KR20060118824A - 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 이송장치 - Google Patents

반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 이송장치 Download PDF

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KR20060118824A
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Abstract

본 발명은 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 이송장치에 관한 것으로, 구조가 간단하고, 테스트 트레이 이송시 안정성을 향상시킬 수 있도록 한 것이다.
이를 위한 본 발명은, 핸들러의 챔버 내에서 반도체 소자가 장착된 테스트 트레이를 챔버의 전후방향으로 한 스텝씩 이송하여 주는 이송장치에 있어서, 테스트 트레이의 하단부 가장자리가 삽입되어 지지되는 복수개의 걸림홈이 길이방향을 따라 일정 간격으로 형성되며, 상기 챔버의 전후방향으로 일정 거리씩 왕복 이동가능하게 설치된 적어도 1개의 이송부재와; 테스트 트레이의 하단부 가장자리가 삽입되어 지지되는 복수개의 걸림홈이 길이방향을 따라 일정 간격으로 형성되며, 상기 이송부재와 나란하게 설치되고, 상기 이송부재보다 낮은 제 1위치와 이송부재보다 높은 제 2위치로 상하방향으로 이동가능하게 설치된 적어도 1개의 홀더부재와; 상기 이송부재를 챔버의 전후방향을 따라 수평하게 왕복 이동시키는 수평이동유닛과; 상기 홀더부재를 제 1위치와 제 2위치로 승강시키는 승강유닛을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 이송장치를 제공한다.
핸들러, 테스트 트레이, 이송장치, 홀더부재, 이송부재

Description

반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 이송장치{Apparatus for transferring test tray for handler}
도 1은 본 발명에 따른 반도체 소자 테스트용 핸들러의 구조의 일례를 나타낸 평면 구성도
도 2는 도 1의 핸들러의 측면도
도 3은 도 1의 핸들러에 적용된 본 발명에 따른 테스트 트레이 이송장치의 일 실시예의 구조를 나타낸 사시도
도 4는 도 3의 테스트 트레이 이송장치의 구성을 개략적으로 나타낸 요부 횡단면도
도 5는 도 3의 테스트 트레이 이송장치의 구성을 개략적으로 나타낸 요부 종단면도
도 6은 본 발명의 테스트 트레이 이송장치의 작동을 나타낸 요부 종단면도
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
110 : 이송부재 120 : 홀더부재
124 : 가이드바아 125 : 제 1 승강용 공압실린더
130 : 최종 홀더부재 132 : 가이드바아
134 : 제 2승강용 공압실린더 140 : 상부 홀더부재
150 : 측면 지지부재 160 : 수평이동유닛
161 : 가동판 162 : 전후진용 공압실린더
163 : 가이드핀 170 : 전방 이송축
180 : 전방 홀더축
본 발명은 핸들러에서 테스트 트레이를 이송하는 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 테스트 트레이에 장착된 반도체 소자를 소정의 온도 상태로 만들어주는 챔버 내에서 상기 테스트 트레이를 한 스텝씩 진행시키며 다음 공정 위치로 반송하여 주는 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 이송장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자들을 테스트하는 핸들러들중 많은 것들이 상온 상태에서의 일반적인 성능 테스트 뿐만 아니라, 반도체 소자들이 고온 및 저온의 극한 온도 조건에서도 정상적인 기능을 수행하는지의 여부를 테스트하는 고온 테스트 및 저온 테스트도 수행할 수 있도록 되어 있다.
이러한 고온 및 저온 테스트를 수행하는 핸들러에서는 전열히터 및 액화질소 분사시스템을 통해 밀폐된 챔버 내부를 고온 및 저온의 극한 온도상태의 환경을 조성하고, 반도체 소자들이 장착된 테스트 트레이들을 한 스텝(step)씩 진행시키면서 반도체 소자들이 소정의 온도 상태를 갖도록 한 후, 이를 테스터(tester)의 테스트소켓에 장착하여 테스트를 수행하게 된다.
상기와 같이 챔버 내에서 트레이를 한 스텝씩 이송하여 주는 역할은 챔버 내부에 마련된 별도의 테스트 트레이 이송장치에 의해 수행된다.
