KR20070012967A - 반도체 테스트 설비의 데이터 처리 방법 - Google Patents

반도체 테스트 설비의 데이터 처리 방법 Download PDF

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KR20070012967A
KR20070012967A KR1020050067251A KR20050067251A KR20070012967A KR 20070012967 A KR20070012967 A KR 20070012967A KR 1020050067251 A KR1020050067251 A KR 1020050067251A KR 20050067251 A KR20050067251 A KR 20050067251A KR 20070012967 A KR20070012967 A KR 20070012967A
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김성옥
정애용
이철민
이은석
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삼성전자주식회사
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Abstract

본 발명은 반도체 테스트 설비의 데이터 처리 방법에 관한 것으로서, 먼저 테스트 공정이 완료된 스테이션의 대기 시간을 최소화하기 위한 것이다. 이를 위하여 본 발명은 특정 스테이션으로부터 신호를 전송받는 단계와, 전송된 신호가 데이터 처리 신호인지 판단하는 단계와, 전송된 신호가 데이터 처리 신호이면 특정 스테이션에서 검사 완료된 반도체 소자들의 데이터를 처리하는 단계와, 데이터의 처리가 완료된 후 특정 스테이션에서 테스트 공정을 다시 진행시키는 단계를 거치는 데이터 처리 방법을 제공한다.
이에 따르면, 테스트 공정이 먼저 완료된 스테이션은 다른 스테이션들의 테스트 공정이 완료될 때까지 대기하지 않고 즉시 데이터를 처리하게 되므로, 대기로 인하여 소요되던 시간을 줄일 수 있고, 이에 따라 설비의 가동율을 높일 수 있다.
테스트 설비, 스테이션, 핸들러, 데이터 처리, 반도체

Description

반도체 테스트 설비의 데이터 처리 방법{DATA PROCESSING METHOD OF SEMICONDUCTOR TEST EQUIPMENTS}
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 테스트 설비를 개략적으로 나타내는 블록도.
도 2은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 테스트 설비의 데이터 처리 방법을 나타내는 흐름도.
도 3은 도 2의 데이터 처리 방법 중 테스트 공정 중단 단계를 나타내는 흐름도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10 : 반도체 테스트 설비 100 : 테스터(Tester)
101 : 제어 프로그램 110, 120 : 스테이션(Station)
110, 121 : 자동 검사 장치 130 : 신호 처리 수단
본 발명은 반도체 소자의 테스트 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 테스트 공정이 완료된 스테이션의 대기 시간을 최소화함으로써, 반도체 소자 테스트 공 정의 효율성을 향상시킬 수 있는 반도체 테스트 설비의 데이터 처리 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 생산 라인에서 생산 완료된 반도체 소자들 또는 이러한 반도체 소자들을 모듈 기판 상에 실장하여 구성한 반도체 모듈(Module) 등은 컴퓨터와 같은 전자제품들에 장착되어 핵심적인 기능을 수행하게 된다. 따라서, 출하전에 양품인지 불량품인지의 여부를 판별하기 위한 테스트 과정을 거치고 있으며, 이러한 반도체 소자들의 테스트 과정에는 일반적으로 반도체 테스트 설비가 이용되고 있다.
반도체 테스트 설비는 반도체 소자 또는 반도체 모듈 등을 테스트하는 장비로서, 이에 관한 예가 한국특허공개공보 제2002-0047531호, 한국특허공개공보 제2004-0023296호 등에 개시되어 있다. 또한, 이러한 반도체 테스트 설비를 보다 효율적으로 사용하기 위한 방법이 일본특허공개공보 제2003-167029호, 일본특허공개공보 제2003-161762호 등에 개시되어 있다.
이에 따르면, 종래의 반도체 테스트 설비는 통상적으로 반도체 소자를 전기적으로 검사하는데 사용되는 제어 프로그램이 테스터에 설치되어 있으며, 이 제어 프로그램에 의하여 테스터와 연결된 복수개의 스테이션에서 동시에 반도체 소자의 테스트가 진행된다. 이때, 반도체 소자들은 각 스테이션에 설치된 자동 검사 장치에 의하여 이송된다.
