KR20070049826A - 케이블 유동 방지 기능을 구비한 반도체 제조 장치 - Google Patents

케이블 유동 방지 기능을 구비한 반도체 제조 장치 Download PDF

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KR20070049826A
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Abstract

본 발명은 케이블 유동 방지 기능을 구비한 반도체 제조 장치에 관한 것으로,
이를 실현하기 위하여 본 발명은, 반도체 제조 공정을 수행하는 공정 챔버; 상기 공정 챔버 내의 온도를 측정하는 열전대; 상기 공정 챔버의 외측에 결합하여 상기 열전대를 상기 공정 챔버 내로 삽입하기 위한 홀을 형성하는 케이블 커넥터; 및 상기 열전대와 연결되어 있으며 상기 열전대로부터 전달되는 상기 온도에 따라 상기 공정 챔버 내의 온도를 조절하는 컨트롤러;를 포함하여 구성하는 반도체 제조 장치에 있어서, 상기 케이블 커넥터는 상기 열전대의 케이블의 미동을 방지하는 케이블 미동 방지부를 포함하고 있으며, 상기 케이블 미동 방지부는 실리콘러버와 케이블 보호 몸체의 사이에서 상기 케이블을 파지하는 원통형 모양의 케이블 파지부; 및 상기 케이블 파지부의 일측을 따라 "ㄷ" 모양으로 연장되어 상기 케이블 보호 몸체의 하단까지 형성하며 상기 케이블 보호 몸체의 하단 일측을 파지하는 걸림부;를 포함하여 구성하는 것을 특징으로 하는 케이블 유동 방지 기능을 구비한 반도체 제조 장치를 제공한다.
본 발명에 의하면 공정 챔버 내의 온도를 측정하는 열전대가 유동되는 것을 방지할 수 있으므로, 온도 측정 불량으로 인한 공정 에러 및 이로 인한 공정 진행 중의 웨이퍼 손실의 문제점을 해소할 수 있는 반도체 제조 장치를 제공할 수 있는 효과가 있다.
열전대(Thermo Couple), 히팅 챔버, 웨이퍼, 케이블(Cable)

