KR20070088010A

KR20070088010A - 테스트핸들러용 테스트트레이

Info

Publication number: KR20070088010A
Application number: KR1020060018087A
Authority: KR
Inventors: 심재균; 나윤성; 전인구; 구태흥; 유현준
Original assignee: (주)테크윙
Priority date: 2006-02-24
Filing date: 2006-02-24
Publication date: 2007-08-29
Also published as: WO2007097579A1; US20080272764A1; CN101375172B; US7667453B2; KR100771474B1; CN101375172A; TWI322891B; TW200739087A

Abstract

본 발명은 테스트핸들러용 테스트트레이에 관한 것으로, 본 발명에 따르면, 테스트트레이의 프레임에 행렬 형태로 배열되는 적재부에 적재되는 인서트가, 적재되는 적재부의 행렬상 위치에 따라서 그 유동의 양 및 방향이 결정되도록 함으로써, 테스트트레이나 매치플레이트의 열팽창 또는 열수축이 보상될 수 있도록 하는 기술이 개시된다.

테스터핸들러, 반도체소자 검사장비, 테스트트레이

Description

테스트핸들러용 테스트트레이{TEST TRAY FOR TEST HANDLER}

도1은, 테스트핸들러 및 해당 테스트핸들러에 도킹된 테스터에 대한 개략적인 평면도이다.

도2는, 테스트트레이에 대한 개략적인 사시도이다.

도3은, 도1의 테스터에 대한 개략적인 사시도이다.

도4는, 도1에 적용된 푸싱장치에 대한 개략적인 사시도이다.

도5는, 도4의 푸싱장치에 구성되는 푸셔, 도2의 테스트트레이에 구성되는 인서트, 도3의 테스터에 구성되는 소켓의 결합관계를 설명하기 위한 참조사시도이다.

도6은, 도3의 소팅 테이블장치에 대한 측면도 등이다.

도7은, 종래기술에 따른 테스트트레이에 적용되는 프레임에 대한 평면도이다.

도8은, 본 발명의 실시예에 따른 테스트트레이에 적용되는 프레임에 대한 평면도이다.

도9 내지 도11은, 도8의 프레임을 설명하기 위한 참조도이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

11-1 : 인서트 11-3a : 볼트체결공

11-3c : 볼트 71 : 프레임

71-1 : 적재부 71-3b : 볼트관통홀

본 발명은 테스트핸들러용 테스트트레이에 관한 것이다.

일반적으로 테스트핸들러는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체소자를 일정한 경로로 이동시키면서 테스터에 의해 테스트할 수 있도록 지원하며, 테스트 결과에 따라 반도체소자를 등급별로 분류하는 기기로서 이미 다수의 공개문서들을 통해 공개되어 있다.

도1은 그러한 테스트핸들러(100)와 해당 테스트핸들러(100)에 도킹된 테스터(200)에 대한 개념적인 평면도이다.

도1에서 참조되는 바와 같이 테스트핸들러(100)는, 로딩부(110), 소크챔버(120), 테스트챔버(130), 디소크챔버(140), 언로딩부(150) 및 푸싱장치(160) 등을 포함하여 구성된다. 그리고 테스터(200)는 상기 테스트챔버(130)의 후방에 배치되어 있다.

