KR20050028446A - 집진 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 액정표시장치의 제조 공정 단계에서 기판들을 이송하는 AGV의 레일에 결합되어 하부에 존재하는 이 물질을 용이하게 제거할 수 있는 집진 장치를 개시한다. 개시된 본 발명은 레일을 따라 이동하는 집진판; 상기 집진판 상부에 배치되어 있는 배출관; 상기 집진판 하측에 배치되어 있는 이동 수단; 상기 집진판 중심에 고정되어 있는 샤프트 가장자리에 배치되고, 레일을 따라 상기 집진판을 이동시키는 고정 레일; 및 상기 집진판과 연결되어 이물질을 흡수하는 흡기부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 흡기부는 흡기관, 흡기판 및 브러쉬로 구성되어 있고, 상기 흡기관의 구조는 직선형, 유선형, 굴곡형 중 어느 하나의 구조를 갖으며, 상기 집진판 하측에 부착되어 있는 이동 수단은 레일을 따라 좌우 또는 전후로 이동할 수 있는 것을 특징으로 한다.

Description

집진 장치{DUST COLLECTOR}

본 발명은 집진 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 액정표시장치의 글라스 기판을 이송하는 CTV(Clean Transfer Vehicle: 이하 CTV라함)가 이동하는 레일 하부 바닥에 쌓여있는 이물질 까지 용이하게 청소할 수 있는 집진 장치에 관한 것이다.

일반적으로 액정표시장치(Liquid Crystal Display: LCD)는 투명한 절연 기판 상에 다수번의 마스크 공정을 통하여 단위 화소를 형성하는 어레이 기판 제조 공정과 다수번의 마스크 공정을 통하여 레드, 블루, 그린의 컬러 필터를 형성하는 컬러 필터 기판 제조 공정을 진행한다.

상기와 같이 어레이 기판과 컬러 필터 기판이 형성되면, 두 기판을 합착하고, 다시 이를 모니터 크기로 절단하는 그라인드 공정 등을 진행한다.

이때, 어레이 기판 또는 컬러 필터 기판 상에 다수번의 마스크 공정이 진행하여 메트릭스 형태의 화소 전극 또는 컬러 필터를 형성하는데, 각각의 마스크 공정을 진행할 때마다 처리하는 공정이나 챔버(chamber)가 상이하므로, 글라스 기판들을 해당하는 공정 또는 챔버로 이송하는 작업을 주기적으로 실시한다.

이와 같이, TFT 제조 공정, 컬러 필터 제조 공정 및 셀 작업 공정시에 각각의 글라스 기판들을 이동하는 방식은 하나의 공정이 진행된 기판들을 카세트에 적층하여 모아둔 다음, 상기 카세트들을 반송대차(AGV: Auto Guide Vehicle)에 탑재시켜 다음 공정으로 이동시킨다.

여기서, 사용하는 반송대차(AGV)는 일반적으로 무인반송대차를 사용하는데, 기존의 컨베이어 시스템에 비해 부품 공급이 쉽고, 작업 환경의 변화에 빠르게 대처할 수 있어서, 제품의 입출고, 공작물의 운반, 부품의 공급 등의 자동화를 이루는데 이점이 있다.

이러한 무인반송대차로는 레일을 따라 이동되는 RGV(Rail Guided Vehicle), 컨트롤러(Controller)에 의한 자체 구동력으로 지정된 경로를 이동하는 AGV(Automatic Guided Vehicle) 등이 있으며, 최근에는 레이저 항법시스템을 갖춘 AGV인 LGV(Laser Guided Vehicle)가 개발되어 다양한 산업분야에서 널리 사용되고 있다.

도 1은 종래 기술에 따른 집진 장치를 도시한 도면이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 액정표시장치 제조 라인 또는 반도체 공정 라인에서 사용하는 장비들은 먼지나 이물질의 농도에 따라 제품의 생산 수율에 큰 영향을 미치므로 주기적으로 청소를 해주어야 한다.