국내 등록특허공보 제 10-367994호(2002년 12월 30일 등록)에는 본 출원인에 의해 출원되어 등록된 '핸들러의 트레이 이송장치'가 개시되어 있다. 상기 트레이 이송장치는 테스트 트레이의 진행방향을 따라 복수개의 테스트 트레이 걸림홀이 형성된 복수개의 홀더축 및 이송축이 상호 반대로 90도씩 회전하면서 테스트 트레이를 직립 상태로 지지하고, 상기 홀더축이 테스트 트레이의 고정상태를 해제한 상태에서 상기 이송축이 진행방향을 따라 전진함으로써 테스트 트레이가 1스텝씩 전진하도록 구성됨과 더불어, 최종 이송축이 챔버 끝단위치에서 트레이를 지지 및 해제하도록 구성되며, 최종 이송축이 최종홀더축의 테스트 트레이를 챔버 내측벽의 트레이 가이드레일로 이송하여 주도록 구성되어 있다.
그런데, 상기와 같은 종래의 트레이 이송장치는 봉 형태의 축들이 상하로 여러개가 구비되므로 각각의 홀더축과 이송축들을 회전시키기 위한 구동장치의 구성이 복잡해지는 문제가 있다.
또한, 각각의 홀더축과 이송축을 회전시키면서 구동해야 하므로 홀더축과 이송축의 크기 및 무게에 제한이 따르고, 이에 따라 축들을 얇은 봉 형태로 된 것을 사용하게 되는데, 이 경우 테스트 트레이의 크기가 커지게 되면 테스트 트레이의 하중에 의해 홀더축과 이송축에 변형이 발생하여 안정적인 동작이 이루어지지 않게 되는 문제도 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 구조가 간단하고, 테스트 트레이 이송시 안정성을 향상시킬 수 있는 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 이송장치를 제공함에 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 핸들러의 챔버 내에서 반도체 소자가 장착된 테스트 트레이를 챔버의 전후방향으로 한 스텝씩 이송하여 주는 이송장치에 있어서, 테스트 트레이의 하단부 가장자리가 삽입되어 지지되는 복수개의 걸림홈이 길이방향을 따라 일정 간격으로 형성되며, 상기 챔버의 전후방향으로 일정 거리씩 왕복 이동가능하게 설치된 적어도 1개의 이송부재와; 테스트 트레이의 하단부 가장자리가 삽입되어 지지되는 복수개의 걸림홈이 길이방향을 따라 일정 간격으로 형성되며, 상기 이송부재와 나란하게 설치되고, 상기 이송부재보다 낮은 제 1위치와 이송부재보다 높은 제 2위치로 상하방향으로 이동가능하게 설치된 적어도 1개의 홀더부재와; 상기 이송부재를 챔버의 전후방향을 따라 수평하게 왕복 이동시키는 수평이동유닛과; 상기 홀더부재를 제 1위치와 제 2위치로 승강시키는 승강유닛을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 이송장치가 제공된다.
이하, 본 발명에 따른 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 이송장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
먼저, 도 1과 도 2를 참조하여 본 발명에 따른 반도체 소자 테스트용 핸들러의 전체 구조를 개략적으로 설명한다. 핸들러의 전방부에 테스트할 반도체 소자들 이 다수개 수납되어 있는 사용자 트레이들이 적재되어 있는 로딩부(10)가 설치되고, 이 로딩부(10)의 일측부에는 테스트 완료된 반도체 소자들이 테스트결과에 따라 분류되어 사용자 트레이에 수납되는 언로딩부(20)가 설치된다.
그리고, 핸들러의 중간부분의 양측부에 반도체 소자들이 일시적으로 안착되는 로딩측 버퍼부(40)와 언로딩측 버퍼부(45)가 전,후진가능하게 설치되어 있다. 상기 로딩측 버퍼부(40)와 언로딩측 버퍼부(45) 사이에는 테스트할 반도체 소자를 이송하여 테스트 트레이(T)에 재장착하는 작업과 테스트 트레이의 테스트 완료된 반도체 소자를 분리하는 작업이 이루어지게 되는 교환부(30)가 설치된다.
또한, 핸들러의 전방부 상측에는 로딩부(10)와 언로딩부(20) 및 버퍼부(40, 45) 사이를 수평하게 이동하면서 반도체 소자들을 이송하는 제 1 로딩/언로딩픽커(51)와 제 2 로딩/언로딩픽커(52)가 각각 설치된다. 상기 제 1,2 로딩/언로딩픽커(51, 52)는 핸들러의 전방부 상측에서 전후 및 좌우 방향으로 이동하면서 반도체 소자를 진공 흡착하여 반송한다.
