KR20070014497A - 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 대형 기판을 운송함에 있어서, 기판의 처짐을 최소화 하는 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터에 관한 것이다.
본 발명에 따른 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터는 로봇암과 연결되어 상기 로봇암의 동작에 따라 수평 또는 수직 이동 하는 제 1 지지대, 상기 제 1 지지대 상에 상기 제 1 지지대의 수직 방향으로 형성되어 있으며 상기 기판의 네 변 중 평행한 어느 두 변을 지지하는 한 쌍의 기판 지지부 및 상기 제 1 지지대의 바깥 측면에 상기 제 1 지지대의 수직 방향으로 형성되어 있으며, 상기 기판 지지부가 지지하지 않는 나머지 두 변을 지지하는 적어도 하나의 보조바를 포함한다.
기판, 엔드 이펙터, 트레이, 지지홀더

Description

평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터{End effector For Flat Panel Display Device Fabrication }
도 1a 및 도 1b는 종래 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터의 기판 지지 구조의 일례를 나타낸 도이다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명에 따른 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터의 기판 지지 구조의 제 1 실시예를 나타낸 도이다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명에 따른 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터의 기판 지지 구조의 제 2 실시예를 나타낸 도이다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터의 기판 지지 구조의 제 3 실시예를 나타낸 도이다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따른 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터의 기판 지지 구조의 제 4 실시예를 나타낸 도이다.
*** 도면의 주요 부호에 대한 설명 ***
40,80,120,127: 제 1 지지대 50,90,121,128: 기판 지지부
60,100,123,130: 보조바 122,129: 마스크 지지부
본 발명은 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 대형 기판을 운송함에 있어서, 기판의 중심부가 처지는 현상을 최소화 하기 위해 메인바 이외의 보조바를 구비하는 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터에 관한 것이다.
평판 표시장치는 경량 및 박형 등의 특성으로 인해, 최근 음극선과 (CRT)을 대체하는 표시장치로서 대두되고 있다. 이러한 평판 표시장치의 대표적이 예로서 액정 표시장치(Liquid Crystal Display Device; LCD)와 유기 발광 표시장치(Organic Light Emitting Display Device; OLED)가 있다. 이러한 평판 표시장치를 제조하는 공정에 있어서, 기판에 소정의 공정을 실시하기 위하여 로봇암과 연결된 엔드 이펙터를 사용하여 기판을 반송한다. 한편, 최근에는 재료의 절감 및 생산성 향상을 위해 기판을 종전보다 더 크게 형성하고 있다. 이에 따라, 기판의 반송시 그 처짐 현상도 이에 비례하여 크게 나타나게 된다.
도 1a 및 도 1b는 종래 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터의 기판 지지 구조의 일례를 나타낸 도이다.
도 1a 및 도 1b를 참조하여 설명하면, 종래 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙 터는 제 1 지지대(10) 및 제 2 지지대(20)를 포함한다.
제 1 지지대(10)는 로봇암(5)과 연결되어 로봇암(5)의 동작에 따라 수평 이동 하거나, 상하로 수직 이동 한다. 이때, 제 1 지지대(10)는 한 쌍의 긴 막대 형태로 형성되거나 소정 크기의 플레이트(판) 모양으로 형성될 수 있다.
제 2 지지대(20)는 제 1 지지대(10) 상에 제 1 지지대(10)의 수직 방향으로 형성되며, 기판(30)의 네 변 중 평행한 어느 두 변을 지지한다.
상기와 같은 종래 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터는 4 세대급 이상의 대형 기판(30)을 지지하는데 있어서, 기판(30) 자체의 두께가 0.2~1mm 정도로 얇기 때문에 제 2 지지대(20)가 지지하는 평행한 어느 두변을 제외한 기판(30)의 나머지 부분은 처짐 현상이 나타날 수 있다.
예를 들어 도 1a에 의하면, 0.63mm 두께의 기판(30)을 제 2 지지대(20)를 이용하여 지지하고 운반하는 경우, 제 2 지지대(20)는 기판(30)의 상대적으로 짧은 두 변을 지지한다. 이때, 기판(30)은 지지되지 않은 부분은 70mm 정도의 처짐이 발생 하였다.
