KR20070066976A - 아크 검출 방법 및 아크 검출 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (17)
- AC 발생기에 의해 그 AC 발생기의 출력 신호가 전원으로서 공급되는 플라즈마 공정에서 아크를 검출하는 방법으로서,a. 평가 신호로서의 상기 출력 신호 또는 그 출력 신호에 관련된 신호가 상기 평가 신호의 정반파(positive half-wave)(30)에서의 기준치(R1-R4)를 초과하거나 상기 평가 신호의 부반파(negative half-wave)에서의 상기 기준치 미만인 시각(t1-t5)을 결정하는 단계; 및/또는b. 상기 평가 신호가 그 평가 신호의 정반파(30)의 동일한 반파(30)에서의 기준치(R1-R4) 미만이거나 그 평가 신호의 부반파에서의 상기 기준치를 초과하는 후속 시각(t6-t10)을 결정하는 단계;c. 상기 시각들(t1-t10) 중 적어도 하나를 이용하여 적어도 하나의 시간격(I1-I5)을 결정하는 단계;d. 상기 평가 신호의 다음 반파(31)에 대해 상기 단계 a)-c)를 반복하는 단계;e. 상호 대응하는 시간격(I1-I5)을 비교하는 단계;f. 상기 상호 대응하는 시간격(I1-I5)이 미리 결정된 허용 한계치(T) 이상만큼 서로 다를 경우 아크 검출 신호를 생성하는 단계를 포함하는 아크 검출 방법.
- 제1항에 있어서, 동일한 극성의 반파들(30, 31)에 대한 시간격(I1-I5)이 결정되어 비교되는 것을 특징으로 하는 아크 검출 방법.
- 제2항에 있어서, 동일한 극성의 바로 연속하는 반파들(30, 31)에 대한 시간격이 결정되어 비교되는 것을 특징으로 하는 아크 검출 방법.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 비교되는 시간격(I1 내지 I5)은 기준치(R1 내지 R4)를 초과하거나 그 기준치 미만인 연속 시각들(t1 내지 t10) 간의 차이로서 형성되며, 아크 검출 신호는 다음 반파(31)의 시간격(I1 내지 I5)이 이전 반파(30)의 대응하는 시간격(I1 내지 I5)보다 미리 결정된 허용 한계치(T) 이상만큼 작은 경우에 생성되는 것을 특징으로 하는 아크 검출 방법.
- 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 평가 신호의 제로 크로싱의 시각(tO)은 반파(30, 31)의 개시시에 검출되고, 비교되는 시간격은 기준치의 홀수번째(제1, 제3, 등등) 초과 또는 미만 시각(t1 내지 t5)과 제로 크로싱의 시각(t0)의 차이로서 형성되며, 아크 검출 신호는 다음 반파(31)의 시간격이 이전 반파(30)의 시간격보다 미리 결정된 허용 한계치(T) 이상만큼 큰 경우에 생성되는 것인 아크 검출 방법.
- 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 평가 신호의 제로 크로 싱(t0)의 시각은 반파(30, 31)의 개시시에 검출되고, 비교되는 시간격은 기준치의 짝수번째(제2, 제4, 등등) 초과 또는 미만의 시각(t6 내지 t10)과 제로 크로싱의 시각(t0) 간의 차이로서 형성되며, 아크 검출 신호는 다음 반파(31)의 시간격이 이전 반파(30)의 시간격보다 미리 결정된 허용 한계치(T) 이상만큼 작은 경우 생성되는 것을 특징으로 하는 아크 검출 방법.
- 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기준치(R1 내지 R4)를 초과하거나 그 기준치 미만인 시각(t1 내지 t5)과, 상기 기준치(R1 내지 R4) 미만이거나 그 기준치를 초과하는 후속 시각(t6 내지 t10) 간의 차이의 결과로서의 시간격(I5)이 미리 정해진 시각 이하인 경우에 상기 시간격(I5)은 상기 아크를 검출하는데 고려되지 않는 것을 특징으로 하는 아크 검출 방법.
- 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 몇개의 기준치(R1 내지 R4)가 미리 결정되는 것을 특징으로 하는 아크 검출 방법.
- 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 몇개의 반파들(30, 31)에 걸쳐 평균을 낸 평균 진폭치(UA)가 형성되고, 기준치(R1 내지 R4)는 상기 평균 진폭치에 따라 미리 결정되는 것을 특징으로 하는 아크 검출 방법.
- 청구항 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 따른 아크 검출 방법을 수행하도 록 설계된 플라즈마 공정에서 아크 검출을 위한 아크 검출 수단으로서,평가 신호로서의 출력 신호 또는 그 출력 신호에 관련되는 AC 발생기의 내부 신호와 함께 기준치(R1 내지 R4)가 공급되는 적어도 하나의 아날로그 디지털 컨버터(ADC), 특히 비교기(3 내지 6)를 포함하고,상기 ADC(3 내지 6)는 아크 억제 장치(23)에 대한 신호를 생성하는 논리 구성요소(16)에 접속되는 것인 아크 검출 수단.
- 제10항에 있어서, 상기 논리 구성요소(16)의 (파라미터) 값들을 미리 설정하는 컨트롤러(18)가 설치되는 것을 특징으로 하는 아크 검출 수단.
- 제10항 또는 제11항에 있어서, 상기 컨트롤러(18)에는 동작 필드(22)와 디스플레이(21)가 연관되는 것을 특징으로 하는 아크 검출 수단.
- 제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 상이한 기준치(R1-R4)들이 제공되는 몇개의, 특히 4개의 비교기(3-6)가 설치되는 것을 특징으로 하는 아크 검출 수단.
- 제10항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서, 기준치 생성 수단(11), 특히 분압기가 설치되는 것을 특징으로 하는 아크 검출 수단.
- 제10항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 논리 구성요소(16)는 시간격을 결정하고 그 시간격을 버퍼에 저장하는 것을 특징으로 하는 아크 검출 수단.
- 제10항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 논리 구성요소는 그 논리 구성요소에 클록 신호를 공급하는 클록 발생기(19)에 접속되는 것을 특징으로 하는 아크 검출 수단.
- 제10항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서, 피크치 정류기(7)가 설치되는 것을 특징으로 하는 아크 검출 수단.
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