KR100973188B1 - 테스트 핸들러 - Google Patents

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Abstract

테스트 핸들러가 개시된다. 본 발명의 테스트 핸들러는, 복수의 트레이(tray) 사이에 마련되어 트레이들로 칩(chip)들을 이송 및 수납시키는 피킹 헤드(picking head)를 포함하며, 피킹 헤드는, 칩들을 흡착하는 다수의 피커(picker); 및 피커들의 간격이 트레이의 판면 방향에 대해 X축 및 Y축 방향으로 좁혀지거나 벌어질 수 있도록, 피커들에 연결되어 피커들을 이동시키는 이동유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 피커들의 간격이 X축 및 Y축 방향 모두로 가변될 수 있기 때문에 다양한 유저 트레이 및 버퍼 트레이에 상호 호환 적용될 수 있음은 물론 종래와 같이 제작이 어려운 주문 제작형 실린더를 사용하지 않더라도 용이하게 테스트 핸들러를 제작할 수 있으며, 특히 종래에 비해 간단하고도 단순한 구조를 가짐에도 불구하고 그 효율이 종래보다 향상될 수 있다.

Description

테스트 핸들러{TEST HANDLER}
본 발명은, 테스트 핸들러에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 피커들의 간격이 X축 및 Y축 방향 모두로 가변될 수 있기 때문에 다양한 유저 트레이 및 버퍼 트레이에 상호 호환 적용될 수 있음은 물론 종래와 같이 제작이 어려운 주문 제작형 실린더를 사용하지 않더라도 용이하게 테스트 핸들러를 제작할 수 있으며, 특히 종래에 비해 간단하고도 단순한 구조를 가짐에도 불구하고 그 효율이 종래보다 향상될 수 있는 테스트 핸들러에 관한 것이다.
테스트 핸들러(TEST HANDLER)는, 메모리 혹은 비메모리 반도체 소자 또는 이들을 적절히 하나의 기판 상에 회로적으로 구성한 모듈 아이씨(Module IC) 등(이하, 이들을 칩(chip)이라 함)을 자동으로 원하는 공정으로 이송하며 테스트하는 장치이다.
테스트 핸들러의 구체적인 구성에 대해서는 도 1을 참조하여 후술하기로 하고, 여기에서는 테스트 핸들러의 작용에 대해 간략하게 살펴보기로 한다.
우선, 로딩부(loading part)의 초입 부분에 칩들을 수납한 제1 유저 트레이(user tray)가 로딩되면, 제1 피킹 헤드(picking head)가 제1 유저 트레이의 칩 들을 버퍼 트레이(buffer tray)로 이송시켜 수납시킨다.
그런 다음, 제2 피킹 헤드가 버퍼 트레이에 수납된 칩들을 테스트에 적합한 제1 테스트 트레이(test tray)에 재수납시킨다. 이후에, 제1 테스트 트레이에 수납된 칩들은 테스트 사이트(test site)로 반송되어 칩들에 대한 테스트 과정이 수행된다.
테스트 과정이 완료되면, 테스트 과정이 완료된 칩들은 제2 테스트 트레이로 이송된 후, 제2 유저 트레이에 테스트 결과별로 수납되어 필요한 공정으로 이송된다.
한편, 테스트 핸들러에 의한 일련의 공정 중에서 특히, 제1 테스트 트레이로 칩들을 이송시키기 전에 버퍼 트레이를 거치는 이유는, 제1 유저 트레이에 마련되어 칩들이 수납되는 칩수납부들의 가로/세로 피치(pitch)가 테스트 사이트에서 테스트 과정을 위하여 배치되는 제1 테스트 트레이에 마련된 칩수납부들의 가로/세로 피치와 상이한 경우가 일반적이어서 만약 제1 피킹 헤드가 제1 유저 트레이의 칩수납부에 수납된 칩들을 그대로 제1 테스트 트레이의 칩수납부들로 옮길 경우 그들 상호간 피치가 맞지 않아 로봇의 제어가 용이하지 않게 되어 상당한 작업 로스(loss)가 발생되기 때문이다.
결과적으로, 제1 유저 트레이의 칩수납부들의 가로/세로 피치와 제1 테스트 트레이의 칩수납부들의 가로/세로 피치가 상호간 상이하기 때문에, 전술한 바와 같이 제1 유저 트레이와 제1 테스트 트레이 사이에 버퍼 트레이를 더 마련하여 제1 유저 트레이로부터의 칩들이 버퍼 트레이를 거쳐 제1 테스트 트레이로 수납되도록 함으로써 작업 로스 발생을 줄이고 있는 것이다.
한편, 제1 유저 트레이의 칩수납부들의 가로/세로 피치와, 버퍼 트레이의 칩수납부들의 가로/세로 피치가 서로 상이한 경우, 제1 유저 트레이에 수납된 칩들을 버퍼 트레이로 이송시켜 수납시키기 위해서는 칩들을 피킹(picking)하여 이송시키는 로봇(robot, 이하, 피킹 헤드(picking head)라 함)의 피커들의 상호간 간격이 가변될 수 있어야 한다. 이에, 칩들을 피킹하는 피커들의 상호간 간격이 가변될 수 있는 구조를 적용한 피킹 헤드를 갖는 테스트 핸들러가 개발되어 사용된 예가 있다.
