a 내지 도 5c를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 브러쉬 유닛(210)은 구동 롤러(211), 구동 모터(213), 구동축(214) 및 배관(216)을 포함하여 구성된다.
브러쉬(212)는 상기 구동 롤러(2100) 외경에 장착되어 함께 회전하여, 상기 카세트(150) 하판에 부착된 파티클을 1차적으로 이탈시킨다. 이때, 상기 구동 롤러(211)는 상기 구동 모터(213)로부터 구동축(214)을 경유하여 구동력을 제공받아 회전한다.
집진 덕트(215)는 상기 브러쉬(212) 외곽에 설치되어 상기 브러쉬(212)의 회전에 의해 1차로 이탈된 파티클을 집진한다.
배관(216)은 상기 집진 덕트(215)를 통해 집진된 파티클이 흡입기로 이송되는 통로 역할을 한다.
한편, 도 6a 및 도 6b는 본 발명의 실시예에 따른 흡입기의 구성도이다.
도 6a 및 도 6b를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 흡입기(220)는, 흡입 구(221), 케이스(222), 흡입기 모터(224) 및 배출구(225)를 포함할 수 있다.
흡입구(221)는 상기 브러쉬 유닛(210)의 배관(216)과 연결되어 상기 파티클이 흡입되는 부분이고, 배출구(225)는 상기 모터(224)에 의해 흡입된 파티클을 외부로 배출하는 부분으로서, 일반적으로 배관 형상으로 형성될 수 있다.
흡입기 모터(224)는 상기 흡입된 파티클을 회전 압력에 의해 유입하는 역할을 하며, 즉, 부유된 파티클이 흡입될 수 있도록 흡입력을 발생시킨다.
또한, 필터(223)는 상기 흡입구(221) 및 모터(224) 사이에 추가로 배치되어 상기 흡입된 파티클을 여과시킬 수 있는데, 여기서, 상기 필터(223)는 상기 흡입된 파티클 중 상대적으로 크기가 큰 파티클을 1차로 여과하는 프리 필터(223a) 및 상기 흡입된 파티클 중 상대적으로 크기가 작은 파티클을 2차로 여과하는 중간 필터(223b)로 이루어질 수 있다.
여기서, 상대적으로 크기가 큰 파티클은 10 내지 30㎛ 범위의 직경을 갖는 미립자이고, 상대적으로 크기가 작은 파티클은 3 내지 10㎛ 범위의 직경을 갖는 미립자이다. 예를 들면, 사람이 볼 수 있는 한도의 미립자 크기는 10㎛ 정도이고, 반도체 주변 라인에서 요구되는 미립자의 크기는 0.3 내지 0.5㎛ 정도이므로, 액정 표시장치에서는 3 내지 30㎛ 범위의 직경의 미립자를 여과하게 된다.
한편, 도 7a 및 도 7b는 각각 본 발명의 다른 실시예에 따른 브러쉬 유닛의 정면도 및 상면도이다.
도 7a 및 도 7b를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 브러쉬 유닛은, 구동 롤러(311), 브러쉬(312), 구동 모터(313), 구동축(314), 집진 덕트(315), 배 관(316) 및 위치감지 센서(317)를 포함하여 구성된다.
상기 브러쉬 유닛은 상기 집진 덕트(315)의 상부 덮개의 일측에 부착되며, 상기 카세트(150)가 진입하는 입구쪽에 배치되는 위치감지 센서(317)를 추가로 포함하는 것을 제외하면, 전술한 도 5a 및 도 5c의 브러쉬 유닛(200)과 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.
상기 위치감지 센서(317)는 상기 반송 중인 카세트(150)가 상기 집진 장치의 브러쉬(312)에 도달하는 것을 감지하며, 이때, 상기 위치감지 센서(317)가 상기 카세트(150)의 도달을 감지할 경우, 흡입기를 구동하고, 상기 카세트(150)의 이탈을 감지할 경우, 상기 흡입기의 구동을 중단하게 된다. 상기 위치감지 센서(317)는 근접 센서로서, 통상적인 마이크로 센서 등이 사용될 수 있다.