위와 같은 테스트핸들러(100)는 반도체소자를 일정한 온도적 환경이 조성된 소크챔버(120) 및 테스트챔버(130) 순으로 이동시킨 다음, 테스트챔버(130)에서 테스터(200)에 의해 테스트되도록 지원한 후, 테스트가 완료된 반도체소자를 디소크 챔버(140)로 이동시켜 상온으로 복귀시킨다. 이 때, 다수의 반도체소자를 한꺼번에 이동 및 테스트할 수 있도록 지원하기 위한 캐리어로서 도2의 개략도에 도시된 바와 같은 테스트트레이(11)가 구비된다. 도2를 참조하면 테스트트레이(11)는 반도체 소자를 수용할 수 있도록 행렬 행태로 배열된 다수의 인서트(11-1)와, 다수의 인서트(11-1)를 적재하기 위한 적재부가 행렬 형태로 배열된 프레임(11-2) 및 후술하는 바와 같이 인서트(11-1)를 적재부에 유지시키기 위한 결합수단으로 구성된다. 이러한 테스트트레이(11)의 구비에 따라서 로딩부(110)에서는 부호 10a의 고객트레이로부터 부호 11a의 테스트트레이로 반도체소자를 로딩하는 작업을 수행하고, 언로딩부(150)에서는 부호 11b의 테스트트레이로부터 부호 10b의 고객트레이로 반도체소자를 언로딩하는 작업을 수행하게 된다. 그리고 테스트트레이(11)는 로딩부(110), 소크챔버(120), 테스트챔버(130), 디소크챔버(140) 및 언로딩부(150)를 순환하게 되는데, 이러한 테스트트레이(11)의 순환에 의해 로딩된 반도체소자가 상기한 소크챔버(120), 테스트챔버(130) 및 디소크챔버(140)로 이어지는 경로를 이동한 후 언로딩되게 되는 것이다. 참고로 테스트트레이(11)는 상기한 바대로 일정한 순환경로를 순환하는데, 도1 및 도4에 대한 설명에서는 설명의 편의를 위하여 테스트트레이(11)의 이동경로 중, 테스트트레이(11)가 위치하는 지점에 대응하여 테스트트레이(11)의 부호를 달리하여 표기(11a, 11b, 11c, 11d)하였다.

한편, 테스터(200)는 도3의 개략도에서 참조되는 바와 같이, 두개의 하이픽스보드(210a, 210b)라는 검사용 기판을 포함하고, 하이픽스보드(210a, 210b) 상에는 테스트트레이(11)의 인서트(11-1)에 대응하는 다수의 소켓(210-1)이 행렬 행태 로 배열되어 있다. 그리고 각각의 소켓(210-1)을 통해 테스트단자(미도시)가 노출되어 있다. 따라서 도1에 도시된 바와 같이 테스트챔버(130) 상에 위치된 부호 11c, 11d의 테스트트레이(상하 2단으로 두개의 테스트트레이가 배치됨)에 적재된 반도체소자의 리드가 소켓(210-1)의 테스트단자와 접촉됨으로써 테스트가 이루어지는데, 이렇게 테스트트레이(11c, 11d)에 적재된 반도체소자의 리드(또는 볼 그리드)를 소켓(210-1)의 테스트단자에 접촉시키기 위해 상기한 푸싱장치(160)가 구성된다. 즉, 상기한 푸싱장치(160)는 테스트 트레이의 반도체 소자를 하이픽스보드(210a, 210b)의 소켓(210-1)에 대해 가압함으로써 반도체 소자의 리드와 소켓(210-1)의 테스트단자를 접촉시키기 위해 도1 또는 도4의 분해사시도에서 참조되는 바와 같이 테스트트레이(11c, 11d)와 마주보는 매치플레이트(161a, 161b)와 이 매치플레이트(161a, 161b)의 가압동작을 수행시키기 위한 프레스 유닛(162)을 포함하고 있는데, 매치플레이트(161a, 161b) 상에는 테스트트레이(11c, 11d)의 인서트(11-1)에 대응하는 푸셔(161-1)가 행렬 행태로 배열되어 있다.

도5는 위에서 설명된 바와 같은 하이픽스보드(210a, 210b)의 소켓(210-1), 인서트(11-1) 및 푸셔(161-1)를 발췌하여 도시한 발췌사시도이다.

도5를 참조하면 가압시에는 먼저 푸셔(161-1)의 가이드 핀(161-1a)이 인서트(11-1)의 푸셔 가이드 홀(11-1a)에 삽입되고, 이어서 인서트(11-1)가 소켓(210-1) 쪽으로 계속 이동되면서 소켓(210-1)의 가이드 핀(210-1a)이 인서트(11-1)의 소켓 가이드 홀(11-1b)에 삽입되어, 결과적으로 푸셔(161-1)-인서트(11-1)-소켓(210-1)의 결합 관계가 성립한다. 일반적으로 푸셔(161-1)는 반도체소자의 종류에 따라 소 자를 직접 가압하는 구조 또는 인서트(11-1)를 통해 간접 가압하는 구조일 수 있다. 즉, 프레스 유닛(162)의 힘이 실제로 전달되는 경로는 푸셔(161-1)-반도체소자-인서트(11-1)-소켓(210-1) 또는 푸셔(161-1)-인서트(11-1)-반도체소자-소켓(210-1)일 수 있는 것이다. 이와 같이, 푸셔(161-1)-인서트(11-1)-소켓(210-1)의 결합이 적절히 이루어지도록 하기 위해서는 푸셔(161-1)의 가이드 핀(161-1a)과 인서트(11-1)의 푸셔 가이드 홀(11-1a), 소켓(210-1)의 가이드 핀(210-1)과 인서트(11-1)의 소켓 가이드 홀(11-1b)이 서로 대응되는 위치에서 적절히 마주볼 수 있도록 되어 있어야 한다.

