JP4668230B2 - 静電チャック、静電チャック装置、ガラス基板接合装置 - Google Patents
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Description
タに沿って熱膨張する。緩衝部材の上下面は互いに異なって熱膨張しチャッキングプレートまたはサセプタから離脱される。前記離脱された緩衝部材は緩衝機能をまともに遂行することができなくなり、チャッキングプレートの高向きにも変化を起こす工程に悪影響を及ぼす。
それにより、静電チャックを配列して大型基板を吸着することができる静電チャック装置の開発が要求されてきた。しかし、硬度の高いセラミックや金属材の支持器材が適用された静電チャックを組立して用いる場合、それぞれの静電チャックの加工寸法が異なり、それぞれの静電吸着力が相異して前述した単一静電チャック装置の問題点が解決できていない状況である。
本発明の他の目的は、前記静電チャックを用いて大型の基板をホールディングできる静電チャック装置を提供することにある。
本発明のさらなる他の目的は、前記静電チャックを用いて大型のガラス基板を良好に接合させることができる組立型ガラス基板接合装置を提供することにある。
チャッキングプレートとの間に介在される第2接合剤を含む。
れ前記第1チャッキングプレートを支持する第1支持部材、iii)第1チャッキングプレートと前記第1支持部材との間に配置される第1緩衝部材、iv)第1緩衝部材を第1チャッキングプレートに堅固に接合させるために第1緩衝部材と第1チャッキングプレートとの間に介在される第1接着剤、及びv)第1緩衝部材を前記第1支持部材に堅固に接合させるために前記第1緩衝部材と前記第1チャッキングプレートとの間に介在される第2接着剤を含む第1静電チャックが第1平面上に複数個配置され一体に組み立てられた第1静電チャック装置と、第1静電チャックを向き合うように前記第1静電チャック上部に配置され、vi)第2ガラス基板を安定的に支持するために高分子材料からなり、内部に前記第2ガラス基板をチャッキングするための静電気力を発生させる第2電極が挿入された第2チャッキングプレート、vii)前記第2チャッキングプレート上部に配置され前記第2チャッキングプレートをホールディングする第2支持部材、viii)第2チャッキングプレートと前記第2支持部材との間に配置される第2緩衝部材、ix)第2緩衝部材を第2チャッキングプレートに堅固に接合させるために前記第2緩衝部材と前記第2チャッキングプレートとの間に介在される第3接着剤、及びx)前記第2緩衝部材を前記第2支持部材に堅固に接合させるために前記第2緩衝部材と前記第2チャッキングプレートとの間に介在される第4接着剤を含む第2静電チャックが第2平面上に複数個配置され一体に組み立てられた第2静電チャック装置と、第2ガラス基板を前記第1ガラス基板に接合させるために第1静電チャック装置と第2静電チャック装置のうち、一方または両方に装着され前記第1ガラス基板と前記第2ガラス基板を接近させ接合する駆動部材と、を含む。
図1は本発明の一実施例による静電プレートを説明するための概略的な平面図を示す。図2は図1に示された静電プレートを含む静電チャックを説明するための概略的な平面図を示す。図3は図2に示された静電チャックの概略的な断面図を示す。図4は図3のA部を拡大した部分拡大図である。
静電チャック100はチャッキングプレート110、支持部材120、緩衝部材130、第1接着剤140及び第2接着剤150を含む。
5が配置される。第1誘電層111、第2誘電層112及び電極115は接着フィルム113を媒介にして互いに接着される。
電極115は静電場を生成するための装置として、導電性金属からなる。例えば、電極115は比抵抗が比較的に小さいタングステンからなることができる。電極115はチャッキングプレート110内に連続的にそして均等に分布されるように配置される。電極115はメッシュや平板または多層構造に形成されることができる。
れ基板を破損させたりした。
支持部材120はチャッキングプレート110を支持するための装置として、アルミニウムのような金属からなる。支持部材120は一般的なサセプタと実質的に同一の機能を実施すると言える。支持部材120とチャッキングプレート110との間には緩衝部材130が介在される。
長さ変化率(%)=L0/ L1
(数式1においてL0は緩衝部材の本来の長さを示し、L1は緩衝部材の増えた長さを示す。)
数式1を参照するとき、通常的な液晶表示装置用ガラス基板が持っている撓みの高さ差が最小10μmであり、これを二重で重ねるときには最大20μmになるので、このような撓みを緩衝するために、5mmの厚さの緩衝部材は少なくともその長さ変化が20μm、即ち5mmの0.4%にならなけれなならない。そして、静電プレート自体の撓みまで考慮すると、緩衝部材の長さ変化率は大きいほどよい。