또한, 도 7b에 도시된 바와 같이, 상기 집진 덕트(315)는 상기 흡입기(220)의 흡입력, 즉, 모터의 구동력에 대응하여 상기 파티클이 집진되는 개구부 크기가 조절될 수 있다.
상기 개구부는 상기 구동 롤러(311)와 소정 간격 이격되어 상기 집진 덕트(315) 상부 덮개의 내측에 (w x d)의 면적만큼 형성되는데, 상기 개구부의 크기는 파티클이 하부에 설치된 배관(316)을 통해 흡입기로 효율적으로 전달되도록 적절한 크기를 가져야 한다. 즉, 집진 효율을 증가시키기 위해서 상기 개구부는 상기 집진 덕트(315) 상부 덮개의 일부를 차단하는 구조로 형성된다.
한편, 도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 집진 장치 구동 방법의 동작 흐름도이다.
도 8을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 집진 장치 구동 방법은, 먼저, 인라인 방식으로 진행하는 롤러 컨베이어의 구동 롤러를 구동시킨다(S110). 즉, 글래스 기판이 적재된 카세트를 스토커와 스토커 사이 또는 스토커와 리프터 사이를 이동시키기 위해서 구동모터를 사용하여 구동 롤러를 구동시키게 된다.
다음으로, 글래스 기판이 적재된 카세트가 상기 구동 롤러를 따라 소정 위치에 도달하는지 감지한다(S120). 상기 카세트가 소정 위치로 진입하는지 여부는 위치감지 센서를 사용하여 수행되며, 상기 위치감지 센서는 상기 집진 덕트의 상부 덮개의 일측에 부착되며, 상기 카세트가 진입하는 입구쪽에 배치된다.
다음으로, 상기 카세트가 상기 소정 위치에 도달한 경우, 집진 장치를 구동하여 상기 카세트 하판에 부착된 파티클을 집진한다(S130). 이때, 상기 집진 장치는 상기 구동 롤러 외경에 장착된 브러쉬를 사용하여 상기 카세트 하판에 부착된 파티클을 1차로 이탈시키고, 흡입기를 사용하여 상기 1차로 이탈되어 부유 중인 파티클을 집진하여 외부로 배출한다. 여기서, 상기 집진 장치의 구조 및 동작은 도 4 내지 도 7을 참조하여 전술하였으므로, 상세한 설명은 생략한다.
다음으로, 상기 글래스 기판이 적재된 카세트가 상기 소정 위치를 이탈하는지 감지한다(S140). 상기 카세트가 소정 위치로부터 이탈하는지 여부는 위치감지 센서를 사용하여 수행된다. 이때, 상기 S120 단계에서 사용된 위치 감지 센서를 동일하게 사용할 수 있다.
다음으로, 상기 카세트가 상기 소정 위치를 이탈한 경우, 상기 집진 장치의 구동을 중단하게 된다(S150).
결국, 상기 집진 장치의 흡입기는 상기 카세트가 상기 소정 위치에 있는 경우에만 구동됨으로써, 전력 소모를 줄일 수 있게 된다.
또한, 상기 집진 장치는 상기 흡입기의 흡입력에 대응하여 상기 파티클이 집진되는 개구부 크기를 조절하여 최적화함으로써, 전력 소모를 줄일 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해되어야만 한다.
본 발명에 따르면, 카세트와 롤러의 마찰에 의해 발생하는 파티클을 브러쉬 및 흡입기를 사용하여 집진함으로써, 액정 표시장치의 공정 수율을 향상시키고, 불량을 저감시킬 수 있다. 또한, 롤러 컨베이어 반송 장비의 신뢰성을 향상시키고 안정성을 확보할 수 있다. 또한, 집진 장치 사용시 전력 소모를 효율적으로 줄일 수 있다.

Claims (26)

  1. 글래스 기판이 적재된 카세트를 수납하는 스토커(Stocker);
    상기 카세트로부터 상기 글래스 기판을 언로딩하거나, 상기 글래스 기판을 상기 카세트로 로딩하는 이재 로봇;
    인라인 방식으로 연결된 구동 롤러를 사용하여 상기 글래스 기판이 수납된 카세트를 이동시키는 롤러 컨베이어(Roller Conveyor); 및
    상기 롤러 컨베이어 상에 설치되며, 상기 구동 롤러와 카세트 사이의 접촉 부분에서 발생하는 파티클을 집진하는 집진 장치
    를 포함하는 카세트 반송 장비.
