KR20070016441A - Blade type probe block - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정표시장치, 집적회로 등 평판형 피검사체를 검사하는 블레이드 타입 프로브 블럭에 관한 것으로, 보다 자세하게는 프로브 탐침을 에폭시로 고정한 다수의 단위체를 구성하여, 교체와 수리가 용이하고 탐침간의 간격을 일정하게 유지하여 검사시 에러 발생을 최소화하는 블레이드 타입 프로브 블럭에 관한 것이다.The present invention relates to a blade type probe block for inspecting a flat object such as a liquid crystal display device and an integrated circuit, and more particularly, to configure a plurality of units in which the probe probe is fixed with epoxy, so that replacement and repair are easy, and the interval between the probes is easy. It is related to a blade type probe block to keep the constant to minimize the occurrence of errors during inspection.

본 발명의 블레이드 타입 프로브 블럭은 프로브 탐침을 정렬하는 가이드 필름; 상기 프로브 탐침을 고정하는 가이드 바; 상기 가이드 바를 고정하는 사이드 커버; 및 프로브 플레이트와 결합되며 상기 가이드 필름, 가이드 바, 사이드 커버가 고정되는 몸체로 이루어지며, 다수개의 프로브 탐침이 하나의 단위체로 형성되고, 상기 단위체가 다수로 형성되어 디스플레이 패널을 검사하는 것에 기술적 특징이 있다.Blade type probe block of the present invention comprises a guide film for aligning the probe probe; A guide bar fixing the probe probe; A side cover fixing the guide bar; And a body coupled to the probe plate and to which the guide film, the guide bar, and the side cover are fixed, and a plurality of probe probes are formed in one unit, and the units are formed in plural to inspect the display panel. There is this.

따라서, 본 발명의 블레이드 타입 프로브 블럭은 프로브 탐침을 단위체로 구성하여 슬릿 및 필름 커버를 구비하지 않아도 되므로 제조 공정을 간략화하며, 단가를 낮출 수 있다.Therefore, the blade type probe block of the present invention does not need to include a slit and a film cover by configuring the probe probe as a unit, thereby simplifying the manufacturing process and lowering the unit cost.

또한, 프로브 탐침의 교체 및 수리를 단위체별로 진행하므로 작업이 수월해지며, 얼라인 유지가 용이해 검사시 에러발생을 최소화할 수 있다.In addition, since the replacement and repair of the probe probe is carried out for each unit, the work becomes easier, and the alignment can be easily maintained, thereby minimizing the occurrence of errors during the inspection.

프로브 블럭, 블레이드 타입, 단위체. Probe block, blade type, unit.

Description

블레이드 타입 프로브 블럭{Blade type probe block}Blade type probe block

도 1은 종래의 니들 타입의 프로브 블럭,1 is a probe block of a conventional needle type,

도 2는 종래의 블레이드 타입의 프로브 블럭,2 is a probe block of a conventional blade type,

도 3은 프로브 유닛,3 is a probe unit,

도 4는 메인 블럭,4 is a main block,

도 5는 메인 블럭의 분해도,5 is an exploded view of the main block;

도 6은 프로브 블럭의 분해도,6 is an exploded view of a probe block,

도 7은 본 발명에 따른 블레이드 타입 프로브 블럭의 예시도,7 is an exemplary view of a blade type probe block according to the present invention;

도 8은 본 발명에 따른 블레이드 타입 프로브 블럭.8 is a blade type probe block according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

1: 사이드 커버 2: 몸체1: side cover 2: body

3: 가이드 필름 4: 필름 커버3: guide film 4: film cover

5: 슬릿 6: 블럭 플레이트5: slit 6: block plate

7: 프로브 탐침 8: 가이드 바7: Probe Probe 8: Guide Bar

9: 단위체 10: 메니퓰레이터9: unit 10: manipulator

20: TCP 블럭 30: 프로브 블럭20: TCP block 30: probe block

100: 게이트 200: 메인 블럭100: gate 200: main block

300: 패널 1000: 프로브 유닛300: panel 1000: probe unit

본 발명은 액정표시장치(이하, LCD), 집적회로 등 평판형 피검사체를 검사하는 블레이드 타입 프로브 블럭에 관한 것으로, 보다 자세하게는 프로브 탐침을 에폭시로 고정한 다수의 단위체를 구성하여, 교체와 수리가 용이하고 탐침간의 간격을 일정하게 유지하여 검사시 에러 발생을 최소화하는 블레이드 타입 프로브 블럭에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a blade type probe block for inspecting a flat object such as a liquid crystal display (hereinafter referred to as an LCD) and an integrated circuit. The invention relates to a blade type probe block that minimizes the occurrence of errors in inspection by facilitating and maintaining a constant interval between probes.

