KR20070099188A - 정전척, 조립형 정전 흡착 장치, 글라스 기판 접합 장치 및조립형 글라스 기판 접합 장치 - Google Patents

정전척, 조립형 정전 흡착 장치, 글라스 기판 접합 장치 및조립형 글라스 기판 접합 장치 Download PDF

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Abstract

웨이퍼나 글라스 기판과 같은 대상물을 안전하게 척킹할 수 있는 정전척은, 기판을 안정적으로 지지하기 위하여 고분자 물질로 이루어지고 내부에 기판을 척킹하기 위한 정전기력을 발생시키는 전극이 삽입된 척킹 플레이트, 척킹 플레이트 하부에 배치되어 척킹 플레이트를 지지하는 서포팅 부재, 척킹 플레이트와 서포팅 부재 사이에 배치되는 완충 부재, 완충 부재를 척킹 플레이트에 견고하게 접합시키기 위하여 완충 부재와 척킹 플레이트 사이에 개재되는 제1ㅇ접착제, 및 완충 부재를 서포팅 부재에 견고하게 접합시키기 위하여 완충 부재와 척킹 플레이트 사이에 개재되는 제2 접착제를 포함한다. 고분자 물질은 폴리에스테르 또는 폴리이미드를 포함할 수 있다. 제1 및 제2 접착제들은, 각각 2개의 접착층들로 이루어진 다중 접착층 구조물을 포함할 수 있다. 상기 각각 2개의 접착층들 중에서 완충 부재에 대향하는 접착층은 실리콘 수지를 포함할 수 있고, 척킹 플레이트 또는 서포팅 부재를 대향하는 접착층은 아크릴 수지를 포함할 수 있다.

Description

정전척, 조립형 정전 흡착 장치, 글라스 기판 접합 장치 및 조립형 글라스 기판 접합 장치{ELECTROSTATIC CHUCK, ASSEMBLE-TYPE CHUCKING APPARATUS HAVING THE CHUCK, APPARATUS FOR ATTACHING GLASS SUBSTRATES HAVING THE CHUCK AND ASSEMBLE-TYPE APPARATUS FOR ATTACHING GLASS SUBSTRATES HAVING THE CHUCK}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 정전 플레이트를 설명하기 위한 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시한 정전 플레이트를 포함하는 정전척의 평면도이다.
도 3은 도 2에 도시한 정전척의 단면도이다.
도 4는 도 3의 A를 확대한 도시한 부분 확대도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 조립형 정전 흡착 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 글라스 기판 접합 장치를 설명하기 위한 단면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100,200：정전척 105：조립형 정전 흡착 장치
110,120：척킹 플레이트 111：제1 유전층
112：제2 유전층 113,213：접착 필름
115,215：전극 117,217：절개부
120,220：서포팅 부재 126,136：관통공
130,230：완충 부재 140：제1 접착제
141, 151：제1 접착층 142,152：제2 접착층
150：제2 접착제 211：제3 유전층
212：제4 유전층 240：제3 접착제
250：제4 접착제 300：글라스 기판 접합 장치
350：구동 부재 G1：제1 글라스 기판
G2：제2 글라스 기판
본 발명은 정전척, 조립형 정전 흡착 장치, 글라스 기판 접합 장치 및 조립형 글라스 기판 접합 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 웨이퍼나 글라스 기판과 같은 대상물을 정전기력으로 고정하기 위한 정전척과 이를 포함하는 조립형 정전 흡착 장치, 글라스 기판 접합 장치 및 조립형 글라스 기판 접합 장치에 관한 것이다.
최근 디스플레이 산업이 대구경화를 추구하는 방향으로 진행됨에 따라 글라스 기판의 크기는 날이 갈수록 커지고 있다. 대형의 글라스 기판을 진공 척킹 방식으로 고정하면, 글라스 기판을 균일하게 냉각하기 힘들고 글라스 기판이 쉽게 휘어 지는 등 많은 문제들이 발생된다.
이를 개선하기 위하여 최근에는 정전 척킹 방식을 채택하여 글라스 기판을 척킹하는 사례가 증가하고 있다. 그러나 종래의 정전 척킹 방식을 이용할 경우, 글라스 기판이 종종 파손되곤 하였다. 이외에도 종래의 정전 척킹 방식으로 글라스 기판을 고정할 경우, 컬러 필터(color filter) 기판과 TFT(Thin Film Transistor) 기판을 접합 시, 또는 OLED(organic light emit diode) 기판에 글라스 캡을 씌우는 공정 시, 기판 들 간에 갭(gap)이 형성되어 디스플레이 장치의 불량이 초래되기도 하였다.
이러한 문제는 특히, 정전척의 유전체로서 경도가 높은 세라믹을 사용하였거나, 금속재질로 이루어진 서셉터를 이용할 경우 더욱 자주 발생하였다. 여러 요인들을 판단컨대, 글라스 기판의 파손은 정전척에서 진동이나 충격을 흡수하지 못하여 상기 진동이나 충격이 바로 글라스 기판에 전달됨으로써 발생되는 것으로 추정된다.
따라서 현재 많은 제조사들에서는 완충 기능이 부가된 정전척을 개발하기 위하여 많은 연구가 진행되고 있다. 일예로, 토모에가와 페이퍼 주식회사(TOMOEGAWA PAPER CO. LTD)가 출원한 일본공개특허 제2002-083862호에는 완충 기능을 갖는 정전척 장치용 접착 시트 및 정전척 장치가 개시되어 있다.
그러나 상기 일본공개특허를 포함하여 대부분의 완충 기능을 갖는 정천척은, 근본적으로 그 한계를 갖는다고 할 수 있다. 보다 구체적으로 설명하면, 대부분의 완충 기능을 갖는 정전척은 세라믹을 유전체로 사용하고 있다. 세라믹은 비교적 강 한 강성을 물질이다. 따라서 세라믹은 거의 완충 특성을 갖지 못한다.
이러한 세라믹 유전체 상에 만약 자체 굴곡을 갖는 글라스 기판이 배치되어 정전 척킹 될 경우, 세라믹 유전체에 비하여 상대적으로 강성이 약한 글라스 기판이 세라믹 유전체의 형상에 대응하도록 변형될 것이다. 따라서 글라스 기판에는 큰 외력이 부가될 것이며, 글라스 기판의 손상 가능성도 커지게 될 것이다.
또한, 세라믹 유전체 상면이나 글라스 기판 하면에 파티클과 같은 이물질이 존재할 경우, 상기 이물질은 척킹 플레이트보다는 상대적으로 강성이 약한 글라스 기판에 큰 영향을 미치게 된다. 글라스 기판은 상기 이물질에 의하여 국부적인 외력을 받게 되고, 손상 가능성도 증가하게 된다.