보다 자세히 설명하면, 자동 검사 장치(예컨데, 핸들러)의 로딩부에 적재된 반도체 소자들이 해당 스테이션들에 안착되고 테스트 준비가 완료되면, 각 스테이션들은 제어 프로그램에게 테스트의 시작 가능함을 나타내는 테스트 요구 신호를 전송한다.
제어 프로그램은 일정 시간(이하, 신호 대기 시간)동안 대기하며 스테이션들로부터 테스트 요구 신호를 전송 받으며, 신호 대기 시간이 지나면 테스트 요구 신호를 전송한 스테이션들에게 동시에 테스트 신호를 전송하여 테스트 공정을 진행한다.
테스트가 완료된 반도체 소자들은 자동 검사 장치에 의해 테스트 결과에 따라 품질별로 분류되어 적재되며, 반도체 테스트 설비는 이와 같은 테스트 싸이클(Test Cycle)을 반복하면서 반도체 소자들의 테스트를 계속 진행하게 된다.
그런데, 이와 같은 종래의 반도체 테스트 설비는 이전 공정으로부터 이송된 반도체 소자들의 개수가 항상 동일하지 않기 때문에, 각 자동 검사 장치의 로딩부에 적재되는 반도체 소자들의 개수도 각각 다르며, 이에 따라 테스트 공정을 동시에 시작하더라도 테스트 종료 시간은 각각 다르게 된다.
따라서, 제어 프로그램은 테스트 공정이 먼저 완료된 스테이션들을 대기시킨 후, 다른 모든 스테이션에서의 테스트 공정이 완료되면, 각 스테이션에서 테스트 공정을 통해 산출된 반도체 소자들의 데이터를 일괄적으로 처리하게 된다. 이후, 작업자는 새로운 반도체 소자들을 각 자동 검사 장치의 로딩부에 적재한 후, 다시 테스트를 진행시키게 된다.
이러한 종래의 반도체 테스트 설비는 전술하였듯이, 테스트 공정 중 어느 하나의 스테이션에서 먼저 테스트 공정을 완료하더라도, 다른 스테이션들에서 진행되고 있는 테스트 공정이 완료될 때까지 대기한 후 데이터를 처리하므로, 대기 시간 이 발생되는 문제가 있다.
또한, 이러한 대기 시간은 어느 하나의 스테이션에 문제가 발생되고 이를 해결하기 위하여 시간이 소요된 경우, 보다 길어지게 된다.
즉, 대기 시간으로 인하여 테스트 공정이 지속적으로 진행되지 않기 때문에 작업이 비효율적으로 이루어지는 문제점이 있고, 이러한 문제점은 더 많은 테스트 시간을 필요로 하는 대용량의 반도체 소자들이 개발됨에 따라 더욱 심화되고 있다.
따라서 본 발명의 목적은 전술된 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 테스터에 복수개의 스테이션이 연결된 경우, 테스트 공정이 먼저 완료된 스테이션의 대기 시간을 줄여 설비의 가동율을 높일 수 있는 반도체 테스트 설비의 데이터 처리 방법을 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 테스트 설비의 데이터 처리 방법은 반도체 소자 테스트 공정이 진행되는 복수개의 스테이션들로부터 신호를 전송받는 단계, 신호가 테스트 요구 신호인지 데이터 처리 신호인지의 여부를 판단하는 단계, 신호가 테스트 요구 신호이면 테스트 공정을 진행시키고, 데이터 처리 신호이면 다른 스테이션들의 테스트 공정을 일시 중단시키는 단계, 특정 스테이션에서 검사 완료된 반도체 소자들의 데이터를 처리하고 저장하는 단계, 다른 스테이션들의 테스트 공정을 다시 진행시키는 단계, 및 반도체 소자들의 데이터의 처리가 완료된 후, 특정 스테이션에서 테스트 공정을 다시 진행시키는 단계를 포함하는 것 이 특징이다.