일반적으로 LCD는 음극선과 더불어 가장 널리 사용되는 디스플레이 장치로서, 전압인가에 따라 배열방향을 달리하는 액정분자의 고유특성을 이용하여 박형화, 소형화할 수 있다. 이러한 LCD는 모듈상태에서 화질이나 전극패턴의 불량유무를 검사하기 위하여 다수의 핀프로브가 조립된 핀프로브조립체를 사용하는데, 핀프로브의 한쪽선단에 신호발생기를 접촉하고 다른쪽 선단에 전극을 접촉하여 검사한다.In general, LCD is a display device which is most widely used together with cathode rays, and can be thinned and miniaturized by using inherent characteristics of liquid crystal molecules that vary in the arrangement direction depending on voltage application. The LCD uses a pin probe assembly in which a plurality of pin probes are assembled in order to check the quality of an image or an electrode pattern in a module state. The LCD touches a signal generator on one end of the pin probe and an electrode on the other end. Check it.

도 1은 종래의 니들 타입의 프로브 블럭을 나타낸 것이다. 니들 타입의 프로브 블럭은 전극과 접촉부위를 와이어를 사용하여 접촉한다. 니들 타입의 프로브 블 럭은 전극과의 접촉시 프로브 핀(pin) 부분이 휘어질 수 있고, 패널(panel)이 찢기는 경우가 발생하여 접촉불량이 발생하곤 한다. 도 1의 하단에는 프로브 핀 부분이 휘어진 모습을 나타낸 확대도이다.1 illustrates a conventional needle type probe block. The needle-type probe block contacts the electrode with the contact portion using a wire. Needle type probe block may be bent the pin portion of the probe (pin) when the contact with the electrode, the panel (panel) torn occurs often occurs contact failure. 1 is an enlarged view showing a bent portion of the probe pin portion.

니들 타입의 프로브 블럭은 가격이 저렴하고 제조 공정이 단순하다는 장점이 있지만, 각각의 프로브 핀의 교체가 불가능하여 프로브 전체 블록을 교체해야만 하는 문제점이 있다. 따라서, 고 해상도 제품의 검사에 사용하기에는 무리가 따른다.Needle type probe block has the advantages of low cost and simple manufacturing process, but there is a problem that the entire probe block must be replaced because the replacement of each probe pin is impossible. Therefore, it is difficult to use for inspection of high resolution products.

도 2는 종래의 블레이드 타입의 프로브 블럭을 나타낸 것이다. 블레이드 타입의 프로브 블럭은 초기의 니들 타입의 프로브 블럭에서 사용하던 와이어 대신 블레이드 방식의 팁(tip)을 사용하는 것이다.Figure 2 shows a probe block of a conventional blade type. The blade type probe block uses a blade type tip instead of the wire used in the initial needle type probe block.

블레이드 타입의 프로브 블럭은 셋업(set up)시 조작미숙으로 인해 슬릿(slit)이 파손되기 쉽고 이로인해 접촉 불량이 자주 발생한다. 도 2의 하단에는 슬릿이 파손된 모습을 나타낸 확대도이다.Blade type probe blocks are prone to breakage of the slit due to immaturity of operation during set up, and thus poor contact often occurs. 2 is an enlarged view showing a state in which the slit is broken.

종래의 블레이드 타입의 프로브 블럭은 니들(핀)이 휘는 문제점을 극복하여 내구성을 향상시킬 수 있고, 불량 핀만을 교체하는 방식으로 교체가 가능한 장점이 있다. 그러나, 슬릿 및 필름의 가공상 한계로 인해 탐침간의 간격이 일정하지 않아 검사시 에러가 발생한다. 또한, 슬릿 및 필름의 가공이 어려운 관계로 제조시 단가가 매우 높아진다. 또한, 슬릿 및 필름을 미세가공하므로 그로 인한 파손 및 변형이 자주 발생된다. 따라서, 핀을 교체하는 일이 자주 발생하는 바, 불량 핀만을 교체해야 하는 작업상 어려움이 수반된다.Conventional blade type probe block can improve the durability by overcoming the problem of bending the needle (pin), there is an advantage that can be replaced by replacing only the defective pin. However, due to processing limitations of the slit and film, the spacing between the probes is not constant and an error occurs in the inspection. In addition, since the processing of the slit and the film is difficult, the unit cost during manufacturing becomes very high. In addition, since the slit and the film is microfabricated, breakage and deformation are frequently caused. Therefore, the replacement of pins frequently occurs, which entails an operation difficulty of replacing only defective pins.