한편, 도 1b에 의하면, 0.63mm의 기판(30)을 제 2 지지대(20)를 이용하여 지지하고 운반하는 경우, 제 2 지지대(20)는 기판(30)의 상대적으로 긴 두 변을 지지한다. 이때, 기판(30)의 지지되지 않은 부분은 상기 상대적으로 짧은 두 변을 지지한 경우보다 더 작으므로 36mm 정도의 처짐이 발생하였다.
상기 종래의 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터의 경우 기판(30)의 휨 정도가 지나쳐 기판(30)의 회로 패턴등이 형성되는 성막면에 불량이 생기게 되고, 기판 (30)의 크기가 점차 커짐에 따라 이러한 휨 현상은 더욱 심해지게 된다.
상술한 종래의 문제점을 해결하기 위한 기술적 수단으로 본 발명의 목적은 기판을 지지하는 제 2 지지대 외에 기판을 지지하는 보조 수단으로 보조바를 적어도 한쌍 구비하여 기판의 처짐 현상을 방지하는 평판 표시장치 용 엔드 이펙터를 제공하기 위한 것이다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위해 본 발명의 일측면은 로봇암과 연결되어 상기 로봇암의 동작에 따라 수평 또는 수직 이동 하는 제 1 지지대, 상기 제 1 지지대 상에 상기 제 1 지지대의 수직 방향으로 형성되어 있으며 상기 기판의 네 변 중 평행한 어느 두 변을 지지하는 한 쌍의 기판 지지부 및 상기 제 1 지지대의 바깥 측면에 상기 제 1 지지대의 수직 방향으로 형성되어 있으며, 상기 기판 지지부가 지지하지 않는 나머지 두 변을 지지하는 적어도 하나의 보조바를 포함하는 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 측면은 로봇암과 연결되어 상기 로봇암의 동작에 따라 수평 또는 수직 이동 하는 제 1 지지대, 상기 제 1 지지대 상에 상기 제 1 지지대의 수직 방향으로 형성되어 있으며 기판의 네 변 중 평행한 어느 두 변을 지지하는 한 쌍의 기판 지지부 및 상기 제 1 지지대 상에 상기 기판 지지부와 평행한 방향으로 상기 기판 지지부의 바깥쪽에 형성되어 마스크의 네 변 중 평행한 어느 두 변을 지지하는 한 쌍의 마스크 지지부 및 상기 제 1 지지대의 바깥 측면에 상기 제 1 지지대와 수직 방향으로 형성되어 상기 기판 지지부가 지지하지 않는 나머지 두 변을 지지하는 적어도 하나의 보조바를 포함하는 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터를 제공하는 것이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명에 따른 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터의 기판 지지 구조의 제 1 실시예를 나타낸 도이다.
도 2a 및 도 2b를 참조하여 설명하면, 본 발명에 따른 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터는 제 1 지지대(40), 연결부(45), 제 2 지지대(50) 및 보조바(60)를 포함한다.
제 1 지지대(40)는 상부에 제 2 지지대(50) 및 기판(70)을 형성한다. 이때 , 제 1 지지대(40)는 한 쌍의 긴 막대 형태로 형성되거나 기판(70)과 같은 모양으로 형성될 수 있다. 한편, 제 1 지지대(40)는 그 자체의 무게 감소와 기판(70) 및 제 2 지지대(50)의 무게를 견대낼 수 있는 조건을 만족하기 위해 경량 금속, 예를 들어 알루미늄(Al)을 사용하거나 또는 합성 수지 재료, 예를 들어 CFRP(Carbon Fiber Glass Reinforced Plasics)를 사용하여 형성할 수 있다. 또한, 제 1 지지대(40)가 한 쌍의 긴 막대 형태일 경우 메인 지지대(40)는 적어도 50mm 이상의 폭으 로 형성하도록 한다.
연결부(45)는 제 2 지지대(50) 및 로봇암(미도시)을 연결하여, 제 2 지지대(50)가 로봇암(미도시)의 동작에 따라 수평 이동 하거나 상하로 수직 이동 하도록 한다.