상기 액정표시장치 제조 공정 또는 반도체 제조 공정에서 사용되는 집진 장치의 구조는 다음과 같다.

먼저, 청소를 요하는 부분까지 도달할 수 있는 흡기부(150)와, 상기 흡기부(150)에 연결되어 이물질과 먼지들을 흡입하여 이송시키는 진공 호스(Vacuum Hose:120))와, 상기 진공 호스(120)를 통하여 이물질과 먼지들을 흡입하도록 흡입력을 발생시키는 진공 펌프(100)로 구성되어 있다.

도면에서는 도시하지 않았지만, 상기 진공 펌프(100)는 일반적으로 자체 모터, 회전 날개, 필터, 먼지 받이 케이스 및 배기구로 구성되어 있는데, 정류자 전동기(commutator motor)로 회전 날개를 1만 회 이상 회전시켜 내부를 진공 상태로 만든 다음, 상기 흡기부(150)를 통하여 외부 대기가 상기 진공 호스(120)를 통하여 빨려들 수 있도록 한다.

상기 진공 호스(120)를 통하여 빨아들여진 먼지나 이물질 등은 상기 진공 펌프(100)에 설치되어 있는 필터에서 걸러준 다음, 흡입된 공기는 배기구를 통하여 빠져나간다.

또한, 상기 진공 펌프(100)는 전원 코드를 자동으로 감아주는 기능이 있고, 또한 전원코드를 빼거나 감을 때, 톱니바퀴가 작동하여 필터에 붙어 있는 먼지들을 자동적으로 털어 주는 장치도 부착되어 있다.

도 2는 종래 기술에 따른 집진 장치를 이용하여 CTV 레일 하부를 청소하는 경우를 설명하기 위한 도면이다.

도 2에 도시된 바와 같이, CTV 레일의 구조는 상기 CTV 레일이 설치되는 베이스(250)에 CTV 레일 상판(200)을 지지하는 지지부(230)가 배치되어 있고, 상기 CTV 레일 상판(200) 하부에는 상기 CTV 레일 하판(260)이 유선형 구조를 하면서 배치되어 있다.

그리고 상기 CTV 레일 하판(260) 중앙에는 중앙 레일(270)이 설치되어 있는데, 상기 중앙 레일(270)은 CTV가 진행할 때, 상기 CTV의 방향을 제시하는 역할을 한다.

상기 CTV 레일 상판(200)은 다수개의 홀(hole)이 형성되어 있는 사각형 금속판을 차례대로 연결하여 CTV가 진행할 수 있도록 레일 라인을 제작한 것이다.

또한, 상기 CTV 레일 하판(260) 일측에는 상기 CTV 레일 상판(200)에서 진행하는 CTV들에게 전원을 공급하는 전원 공급부(220)가 설치되어 있는데, 상기 전원 공급부(220)는 상기 CTV 중앙 레일(270)의 측면으로 전원을 인가할 수 있도록 연결되어 있어, 상기 CTV 중앙 레일(270) 상에 CTV가 진행할 때 전원을 공급할 수 있다.

특히, 상기 CTV 레일 하판(260) 일측 지지부(230) 영역에 배치되어 있는 전원 공급부(220)와 상기 CTV 레일 하판(260) 사이에는 전원 공급 중에 발생하는 금속 이물질, 먼지들이 축적되어 주기적으로 청소를 해주어야 한다.

따라서, 도 1에 도시된 집진 장치를 이용하여 흡입부(150)를 도 2에 도시된 상기 CTV 중앙 레일(270) 사이로 삽입하여 청소를 실시하는데, 상기 CTV 레일 하판(260) 상에 적재되는 이물질과 먼지 등은 집진 장치의 흡입부(150)에서 흡입하게 된다.

그리고 상기 흡입부(150)에서 흡입된 이물질과 먼지 등은 상기 진공 호스(120)를 통하여 상기 진공 펌프(100)로 들어가 필터에 의하여 걸러진다.