특히, 상기 일본공개특허에서는 척킹 플레이트와 서셉터의 물질 특성을 고려하지 않은 접착제를 이용하여 완충 부재를 접합함으로써, 완충 부재가 이탈되는 등과 같은 문제를 더 갖고 있다. 보다 자세하게 설명하면, 일반적으로 척킹 플레이트와 서셉터는 서로 상이한 물질로 이루어져 서로 다른 열팽장 계수를 갖는다. 만약 정전척이 고온의 분위기하에 노출될 경우, 척킹 플레이트와 서셉터는 서로 다르게 열팽창하게 될 것이다. 완충 부재의 상면은 척킹 플레이트를 따라서 열팽창하게 되고, 완충 부재의 하면은 서셉터를 따라서 열팽창하게 된다. 완충 부재의 상하면은 서로 다르게 열팽창하게 되어 척킹 플레이트 또는 서셉터로부터 이탈된다. 상기 이탈된 완충 부재는 완충 기능을 제대로 수행하지 못하게 될 것이며, 척킹 플레이트의 기울기에도 변화를 일으켜 공정에 악영향을 미치게 될 것이다.
한편, 종래에는 액정 패널용 기판의 크기에 대응하도록 일변이 1000mm 이상 되는 단일 정전 흡착 장치를 단일화된 부품으로 사용하였다. 이 경우, 종래의 단일 정전 흡착 장치는 세라믹 또는 금속제와 같은 경도가 높은 재질로 제조되어, 단일 정전 흡착 장치의 평면을 균일하게 가공하기 힘들었다. 따라서 액정 패널용 기판을 가공 시, 상기 액정 패널용 기판에는 불균일한 하중이 인가되고, 상기 액정 패널용 기판이 종종 파손되곤 하였다.
나아가, 종래의 정전 흡착 장치는 그 제조 자체의 비용도 높으며, 가공 시 평탄도의 균일성을 갖게 하기 위하여 상당한 비용과 가공 시간이 소요되고, 제품의 불량도가 높다.
이에 따라, 소형의 정전척들을 조립식으로 나열하여 대형기판을 흡착할 수 있는 조립형 정전 흡착 장치의 개발이 요구되어 왔다. 그러나 경도가 높은 세라믹이나 금속재의 지지기재가 적용된 정전척들을 조립하여 이용할 경우, 각각의 정전척의 가공치수가 다른 것과 각각의 정전 흡착력이 상이하여 전술한 단일 정전 흡착 장치의 문제점을 해결하지 못하고 있는 상황이다.
현재, 정전 척킹 방식은 디스플레이 산업뿐만 아니라 반도체 산업에서도 널리 사용되고 있다. 그러나 전술한 바와 같은 문제들이 웨이퍼를 정전 척킹 하는 경우에도 거의 동일하게 발생되어 고가의 웨이퍼가 손상되는 사고도 종종 발생되고 있는 실정이다.
앞으로도 디스플레이 장치나 반도체 장치는 대형화, 고성능화를 추구하는 방향으로 개발될 것이다. 따라서 이들의 단가도 꾸준히 증가할 것이다. 하지만 전술한 바와 같은 문제들로 인하여 고가의 디스플레이 장치 및 반도체 장치가 종종 폐 기 또는 재처리되면 이로 인한 경제적 및 시간적 손실이 클 것임은 너무나 자명하여 이에 대한 대책 마련이 시급한 실정이다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점들을 해소하고자 안출된 것으로서, 본 발명의 일 목적은 대상물을 안전하게 척킹할 수 있는 정전척을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은, 상기 정전척을 이용하여 대형의 기판을 홀딩할 수 있는 조립형 정전 흡착 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은, 상기 정전척을 이용하여 글라스 기판들을 우수하게 접합시킬 수 있는 글라스 기판 접합 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은, 상기 정전척을 이용하여 대형의 글라스 기판들을 우수하게 접합시킬 수 있는 조립형 글라스 기판 접합 장치
상술한 본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 관점에 따른 정전척은, 기판을 안정적으로 지지하기 위하여 고분자 물질로 이루어지고 내부에 기판을 척킹하기 위한 정전기력을 발생시키는 전극이 삽입된 척킹 플레이트, 척킹 플레이트 하부에 배치되어 척킹 플레이트를 지지하는 서포팅 부재, 척킹 플레이트와 서포팅 부재 사이에 배치되는 완충 부재, 완충 부재를 척킹 플레이트에 견고하게 접합시키기 위하여 완충 부재와 척킹 플레이트 사이에 개재되는 제1ㅇ접착제, 및 완충 부재를 서포팅 부재에 견고하게 접합시키기 위하여 완충 부재와 척킹 플레이트 사이에 개재되는 제2 접착제를 포함한다.
상기 고분자 물질은 폴리에스테르(polyester) 또는 폴리이미드(polyimide)를 포함할 수 있다. 상기 제1 접착제 및 제2 접착제는 아크릴 수지 또는 실리콘 수지를 포함할 수 있다. 상기 제1 접착제와 제2 접착제는 각각 2개의 접착층들로 형성될 수도 있다. 이 경우, 상기 2개의 접착층들 중에서 완충부재와 대향하는 접착층은 실리콘 수지로 형성될 수 있고, 상기 척킹 플레이트 또는 상기 서포팅 부재를 대향하는 접착층은 아크릴 수지로 형성될 수 있다. 상기 척킹 플레이트에는 전극을 하방으로 절곡시키기 위한 절개부가 형성될 수 있다.
상술한 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 관점에 따른 조립형 정전 흡착 장치는, 기판을 안정적으로 지지하기 위하여 고분자 물질로 이루어지고 내부에 기판을 척킹하기 위한 정전기력을 발생시키는 전극이 삽입된 척킹 플레이트, 척킹 플레이트 하부에 배치되어 척킹 플레이트를 지지하는 서포팅 부재, 척킹 플레이트와 서포팅 부재 사이에 배치되는 완충 부재, 완충 부재를 척킹 플레이트에 견고하게 접합시키기 위하여 완충 부재와 척킹 플레이트 사이에 개재되는 제1ㅇ접착제, 및 완충 부재를 서포팅 부재에 견고하게 접합시키기 위하여 완충 부재와 척킹 플레이트 사이에 개재되는 제2 접착제를 포함하는 정전척이 동일 평면상에 복수개 배치되어 일체로 조립된다.