  2. 제1항에 있어서, 상기 집진 장치는,
    상기 구동 롤러 외경에 브러쉬를 장착하여, 상기 카세트 하판에 부착된 파티클을 1차로 이탈시키는 브러쉬 유닛; 및
    상기 1차로 이탈되어 부유 중인 파티클을 집진하여 외부로 배출하는 흡입기
    를 포함하는 카세트 반송 장비.
  3. 제2항에 있어서, 상기 브러쉬 유닛은,
    상기 구동 롤러 외경에 장착되어 함께 회전하는 브러쉬;
    상기 브러쉬 외곽에 설치되며, 상기 브러쉬의 회전에 의해 1차로 이탈된 파 티클을 집진하는 집진 덕트; 및
    상기 집진 덕트를 통해 집진된 파티클을 상기 흡입기로 이송하기 위한 배관
    을 포함하는 카세트 반송 장비.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 집진 덕트의 상부 덮개의 일측에 부착되며, 상기 카세트가 진입하는 입구쪽에 배치되는 위치감지 센서를 추가로 포함하는 카세트 반송 장비.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 위치감지 센서는 상기 반송 중인 카세트가 상기 집진 장치의 브러쉬에 도달하는 것을 감지하는 것을 특징으로 하는 카세트 반송 장비.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 위치감지 센서가 상기 카세트의 도달을 감지할 경우, 상기 흡입기를 구동하고, 상기 카세트의 이탈을 감지할 경우, 상기 흡입기의 구동을 중단하는 것을 특징으로 하는 카세트 반송 장비.
  7. 제3항에 있어서,
    상기 집진 덕트는 상기 흡입기의 흡입력에 대응하여 상기 파티클이 집진되는 개구부 크기가 조절되는 것을 특징으로 하는 카세트 반송 장비.
  8. 제3항에 있어서, 상기 흡입기는,
    상기 브러쉬 유닛의 배관과 연결되어 상기 파티클을 흡입하는 흡입구;
    상기 부유된 파티클이 흡입될 수 있도록 흡입력을 발생시키는 모터; 및
    상기 흡입된 파티클을 외부로 배출하는 배출구
    를 포함하는 카세트 반송 장비.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 흡입구 및 모터 사이에 배치되어 상기 흡입된 파티클을 여과시키는 필터를 추가로 포함하는 카세트 반송 장비.
  10. 제9항에 있어서, 상기 필터는,
    상기 흡입된 파티클 중 상대적으로 크기가 큰 파티클을 1차로 여과하는 프리 필터(Pre Filter); 및
    상기 흡입된 파티클 중 상대적으로 크기가 작은 파티클을 2차로 여과하는 중간 필터(Medium Filter)
    를 포함하는 카세트 반송 장비.
  11. 인라인 방식으로 연결된 구동 롤러 외경에 브러쉬를 장착하여, 글래스 기판이 적재된 카세트 하판에 부착된 파티클을 1차로 이탈시키는 브러쉬 유닛; 및
    상기 1차로 이탈되어 부유 중인 파티클을 집진하여 외부로 배출하는 흡입기
    를 포함하는 카세트 반송 장비용 집진 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 브러쉬 유닛은 롤러 컨베이어 상에 설치되며, 상기 구동 롤러와 카세트 사이의 접촉 부분에서 발생하는 파티클을 1차로 이탈시키는 것을 특징으로 하는 카세트 반송 장비용 집진 장치.