이 경우, 다른 스테이션들의 테스트 공정을 일시 중단시키는 단계는 데이터 처리 신호가 전송된 시점이 신호 대기 시간인지의 여부를 판단하는 단계와, 데이터 처리 신호가 전송된 시점이 신호 대기 시간인 경우, 다른 스테이션들의 테스트 공정을 중단시키는 단계와, 데이터 처리 신호가 전송된 시점이 신호 대기 시간이 아닌 경우, 현재 진행되는 테스트 공정을 일시 중단시키는 것이 가능한지의 여부를 판단하는 단계, 테스트 공정을 일시 중지시키는 것이 가능한 경우, 테스트 공정을 중단시키는 단계, 및 테스트 공정을 일시 중지시키는 것이 가능하지 않은 경우, 현재 인가된 시험 패턴에 따른 테스트가 완료된 후, 테스트 공정을 중단시키는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 데이터 처리 신호인지의 여부를 판단하는 단계는 복수개의 스테이션들과 연결되고, 복수개의 스테이션들로부터 데이터 처리 신호와 테스트 요구 신호를 전송 받는 신호 처리 수단을 통해 진행되는 것이 바람직하다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 2에 의거하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체 테스트 설비를 개략적으로 나타내는 블록도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 반도체 테스트 설비(10)는 테스터(100), 스테이션(110, 120)들, 자동 검사 장치(111, 121)들 및 신호 처리 수단(130)을 포함하여 구성된다.
테스터(100)는 반도체 소자들을 전기적으로 검사하기 위한 제어 프로그램(101)이 설치되어 있으며, 이를 통하여 반도체 테스트 설비(10)의 전반적인 제어를 수행한다. 제어 프로그램(101)은 복수개의 스테이션(110, 120)과 각각 연결되며, 테스트 신호를 각 스테이션(110, 120)들로 동시에 전송한다.
스테이션(110, 120)들은 제어 프로그램(101)의 제어에 따라 반도체 소자들의 테스트 공정이 실제적으로 진행되는 곳으로, 반도체 소자들에게 테스트 신호를 인가하고, 반도체 소자들로부터 출력되는 응답 신호를 제어 프로그램(101)으로 전송한다. 본 실시예에서는 두 개의 스테이션(110, 120)이 설치된 예를 개시하였지만, 경우에 따라 복수개가 설치될 수 있다.
자동 검사 장치(111, 121)는 테스트 받기 위해 적재되어 있는 반도체 소자들과 테스터(100)사이에서 인터페이스(interface)의 역할을 담당한다. 자동 검사 장치(111, 121)는 로딩부(도시되지 않음)에 적재된 반도체 소자들을 각 스테이션(110, 120)들로 이송하고, 테스트가 완료된 반도체 소자들을 언로딩부(도시되지 않음)로 반송한다.
신호 처리 수단(130)은 각 스테이션(110, 120)들과 연결되며, 테스터(100)의 제어 프로그램(101)과도 연결된다. 신호 처리 수단(130)은 각 스테이션(110, 120)들로부터 전송되는 신호들을 입력받으며, 필요 시 제어 프로그램(101)을 이용하여 각 스테이션(110, 120)들의 테스트 공정을 제어한다.
이와 같은 구성을 갖는 반도체 테스트 설비(10)의 데이터 처리 방법을 자세히 살펴보면 다음과 같다.
도 2은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 테스트 설비의 데이터 처리 방법을 나타내는 흐름도이고, 도 3은 도 2의 데이터 처리 방법 중 테스트 공정 중단 단계를 자세하게 나타내는 흐름도이다.
