KR20070067402A - 기판세정용 이류체 분사모듈 및 이를 이용한 기판세정장치 - Google Patents

기판세정용 이류체 분사모듈 및 이를 이용한 기판세정장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판세정용 이류체 분사모듈 및 이를 이용한 기판세정장치에 관한 것으로, 기판상에 간격을 두고 설치되는 몸체와, 상기 몸체 내부에 세정액과 건조공기가 개별 유입되는 적어도 2개 이상의 유체통로와, 상기 몸체에 기판의 너비방향으로 형성되고 개별 유입된 세정액과 건조공기를 상호 교차되게 분사하여 상기 몸체 외부에서 이류체를 혼합생성하는 슬릿을 포함하는 기판세정용 이류체 분사모듈 및 이를 이용한 기판세정장치를 제공한다. 본 발명에 의하면, 균질하게 생성된 이류체를 기판 표면에 균일하게 분사하므로 기판 세정효율을 월등히 향상시키는 효과가 있다.
기판, 세정, 분사모듈, 몸체, 슬릿

Description

기판세정용 이류체 분사모듈 및 이를 이용한 기판세정장치{Two-fluid jet module for cleaning substrate and cleaning device using thereof}
도 1은 본 발명 기판세정용 이류체 분사모듈의 제1실시 분리사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판세정용 이류체 분사모듈을 이용한 기판세정장치의 조립단면도이다.
도 3은 본 발명 기판세정용 이류체 분사모듈의 제2실시 분리사시도이다.
도 4는 도 3에 도시된 기판세정용 이류체 분사모듈을 이용한 기판세정장치의 조립단면도이다.
도 5는 본 발명 기판세정용 이류체 분사모듈의 제3실시 조립단면도이다.
본 발명 기판세정용 이류체 분사모듈의 일실시 분리사시도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
100, 200, 300 : 기판 세정용 분사모듈
110, 230, 320 : 몸체 111 : 제1유체통로
112 : 제2유체통로 113 : 체결볼트
210, 310 : 내부몸체 211, 311 : 제1내부몸체편
212, 312 : 제2내부몸체편 220 : 외부몸체
221 : 제1외부몸체편 222 : 제2외부몸체편
320a : 챔버부 400 : 이송부
500 : 세정액공급부 600 : 에어공급부
S1 : 제1슬릿 S2 : 제2슬릿
본 발명은 기판세정용 이류체 분사모듈 및 이를 이용한 기판세정장치에 관한 것으로, 특히 2가지 유체를 혼합 및 증폭시켜 기판 표면에 분사하는 기판세정용 이류체 분사모듈 및 이를 이용한 기판세정장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 웨이퍼 또는 평판 디스플레이(FPD; flat panel display) 기판 등은 다양한 제조공정을 거쳐 제조되고, 이러한 제조공정 중 표면처리공정은 기판의 표면에 대하여 세정액, 에칭액 또는 현상액 등의 처리액을 처리하여 기판을 세정(cleaning), 에칭(etching), 현상(developing) 또는 스트립핑(stripping)하는 공정이다.
즉, 상기 표면처리공정에서는 콘베이어 등의 이송수단에 의하여 일정한 속도로 수평이송되는 기판의 상면, 하면 또는 상하 양면에 상기 처리액을 처리하는 것으로 기판을 세정, 에칭, 현상 또는 스트립핑한다.
그리고, 기판이 상기 표면처리공정을 포함하여 다양한 제조공정을 거치다 보면 그 표면이 파티클 및 오염물질에 의해 오염되므로 이를 제거하기 위하여 일부 제조공정의 전/후로 상기 세정공정이 수행된다.
이와 같이, 세정공정은 기판 표면의 청정화를 위한 공정으로 일례로 약액처리공정과 린스공정과 건조공정으로 이루어지고, 특히 약액처리공정은 기판 표면의 파티클 및 오염물질의 제거를 위하여 기판 표면에 탈이온수(deionized water)나 케미칼(chemical) 등의 세정액을 처리하는 공정이다.
또한, 세정공정에서는 파티클 및 오염물질 제거를 위하여 세정액을 기판에 처리하되 세정력이 향상되도록 세정액에 건조공기(Clean Dry Air)를 혼합하여 이류체(二流體)를 생성하고, 생성된 이류체를 증폭하여 버블(buble) 형태로 기판 표면에 충돌시키는 기판세정용 이류체 분사모듈(이하 이류체 분사모듈)이 구비된 기판세정장치가 제시된 바 있다.