상기 교환부(50) 및 버퍼부(40)의 상측에는 양측 버퍼부(40, 45)와 교환부(30) 간에 반도체 소자들을 이송하여 주는 복수개의 단축 픽커(61, 62)가 X축 방향으로 수평 이동하도록 설치된다.
그리고, 핸들러의 후방부에는 다수개로 분할된 밀폐 챔버들 내에 고온 또는 저온의 환경을 조성한 뒤 반도체 소자가 장착된 테스트용 트레이(T)들을 순차적으로 이송하며 반도체 소자를 소정의 온도 조건하에서 테스트하는 테스트부(70)가 배치된다.
상기 테스트부(70)에서는 테스트 트레이(T)가 직립 상태로 이동하고, 교환부(30)에서는 테스트 트레이(T)에 반도체 소자를 장착 및 분리하는 작업이 테스트 트레이(T)의 수평 상태에서 이루어진다. 따라서, 상기 테스트부(70)의 전단부와 교환부(30)의 사이에는 테스트 트레이(T)를 수평상태에서 직립 상태로, 직립 상태에서 수평상태로 전환시키면서 반송하여 주는 로테이터(80)가 90도로 왕복 회동 가능하게 설치된다.
본 발명의 핸들러의 실시예에서 상기 테스트부(70)는 후방부가 상하로 2층으로 구성되어 동시에 2개의 테스트 트레이(T)가 테스트될 수 있도록 되어 있다.
이를 더욱 구체적으로 설명하면, 상기 테스트부(70)는, 상기 교환부(50)에서 이송되어 온 테스트 트레이를 전방에서부터 후방으로 한 스텝(step)씩 단계적으로 이송시키며 반도체 소자들을 소정의 온도로 가열 또는 냉각시킬 수 있도록 된 예열챔버(71)와, 상기 예열챔버(71)를 통해 이송된 테스트 트레이의 반도체 소자들을 외부의 테스트장비(도시 않음)와 결합된 테스트소켓(도시 않음)에 장착하여 테스트를 수행하는 테스트챔버(72)와, 상기 테스트챔버(72)를 통해 이송된 테스트 트레이를 후방에서부터 전방으로 한 스텝(step)씩 단계적으로 이송시키면서 테스트완료된 반도체 소자를 초기의 상온 상태로 복귀시키는 제열챔버(73)로 구성된다. 상기 예열챔버(71)와 테스트챔버(72)와 제열챔버(73)는 순차적으로 측방향으로 배치된다.
상기 테스트챔버(72)의 후방에는 복수개의 테스트소켓(미도시)을 구비한 테스트보드(74)가 상하로 2층으로 구성된다. 또한, 상기 테스트챔버(72)의 내부에는 테스트 트레이(T)가 상,하측 테스트보드(74)에 정렬되었을 때 테스트 트레이(T)의 캐리어(C)를 테스트보드(74)로 가압함으로써 반도체 소자를 테스트소켓에 접속시키는 콘택트유닛(75)이 전후진 이동 가능하게 설치된다.
상기 예열챔버(71)와 제열챔버(73)의 후단부에는 각 챔버의 최후방으로 이동한 테스트 트레이를 상하로 승강시키면서 분배하는 엘리베이터(78)가 설치된다.
상기 테스트부(70)의 전방에는 교환부(30)로부터 전달된 테스트 트레이 및 제열챔버(73)의 테스트 트레이(T)를 각각 측방의 예열챔버(71) 및 교환부(30)로 이송하는 전방측 이송유닛(76)이 설치된다. 그리고, 테스트부(70)의 후방에는 예열챔버(71) 및 테스트챔버(72)의 테스트 트레이(T)를 각각 테스트챔버(72) 및 제열챔버(73)로 이송하는 후방측 이송유닛(77)이 설치된다.
도 3 내지 도 6은 상기 핸들러의 예열챔버(71) 및 제열챔버(73)(도 1참조)에서 테스트 트레이(T)를 한 스텝씩 단계적으로 이송하는 테스트 트레이 이송장치의 구조를 나타낸다. 여기서는 테스트 트레이 이송장치의 일 실시예로서 예열챔버(71)에 적용되는 테스트 트레이 이송장치에 대해 설명하나, 본 발명의 테스트 트레이 이송장치는 제열챔버(73)에도 유사하게 적용될 수 있을 것이다.
