JP6538702B2 - プラズマプロセスにおける放電を監視する方法およびプラズマにおける放電を監視する監視装置 - Google Patents

Description

本発明は、プラズマプロセスにおける放電を監視する方法およびプラズマプロセスにおける放電を監視する監視装置に関する。

プラズマプロセスにおいて陰極スパッタリングを用いて基板、例えばガラス基板をコーティングすることは、よく知られたプロセスである。陰極スパッタリングは、慣用のようにまたは反応性ガスを使用して行うことが可能である。後者のケースにおいてこれは反応性スパッタリングと称される。プラズマは、ターゲットから材料を取り出す、電流または電圧源によって形成される。取り出された材料はつぎに基板上にデポジットされる。デポジットの前、ターゲット材料の原子は、反応性プロセスのガスの原子または分子と結合することが可能である。

反応性プロセスでは、中間周波数ジェネレータ（ＭＦジェネレータ）を使用することができる。このようなジェネレータは一般的に１０〜５００ｋＨｚの範囲の周波数で動作する。さらにパルスジェネレータ、特にバイポーラパルスジェネレータを使用可能である。これらのジェネレータに共通であるのは、これらが周期的な出力信号を形成することである。この周期的な出力信号は、プラズマプロセスに供給される。一般的にこれらのようなジェネレータの出力電圧は、２つの電極によってプラズマチャンバに供給され、これらの電極はカソードおよびアノードとして使用される。これらの電極は共にそれぞれターゲットに接続されている。これらのジェネレータは、自由に発振するジェネレータ、または、制御された周波数を有するジェネレータであってよい。

特に反応性プロセスが使用されている場合、アークが発生し得る。アークが発生すると、アークによって基板またはターゲットが損傷されることがある。したがってアークを回避するか、またはアークが検出される場合にこれを迅速に消弧しなければならないのである。アークを消弧できるようにするためには、アークを迅速かつ確実に検出する必要がある。アークを検出するためには、電源の出力信号、すなわち給電信号を観測することができる。特に、バイポーラパルスまたはＭＦプラズマプロセスの場合のように、出力信号がその値を周期的に変化させる場合、後の周期における特定の時点の出力信号と、前の周期における同じ時点の対応する値とを比較することができる。この出力信号が極めて高速に上昇または下降する場合には問題が発生する。特にバイポーラパルス給電プラズマではこれが大いに関係する。これが発生すると、誤ったアークが検出され得る、すなわちアークが存在しなくてもアークが検出され得るのである。これは、望ましくないプラズマプロセスの中断に結び付き得る。その一方でこのような誤ったアーク検出を回避するためにアーク検出に対する閾値を大きくし過ぎると、実際のアークの検出が遅くなりすぎるかまたはまったく検出されなくなってしまい得る。この状況は図１および図２に示されている。

図１ａには基準信号波形１が示されており、この基準信号波形は、前の周期において、この場合には出力電圧である給電信号の信号波形を求め、前に求めたこの電圧波形から定数値を減算することによって求められたものである。実際の給電信号、すなわち電源の出力側で測定される電圧２は、基準信号波形１と比較される。図１ａでは、信号波形２は、上記の前の信号波形と同じであるため、アークは検出されない。このため、２つの波形１と２との間につねに差分が存在する。

図１ｂには、基準信号波形１’が、前に求めた給電信号波形に定数係数を乗算することによって形成される場合の状況が示されている。この場合、実際の給電信号２は、基準信号波形１’のはじめおよびおわりにおいて基準信号波形１’と極めて接近するが、基準信号波形１’と交差することはない。したがってアークは検出されない。

図２ａおよび図２ｂに示した状況において、基準信号波形１０および１０’は、図１ａおよび図１ｂと同じように求められている。この場合、実際の給電信号波形２０は、極めて小さい周波数ジッタを有する。したがっていずれの場合も、この実際の給電信号波形２０は、基準信号波形１０、１０’の下に下降する。これは、アークの検出に結び付く。しかしながらアークは発生していない。このことは、誤ったアーク検出と称される。実際の給電信号波形２０は、周波数ジッタが原因で、基準信号波形１０、１０’の下に下降しただけである。

