KR20070081715A - 액정표시장치의 세정장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

액정표시장치의 세정장치 및 세정방법이 개시된다. 액정표시장치의 세정장치는 기판상에 세정액을 공급하는 세정액 공급장치 및 세정액 공급장치에 연결되고 기판 상의 세정액을 흡입하여 제거하는 흡입장치를 포함한다. 따라서, 세정액을 공급하여 기판의 세정 후 기판 상의 세정액을 흡입하여 세정액 탱크 내로 다시 유입시킴에 따라 세정액을 재사용할 수 있어 세정 효율을 향상시킬 수 있다.

Description

액정표시장치의 세정장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR RINSING OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE}
도 1은 본 발명에 따른 액정표시장치의 세정장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 세정장치의 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 세정액 공급장치의 배면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 액정표시장치의 세정장치에 의한 세정방법을 수행하기 위한 플로우챠트이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
100 : 모기판 200 : 스테이지
400 : 세정액 공급장치 410 : 공급노즐
420 : 흡입노즐 500 : 흡입장치
600 : 세정액 탱크 700 : 공급라인
800 : 흡입라인
본 발명은 액정표시장치의 세정장치 및 세정방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 세정 공정을 보다 효율적으로 수행하기 위한 액정표시장치의 세정장치 및 세정방법에 관한 것이다.
일반적으로, 액정표시장치는 각 화소를 스위칭하는 박막 트랜지스터(TFT: Thin Film Transistor) 및 화소전극이 형성된 TFT 기판과, 컬러필터 및 공통 전극이 형성된 컬러필터 기판 및 두 기판 사이에 밀봉된 액정으로 구성된 액정표시패널과 액정표시패널에 광을 제공하는 백라이트 어셈블리를 포함한다.
액정표시패널은 모바일 기기에서 대형 TV에 이르기까지 다양한 영역에서 사용되고 있다. 또한, 대형 TV 등의 대형 화면의 장치에 사용되는 액정표시패널을 제작하기 위하여 모기판(Mother Glass)의 사이즈가 점차적으로 증가하고 있는 추세이다.
이처럼 모기판의 사이즈가 점차적으로 커짐에 따라 세정 공정시에 사용되는 세정액의 양이 증가한다. 즉, 세정액을 분사 나이프(knife)에 의해 모기판에 분사하는 경우, 분사된 세정액은 대부분 모기판 상에 그대로 잔류하게 된다.
따라서, 세정액이 모기판 상에 그대로 잔류하기 때문에 세정액을 재사용하기 어렵다. 또한, 모기판의 세정 후 모기판 상에 잔류하는 세정액이 얼룩으로 작용한다.
따라서, 본 발명의 목적은 세정 공정을 효율적으로 수행하기 위한 액정표시장치의 세정장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 상기한 액정표시장치의 세정장치의 세정방법을 제공함에 있다.
본 발명에 따른 액정표시장치의 세정장치는 기판상에 세정액을 공급하는 세정액 공급장치 및 상기 세정액 공급장치에 연결되고, 상기 기판 상의 세정액을 흡입하여 제거하는 흡입장치를 포함한다.
상기 세정액 공급장치는 길이에 대응하는 방향으로 배면의 제1 열에 일렬로 형성되어 상기 세정액을 공급되는 다수의 공급 노즐 및 상기 제1 열에 평행하도록 배면의 제2 열에 일렬로 형성되어 상기 모기판 상의 세정액이 흡입되는 다수의 흡입 노즐을 포함한다.
이러한 액정표시장치의 세정장치 및 세정방법에 따르면, 세정액을 공급하여 기판의 세정 후 기판상의 세정액을 흡입하여 세정액 탱크 내로 다시 유입시킴에 따라 세정액을 재사용할 수 있어 세정 효율을 향상시킬 수 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 액정표시장치의 세정장치 및 방법을 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 액정표시장치의 세정장치를 개략적으로 나타낸 도면이다. 도 2는 도 1에 도시된 세정장치의 사시도이고, 도 3은 도 1에 도시된 세정액 공급장치의 배면도이다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 액정표시장치의 세정장치는 모기판(100)이 상부에 위치하는 스테이지(200), 스테이지(200)를 세정 진행방 향(A)으로 이송하는 이송장치(300), 모기판(100) 상에 세정액을 공급하는 세정액 공급장치(400) 및 모기판(100) 상의 세정액을 흡입하는 흡입장치(500)를 포함한다.
또한, 액정표시장치의 세정장치는 내부에 상기 세정액이 담겨진 세정액 탱크(600), 세정액 탱크(600) 내의 세정액을 세정액 공급장치(400)로 이동시키는 공급라인(700) 및 흡입장치(500)에 의해 흡입된 세정액을 세정액 탱크(600)로 이동시키는 흡입라인(800)을 더 포함한다.
상기 세정액 공급장치(400)는 봉 형태로 형성되고, 세정 진행방향(A)에 수직한 모기판(100)의 일변에 대응하는 길이의 장축을 가진다. 또한, 세정액 공급장치(400)는 장축방향으로 제1 열에 일렬로 배열되어 상기 세정액을 모기판(100) 상에 제공하는 다수의 공급노즐(410) 및 제2 열에 일렬로 배열되어 모기판(100) 상의 세정액을 흡입하는 다수의 흡입노즐(420)을 포함한다. 상기 공급노즐(410) 및 흡입노즐(420)은 세정액 공급장치(400)의 배면에 형성된다.
이때, 세정액 공급장치(400)는 공급노즐(410)을 통해 상기 세정액을 모기판(100) 상에 흘려주는 형태로 제공한다. 상기 세정액은 이소프로필알콜(IPA)이다.
한편, 흡입장치(500)는 세정액 공급장치(400)에 연결되어 흡입노즐(420)을 통해 모기판(100) 상의 세정액을 흡입한다.
즉, 본 발명에 따른 액정표시장치의 세정장치는 세정액 공급장치(400)는 공급노즐(410)을 통해 모기판(100) 상에 세정액을 공급한다. 이때, 세정액 공급장치(400)는 공급라인(700)을 통해 세정액 탱크(600) 내의 세정액을 공급받는다.
이어, 흡입장치(500)에 의해 세정액 공급장치(400)의 흡입노즐(420)을 통해 모기판(100)의 세정 후 모기판(100) 상에 남은 세정액을 흡입한다. 이때, 흡입노즐(420)에 의해 흡입된 세정액은 흡입라인(800)을 통해 세정액 탱크(600) 내로 이동한다.
이를 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저, 이송장치(320)는 모기판(300)이 위치하는 스테이지(310)를 세정 진행방향(A)으로 이송한다. 이때, 세정액 공급장치(400)는 고정된 상태이다.
따라서, 스테이지(310)가 세정 진행방향(A)으로 방향으로 이송됨에 따라 세정액 공급장치(330)의 공급 노즐(332)을 통해 모기판(300) 상의 일변부분부터 세정액이 공급된다.
이어, 상기 세정액이 공급되어 모기판(100)의 세정이 이루어진 후 연이어, 흡입장치(500)가 동작된다. 이로 인해, 세정액 공급장치(400)의 흡입노즐(420)에 의해 모기판(100) 상의 세정액이 흡입된다. 이때, 흡입노즐(420)을 통해 흡입된 세정액은 흡입라인(800)을 경유하여 세정액 탱크(600) 내로 다시 유입된다.
따라서, 모기판(100)의 세정에 사용되었던 세정액을 다시 이후에 재사용할 수 있게된다. 또한, 세정 완료후 모기판(100) 상에 세정액이 제거된다.
본 발명에 따른 액정표시장치의 세정장치에 의한 세정방법을 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 4는 본 발명에 따른 액정표시장치의 세정장치에 의한 세정방법을 수행하기 위한 플로우챠트이다.
먼저, 이송장치(320)는 세정 진행방향(A)으로 스테이지(310)를 이송시키고, 세정액 공급장치(330)는 상기 스테이지(310)가 이송됨과 동시에 상기 모기판(300) 상의 세정액을 공급한다(S900).
이때, 세정액 공급장치(400)는 세정액 탱크(600)에 연결된 공급라인(700)을 통해 세정액을 공급받고, 공급된 세정액을 공급노즐(410)을 통해 모기판(100) 상에 흘려주는 형태로 제공한다.
이어, 흡입장치(340)는 흡입동작을 수행함에 따라 모기판(300) 상의 세정액을 세정액 공급장치(400)의 흡입노즐(420)을 통해 흡입한다(S910). 이때, 흡입노즐(420)을 통해 흡입된 세정액은 흡입라인(800)을 통해 세정액 탱크(600)로 다시 유입된다.
상기에서 본 발명은 상기 모기판(300) 상에 이소프로필알콜의 세정액을 공급한 후 제거하는 경우를 예로 들어 설명하였으나, 소정의 패턴 형성을 위한 식각액을 공급하는 제거하는 경우에도 적용될 수 있다. 즉, 소정의 금속막을 형성하기 위하여 세정액 공급장치(400)에 의해 소정의 식각액을 제공하고, 이후에 상기 식각액을 상기 흡입장치(330)에 의해 제거한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 액정표시장치의 세정장치는 세정액 공급장치에 의해 모기판 상에 세정액을 공급하고, 이후에 흡입장치에 의해 모기판 상의 세정액을 흡입하여 제거한다. 이때, 흡입된 세정액은 세정액 탱크 내로 다시 유입된다.
따라서, 모기판의 세정시 사용한 세정액을 흡입하여 재사용함으로써, 세정액 사용량을 감소시킬 수 있고, 세정 이후에 모기판 상에 잔류하는 세정액을 제거할 수 있어 세정액에 의한 모기판의 오염을 방지할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (5)

