JP5366772B2 - 温度検出装置 - Google Patents
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- 温度センサと、
前記温度センサを収容する空間を外周部に連通させて形成したワークウェハと、
を備え、
前記空間は、前記外周部から内側へ向かって狭くなり、前記温度センサは、設置目標位置において前記空間の内面と接する温度検出装置。 - 前記空間は充填材で密封されている請求項1に記載の温度検出装置。
- 温度センサと、
互いに重ねあわされる重ね合わせ面に前記温度センサを収容する空間を形成した、2枚のワークウェハと、
を備え、
前記空間は、外周部から内側へ向かって狭くなり、前記温度センサは、設置目標位置において前記空間の内面と接する温度検出装置。 - 前記空間は、外周部から内側へ向かって、前記2枚のワークウェハの重ね合わせ方向である高さが小さくなるように狭くなる請求項3に記載の温度検出装置。
- 前記空間は、外周部から内側へ向かって、前記2枚のワークウェハの重ね合わせ方向に直交する方向である幅が小さくなるように狭くなる請求項3または4に記載の温度検出装置。
- 前記2枚のワークウェハのうち一方の重ね合わせ面に、前記空間を形成する溝部を設ける請求項3から5のいずれか1項に記載の温度検出装置。
- 前記2枚のワークウェハの両方の重ね合わせ面に、前記空間を形成する溝部をそれぞれ同じ深さで設ける請求項3から5のいずれか1項に記載の温度検出装置。
- 前記温度センサと前記2枚のワークウェハとの隙間が充填材で密封される請求項3から7のいずれか1項に記載の温度検出装置。
- 前記温度センサを前記2枚のワークウェハのいずれかの面に付勢する付勢部材を前記空間に備える請求項3から8のいずれか1項に記載の温度検出装置。
- 前記温度センサは、熱電対であることを特徴とする請求項1から9のいずれか1項に記載の温度検出装置。
- 前記熱電対は、シース管と、前記シース管の内部に少なくとも一対の熱電対素線を配置してなるシース型熱電対であることを特徴とする請求項10に記載の温度検出装置。
- 前記シース管は、前記空間の形状に合わせて、かつ、前記一対の熱電対素線が外部空間に露出しないように、一部がカットされていることを特徴とする請求項11に記載の温度検出装置。
- 前記温度センサに接続されたケーブルを備え、
前記ケーブルは、前記空間内に収容されており、前記空間内から外周部を経て前記ワークウェハの外部に引き出されている請求項1から12のいずれか1項に記載の温度検出装置。 - 前記ワークウェハの形状は、半導体製造工程において両面から挟み込まれて熱処理されるウェハの形状と同一である請求項1から13のいずれか1項に記載の温度検出装置。
- 前記ワークウェハの材質は、半導体製造工程において両面から挟み込まれて熱処理されるウェハの材質と同一である請求項1から14のいずれか1項に記載の温度検出装置。
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