한편, 본 실시예에서 지칭하는 특정 스테이션에서의 테스트 공정 완료는 해당 자동 검사 장치의 로딩부에 적재되어 있던 반도체 소자들이 모두 테스트되어 언로딩부에 적재된 상태로서, 다시 테스트 공정이 진행되기 위해서는 작업자에 의하여 새로운 반도체 소자들이 로딩부에 적재되어야 하는 상태를 말한다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 테스트 설비(10)의 데이터 처리 방법은 복수개의 스테이션(110, 120)들로부터 신호를 전송받는 단계로부터 시작된다(S110).
일반적으로, 반도체 소자의 테스트 공정은 각 자동 검사 장치(111, 121)들의 로딩부(도시되지 않음)에 적재되어 있는 반도체 소자들을 해당 스테이션(110, 120)들로 이송하여 테스트한 후, 그 결과에 따라 반도체 소자들을 분류하면서 자동 검사 장치(111, 121)의 언로딩부(도시되지 않음)로 적재하는 과정을 반복하면서 이루어진다.
이때, 반도체 테스트 설비(10)의 각 스테이션(110, 120)들은 반도체 소자들의 테스트를 진행하면서, 테스트 요구 신호와 데이터 전송 신호를 제어 프로그램(101)과 신호 처리 수단(130)으로 전송한다.
테스트 요구 신호는 반도체 소자들이 테스트를 받을 준비가 완료되었다는 것을 알리기 위하여 전송하는 신호이다. 보다 자세히 설명하면, 제어 프로그램(101) 은 복수개의 스테이션(110, 120)들에 안착된 반도체 소자들을 동시에 테스트하기 때문에, 테스트를 시작하기에 앞서 각 스테이션(110, 120)들이 테스트 준비가 되어있는지를 확인하는 과정을 거친다. 이를 위해 각 스테이션(110, 120)들은 테스트 준비가 완료되면 제어 프로그램(101)에게 신호를 전송하게 되는데 이 신호를 테스트 요구 신호라 한다. 따라서, 각 스테이션(110, 120)들은 테스트 사이클이 반복되면서 새로운 반도체 소자들의 테스트가 시작될 때마다 테스트 요구 신호를 제어 프로그램(101)으로 전송하게 된다.
데이터 처리 신호는 테스트 공정이 완료된 특정 스테이션(110, 120)에서 전송하는 신호이다. 보다 자세히 설명하면, 테스트 공정이 완료된 특정 스테이션(110, 120)은 다시 새로운 반도체 소자들을 적재하고 테스트를 진행하기에 앞서, 제어 프로그램(101)을 통해 테스트가 완료된 반도체 소자들의 테스트 결과에 대한 데이터를 처리하게 된다. 이를 위하여 특정 스테이션(110, 120)은 제어 프로그램(101)에게 테스트 공정의 완료를 알리고 데이터의 처리를 요구하는 신호를 전송하게 되는데, 이러한 신호를 데이터 처리 신호라 한다.
즉, 각 스테이션(110, 120)들은 반도체 소자들의 테스트 준비가 완료되면 테스트 요구 신호를 전송하게 되고, 해당 로딩부에 적재된 반도체 소자가 없는 경우에는 데이터 처리 신호를 전송하게 된다.
각 스테이션(110, 120)으로부터 신호를 전송받으면, 다음으로 전송된 신호가 데이터 처리 신호인지의 여부를 판단하는 단계가 이루어진다.(S120) 제 1 스테이션(110) 또는 제 2 스테이션(120) 중, 테스트 공정이 완료되고 로딩부에 적재된 반도 체 소자가 없는 스테이션(110, 120)은 데이터 처리 신호를 전송하게 되며, 반도체 소자들이 스테이션에 안착되어 테스트 신호의 인가를 기다리는 스테이션(110, 120)은 테스트 요구 신호를 전송하게 된다. 이하, 설명의 편의를 위하여 테스트 공정이 완료된 스테이션(110)을 제 1 스테이션(110)으로 칭하며, 테스트 공정이 계속 진행 중인 스테이션(120)을 제 2 스테이션(120)으로 칭한다.