상술한 본 발명의 또 다른 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 관점에 따른 글라스 기판 접합 장치는, ⅰ)제1 글라스 기판을 안정적으로 지지하기 위하여 고분자 물질로 이루어지고 내부에 제1 글라스 기판을 척킹하기 위한 정전기력을 발생시키는 제1 전극이 삽입된 제1 척킹 플레이트, ⅱ)제1 척킹 플레이트 하부에 배 치되어 제1 척킹 플레이트를 지지하는 제1 서포팅 부재, ⅲ)제1 척킹 플레이트와 제1 서포팅 부재 사이에 배치되는 제1 완충 부재, ⅳ)제1 완충 부재를 제1 척킹 플레이트에 견고하게 접합시키기 위하여 제1 완충 부재와 제1 척킹 플레이트 사이에 개재되는 제1ㅇ접착제 및 ⅴ)제1 완충 부재를 제1 서포팅 부재에 견고하게 접합시키기 위하여 제1 완충 부재와 제1 척킹 플레이트 사이에 개재되는 제2 접착제를 포함하는 제1 정전척과, 제1 정전척을 마주보도록 제1 정전척 상부에 배치되며 ⅵ)제2 글라스 기판을 안정적으로 지지하기 위하여 고분자 물질로 이루어지고, 내부에 제2 글라스 기판을 척킹하기 위한 정전기력을 발생시키는 제2 전극이 삽입된 제2 척킹 플레이트, ⅶ)제2 척킹 플레이트 상부에 배치되어 제2 척킹 플레이트를 홀딩하는 제2 서포팅 부재, ⅷ)제2 척킹 플레이트와 제2 서포팅 부재 사이에 배치되는 제2 완충 부재, ⅸ)제2 완충 부재를 제2 척킹 플레이트에 견고하게 접합시키기 위하여 제2 완충 부재와 제2 척킹 플레이트 사이에 개재되는 제3·접착제 및 ⅹ)제2 완충 부재를 제2 서포팅 부재에 견고하게 접합시키기 위하여 제2 완충 부재와 제2 척킹 플레이트 사이에 개재되는 제4 접착제를 포함하는 제2 정전척과, 제1 및 제2 정전척 중 한쪽 또는 양쪽에 제1 글라스 기판과 제2 글라스 기판을 접근시켜 접합시키는 구동 부재를 포함한다.
상기 제1 글라스 기판은 TFT(Thin Film Transistor) 기판을 포함할 수 있다. 상기 제2 글라스 기판은 칼라 필터 기판을 포함할 수 있다. 상기 제1 접착제는 상기 제3 접착제와 실질적으로 동일할 수 있고, 상기 제2 접착제는 상기 제4 접착제와 실질적으로 동일할 수 있다.
상술한 본 발명의 또 다른 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 관점에 따른 조립형 글라스 기판 접합 장치는, ⅰ)제1 글라스 기판을 안정적으로 지지하기 위하여 고분자 물질로 이루어지고 내부에 제1 글라스 기판을 척킹하기 위한 정전기력을 발생시키는 제1 전극이 삽입된 제1 척킹 플레이트, ⅱ)제1 척킹 플레이트 하부에 배치되어 제1 척킹 플레이트를 지지하는 제1 서포팅 부재, ⅲ)제1 척킹 플레이트와 제1 서포팅 부재 사이에 배치되는 제1 완충 부재, ⅳ)제1 완충 부재를 제1 척킹 플레이트에 견고하게 접합시키기 위하여 제1 완충 부재와 제1 척킹 플레이트 사이에 개재되는 제1·접착제 및 ⅴ)제1 완충 부재를 제1 서포팅 부재에 견고하게 접합시키기 위하여 제1 완충 부재와 제1 척킹 플레이트 사이에 개재되는 제2 접착제를 포함하는 제1 정전척이 제1 평면상에 복수개 배치되어 일체로 조립된 제1 조립형 정천 흡착 장치와, 제1 정전척을 마주보도록 제1 정전척 상부에 배치되며 ⅵ)제2 글라스 기판을 안정적으로 지지하기 위하여 고분자 물질로 이루어지고, 내부에 제2 글라스 기판을 척킹하기 위한 정전기력을 발생시키는 제2 전극이 삽입된 제2 척킹 플레이트, ⅶ)제2 척킹 플레이트 상부에 배치되어 제2 척킹 플레이트를 홀딩하는 제2 서포팅 부재, ⅷ)제2 척킹 플레이트와 제2 서포팅 부재 사이에 배치되는 제2 완충 부재, ⅸ)제2 완충 부재를 제2 척킹 플레이트에 견고하게 접합시키기 위하여 제2 완충 부재와 제2 척킹 플레이트 사이에 개재되는 제3·접착제 및 ⅹ)제2 완충 부재를 제2 서포팅 부재에 견고하게 접합시키기 위하여 제2 완충 부재와 제2 척킹 플레이트 사이에 개재되는 제4 접착제를 포함하는 제2 정전척이 제2 평면상에 복수개 배치되어 일체로 조립된 제2 조립형 정전 흡착 장치와, 그리고 제2 글라스 기판을 제1 글라스 기판에 접합시키기 위하여 제1 조립형 정전 흡착 장치와 제2 조립형 정전 흡착 장치 중, 한쪽 또는 양쪽에 장착되어 제1 글라스 기판과 제 2 글라스 기판을 접근시켜 접합하는 구동 부재를 포함한다.
본 발명에 따르면, 척킹 플레이트를 고분자 물질로 제조하고, 척킹 플레이트와 서포팅 부재 사이에 완충 부재를 배치함으로써 기판의 파손을 효과적으로 방지할 수 있다. 또한, 다중 접착층 구조물 형태의 접착제를 이용하여 완충 부재를 척킹 플레이트와 서포팅 부재에 접합시킴으로써 완충 부재가 척킹 플레이트 또는 서포팅 부재로부터 이탈되는 것을 효과적으로 억제할 수 있다. 나아가 TFT 기판과 같은 대형 글라스 기판을 효과적으로 접합시킬 수 있게 된다.
이하, 본 발명의 다양한 관점들에 따른 정전척, 조립형 정전 흡착 장치, 글라스 기판 접합 장치 및 조립형 글라스 기판 접합 장치에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하지만, 본 발명이 하기의 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구현될 수도 있다. 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 보다 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상과 특징이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공된다. 도면들에 있어서, 각 장치 또는 막(층) 및 영역들의 두께는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 과장되게 도시되었으며, 또한 각 장치는 본 명세서에서 설명되지 아니한 다양한 부가 장치들을 구비할 수 있으며, 막(층)이 다른 막(층) 도는 기판 상에 위치하는 것으로 언급되는 경우, 다른 막(층) 또는 기판 상에 직접 형성되거나 그들 사이에 추가적인 막(층)이 개재될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 정전 플레이트를 설명하기 위한 개략적 인 평면도를 도시한 것이고, 도 2는 도 1에 도시한 정전 플레이트를 포함하는 정전척을 설명하기 위한 개략적인 평면도를 도시한 것이며, 도 3은 도 2에 도시한 정전척의 개략적인 단면도를 도시한 것이고, 도 4는 도 3의 A를 확대 도시한 부분 확대도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 정전척(100)은 정전기력을 이용하여 기판을 고정하기 위한 장치로서, 프로세스 챔버와 같은 반도체 기판 가공 설비 내에 배치된다.
정전척(100)은 척킹 플레이트(110), 서포팅 부재(120), 완충 부재(130), 제1ㅇ접착제(140) 및 제2 접착제(150)를 포함한다.
척킹 플레이트(110)는 기판의 하면에 접촉하여 기판을 지지하는 장치로서, 기판의 형상에 따라서 다른 형상을 가질 수 있다. 여기서 기판이란, 웨이퍼(wafer), 칼라 필터, TFT 글라스 등이 대표적이며 이를 한정하지는 않겠다. 예를 들어, 척킹 플레이트(110)가 웨이퍼와 같은 원형 기판을 지지할 경우, 척킹 플레이트(110)는 원형으로 형성될 수 있다. 그러나 척킹 플레이트(110)가 칼라 필터와 같은 사각 기판을 지지할 경우, 척킹 플레이트(110)는 직육면체로 형성될 수 있다.