第1接着剤140はチャッキングプレート110と緩衝部材130との間に形成される。第1接着剤140は緩衝部材130をチャッキングプレート110に堅固に接着させることができる物質で選択される。
図5を参照すると、本実施例による静電チャック装置105は図2乃至図4に示された静電チャック100を含む。従って、図2乃至図4に示した参照番号と同一の参照番号については説明を省略する。
図6を参照すると、ガラス基板接合装置300は図2乃至図4に示された静電チャックを複数個含む。本発明を簡潔及び明確に説明するために第1静電チャック100は図2乃至図4に示した静電チャックと同一の参照符号で表示し、第2静電チャック200は200番代に表示するが、第2静電チャック200は図2乃至図4に示した静電チャックと実質的に同一である。また、図2乃至図4と同一の参照番号についての説明は省略する。
第1チャッキングプレート110は第1誘電層111、第2誘電層112、第1接着フィルム113及び第1電極115からなる。第1及び第2誘電層111、112は高分子材料からなり、第1及び第2誘電層111、112の間には第1ガラス基板G1をチャッキングするための静電気力を発生させる第1電極115が挿入される。第1チャッキングプレート110は第1電極115を第1チャッキングプレート110の一部分と一体に延長するために、' U' 字形状に切開する。この場合、第1電極115も切開部117に露出されなく誘電体で被覆されるようにU字形状に切開される。
第2チャッキングプレート210は第3誘電層211、第4誘電層212、第2接着フィルム213及び第2電極215で構成される。第3及び第4誘電層211、212は高分子材料からなり、第3及び第4誘電層211、212の間には第2ガラス基板G2をチャッキングするための静電気力を発生させる第2電極215が挿入される。第2チャッキングプレート210は第2電極215を第2チャッキングプレート210の一部分と一体に延長するためにU字形状に切開される。この場合、第2電極215も切開部217に露出されなく誘電体で被覆されるようにU字形状に切開される。誘電体で被覆されたU字形状の第2電極215は第2緩衝部材230の貫通孔と第2支持部材220の貫通孔に沿って一体に折曲されて延長され、電力供給ユニットと連結される。
は両方に装着されることができる。駆動部材350は第1ガラス基板G1と第2ガラス基板G2を接近させて接合する。この場合、駆動部材350は油圧または空圧シリンダと減速器などで構成されることができる。駆動部材350は従来と実質的に同一で、これについての詳細な説明は省略する。
Claims (9)
- 基板をチャッキングするための静電気力を発生させる電極が内部に挿入されているチャッキングプレートと、該チャッキングプレートは高分子材料からなることと、
前記チャッキングプレート下部に配置され前記チャッキングプレートを支持する支持部材と、
前記チャッキングプレートと前記支持部材との間に配置される緩衝部材と、
前記緩衝部材を前記チャッキングプレートに堅固に接合させるために前記緩衝部材と前記チャッキングプレートとの間に設けられる第1接着剤層と、
前記緩衝部材を前記支持部材に堅固に接合させるために前記緩衝部材と前記チャッキングプレートとの間に設けられる第2接着剤層と、
を具備し、前記チャッキングプレートには前記チャッキングプレートの一部分と前記電極を一体に折曲させるための切開部が形成されていることを特徴とする静電チャック。 - 前記高分子材料は、ポリエステルまたはポリイミドを含むことを特徴とする請求項1記載の静電チャック。
- 前記第1接着剤層及び前記第2接着剤層は、それぞれ2つの接着層からなる多重接着層構造物からなることを特徴とする請求項1記載の静電チャック。
- 前記それぞれ2つの接着層のうち前記緩衝部材に隣接する接着層は、シリコーン樹脂からなることを特徴とする請求項3記載の静電チャック。
- 前記それぞれ2つの接着層のうち前記チャッキングプレートまたは前記支持部材に隣接する接着層は、アクリル樹脂からなることを特徴とする請求項3記載の静電チャック。
- 基板をチャッキングするための静電気力を発生させる電極が内部に挿入されているチャッキングプレートと、該チャッキングプレートは高分子材料からなることと、前記チャッキングプレート下部に配置され前記チャッキングプレートを支持する支持部材と、前記チャッキングプレートと前記支持部材との間に配置される緩衝部材と、前記緩衝部材を前記チャッキングプレートに堅固に接合させるために前記緩衝部材と前記チャッキングプレー