각 스테이션(110, 120)들로부터 전송된 신호들은 제어 프로그램(101)과 신호 처리 수단(130)에서 입력 받게 된다. 이때, 제 1 스테이션(110)은 데이터 처리 신호를 전송하고, 제 2 스테이션(120)은 테스트 요구 신호를 전송하므로, 신호 처리 수단(130)은 제 1 스테이션(110)에서 테스트 공정이 완료된 것을 인지하게 된다.
계속해서, 전송된 신호가 테스트 요구 신호이면 테스트 공정을 진행하고(S130), 데이터 처리 신호이면 해당 스테이션(110)의 데이터를 처리하는 단계가 진행된다.(S170)
모든 스테이션(110, 120)들로부터 테스트 요구 신호가 전송되었다면, 신호 처리 수단(130)은 대기하고 있거나, 종래의 일본특허공개공보 제2003-167029호, 일본특허공개공보 제2003-161762호 등에 개시된 재시험 유효시간을 카운트할 수 있다. 따라서 제어 프로그램(101)은 종래의 테스트 방법에 따라 반도체 소자들의 테스트 공정을 진행하게 된다.
여기서, 재시험 유효시간에 대해 간략히 설명하면, 신호 대기 시간 내에 테스트 요구 신호를 전송하지 못한 스테이션(110, 120)에서 뒤늦게 테스트 요구 신호를 전송한 경우에 이용되는 것으로, 뒤늦게 테스트 요구 신호를 전송한 스테이션 (110, 120)에 대하여, 다른 스테이션(110, 120)들에서 현재 진행 중인 반도체 소자들의 테스트를 취소한 후, 함께 처음부터 다시 테스트를 진행할 것인지, 진행 중인 다른 스테이션(110, 120)들의 테스트를 그대로 진행한 후 다음의 테스트 사이클에 진행 할 것인지의 여부를 판단하기 위해 사용된다. 이때, 재시험 유효시간의 설정과 테스트 진행 여부에 대한 판단은 신호 처리 장치(130)를 통해 이루어지게 된다.
반면에, 제 1 스테이션(110)에서 데이터 처리 신호가 전송되면, 신호 처리 수단(130)은 신속하게 제어 프로그램(101)을 통해 제 1 스테이션(110)에서 테스트 완료된 반도체 소자들의 데이터 처리 과정을 진행시킨다.
데이터 처리 과정은 먼저 테스트 공정이 진행 중인 다른 스테이션들의 테스트 공정을 일시 중단시키는 단계가 진행된다.(S140) 즉, 신호 처리 수단(130)은 제어 프로그램(101)으로 하여금 신속하게 제 2 스테이션(120)의 테스트 공정을 일시적으로 중단시키도록 제어 신호를 전송하고, 이에 제어 프로그램(101)은 제 2 스테이션(120)에서 진행되던 테스트 공정을 일시적으로 중단시키게 된다.
한편, 본 실시예에서의 신호 처리 수단(130)을 생략하고 제어 프로그램(101)이 직접 신호를 판단하여 처리 하는 방법을 생각할 수 있다. 그러나 이 경우, 제어 프로그램(101)이 데이터 처리 신호의 입력 상황을 항상 체크해야 하므로 제어 프로그램(101)에 부하가 걸릴 수 있다. 또한, 이러한 종래의 제어 프로그램(101)은 매우 복잡하게 구성되어 있기 때문에, 변경하는 것이 용이하지 않으며, 변경된 제어 프로그램(101)에 다시 수정을 가하는 경우에도 많은 어려움이 따르게 된다. 따라서, 별도의 모듈(하드웨어 또는 소프트웨어)로 구성되는 신호 처리 수단(130)을 이 용하는 것이 바람직하다.