상기 이류체 분사모듈은 기판세정효율이 향상되도록 세정액과 건조공기가 균질하게 혼합된 이류체를 생성하고, 생성된 이류체를 기판 표면에 대하여 균일하게 분사하는 것이 매우 중요하다.
한편, 종래 이류체 분사모듈은 그 내부에서 세정액과 건조공기를 혼합 및 증폭시켜 분사하는 방식이므로, 그 내부에 세정액과 건조공기의 공급을 위한 각각의 통로를 형성하는 가공과정이 까다롭다는 제작상의 불편함이 있었다.
상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명은, 균질하게 생성된 이류체를 기판 표면에 균일하게 분사하는 기판세정용 이류체 분사모듈 및 이를 이용한 기판세정장치 를 제공함에 있다.
또한 본 발명의 또 다른 목적은, 분해조립이 가능한 단순 구조의 기판세정용 이류체 분사모듈 및 이를 이용한 기판세정장치를 제공함에 있다.
본 발명의 일측면에 따르면, 기판상에 간격을 두고 설치되는 몸체와, 상기 몸체 내부에 세정액과 건조공기가 개별 유입되는 적어도 2개 이상의 유체통로와, 상기 몸체에 기판의 너비방향으로 형성되고 개별 유입된 세정액과 건조공기를 상호 교차되게 분사하여 상기 몸체 외부에서 이류체를 혼합생성하는 슬릿을 포함한다.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 기판을 이송하는 이송부와, 이송되는 기판의 상측, 하측 또는 상하 양측에 설치되는 이류체 분사모듈과, 상기 이류체 분사모듈에 세정액을 공급하는 세정액공급부와, 상기 이류체 분사모듈에 건조공기를 공급하는 에어공급부를 포함한다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시 예들을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
<실시예 1>
도 1은 본 발명 기판세정용 이류체 분사모듈의 제1실시 분리사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 기판세정용 이류체 분사모듈을 이용한 기판세정장치의 조립단면도이다.
도 1 및 도 2를 함께 참조하면, 본 발명의 일측면에 따른 기판세정용 이류체 분사모듈(100)의 제1실시예는 기판(S; Substrate)상에 간격을 두고 설치되는 몸체(110)를 포함하고, 상기 몸체(110) 내부에 개별 형성되어 세정액과 건조공기가 개별 공급되는 제1유체통로(111) 및 한쌍의 제2유체통로(112)와, 상기 제1유체통로(111) 및 제2유체통로(112)의 외부로 노출되는 일단부의 제1슬릿(S1)과 한쌍의 제2슬릿(S2)을 포함하며, 상기 제2슬릿(S2)이 상기 제1슬릿측(S1)으로 인접하도록 제2유체통로(112)가 몸체(110) 내부에서 제1슬릿(S1)측으로 유도되어 건조공기를 제1슬릿(S1)의 단부측으로 분사하는 것을 특징으로 한다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 또 다른 측면에 따른 상기 기판세정용 이류체 분사모듈(100)을 이용한 기판세정장치의 제1실시예는 기판(S)을 이송하는 이송부(400)와 이송되는 기판(S)의 상측, 하측 또는 상하 양측에 설치되는 상기 이류체 분사모듈(100)과, 상기 이류체 분사모듈(100)에 세정액을 공급하는 세정액공급부(500)와, 상기 이류체 분사모듈(100)에 건조공기를 공급하는 에어공급부(600)를 포함한다.
상기 몸체(110)는 세정액과 건조공기가 개별 유입되도록 그 내부에 개별 형성되는 제1유체통로(111)와 한쌍의 제2유체통로(112)를 포함하고, 상기 제1유체통로(111)와 한쌍의 제2유체통로(112)의 기판(S)측으로 노출되는 일단부의 제1슬릿(S1)과 한쌍의 제2슬릿(S2)이 세정액과 건조공기를 분사한다.
이러한 몸체(110)는 제1유체통로(111)와 소통되는 포트(111a)가 상면에 형성되고, 세정액공급부(500)가 상기 포트(111a)에 연결되어 세정액을 공급받게 된다.
또한, 몸체(110)는 제2유체통로(112)와 소통되는 포트(112a)가 전후면에 형성되고, 에어공급부(600)가 상기 포트(112a)에 연결되어 건조공기를 공급받게 된다.