한편, 상기한 바와 같이 소크챔버(120) 및 테스트챔버(130)는 반도체소자를 테스트하기 위한 열악한 온도적 환경이 조성되어 있기 때문에, 매치플레이트(161a, 161b)나 테스트트레이(11c, 11d)가 온도의 영향으로 인하여 열챙창 또는 열수축하게 된다. 그런데, 매치플레이트(161a, 161b)나 테스트트레이(11c, 11d)는 서로 상이한 열팽창계수를 가지는 재질로 구비되는 것이 일반적이어서, 각각 열팽창 또는 열수축 정도가 다르다. 따라서 그러한 열팽창 또는 열수축은 상기한 푸셔(161-1)의 가이드 핀(161-1a)과 인서트(11-1)의 푸셔 가이드 홀(11-1a)이 서로 적절히 마주볼 수 있는 것을 방해하는 요소로 작용한다. 만일 테스트트레이(11c, 11d)나 매치플레이트(161a, 161b)가 열팽창 또는 열수축한 상태에서 푸싱동작이 이루어져 푸셔(161-1)의 가이드 핀(161-1a)이 인서트(11-1)의 푸셔 가이드 홀(11-1a)에 정확히 삽입되지 않게 되면, 인서트(11-1)의 파손 및 궁극적으로 반도체소자의 리드와 소켓(210-1)의 테스트단자의 접촉 불량이 발생할 수 있는 등의 문제점이 있는 것이 다.

따라서 그러한 문제점을 극복하기 위하여 인서트(11-1)를 테스트트레이(11)의 프레임(11-2)상에 소정 범위 내에서 전후좌우 및 상하로 유동할 수 있도록 설치하는데, 이러한 유동구조를 통해 반도체소자와 테스트단자의 접촉성이 개선될 수 있다. 구체적으로, 인서트(11)가 테스트트레이(11)의 프레임(11-2)에 대해 유동이 가능하면, 테스트트레이(11)나 매치플레이트(161)가 열팽창 또는 열수축을 하더라도, 인서트(11-1)의 유동을 통해서 보상될 수 있을 정도의 범위 내에서 푸셔(161-1)의 가이드 핀(161-1a)과 인서트(11-1)의 푸셔 가이드 홀(11-1a)이 마주보게 되기 때문에, 푸셔(161-1)-인서트(11-1)-소켓(210-1)의 결합관계가 성립하기 용이한 것이다.

도6은 상기한 바와 같이, 인서트(11-1)가 테스트트레이(11)의 프레임(11-2)에 결합수단에 의해 유동가능하게 결합되는 구조를 개념적으로 도시한 단면도이다. 도6에서 참조되는 바와 같이, 결합수단은, 인서트(11-1)에 형성되는 볼트체결공(11-3a, 도5를 병행하여 참조), 테스트트레이(11)이의 프레임(11-2)에 형성되는 볼트관통홀(11-3b) 및 볼트(11-3c)를 구비하며, 상기 인서트(11-1)는 볼트(11-3c)를 통해 테스트트레이(11)의 프레임(11-2)에 유동 가능하게 결합된다. 이러한 인서트(11-1)의 유동가능한 결합구조를 더 구체적으로 살펴보면, 예를 들어, 도6에서와 같이, 테스트트레이(11)의 프레임(11-2)에는 볼트(11-3c)의 외경보다 큰 볼트관통홀(11-3b)을 형성하고, 인서트(11-1)에는 볼트체결공(11-3a)을 형성한 후, 볼트(11-3c)의 일단인 머리(11-3c1)는 상기 볼트관통홀(11-3b)에 걸리도록 하고, 볼트 (11-3c)의 연장된 타단, 즉, 수나사단(11-3c2)은 상기 볼트관통홀(11-3b)을 여유 있게 통과한 후 인서트(11-1)의 볼트체결공(11-3a)에 체결됨으로써, 궁극적으로 인서트(11-1)는 테스트트레이(11)의 프레임(11-2)에 유동가능하도록 설치되는 것이다. 참고로 도7에서 참조되는 바와 같이 종래의 테스트트레이(11)의 프레임(11-2)에 형성되는 볼트관통홀(11-3b)들은 모두 동일한 직경(l)을 가지는 원형상으로 형성되어 있었기 때문에, 테스트트레이의 중심근방에 위치한 인서트나 테스트트레이의 외곽근방에 위치한 인서트가 모두 동일한 유동한계를 가지게 되어 있었다.