계속해서, 테스트 공정이 진행 중인 제 2 스테이션(120)의 테스트 공정을 일시 중단시키기 위해서는 먼저 데이터 처리 신호가 전송된 시점이 신호 대기 시간인지의 여부를 판단하는 단계가 진행된다.(S141) 제 2 스테이션(120)으로부터 테스트 요구 신호가 전송된 후, 제어 프로그램(101)이 제 1 스테이션(110)의 테스트 요구 신호를 기다리고 있는 신호 대기 시간에 데이터 처리 신호가 전송되면, 이는 반도체 소자들의 실제적인 테스트가 진행되기 전이므로, 제어 프로그램(101)은 제 2 스테이션(120)의 테스트 공정을 진행시키지 않고 대기시킨다.(S144)
반면에, 신호 대기 시간이 지나고 제 2 스테이션(120)에서 반도체 소자들의 테스트가 진행되는 도중에 데이터 처리 신호가 전송되면, 현재 진행되는 테스트 공정을 일시 중단시키는 것이 가능한지의 여부를 판단하는 단계를 거친다.(S142)
일반적으로, 제어 프로그램(101)은 테스트 공정 시 테스트 신호를 반도체 소자들에게 인가하게 되는데, 이러한 테스트 신호는 수백 내지 수천개의 시험 패턴들이 조합되어 이루어진다. 따라서, 제어 프로그램(101)은 테스트 공정 시 이러한 시험 패턴들을 순차적으로 반도체 소자들에 인가하고, 반도체 소자들이 인가된 시험 패턴에 반응하여 출력하는 응답 신호를 전송 받는다. 그리고, 이와 같은 과정을 반복하면서 테스트를 진행하게 된다.
이러한 시험 패턴들은 테스트 도중에 일시적으로 중지시킨 후, 다시 진행하여도 아무런 문제없이 진행되는 경우가 대부분이지만, 테스트 진행 도중에 중단시킬 수 없는 시험 패턴들도 간혹 존재한다. 따라서, 이로 인한 문제 발생을 방지하 기 위하여 제어 프로그램(101)은 현재 진행 중인 시험 패턴이 일시 중단되어도 테스트 공정에 영향을 미치지 않는 지의 여부를 판단하게 된다.
현재 진행되는 테스트 공정이 중단 가능한 경우, 제어 프로그램(101)은 신속하게 테스트 공정을 중단시킨다.(S144) 그러나, 중단시킬 수 없는 시험 패턴이 인가된 경우, 제어 프로그램(101)은 현재 인가된 시험 패턴에 따른 테스트가 완료될 때 까지 대기한 후,(S143) 테스트가 완료되면 테스트 공정을 일시적으로 중단시키게 된다. (S144)
제 2 스테이션(120)의 테스트 공정이 중단되면, 테스트 공정이 완료된 제 1 스테이션(110)의 데이터를 처리하는 단계가 진행된다.(S150) 제어 프로그램(101)은 신속히 제 1 스테이션(110)에서 검사된 반도체 소자들의 데이터들을 처리하고 저장하게 되며, 이러한 데이터의 처리 과정은 일반적으로 약 3 ~ 4초의 시간이 소요된다. 따라서 상기한 시간 동안 다른 스테이션(120)들의 테스트 공정을 일시 중단시킴으로써, 테스트 공정이 완료된 제 1 스테이션(110)이 데이터 처리를 위해 다른 스테이션(120)들의 테스트 공정이 모두 완료될 때까지 대기하던 시간을 줄일 수 있게 된다.
데이터 처리가 완료되면, 제 2 스테이션(120)의 테스트 공정이 다시 진행된다.(S160) 제어 프로그램(101)은 일시 중단하였던 테스트 신호의 전송을 다시 진행하게 되고, 이에 따라 테스트 신호를 전송 받은 제 2 스테이션(120)은 중단되었던 테스트 공정을 다시 진행하게 된다.
