KR20070070948A - 평판표시소자 제조 공정용 식각 장비 및 이를 이용한 제조방법 - Google Patents

평판표시소자 제조 공정용 식각 장비 및 이를 이용한 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 평판표시소자 제조 공정용 장비 및 제조 방법에 관한 것으로써, 특히, 기판의 식각을 위한 식각 장비의 전체적인 풋프린트(footprint)를 최소화시킬 수 있도록 함과 더불어 기판의 반송 도중 파손이나 손상됨을 방지할 수 있도록 한 새로운 구조의 스토퍼가 적용된 평판표시소자 제조 공정용 식각 장비 및 이를 이용한 평판표시소자 제조 방법에 관한 것이다.
이를 위해 본 발명은, 기판을 로딩하거나 언로딩하는 로더부(loader); 상기 로딩된 기판을 제공받아 원하는 형상으로 식각하는 식각부; 상기 식각된 기판을 제공받아 식각 과정에서 발생된 미세 입자를 세정하는 세정부; 상기 세정된 기판을 제공받아 건조하는 건조부(air knife); 그리고, 상기 각 구성 간의 사이 중 적어도 어느 한 부위에 구비되며, 기판의 반송 방향을 반전하는 반전부:를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판표시소자 제조 공정용 식각 장비를 제공한다.
평판표시소자 제조 공정용 식각 장비, 식각부, 반전부, 스토퍼

Description

평판표시소자 제조 공정용 식각 장비 및 이를 이용한 제조 방법{etching device for manufacturing of flat panel display device and manufacturing method thereof}
도 1 은 종래의 평판표시소자 제조 공정용 식각 장비의 레이아웃을 개략적으로 나타낸 블럭도
도 2 는 본 발명의 실시예에 따른 평판표시소자 제조 공정용 식각 장비의 레이아웃을 개략적으로 나탄내 블럭도
도 3 은 본 발명의 실시예에 따른 반입측 반전부의 구조를 설명하기 위한 개략적인 요부 확대 사시도
도 4 는 본 발명의 실시예에 따른 반입측 반전부의 구조를 설명하기 위한 개략적인 요부 확대 사시도
도 5 는 본 발명의 실시예에 따른 스토퍼가 원통형으로 구성될 경우 기판이 손상되는 상태를 설명하기 위한 개략적인 측단면도
도 6 은 본 발명의 실시예에 따른 제1스토퍼를 설명하기 위한 개략적인 측단면도
도 7 은 본 발명의 실시예에 따른 제2스토퍼를 설명하기 위한 개략적인 측단면도
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
100. 로더부 110. 로봇암
200. 식각부 300. 세정부
400. 건조부 510. 중립부
520. 버퍼부 600. 반입측 반전부
610. 제1반입 롤러부 620. 제1반출 롤러부
630,730. 승강 실린더 640. 제1스토퍼
650,750. 힌지 700. 반출측 반전부
710. 제2반입 롤러부 720. 제2반출 롤러부
740. 제2스토퍼
본 발명은 평판표시장치 제조 장비 및 제조 방법에 관한 것으로써, 더욱 구체적으로는 액정표시장치 등의 디스플레이장치에 사용되는 기판의 식각 공정을 위한 장비 및 이를 이용한 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 박막트랜지스터 어레이(Thin film transistor array)는 여러 단계의 증착 및 식각 공정을 거쳐 완성된다.
상기한 식각 공정은 크게 건식 식각 방법과 습식 식각 방법으로 구분된다.
상기 건식 식각 방법은 플라즈마 가스를 이용하여 반도체층이나 금속 등을 제거하는 방법으로, 플라즈마 식각과, 스퍼터링 식각 및 이온 반응성 식각 등이 이에 속한다.
또한, 상기 습식 식각 방법은 식각 대상의 식각 하고자 하는 막과 화학적으로 반응하여 용해시킬 수 있는 화학용액을 사용하여 식각 대상을 원하는 형상으로 식각하는 방법으로, 딥 식각(dip etching)과, 스프레이 식각(spray etching) 등이 이에 속한다.
첨부된 도 1은 통상의 습식 식각 장비에 대한 전체적인 레이아웃이 도시되고 있다.