도면에 도시된 것과 같이, 본 발명의 테스트 트레이 이송장치는 예열챔버(71)의 하부에 전후방향으로 길게 설치되는 2개의 이송부재(110)와, 상기 이송부재(110)의 내측에 역시 전후방향으로 길게 설치되는 2개의 홀더부재(120)와, 상기 예열챔버(71)의 후방부에서 상기 홀더부재(120)의 내측에 설치되는 2개의 최종 홀더부재(130)와, 상기 예열챔버(71)의 전방부의 상,하부에 90도로 왕복 회동하도록 설치되는 복수개의 전방 홀더축(180)과, 상기 전방 홀더축(180)과 나란하게 설치되며 90도 왕복 회동 및 전후진 가능하게 설치된 전방 이송축(170)을 포함하여 구성된다.
그리고, 상기 예열챔버(71)의 측면에는 테스트 트레이(T)의 측면부를 해제 가능하게 지지하는 측면 지지부재(150)가 설치되며, 예열챔버(71)의 상부에는 테스트 트레이(T)의 상단 가장자리부를 지지하는 2개의 상부 홀더부재(140)가 전후방향으로 길게 설치된다.
상기 이송부재(110)와 홀더부재(120)와 상부 홀더부재(140) 및 측면 지지부재(150)는 대체로 기다란 직사각형 형태로 이루어지며, 테스트 트레이(T)의 가장자리부가 삽입되어 지지되는 복수개의 걸림홈(111, 121, 141, 151)이 길이방향을 따라 일정 간격으로 형성된다.
또한, 상기 최종홀더부재(130)는 상기 홀더부재(120)의 후단부에 연이어서 형성됨이 바람직하며, 그의 걸림홈(131)의 갯수는 2~3개 정도로 홀더부재(120)의 걸림홈(121)의 갯수보다 작게 형성된다.
상기 이송부재(110)는 예열챔버(71)의 전방면 외측에 설치되는 수평이동유닛(160)에 의해 전후방향으로 일정 거리 수평 왕복 이동하도록 구성된다. 이 실시예에서 상기 수평이동유닛(160)은 예열챔버(71)의 전방면 외측에 전후진 가능하게 설치되는 가동판(161)과, 상기 예열챔버(71)의 전방 외측면에 고정되어 상기 가동판(161)을 전후진시키는 전후진용 공압실린더(162)와, 상기 가동판(161)의 양측에 형성된 가이드보스(164)에 삽입되어 가동판(161)의 전후 이동을 안내하는 가이드핀(163)과, 상기 예열챔버(71)의 전방면을 관통하여 각 이송부재(110)의 전단부와 가 동판(161)을 상호 연결하는 연결바아(165)로 구성될 수 있다.
또한, 상기 측면 지지부재(150)는 예열챔버(71)의 측방향으로 수평 왕복이동하면서 테스트 트레이(T)의 측면 가장자리부를 지지 및 해제함과 더불어, 상기 수평이동유닛(160)에 연결되어 상기 이송부재(110)와 함께 이동하면서 테스트 트레이(T)를 반송하는 역할을 한다.
이를 더욱 구체적으로 설명하면, 상기 예열챔버(71)의 일측면부에 가동브라켓(152)이 전후방향으로 이동 가능하게 구성되고, 상기 가동브라켓(152)의 상부에 측면 지지부재(150)가 측면 공압실린더(154)에 의해 측방향으로 왕복 이동가능하게 설치된다. 상기 가동브라켓(152)은 예열챔버(71)의 전방면을 관통하여 상기 수평이동유닛(160)의 가동판(161)에 연결되는 연결바아(165)에 고정되어, 상기 가동판(161)의 이동에 의해 상기 이송부재(110)와 함께 이동하도록 구성된다.
그리고, 상기 홀더부재(120) 및 최종홀더부재(130)는 상기 이송부재(110)보다 높은 고정위치(P2)와 이송부재(110)보다 낮은 해제위치(P1)로 상하로 이동하도록 구성된다. 여기서, 상기 홀더부재(120)와 최종홀더부재(130)는 각각 예열챔버(71)의 하부면을 관통하는 가이드바아(124, 132)를 매개로 예열챔버(71)의 하부 외측에 설치되는 제 1,2 승강용 공압실린더(125, 135)에 연결되어 상하로 승강운동하게 된다.