本発明の目的は、プラズマプロセスにおける放電を監視する方法および監視装置を提供して、安全かつ確実にアーク検出ができるようにすることである。

この目的は、以下のステップを有する、プラズマプロセスにおける放電を監視する方法によって達成される。すなわち、
ａ） プラズマプロセスに周期的な給電信号を供給するステップと、
ｂ） 給電信号の第１周期内の第１時間区間内において、第１給電信号波形を求めるステップと、
ｃ） 給電信号の第２周期内の第２時間区間内において、第２給電信号波形を求めるステップであって、この第２時間区間が、第１周期内の第１時間区間の位置に対応する、第２周期の位置にあるステップと、
ｄ） 第２時間区間の第２給電信号波形と、第１時間区間の第１給電信号波形または基準信号波形とを比較して、第１比較結果を求めるステップと、
ｅ） 第１比較結果が、所定の第１の比較結果に対応する場合、第２区間における第２給電信号波形、第１時間区間における第１給電波形、または基準信号波形のうちの１つを時間シフトさせ、時間シフトさせたこの信号と、時間シフトさせなかった複数の信号波形のうちの１つとを比較して、第２比較結果を得るステップと、を有する方法によって達成される。

この方法により、１つの比較だけが行われるのではなく２つの比較が行われるため、一層確実なアーク検出が得られる。例えば周波数ジッタに起因する誤ったアーク検出をこれによって回避することができる。第２の比較は、第１の比較が実際のアークを検出したことを確認するために使用される。

第１または第２比較結果のうちの１つは、第１給電波形と第２給電波形との間の差分を求め、この差分が、所定の基準値を上回るか下回るかを決定することによって得ることができる。出力電流、出力電圧または出力電力のいずれが給電信号として観測されるのかに応じて、第１給電信号波形と、第２給電信号波形との間の差分が、所定の基準値を上回るかまたは下回る場合にアークが検出される。一般的にはアークが発生する場合に出力電圧が降下し、アークが発生する場合に出力電流が上昇する。したがって第１給電信号波形と第２給電信号波形とを比較することにより、特に第１給電信号波形と、第２給電信号波形との間の差分を形成することにより、アークを検出することができる。

択一的には、第１区間の第１給電信号波形に所定の値を乗算することにより、または第１区間の第１給電信号波形から定数値を減算するかまたは第１区間の第１給電信号波形加算することにより、基準信号波形を求めることができる。このような基準信号波形が、現在測定した出力信号波形（＝第２給電信号波形）と比較され、現在測定した出力信号波形と、基準信号波形とが交差する場合、このことはアークが発生したことを示し得る。

したがって、第２給電信号波形と、基準信号波形とが交差するか否かを監視することにより、第１比較結果または第２比較結果のうちの１つを得ることができる。

上記のステップｅ）において時間シフトされた信号波形は、逆方向に時間シフトさせることができ、時間シフトされたこの信号と、時間シフトされなかった複数の信号波形のうちの１つとを比較することができ、これによって第３比較結果が得られる。このようにすれば、出力電圧が上昇している場合にアークを確実に検出することができる。

上記の第１比較結果が、第１の所定の比較結果に対応し、かつ、第２または第３比較結果のうちの少なくとも１つがそれぞれ、第２または第３の所定の比較結果に等しい場合、アーク検出信号を形成することができる。したがって第１比較結果が、第２または第３比較結果のどちらかによって確認された場合にのみ、アーク検出信号が形成される。

上記の問題はまた、プラズマプロセスにおける放電を監視する監視装置によって解決され、ここでこの監視装置は、給電信号によって給電され、以下を有する。すなわち、
ａ） 給電信号の第１周期内の第１時間区間内において、第１給電信号波形を求める第１決定装置と、
ｂ） 給電信号の第２周期内の第２時間区間内において、第２給電信号波形を求める第２決定装置であって、第２時間区間が、第１周期内の第１時間区間の位置に対応する、第２周期の位置にある、第２決定装置と、
ｃ） 第２時間区間の第２給電信号波形と、第１時間区間の第１給電信号波形または基準信号波形とを比較して、第１比較結果を求める第１比較器と、
ｄ） 第２区間における第２給電信号波形、第１時間区間における第１給電信号波形、または基準信号波形のうちの１つを時間シフトする第１時間シフタと、
ｅ） 時間シフトされた信号と、時間シフトされなかった複数の信号波形のうちの１つとを比較する第２比較器とを有する。

このような監視装置により、プラズマプロセスにおけるアークを高速かつ確実に検出することができる。

第１および第２比較器のうちの少なくとも１つには、１つの信号波形を別の１つの信号波形から減算する減算装置が含まれ得る。得られた差分は、この差分が所定の比較結果に対応する場合、例えばこの差分が所定の基準値を上回るかまたは下回る場合には、アークが存在することを示す。