그런데, 이러한 종래의 테스트 핸들러에 있어서는, 피커들의 간격이 단순히 일방향(X축 방향만 가능, Y축 방향 불가)으로만 가변될 수밖에 없는 구조를 가지기 때문에 다양한 유저 트레이 및 버퍼 트레이에 상호 호환 적용되기 어려운 문제점이 있다.
뿐만 아니라 종래의 테스트 핸들러에 있어서는, 일반적인 실린더(cylinder)가 아닌 주문 제작형 실린더를 사용하여 피킹 헤드를 제작하고 있으므로 주문 제작형 실린더를 사용하지 않고서는 테스트 핸들러를 제작하기 어려우며, 특히 상대적으로 복잡한 구조를 갖는데 비해 그 효율이 미비한 문제점이 있다.
본 발명의 목적은, 피커들의 간격이 X축 및 Y축 방향 모두로 가변될 수 있기 때문에 다양한 유저 트레이 및 버퍼 트레이에 상호 호환 적용될 수 있음은 물론 종 래와 같이 제작이 어려운 주문 제작형 실린더를 사용하지 않더라도 용이하게 테스트 핸들러를 제작할 수 있으며, 특히 종래에 비해 간단하고도 단순한 구조를 가짐에도 불구하고 그 효율이 종래보다 향상될 수 있는 테스트 핸들러를 제공하는 것이다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 복수의 트레이(tray) 사이에 마련되어 상기 트레이들로 칩(chip)들을 이송 및 수납시키는 피킹 헤드(picking head)를 포함하며, 상기 피킹 헤드는, 상기 칩들을 흡착하는 다수의 피커(picker); 및 상기 피커들의 간격이 상기 트레이의 판면 방향에 대해 X축 및 Y축 방향으로 좁혀지거나 벌어질 수 있도록, 상기 피커들에 연결되어 상기 피커들을 이동시키는 이동유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러에 의해 달성된다.
여기서, 상기 이동유닛은, 상기 피커들의 간격이 상기 트레이의 판면 방향에 대해 X축 및 Y축 방향으로 상호간 일괄적으로 좁혀지거나 벌어질 수 있도록 상기 피커들에 연결될 수 있다.
상기 이동유닛은, 상기 피커들을 상기 X축 방향으로 연결하는 다수의 X축 연결바아; 상기 피커들을 상기 Y축 방향으로 연결하는 다수의 Y축 연결바아; 상기 X축 연결바아들의 단부에서 상기 X축 연결바아들을 상호간 링크(link) 연결시키는 다수의 X축 링크부; 및 상기 Y축 연결바아들의 단부에서 상기 Y축 연결바아들을 상호간 링크 연결시키는 다수의 Y축 링크부를 포함할 수 있다.
상기 피커들은, 상기 X축 연결바아들 및 상기 Y축 연결바아들에 대해 각각 상대적으로 슬라이딩 이동 가능하게 연결될 수 있다.
상기 이동유닛은, 상기 X축 링크부들에 결합되어 상기 피커들을 Y축 방향으로 구동시키는 Y축 방향 구동레버; 및 상기 Y축 링크부들에 결합되어 상기 피커들을 X축 방향으로 구동시키는 X축 방향 구동레버를 더 포함할 수 있다.
상기 피커들과 상기 이동유닛을 부분적으로 수용하는 하우징을 더 포함할 수 있다.
상기 하우징의 측면에는 상기 X축 방향 구동레버 및 상기 Y축 방향 구동레버가 각각 부분적으로 노출되어 동작 가능한 X축 방향 레버가이드 및 Y축 방향 레버가이드가 형성될 수 있다.
상기 하우징은, 상기 피커들의 길이 방향을 따라 상호 착탈 가능하게 결합되는 상부 하우징부 및 하부 하우징부를 구비할 수 있으며, 상기 상부 하우징부의 측면에는 상기 X축 방향 레버가이드가 형성될 수 있고, 상기 하부 하우징부의 측면에는 상기 Y축 방향 레버가이드가 형성될 수 있다.
상기 상부 하우징부의 상부에 마련되어 상기 상부 하우징부의 일측으로 노출된 상기 피커들의 외곽을 둘러싸는 루프를 더 포함할 수 있다.
상기 피킹 헤드는, 상기 피커들 각각에 결합되어 상기 피커들을 업/다운(up/down)시키는 업/다운 실린더; 및 상기 업/다운 실린더의 동작을 제어하는 솔레노이드를 더 포함할 수 있다.