즉, 종래 습식 식각 장비는 크게 로더부(loader)(10)와, 식각부(20)와, 세정부(DI rinse)(30)와, 건조부(air knife)(40)와, 버퍼부(buffer)(50) 및 언로더부(unloader)(60)를 포함하여 구성된다.
그러나, 전술한 종래의 습식 식각 장비는 각 장치(10,20,30,40,50,60)들의 배치가 도시된 바와 같이 인라인을 이루도록 구성되기 때문에 전체적인 레이아웃의 풋프린트(footprint)가 길어질 수밖에 없었던 문제점을 가진다.
특히, 상기한 풋프린트의 증가는 습식 식각 장비의 구축을 위한 공장 부지의 증가를 야기시켰으므로 이에 대한 개선 역시 시급하게 요구되고 있는 실정에 있다.
본 발명은 상기한 종래의 각종 문제점들을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 평판표시소자 제조 공정용 기판의 식각을 위한 식각 장비의 전체적인 풋프린트(footprint)를 최소화시킬 수 있도록 한 새로운 구조의 평판표시소자 제조 공정용 식각 장비 및 이를 이용한 평판표시소자 제조 방법을 제공하고자 한 것이다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 기판의 반송도중 파손이나 손상됨을 방지할 수 있도록 한 새로운 구조의 스토퍼가 적용된 평판표시소자 제조 공정용 식각 장비를 제공하고자 한 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 평판표시소자 제조 공정용 식각 장비는, 기판을 로딩하거나 언로딩하는 로더부(loader); 상기 로딩된 기판을 제공받아 원하는 형상으로 식각하는 식각부; 상기 식각된 기판을 제공받아 식각 과정에서 발생된 미세 입자를 세정하는 세정부; 상기 세정된 기판을 제공받아 건조하는 건조부(air knife); 그리고, 상기 각 구성 간의 사이 중 적어도 어느 한 부위에 구비되며, 기판의 반송 방향을 반전하는 반전부:를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.
또한, 상기 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 평판표시소자 제조 공정용 식각 장비는, 기판의 공정 진행 방향을 변경하는 반전부를 포함하여 구축된 장비에 있어서, 상기 반전부는 기판을 반입받도록 설치된 반입 롤러부와, 승강 가능하게 구비되면서 기판을 반출하도록 설치된 반출 롤러부와, 상하의 직경이 다르게 형성되면서 기판의 과도한 반입됨을 방지하는 스토퍼를 각각 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 평판표시소자 제조 방법은 로더 부를 제어하여 식각부에 기판을 로딩하는 로딩단계; 상기 식각부를 제어하여 상기 로딩된 기판을 제공받아 원하는 형상으로 식각하는 식각단계; 반전부를 제어하여 상기 식각부로부터 반출된 기판이 세정부가 배치된 측으로 반전시켜 제공하는 반전단계; 상기 세정부를 제어하여 상기 제공받은 기판을 세정하는 세정단계; 건조부를 제어하여 상기 세정된 기판을 반입 받아 건조하는 건조단계; 그리고, 상기 로더부를 제어하여 상기 건조부로부터 반출된 기판을 제공받아 언로딩하는 언로딩단계:가 포함되어 진행됨을 특징으로 한다.
이하, 본 발명에 따른 평판표시소자 제조 공정용 식각 장비의 바람직한 실시예들을 첨부된 도 2 내지 도 7을 참조하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저, 첨부된 도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 평판표시소자 제조 공정용 식각 장비의 각 장치에 대한 배치 구조를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
이를 통해 알 수 있듯이, 본 발명의 실시예에 따른 평판표시소자 제조 공정용 식각 장비는 크게 로더부(loader)(100)와, 식각부(200)와, 세정부(DI rinse)(300)와, 건조부(air knife)(400)와, 반전부(turn stage)(600,700)를 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 로더부(100)는 기판(1)을 로딩(loading)하거나 언로딩(unloading)하도록 구성된 장치로써 적어도 하나 이상의 로봇 암(robot arm)(110)을 포함하여 구성된다.