上記の監視装置は、基準信号波形発生器を含み得る。特にこの基準信号波形発生器は、測定した出力信号波形に所定の値を乗算する乗算器を含むか、またはこの基準信号波形発生器は、測定した信号波形から一定の所定値を減算するかまたは加算する減算器または加算器を含み得る。

第１時間シフタによって行われる時間シフトとは逆方向に信号波形を時間シフトするため、第２時間シフタを設けることができる。これにより、第１比較器によって得られた比較結果をさらに確認することができる。

第２時間シフタの出力信号と、時間シフトされなかった信号波形とを比較するため、第３比較器を設けることができる。このようにすることによって同様に、第１比較結果が確認される。

第１比較器と、第２または第３比較器のうちの少なくとも１つとに接続されるアーク信号発生器を設けることが可能である。これにより、第１比較器から得られる第１比較結果と、第２または第３比較器から得られる別の比較結果とが共にアークの存在を示す場合にのみ、アーク信号が形成されることが保証される。

本発明の上記および別の目的、特徴および利点ならびに発明それ自体は、必ずしも縮尺通りではない添付の図面と共に参照すれば、以下の説明からより完全に理解されよう。

アークの存在が示されない２つのケースにおいて、測定した信号波形と基準信号波形との比較を従来技術にしたがって示す線図である。 測定した信号波形と基準信号波形とが交差しているためにアークの存在が示されるケースにおいて、測定した信号波形と基準信号波形との比較を従来技術にしたがって示す線図である。 本発明にしたがい、誤ったアークの検出をどのように回避することができるかを示す線図である。 本発明にしたがい、アークをどのように確実に検出できるかを示す線図である。 監視装置を含むプラズマプロセスシステムを示す図である。 本発明による方法を説明するフローチャートである。

図３ａには、はじめに給電信号の第１周期内で第１給電信号波形を求め、つぎに求めたこの第１給電信号波形から定数値を減算することによって得られた基準信号波形３０が示されている。図３ａにはさらに、給電信号の第２周期において求められた第２給電信号波形３１が示されている。波形３１は、実際に測定されたまたは求められた給電信号波形に対応する。給電信号波形３０の部分３０．１は、給電信号の第１周期内の第１時間区間Δｔ内において求められる第１給電信号波形に対応し、ここでは、区間Δｔにおけるこの基準信号波形３０．１を得るため、求めた第１給電信号波形から定数値が減算されている。波形３１の部分３１．１は、給電信号の第２周期内の第２時間区間Δｔ内において求められる第２給電信号波形に対応し、第２時間区間は、第１周期内の第１時間区間の位置に対応する、第２周期の位置にある。また第１および第２周期に対して選択された上記の時間区間の長さは等しい。このため、区間Δｔ内で信号波形３０．１と３１．１とを有利に比較することができる。しかしながら当業者にとって明らかであるのは、２つの信号波形を比較するために第１および第２区間が同じ長さでなければならないということが重要でないことである。

図３ａからわかるように、信号波形３１．１は、基準信号波形３０．１と交差している。したがってアークの検出を示す第１条件が満たされている。アークが実際に存在するか否かを確認するため、区間Δｔ内で信号波形３１．１に対して時間シフト操作が行われる。時間シフトさせた信号波形には参照符号３２が付されている。第２の比較が行われ、ここでは特に、信号波形３２が依然として基準信号波形３０．１と交差するか否かがチェックされる。ここでは交差することはない。したがって第２比較結果は、所定の第２の比較結果には対応しない。これにより、第１比較結果は確認されなかったのである。アークは存在しない。

図３ｂに示した状況は、図３ａに示した状況に対応する。その違いは、基準信号波形４０が、給電信号の第１周期において求められた第１給電信号波形に定数係数を乗算することによって得られたことだけである。この場合にも、第１比較によって得られるアーク検出、すなわち基準信号波形４０に交差する信号３１．１は、時間シフトさせた信号３２によって確認されないのである。したがってアークは検出されない。

図４ａにおいて、基準信号波形５０は、給電信号の第１周期において第１出力信号波形を測定し、つぎに定数値、例えば一定の電圧を減算することによって導出されている。さらに給電信号の第２周期内において第２給電信号波形５１が求められている。信号波形５０と信号波形５１とを比較することにより、第２給電信号波形５１が、点５２において基準信号波形５０と交差していることがわかる。したがってプラズマにアークがあることを示す第１条件が満たされている。これを確認するため、第２給電信号波形５１を時間シフトさせ、時間シフトさせた信号波形５３を得る。この信号波形５３も、点５４において基準信号波形５０と交差する。したがって第２の所定の条件が満たされる。これでアークの発生が確認される。