그러나, 종래 기술에 따른 집진 장치를 이용하여 CTV 레일 하판 상에 축적되어 있는 이물질과 먼지들을 제거하기 위해서는 일반적으로 CTV 중앙 레일 과 CTV 레일 상판 사이의 좁은 공간에 집진 장치의 흡입구를 삽입하여 이물질을 제거하는데, 흡입구가 상기 CTV 레일 하판까지 도달하지 못하여 이물질 제거가 어려운 단점이 있다.

즉, 상기 CTV 중앙 레일과 상기 CTV 레일 상판 사이는 매우 협소한 틈이 존재하는데, 이곳에 집진 장치의 흡입구를 삽입한 다음, 진공 펌프를 이용하여 이물질과 먼지를 제거하여야 하므로 상기 흡입구가 레일 하판 상의 먼지가 쌓여 있는 부분까지 닿지 않아 깨끗한 청소를 할 수 없다.

만약, 상기 집진 장치의 흡입구를 상기 CTV 레일 하판까지 도달하도록 하여 깨끗한 청소 작업을 위해서는 CTV 레일 상판을 모두 들어낸 다음, 청소를 해야하는데, 이럴 경우 공정 라인 전체를 중단하여야 하는 문제가 발생한다.

본 발명은, 액정표시장치 제조 공정에서 카세트를 이동시키는 CTV는 반복적으로 CTV 레일을 따라 진행하는데, 상기 CTV 레일과 일체로 결합되어 상기 CTV 레일 하판 상에 축적되어 있는 먼지와 이 물질을 깨끗하게 청소할 수 있는 집진 장치를 제공함에 그 목적이 있다.

상기한 목적을 달성하기 위한, 본 발명에 따른 집진 장치는,

레일을 따라 이동하는 집진판;

상기 집진판 상부에 배치되어 있는 배출관;

상기 집진판 하측에 배치되어 있는 이동 수단;

상기 집진판 중심에 고정되어 있는 샤프트 가장자리에 배치되고, 레일을 따라 상기 집진판을 이동시키는 고정 레일; 및

상기 집진판과 연결되어 이물질을 흡수하는 흡기부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 흡기부는 흡기관, 흡기판 및 브러쉬로 구성되어 있고, 상기 흡기관의 구조는 직선형, 유선형, 굴곡형 중 어느 하나의 구조를 갖으며, 상기 집진판 하측에 부착되어 있는 이동 수단은 레일을 따라 좌우 또는 전후로 이동할 수 있는 것을 특징으로 한다.

그리고 상기 집진판의 샤프트와 상기 이동 수단은 회전장치에 의하여 결합되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, CTV 레일에 집진 장치의 고정 롤러가 체결되어 CTV 레일을 청소할 때, 상기 CTV 레일을 따라 집진 장치가 이동할 수 있도록 하여 청소 작업을 단순화 시켰다.

또한, 집진 장치의 흡입부에 브러쉬와 흡입판을 부착하여 CTV 하부 바닥에 축적되어 있는 이 물질과 먼지를 용이하게 제거할 수 있도록 하였다.

아울러, 집진 장치는 CTV 레일에 고정되고 집진판 하부에 배치되어 있는 이동 수단이 CTV 레일 상판에서 움직일 수 있도록 하였으므로, CTV 레일 하판에 존재하는 이 물질 제거 작업을 레일을 따라 한번의 작업으로 진행될 수 있는 이점이 있다.

이하, 첨부한 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 자세히 설명하도록 한다.

도 3은 본 발명에 따른 집진 장치의 구조를 도시한 도면이다.

도 3에 도시된 바와 같이, 종래 집진 장치와는 달리 본 발명에서의 집진 장치(300)는 CTV 레일 상판과 중앙 레일(270)에 일체로 결합된 후, 상기 중앙 레일(270)을 따라 진행하면서, 한번의 작업으로 상기 CTV 레일 하판(260) 상에 존재하는 이물질과 먼지 등을 제거할 수 있는 구조로 되어 있다.