물론, 상기한 로더부(100)는 컨베이어나 롤러 등의 구조를 이용하여 상기 기판(1)을 로딩하거나 언로딩하도록 구성될 수도 있다.
그리고, 상기 식각부(200)는 상기 로더부(100)로부터 기판(1)을 제공받아 상기 기판(1)을 원하는 형상으로 식각하는 장치이다.
이때, 상기한 식각부(200)는 식각 용액을 공급받아 식각하도록 구성된 습식 식각 장치로 구성됨을 실시예로 한다.
특히, 상기 식각부(200)는 상기 로더부(100)와 나란히 배치된다.
물론, 첨부된 도 2와 같이 상기 로더부(100)와 상기 식각부(200) 사이에는 상기 식각부(200)에 존재하는 강한 산성 용액으로부터 상기 로더부(100)의 부식을 막기 위한 완충 공간으로 설치된 중립부(neutral)(510)가 더 구비됨이 바람직하다.
그리고, 상기 세정부(300)는 상기 식각된 기판(1)을 제공받아 식각 과정에서 기판(1)으로부터 떨어져나온 미세 입자 및 에천트 용액을 세정하는 장치이다.
이때, 상기 세정부(300)에서는 초순수물(DI;De-Ionized water)를 이용하여 식각 과정에서 사용된 에천트 용액을 제거하게 된다.
특히, 상기한 세정부(300)는 상기 식각부(200)와는 공정 진행 방향을 기준으로 볼 때 서로 반대되는 방향을 따라 공정이 진행되도록 배치된다.
즉, 첨부된 도 2와 같이 상기 세정부(300)는 상기 식각부(200)와는 반대편에 배치되는 것이다.
그리고, 상기 건조부(400)는 상기 세정부(300)에 의해 세정된 기판(1)을 제공받아 건조시키도록 구성된 장치이다.
이때, 상기 건조부(400)에서는 기판(1)을 향해 공기를 분사함으로써 상기 기판(1)에 잔류하는 물기를 제거하게 된다.
특히, 상기한 건조부(400)는 상기 세정부(300)의 기판 유출측에 배치되며, 상기 건조부(400)를 통과한 기판(1)은 로더부(100)에 의해 언로딩된다.
물론, 상기 건조부(400)와 상기 로더부(100) 사이에는 첨부된 도 2와 같이 상기 건조된 기판을 임시 보관하는 버퍼부(520)가 더 구비됨이 바람직하다.
그리고, 상기 반전부(600,700)는 공정 진행 방향에 따라 기판(1)을 반전시키도록 구성된 장치이다.
이때, 상기 반전부(600,700)는 전술된 각 장치(200,300,400) 간의 사이 중 적어도 어느 한 부위에 구비되는데, 본 발명의 실시예에서는 상기 반전부(600,700)가 상기 식각부(200)의 기판 유출측과 상기 세정부(300)의 기판 유입측에 배치됨을 제시한다.
특히, 본 발명의 실시예에서는 상기한 반전부(600,700)가 반입측 반전부(600)와 반출측 반전부(700)를 포함하여 구성됨을 제시한다.
이때, 상기 반입측 반전부(600)는 상기 식각부(200)로부터 기판(1)을 반입받아 상기 반입받는 방향에 대하여 수직한 방향으로 반송하도록 구성된다.
또한, 상기 반출측 반전부(700)는 상기 반입측 반전부(600)로부터 기판(1)을 제공받아 상기 제공받는 방향에 대하여 수직한 방향(세정부가 위치된 방향)으로 반출하도록 구성된다.
전술한 바와 같은 각 반전부(600,700)의 기판(1)을 반전시키기 위한 구조는 다양하게 이루어질 수 있다. 이러한 다양한 구조 중 본 발명의 실시예에서는 서로 직교된 방향으로 승강 및 구름 동작을 수행하면서 상기 기판(1)을 반송하는 일련의 구조로 이루어짐을 제시한다.
하기에서는, 상기 기판(1)이 반전된 상태로 반송될 수 있도록 하기 위한 일련의 구조를 첨부된 도 3 내지 도 7을 참조하여 보다 상세히 설명한다.