この実施例では、時間区間Δｔを点５２の周りに選択している。したがって信号波形５１、特に時間区間Δｔ内にある部分５１．１を時間シフトさせなければならない。時間区間Δｔにおいてのみ信号５０および５１を求め、信号波形５１．１および５０．１だけを比較することも可能である。これに対して、時間区間Δｔを、給電信号の一周期またはこの給電信号の半周期となるようにすることもできる。特に信号５０および信号５１を、給電信号の異なる２つの周期に対し、対応する時間区間Δｔにおいてのみ求めることができる。

図４ｂは、実質的に図４ａに対応する。その違いは、まず給電信号の第１周期内の第１時間区間内において第１給電信号波形を求めることによって基準信号波形６０が求められ、つぎに求めたこの給電信号波形に定数係数が乗算されていることだけである。図４ｂから明らかであるのは、時間区間Δｔが、アークを検出できるように十分に大きく選択されていることである。時間区間Δｔは有利には、給電信号の少なくとも半周期に対応する。

図５には、電源７１および本発明による監視装置７２を有するプラズマ処理システム７０が示されている。電源７１は、プラズマチャンバ７３内のプラズマプロセスに電力を供給する。電源７１は、給電信号７１ａを形成し、この信号は、線路７６、７７を介してプラズマチャンバ７３内の電極７４、７５に伝送される。電源７１は、中間周波数ジェネレータ、特に自由に発振する中間周波数ジェネレータであってよい。この場合、電源７１は、正および負の半波を有する交流信号を形成する。択一的かつ好適な実施形態において、電源７１は、バイポーラパルスジェネレータであってよい。この場合、正または負の半波を個別に調整することが可能である。

給電信号は、測定手段７８、７９を介して測定可能である。第１決定装置８０は、給電信号の第１周期内の第１時間区間内において第１給電信号波形を求めるために設けられている。さらに給電信号の第２周期内の第２時間区間内において第２給電信号波形を求める第２決定装置８１が設けられており、ここでは第２時間区間が、第１周期内の第１時間区間の位置に対応する、第２周期の位置にある。好適な実施形態において、第１給電信号波形および第２給電信号波形は共に、１つの測定手段によって測定される。

第１決定装置８０は、基準信号波形を形成する基準信号発生器８２に接続されている。この基準信号波形も、第２決定装置８１によって求められる給電波形も共に第１比較器８３に供給される。あらかじめ定めた比較結果が得られる場合、アーク信号発生器８４に信号が供給される。例えば、第２決定装置８１によって求められた給電信号波形と、基準信号発生器８２において形成された基準信号波形とが交差する場合、アーク信号発生器８４に信号が供給される。

基準信号発生器８２によって形成された基準信号波形も、第１時間シフタ８６によって形成された信号も共に第２比較器８５に供給される。第１時間シフタ８６は、第２決定装置８１によって求められた給電信号波形をシフトする。求めた給電信号波形全体または第２区間にある給電信号波形の部分だけを時間シフトすることが可能である。特に、この区間は、１つの信号波形が他の信号波形に交差する点に依存して選択することが可能である。第２比較器８５によって、所定の第２の比較結果が得られる場合、アーク信号発生器８４に信号が供給される。アーク信号発生器８４は第１比較器８３および第２比較器８５から信号を受信したとする。したがってアーク信号発生器８４は、アーク検出信号を形成し、この信号が、電源７１にもアーク消弧装置８７にも供給される。このようにして電源７１およびプラズマプロセスにおいて処理される基板を保護することができる。

図５からわかるように、第３比較器８９を設けることができ、この第３比較器にも、基準信号発生器８２によって形成された基準信号と、第２決定装置８１によって求められた給電信号波形を時間シフトさせる第２時間シフタ９０からの信号とを供給することができる。しかしながらこの場合、この時間シフトは、第１時間シフタ８６によって形成される時間シフトとは逆方向に行われる。第３比較器８９により、第３の所定の比較結果が得られたことが検出されると、アーク信号発生器８４に信号が供給される。アーク信号発生器８４は、第１、第２および第３比較器８３、８５、８９から受信した信号に依存してアーク検出信号を形成することができる。

