JP2017064623A - 基板乾燥装置および基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
第1の実施形態について、図1乃至図3を用いて説明する。
第2の実施形態について、図4を用いて説明する。なお、第2の実施形態は、第1の実施形態との相違点について説明し、その他の説明は省略する。以降の実施形態も同様である。
(第3の実施形態)
第3の実施形態について、図5および図6を用いて説明する。第3の実施形態は基本的に第1の実施形態と同じであるが、異なるのは、姿勢変更手段として、姿勢変更ローラ310を有している点である。
(その他の実施例)
上記各実施形態においては、搬送ローラHはフラットローラであるとしたが、これに限らず、搬送軸に複数のローラを有するタイプのものであっても良い。フラットローラタイプであれば、薄い基板を搬送する際、基板の撓みを軽減することができるので好ましい。
11 第1の洗浄液供給ノズル
12 第2の洗浄液供給ノズル
20 リンス部(処理部)
21 第1のリンス液供給ノズル
22 第2のリンス液供給ノズル
30 乾燥部(基板乾燥装置)
31 姿勢変更ピン(姿勢変更手段)
32 保持部
310 姿勢変更ローラ(姿勢変更手段)
40 制御部
N1 第1のエアナイフ
N2 第2のエアナイフ
100 基板処理装置
W 基板
H 搬送ローラ
Claims (5)
- 基板を搬送しながら乾燥する基板乾燥処理装置において、
前記基板を搬送する複数の搬送ローラと、
隣り合う前記搬送ローラの間に、吐出口における、少なくとも前記基板に対して必要とするエアを吐出する領域が収まる範囲内で設けられ、かつ、前記基板の搬送路を挟んで対向して上下に設けられる複数のエアナイフと、
前記基板を平面上で所定角度傾斜させるように前記基板の搬送姿勢を変更する姿勢変更手段を有し、
前記姿勢変更手段は、前記基板の搬送方向において、前記複数のエアナイフよりも上流側に設けられることを特徴とする基板乾燥装置。 - 前記姿勢変更手段は、上下動機構により昇降可能とされ、上昇時に前記搬送ローラによって搬送される基板の前辺に当接することによって前記基板の搬送姿勢を変更する姿勢変更ピンであることを特徴とする請求項1記載の基板乾燥装置。
- 前記姿勢変更手段は、上下動機構により昇降可能とされ、上昇時に前記基板の裏面に接触することによって前記基板の搬送姿勢を変更する姿勢変更ローラであることを特徴とする請求項1記載の基板乾燥装置。
- 基板を搬送する搬送ローラと、
前記搬送ローラによって搬送される基板に処理液を供給して処理を行う処理部と、
前記搬送ローラによって搬送される基板を乾燥するための乾燥部とを有し、
前記乾燥部は、隣り合う前記搬送ローラの間に、吐出口における、少なくとも前記基板に対して必要とするエアを吐出する領域が収まる範囲内で設けられ、かつ、前記基板の搬送路を挟んで対向して上下に設けられる複数の前記エアナイフと、
前記基板を平面上で所定角度傾斜させるように前記基板の搬送姿勢を変更する姿勢変更手段を有し、
前記姿勢変更手段は、前記基板の搬送方向において、前記複数のエアナイフよりも上流側に設けられることを特徴とする基板処理装置。 - 基板を搬送する搬送ローラと、
前記搬送ローラによって搬送される基板に処理液を供給して処理を行う処理部と、
前記搬送ローラによって搬送される基板を乾燥するための乾燥部とを有し、
前記処理部に搬入された前記基板の搬送姿勢を平面上で所定角度傾斜させる姿勢変更手段を有することを特徴とする基板処理装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN114653659A (zh) * | 2022-04-13 | 2022-06-24 | 安徽中电光达通信技术有限公司 | 一种液晶显示屏生产用表面清洗装置 |
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- 2015-09-30 JP JP2015192489A patent/JP6552363B2/ja active Active
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