한편, 상기 전방 홀더축(180) 및 전방 이송축(170)은 대략 원형 단면을 갖는 바아 형태로 이루어지면, 그 일단부에는 2개의 걸림돌기(171, 181)에 의해 테스트 트레이(T)의 상,하단 가장자리부를 지지하게 되는 걸림홈(172, 182)이 형성된 구조 로 이루어진다.
또한, 상기 전방 홀더축(180)들은 그 끝단부가 상기 예열챔버(71)의 전방면을 관통하여 링크바아(184) 및 제 1공압실린더(185)에 의해 상호 연결되고, 이 제 1공압실린더(185)의 작동에 의해 연동하여 일정 각도로 회전하면서 테스트 트레이(T)를 지지 및 해제한다.
상기 전방 이송축(170) 또한 그 끝단부가 예열챔버(71)의 전방면 및 가동판(161)을 관통하여 링크바아(174) 및 제 2공압실린더(175)에 의해 상호 연결되고, 이 제 2공압실린더(175)의 작동에 의해 연동하여 일정 각도로 회전하면서 테스트 트레이(T)를 지지 및 해제한다. 그리고, 상기 전방 이송축(170)은 상기 가동판(161)의 이동에 의해 전후진하면서 테스트 트레이(T)를 홀더부재(120)의 최전방 걸림홈(121)과 대응하는 위치로 반송한다.
상기와 같이 구성된 테스트 트레이 이송장치의 작동에 대해 설명하면 다음과 같다. 참고로, 테스트 트레이 이송장치의 작동의 이해를 돕기 위해, 테스트 트레이(T)는 예열챔버(71)의 전방에서 후방으로 한 스텝씩 진행하게 됨을 미리 밝히는 바이다.
핸들러가 가동되면, 교환부(30)(도 1참조)로부터 반도체 소자가 장착된 테스트 트레이(T)가 테스트부(70)(도 1참조)의 전방으로 반송되고, 이어서 테스트 트레이(T)는 전방측 이송유닛(76)(도 1참조)에 의해 슬라이딩하여 예열챔버(71)의 최전방으로 진입한다. 이 때, 예열챔버(71)의 전방으로 인입된 테스트 트레이(T)는 전방 홀더축(180)의 걸림홈(182)에 삽입되어 지지된다.
이어서, 제 2공압실린더(175)의 작동에 의해 전방 이송축(170)이 회전하여 테스트 트레이(T)를 지지함과 동시에 제 1공압실린더(185)의 작동에 의해 전방 홀더축(180)이 회전하여 테스트 트레이(T)의 고정상태를 해제한다. 그 다음, 전후진용 공압실린더(162)의 작동에 의해 가동판(161)이 후방으로 이동하여 상기 전방 이송축(170)이 후방으로 이동하게 되고, 이에 따라 테스트 트레이(T)의 후방으로 이동하게 된다. 이 때, 테스트 트레이(T)는 홀더부재(120)의 최전방의 첫번째 걸림홈(121)과 대응하는 위치에 위치된다.
그리고, 측면 공압실린더(154)의 작동에 의해 측면 지지부재(150)가 측방향 내측으로 이동하여 테스트 트레이(T)의 측면 가장자리부를 지지한다. 이어서, 제 1승강용 공압실린더(125)의 작동에 의해 홀더부재(120)가 고정위치(P2)로 상승하고, 테스트 트레이(T)의 하단부가 홀더부재(120)의 첫번째 걸림홈(121)에 걸려 지지됨과 더불어 테스트 트레이(T)의 상단부가 상부 홀더부재(140)의 첫번째 걸림홈(141)에 걸려 지지된다. 이로써 테스트 트레이(T)의 첫번째 후방 이동이 완료된다.
그 다음, 상기 측면 공압실린더(154)의 작동에 의해 측면 지지부재(150)가 측방향 외측으로 이동하여 테스트 트레이(T)의 측면부의 고정상태를 해제한다. 그리고, 전후진용 공압실린더(162)의 작동에 의해 가동판(161)이 전방으로 이동하여 측면 지지부재(150) 및 이송부재(110)가 전방으로 이동한다.