本発明にしたがって第２決定装置８１によって求められる給電信号波形を時間シフトするのとは択一的に、第１および第２時間シフタ８６、９０によって、基準信号発生器８２において形成される基準信号波形を時間シフトすることも可能である。この場合、第２決定装置８１は、第１、第２および第３比較器８３、８５および８９に接続される。この場合、第２決定装置８１によって求められる給電信号波形は、基準信号波形と比較され、また第１および第２時間シフタ８６、９０によってそれぞれ形成される時間シフトされた２つの基準信号波形と比較される。この択一的な形態は、図５において破線で略示されている。

監視装置７２を電源７１の一部とすることも可能である。

消弧装置８７も電源７１の一部とすることが可能である。

測定手段７８、７９も電源７１の一部とすることが可能である。

監視装置７２の全体またはその少なくとも一部分をマイクロコントローラ、またはデジタル信号プロセッサまたは特にプログラマブルロジックデジタルデバイス（ＰＬＤ：programmable digital logic device）に組み込むことが可能である。このＰＬＤは、ＦＰＧＡ（field programmable gate array）であってよい。これらのような装置を用いれば、極めて高速かつ確実にアークを検出することが可能である。

図６には、本発明による方法を説明するフローチャートが示されている。ステップ１００では、給電信号によって電力をプラズマプロセスに供給する。ステップ１０１では、給電信号の第１周期内の第１時間区間内で給電信号波形を求める。ステップ１０２では、給電信号の第２周期内の第２時間区間内で第２給電信号波形を求める。ここでこの第２時間区間は、第１周期内の第１時間区間の位置に対応する、第２周期の位置にある。第１時間区間および第２時間区間の長さは同じである。

ステップ１０３では、基準信号波形を形成する。この基準信号波形は有利には、ステップ１０１で求めた給電信号波形から形成される。ステップ１０４では、ステップ１０２で求めた給電信号波形と、基準信号波形とを比較する。ステップ１０５では、所定の第１の比較結果が得られたか否かをチェックする。得られた場合、ステップ１０６において、ステップ１０２で求めた給電信号波形を時間シフトさせる。得られなかった場合、ステップ１１０においてアーク信号を形成しない。ステップ１０６に続くステップ１０７では、時間シフトさせた信号と、基準信号波形とを比較する。ステップ１０８では、第２の所定の比較結果が得られたか否かをチェックする。得られた場合、ステップ１０９においてアーク信号を形成する。得られなかった場合、ステップ１１６において、ステップ１０２で求めた給電信号波形を、逆方向に時間シフトさせる。ステップ１１７では、時間シフトさせたこの信号と、基準信号波形とを比較することができる。ステップ１１８では、第３の所定の比較結果が得られたか否かをチェックすることができる。得られた場合、ステップ１０９においてアーク信号を形成する。得られなかった場合、ステップ１１０においてアーク信号を形成しない。

前に説明したように、択一的な実施形態として、ステップ１０６、１１６において基準信号波形を時間シフトさせることも可能である。この場合、ステップ１０７、１１７において給電信号波形と、時間シフトさせた基準信号波形とを比較する。

Claims (13)