따라서, 본 발명은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 프로브 탐침을 에폭시로 고정한 다수의 단위체를 구성하여, 교체와 수리가 용이한 블레이드 타입 프로브 블럭을 제공함에 본 발명의 목적이 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a blade type probe block which is easy to replace and repair by constructing a plurality of units in which a probe probe is fixed with epoxy, to solve the problems of the prior art.

또한, 탐침간의 간격을 일정하게 유지하여 검사시 에러 발생을 최소화하는 블레이드 타입 프로브 블럭을 제공함에 본 발명의 또 다른 목적이 있다.In addition, another object of the present invention is to provide a blade-type probe block that minimizes the occurrence of errors during inspection by maintaining a constant interval between the probes.

본 발명의 상기 목적은 프로브 탐침을 정렬하는 가이드 필름; 상기 프로브 탐침을 고정하는 가이드 바; 상기 가이드 바를 고정하는 사이드 커버; 및 프로브 플레이트와 결합되며 상기 가이드 필름, 가이드 바, 사이드 커버가 고정되는 몸체로 이루어지며, 다수개의 프로브 탐침이 하나의 단위체로 형성되고, 상기 단위체가 다수로 형성되어 디스플레이 패널을 검사하는 블레이드 타입 프로브 블럭에 의해 달성된다.The object of the present invention is a guide film for aligning the probe probe; A guide bar fixing the probe probe; A side cover fixing the guide bar; And a blade type probe coupled to the probe plate and having a body to which the guide film, the guide bar, and the side cover are fixed, and a plurality of probe probes are formed in one unit, and the units are formed in plurality. Achieved by block.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Prior to this, terms or words used in the specification and claims should not be construed as having a conventional or dictionary meaning, and the inventors should properly explain the concept of terms in order to best explain their own invention. Based on the principle that can be defined, it should be interpreted as meaning and concept corresponding to the technical idea of the present invention. Therefore, the embodiments described in the specification and the drawings shown in the drawings are only the most preferred embodiment of the present invention and do not represent all of the technical idea of the present invention, various modifications that can be replaced at the time of the present application It should be understood that there may be equivalents and variations.

도 3 내지 도 6은 본 발명의 블레이드 타입 프로브 블럭의 구동원리를 설명하기 위한 제반 설명이다.3 to 6 are general descriptions for explaining the driving principle of the blade type probe block of the present invention.

먼저, 도 3은 프로브 유닛(1000)을 나타낸 것이다. 프로브 유닛(1000)은 LCD 반제품인 모듈 제작이전에 LCD 패널(300)의 점등이 정확이 작동되는지 확인하기 위한 검사 툴(tool)이다. 프로브 유닛(1000)은 신호를 인가하는 게이트(100)와 게이트 신호를 받은 LCD 패널(300)로부터 데이터를 수신하는 다수의 메인 블럭(200)으로 이루어진다.First, FIG. 3 shows the probe unit 1000. The probe unit 1000 is an inspection tool for confirming whether the lighting of the LCD panel 300 is correctly operated before fabrication of a semi-finished LCD module. The probe unit 1000 includes a gate 100 for applying a signal and a plurality of main blocks 200 for receiving data from the LCD panel 300 receiving the gate signal.

도 4는 메인 블럭(200)을 나타낸 것이다. LCD 패널(300)에 형성된 패드에 일대일 대응되도록 메인 블럭(200)의 수를 설정한다. 메인 블럭(200)은 메니퓰레이터(10, manipulator), TCP 블럭(20), 프로브 블럭(30)으로 구성된다.4 shows the main block 200. The number of main blocks 200 is set to correspond one-to-one to pads formed on the LCD panel 300. The main block 200 is composed of a manipulator 10, a TCP block 20, and a probe block 30.