척킹 플레이트(110)는 제1 유전층(111), 제2 유전층(112), 접착 필름(113) 및 전극(115)으로 이루어진다. 제1 유전층(111)과 제2 유전층(112) 사이에는 전극(115)이 배치된다. 제1 유전층(111), 제2 유전층(112) 및 전극(115)은 접착 필름(113)을 매개로 서로 접착된다.
제1 유전층(111)과 제2 유전층(112)은 고분자 물질로 이루어진다. 예를 들 어, 제1 유전층(111)과 제2 유전층(112)은 폴리에스테르(polyester) 또는 폴리이미드(polyimide)와 같은 고분자 물질로 이루어질 수 있다. 그리고 제1 유전층(111)과 제2 유전층(112)의 두께는 각기 25 내지 200㎛의 범위에서 선택될 수 있다. 이 경우, 충분한 정전기력을 얻기 위하여 전극(115)에 1000V이상을 인가할 수 있다. 특히 대형 유리 기판의 경우에는 기판 자체의 잔류하는 정전기를 제거하기 위해 5000V이상의 전압을 인가할 수 있다.
제1 유전층(111)과 제2 유전층(112)의 두께를 최소 25㎛로 할 경우, 제1 유전층(111)과 제2 유전층(112)의 200V/㎛ 이상의 파괴 강도를 갖는 고분자 물질로 이루어지는 것이 바람직하다. 반대의 경우, 200V/㎛ 이상의 파괴 강도를 갖는 고분자 물질을 유전체로 사용할 때는 제1 유전층(111)과 제2 유전층(112)의 두께를 최소 25㎛하는 것이 바람직하다. 한편 유전체 층의 두께가 200㎛를 초과하는 경우에는 적정한 정전력을 얻지 못할 수 있어. 유전체 층의 두께를 200㎛를 초과하지 않는 것이 바람직하다.
제1 유전층(111)과 제2 유전층(112)은 실질적으로 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 제1 유전층(111)과 제2 유전층(112)의 사이에는 전극(115)이 배치된다.
전극(115)은 정전장(electrostatic field)을 생성하기 위한 장치로서, 도전성 금속으로 이루어진다. 예를 들어, 전극(115)은 비저항이 비교적 적은 텅스텐으로 이루어질 수 있다. 전극(115)은 척킹 플레이트(110) 내에 연속적으로 그리고 고루 분포되도록 배치된다. 전극(115)은 메쉬(mesh)나 평판 또는 다층 구조로 형성될 수 있다.
제1 유전층(111), 제2 유전층(112) 및 전극(115)은 접착 필름(113)을 매개로 서로 접착된다. 여기서 접착 필름(113)은 일반적으로 유전층들을 접합하기 위한 접착 물질로 이루어 질 수 있으며, 본 실시예에서는 이를 한정하지는 않겠다.
척킹 플레이트(110)의 전극(115)은 서포팅 부재(120)의 관통공(126)을 통하여 일체로 연장되어, 파워 공급 유닛(도시 되지 않음)연결된다. 이와 같은 전극(115) 구조를 적용함으로써, 종래에 척킹 플레이트의 유전체가 없는 전극 노출부에서 전극과 파워 공급 유닛을 연결하기 위하여 전극연결부재를 솔더링(Soldering)하여 발생되는 문제(예를 들어, 기판 흡착(또는 기판 간 접합) 시 완충 부재(130)에 의하여 척킹 플레이트(110)가 움직여 전극(115)이 단락되는 문제)를 효과적으로 극복할 수 있다.
척킹 플레이트(110)는 전극(115)을 척킹 플레이트(110)의 일부분과 일체로 연장하기 위해서, 'U'자 형상으로 절개된다. 이때, 전극(115)도 절개부(117)로 노출되지 않고 유전체로 피복되도록, 'U'자 형상으로 절개된다. 유전체로 피복된 'U'자 형상의 전극(115)은 완충 부재(130)의 관통공(136)과 서포팅 부재(120)의 관통공(126)을 따라 일체로 절곡되어 연장되고, 상기 파워 공급 유닛과 연결된다.
전극(115)은 상기 파워 공급 유닛으로부터 파워를 제공받아 정전기력을 생성하게 된다. 상기 파워 공급 유닛은 일반적으로 정전척에 고주파 또는 바이어스 전압을 공급하는 장치이면 충분하며, 본 실시예에서는 이를 한정하지 않겠다.
종래에는 척킹 플레이트(110)를 금속이나 세라믹으로 제조하였다. 일반적으로 금속 및 세라믹은 고분자 물질에 비하여 상대적으로 큰 강성을 갖는다. 즉, 금 속 및 세라믹은 고분자 물질에 비하여 상대적으로 덜 유연하다. 따라서 종래에는 척킹 플레이트(110)와 기판 사이에 이물질이 존재할 경우, 상기 이물질이 바로 기판에 영향을 미쳐 기판을 손상시키곤 하였다. 또한, 척킹 플레이트(110)에 발생된 충격은 바로 기판으로 전달되어 기판을 파손시키곤 하였다.
하지만, 본 실시예와 같이 척킹 플레이트(110)를 세라믹이나 금속이 아닌 유연한 고분자 물질로 제조할 경우, 척킹 플레이트(110)와 기판 사이의 이물질은 척킹 플레이트(110)에 눌려져 기판에는 상대적으로 덜 영향을 미치게 된다. 또한, 척킹 플레이트(110)에 발생된 충격도 상당부분 척킹 플레이트(110)에 흡수되어 기판에는 거의 영향을 미치지 않게된다. 즉, 본 실시예와 같이 척킹 플레이트(110)는 종래에 비하여 상대적으로 안전하게 기판을 지지할 수 있다.
척킹 플레이트(110)의 하부에는 서포팅 부재(120)가 배치된다.
서포팅 부재(120)는 척킹 플레이트(110)를 지지하기 위한 장치로서, 알루미늄과 같은 금속으로 이루어진다. 서포팅 부재(120)는 일반적인 서셉터와 실질적으로 동일한 기능을 수행한다고 할 수 있다. 서포팅 부재(120)와 척킹 플레이트(110) 사이에는 완충 부재(130)가 개재된다.
완충 부재(130)는 척킹 플레이트(110)에 발생되는 충격을 흡수하기 위한 장치로서 러버(rubber)와 같이 쿠션(cushion) 특성을 갖는 물질로 이루어진다. 예를 들어, 완충 부재(130)는 실리콘 러버(silicone rubber)로 이루어질 수 있다.
완충 부재(130)는 그 두께가 5mm일 때의 길이변화률(%)이 적어도 0.4%이상 큰 것이 바람직하다. 길이변화률은, 완충 부재로 사용되는 재료의 가로10cm, 세로 10cm, 높이 5mm 시편 위에 동일한 10x10cm 크기와 10kg의 무게를 가진 추를 올려놓아 완충 부재의 높이변화를 측정하고, 이를 아래 수학식 1에 대입하여 환산하여 산출할 수있다.
[수학식 1]
길이변화율(%) =
Figure 112006023370106-PAT00001
(상기 수학식1에서 L0 는 완충부재의 원래 길이를 나타내고, L1 은 완충부재의 늘어난 길이를 나타낸다.)