1. プラズマプロセスにおける放電を監視する方法であって、
   ａ）．プラズマプロセスに周期的な給電信号（７１ａ）を供給するステップと、
   ｂ）．前記給電信号の第１周期内の第１時間区間（Δｔ）内において、第１給電信号波形を求めるステップと、
   ｃ）．前記給電信号の第２周期内の第２時間区間（Δｔ）内において、第２給電信号波形（３１、５１）を求めるステップであって、当該第２時間区間（Δｔ）が、前記第１周期内の前記第１時間区間（Δｔ）の位置に対応する、前記第２周期内の位置にある、ステップと、
   ｄ）．前記第２時間区間の前記第２給電信号波形（３１、５１）と、前記第１時間区間（Δｔ）の前記第１給電信号波形または基準信号波形（５０、６０）とを比較し、第１比較結果を求めるステップであって、前記基準信号波形（５０、６０）は、前記第１時間区間（Δｔ）における前記第１給電信号波形に所定値を乗算するか、または、前記第１時間区間（Δｔ）における前記第１給電信号波形に定数値を加算するかもしくは前記第１給電信号波形から定数値を減算することにより、求められる、ステップと、
   ｅ）．前記第１比較結果が、アークの発生を示す所定の第１比較結果に対応する場合、前記第２時間区間（Δｔ）における前記第２給電信号波形（３１、５１）、前記第１時間区間（Δｔ）における前記第１給電信号波形、または前記基準信号波形（５０、６０）のうちの１つを時間シフトさせ、当該時間シフトさせた信号波形と、時間シフトさせなかった複数の前記信号波形のうちの１つとを比較し、当該比較によって、第１の比較が実際のアークを検出したことを確認することを可能にするために第２比較結果を得るステップと
   を有する、
   ことを特徴とする方法。
2. 前記第１給電信号波形と前記第２給電信号波形（３１、５１）との間の差分を求めて当該差分が、所定の基準値を上回るかまたは下回るかを求めることにより、前記第１比較結果または前記第２比較結果のうちの１つを得る、
   請求項１に記載の方法。
3. 前記第２給電信号波形（３１、５１）が前記基準信号波形（５０、６０）と交差するか否かを監視することにより、前記第１比較結果または前記第２比較結果のうちの１つを得る、
   請求項１又は２に記載の方法。
4. 前記ステップｅ）において時間シフトさせた前記信号波形を逆方向に時間シフトさせ、
   当該逆方向に時間シフトさせた信号波形を、時間シフトされなかった複数の前記信号波形のうちの１つと比較して、当該比較によって第３比較結果を得る、
   請求項１から３までのいずれか１項に記載の方法。
5. 前記第１比較結果が、前記所定の第１比較結果に対応し、かつ、前記第２比較結果が、所定の第２比較結果に対応する場合に、アーク検出信号を形成する、
   請求項１から４までのいずれか１項に記載の方法。
6. 前記第１比較結果が、前記所定の第１比較結果に対応し、かつ、前記第３比較結果が、所定の第３比較結果に対応する場合に、アーク検出信号を形成する、
   請求項４に記載の方法。
7. プラズマプロセスにおける放電を監視する監視装置（７２）において、
   該監視装置（７２）は、給電信号（７１ａ）によって給電され、かつ、
   ａ）． 前記給電信号の第１周期内の第１時間区間（Δｔ）内において、第１給電信号波形を求める第１決定装置（８０）と、
   ｂ）． 前記給電信号の第２周期内の第２時間区間内において、第２給電信号波形（３１、５１）を求める第２決定装置（８１）であって、前記第２時間区間が、前記第１周期内の前記第１時間区間（Δｔ）の位置に対応する、前記第２周期内の位置にある、第２決定装置（８１）と、
   ｃ）． 前記第２時間区間の前記第２給電信号波形（３１、５１）と、前記第１時間区間（Δｔ）の前記第１給電信号波形または基準信号波形（５０、６０）とを比較して、アークの発生を示す第１比較結果を求める第１比較器（８３）であって、前記基準信号波形（５０、６０）は、前記第１時間区間（Δｔ）における前記第１給電信号波形に所定値を乗算するか、または前記第１時間区間（Δｔ）における前記第１給電信号波形に定数値を加算するかもしくは前記第１給電信号波形から定数値を減算することにより、求められる、第１比較器（８３）と、
   ｄ）． 前記第２時間区間における前記第２給電信号波形（３１、５１）、前記第１時間区間（Δｔ）における前記第１給電信号波形、または前記基準信号波形（５０、６０）のうちの１つを時間シフトさせる第１時間シフタ（８６）と、
   ｅ）． 第１の比較が実際のアークを検出したことを確認することを可能にするために、前記時間シフトさせた信号波形と、時間シフトさせなかった複数の前記信号波形のうちの１つとを比較する第２比較器（８５）と
   を、有することを特徴とする、
   監視装置（７２）。
8. 前記第１比較器（８３）および前記第２比較器（８５）のうちの少なくとも１つは、１つの信号波形を別の１つの信号波形から減算する減算装置を有する、
   請求項７に記載の監視装置（７２）。
9. 基準信号波形発生器（８２）が設けられている、
   請求項７または８に記載の監視装置（７２）。
10. 前記第１時間シフタ（８６）によって行われる前記時間シフトとは逆方向に信号波形を時間シフトさせる第２時間シフタ（９０）が設けられている、
    請求項７から９までのいずれか１項に記載の監視装置（７２）。
11. 前記第２時間シフタ（９０）の出力信号波形と、前記時間シフトされなかった信号波形とを比較する第３比較器（８９）が設けられている、
    請求項１０に記載の監視装置（７２）。
12. 前記第１比較器（８３）および前記第２比較器（８５）に接続されているアーク信号発生器（８４）が設けられている、
    請求項７から１１までのいずれか１項に記載の監視装置（７２）。
13. 前記第１比較器（８３）および前記第３比較器（８９）に接続されているアーク信号発生器（８４）が設けられている、
    請求項１１に記載の監視装置（７２）。

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