도 5는 메인 블럭(200)의 분해도이다. 메니퓰레이터(10)는 프로브 블럭(30) 및 TCP 블럭(20)을 지지하고 각 블럭(20, 30)별 얼라인(align)을 조절하며 프로브 블럭(30)에 가해지는 구동압력을 조절한다. TCP 블럭(20)은 TCP IC가 부착되어 PCB에서 인가받은 신호를 패널(300) 구동신호로 바꾸는 역할을 한다. 프로브 블럭(30)은 TCP IC의 신호를 LCD 패널(300) 패드로 인가하는 역할을 한다.5 is an exploded view of the main block 200. The manipulator 10 supports the probe block 30 and the TCP block 20, adjusts alignment of each block 20, 30, and adjusts driving pressure applied to the probe block 30. . The TCP block 20 serves to convert a signal received from the PCB to a panel 300 driving signal by attaching a TCP IC. The probe block 30 serves to apply a signal of the TCP IC to the LCD panel 300 pad.

도 6은 프로브 블럭(30)의 분해도이다. 사이드 커버(1)는 가이드 바(8)를 고정하고, 몸체(2)는 프로브 플레이트와 결합되며 프로브 블럭(30)의 모든부품을 고 정한다. 가이드 필름(3)은 프로브 탐침(7)의 얼라인이 틀어지지 않도록 탐침(7)을 고정한다. 필름 커버(4)는 가이드 필름(3)을 몸체(2)에 고정시키며, 슬릿(5)은 프로브 탐침(7)의 패널(300) 패드와의 컨택 얼라인을 유지한다. 블럭 플레이트(6)에는 프로브 블럭 고정 볼트가 체결된다. 프로브 탐침(7)은 프로브 블럭(30)의 핵심부품으로 IC 및 패널(300) 패드에 연결되어 신호를 인가한다. 마지막으로, 가이드 바(8)는 프로브 탐침(7)들을 고정하는 것이다.6 is an exploded view of the probe block 30. The side cover 1 fixes the guide bar 8, the body 2 is coupled with the probe plate and secures all the parts of the probe block 30. The guide film 3 fixes the probe 7 so that the alignment of the probe probe 7 is not misaligned. The film cover 4 fixes the guide film 3 to the body 2, and the slit 5 maintains contact alignment with the pads of the panel 300 of the probe probe 7. The probe block fixing bolt is fastened to the block plate 6. The probe probe 7 is a key component of the probe block 30 and is connected to the pad of the IC and the panel 300 to apply a signal. Finally, the guide bar 8 holds the probe probes 7.

도 7은 본 발명에 따른 블레이드 타입 프로브 블럭을 나타낸 예시도이다. 본 발명에 따른 프로브 탐침은 수 내지 수백개씩을 한 단위체(9)로 형성하여 에폭시 고정하는 것이다. 프로브 탐침간의 간격은 수㎛ 내지 수십㎛ 의 미세한 간격을 형성하는 것이므로, 탐침을 개별적으로 하나씩 형성하는 종래의 방식은 탐침간의 간격이 일정하지 않게 되는 문제점으로 인해 검사시 에러가 발생한다. 따라서, 본 발명에 따른 프로브 탐침은 단위체(9)로 형성함으로써, 탐침간의 간격을 일정하게 형성할 수 있어 검사 에러를 최소화할 수 있다. 도 8은 본 발명에 따른 블레이드 타입 프로브 블럭을 나타낸 완성도이다. 본 발명에 따른 프로브 탐침의 단위체(9)는 피검사체의 패널(300) 패드의 규모와 검사조건에 따라 다양하게 변형하여 형성할 수 있다.7 is an exemplary view showing a blade type probe block according to the present invention. The probe probe according to the present invention is to fix the epoxy by forming a unit (9) of several to several hundred. Since the interval between probe probes is to form a minute interval of several micrometers to several tens of micrometers, the conventional method of forming the probes individually one by one causes an error in inspection due to the problem that the intervals between the probes are not constant. Therefore, the probe probe according to the present invention can be formed by the unit 9, it is possible to form a constant interval between the probe can minimize the inspection error. 8 is a complete view showing a blade type probe block according to the present invention. The unit 9 of the probe probe according to the present invention may be variously modified according to the size and inspection conditions of the pad of the panel 300 of the object under test.