우선, 도 3 및 도 4와 같이 반입측 반전부(600) 및 반출측 반전부(700)는 기판(1)을 반입 받도록 설치된 반입 롤러부(610,710)와, 기판을 반출하도록 설치된 반출 롤러부(620,720)를 포함하여 구성된다.
상기한 반입 롤러부(610,710) 및 반출 롤러부(620,720)는 구름 운동이 가능한 다수의 롤러(611,621,711,721)와, 이 롤러(611,621,711,721)들을 관통하여 결합되면서 회전되는 구동축(612,622,712,722) 및 상기 구동축(612,622,712,722)을 구동하는 구동모터(613,623,713,723)를 포함하여 구성된다.
이때, 상기 반출 롤러부(620,720)는 상기 반입 롤러부(610,710)에 대하여 직교된 방향을 향해 구르도록 설치된다.
이와 함께, 상기 반출 롤러부(620,720)는 승강 가능하게 설치된다. 이는 상기 반입측 반전부(600)의 반출 롤러부(620)와 반출측 반전부(700)의 반입 롤러부(710)를 구성하는 적어도 어느 하나의 구동축에 승강 실린더(630,730)를 결합함으로써 달성된다.
또한, 상기한 구동축(612,622,712,722)은 적어도 하나 이상의 다수로 구성된다. 이때, 상기 구동모터(613,623,713,723)는 도시된 바와 같이 상기 각 구동축(612,622,712,722) 모두에 각각 구비될 수도 있지만, 하나로만 구성되어 벨트나 체인 등에 의해 상기 각 구동축(612,622,712,722) 모두를 구동시키도록 구성될 수도 있다.
특히, 반입측 반전부(600)를 구성하는 반입 롤러부(이하, “제1반입 롤러부”라 한다)(610)의 구동축(이하, “제1구동축”이라 한다)(612)은 반출 롤러부(이하, “제1반출 롤러부”라 한다)(620)의 구동축(이하, “제2구동축”이라 한다)(622)에 비해 하측에 위치되고, 상기 제1반입 롤러부(610)의 각 롤러(이하, “제1롤러”라 한다)(611)는 상기 제1반출 롤러부(620)의 각 롤러(이하, “제2롤러”라 한다)(621)에 비해 그 직경이 크게 형성된다.
또한, 상기 반출측 반전부(700)를 구성하는 상기 반입 롤러부(이하, “제2반입 롤러부”라 한다)(710)의 구동축(이하, “제3구동축”이라 한다)(712)는 반출 롤러부(이하, “제2반출 롤러부”라 한다)(720)의 구동축(이하, “제4구동축”이라 한다)(722)에 비해 상측에 위치되고, 상기 제2반입 롤러부(710)의 각 롤러(이하, “제3롤러”라 한다)(711)는 상기 제2반출 롤러부(720)의 각 롤러(이하, “제4롤러”라 한다)(721)에 비해 그 직경이 작게 형성된다.
또한, 상기한 각 반전부(600,700)에는 기판(1)의 과도한 진입을 차단하는 적어도 하나 이상의 스토퍼(stopper)(640,740)가 더 포함되어 구성된다. 이때, 상기 각 스토퍼(640,740)는 고무나 수지(예컨대, 테프론 등) 재질로 형성된다.
또한, 상기 각 스토퍼(640,740)는 첨부된 도 6 및 도 7과 같이 상하의 직경이 다르게 형성됨이 바람직하다.
만일, 상기한 각 스토퍼(640,740)는 원통형으로 형성될 경우 상기 각 반전부(600,700)로 진입되는 기판(1)과의 계속적인 접촉(충격)으로 인해 상기 각 스토퍼 (640,740)의 둘레면 중 특정 부위는 점차 형상 변형이 이루어진다.
즉, 첨부된 도 5와 같이 상기 각 스토퍼(640,740)의 둘레면으로 상기 기판(1)의 잦은 접촉에 의해 상기 각 스토퍼(640,740)의 둘레면 중 특정 부위가 내측으로 파일 수 있는 것이다.