한편, 종래의 테스트트레이(11)는 32개나 64개의 인서트(11-1)를 가지고 있었기 때문에 테스트트레이(11)가 비교적 소형이었고, 테스트온도 역시 영하 30도에서 영상 125도 범위였기 때문에 전술한 유동 구조만으로도 매치플레이트(161a, 161b) 나 테스트트레이(11)의 열팽창 또는 열수축을 보상할 수 있었다. 그러나 최근에는 테스터의 1회 처리 능력이 향상됨에 따라 가능한 한 많은 수의 반도체소자를 한꺼번에 테스트할 수 있도록 테스트트레이의 대형화 및 이에 대응되는 매치플레이트의 대형화가 요구되고 있으며, 테스트 온도 역시 영하 45도 이하의 저온이나 영상 135도 이상의 고온이 요구되는 추세이다. 이러한 경우, 테스트트레이 및 매치플레이트의 대형화에 따라 테스트트레이 및 매치플레이트의 열팽창 또는 열수축 정도, 즉, 테스트트레이 및 매치플레이트의 인서트나 푸셔의 위치변화정도를 더욱 크게 하고(테스트트레이나 매치플레이트의 테두리를 상기하라), 그러한 위치변화정도는 더 열악해진 온도조건에 의해 더 크게 증폭된다. 그리하여 그러한 위치변화에 대응하는 인서트와 푸셔의 상대적 위치차이도 더욱 커지게 되는 것인데, 그러한 인 서트와 푸셔의 상대적 위치차이는 테스트트레이나 매치플레이트의 외곽으로 갈수록 더욱 더 심각해진다. 따라서 테스트트레이 및 매치플레이트의 외곽 부분을 고려하여 볼 때, 새로이 요구되는 열악한 온도 조건 하에서 대형 테스트트레이를 적용하는 경우에는 전술한 인서트 유동구조만으로 테스트트레이와 매치플레이트의 열팽창이나 열수축을 충분히 보상할 수 없기 때문에 인서트의 파손이나 반도체소자와 테스트단자 사이의 접촉 불량이 발생할 수밖에는 없고, 이러한 문제점은 결국 1회 처리될 수 있는 반도체소자의 개수가 제한될 수밖에는 없는 것을 의미한다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로 다음과 같은 목적을 가진다.

첫째, 테스트트레이에 행렬 형태로 배열되는 인서트들이 그 행렬상의 위치에 따라서 유동량이 결정될 수 있도록 하는 기술을 제공한다.

둘째, 테스트트레이에 행렬 형태로 배열되는 인서트들이 그 행렬상의 위치에 따라서 유동방향이 결정될 수 있도록 하는 기술을 제공한다.

