KR20070017673A - 다중 기판의 화학 기상 증착 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (17)
- 기체 유입구와 기체 배출구가 형성된 챔버;기판과, 상기 기체 유입구를 통하여 유입되는 기체와의 반응 온도를 조절하기 위한 가열 수단;상기 챔버의 내부에서 회전 가능한 회전판을 구비하고, 상기 회전판 상에는 기판이 각각 배치된 다수의 디스크 수단들을 구비하며, 상기 회전판의 회전을 통하여 상기 기판에 공전을 부여하는 기판 공전 수단;상기 기판 공전 수단의 회전에 의하여 상기 회전판 상에서 상기 디스크 수단을 각각 회전시켜 상기 디스크 수단 상의 각각의 기판에 자전을 부여하도록 된 기판 자전수단; 및상기 기판 공전 수단 및 기판 자전 수단에 각각 별도의 구동력을 부여하는 구동수단;을 포함하여 상기 기판의 증착 중에 회전을 이루도록 구성된 다중 기판의 화학 기상 증착 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 가열 수단은 상기 기판 하부에 위치하는 것을 특징으로 하는 다중 기판의 화학 기상 증착 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 가열 수단은 RF 유도 가열장치인 것을 특징으로 하는 다중 기판의 화학 기상 증착 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 가열수단은 상기 챔버를 둘러싸도록 측면에 위치하는 것을 특징으로 하는 다중 기판의 화학 기상 증착 장치.
- 제4항에 있어서, 상기 가열 수단은 저항 가열장치인 것을 특징으로 하는 다중 기판의 화학 기상 증착 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 기판 공전 수단은 회전판의 하부 면으로부터 제1 회전축이 챔버의 외측으로 밀봉 가능하게 연장되어 회전되며, 상기 디스크 수단들은 상기 회전판에 형성된 각각의 구멍 내에 회전 가능하도록 배치된 것임을 특징으로 하는 다중 기판의 화학 기상 증착 장치.
- 제6항에 있어서, 상기 디스크 수단은 회전판의 중앙에 형성되는 제1 회전축을 중심으로 동심원상에 배치되는 원판들로 이루어지며, 상기 회전판의 구멍에는 각각 상기 디스크 수단이 안착되어 회전 가능한 단턱이 형성된 것임을 특징으로 하는 다중 기판의 화학 기상 증착 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 기판 자전수단은 상기 디스크 수단의 하면 측으로부터 하향 연장되는 돌기와, 상기 돌기의 하단이 끼워져 활주 이동 안내되는 홈이 상부 면에 형성된 고정판을 포함하고, 상기 고정판의 하부 면으로부터 제2 회전축이 챔버의 외측으로 밀봉 가능하게 연장되어 회전되는 것을 특징으로 하는 다중 기판의 화학 기상 증착 장치.
- 제8항에 있어서, 상기 고정판은 상기 회전판의 하면에 밀착 배치되고, 상기 고정판의 상부 면에 형성된 홈은 고정판 상에서 각각 호형으로 휘어진 상태로 형성되며, 서로 연결되어 하나의 연속된 트랙(Track)을 형성하는 것을 특징으로 하는 다중 기판의 화학 기상 증착 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 회전판과 고정판들은 동일한 크기의 원판 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 다중 기판의 화학 기상 증착 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 기판 공전 수단의 제1 회전축과, 상기 기판 자전수단의 제2 회전축은 상기 제2 회전축의 내부에 제1 회전축이 회전되는 동축 구조를 갖추고, 관통 콘넥터를 통하여 챔버의 하부 면에 밀봉 상태로 회전가능하게 연결되며, 상기 구동수단의 제1모터수단과 제2모터수단에 동력 전달 가능하게 연결되는 것임을 특징으로 하는 다중 기판의 화학 기상 증착 장치.
- 제11항에 있어서, 상기 구동수단의 제1 및 제 2모터 수단들은 베벨 기어 쌍들을 통하여 상기 제1 회전축과 제2 회전축들을 개별적으로 구동시키는 것임을 특징으로 하는 다중 기판의 화학 기상 증착 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 챔버 내에는 한 가지 이상의 증착 기체가 상기 회전판의 중앙으로 부터 외주부분으로 흐르도록 기체 유입구와 기체 배출구가 형성된 것임을 특징으로 하는 다중 기판의 화학 기상 증착 장치.
- 제13항에 있어서, 상기 기체 유입구는 상기 챔버 상부면 중앙에 위치하는 것을 특징으로 하는 다중 기판의 화학 기상 증착 장치.
- 제13항에 있어서, 상기 기체 배출구는 상기 챔버 측면 하부에 위치하는 것을 특징으로 하는 다중 기판의 화학 기상 증착 장치.
- 제13항에 있어서, 상기 기체 배출구는 상기 챔버 하부 면에 위치하는 것을 특징으로 하는 다중 기판의 화학 기상 증착 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 챔버의 측면 상측에는 한가지 이상의 증착 기체가 상기 챔버 내부로 유입되도록 기체 유입구가 형성되며, 상기 챔버 하부에 기체 배출부가 형성된 것을 특징으로 하는 다중 기판의 화학 기상 증착 장치.
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