특히, 상기한 각 스토퍼(640,740)의 형상 변형에 의해 해당 부위(파여진 부위;이하, “손상부”라 함)(N)로 기판(1)이 요입되면, 상기 각 반전부(600,700)의 제1반출 롤러부(620) 및 제2반입 롤러부(710)가 상향 이동 혹은, 하향 이동되는 과정에서 상기 기판(1)이 상기 각 스토퍼(640,740)의 손상부(N)에 걸려 상기 기판(1)의 일부(도면상 “A”부분)가 파손되었던 문제점이 야기될 수 있다.
따라서, 상기한 각 스토퍼(640,740)는 본 발명의 실시예로 제시되는 첨부된 도 6 및 도 7과 같이 상하의 직경이 달리 형성되도록 함이 가장 바람직한 것이다.
즉, 반입측 반전부(600)에 구비되는 각 스토퍼(이하, “제1스토퍼”라 함)(640)는 첨부된 도 6과 같이 상부측 직경이 하부측 직경에 비해 작은 형상으로 형성됨이 바람직한 것이다. 특히, 상기 각 제1스토퍼(640)는 하부측으로부터 상부측으로 갈수록 점차적으로 직경이 작아지는 사다리꼴 형상으로 형성됨이 더욱 바람직하다.
이는, 상기 반입측 반전부(600)로 반입된 기판(1)이 반출측 반전부(700)로 반송되기 위해서는 제1반출 롤러부(620)가 상향 이동되기 때문이다. 즉, 상기 각 제1스토퍼(640)를 사다리꼴 형상으로 형성할 경우 기판(1)이 상향 이동되더라도 상기 기판(1)이 상기 제1스토퍼(640)와 접촉됨은 완전히 방지될 수 있게 된다.
이와 함께, 반출측 반전부(700)에 구비되는 각 스토퍼(이하, “제2스토퍼”라 함)(740)는 첨부된 도 7과 같이 상부측 직경이 하부측 직경에 비해 큰 형상으로 형성됨이 바람직하다. 특히, 상기 각 제2스토퍼(740)는 하부측으로부터 상부측으로 갈수록 점차적으로 직경이 커지는 역사다리꼴 형상으로 형성됨이 더욱 바람직하다.
이는, 상기 반출측 반전부(700)로 반입된 기판(1)이 세정부(300)로 반송되기 위해서는 제1반입 롤러부(710)가 하향 이동되기 때문이다. 즉, 상기 각 제2스토퍼(740)를 역사다리꼴 형상으로 형성할 경우 기판(1)이 하향 이동되더라도 상기 기판(1)이 상기 제2스토퍼(740)와 접촉됨은 완전히 방지될 수 있게 된다.
물론, 전술한 제1스토퍼(640) 및 제2스토퍼(740)는 상측 혹은, 하측으로 갈수록 직경이 축소되도록 다단지게 형성될 수도 있다.
또한, 전술한 바와 같은 각 제1스토퍼(640) 및 제2스토퍼(740)들은 상기 기판(1)의 반입 및/반출 방향을 향해 회전 가능하도록 힌지(650,750)로 결합됨이 더욱 바람직하다.
이는, 상기 기판(1)이 반입되는 과정 및 반출되는 과정에서 각 스토퍼(640,740)와의 마찰을 최소화하기 위함이다.
이상에서는 본 발명의 실시예에 따른 평판표시소자 제조 공정용 식각 장비가 설명되었고, 이하에서는 전술한 본 발명의 실시예에 따른 평판표시소자 제조 공정용 식각 장비를 이용한 기판의 식각 과정에 대하여 설명한다.
우선, 로더부(100)를 제어하여 식각하고자 하는 기판(1)을 식각부(200)로 로딩한 후 상기 식각부(200)를 제어하여 상기 로딩된 기판을 식각한다.
이에 따라, 상기 기판(1)은 상기 식각부(200)에서 원하는 형상으로 식각되고, 상기 식각 공정이 완료된 기판(1)은 각 반전부의 구동 제어에 의해 상기 식각부(200)로부터 반출된 후 반입측 반전부(600)로 제공된다.
