JP2017154906A - ガラス表面処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】連続生産が可能であり、簡易な方法でガラス基板の表面処理することが可能なガラス表面処理装置を提供する。【解決手段】 本発明に係るガラス表面処理装置10は、少なくとも搬送ローラ12、マイクロクラック形成部14、エッチング部18、を有する。搬送ローラ12はガラス基板100を入り口から出口まで搬送するように構成される。マイクロクラック形成部14は、研磨材と接触させることでガラス基板の主面にマイクロクラックを形成するように構成される。エッチング部18は、ガラス基板100の主面に形成されたマイクロクラックをエッチングするように構成される。【選択図】図1
Description
本発明は、ガラス基板の表面を粗面化するように構成されたガラス基板表面処理装置に関する。
従来から、液晶ディスプレイや有機ELディスプレイなどの画像表示装置は、表示面での外光の反射や写り込みを防止するために、反射防止特性を有するフィルムが用いられてきた。このようなフィルムには、表面に凹凸が形成されており、反射光を拡散できるようになっている。近年では、光透過率の向上のため、フィルムを使用することなくガラス基板に直接加工する要望が増えてきている。ガラス基板に直接加工したものは、画像表示装置だけではなく、太陽光パネルなどにも用いられている。
ガラス基板を直接加工する方法は、物理的な力によって表面に凹凸をつける方法や、エッチングすることによって表面のヘイズを調節する方法などが挙げられる。従来技術の中には、サンドブラストによって表面を粗面化し、フッ酸等のエッチング液でエッチングすることによって、凹凸を形成するものが存在する(例えば、特許文献1参照。)。
しかしながら、特許文献1のようにサンドブラストによって処理する方法は、大型基板に対応することが難しいと考えられる。ガラス基板を均一に加工するためには、ブラスト材を噴射するノズルをガラス基板上で順次スキャンさせつつガラス基板の全域に均一な処理が施されるように制御する必要がある。基板サイズが大きくなるにつれて、処理時間が長くなってしまうという不都合があった。
また、サンドブラスト装置は、連続処理するような装置と組み合わせて使用することが難しいと考えられる。搬送ローラやベルトコンベア等の搬送機構の搬送ギア部にブラスト材等の粉塵が入り込むと搬送トラブルを起こしてしまう可能性が高くなることが考えられる。さらに、粉塵が後工程に影響出さないような、大掛かりな洗浄工程を設ける必要があることが考えられる。
本発明の目的は、連続生産が可能であり、簡易な方法でガラス基板の表面処理することが可能なガラス表面処理装置を提供することである。
本発明にかかるガラス表面処理装置は、板状を呈するガラス基板の主面に対して表面処理を行うように構成された装置であって、搬送手段、マイクロクラック形成手段およびエッチング手段を少なくとも備えている。搬送手段は、表面処理が施されるガラス基板をガラス基板処理装置の最上流から最下流まで搬送するように構成されている。搬送手段の例として、ローラやコンベアが挙げられるが、これらに限定されない。
マイクロクラック形成手段は、研磨材を少なくとも有し、搬送手段によって搬送されるガラス基板の主面に接触させることによって接触した主面の一部または全部にマイクロクラックを形成するように構成される。マイクロクラック形成手段の例として、研磨材で構成された、ローラ状部材やコンベア状部材などと搬送手段を構成する部材とでガラス基板を挟み込むようにガラスを搬送するような構成が挙げられるが、シート状の研磨剤をガラス基板に押し付けるような構成にしても良い。研磨材の例として、サンドペーパや金属粒子を圧着したシートなどが挙げられる。研磨材の表面粗さは3〜10μm程度(サンドペーパーの2500番手相当)が好ましい。研磨材が少なくともガラス基板の幅方向の全域に同時に接触するように構成すれば、研磨材を幅方向においてスキャン(往復移動)させる必要がなくなり、処理の高速化が図られる。
エッチング手段は、マイクロ形成手段によってマイクロクラックが形成されたガラス基板をエッチング液に接触させるように構成されている。エッチング手段の例として、スプレーによってエッチング液が吹き付けられるスプレー式やエッチング槽に収容されたエッチング液に浸漬する浸漬法などが挙げられる。エッチング手段は、マイクロクラックをエッチングするように構成されている。エッチング処理することで、マイクロクラック形成手段で、形成された不必要な微細なキズを消滅させることが可能である。