Description

케이블 유동 방지 기능을 구비한 반도체 제조 장치{Semiconductor Manufacture Device with Function Preventing Movement of Cable}
도 1a는 종래의 반도체 제조 장치에 사용되는 온도 측정 장치의 개략적인 구성도,
도 1b는 종래의 온도 측정 장치가 히팅 챔버에 결합된 구성을 설명하기 위한 도면,
도 2a 및 도 2b는 본 발명의 실시예에 따른 케이블 유동 방지 기능을 구비한 반도체 제조 장치의 구조를 설명하기 위한 도면이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
40: 케이블 커넥터 42: 홀(hole)
44: 케이블 보호 몸체 46: 체결부
50: 케이블 미동 방지부 52: 케이블 파지부
54: 걸림부
본 발명은 케이블 유동 방지 기능을 구비한 반도체 제조 장치에 관한 것으 로, 더욱 상세하게는 히팅 챔버에 열전대가 삽입된 후에는 상기 열전대가 임으로 유동되는 것을 방지하는 반도체 제조 장치에 관한 것이다.
통상, 열산화 공정 등의 반도체 제조 공정은 코일(Coil)이 내재된 히팅챔버(Heating chamber)와 상기 히팅챔버에서 발산되는 열이 전도되어 특정 고온 상태가 형성되며, 반도체 제조 공정이 진행되는 웨이퍼가 위치하는 석영 튜브 등이 구비되는 공정 챔버 내부에서 진행된다. 그리고, 상기 반도체 제조 공정이 진행되는 석영 튜브의 온도는 도 1a에 도시된 바와 같은 열전대(Thermocouple)(10) 등의 온도 측정 장치에 의해서 주기적으로 측정되며, 측정된 온도에 따라 상기 석영 튜브의 온도를 보상토록 함으로써 석영 튜브의 온도를 일정하게 유지시키도록 구성된다.
이러한 열전대(10)는 서로 다른 재질로 제조된 두 가닥의 소선(12a, 12b)을 외부와 절연시키는 절연 표면을 이루는 인슐레이터(16)와 상기 소선(12a, 12b)이 인슐레이터(16)의 일측에서 돌출된 후, 상호 접합되어 형성된 접합부(14)와 상기 인슐레이터(16)의 다른 일측과 연결되어 상기 소선(12a, 12b)이 유동되는 것을 방지하는 실리콘러버(18)가 구비된다. 상기 실리콘러버(18)의 일측에는 상기 접합부(14)에 의해서 측정된 열기전력을 온도로 환산하는 컨트롤러(미도시)와 연결되는 피복소선(20a, 20b)이 돌출되어 있다.
도 1b는 종래의 온도 측정 장치, 즉 열전대가 히팅 챔버에 결합된 구성을 설명하기 위한 도면이다.
종래의 반도체 제조 장치는 상기 열전대(10)를 삽입할 수 있도록하는 홀을 형성하고 상기 히팅 챔버(30)에 부착하는 케이블 커넥터(40)를 통해 상기 열전대와 히팅 챔버를 결합하였다.
도면에는 나타나 있지 않으나, 상기 홀은 상기 히팅 챔버의 벽을 관통하고 있으므로 상기 열전대(10)와 컨트롤러(미도시)가 도 1a에 도시된 피복소선(20a, 20b)에 의해서 연결되고, 또한, 컨트롤러(미도시)와 전원공급장치(미도시)가 연결되며, 상기 전원공급장치(미도시)와 상기 히팅 챔버(30) 내부에 내재된 히팅코일(미도시)이 다수의 전원에 의해서 연결되어 있다.
따라서, 작업자가 히팅 챔버(30)에 부착된 케이블 커넥터(40)의 홀을 통하여 히팅 코일(미도시)과 인접한 위치에 전술한 열전대(10)의 소선(12a, 12b)의 접합부(14)를 위치시키면, 접합부(14)에는 일정열이 가해지게 되고 상기 일정열에 의해서 열기전력이 발생된다.
그리고, 발생된 열기전력은 컨트롤러(미도시)에 인가되어 온도로 환산된다. 이후 컨트롤러(미도시)는 전원공급장치(미도시)를 제어함에 따라 전원공급장치에서는 히팅 챔버(30) 내부에 내재된 히팅코일(미도시)에 전기 에너지를 공급하여 챔버 내의 온도를 조절한다.
그러나, 이러한 구성의 종래 온도 측정 장치는 열전대의 삽입 게이트로 작용하는 케이블 커넥터(40)에 아무런 기구적 변형없이 단순히 열전대(10) 삽입 후 챔버 내부의 온도를 전달하는 구성으로 되어 있어서 상기 열전대(10)의 미세한 접근 조작이 불가능하였고, 또 상기 열전대(10)의 케이블이 유동할 수 있는 소지가 커서 챔버(30) 내의 온도 측정 불량 및 이로 인한 공정 진행 과정에서의 웨이퍼의 손실의 문제점이 있었다.
이러한 문제점을 해결하기 위해 본 발명은, 히팅 챔버에 형성된 케이블 커넥터에 열전대가 삽입된 후에는 상기 열전대가 임으로 유동되는 것을 방지하는 반도체 제조 장치를 제공함으로써 챔버 내의 온도를 정확하게 측정할 수 있는 반도체 제조 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 반도체 제조 공정을 수행하는 공정 챔버; 상기 공정 챔버 내의 온도를 측정하는 열전대; 상기 공정 챔버의 외측에 결합하여 상기 열전대를 상기 공정 챔버 내로 삽입하기 위한 홀을 형성하는 케이블 커넥터; 및 상기 열전대와 연결되어 있으며 상기 열전대로부터 전달되는 상기 온도에 따라 상기 공정 챔버 내의 온도를 조절하는 컨트롤러;를 포함하여 구성하는 반도체 제조 장치에 있어서, 상기 케이블 커넥터는 상기 열전대의 케이블의 미동을 방지하는 케이블 미동 방지부를 포함하고 있으며, 상기 케이블 미동 방지부는 실리콘러버와 케이블 보호 몸체의 사이에서 상기 케이블을 파지하는 원통형 모양의 케이블 파지부; 및 상기 케이블 파지부의 일측을 따라 "ㄷ" 모양으로 연장되어 상기 케이블 보호 몸체의 하단까지 형성하며 상기 케이블 보호 몸체의 하단 일측을 파지하는 걸림부;를 포함하여 구성하는 것을 특징으로 하는 케이블 유동 방지 기능을 구비한 반도체 제조 장치를 제공한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소 들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명의 실시예에 따른 케이블 유동 방지 기능을 구비한 반도체 제조 장치의 구조를 설명하기 위한 도면이다.
본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조 장치는 반도체 제조 공정을 수행하는 챔버(30), 챔버 내의 공정 온도를 측정하는 열전대(10) 및 상기 챔버의 일측에 구비하여 상기 열전대가 삽입하는 게이트 역할을 하는 케이블 커넥터(40)를 포함한다.
또한, 상기 케이블 커넥터(40)는 상기 열전대(10)가 상기 챔버(30) 내로 삽입되어 챔버의 내부까지 관통하도록 형성된 홀(42), 상기 열전대의 케이블을 외부의 물리적 환경으로부터 보호하는 케이블 보호 몸체(44) 및 상기 케이블 보호 몸체를 상기 챔버(30)의 외부 벽면에 체결 결합시키는 체결부(46)로 결합하며, 특히 본 발명의 실시예에서 상기 케이블 커넥터(40)는 상기 케이블의 유동을 방지하는 케이블 미동 방지부(50)를 더 포함하고 있다.
상기 케이블 미동 방지부(50)는 실리콘러버(18)와 케이블 보호 몸체(44)의 사이에서 상기 케이블을 파지하는 원통형 모양의 케이블 파지부(52)와 상기 케이블 파지부(52)의 일측을 따라 "ㄷ" 모양으로 상기 케이블 보호 몸체의 하단까지 형성하는 걸림부(54)로 구성된다.
케이블 파지부(52)는 상기 케이블의 일단을 고정하는 역할을 수행한다. 본 발명의 실시예에서 상기 케이블 파지부(52)는 외부의 물리적 힘에 따라 변형이 가능한 알루미늄 재질로서 내부에는 상기 케이블을 종 방향으로 포함할 수 있는 개방된 공간을 가지고 있으며 상기 케이블을 포함한 상태에서 외부의 물리적 힘을 가하면 상기 케이블을 파지할 수 있는 구조로 구성되어 있다.
또한 상기 걸림부(54)는 그 일측에 상기 케이블 파지부(52)와 연결하고 나머지 일측에 상기 케이블 보호 몸체(44)의 하단을 파지한채 "ㄷ" 형상으로 구성되어 있으므로 상기 케이블 보호 몸체(44)를 사이에 두고 상기 케이블의 위치를 고정하는 역할을 수행한다.
즉, 본 발명의 실시예에서 열전대(10)의 케이블은 케이블 파지부(52)에 의해 파지된 상태에서 상기 "ㄷ" 형상의 걸림부(54)에 의해 그 위치가 고정되어, 챔버 내의 온도를 오차없이 컨트롤러(미도시)에 전송할 수 있게 된다.
그러나, 본 발명의 실시예에서 케이블 미동 방지부(50)는 설명의 편의를 위해 열전대(10)의 케이블을 예로 들어 설명한 것일 뿐 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 특정 장치 내로 삽입되는 케이블을 특정 위치에 고정하기 위해 상기 케이블 미동 방지부(50)를 사용하는 실시예의 경우는 모두 이에 포함되는 것으로 해석해야 할 것이다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따 라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 공정 챔버 내의 온도를 측정하는 열전대가 유동되는 것을 방지할 수 있으므로, 온도 측정 불량으로 인한 공정 에러 및 이로 인한 공정 진행 중의 웨이퍼 손실의 문제점을 해소할 수 있는 반도체 제조 장치를 제공할 수 있다.