이어서, 다시 측면 지지부재(150)가 측방향 내측으로 이동하면서 테스트 트레이(T)의 측면 가장자리부를 지지한다. 그리고, 제 1 승강용 공압실린더(125)가 하강 작동하여 홀더부재(120)가 해제위치(P1)로 하강하고, 테스트 트레이(T)의 하 단부가 이송부재(110)의 걸림홈(111)에 삽입되어 지지된다. 물론, 이 때 테스트 트레이(T)의 상단부는 상부 홀더부재(140)의 걸림홈(141) 외측으로 빠져 나와 자유로운 상태로 된다.
다음으로, 상기 전후진용 공압실린더(162)의 작동에 의해 가동판(161)이 후방으로 이동하고, 이에 따라 이송부재(110) 및 측면 지지부재(150)가 동시에 후방으로 이동하면서 테스트 트레이(T)를 후방으로 한 스텝 이동시키게 된다.
그리고, 다시 제 1 승강용 공압실린더(125)의 작동에 의해 홀더부재(120)가 고정위치(P2)로 상승하면서 테스트 트레이(T)를 들어올히게 되고, 이에 따라 테스트 트레이(T)의 하단부가 이송부재(110)의 걸림홈(111)에서 빠져 나옴과 동시에 상단부가 상부 홀더부재(140)가 걸려 고정된다.
이 후, 전술한 것과 마찬가지로 측면 지지부재(150)가 측방향 외측으로 이동한 다음, 가동판(161)의 전진에 의해 측면 지지부재(150) 및 이송부재(110)가 전진하고, 다시 측면 지지부재(150)가 측방향 내측으로 이동한 후, 홀더부재(120)가 하강하여 테스트 트레이(T)를 이송부재(110)에 안착시키고, 가동판(161)이 후진하여 이송부재(110) 및 측면 지지부재(150)가 테스트 트레이를 후진시킴으로써 테스트 트레이를 한 스텝 후진시키는 과정을 반복한다.
상기와 같이 예열챔버(71) 내에서 테스트 트레이 이송장치가 테스트 트레이를 한 스텝씩 후진시킬 때, 예열챔버(71) 내부로 테스트 트레이가 연속적으로 공급될 것이고, 예열챔버(71) 내로 공급된 테스트 트레이들은 전술한 과정에 의해 함께 후진하게 된다.
상기 예열챔버(71)의 후방으로 이동한 테스트 트레이(T)들은 예열챔버(71) 최후방으로 이동하기 전에 상기 최종홀더부재(130)에 의해 고정되어 대기하게 된다.
예열챔버(71)의 최후방으로 이동한 테스트 트레이(T)는 엘리베이터(78)에 안착되어 상측으로 이동하거나, 곧바로 후방측 이송유닛(77)(도 1참조)에 의해 측방향으로 슬라이딩하여 테스트챔버(72)로 반송된다.
한편, 전술한 실시예의 설명에서 이송부재(110)와 홀더부재(120), 최종홀더부재(130) 및, 측면 지지부재(150) 등의 갯수는 필요에 따라 1개 또는 2개 이상을 선택적으로 취할 수 있다.
예를 들어, 전술한 실시예에서는 측면 지지부재(150)가 1개가 구성되어 있으나, 이와 다르게 측면부에 상하로 2개가 구성될 수도 있을 것이다.
이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 상측 홀더부재는 고정된 상태에서 하측의 홀더부재만 상측으로 이동하는 동작에 의해 테스트 트레이가 고정되고, 이송부재를 전후진 시키는 동작에 의해 테스트 트레이가 진행할 수 있게 되므로 홀더부재와 이송부재를 구동시키기 위한 구동장치의 구조가 단순화되고, 따라서 전체 구조가 단순화되는 효과가 있다.
또한, 홀더부재 및 이송부재를 회전시키지 않고 상하 또는 수평 운동시키는 작동에 의해 테스트 트레이를 이송할 수 있으므로 홀더부재와 이송부재의 크기 및 강도를 증대시킬 수 있고, 따라서 테스트 트레이의 크기가 증대되더라도 변형이 발 생하지 않고 안정적인 동작을 수행할 수 있다.