제 2 지지대(50)는 한 쌍의 막대가 소정의 간격을 갖는 형상으로 제 1 지지대(40) 상에 제 1 지지대(40)의 수직 방향으로 형성되며, 기판(70)의 네 변 중 상대적으로 긴 두 변을 지지한다. 이때, 제 2 지지대(50)는 기판(70) 상에 미리 형성된 회로 등이 이물질과의 접촉에 의한 불량이 발생하는 현상을 방지하기 위해 기판(70)과의 접촉 면적을 최소화 하도록 한다.
보조바(60)는 한 쌍의 막대 형상인 제 2 지지대(50) 사이에 제 1 지지대(40)의 수직 방향으로 형성되어 기판(70)의 네 변 중 상대적으로 짧은 두 변을 지지한다. 한편, 바람직한 보조바(60)는 적어도 5mm의 폭을 가진다.
또한, 도 2b에 도시된 것과 같이 보조바(60)의 연장되는 끝부분에는 기판(70)을 지지하는 소정의 높이의 단(61)을 추가로 형성할 수 있다. 보조바(60)상에 단(61)을 형성함으로써 보조바(60)가 기판(70)에 직접적으로 닿는 면적이 줄어들게 되고, 따라서 기판(70)상의 회로 패턴등이 형성되는 성막면을 보호할 수 있다.
상기와 같이 보조바(60)를 형성하는 경우 기판(70)은 약 7mm 정도 처짐이 발생하게 되므로 종래의 경우보다 기판(70)의 처짐을 최소화 할 수 있다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명에 따른 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터의 기판 지지 구조의 제 2 실시예를 나타낸 도이다.
도 3a 및 도 3b를 참조하여 설명하면, 본 발명에 따른 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터는 제 1 지지대(80), 연결부(85), 제 2 지지대(90) 및 보조바(100)를 포함한다.
제 1 지지대(80)는 상부에 제 2 지지대(90) 및 기판(110)을 형성한다. 이때 , 제 1 지지대(80)는 한 쌍의 긴 막대 형태로 형성되거나 기판(110)과 같은 모양으로 형성될 수 있다. 한편, 제 1 지지대(80)는 그 자체의 무게 감소와 기판(110) 및 제 2 지지대(90)의 무게를 견대낼 수 있는 조건을 만족하기 위해 경량 금속, 예를 들어 알루미늄(Al)을 사용하거나 또는 합성 수지 재료, 예를 들어 CFRP(Carbon Fiber Glass Reinforced Plastics)를 사용하여 형성할 수 있다. 또한, 제 1 지지대(80)가 한 쌍의 긴 막대 형태일 경우 제 1 지지대(80)는 적어도 50mm 이상의 폭으로 형성하도록 한다.
연결부(85)는 제 2 지지대(90)와 로봇암(미도시)을 연결하여 제 2 지지대(90)가 로봇암(미도시)의 동작에 따라 수평 이동 하거나 상하로 수직 이동 하도록 한다.
제 2 지지대(90)는 제 1 지지대(80) 상에 제 1 지지대(80)의 수직 방향으로 형성되며, 기판(110)의 네 변 중 상대적으로 짧은 두 변을 지지한다. 이때, 제 2 지지대(90)는 기판(110) 상에 미리 형성된 회로 등이 이물질과의 접촉에 의한 불량이 발생하는 현상을 방지하기 위해 기판(110)과의 접촉 면적을 최소화 하도록 한다.
보조바(100)는 한 쌍의 막대 형상인 제 2 지지대(90) 사이에 제 1 지지대(80)와 수직방향으로 형성되며, 기판(110)의 네 변 중 상대적으로 긴 두 변을 지지한다. 이때 보조바(100)는 좀더 효율적인 기판(110) 지지를 위해 적어도 두쌍의 막대 형상으로 형성된다. 한편, 보조바(100)의 수는 기판(110)의 크기 및 지지 구조에 따라 달라지며, 바람직하게는 적어도 5mm의 폭을 갖는 2~10개의 막대 형상으로 형성할 수 있다. 또한, 도 3b에 도시된 바와 같이 보조바(100)의 연장되는 끝부분에는 기판(110)을 지지하는 소정의 높이의 단(101)을 추가로 형성할 수 있다. 보조바(100)상에 단(101)을 형성함으로써 보조바(100)가 기판(110)에 직접적으로 닿는 면적이 줄어들게 되고, 따라서 기판(110)상의 회로 패턴등이 형성되는 성막면을 보호할 수 있다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터의 기판 지지 구조의 제 3 실시예를 나타낸 도이다.