셋째, 테스트트레이에 행렬 행태로 배열되는 인서트들에서, 중심부근에 배열되는 인서트들보다 외곽부근에 배열되는 인서트들의 유동량이 더 크도록 하는 기술을 제공한다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러용 테스트트 레이는, 소정의 행렬 형태로 배열된 다수의 적재부를 구비한 프레임; 상기 다수의 적재부 중 적어도 하나의 적재부에 적재되는 인서트; 및 상기 인서트를 상기 프레임의 평면상 유동이 허용되도록 적재부 내에 유지시키되, 그 최대 유동의 양 및 방향을 제한하고, 그 최대 유동의 양 및 방향은 상기 인서트가 적재된 적재부의 행렬상 위치에 따라 결정되도록 하는 결합수단; 을 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 결합수단은, 상기 인서트가 적재된 적재부의 행렬상 위치가 상기 프레임의 평면상의 중심에서 멀수록 상기 인서트가 더 큰 유동의 양을 가지도록 하는 것을 더 구체적인 특징으로 한다. 여기서 상기 결합수단은, 상기 프레임에 형성되며, 형성 위치가 상기 프레임의 평면상의 중심에서 멀수록 더 큰 형상을 가지는 유동결정홀; 및 일단은 상기 유동결정홀에 걸리고, 연장된 타단은 상기 유동결정홀을 유동가능한 상태로 여유 있게 관통하여 상기 인서트에 결합되는 유동핀; 을 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 하며, 상기 유동결정홀은, 상기 프레임의 평면상의 중심과 그 형성위치를 잇는 직선방향으로 구배를 가지는 장공 형상인 것을 또 하나의 더 나은 특징으로 한다.

또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러용 테스트트레이는, 소정의 행렬 형태로 배열된 다수의 적재부를 구비한 프레임; 상기 다수의 적재부 중 적어도 하나의 적재부에 적재되는 인서트; 및 상기 인서트를 상기 프레임의 평면상 유동이 허용되도록 적재부 내에 유지시키되, 그 최대 유동의 양이 상기 인서트가 적재된 적재부의 행렬상 위치에 따라 결정되도록 하는 결합수단; 을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러용 테스트트레이는, 소정의 행렬 형태로 배열된 다수의 적재부를 구비한 프레임; 상기 다수의 적재부 중 적어도 하나의 적재부에 적재되는 인서트; 및 상기 인서트를 상기 프레임의 평면상 유동이 허용되도록 적재부 내에 유지시키되, 그 유동 방향이 상기 인서트가 적재된 적재부의 행렬상 위치에 따라 결정되도록 하는 결합수단; 을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러용 테스트트레이는, 소정의 행렬 형태로 배열된 다수의 적재부를 구비한 프레임; 상기 다수의 적재부 중 적어도 하나의 적재부에 적재되는 인서트; 및 상기 인서트를 상기 프레임의 평면상 유동이 허용되도록 적재부 내에 유지시키되, 상기 인서트가 상기 프레임의 평면상 중심에 가장 가깝게 배열된 적재부에 적재되는 경우보다 상기 중심부근의 외측인 외곽에 가장 가깝게 배열된 적재부에 적재되는 경우에 그 유동의 양이 더 크게 결정되도록 하는 결합수단; 을 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 결합수단은, 상기 인서트가 상기 프레임의 평면상 중심에 멀게 배열될 수록 그 유동의 양이 더 크게 결정되도록 하는 것을 더 나은 특징으로 한다.

이하에서는 상술한 바와 같은 본 발명에 따른 테스트핸들러용 테스트트레이( 이하 '테스트트레이'라 함)에 대하여 상세히 설명한다.

본 발명의 구체적인 예에 따르면, 테스트트레이의 열팽창 또는 열수축에 따라 각각의 인서트가 테스트트레이의 중심에 대해 유동하는 방향 및 양을 분석하여 벡터로 표시하고, 프레임에 형성되는 볼트관통홀을 상기 벡터에 비례하는 장폭을 갖는 타원형의 장공으로 형성한다. 따라서 결과적으로 테스트트레이의 중심에 인접한 볼트관통홀은 원형에 가까운 정공이 되고, 테스트 트레이의 모서리에 인접한 볼트관통홀은 장폭이 45도 방향으로 경사진 타원형에 가까운 장공이 된다. 또한, 테스트트레이의 종변 중심에 인접한 볼트관통홀은 장폭이 횡방향인 장공이 되며, 횡변 중심에 인접한 볼트관통홀은 장폭이 종방향인 장공이 된다.

위와 같은 구체적인 예에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 더 상세히 설명하되, 종래기술과 동일한 구성은 동일부호를 표기하여 설명하도록 한다.

본 발명에 따른 테스트트레이는, 도8에 도시된 바와 같은 프레임(71), 도5에서 참조되는 바와 같은 인서트(11-1)들 및 결합수단 등을 포함하여 구성된다.

상기 프레임(71)은, 도8에 도시된 바와 같이, 행렬 형태로 배열된 다수의 적재부(71-1)를 구비하고 있다.