마지막으로 제 1 스테이션(110)에서 테스트 공정이 다시 진행되는 단계가 진 행된다. 작업자에 의하여 제 1 스테이션(110)의 해당 로딩부에 새로운 반도체 소자들의 적재가 완료되고, 반도체 소자들이 스테이션(110)에 안착되어 테스트 준비가 완료되면, 제 1 스테이션(110)은 제어 프로그램(101)으로 테스트 요구 신호를 전송하게 된다. 테스트 요구 신호를 전송 받은 제어 프로그램(101)은 제 2 스테이션(120)의 테스트 공정과 동기화하여 테스트 신호를 전송하게 되고, 이에 따라 반도체 테스트 설비(10)의 모든 스테이션(110, 120)들은 반도체 소자들의 테스트를 계속 진행하게 된다.
한편, 본 발명의 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 상술된 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어져서는 안된다. 예를 들면, 본 발명에 따른 스테이션은 두 개로 한정되지 않으며, 그 이상의 복수개로 형성될 수 있다. 또한, 신호 처리 수단은 하드웨어로 구성되거나, 소프트웨어로 형성되어 테스터의 내부에 설치될 수 있으며, 제어 프로그램이 신호 처리 수단의 역할을 담당하는 것도 가능하다. 더하여, 도면에서의 다양한 요소와 영역은 개략적으로 그려진 것이다. 따라서, 본 발명은 첨부한 도면에 그려진 상대적인 크기나 간격에 의해 제한되어지지 않는다.
이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 따른 반도체 테스트 설비의 데이터 처리 방법은 특정 스테이션에서 테스트 공정이 완료된 후 데이터 처리 신호를 전송하면, 특정 스테이션에서 검사 완료된 반도체 소자들의 데이터를 우선적으로 처리하는 방법을 이용한다.
따라서, 테스트 공정 시 먼저 테스트 공정이 완료된 스테이션의 대기 시간을 최소화할 수 있으므로, 설비의 가동율이 높아지는 효과가 있다.

Claims (3)

  1. 복수개의 스테이션에서 반도체 소자 테스트 공정이 진행되는 반도체 테스트 설비의 데이터 처리 방법으로,
    상기 복수개의 스테이션들로부터 신호를 전송받는 단계;
    상기 신호가 테스트 요구 신호인지 데이터 처리 신호인지의 여부를 판단하는 단계;
    상기 신호가 상기 테스트 요구 신호이면 테스트 공정을 진행시키고, 상기 데이터 처리 신호이면 다른 스테이션들의 테스트 공정을 일시 중단시키는 단계;
    상기 특정 스테이션에서 검사 완료된 상기 반도체 소자들의 데이터를 처리하고 저장하는 단계;
    상기 다른 스테이션들의 상기 테스트 공정을 다시 진행시키는 단계;
    상기 특정 스테이션의 상기 테스트 공정을 다시 진행시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 테스트 설비의 데이터 처리 방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 다른 스테이션들의 테스트 공정을 일시 중단시키는 단계는,
    상기 데이터 처리 신호가 전송된 시점이 신호 대기 시간인지의 여부를 판단하는 단계;
    상기 데이터 처리 신호가 전송된 시점이 상기 신호 대기 시간인 경우, 상기 다른 스테이션들의 상기 테스트 공정을 중단시키는 단계;
    상기 데이터 처리 신호가 전송된 시점이 상기 신호 대기 시간이 아닌 경우, 현재 진행되는 상기 테스트 공정을 일시 중단시키는 것이 가능한지의 여부를 판단하는 단계;
    상기 테스트 공정을 일시 중지시키는 것이 가능한 경우, 상기 테스트 공정을 중단시키는 단계;
    상기 테스트 공정을 일시 중지시키는 것이 가능하지 않은 경우, 현재 인가된 시험 패턴에 따른 테스트가 완료된 후, 상기 테스트 공정을 중단시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 테스트 설비의 데이터 처리 방법.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 데이터 처리 신호인지의 여부를 판단하는 단계는, 상기 복수개의 스테이션들과 연결되고, 상기 복수개의 스테이션들로부터 상기 데이터 처리 신호와 상기 테스트 요구 신호를 전송 받는 신호 처리 수단을 통해 진행되는 것을 특징으로 하는 반도체 테스트 설비의 데이터 처리 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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