상기 집진 장치(300)는 상기 CTV 중앙 레일(270)을 따라 이동할 수 있는 고정 롤러(409)와, 상기 고정 롤러(409)와 연결되어 있는 샤프트(405)와, 상기 샤프트(405)에 고정되어 회전할 수 있는 집진판(400)과, 상기 집진 판(400)에 연결되어 상기 CTV 레일 상판을 따라 이동하는 이동 수단(401)과, 상기 집진판(400) 중심축과 연결되어 상기 CTV 레일 하판(260)의 이물질을 제거를 하기 위한 흡기부(301)와, 상기 흡기부(301)로부터 이물질을 외부로 배출하는 배출관(403)으로 구성되어 있다.

그리고 상기 흡기부(301)는 직선형, 굴곡형등 다양한 구조를 갖는 흡기관(303)과 상기 이물질을 흡수하는 흡기판(305)과 브러쉬(306)가 결합된 구조를 하고 있다.

따라서 상기와 같은 구조를 갖는 집진 장치는 다음과 같은 방식으로 청소를 진행한다.

상기 집진 장치(300)에 설치되어 있는 고정 롤러(409)를 상기 CTV 중앙 레일(270)에 결합하여, 상기 집진판(400)의 중앙 샤프트(405)가 배치되어 있는 지점과 연결되어 있는 흡기부(301)를 상기 CTV 레일 하판(260) 바닥에 내부 영역에 위치할 수 있도록 하였다.

상기 집진 장치(300)의 고정 레일(409)이 상기 CTV 중앙 레일(270) 상에 체결되면, 상기 집진판(400)의 하측에 배치되어 있는 이동 수단(401)은 상기 CTV 레일 상판을 지지하면서 상기 CTV 중앙 레일(270)을 따라 움직일 수 있도록 되어 있다.

상기 흡기부(301)의 흡기판(305) 상에는 브러쉬(306)가 설치되어있어, 상기 CTV 레일 하판(260) 표면을 쓸면서 먼지와 이물질을 제거할 수 있도록 하였다.

상기 흡기판(305)에서 진공 압력에 의하여 흡입된 이물질과 먼지들은 상기 흡기관(303)으로 이동되고, 상기 집진판(400)을 통하여 상기 집진판(400) 상부에 설치되어 있는 상기 배출관(403)을 통하여 외부로 배출된다.

그리고 상기 집진판(400) 중앙에 결합되어 있는 샤프트(405)는 베어링이 부착되어 있기 때문에 청소 작업중 상기 집진판(400)의 하부에 배치되어 있는 이동 수단(401)이 좌우 또는 전후 방향으로 전진 및 회전할 수 있도록 하여, 상기 CTV 중앙 레일(270)을 따라 청소 작업을 하도록 하였다.

도 4는 본 발명에 따른 집진 장치를 이용하여 먼지가 배출되는 경로를 설명하기 위한 도면으로서, 도시된 바와 같이, 본 발명의 집진 장치(300)에 부착되는 흡기부(301)의 흡기관(303)의 구조는 굴곡형, 직선형, 유선형등 다양한 형태로 제작하여 결합시킬 수 있으므로, 상기 CTV 레일 하판(260)과 CTV 중앙 레일(270)의 구조에 따라 다양한 구조를 적용할 수 있다.

본 발명의 집진 장치(300)는 최초 CTV 레일의 상판 일부를 개방한 후에 상기 CTV 중앙 레일(270)에 상기 집진 장치(300)의 고정 레일(409)을 체결할 경우에는 기존의 CTV가 운행하는 것과 동일한 방식으로 상기 중앙 레일(270)을 따라 진행하면서, 청소 작업을 진행할 수 있다.