上記のように構成することで、ガラス表面処理装置によって処理されたガラス基板は、マイクロクラック形成手段でマイクロクラックが形成され、エッチング手段で不必要なキズを消滅させることができる。ガラス基板表面に光透過性に優れた微細な凹凸が形成することが可能になる。また、ガラス表面処理装置は、連続処理することが可能であるため、効率良くガラス基板を処理することが可能である。
また、マイクロ形成手段は、圧力調整手段を有し、ガラス基板の主面に研磨剤の粗面を接触させる圧力を調整するように構成しても良い。このような圧力調整手段を設けることで、ガラス基板の主面に形成されるマイクロクラックの大きさを調整することが可能になる。
この発明によれば、連続生産が可能であり、簡易な方法でガラス基板の表面処理することが可能になる。
以下、図を用いて本発明に係る連続式のガラス表面処理装置の一実施形態を説明する。図1および図2は、ガラス表面処理装置10の外観および概略構成を示す図である。ガラス表面処理装置10は、搬送ローラ12、マイクロクラック形成部14、エッチング前処理部16、エッチング部18、水洗部20および乾燥部22を備える。マイクロクラック形成部14、エッチング前処理部16、エッチング部18、水洗部20および乾燥部22にはそれぞれ、隔壁の一部にガラス基板100が通過可能なスリット状の開口部が形成されている。ガラス表面処理装置10は、ガラス基板100の主面に対して光透過率の高い粗面を効率良く形成できるような処理をするように構成されている。
搬送ローラ12は、ガラス表面処理装置10内に複数配置されており、ガラス基板100をガラス表面処理装置10の最上流位置から最下流位置へと搬送可能に構成されている。ガラス基板100は、各チャンバに形成されたスリット状の開口部を通過することで搬送される。ガラス表面処理装置10の最上流位置と最下流位置とには、搬送ローラ12が装置の外部に対して開放した状態で配置され、ガラス基板100を投入および取り出しができるように構成されている。この搬送ローラ12は本発明に係る搬送手段に対応しており、他の搬送機構で構成することも可能である。例えば、無端ベルトのようなコンベアを採用することも可能であるし、複数の搬送機構から構成することも可能である。
マイクロクラック形成部14は、搬送ローラ12によって搬送されるガラス基板100の主面に対して処理するように構成される。マイクロクラック形成部14は、研磨材によって構成されたローラ状部材やコンベア状部材をガラス基板100の主面に接触させることで、マイクロクラックを形成できるように構成される。研磨材の例として、サンドペーパや金属粒子を圧着したシートなどが挙げられる。また、マイクロクラック形成部14は、圧力調整部24を備える。この圧力調整部24は、研磨材をガラス基板100主面に接触させる圧力を調整できるように構成され、マイクロクラックの大きさを調整できるようになっている。マイクロクラック形成部14の詳しい説明は後述する。
エッチング前処理部16は、マイクロクラック形成部14で処理されたガラス基板100を受け入れ、洗浄するように構成されている。この実施形態では、ガラス基板100に対して上方および下方に設置されたノズルから水を噴射することによって、洗浄するように構成されている。このようにエッチングが行われる前にガラス基板100を洗浄することで、マイクロクラック形成部14で発生したガラスの粉や異物等を除去できるようになっている。エッチング部18で処理される前にガラスの粉や異物を取り除くことで、ガラス基板100の主面をムラ等無く処理することが可能になる。また、乾いたガラス基板100に対し、直接エッチング液やエッチング液から発生したガスが触れてしまうとムラが発生する可能性があるため、ガラス基板100の表面を予め濡らしておくことで、好適にエッチング処理することが可能になる。
エッチング部18は、ガラス基板100の主面に対し、エッチング処理できるように構成されている。マイクロクラック形成部14で形成されたマイクロクラックを有するガラス基板100の主面に対し、上方および下方に設置されたノズルからエッチング液を噴射することでエッチング処理が行われる。マイクロクラック形成部14で形成されたガラス基板100の主面は無数のキズが入っているために光透過率が減少している。また、キズが入っているためガラス基板100の強度が低下している。このガラス基板100の主面をエッチング処理し、キズを消滅させることで、表面に凹凸を有しながら光透過率の高い且つ、強度の高いガラス基板100を製造することが可能である。また、本実施形態では、ノズルからエッチング液を噴射するスプレー式を採用しているが、エッチング液が収容されたエッチング槽に浸漬しながら搬送できるような浸漬式を採用することも可能である。