상기 수학식 1을 참조할 때, 통상적인 액정디스플레이용 유리 기판이 가지고 있는 휨의 높이차가 최소 10㎛이고, 이를 이중으로 겹칠 때에는 최대 20㎛가 되므로, 이러한 휨을 완충하기 위해선, 5mm 두께의 완충 부재는 적어도 그 길이변화가 20㎛, 즉 5mm의 0.4%가 되어야만 한다. 그리고 정전 플레이트 자체의 휨까지 고려한다면 완충 부재의 길이변화률은 클수록 좋다.
완충 부재(130)는 제1 접착제(140)에 의하여 척킹 플레이트(110)에 고정되고, 제2 접착제(150)에 의하여 서포팅 부재(120)에 고정된다.
제1 접착제(140)는 척킹 플레이트(110)와 완충 부재(130) 사이에 형성된다. 제1 접착제(140)는 완충 부재(130)를 척킹 플레이트(110)에 견고하게 접착시킬 수 있는 물질로 선택된다.
전술한 바와 같이, 완충 부재(130)가 실리콘 러버로 이루어지고 척킹 플레이트(110)가 고분자 물질로 이루어진 경우, 서로 상이한 물질로 이루어진 완충 부 재(130)와 척킹 플레이트(110)를 견고하게 접착시키기 위해서는 완충 부재(130)와 척킹 플레이트(110)의 물질 특성에 모두 부합되는 제1 접착제(140)가 필요할 것이다. 특히, 척킹 플레이트(110)와 완충 부재(130)의 열팽창 계수들이 상이하고, 완충 부재의 변형이 있을 경우, 제1 접착제(140)가 척킹 플레이트(110) 또는 완충 부재(130)로부터 이탈되는 것을 억제하기 위해서는 더욱 그러할 것이다.
상술한 관점에서, 제1 접착제(140)는 접합강도가 충분히 높고, 유연성도 우수한 것이 바람직하다. 일예로, 제1 접착제(140)는 아크릴 또는 실리콘 수지로 이루어질 수 있다.
제1 접착제(140)는 2개의 접착층들(141,142)이 적층된 다중 접착층 구조물로 이루어질 수 있다. 이 경우, 완충 부재(130)와 대향하는 제1 접착층(141)은 실리콘 수지로 이루어질 수 있고, 척킹 플레이트(110)와 대향하는 제2 접착층(142)은 아크릴 수지로 이루어질 수 있다.
이와 같이 제1 접착제(140)를 2개의 접착층들(141,142)로 형성하였을 경우, 본 발명자는 실험적으로 그 효과를 하기 표 1에서 확인할 수 있었고, 실제 제품 적용을 통하여 동일한 결과를 재확인하였다. 하기 표 1은 본 발명의 이해를 돕기 위한 단순한 실험 결과이며, 이로써 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아님을 밝혀둔다.
[표 1]
전단강도(㎏/㎠) 박리강도(㎏/25㎜)
에폭시 수지 접합 6.3 11.4
실리콘 수지 접합 11.2 6.8
실리콘/에폭시 2중 접합층 38 16
상기 표 1에서 보여주는 바와 같이, 제1 접착제(140)를 다중 접착층 구조물로 형성할 경우, 실리콘 수지 또는 아크릴 수지의 단층으로 제1 접착제(140)를 형성하였을 경우보다 전단 강도나 박리 강도가 향상됨을 알 수 있다.
통상적으로 전단 강도의 수치는 접합면의 강도를 보여주고, 박리 강도는 접착면의 탄성도와 비례한다. 따라서 다중 접착층 구조물이 단일 접착층 구조물보다 접합 강도와 탄성도 면에서 우월함을 알 수 있다. 즉, 완충 부재(130)와 척킹 플레이트(110) 간의 접합 강도와 탄성도가 향상된다.
이와 유사하게, 서로 상이한 물질로 이루어진 완충 부재(130)와 서포팅 부재(120)를 견고하게 접착시키기 위해서는 완충 부재(130)와 서포팅 부재(120)의 물질 특성에 모두 부합되는 제2 접착제(150)가 필요할 것이다. 특히, 서포팅 부재(120)와 완충 부재(130)의 열팽창 계수가 상이하고, 완충 부재의 변형이 있을 경우 제2 접착제(150)가 서포팅 부재(120) 또는 완충 부재(130)로부터 이탈되는 것을 억제하기 위해서는 더욱 그러할 것이다.
상술한 관점에서, 제2 접착제(150)는 접합강도가 충분히 높고, 유연성도 우수한 것이 바람직하다. 일예로, 제2 접착제(150)는 아크릴 또는 실리콘 수지로 이루어질 수 있다.
제2 접착제(150)는 2개의 접착층들(151,152)이 적층된 다중 접착층 구조물로 이루어질 수 있다. 이 경우, 완충 부재(130)와 대향하는 제1 접착층(151)은 실리콘 수지로 이루어질 수 있고, 서포팅 부재(120)와 대향하는 제2 접착층(152)은 아크릴 수지로 이루어질 수 있다.
제2 접착제(150)를 다중 접착층 구조물로 형성할 경우, 실리콘 수지 또는 아크릴 수지의 단층으로 제2 접착제(150)를 형성하였을 경우보다 전단 강도나 박리 강도가 향상된다. 이는 제1 접착제(140)의 경우와 실질적으로 동일하다. 따라서 완충 부재(130)와 서포팅 부재(120) 간의 접합 강도와 탄성도가 향상된다.
제1 접착제(140)와 제2 접착제(150)는 접착층들의 적층 순서만 반대이고 실질적으로 동일한 접착층들을 포함할 수 있다. 그러나 제1 접착제(140)와 제2 접착제(150)가 반드시 동일한 접착층들을 포함해야 하는 것은 아니다. 제1 및 제2 접착제들(140,150)은 각기 서로 다른 접착 특성을 갖는 둘 이상의 접착층들로 이루어진 구조를 갖는 것이면 실질적으로 모두 이용할 수 있다.
그리고 비록 도 2 내지 도 4에 도시하지는 않았지만, 정전척(100)에는 진공 라인이 더 형성될 수 있으며, 기판을 냉각하기 위한 가스 냉각 라인이 더 형성될 수 있다. 당업자라면 도면으로 도시하지 않아도 이를 용이하게 이해할 수 있을 것이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 대형의 조립형 정전 흡착 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도를 도시한 것이다.
도 5를 참조하면, 본 실시예에 따른 조립형 정전 흡착 장치(105)는 도 2 내 지 도 4에 도시한 정전척(100)을 포함한다. 따라서 도 2 내지 도 4에 도시한 참조 번호와 동일한 참조 번호에 대해서는 설명을 생략하지만 당업자면 이를 용이하게 이해할 수 있을 것이다.
정전 흡착 장치(105) 상에는 대형의 액정 패널이 배치되어 흡착된다. 이 경우, 정전 흡착 장치(105)는 상기 대형의 액정 패널의 크기에 대응하는 개수의 정전척들(100)을 포함한다. 정전 흡착 장치(105)가 포함할 수 있는 정전척(100) 수는 피 흡착 대상물의 크기 및 종류에 따라서 선택될 수 있다.