  1. 기판 상에 세정액을 공급하는 세정액 공급장치; 및
    상기 세정액 공급장치에 연결되고, 상기 기판 상의 상기 세정액을 흡입하여 상기 세정액 공급장치로 제공하는 흡입장치를 포함하는 세정장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 세정액 공급장치는 상기 기판의 일변에 대응하는 길이를 갖는 봉 형상인 것을 특징으로 하는 세정장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 세정액 공급장치는,
    상기 길이에 대응하는 방향으로 배면의 제1 열에 일렬로 형성되어 상기 세정액이 공급되는 다수의 공급 노즐; 및
    상기 제1 열에 평행하도록 배면의 제2 열에 일렬로 형성되어 상기 기판 상의 세정액이 흡입되는 다수의 흡입 노즐을 포함하는 것을 특징으로 하는 세정장치.
  4. 제1항에 있어서, 내부에 상기 세정액이 담겨진 세정액 탱크;
    상기 세정액 탱크 내의 세정액을 상기 세정액 공급유닛으로 이송시키는 공급 라인; 및
    상기 흡입장치에서 흡입된 세정액을 상기 세정액 탱크로 다시 유입시키는 흡입라인을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 세정장치.
  5. 기판 상에 세정액을 공급하는 단계; 및
    상기 기판의 세정후 상기 기판 상의 세정액을 흡입하여 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 세정방법.
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