이때, 상기 기판(1)은 상기 반입측 반전부(600)의 제1반입 롤러부(610)에 얹혀 상기 제1구동모터(613)의 구동에 따른 제1롤러(611)의 구름에 의해 상기 반입측 반전부(600) 내로 완전히 반입된다.
또한, 상기 기판(1)이 상기 반입측 반전부(600)로 반입되는 도중 상기 반입측 반전부(600)에 구비된 제1스토퍼(640)에 의해 상기 기판(1)의 과도한 반입은 방지된다.
그리고, 상기 기판(1)의 반입이 완료되면 상기 제1반입 롤러부(610)의 구동이 중단됨과 동시에 승강 실린더(630)가 구동되면서 제1반출 롤러부(620)를 상향 이동시키게 된다.
이에 따라, 상기 제1반입 롤러부(610)의 각 제1롤러(611)에 얹혀져 있던 기판(1)은 상기 제1반출 롤러부(620)의 각 제2롤러(621) 상면에 얹히게 된다.
또한, 상기한 제1반출 롤러부(620)가 상향 이동되는 과정에서, 상기 제1스토퍼(640)는 상부로 갈수록 직경이 작아지는 사다리꼴 형상으로 형성되어 있기 때문에 상기 기판(1)이 그 상승 도중 상기 제1스토퍼(640)와 접촉됨은 방지된다. 이로 인해 상기 기판(1)의 파손 역시 방지된다.
그리고, 상기 제1반출 롤러부(620)의 상향 이동이 완료되면 제2구동모터(623)가 구동되면서 제2구동축(622)이 회전되며, 이로 인해 제2롤러(621)의 구름이 이루어진다. 이때, 상기 제2구동축(622)은 상기 제2롤러(621)가 제2반입 롤러부(710)가 위치된 측으로 구르도록 회전된다.
따라서, 상기 기판(1)은 상기 제1반출 롤러부(620)의 각 제2롤러(621)가 구르는 방향 즉, 최초 로딩 방향과는 수직한 방향을 따라 이동되면서 반출측 반전부(700)를 구성하는 제2반입 롤러부(710)의 각 제3롤러(711)의 상면으로 제공된다. 이때, 상기 제2반입 롤러부(710)는 승강 실린더(730)의 구동에 의해 제2반출 롤러부(720)에 비해 상향 이동된 상태이다.
또한, 상기 기판(1)이 상기 제1반출 롤러부(620)의 구름에 의해 반출측 반전부(700)로 반송되는 도중에는 그 유동에 의해 제1스토퍼(640)와의 접촉이 발생될 수 있다. 하지만, 상기 제1스토퍼(640)가 상기 기판(1)의 반송 방향을 따라 회전 가능하게 결합되어 있기 때문에 상기 제1기판(1)과 상기 제1스토퍼(640) 간의 마찰은 극히 적다.
특히, 상기와 같이 기판(1)이 상기 반출측 반전부(700)로 반송되는 도중 상기 기판(1)은 상기 반출측 반전부(700)에 구비된 제2스토퍼(740)에 의해 과도한 반입이 방지된다.
그리고, 전술한 일련의 과정에 의해 상기 기판(1)이 상기 반출측 반전부(700)로의 반송이 완료되면, 승강 실린더(730)의 구동에 의해 제2반입 롤러부(710)는 하향 이동되고, 이로 인해 상기 기판(1)은 제2반출 롤러부(720)를 구성하는 각 제4롤러(721)의 상면에 얹히게 된다.
이때, 상기 제2스토퍼(740)는 역사다리꼴 형상으로 형성되어 있기 때문에 상 기 기판(1)이 하향 이동되는 도중 상기 기판(1)과 상기 제2스토퍼(740) 간의 접촉은 이루어지지 않으며, 이로 인해 상기 기판(1)의 파손은 방지된다.
그리고, 상기 기판(1)의 하향 이동이 완료되면 상기 제2반출 롤러부(720)의 각 제4구동축(722)을 회전시키는 구동모터(723)가 구동되면서 상기 각 제4롤러(721)가 회전된다.
이로 인해, 상기 각 제4롤러(721)의 상면에 얹혀있던 기판(1)은 그 반입 방향과는 수직한 방향(세정부가 위치된 방향, 최초 로딩 방향과는 반대 방향)을 향해 반출되고, 계속해서 세정부(300)로 제공된다.