정전척들(100)은 동일 평면상에 실질적으로 평탄하게 배치된다. 이 경우, 각 정전척(100)의 주변부에는 정전척 결합부(도시되지 않음)가 형성될 수 있다. 정전척들(100)은 상기 대형의 액정 패널의 크기 및 형상에 대응하게 조립되어 하나의 정전 흡착 장치(105)를 이루게 된다.
정전 흡착 장치(105)는 정비 측면에서 매우 유리하다. 보다 자세하게 설명하면, 정전 흡착 장치(105)를 이루는 정전척들(100) 중 일 정전척(100)에 이상이 발생되면, 상기 이상이 발생한 정전척(100)을 정전 흡착 장치(105)로부터 분리한 다음, 정상의 정전척(100)으로 교체할 수 있다. 따라서 신속하게 정전 흡착 장치(105)를 정비할 수 있으며, 정비소요 비용도 종래에 비하여 크게 절감할 수 있다.
또한, 정전 흡착 장치(105)는 실질적으로 동일한 정전척들(100)을 포함함으로써, 피 흡착 대상물이 배치되는 평면의 평평도를 실질적으로 균일하게 조성할 수 있다. 나아가, 각각의 정전척들(100)의 온도를 실질적으로 동일하게 유지할 수 있 어, 피 흡착 대상물을 실질적으로 균일하게 가열할 수도 있다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 글라스 기판 접합 장치를 설명하기 위한 개략적인 단면도를 도시한 것이다.
도 6을 더 참조하면, 글라스 기판 접합 장치(300)는 도 2 내지 도 4에 도시한 정전척을 복수개 포함한다. 본 발명을 간결 및 명확하게 설명하기 위하여 제1 정전척(100)은 도 2 내지 도 4에 도시한 정전척과 동일한 참조부호로 표시하고, 제2 정전척(200)은 2백번대로 표시하지만, 제2 정전척(200)은 도 2 내지 도 4에 도시한 정전척과 실질적으로 동일함을 밝혀둔다. 또한, 도 2 내지 도 4와 동일한 참조번호에 대한 설명은 생략하지만 당업자라면 용이하게 이해할 수 있을 것이다.
글라스 기판 접합 장치(300)는 제1 정전척(100), 제2 정전척(200) 및 구동 부재(350)를 포함한다. 제1 정전척(100) 상에는 TFT(Thin Film Transistor)와 같은 제1 글라스 기판(G1)이 배치되어 척킹된다. 제2 정전척(200) 상에는 칼라 필터와 같은 제2 글라스 기판(G2)이 배치되어 척킹된다.
제1 정전척(100)은 제1 척킹 플레이트(110), 제1 서포팅 부재(120), 제1 완충 부재(130), 제1ㅇ접착제(140) 및 제2 접착제(150)를 포함한다.
제1 척킹 플레이트(110)는 제1 유전층(111), 제2 유전층(112), 제1 접착 필름(113) 및 제1 전극(115)으로 이루어진다. 제1 및 제2 유전층들(111,112)은 고분자 물질로 이루어지고, 제1 및 제2 유전층들(111,112) 사이에는 제1 글라스 기판(G1)을 척킹하기 위한 정전기력을 발생시키는 제1 전극(115)이 삽입된다. 제1 척 킹 플레이트(110)는 제1 전극(115)을 제1 척킹 플레이트(110)의 일부분과 일체로 연장하기 위해서, 'U'자 형상으로 절개된다. 이 경우, 제1 전극(115)도 절개부(117)로 노출되지 않고 유전체로 피복되도록'U'자 형상으로 절개된다.
제1 척킹 플레이트(110)의 하부에는 제1 서포팅 부재(120)가 배치된다. 제1 서포팅 부재(120)와 제1 척킹 플레이트(110) 사이에는 제1 완충 부재(130)가 개재된다. 제1 완충 부재(130)는 제1 접착제(140)에 의하여 제1 척킹 플레이트(110)에 고정되고, 제2 접착제(150)에 의하여 제1 서포팅 부재(120)에 고정된다. 제1 및 제2 접착제들(140,150)은 각기 2개의 접착층들이 적층된 다중 접착층 구조물로 이루어질 수 있다. 이 경우, 각각의 2개의 접착층들 중에서 제1 완충 부재(130)와 대향하는 제1 접착층은 실리콘 수지로 이루어질 수 있고, 제1 척킹 플레이트(110) 또는 제1 서포팅 부재(120)를 대향하는 제2 접착층은 아크릴 수지로 이루어질 수 있다. 제1 정전척(100)의 상부에는 제2 정전척(200)이 제1 정전척(100)을 마주보도록 배치된다.
제2 정전척(200)은 제2 척킹 플레이트(210), 제2 서포팅 부재(220), 제2 완충 부재(230), 제3ㅇ접착제(240) 및 제4 접착제(250)를 포함한다.
제2 척킹 플레이트(210)는 제3 유전층(211), 제4 유전층(212), 제2 접착 필름(213) 및 제2 전극(215)으로 이루어진다. 제3 및 제4 유전층들(211,212)은 고분자 물질로 이루어지고, 제3 및 제4 유전층들(211,212) 사이에는 제2 글라스 기판(G2)을 척킹하기 위한 정전기력을 발생시키는 제2 전극(215)이 삽입된다. 제2 척킹 플레이트(210)는 제2 전극(215)을 제2 척킹 플레이트(210)의 일부분과 일체로 연장하기 위해서, 'U'자 형상으로 절개된다. 이 경우, 제2 전극(215)도 절개부(217)로 노출되지 않고 유전체로 피복되도록'U'자 형상으로 절개된다. 유전체로 피복된 'U'자 형상의 제2 전극(215)은 제2 완충 부재(230)의 관통공과 제2 서포팅 부재(220)의 관통공을 따라 일체로 절곡되어 연장되고, 파워 공급 유닛과 연결된다.
제2 척킹 플레이트(210)의 상부에는 제2 서포팅 부재(220)가 배치된다. 제2 서포팅 부재(220)와 제2 척킹 플레이트(210) 사이에는 제2 완충 부재(230)가 개재된다. 제2 완충 부재(230)는 제3 접착제(240)에 의하여 제2 척킹 플레이트(210)에 고정되고, 제4 접착제(250)에 의하여 제2 서포팅 부재(220)에 고정된다. 제3 및 제4 접착제들(240,250)은 각기 2개의 접착층들이 적층된 다중 접착층 구조물로 이루어질 수 있다. 이 경우, 각각의 2개의 접착층들 중에서 제2 완충 부재(230)와 대향하는 제1 접착층은 실리콘 수지로 이루어질 수 있고, 제2 척킹 플레이트(210) 또는 제2 서포팅 부재(220)를 대향하는 제2 접착층은 아크릴 수지로 이루어질 수 있다. 이 경우, 제3ㅇ접착제(240)는 제1 접착제(140)와 실질적으로 동일하고, 제4ㅇ접착제(250)는 제2 접착제(150)와 실질적으로 동일한 것이 바람직하다.