본 발명에 따른 프로브 탐침의 단위체(9)는, 예를 들어 50 내지 100개씩을 하나의 단위체(9)로 할 수 있으며, LCD 패널(300) 패드와 접촉 얼라인을 유지시키는 슬릿을 구비하지 않아도 되고, 가이드 필름(3)을 몸체(2)에 고정시키는 필름 커버(4)를 구비하지 않아도 된다. 또한, 종래의 개별 탐침(7)별로 미세한 교체 및 수 리를 진행하던 것을 각 단위체(9)별로 교체 및 수리를 진행하므로, 그 만큼 작업이 수월하여 에러발생을 최소화할 수 있다.The unit 9 of the probe probe according to the present invention may be, for example, 50 to 100 units as one unit 9, and does not have a slit for maintaining contact alignment with the pad of the LCD panel 300. It is not necessary to include the film cover 4 for fixing the guide film 3 to the body 2. In addition, since the replacement and repair for each unit (9) that has been fine replacement and repair for each individual probe (7) in the prior art, it is easy to work as much as it can minimize the occurrence of errors.

본 발명은 이상에서 살펴본 바와 같이 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기한 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능할 것이다.Although the present invention has been shown and described with reference to the preferred embodiments as described above, it is not limited to the above embodiments and those skilled in the art without departing from the spirit of the present invention. Various changes and modifications will be possible.

따라서, 본 발명의 블레이드 타입 프로브 블럭은 프로브 탐침을 단위체로 구성하여 슬릿 및 필름 커버를 구비하지 않아도 되므로 제조 공정을 간략화하며, 단가를 낮출 수 있다.Therefore, the blade type probe block of the present invention does not need to include a slit and a film cover by configuring the probe probe as a unit, thereby simplifying the manufacturing process and lowering the unit cost.

또한, 프로브 탐침의 교체 및 수리를 단위체별로 진행하므로 작업이 수월해지며, 얼라인 유지가 용이해 검사시 에러발생을 최소화할 수 있다.In addition, since the replacement and repair of the probe probe is carried out for each unit, the work becomes easier, and the alignment can be easily maintained, thereby minimizing the occurrence of errors during the inspection.

Claims (3)

프로브 탐침을 정렬하는 가이드 필름;A guide film for aligning the probe probes; 상기 프로브 탐침을 고정하는 가이드 바;A guide bar fixing the probe probe; 상기 가이드 바를 고정하는 사이드 커버; 및A side cover fixing the guide bar; And 프로브 플레이트와 결합되며 상기 가이드 필름, 가이드 바, 사이드 커버가 고정되는 몸체로 이루어지며,Is coupled to the probe plate and consists of a body to which the guide film, the guide bar, the side cover is fixed, 다수개의 프로브 탐침이 하나의 단위체로 형성되고, 상기 단위체가 다수로 형성되어 디스플레이 패널을 검사하는 블레이드 타입 프로브 블럭.A plurality of probe probes are formed in one unit, the plurality of units are formed in the blade type probe block for inspecting the display panel. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 단위체는 에폭시 고정되는 블레이드 타입 프로브 블럭.The unit is a blade type probe block is epoxy fixed. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 단위체는 수 내지 수백개의 프로브 탐침으로 이루어지는 블레이드 타입 프로브 블럭.The unit is a blade type probe block consisting of several hundreds to hundreds of probe probes.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100793637B1 (en) * 2006-05-10 2008-01-10 주식회사 파이컴 Probe unit and probe apparatus having the same
KR101436294B1 (en) * 2013-10-10 2014-09-03 로체 시스템즈(주) Electrode pattern inspecting apparatus and electrode pattern inspecting apparatus system having the same

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5459646B2 (en) 2007-05-08 2014-04-02 株式会社日本マイクロニクス Probe unit and inspection device

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5923178A (en) * 1997-04-17 1999-07-13 Cerprobe Corporation Probe assembly and method for switchable multi-DUT testing of integrated circuit wafers
JP4235280B2 (en) 1998-06-12 2009-03-11 株式会社日本マイクロニクス Probe assembly
KR100314586B1 (en) * 1999-05-17 2001-11-15 이석행 Prober apparatus for testing of tft-lcd
TW533309B (en) 1999-06-22 2003-05-21 Nihon Micronics Kk Probe device
KR100697218B1 (en) * 2005-03-17 2007-03-21 주식회사 코디에스 Probe block assembly for inspecting flat display panel and assembling method therefor

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100793637B1 (en) * 2006-05-10 2008-01-10 주식회사 파이컴 Probe unit and probe apparatus having the same
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