도 4a 및 도 4b를 참조하여 설명하면, 본 발명에 따른 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터는 제 1 지지대(120), 제 2 지지대(121), 제 3 지지대(122), 보조바(123) 및 연결부(200)를 포함한다.
제 1 지지대(120)는 상부에 제 2 지지대(121) 및 기판(124)을 형성한다. 이때 , 제 1 지지대(120)는 한 쌍의 긴 막대 형태로 형성되거나 기판(124)과 같은 모양으로 형성될 수 있다. 한편, 제 1 지지대(120)는 그 자체의 무게 감소와 기판(124) 및 제 2 지지대(121)의 무게를 견대낼 수 있는 조건을 만족하기 위해 경량 금속, 예를 들어 알루미늄(Al)을 사용하거나 또는 합성 수지 재료, 예를 들어 CFRP(Carbon Fiber Glass Reinforced Plastics)를 사용하여 형성할 수 있다. 또한, 제 1 지지대(120)가 한 쌍의 긴 막대 형태일 경우 제 1 지지대(120)는 적어도 50mm 이상의 폭으로 형성하도록 한다.
제 2 지지대(121)는 제 1 지지대(120) 상에 제 1 지지대(120)의 수직 방향으로 형성되며, 기판(124)의 네 변 중 상대적으로 긴 두 변을 지지한다. 이때, 제 2 지지대(121)는 기판(124) 상에 미리 형성된 회로 등이 이물질과의 접촉에 의한 불량이 발생하는 현상을 방지하기 위해 기판(124)과의 접촉 면적을 최소화 하도록 한다.
제 3 지지대(122)는 제 2 지지대(121)와 마찬가지로 제 1 지지대(120) 상에 제 1 지지대(120)와 수직 방향으로 형성된다. 또한 제 3 지지대(122)는 기판(124) 보다 110% 큰 크기의 마스크(125)를 지지하기 위해 제 1 지지대(120) 상에 제 2 지지대(121)와 평행한 방향으로 상기 제 2 지지대(121)의 바깥쪽에 형성되어 마스크(125)의 네 변 중 평행한 어느 두 변을 지지한다. 또한, 제 3 지지대(122)는 마스크(125)의 이송 도중 마스크(125)의 위치가 틀어지는 것을 방지하기 위하여 고정핀(126)을 구비한다.
일반적으로 마스크(125)는 기판(124) 보다 휘는 정도가 작고, 그 크기가 기판(124)보다 크다. 이 때문에 제 3 지지대(122)는 제 2 지지대(121) 보다 더 넓은 간격으로 형성되며, 하나의 엔드 이펙터(end effector)로 기판(124)과 마스크(125)를 이송하기 위해서는 간격이 상대적으로 더 넓은 제 3 지지대(122)가 제 2 지지대 (121)보다 소정의 높이만큼 더 높게 형성되어야 한다.
한편, 제 3 지지대(122)는 레이저 열전사 공정(LITI)등을 실시할 때는 필름을 증착한 트레이(미도시)를 지지하는 역할을 한다.
보조바(123)는 한 쌍의 막대 형상인 제 2 지지대(121) 사이에 제 1 지지대(120)와 수직방향으로 형성되며, 기판(124)의 네 변 중 상대적으로 짧은 두 변을 지지한다. 이때 보조바(123)는 좀더 효율적인 기판(124) 지지를 위해 적어도 두쌍의 막대 형상으로 형성된다. 한편, 보조바(123)의 수는 기판(124)의 크기 및 지지 구조에 따라 달라지며, 바람직하게는 적어도 5mm의 폭을 갖는 2~10개의 막대 형상으로 형성할 수 있다. 또한, 도 4b에 도시된 바와같이 보조바(124)의 연장되는 끝부분에는 기판(124)을 지지하는 소정의 높이의 단(12)을 추가로 형성할 수 있다. 보조바(123)상에 단(12)을 형성함으로써 보조바(123)가 기판(124)에 직접적으로 닿는 면적이 줄어들게 되고, 따라서 기판(124)상의 회로 패턴등이 형성되는 성막면을 보호할 수 있다.