구동 부재(350)는 제1 정전척(100)과 제2 정전척(200) 중, 한쪽 또는 양쪽에 장착될 수 있다. 구동 부재(350)는 제1 글라스 기판(G1)과 제 2 글라스 기판(G2)을 접근시켜 접합한다. 이 경우, 구동 부재(350)는 유압/또는 공압 실린더와 감속기 등으로 구성될 수 있다. 구동 부재(350)는 종래와 실질적으로 동일한 바, 이에 대한 상세한 설명은 생략하지만 당업자라면 용이하게 이해할 수 있을 것이다.
제2 정전척(200)은 구동 부재(350)에 의하여 제1 정전척(100)으로 이동된다. 제2 글라스 기판(G2)은 제1 글라스 기판(G1)에 가압된다. 제2 글라스 기판(G2)은 실런트(sealant)를 매개로 제1 글라스 기판(G1)에 접합된다. 제1 및 제2 글라스 기판들(G1,G2)을 접합 시 발생되는 충격은 제1 및 제2 정전척들(100,200)의 제1 및 제2 완충 부재들(130,230)에 흡수된다. 따라서 제1 및 제2 글라스 기판들(G1,G2)의 파손 또는 손상을 효과적으로 방지할 수 있다.
본 실시예에서는, 제2 정전척(200)에만 구동 부재(350)가 설치된 경우에 대하여 도시하였지만, 제1 정전척(100)에만 구동 부재(350)가 설치될 수 있으며, 제1 및 제2 정전척들(100,200)에 모두 구동 부재(350)가 설치될 수 있다.
또한, 본 실시예에서는, 제1 및 제2 정전척들(100,200)에 제1 및 제2 완충 부재들(130,230)이 각각 배치된 경우에 대하여 설명하였지만, 제1 및 제2 완충 부재들(130,230)중 하나는 생략될 수 있다. 예를 들어, 제1 정전척(100)은 제1 척킹 플레이트(110)와 제1 서포팅 부재(120)로 이루어질 수 있다. 제2 정전척(200)에만 제2 완충 부재(230)가 배치되어도, 제1 및 제2 글라스 기판들(G1,G2)을 안정적으로 접합시킬 수 있다.
비록 도면으로 도시하지는 않았지만, 제1 및 제2 글라스 기판들(G1,G2)은 1m ×1m의 대형 사각 플레이트 형상을 가질 수 있다. 이 경우, 제1 평면에는 제1 정전척들(100)이 제1 글라스 기판(G1)의 크기에 맞게 조립되어 제1 조립형 정천 흡착 장치(도시되지 않음)를 이루고, 제2 평면에는 제2 정전척들(200)이 제2 글라스 기판(G2)의 크기에 맞게 조립되어 제2 조립형 정천 흡착 장치(도시되지 않음)를 이룰 수 있다. 구동 부재는 상기 제1 조립형 정전 흡착 장치와 상기 제2 조립형 정전 흡착 장치 중, 한쪽 또는 양쪽에 장착될 수 있다. 이 결과, 제1 글라스 기판(G1)과 제 2 글라스 기판(G2)을 접근시켜 접합시키는 대형의 조립형 글라스 기판 접합 장치가 제조된다.
전술한 바와 같은 실시예들에 따르면, 고분자 물질로 이루어진 제1 및 제2 척킹 플레이트들(110,210)과 제1 및 제2 완충 부재들(130,230)을 이용하여, 제1 및 제2 글라스 기판들(G1,G2)이 대형이라도 안정적으로 접합시킬 수 있다. 또한, 제1 완충 부재(130)와 제1 척킹 플레이트(110)의 물질 특성에 모두 부합되는 제1 접착제(140)를 이용하여 제1 완충 부재(130)를 제1 척킹 플레이트(110)에 접합시키고, 제1 완충 부재(130)와 제1 서포팅 부재(120)의 물질 특성에 모두 부합되는 제2 접착제(150)를 이용하여 제1 완충 부재(130)를 제1 서포팅 부재(120)에 접합시킴으로써, 제1 척킹 플레이트(110), 제1 완충 부재(130) 및 제1 서포팅 부재(120)를 모두 견고하게 접합시킬 수 있다. 그리고 제2 완충 부재(230)와 제2 척킹 플레이트(210)의 물질 특성에 모두 부합되는 제3 접착제(240)를 이용하여 제2 완충 부재(230)를 제2 척킹 플레이트(210)에 접합시키고, 제2 완충 부재(230)와 제2 서포팅 부재(220)의 물질 특성에 모두 부합되는 제4 접착제(250)를 이용하여 제2 완충 부재(230)를 제2 서포팅 부재(220)에 접합시킴으로써, 제2 척킹 플레이트(210), 제2 완충 부재(230) 및 제2 서포팅 부재(220)를 모두 견고하게 접합시킬 수 있다. 따라서 제1 및 제2 완충 부재들(130,230)이 제1 및 제2 정전척들(100,200)로부터 이탈되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 척킹 플레이트를 고분자 물질로 제조하고, 척킹 플레이트와 서포팅 부재 사이에 완충 부재를 배치함으로써 기판의 파손을 효과적으로 방지할 수 있다. 또한, 척킹 플레이트와 서포팅 부재에 각기 부합되는 접착제들을 이용하여 척킹 플레이트, 완충 부재 및 서포팅 부재를 접합시킴으로써, 완충 부재가 척킹 플레이트 또는 서포팅 부재로부터 이탈되는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.
또한, 완충 부재를 사용함으로써 발생할 수 있는 전극 단락 문제도 효과적으로 해결할 수 있다. 나아가 대형의 조립형 정전 흡착 장치를 이용하여 대형화되는 액정패널 기판을 안정적으로 흡착할 수 있다. 최종적으로는 기판의 크기와는 실질적으로 무관하게 접합 공정을 수행할 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (10)

  1. 기판을 안정적으로 지지하기 위하여 고분자 물질로 이루어지고, 내부에 상기 기판을 척킹하기 위한 정전기력을 발생시키는 전극이 삽입된 척킹 플레이트;
    상기 척킹 플레이트 하부에 배치되어 상기 척킹 플레이트를 지지하는 서포팅 부재;
    상기 척킹 플레이트와 상기 서포팅 부재 사이에 배치되는 완충 부재;
    상기 완충 부재를 상기 척킹 플레이트에 견고하게 접합시키기 위하여 상기 완충 부재와 상기 척킹 플레이트 사이에 개재되는 제1·접착제; 및
    상기 완충 부재를 상기 서포팅 부재에 견고하게 접합시키기 위하여 상기 완충 부재와 상기 척킹 플레이트 사이에 개재되는 제2 접착제를 구비하는 것을 특징으로 하는 정전척.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 고분자 물질은 폴리에스테르(polyester) 또는 폴리이미드(polyimide)를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전척.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 제1 접착제 및 상기 제2 접착제는, 각각 2개의 접착층들로 이루어진 다중 접착층 구조물을 포함하는 것을 특징으로 하는 정전척.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 각각 2개의 접착층들 중에서 상기 완충 부재에 대향 하는 접착층은 실리콘 수지를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전척.