또한, 몸체(110)는 양측면에 몸체밀폐브라켓(B1)을 결합하여 외부로 노출된 제1유체통로(111)와 제2유체통로(112)의 양측을 밀폐한다.
따라서, 제1유체통로(111)로 공급된 세정액과 제2유체통로(112)로 공급된 건조공기는 각 슬릿(S1, S2)를 통하여 분사되되, 제2슬릿(S2)이 제1슬릿(S1)측으로 인접되어 제1슬릿(S1)의 단부측으로 건조공기를 분사하므로 세정액과 건조공기는 외부에서 상호 교차분사되는 동시에 상호 혼합되어 이류체를 생성하고, 이렇게 혼합생성된 이류체는 버블형태로 기판(S) 표면에 충돌하여 기판(S) 표면의 파티클 및 오염물질을 제거한다.
또한, 세정액과 건조공기가 슬릿(S1, S2)을 통하여 가속분사되는 과정에서 슬릿(S1, S2)길이의 전범위에 걸쳐 세정액과 건조공기가 충돌되므로 종래 이류체 분사모듈에 비해 매우 미세하면서도 균질한 이류체를 생성하여 세정효율을 향상시키는 효과가 있다.
이와 같이, 본 발명은 균질하게 생성되는 이류체를 기판의 너비방향 길이에 대응하는 슬릿을 통하여 기판 너비 전체에 걸쳐 균일분사하므로 기판 표면 전체에 대하여 균일한 세정력으로 세정작업이 수행된다.
<실시예 2>
도 3은 본 발명 기판세정용 이류체 분사모듈의 제2실시 분리사시도이고, 도 4는 도 3에 도시된 기판세정용 이류체 분사모듈을 이용한 기판세정장치의 조립단면도이다. 여기서 앞서 도시된 도면에서와 동일한 도면부호는 동일한 기능을 하는 부재를 가리킨다.
도 3 및 도 4를 함께 참조하면, 본 발명의 일측면에 따른 기판세정용 이류체 분사모듈(200)의 제2실시예는 기판(S)상에 간격을 두고 설치되고 내부몸체(210)와 외부몸체(220)로 이루어져 분해 및 조립이 가능한 몸체(230)를 포함한다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 또 다른 측면에 따른 상기 기판세정용 이류체 분사모듈(200)을 이용한 기판세정장치의 제1실시예는 기판(S)을 이송하는 이송부(400)와 이송되는 기판(S)의 상측, 하측 또는 상하 양측에 설치되는 상기 이류체 분사모듈(200)과, 상기 이류체 분사모듈(100)에 세정액을 공급하는 세정액공급부(500)와, 상기 이류체 분사모듈(100)에 건조공기를 공급하는 에어공급부(600)를 포함한다.
상기 몸체(230)는 제1유체통로(111)가 그 내부에 형성되는 내부몸체(210)와, 상기 내부몸체(210)의 외측면에 결합되는 외부몸체(220)를 포함하며, 한쌍의 제2유체통로(112)는 내부몸체(210)와 외부몸체(220)의 사이에 형성된다.
일례로, 내부몸체(210)와 외부몸체(220)는 결합볼트(113)에 의해 상호 체결결합된다.
상기에서, 내부몸체(210) 및 상기 외부몸체(220)는 각각 단일체로 구성될 수 있으나, 각각 두 개의 분체로 이루어져 분해 및 조립이 더욱 용이하도록 구성되는 것이 바람직하다.
즉, 상기 내부몸체(210)는 제1내부몸체편(211)와 제2내부몸체편(212)를 포함하며, 상기 제1내부몸체편(211)과 상기 제2내부몸체편(212)의 사이에 제1유체통로(111)가 형성된다.
또한, 상기 외부몸체(220)는 제1내부몸체편(211)과 제2내부몸체편(212)의 외측면에 각각 결합되는 제1외부몸체편(221)과 제2외부몸체편(222)을 포함하며, 제1내부몸체편(211)과 제1외부몸체편(221) 및 제2내부몸체편(212)과 제2외부몸체편(222)의 사이에 제2유체통로(112)가 각각 형성된다.
<실시예 3>
도 5는 본 발명 기판세정용 이류체 분사모듈의 제3실시 조립단면도이다. 여기서 앞서 도시된 도면에서와 동일한 도면부호는 동일한 기능을 하는 부재를 가리킨다.