이후, 세정부(300)를 제어하여 상기 제공받은 기판(1)을 세정한다.
즉, 상기 기판(1)은 상기 세정부(300)를 통과하면서 식각 과정에 의해 기판(1)으로부터 떨어져나온 미세 입자 및 에천트 용액이 세정되는 것이다.
또한, 상기 세정부(300)에 의해 세정된 후 반출된 기판(1)은 건조부(400)로 제공된 후 상기 건조부(400)를 통과하면서 상기 건조부(400)의 동작에 의해 건조된다.
그리고, 상기 건조 과정까지 완료된 기판(1)은 버퍼부(520)에 임시 저장된 후 로더부(100)에 의해 언로딩됨으로써 기판(1)의 식각을 위한 일련의 과정이 완료된다.
이상에서 설명된 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 평판표시소자 제조 공정용 식각 장비는 공정의 진행이 양 방향을 따라 연속하여 진행되도록 각 장치를 배치함으로써 전체적인 레이아웃이 최소화된 효과를 가진다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 평판표시소자 제조 공정용 식각 장비는 기판이 각 반전부에 의해 반송되는 도중 발생될 수 있는 파손을 최소화할 수 있게 되어 수율을 향상시킬 수 있다는 효과를 가진다.
특히, 상기 기판의 과도한 진입됨을 방지하는 각 스토퍼의 구조를 사다리꼴 형상 및 역사다리꼴 형상으로 형성함으로써 기판이 반전되는 과정에서 발생될 수 있는 파손 역시 최소화된 효과를 가진다.

Claims (18)

  1. 기판을 로딩하거나 언로딩하는 로더부(loader);
    상기 로딩된 기판을 제공받아 원하는 형상으로 식각하는 식각부;
    상기 식각된 기판을 제공받아 식각 과정에서 발생된 미세 입자를 세정하는 세정부;
    상기 세정된 기판을 제공받아 건조하는 건조부(air knife); 그리고,
    상기 각 구성 간의 사이 중 적어도 어느 한 부위에 구비되며, 기판의 반송 방향을 반전하는 반전부:를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판표시소자 제조 공정용 식각 장비.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 식각부와 상기 세정부는 공정 진행 방향을 기준으로 서로 반대되는 방향을 따라 공정이 진행되도록 배치되고,
    상기 반전부는 상기 식각부와 상기 세정부 사이에 배치됨을 특징으로 하는 평판표시소자 제조 공정용 식각 장비.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 반전부는
    상기 식각부로부터 기판을 반입받아 상기 반입받는 방향에 대하여 수직한 방 향으로 반송하는 반입측 반전부와,
    상기 반입측 반전부로부터 기판을 제공받아 상기 세정부로 반출하는 반출측 반전부를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판표시소자 제조 공정용 식각 장비.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 반입측 반전부와 상기 반출측 반전부에는 상하의 직경이 다르게 형성되면서 기판의 과도한 반입됨을 방지하는 적어도 하나 이상의 스토퍼가 각각 구비됨을 특징으로 하는 평판표시소자 제조 공정용 식각 장비.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 반입측 반전부에 구비되는 스토퍼는 하부측으로부터 상부측으로 갈수록 점차적으로 직경이 작아지는 역사다리꼴 형상으로 형성되고,
    상기 반출측 반전부에 구비되는 스토퍼는 하부측으로부터 상부측으로 갈수록 점차적으로 직경이 커지는 사다리꼴 형상으로 형성됨을 특징으로 하는 평판표시소자 제조 공정용 식각 장비.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 각 스토퍼는 상기 기판의 반입 및/혹은, 반출 방향을 향해 회전 가능하게 설치됨을 특징으로 하는 평판표시소자 제조 공정용 식각 장비.