  13. 제11항에 있어서, 상기 브러쉬 유닛은,
    상기 구동 롤러 외경에 장착되어 함께 회전하는 브러쉬;
    상기 브러쉬 외곽에 설치되어 상기 브러쉬의 회전에 의해 1차로 이탈된 파티클을 집진하는 집진 덕트; 및
    상기 집진 덕트를 통해 집진된 파티클을 상기 흡입기로 이송하기 위한 배관
    을 포함하는 카세트 반송 장비용 집진 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 집진 덕트의 상부 덮개의 일측에 부착되며, 상기 카세트가 진입하는 입구쪽에 배치되는 위치감지 센서를 추가로 포함하는 카세트 반송 장비용 집진 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 위치감지 센서는 상기 반송 중인 카세트가 상기 집진 장치의 브러쉬에 도달하는 것을 감지하는 것을 특징으로 하는 카세트 반송 장비용 집진 장치.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 위치감지 센서가 상기 카세트의 도달을 감지할 경우, 상기 흡입기를 구동하고, 상기 카세트의 이탈을 감지할 경우, 상기 흡입기의 구동을 중단하는 것을 특징으로 하는 카세트 반송 장비용 집진 장치.
  17. 제13항에 있어서,
    상기 집진 덕트는 상기 흡입기의 흡입력에 대응하여 상기 파티클이 집진되는 개구부 크기가 조절되는 것을 특징으로 하는 카세트 반송 장비용 집진 장치.
  18. 제11항에 있어서, 상기 흡입기는,
    상기 브러쉬 유닛의 배관과 연결되어 상기 파티클을 흡입하는 흡입구;
    상기 부유된 파티클이 흡입될 수 있도록 흡입력을 발생시키는 모터; 및
    상기 흡입된 파티클을 외부로 배출하는 배출구
    를 포함하는 카세트 반송 장비용 집진 장치.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 흡입구 및 모터 사이에 배치되어 상기 흡입된 파티클을 여과시키는 필 터를 추가로 포함하는 카세트 반송 장비용 집진 장치.
  20. 제19항에 있어서, 상기 필터는,
    상기 흡입된 파티클 중 상대적으로 크기가 큰 파티클을 1차로 여과하는 프리 필터; 및
    상기 흡입된 파티클 중 상대적으로 크기가 작은 파티클을 2차로 여과하는 중간 필터
    를 포함하는 카세트 반송 장비용 집진 장치.
  21. a) 인라인 방식으로 진행하는 롤러 컨베이어의 구동 롤러를 구동시키는 단계;
    b) 글래스 기판이 적재된 카세트가 상기 구동 롤러를 따라 소정 위치에 도달하는지 감지하는 단계:
    c) 상기 카세트가 상기 소정 위치에 도달한 경우, 집진 장치를 구동하여 상기 카세트 하판에 부착된 파티클을 집진하는 단계;
    d) 상기 글래스 기판이 적재된 카세트가 상기 소정 위치를 이탈하는지 감지하는 단계; 및
    e) 상기 카세트가 상기 소정 위치를 이탈한 경우, 상기 집진 장치의 구동을 중단하는 단계
    를 포함하는 카세트 반송 장비용 집진 방법.
  22. 제21항에 있어서,
    상기 c) 단계의 집진 장치는, 상기 구동 롤러 외경에 장착된 브러쉬를 사용하여 상기 카세트 하판에 부착된 파티클을 1차로 이탈시키고, 흡입기를 사용하여 상기 1차로 이탈되어 부유 중인 파티클을 집진하여 외부로 배출하는 것을 특징으로 하는 카세트 반송 장비용 집진 방법.
  23. 제22항에 있어서,
    상기 흡입기는 상기 카세트가 상기 소정 위치에 있는 경우에만 구동되는 것을 특징으로 하는 카세트 반송 장비용 집진 방법.
  24. 제22항에 있어서,
    상기 집진 장치는 상기 흡입기의 흡입력에 대응하여 상기 파티클이 집진되는 개구부 크기를 조절하는 것을 특징으로 하는 카세트 반송 장비용 집진 방법.
  25. 제21항에 있어서,
    상기 b) 단계 및 d) 단계는 위치감지 센서를 사용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 카세트 반송 장비용 집진 방법.
  26. 제25에 있어서,
    상기 위치감지 센서는 상기 집진 덕트의 상부 덮개의 일측에 부착되며, 상기 카세트가 진입하는 입구쪽에 배치되는 것을 특징으로 하는 카세트 반송 장비용 집진 방법.
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