トとの間に設けられる第1接着剤層と、前記緩衝部材を前記支持部材に堅固に接合させるために前記緩衝部材と前記チャッキングプレートとの間に設けられる第2接着剤層とを備え、前記チャッキングプレートには前記チャッキングプレートの一部分と前記電極を一体に折曲させるための切開部が形成されている静電チャックを同一平面上に複数個配置した静電チャック装置。 - 第1ガラス基板をチャッキングするための静電気力を発生させる第1電極が内部に挿入されている第1チャッキングプレートと、該第1チャッキングプレートは高分子材料からなることと、前記第1チャッキングプレート下部に配置され前記第1チャッキングプレートを支持する第1支持部材と、前記第1チャッキングプレートと前記第1支持部材との間に配置される第1緩衝部材と、前記第1緩衝部材を前記第1チャッキングプレートに堅固に接合させるために前記第1緩衝部材と前記第1チャッキングプレートとの間に設けられる第1接着剤層と、前記第1緩衝部材を前記第1支持部材に堅固に接合させるために前記第1緩衝部材と前記第1チャッキングプレートとの間に設けられる第2接着剤層とを備えるとともに、前記第1チャッキングプレートには前記第1チャッキングプレートの一部分と前記第1電極を一体に折曲させるための切開部が形成されている第1静電チャックと、
前記第1静電チャックと対向するように前記第1静電チャック上部に配置される第2静電チャックと、該第2静電チャックは、第2ガラス基板をチャッキングするための静電気力を発生させる第2電極が内部に挿入されている第2チャッキングプレートと、該第2チャッキングプレートは高分子材料からなることと、前記第2チャッキングプレート上部に配置され前記第2チャッキングプレートを支持する第2支持部材と、前記第2チャッキングプレートと前記第2支持部材との間に設けられる第2緩衝部材と、前記第2緩衝部材を前記第2チャッキングプレートに堅固に接合させるために前記第2緩衝部材と前記第2チャッキングプレートとの間に設けられる第3接着剤層と、前記第2緩衝部材を前記第2支持部材に堅固に接合させるために前記第2緩衝部材と前記第2チャッキングプレートとの間に設けられる第4接着剤層とからなるとともに、前記第2チャッキングプレートには前記第2チャッキングプレートの一部分と前記第2電極を一体に折曲させるための切開部が形成されていることと、
前記第1静電チャックと前記第2静電チャックのうちの少なくとも一方に装着されて、前記第1ガラス基板と前記第2ガラス基板を接近させて接合する駆動部材とを備えることを特徴とするガラス基板接合装置。 - 前記第1接着剤層は前記第3接着剤層と同一の構造を有し、前記第2接着剤層は前記第4接着剤層と同一の構造を有することを特徴とする請求項7記載のガラス基板接合装置。
- 第1ガラス基板をチャッキングするための静電気力を発生させる第1電極が内部に挿入されている第1チャッキングプレートと、該第1チャッキングプレートは高分子材料からなることと、前記第1チャッキングプレート下部に配置され前記第1チャッキングプレートを支持する第1支持部材と、前記第1チャッキングプレートと前記第1支持部材との間に配置される第1緩衝部材と、前記第1緩衝部材を前記第1チャッキングプレートに堅固に接合させるために前記第1緩衝部材と前記第1チャッキングプレートとの間に設けられる第1接着剤層と、前記第1緩衝部材を前記第1支持部材に堅固に接合させるために前記第1緩衝部材と前記第1チャッキングプレートとの間に設けられる第2接着剤層とを備えるとともに、前記第1チャッキングプレートには前記第1チャッキングプレートの一部分と前記第1電極を一体に折曲させるための切開部が形成されている第1静電チャックを第1平面上に複数個配備した第1静電チャック装置と、
前記第1静電チャックと対向するように前記第1静電チャック上部に配置される第2チャッキングプレートと、該第2チャッキングプレートは第2ガラス基板をチャッキングするための静電気力を発生させる第2電極が内部に挿入されているとともに高分子材料からなることと、前記第2チャッキングプレート上部に配置され前記第2チャッキングプレー
トを支持する第2支持部材と、前記第2チャッキングプレートと前記第2支持部材との間に配置される第2緩衝部材と、前記第2緩衝部材を前記第2チャッキングプレートに堅固に接合させるために前記第2緩衝部材と前記第2チャッキングプレートとの間に設けられる第3接着剤層と、前記第2緩衝部材を前記第2支持部材に堅固に接合させるために前記第2緩衝部材と前記第2チャッキングプレートとの間に設けられる第4接着剤層とを備えるとともに、前記第2チャッキングプレートには前記第2チャッキングプレートの一部分と前記第2電極を一体に折曲させるための切開部が形成されている第2静電チャックを第2平面上に複数個配備した第2静電チャック装置と、
前記第2ガラス基板を前記第1ガラス基板に接合させるために前記第1静電チャック装置と前記第2静電チャック装置のうちの少なくとも一方に装着され前記第1ガラス基板と前記第2ガラス基板を接近させ接合する駆動部材とを備えることを特徴とするガラス基板接合装置。
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