  5. 제 3 항에 있어서, 상기 각각 2개의 접착층들 중에서 상기 척킹 플레이트 또는 상기 서포팅 부재를 대향하는 접착층은 아크릴 수지를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전척.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 척킹 플레이트에는 상기 척킹 플레이트의 일부분과 상기 전극을 일체로 절곡시키기 위한 절개부가 형성된 것을 특징으로 하는 정전척.
  7. 기판을 안정적으로 지지하기 위하여 고분자 물질로 이루어지고, 내부에 상기 기판을 척킹하기 위한 정전기력을 발생시키는 전극이 삽입된 척킹 플레이트, 상기 척킹 플레이트 하부에 배치되어 상기 척킹 플레이트를 지지하는 서포팅 부재, 상기 척킹 플레이트와 상기 서포팅 부재 사이에 배치되는 완충 부재, 상기 완충 부재를 상기 척킹 플레이트에 견고하게 접합시키기 위하여 상기 완충 부재와 상기 척킹 플레이트 사이에 개재되는 제1·접착제, 및 상기 완충 부재를 상기 서포팅 부재에 견고하게 접합시키기 위하여 상기 완충 부재와 상기 척킹 플레이트 사이에 개재되는 제2 접착제를 포함하는 정전척이 동일 평면상에 복수개 배치되어 일체로 조립된 대형의 조립형 정전 흡착 장치.
  8. ⅰ)제1 글라스 기판을 안정적으로 지지하기 위하여 고분자 물질로 이루어지 고, 내부에 상기 제1 글라스 기판을 척킹하기 위한 정전기력을 발생시키는 제1 전극이 삽입된 제1 척킹 플레이트, ⅱ)상기 제1 척킹 플레이트 하부에 배치되어 상기 제1 척킹 플레이트를 지지하는 제1 서포팅 부재, ⅲ)상기 제1 척킹 플레이트와 상기 제1 서포팅 부재 사이에 배치되는 제1 완충 부재, ⅳ)상기 제1 완충 부재를 상기 제1 척킹 플레이트에 견고하게 접합시키기 위하여 상기 제1 완충 부재와 상기 제1 척킹 플레이트 사이에 개재되는 제1·접착제 및 ⅴ)상기 제1 완충 부재를 상기 제1 서포팅 부재에 견고하게 접합시키기 위하여 상기 제1 완충 부재와 상기 제1 척킹 플레이트 사이에 개재되는 제2 접착제를 포함하는 제1 정전척;
    상기 제1 정전척을 마주보도록 상기 제1 정전척 상부에 배치되며, ⅵ)제2 글라스 기판을 안정적으로 지지하기 위하여 고분자 물질로 이루어지고, 내부에 상기 제2 글라스 기판을 척킹하기 위한 정전기력을 발생시키는 제2 전극이 삽입된 제2 척킹 플레이트, ⅶ)상기 제2 척킹 플레이트 상부에 배치되어 상기 제2 척킹 플레이트를 홀딩하는 제2 서포팅 부재, ⅷ)상기 제2 척킹 플레이트와 상기 제2 서포팅 부재 사이에 배치되는 제2 완충 부재, ⅸ)상기 제2 완충 부재를 상기 제2 척킹 플레이트에 견고하게 접합시키기 위하여 상기 제2 완충 부재와 상기 제2 척킹 플레이트 사이에 개재되는 제3·접착제 및 ⅹ)상기 제2 완충 부재를 상기 제2 서포팅 부재에 견고하게 접합시키기 위하여 상기 제2 완충 부재와 상기 제2 척킹 플레이트 사이에 개재되는 제4 접착제를 포함하는 제2 정전척; 그리고
    상기 제2 글라스 기판을 상기 제1 글라스 기판에 접합시키기 위하여 상기 제1 정전척과 상기 제2 정전척 중, 한쪽 또는 양쪽에 장착되어 상기 제1 글라스 기판 과 상기 제 2 글라스 기판을 접근시켜 접합하는 구동 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 기판 접합 장치.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 제1 접착제는 상기 제3 접착제와 실질적으로 동일하고, 상기 제2 접착제는 상기 제4 접착제와 실질적으로 동일한 것을 특징으로 하는 글라스 기판 접합 장치.
  10. ⅰ)제1 글라스 기판을 안정적으로 지지하기 위하여 고분자 물질로 이루어지고, 내부에 상기 제1 글라스 기판을 척킹하기 위한 정전기력을 발생시키는 제1 전극이 삽입된 제1 척킹 플레이트, ⅱ)상기 제1 척킹 플레이트 하부에 배치되어 상기 제1 척킹 플레이트를 지지하는 제1 서포팅 부재, ⅲ)상기 제1 척킹 플레이트와 상기 제1 서포팅 부재 사이에 배치되는 제1 완충 부재, ⅳ)상기 제1 완충 부재를 상기 제1 척킹 플레이트에 견고하게 접합시키기 위하여 상기 제1 완충 부재와 상기 제1 척킹 플레이트 사이에 개재되는 제1·접착제 및 ⅴ)상기 제1 완충 부재를 상기 제1 서포팅 부재에 견고하게 접합시키기 위하여 상기 제1 완충 부재와 상기 제1 척킹 플레이트 사이에 개재되는 제2 접착제를 포함하는 제1 정전척이 제1 평면상에 복수개 배치되어 일체로 조립된 제1 조립형 정천 흡착 장치;
    상기 제1 정전척을 마주보도록 상기 제1 정전척 상부에 배치되며, ⅵ)제2 글라스 기판을 안정적으로 지지하기 위하여 고분자 물질로 이루어지고, 내부에 상기 제2 글라스 기판을 척킹하기 위한 정전기력을 발생시키는 제2 전극이 삽입된 제2 척킹 플레이트, ⅶ)상기 제2 척킹 플레이트 상부에 배치되어 상기 제2 척킹 플레이트를 홀딩하는 제2 서포팅 부재, ⅷ)상기 제2 척킹 플레이트와 상기 제2 서포팅 부재 사이에 배치되는 제2 완충 부재, ⅸ)상기 제2 완충 부재를 상기 제2 척킹 플레이트에 견고하게 접합시키기 위하여 상기 제2 완충 부재와 상기 제2 척킹 플레이트 사이에 개재되는 제3·접착제 및 ⅹ)상기 제2 완충 부재를 상기 제2 서포팅 부재에 견고하게 접합시키기 위하여 상기 제2 완충 부재와 상기 제2 척킹 플레이트 사이에 개재되는 제4 접착제를 포함하는 제2 정전척이 제2 평면상에 복수개 배치되어 일체로 조립된 제2 조립형 정전 흡착 장치; 그리고
    상기 제2 글라스 기판을 상기 제1 글라스 기판에 접합시키기 위하여 상기 제1 조립형 정전 흡착 장치와 상기 제2 조립형 정전 흡착 장치 중, 한쪽 또는 양쪽에 장착되어 상기 제1 글라스 기판과 상기 제 2 글라스 기판을 접근시켜 접합하는 구동 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 대형의 조립형 글라스 기판 접합 장치.
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