水洗部20はエッチング処理されたガラス基板100を受け入れ水洗処理されるように構成される。エッチング処理されたガラス基板100はエッチング液が付着した状態で水洗部20に搬送されるため、ガラス基板100に対し水を上方および下方から噴射することで洗浄できるようになっている。また、水洗部20の最上流位置にはガラス基板100の上に滞留したエッチング液を水洗部20に持ち込まないようにエアナイフが設置される。エアナイフを取り付けることで、水洗部20の汚染を防ぎ適切な洗浄を行うことが可能になる。エアナイフはエッチング部18の最下流位置に設置しても良い。
乾燥部22は、水洗部20によって水洗処理されたガラス基板100を乾燥できるようになっている。乾燥部20にもエアナイフが設置されており、ガラス基板100に付着した水分を完全に乾燥できるようになっている。この実施形態では、エアナイフを採用しているが、ロール状の吸収シートのようなものを用いても良いし、吸収材と温風を組み合わせたものなどを用いても良い。乾燥したガラス基板100はガラス表面処理装置10の最下流位置まで搬送され取り出される。
図3〜図7は、マイクロクラック形成部14の構成例を示す図である。マイクロクラック形成部14は、ガラス基板100の主面に対し、マイクロクラックを形成することが可能な粗面部材26を有する。この粗面部材26は、研磨材が表面に取り付けられるように構成されている。マイクロクラック形成部14は、この粗面部材26と搬送ローラ12でガラス基板100を狭持し搬送できるように構成されている。粗面部材26は、通過するガラス基板100に接触することが可能な高さに設置されている。この実施形態では、粗面部材26が本発明の研磨材に対応する。
図3は、ローラ状の粗面部材26で構成されているマイクロクラック形成部14を示す図である。この図では、3本の粗面部材26でガラス基板100の主面に対しマイクロクラックを形成できるように構成されている。この粗面部材26は、搬送ローラ12と同じ搬送速度となるように回転させても良いし、搬送するガラス基板100に接触する摩擦で回転するように構成されていても良い。また、この3本の粗面部材26は、粗さが同じ番手のものから構成しても良いし、それぞれ違う番手からなるように構成しても良い。それぞれ違う番手になるように構成することで、ガラス基板100の主面に様々なキズを形成することが可能になる。また、この図では、3本の粗面部材26で構成されているが、本数はこの限りではない。
マイクロクラック形成部14は、粗面部材26とガラス基板100とが接触する圧力を調整するような圧力調整部24を有していても良い。図4は、図3に示したマイクロクラック形成部14において、圧力調整部24を設置した一例を示す図である。この図で示す圧力調整部24は、ローラ状の粗面部材26の両端を押圧することでガラス基板100への圧力を調整できるようになっている。圧力調整部24と粗面部材26が接触する部分には軸受等を配置し、粗面部材26の回転を阻害しないようにすることが好ましい。圧力調整部24は、粗面部材26がガラス基板100に加える圧力を調整できるものであれば形状や手段は選択されない。
また、圧力調整部24は、ガラス基板100が粗面部材26に接触し始めてから圧力を調整するようになっている。はじめから圧力を加えてしまうと、搬送ローラ12と粗面部材26の間にガラス基板100が通過しにくくなり、搬送トラブルの原因になってしまう。ガラス基板100が搬送ローラ12と粗面部材26に狭持されれば搬送ローラ12および粗面部材26の回転によって圧力を加えつつも、後段へとガラス基板を搬送することが可能である。このような構成は、搬送ローラ12の上方および下方にセンサを配置することで容易に制御することが可能である。
図5は、シート状の粗面部材26で構成されているマイクロクラック形成部14を示す図である。このように構成することで、使用されたシート状の粗面部材26を巻き取っていけるようになっている。この構成は、脆くなりやすい粗面部材26を使用する場合に効率良くマイクロクラックを継続的に形成することが可能である。図6はコンベア状の粗面部材26で構成されたマイクロクラック形成部14を示す図である。ローラ状やロールトゥロール状に構成しにくい粗面部材を使用する場合は、図6のようなコンベア状に構成するように使用すれば良い。また、搬送部材もコンベア13を使用することで細かな板状物を処理することが可能になる。