Claims (8)

  1. 핸들러의 챔버 내에서 반도체 소자가 장착된 테스트 트레이를 챔버의 전후방향으로 한 스텝씩 이송하여 주는 이송장치에 있어서,
    테스트 트레이의 하단부 가장자리가 삽입되어 지지되는 복수개의 걸림홈이 길이방향을 따라 일정 간격으로 형성되며, 상기 챔버의 전후방향으로 일정 거리씩 왕복 이동가능하게 설치된 적어도 1개의 이송부재와;
    테스트 트레이의 하단부 가장자리가 삽입되어 지지되는 복수개의 걸림홈이 길이방향을 따라 일정 간격으로 형성되며, 상기 이송부재와 나란하게 설치되고, 상기 이송부재보다 낮은 제 1위치와 이송부재보다 높은 제 2위치로 상하방향으로 이동가능하게 설치된 적어도 1개의 홀더부재와;
    상기 이송부재를 챔버의 전후방향을 따라 수평하게 왕복 이동시키는 수평이동유닛과;
    상기 홀더부재를 제 1위치와 제 2위치로 승강시키는 승강유닛을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 이송장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 챔버의 측면부에 측방향으로 일정 거리 왕복 이동가능하게 설치되고, 상기 테스트 트레이의 측면 가장자리부가 삽입되면서 지지되는 복수개의 걸림홈이 길이방향을 따라 일정 간격으로 형성되어, 챔버의 측면부에서 테스트 트레이의 측면 가장자리부를 해제가능하게 지지하는 적어도 1개의 측면 지 지부재와;
    상기 측면 지지부재를 챔버의 측방으로 일정 거리 왕복 이동시키는 측방이동유닛을 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 이송장치.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 측면 지지부재 및 측방이동유닛은 상기 수평이동유닛에 결합되어 이송부재와 함께 전후방향으로 수평하게 이동하며 테스트 트레이를 이동시키는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 이송장치.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 챔버의 상부에 상기 홀더부재와 나란하게 설치되며, 테스트 트레이의 상단부 가장자리가 삽입되어 지지되는 복수개의 걸림홈이 길이방향을 따라 일정 간격으로 형성되어, 상기 홀더부재가 상승했을 때 테스트 트레이의 상단부 가장자리를 고정되게 지지하는 상부 홀더부재를 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 이송장치.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 챔버의 후방부 하부에 제 1위치에서 제 2위치로 상하로 이동가능하게 설치되며, 상기 홀더부재의 걸림홈의 수보다 작은 수의 걸림홈이 형성된 최종홀더부재와;
    상기 최종홀더부재를 제 1위치와 제 2위치로 승강시키는 제 2승강유닛을 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 이송장치.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 챔버의 최전방에 그 축을 중심으로 소정 각도로 왕복 회전가능하게 설치되고, 상기 챔버의 전방으로 투입된 테스트 트레이의 가장자리를 고정 및 해제하는 걸림부가 형성된 적어도 1개의 전방 홀더축과;
    상기 챔버의 최전방에 그 축을 중심으로 소정 각도로 왕복 회전가능함과 더불어 전후방향으로 수평 이동가능하게 설치되고, 테스트 트레이의 가장자리를 고정 및 해제하는 걸림부가 형성되어, 상기 전방 홀더축에 고정된 테스트 트레이의 고정 상태가 해제되었을 때 상기 챔버의 전방으로 이동하여 테스트 트레이를 상기 홀더부재의 최전방 걸림홈과 대응되는 위치로 이동시키는 적어도 1개의 전방 이송축을 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 이송장치.
  7. 제 1항에 있어서, 상기 수평이동유닛은,
    상기 챔버의 전방면 외측에 전후방향으로 이동가능하게 설치되는 가동판과;
    상기 챔버의 전방면을 관통하여 상기 가동판과 상기 이송부재의 전단부를 연결하는 연결부와;
    상기 챔버의 전방면 외측에 설치되어 가동판을 전후진시키는 구동부와;
    상기 챔버에 대해 가동판의 이동을 안내하는 가이드부를 포함하여 구성된 것 을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 이송장치.
  8. 제 1항에 있어서, 상기 승강유닛은,
    상기 챔버의 하부 외측에 상하로 이동가능하게 설치되며 그 상단부가 상기 홀더부재와 고정되게 연결되는 연결바아와;
    상기 연결바아의 상하 이동을 안내하는 승강 가이드부와;
    상기 챔버의 하부면 외측에 설치되어 상기 연결바아를 상하로 이동시키는 공압실린더를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 이송장치.
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