또한, 종래와는 달리 집진 장치(300)의 흡기부(301)의 흡기판(305)에는 브러쉬(306)가 설치되어 있으므로, 상기 브러쉬(306)에 의하여 CTV 레일 하판(260) 상에 축적되어 있는 이물질과 먼지들을 털어내면서 제거할 수 있는 장점이 있다.

도시된 도면에서와 같이, 상기 집진 장치(300)의 흡기부(301)의 흡기관(303)의 구조를 상기 CTV 레일 하판(260)과 중앙 레일(270) 영역에 삽입되어 상기 CTV 레일 하판(260) 바닥 전 영역에 흡기판(305)이 닿을 수 있도록 할 수 있으므로 보다 깨끗한 청소 작업을 할 수 있다.

그리고 상기 집진 장치(300)의 흡기부(301)가 상기 CTV 레일 상판의 일부를 개방하고 체결하면 상기 CTV 레일을 따라 진행하면서 청소를 하면 되므로 기타 라인의 공정 중단이나 청소를 위한 불필요한 준비가 필요 없게 된다.

상기 집진 장치(300)의 집진판(400)으로 부터 상기 CTV 레일 하판(260) 영역으로 도출되어 있는 흡기부(301)는 상기 CTV 레일 하판(260)과 상기 CTV 중앙 레일(270)에 전원을 공급하는 전원 공급기 사이에 축적되어 있는 먼지나 이 물질을 흡수하여 상기 배출관(403)을 통하여 외부로 배출된다.

이상에서 자세히 설명된 바와 같이, 본 발명은 CTV 레일에 집진 장치의 고정 롤러가 체결되어 상기 CTV 레일을 따라 이동할 수 있도록 하고, 흡입부의 일단에 브러쉬와 흡입판을 부착하여 CTV 하부 바닥에 축적되어 있는 이물질과 먼지를 용이하게 제거할 수 있는 효과가 있다.

아울러, 집진 장치는 CTV 레일에 고정되고 집진판 하부에 배치되어 있는 이동 수단이 CTV 레일 상판에서 움직일 수 있도록 하였으므로, CTV 레일 하판에 존재하는 이물질 제거 작업을 레일을 따라 한번의 작업으로 진행될 수 있는 이점이 있다.

본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 않고, 이하 청구 범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능할 것이다.

도 1은 종래 기술에 따른 집진 장치를 도시한 도면.

도 2는 종래 기술에 따른 집진 장치를 이용하여 CTV 레일 하부를 청소하는 경우를 설명하기 위한 도면.

도 3은 본 발명에 따른 집진 장치의 구조를 도시한 도면.

도 4는 본 발명에 따른 집진 장치를 이용하여 먼지가 배출되는 경로를 설명하기 위한 도면.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

260: CTV 레일 하판 270: CTV 중앙 레일

300: 집진 장치 301: 흡기부

303: 흡기관 305: 흡기판

306: 브러쉬 400: 집진판

401: 이동 수단 405: 샤프트

409: 고정 레일

Claims (5)

1. 레일을 따라 이동하는 집진판;

   상기 집진판 상부에 배치되어 있는 배출관;

   상기 집진판 하측에 배치되어 있는 이동 수단;

   상기 집진판 중심에 고정되어 있는 샤프트 가장자리에 배치되고, 레일을 따라 상기 집진판을 이동시키는 고정 레일; 및

   상기 집진판과 연결되어 이물질을 흡수하는 흡기부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 집진 장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 흡기부는 흡기관, 흡기판 및 브러쉬로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 집진 장치.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 흡기관의 구조는 직선형, 유선형, 굴곡형 중 어느 하나의 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 집진 장치.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 집진판 하측에 부착되어 있는 이동 수단은 레일을 따라 좌우 또는 전후로 이동할 수 있는 것을 특징으로 하는 집진 장치.
5. 제 1 항 또는 제 4 항에 있어서,

   상기 집진판의 샤프트와 상기 이동 수단은 회전장치에 의하여 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 집진 장치.