연결부(200)는 제 1 지지대(120) 및 로봇암(미도시)을 연결하여 제 1 지지대(120)가 로봇암(미도시)의 동작에 따라 수평 이동 하거나 상하로 수직 이동 하도록 한다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따른 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터의 기판 지지 구조의 제 4 실시예를 나타낸 도이다.
도 5a 및 도 5b를 참조하여 설명하면, 본 발명에 따른 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터는 제 1 지지대(127), 연결부(135), 제 2 지지대(128), 제 3 지지대(129), 및 보조바(130)를 포함한다.
제 1 지지대(127)는 상부에 제 2 지지대(128) 및 기판(131)을 형성한다. 이때 , 제 1 지지대(127)는 한 쌍의 긴 막대 형태로 형성되거나 기판(131)과 같은 모양으로 형성될 수 있다. 한편, 제 1 지지대(127)는 그 자체의 무게 감소와 기판(131) 및 제 2 지지대(127)의 무게를 견대낼 수 있는 조건을 만족하기 위해 경량 금속, 예를 들어 알루미늄(Al)을 사용하거나 또는 합성 수지 재료, 예를 들어 CFRP(Carbon Fiber Glass Reinforced Plasics)를 사용하여 형성할 수 있다. 또한, 제 1 지지대(127)가 한 쌍의 긴 막대 형태일 경우 제 1 지지대(127)는 적어도 50mm 이상의 폭으로 형성하도록 한다.
연결부(135)는 제 1 지지대(127)와 로봇암(미도시)을 연결하여 제 1 지지대(127)가 로봇암(미도시)의 동작에 따라 수평 이동 하거나 상하로 수직 이동 하도록 한다.
제 2 지지대(128)는 제 1 지지대(127) 상에 제 1 지지대(127)의 수직 방향으로 형성되며, 기판(131)의 네 변 중 상대적으로 짧은 두 변을 지지한다. 이때, 제 2 지지대(128)는 기판(131) 상에 미리 형성된 회로 등이 이물질과의 접촉에 의한 불량이 발생하는 현상을 방지하기 위해 기판(131)과의 접촉 면적을 최소화 하도록 한다.
제 3 지지대(129)는 제 2 지지대(128)와 마찬가지로 제 1 지지대(127) 상에 제 1 지지대(127)와 수직 방향으로 형성된다. 또한 제 3 지지대(129)는 기판(131) 보다 약 110% 큰 크기의 마스크(132)를 지지하기 위해 제 1 지지대(127) 상에 제 2 지지대(128)와 평행한 방향으로 상기 제 2 지지대(128)의 바깥쪽에 형성되어 마스크(132)의 네 변 중 평행한 어느 두 변을 지지한다. 또한, 제 3 지지대(129)는 마스크(132)의 이송 도중 마스크(132)의 위치가 틀어지는 것을 방지하기 위하여 고정핀(133)을 구비한다.
일반적으로 마스크(132)는 기판(131) 보다 휘는 정도가 작고 그 크기가 기판(131)보다 크다. 이 때문에 제 3 지지대(129)는 제 2 지지대(128) 보다 더 넓은 간격으로 형성되며, 하나의 엔드 이펙터(end effector)로 기판(131)과 마스크(132)를 이송 하기위해서는 간격이 상대적으로 더 넓은 제 3 지지대(129)가 제 2 지지대(128)보다 소정의 높이만큼 더 높게 형성되어야 한다.
한편, 제 3 지지대(129)는 레이저 열전사 공정(LITI)등을 실시할 때는 필름을 증착한 트레이(미도시)를 지지하는 역할을 한다.