상기 인서트(11-1)들은, 각각 도5에서 참조되는 바와 같이, 푸셔 가이드 홀(11-1a) 및 소켓 가이드 홀(11-1b)이 형성되어 있다.

상기 결합수단은, 상기 인서트(11-1)에 형성되는 볼트체결공(11-3a, 도5 및 도6 참조), 상기 프레임(71)의 적재부(71-1)에 형성되는 볼트관통홀(71-3b) 및 볼트(11-3c, 도6 참조)를 포함하여 구성된다.

상기 볼트체결공(11-3a)은, 상기 인서트(11-1)에 대각선 방향으로 마주보도록 2개씩 형성되어 있으며, 상기 볼트(11-3c)의 연장된 타단, 즉, 수나사단(11-3c2)과 체결된다.

상기 볼트관통홀(71-3b)은, 도8에서 도시된 바와 같이, 프레임(71)의 각 적재부(71-1)에 상기 볼트체결공(11-3a)과 대응되도록 대각선 방향으로 마주보도록 2개씩 형성되어 있으며, 상기 볼트(11-3c)의 수나사단(11-3c2)이 통과한다. 참고로 본 실시예에서 프레임(71)에 형성된 볼트관통홀(71-3b)들은 그 배열위치에 따라서 크기 및 기울기(구배)방향에 차이를 가지나, 설명 및 도면 표기의 편의상 71-3b이라는 부호로 통일하여 표기하였다.

상기 볼트(11-3c)는 머리(11-3c1)가 상기 볼트관통홀(71-3b)에 걸리고, 연장된 수나사단(11-3c2)은 볼트관통홀(71-3b)을 통과하여 볼트체결공(11-3a)에 체결된다. 즉, 이러한 볼트(11-3c)는 인서트(11-1)를 유동가능하게 프레임(71)에 설치되도록 하면서도 적재부(71-1)에 적절히 유지시키며, 또한, 인서트(11-1)에 일체로 체결 결합되어서 인서트(11-1)와 함께 유동하되 볼트관통홀(71-3b)의 구배방향으로 인서트(11-1)의 유동을 안내하는 유동핀으로서의 역할을 하게 된다.

상기와 같은 구성에서 본 발명의 특징을 더 명확히 설명하기 위해 도8을 위시한 참조도를 통하여 더 상세히 설명한다.

도8에 도시된 바와 같이, 프레임(71)에는 다수의 적재부(71-1)가 행렬행태로 배열되어 있다. 그리고 각 적재부(71-1)에는 대각선 방향으로 볼트관통홀(71-3b)이 2개씩 형성되어 있는데, 이러한 볼트관통홀(71-3b)은 그 배열위치에 따라서 각기 다른 크기와 형상을 가진다.

예를 들어 도8의 A부분의 적재부(71-1)를 도9의 설명도를 참조하여 살펴보면, 도9에 도시된 바와 같이, 중심(C)과 해당 적재부(71-1)에 형성된 볼트관통홀(71-3b)의 중심을 가로지르는 직선(a 또는 b) 방향으로 더 긴 장공형상의 볼트관통홀(71-3b)이 형성되어 있음을 알 수 있다. 즉, 볼트관통홀(71-3b)의 단폭은 일정하되, 장폭이 직선 a 또는 b 방향으로 단폭보다 a' 또는 b'만큼 더 길게 형성되는 대략적인 타원형상인 것이다.

또한, 도8의 B부분의 적재부(71-1)를 도10의 설명도를 참조하여 살펴보면, 도10에 도시된 바와 같이, 중심(C)과 해당 적재부(71-1)에 형성된 볼트관통홀(71-3b)의 중심을 가로지르는 직선(c, d) 방향으로 더 긴 장공형상의 볼트관통홀(71-3b)이 형성되어 있음을 알 수 있다. 마찬가지로 볼트관통홀(71-3b)의 단폭은 일정하되, 장폭이 직선 c 또는 d 방향으로 단폭보다 c' 또는 d' 만큼 더 길게 형성되는 것이다.