図7は、圧力調整部24に直接粗面部材26を取り付けるように構成されたマイクロクラック形成部26を示す図である。この構成は、搬送されてきたガラス基板100に直接粗面形成部26が取り付けられた圧力調整部24がプレスすることでガラス基板100の主面にマイクロクラックが形成できるようになっている。この場合、搬送中のガラス基板100に直接プレスしてしまうと、コンベア13およびガラス基板100に負荷がかかってしまい搬送トラブルになってしまう可能性がある。プレスする際、搬送を一旦停止するように構成することで、コンベア13およびガラス基板100に負荷がかからずにガラス基板の主面にマイクロクラックを形成することが可能である。また、プレスを行うコンベア13の中に平面状の圧力に耐久可能な台等を設置しておくことでガラス基板100の主面に均一にマイクロクラックを形成することが可能になる。
図3〜図7で挙げたマイクロクラック形成部14の構成例は、ガラス基板100の主面に対してマイクロクラックを形成するように構成されており、ガラス基板100の主面の反対側の主面は処理が行われない。搬送ローラ12やコンベア13等の搬送部材も粗面部材26で構成することで、ガラス基板100の主面および反対側の主面に対してもマイクロクラックを形成することが可能である。例えば、図3で両主面に対してマイクロクラックを形成する場合、粗面部材26の下に配置される搬送ローラ12を粗面部材26で構成するようにすれば良い。
上記したような方法で形成されたマイクロクラックは後段に配置されるエッチング部18によってエッチングされ、表面粗さや凹凸の形状が適宜調整される。エッチング部18では、フッ酸を含有したエッチング液をガラス基板100に噴射することで処理されるが、エッチング液のフッ酸の濃度、噴射圧力および処理時間等を調整することでガラス基板100の主面に形成されたマイクロクラックの形状をコントロールすることが可能である。また、細かなマイクロクラックは、エッチング処理することで消滅するし、光透過率が向上する。
上記のようなガラス表面処理装置10を使用すれば、大型のガラス基板であっても連続して処理することができ、効率良く粗面化されたガラス基板を得ることが可能である。また、エッチング処理もされているので、光透過率の高い粗面を有するガラス基板を得ることが可能である。
上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
10−ガラス表面処理装置
12−搬送ローラ
13−コンベア
14−マイクロクラック形成部
16−エッチング前処理部
18−エッチング部
20−水洗部
22−乾燥部
24−圧力調整部
26−粗面部材
100−ガラス基板
12−搬送ローラ
13−コンベア
14−マイクロクラック形成部
16−エッチング前処理部
18−エッチング部
20−水洗部
22−乾燥部
24−圧力調整部
26−粗面部材
100−ガラス基板
Claims (2)
- 板状を呈するガラス基板の主面に対して表面処理を行うように構成されたガラス表面処理装置であって、
表面処理が施されるガラス基板を搬送するための搬送手段と、
研磨材を少なくとも有し、前記搬送手段によって搬送されるガラス基板の主面を前記研磨材の粗面に接触させることによって接触した主面の一部または全部にマイクロクラックを形成するマイクロクラック形成手段と、
前記マイクロクラック形成手段によってマイクロクラックが形成されたガラス基板をエッチング液に接触させるように構成されたエッチング手段と、
を少なくとも備えたガラス表面処理装置。 - 前記マイクロクラック形成手段は、圧力調整手段を有し、前記ガラス基板の主面に前記研磨剤の粗面を接触させる圧力を調整するように構成された請求項1に記載のガラス表面処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016037068A JP2017154906A (ja) | 2016-02-29 | 2016-02-29 | ガラス表面処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016037068A JP2017154906A (ja) | 2016-02-29 | 2016-02-29 | ガラス表面処理装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2017154906A true JP2017154906A (ja) | 2017-09-07 |
Family
ID=59807958
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2016037068A Pending JP2017154906A (ja) | 2016-02-29 | 2016-02-29 | ガラス表面処理装置 |
Country Status (1)
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2016
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