보조바(130)는 한 쌍의 막대 형상인 제 2 지지대(128) 사이에 제 1 지지대(127)와 수직방향으로 형성되며, 기판(131)의 네 변 중 상대적으로 긴 두 변을 지지한다. 이때 보조바(130)는 좀더 효율적인 기판(131) 지지를 위해 적어도 두쌍의 막대 형상으로 형성된다. 보조바(130)의 수는 기판(131)의 크기 및 지지 구조에 따라 달라지며, 바람직하게는 적어도 5mm의 폭을 갖는 2~10개의 막대 형상으로 형성할 수 있다. 또한, 도 5b에 도시된 바와 같이 보조바(130)의 연장되는 끝부분에는 기판(131)을 지지하는 소정의 높이의 단(13)을 추가로 형성할 수 있다. 보조바(130)상에 단(13)을 형성함으로써 보조바(130)가 기판(131)에 직접적으로 닿는 면 적이 줄어들게 되고, 따라서 기판(131)상의 회로 패턴등이 형성되는 성막면을 보호할 수 있다.
본 발명의 기술 사상은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술 분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 변형 예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
본 발명에 따른 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터에 의하면, 기판 또는 마스크의 성막면이 오염되지 않도록 소정의 거리를 유지하면서 기판 또는 마스크의 양단을 지지하는 구조를 형성함으로써, 기판 또는 마스크의 처짐 현상을 최소화 하는 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터를 제공할 수 있다.

Claims (13)

  1. 로봇암과 연결되어 상기 로봇암의 동작에 따라 수평 또는 수직 이동 하는 제 1 지지대;
    상기 제 1 지지대 상에 상기 제 1 지지대의 수직 방향으로 형성되어 있으며 상기 기판의 네 변 중 평행한 어느 두 변을 지지하는 한 쌍의 제 2 지지대; 및
    상기 제 2 지지대 사이에 상기 제 2 지지대와 나란한 방향으로 형성되어 있으며, 상기 제 2 지지대가 지지하지 않는 나머지 두 변을 지지하는 적어도 하나의 보조바를 포함하는 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 보조바의 폭은 적어도 5mm인 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1 지지대는 상기 기판과 같은 형상이거나 한 쌍의 평행한 긴 막대형상일 수 있는 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 긴 막대 형상의 상기 제 1 지지대의 폭은 적어도 50mm인 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1 지지대는 경량 금속 및 CFRP 의 합성 수지 재료로 구성된 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 제 2 지지대는 상기 기판의 네 변 중 상대적으로 긴 두 변을 지지하는 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 제 2 지지대는 상기 기판의 네 변 중 상대적으로 짧은 두 변을 지지하는 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터.
  8. 로봇암과 연결되어 상기 로봇암의 동작에 따라 수평 또는 수직 이동 하는 제 1 지지대;
    상기 제 1 지지대 상에 상기 제 1 지지대의 수직 방향으로 형성되어 있으며 기판의 네 변 중 평행한 어느 두 변을 지지하는 한 쌍의 제 2 지지대; 및
    상기 제 1 지지대 상에 상기 제 2 지지대와 평행한 방향으로 상기 제 2 지지대의 바깥쪽에 형성되어 마스크의 네 변 중 평행한 어느 두 변을 지지하는 한 쌍의 제 3 지지대; 및
    상기 제 2 지지대 사이에 상기 제 2 지지대와 나란한 방향으로 형성되어 상기 제 2 지지대가 지지하지 않는 나머지 두 변을 지지하는 적어도 하나의 보조바를 포함하는 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 제 3 지지대는 상기 제 2 지지대 보다 더 높게 형성되는 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터.
  10. 제 8항에 있어서,
    상기 제 3 지지대는 상기 마스크를 고정하기 위한 고정핀을 포함하는 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터.
  11. 제 8항에 있어서,
    상기 제 2 지지대는 상기 기판의 네 변 중 상대적으로 긴 두 변을 지지하고, 상기 제 3 지지대는 상기 마스크의 네 변 중 상대적으로 긴 두 변을 지지하는 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터.
  12. 제 8항에 있어서,
    상기 제 2 지지대는 상기 기판의 네 변 중 상대적으로 짧은 두 변을 지지하고, 상기 제 3 지지대는 상기 마스크의 네 변 중 상대적으로 짧은 두 변을 지지하는 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터.
  13. 제 8항에 있어서,
    상기 제 3 지지대는 필름 트레이를 운반하고 지지할 수 있는 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터.
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