  7. 기판의 공정 진행 방향을 변경하는 반전부를 포함하여 구축된 장비에 있어서,
    상기 반전부는
    기판을 반입받도록 설치된 반입 롤러부와,
    승강 가능하게 구비되면서 기판을 반출하도록 설치된 반출 롤러부와,
    상하의 직경이 다르게 형성되면서 기판의 과도한 반입됨을 방지하는 스토퍼를 각각 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판표시소자 제조 공정용 식각 장비.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 반전부는
    이전 공정 진행을 위한 장치로부터 기판을 반입받는 반입측 반전부와,
    상기 반입측 반전부로부터 기판을 제공받아 이후 공정 진행을 위한 장치로 반출하는 반출측 반전부를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판표시소자 제조 공정용 식각 장비.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 반입측 반전부에 구비되는 스토퍼는 상부측 직경이 하부측 직경에 비해 작게 형성됨을 특징으로 하는 평판표시소자 제조 공정용 식각 장비.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 반입측 반전부에 구비되는 스토퍼는 하부측으로부터 상부측으로 갈수록 점차적으로 직경이 작아지는 역사다리꼴 형상으로 형성됨을 특징으로 하는 평판표시소자 제조 공정용 식각 장비.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 반입측 반전부에 구비되는 스토퍼는 상기 기판의 반입 및/혹은, 반출 방향을 향해 회전 가능하게 설치됨을 특징으로 하는 평판표시소자 제조 공정용 식각
  12. 제 8 항 또는, 제 9 항에 있어서,
    상기 반출측 반전부에 구비되는 스토퍼는 상부측 직경이 하부측 직경에 비해 크게 형성됨을 특징으로 하는 평판표시소자 제조 공정용 식각 장비.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 반출측 반전부에 구비되는 스토퍼는 하부측으로부터 상부측으로 갈수록 점차적으로 직경이 커지는 사다리꼴 형상으로 형성됨을 특징으로 하는 평판표시소자 제조 공정용 식각 장비.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 반입측 반전부에 구비되는 스토퍼는 상기 기판의 반입 및/혹은, 반출 방향을 향해 회전 가능하게 설치됨을 특징으로 하는 평판표시소자 제조 공정용 식각 장비.
  15. 제 7 항에 있어서,
    상기 스토퍼는 상부측에서 하부측으로 갈수록 혹은, 하부측에서 상부측으로 갈수록 직경이 점차적으로 달라지는 사다리꼴 혹은, 역사다리꼴 형상으로 형성됨을 특징으로 하는 평판표시소자 제조 공정용 식각 장비.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 스토퍼는 상기 기판의 반입 및/혹은, 반출 방향을 향해 회전 가능하게 설치됨을 특징으로 하는 평판표시소자 제조 공정용 식각 장비.
  17. 로더부를 제어하여 식각부에 기판을 로딩하는 로딩단계;
    상기 식각부를 제어하여 상기 로딩된 기판을 제공받아 원하는 형상으로 식각하는 식각단계;
    반전부를 제어하여 상기 식각부로부터 반출된 기판이 세정부가 배치된 측으로 반전시켜 제공하는 반전단계;
    상기 세정부를 제어하여 상기 제공받은 기판을 세정하는 세정단계;
    건조부를 제어하여 상기 세정된 기판을 반입 받아 건조하는 건조단계; 그리고,
    상기 로더부를 제어하여 상기 건조부로부터 반출된 기판을 제공받아 언로딩하는 언로딩단계:가 포함되어 진행됨을 특징으로 하는 평판표시소자 제조 방법.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 반전단계는
    기판의 반입이 완료될 경우 제1반출 롤러부 및 제2반입 롤러부를 상향 이동시키는 단계와,
    상기 제1반출 롤러부를 상기 제2반입 롤러부가 위치된 측으로 회전시켜 상기 기판의 반송이 최초 로딩 방향과는 수직한 방향으로 이루어지도록 일차적으로 반전시키는 단계와,
    상기 기판이 상기 제2반입 롤러부로 반입 완료되면 상기 제2반입 롤러부를 하향 이동시키는 단계 그리고,
    제2반출 롤러부를 상기 로더부가 위치된 측으로 회전시켜 상기 기판의 반송이 최초 로딩 방향과는 반대의 방향으로 이루어지도록 최종 반전시키는 단계가 포함되어 진행됨을 특징으로 하는 평판표시소자 제조 방법.
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