위와 같은 이유는 테스트트레이의 특정 위치를 고려하여볼 때, 해당 특정 위치부분은 중심과 해당 특정 위치를 가로지르는 특정 직선방향으로 팽창하기 때문에, 인서트(11-1)가 특정 직선방향으로의 유동에 자유를 가지도록 하되 타 방향으로의 유동은 제한되도록 하기 위함이다. 즉, 도11의 참조도에서 도시된 바와 같이 프레임(71)의 중심을 지나가는 많은 직선이 있다고 가정할 때, 임의의 직선과 만나는 지점에 형성된 볼트관통홀(71-3b)은 해당 임의의 직선방향으로 구배를 가지는 장공형상으로 형성되는 것이다. 따라서 프레임(71)의 횡변 중심 부근에 인접한 볼 트관통홀(71-3b)은 장폭이 종방향인 장공이 되며, 종변 중심부근에 인접한 볼트관통홀(71-3b)은 장폭이 횡방향인 장공이 된다. 그리고 프레임(71)의 중심과 모서리를 잇는 직선에 인접하는 볼트관통홀(71-3b)일수록 횡축 또는 종축과 대략 45도에 근사한 구배를 가지는 장공이 된다.

또한, 도9와 도10을 비교하여 보면, a' 또는 b' 보다 c' 또는 d'이 더 길어서 전체적으로 도9에서 참조되는 볼트관통홀(71-3b)보다 도10에서 참조되는 볼트관통홀(71-3b)이 더 크다는 것을 알 수 있다. 이러한 이유는, 중심에서 먼 지점일수록 그 열팽창이나 열수축 정도가 더 크기 때문에, 인서트(11-1)의 유동량을 더 크게 하여야 할 필요가 있기 때문이다. 즉, 프레임(71)의 중심에 가깝게 위치하는 볼트관통홀(71-3b)일수록 장폭이 단폭에 가까운 정공이 되고, 프레임(71)의 중심에서 멀게 위치하는 볼트관통홀(71-3b)일수록 장폭이 단폭보다 더 커지는 장공이 된다.

상술한 바와 같이, 본 실시예에 따르면, 중심으로부터 먼 지점에 위치한 볼트관통홀(71-3b)일수록, 더 길게 형성되어서 크고, 그 구배방향이 중심으로부터 해당 볼트관통홀(71-3b)의 형성위치를 잇는 직선방향인 장공형상을 가지도록 되어 있으며, 이러한 볼트관통홀(71-3b)에 의해 인서트(11-1)의 유동의 방향 및 양이 결정되는 것이다. 즉, 본 실시예에서는 볼트관통홀(71-1b)이 인서트(11-1)의 유동의 양 및 방향을 결정하는 유동결정홀로서의 역할을 한다.

따라서 위에서 설명된 테스트트레이에 의하면, 고온 또는 저온 테스트 시에 테스트트레이의 프레임(71)이 과도하게 팽창 또는 수축하더라도 각각의 인서트(11-1)가 자신의 위치에 해당하는 팽창 또는 수축의 방향과 반대로 해당 팽창 또는 수 축 양만큼 유동할 수 있기 때문에, 테스트트레이의 중심에 대한 인서트(11-1)의 자세 및 위치는 프레임(71)의 수축 또는 팽창과 무관하게 일정한 값으로 조정된다.

한편, 본 발명을 다른 관점에서 살펴보면, 테스트트레이의 중심부근에 위치하는 인서트(11-1)가 테스트트레이의 외곽부근에 위치하는 인서트(11-1)보다 그 유동량이 크도록 하는 것임을 알 수 있다. 이러한 관점에서 볼 때, 본 발명은 테스트트레이의 가로지르는 임의의 직선상에 배열되며, 중심과의 거리가 서로 다른 두개의 인서트(11-1)를 고려하여 볼 때, 중심과의 거리가 먼 인서트(11-1)가 중심과의 거리가 가까운 인서트보다 그 유동량이 더 크게 결정되는 것으로도 설명될 수 있다. 따라서, 본 발명은 테스트트레이의 중심을 가로지는 적어도 하나의 직선상에 배열되는 임의의 두개의 인서트(11-1)를 고려하여 볼 때, 임의의 직선상에서 중심과의 거리가 먼 인서트(11-1)가 중심과의 거리가 가까운 인서트(11-1)보다 그 유동량이 더 크게 결정되는 예를 적어도 하나 이상 가지도록 되어 있는 경우까지를 포함하는 것이다.

위에서 설명한 바와 같이 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시 예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시 예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시 예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.