Claims (1)

  1. 반도체 제조 공정을 수행하는 공정 챔버; 상기 공정 챔버 내의 온도를 측정하는 열전대; 상기 공정 챔버의 외측에 결합하여 상기 열전대를 상기 공정 챔버 내로 삽입하기 위한 홀을 형성하는 케이블 커넥터; 및 상기 열전대와 연결되어 있으며 상기 열전대로부터 전달되는 상기 온도에 따라 상기 공정 챔버 내의 온도를 조절하는 컨트롤러;를 포함하여 구성하는 반도체 제조 장치에 있어서,
    상기 케이블 커넥터는 상기 열전대의 케이블의 미동을 방지하는 케이블 미동 방지부를 포함하고 있으며,
    상기 케이블 미동 방지부는 실리콘러버와 케이블 보호 몸체의 사이에서 상기 케이블을 파지하는 원통형 모양의 케이블 파지부; 및
    상기 케이블 파지부의 일측을 따라 "ㄷ" 모양으로 연장되어 상기 케이블 보호 몸체의 하단까지 형성하며 상기 케이블 보호 몸체의 하단 일측을 파지하는 걸림부;
    를 포함하여 구성하는 것을 특징으로 하는 케이블 유동 방지 기능을 구비한 반도체 제조 장치.
KR1020050107023A 2005-11-09 2005-11-09 케이블 유동 방지 기능을 구비한 반도체 제조 장치 KR20070049826A (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN107727272A (zh) * 2017-09-06 2018-02-23 东阳市光明电力建设有限公司 预置式电缆头测温传感器

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