본 발명의 일측면에 따른 기판세정용 이류체 분사모듈(300)의 제3실시예는 기판(S)상에 간격을 두고 설치되는 몸체(320)를 포함하며, 제1슬릿(S1) 및 제2슬릿(S2)이 형성된 상기 몸체(320)의 단부에는 각 슬릿(S1, S2)에서 교차 분사된 세정액과 건조공기를 소정영역으로 일시 가두어 충돌시키는 챔버부(320a)를 더 포함한다.
이러한 챔버부(320a)는 각 슬릿(S1, S2)이 형성된 몸체(320)의 단부에서 오 목하게 만곡형성되어 대체로 반원형상을 이루고 대향측은 외부로 노출된다.
따라서, 세정액과 건조공기는 몸체(32)는 챔버부(320a)로 유도되어 가두어진 상태에서 상호 충돌되므로 원활하게 혼합이 진행되어 더욱 균질한 이류체로 생성된다.
한편, 몸체(320)는 다수의 분체로 이루어진 것을 예시하였으나, 상기 제1실시예1에서와 같이 단일체로 형성되어도 무방하다.
이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시 예들을 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시 예들에 한정되지 않으며 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능함은 물론이다.
상기한 바와같이 본 발명은, 균질하게 생성된 이류체를 기판 표면에 균일하게 분사하므로 기판 세정효율을 월등히 향상시키는 효과가 있다.
또한 본 발명은, 슬릿타입 분사방식이 적용된 분해조립이 가능한 단순한 구조로 제작되므로 제작편의성 및 유지보수가 용이하다는 효과가 있다.

Claims (7)

  1. 기판상에 간격을 두고 설치되는 몸체와,
    상기 몸체 내부에 세정액과 건조공기가 개별 유입되는 적어도 2개 이상의 유체통로와, 상기 몸체에 기판의 너비방향으로 형성되고 개별 유입된 세정액과 건조공기를 상호 교차되게 분사하여 상기 몸체 외부에서 이류체를 혼합생성하는 슬릿을 포함하는 기판세정용 이류체 분사모듈.
  2. 상기 제1항에 있어서,
    상기 몸체는 세정액이 유입되는 제1유체통로와, 상기 제1유체통로 일단부의 제1슬릿과, 상기 제1유체통로의 양측에서 상기 제1슬릿측으로 유도되어 건조공기가 각각 유입되는 한쌍의 제2유체통로와, 상기 각 제2유체통로 일단부의 상기 제1슬릿 양측으로 인접되는 한쌍의 제2슬릿을 포함하는 기판세정용 이류체 분사모듈.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 몸체는 상기 제1유체통로가 내부에 형성되는 내부몸체와 상기 내부몸체의 외측면에 결합되는 외부몸체를 포함하며,
    상기 제2유체통로는 상기 내부몸체와 상기 외부몸체 사이에 형성되는 것을 특징으로 하는 기판세정용 이류체 분사모듈.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 내부몸체는 제1내부몸체편과 제2내부몸체편을 포함하며, 상기 제1내부몸체편과 제2내부몸체편의 사이에 상기 제1유체통로가 형성되고,
    상기 외부몸체는 상기 제1내부몸체편과 제2내부몸체편의 외측면에 각각 결합되는 제1외부몸체편과 제2외부몸체편을 포함하며, 상기 제1내부몸체편과 상기 제1외부몸체편 및 상기 제2내부몸체편과 상기 제2외부몸체편의 사이에 상기 제2유체통로가 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 기판세정용 이류체 분사모듈.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 슬릿이 형성된 상기 몸체의 단부에는, 상기 슬릿에서 분사된 세정액과 건조공기를 소정영역 내에서 충돌시키는 챔버부를 더 포함하는 기판세정용 이류체 분사모듈.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 챔버부는 상기 슬릿이 형성된 상기 몸체의 단부에서 오목하게 만곡형성 된 것을 특징으로 하는 기판세정용 이류체 분사모듈.
  7. 기판을 이송하는 이송부;
    이송되는 기판의 상측, 하측 또는 상하 양측에 설치되는 제1항 내지 제6항 중 어느 하나의 항의 이류체 분사모듈;
    상기 이류체 분사모듈에 세정액을 공급하는 세정액공급부; 및
    상기 이류체 분사모듈에 건조공기를 공급하는 에어공급부를 포함하는 기판세정장치.
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