첫째, 테스트트레이에 행렬 행태로 배열되는 인서트들이 행렬상의 위치에 따라서 유동량이 조정될 수 있도록 함으로써, 대형 테스트트레이 및 매치플레이트의 적용이 가능하게 되어, 궁극적으로 테스트핸들러 및 테스트에 의해 1회에 처리될 수 있는 반도체소자의 개수를 늘릴 수 있게 된다.

둘째, 테스트트레이에 행렬 상태로 배열되는 인서트들이 테스트트레이의 열팽창 또는 열수축 방향에 대응하는 유동방향을 가지도록 하는 한편, 그 외 방향으로의 유동을 제한함으로써 보다 더 적절히 테스트트레이의 대형화 및 매치플레이트의 대형화를 가져올 수 있다.

Claims

소정의 행렬 형태로 배열된 다수의 적재부를 구비한 프레임;

상기 다수의 적재부 중 적어도 하나의 적재부에 적재되는 인서트; 및

상기 인서트를 상기 프레임의 평면상 유동이 허용되도록 적재부 내에 유지시키되, 그 최대 유동의 양 및 방향을 제한하고, 그 최대 유동의 양 및 방향은 상기 인서트가 적재된 적재부의 행렬상 위치에 따라 결정되도록 하는 결합수단; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트핸들러용 테스트트레이.
제1항에 있어서,

상기 결합수단은, 상기 인서트가 적재된 적재부의 행렬상 위치가 상기 프레임의 평면상의 중심에서 멀수록 상기 인서트가 더 큰 유동의 양을 가지도록 하는 것을 특징으로 하는 테스트핸들러용 테스트트레이.
제2항에 있어서,

상기 결합수단은,

상기 프레임에 형성되며, 형성 위치가 상기 프레임의 평면상의 중심에서 멀수록 더 큰 형상을 가지는 유동결정홀; 및

일단은 상기 유동결정홀에 걸리고, 연장된 타단은 상기 유동결정홀을 유동가능한 상태로 여유 있게 관통하여 상기 인서트에 결합되는 유동핀; 을 포함하 는 것을 특징으로 하는 테스트핸들러용 테스트트레이.
제3항에 있어서,

상기 유동결정홀은, 상기 프레임의 평면상의 중심과 그 형성위치를 잇는 직선방향으로 구배를 가지는 장공 형상인 것을 특징으로 하는 테스트핸들러용 테스트트레이.
소정의 행렬 형태로 배열된 다수의 적재부를 구비한 프레임;

상기 다수의 적재부 중 적어도 하나의 적재부에 적재되는 인서트; 및

상기 인서트를 상기 프레임의 평면상 유동이 허용되도록 적재부 내에 유지시키되, 그 최대 유동의 양이 상기 인서트가 적재된 적재부의 행렬상 위치에 따라 결정되도록 하는 결합수단; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트핸들러용 테스트트레이.
소정의 행렬 형태로 배열된 다수의 적재부를 구비한 프레임;

상기 다수의 적재부 중 적어도 하나의 적재부에 적재되는 인서트; 및

상기 인서트를 상기 프레임의 평면상 유동이 허용되도록 적재부 내에 유지시키되, 그 유동 방향이 상기 인서트가 적재된 적재부의 행렬상 위치에 따라 결정되도록 하는 결합수단; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트핸들러용 테스트트레이.
소정의 행렬 형태로 배열된 다수의 적재부를 구비한 프레임;

상기 다수의 적재부 중 적어도 하나의 적재부에 적재되는 인서트; 및

상기 인서트를 상기 프레임의 평면상 유동이 허용되도록 적재부 내에 유지시키되, 상기 인서트가 상기 프레임의 평면상 중심에 가장 가깝게 배열된 적재부에 적재되는 경우보다 상기 중심부근의 외측인 외곽에 가장 가깝게 배열된 적재부에 적재되는 경우에 그 유동의 양이 더 크게 결정되도록 하는 결합수단; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트핸들러용 테스트트레이.
제7항에 있어서,

상기 결합수단은, 상기 인서트가 상기 프레임의 평면상 중심에 멀게 배열될 수록 그 유동의 양이 더 크게 결정되도록 하는 것을 특징으로 하는 테스트핸들러용 테스트트레이.