상기 복수의 트레이는, 상기 칩들이 수납되어 있는 유저 트레이(user tray); 상기 칩들에 대한 테스트(test) 과정을 위해 상기 칩들을 소정의 테스트 사이 트(test site)로 반송시키는 테스트 트레이(test tray); 및 상기 유저 트레이와 상기 테스트 트레이 사이에 마련되어 상기 유저 트레이로부터의 칩을 상기 테스트 트레이로 전달하는 버퍼 트레이(buffer tray)를 포함할 수 있으며, 상기 피킹 헤드는, 상기 유저 트레이의 칩들을 상기 버퍼 트레이로 이송 및 수납시키기 위해 상기 유저 트레이와 상기 버퍼 트레이 사이에 마련될 수 있다.
본 발명에 따르면, 피커들의 간격이 X축 및 Y축 방향 모두로 가변될 수 있기 때문에 다양한 유저 트레이 및 버퍼 트레이에 상호 호환 적용될 수 있음은 물론 종래와 같이 제작이 어려운 주문 제작형 실린더를 사용하지 않더라도 용이하게 테스트 핸들러를 제작할 수 있으며, 특히 종래에 비해 간단하고도 단순한 구조를 가짐에도 불구하고 그 효율이 종래보다 향상될 수 있다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러의 개략적인 구성도이다.
참고로, 수납 트레이(130)란, 얼라인(align buffer) 또는 소팅 버퍼(sorting buffer)라 불리는 버퍼 트레이(130, buffer tray)를 가리키므로 이하에서는 수납 트레이(130)를 버퍼 트레이(130)라 하여 설명하기로 한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 테스트 핸들러는, 크게 로딩부(100, loading part), 테스트 사이트(200, test site) 및 언로딩부(300, unloading part)를 구비한다.
로딩부(100)에서는 제1 유저 트레이(110, user tray)에 수납된 칩(chip)들을 수납 트레이(130)인 버퍼 트레이(130)를 거쳐 최종적으로 제1 테스트 트레이(150, test tray)로 이송 및 수납하는 과정이 진행된다. 이를 위해, 로딩부(100)에는 칩들의 이송 및 수납 진행 순서에 따라 제1 유저 트레이(110), 버퍼 트레이(130) 및 제1 테스트 트레이(150)가 마련된다. 뿐만 아니라 로딩부(100)에는 제1 유저 트레이(110)로부터 버퍼 트레이(130)로 칩들을 이송 및 수납시키기 위해, 그리고 버퍼 트레이(130)로부터 제1 테스트 트레이(150)로 칩들을 이송 및 수납시키기 위해 각각 제1 피킹 헤드(170, picking head) 및 제2 피킹 헤드(190)가 마련된다.
테스트 사이트(200)는 총 3개의 파트(210,220,230)로 나뉠 수 있다. 제1 파트(210)에서는 제1 테스트 트레이(150)에 수납된 칩들을 예열하고, 제2 파트(220)에서는 소정 시간동안 소정의 온도로 칩들의 온도를 유지하며, 제3 파트(230)에서는 칩들을 냉각한다. 이러한 일련의 과정을 통해 칩들에 대한 내구성 및 내열성 등의 각종 특성을 테스트하게 된다. 참고로, 본 실시예에서는 테스트 사이트(200)가 3개의 파트(210,220,230)로 나뉘어 해당 공정을 진행하고 있지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니다.
언로딩부(300)에서는 테스트 완료된 칩들을 제2 테스트 트레이(310)를 통해 제2 유저 트레이(350)로 이송 및 수납하는 과정이 진행된다. 이를 위해, 언로딩부(300)에는 제2 테스트 트레이(310)와 제2 유저 트레이(350), 그리고 각각의 해당 위치에서 칩들에 대한 이송 및 수납을 담당하는 제3 및 제4 피킹 헤드(370,390)가 구비된다.
참고로, 언로딩부(300)의 경우, 하나의 피킹 헤드에 의해 제2 테스트 트레이(310)로부터 제2 유저 트레이(350)로 칩들이 그대로 이송 및 수납될 수도 있고, 혹은 본 실시예와 같이 제3 피킹 헤드(370)가 제2 테스트 트레이(310)로부터 별도의 단위 트레이(330)로 칩들을 이송 및 수납시킨 후, 제4 피킹 헤드(390)에 의해 최종적으로 제2 유저 트레이(350)로 칩들이 이송 및 수납되도록 할 수도 있다.
한편, 앞서도 기술한 바와 같이, 특히 제1 유저 트레이(110)의 칩수납부들의 가로/세로 피치와, 버퍼 트레이(130)의 칩수납부들의 가로/세로 피치가 서로 상이한 경우에는, 제1 유저 트레이(110)에 수납된 칩들을 버퍼 트레이(130)로 이송시켜 수납시키기 위해서 제1 피킹 헤드(170)에 구비된 피커(410, picker)들의 상호간 간격이 가변될 수 있어야만 한다. 그래야만 피커(410)들이 상호간 벌어지거나 좁혀지는 동작에 기초하여 제1 유저 트레이(110)에 수납된 칩들을 버퍼 트레이(130)로 이송 및 수납시킬 수 있다.
다만, 종래기술과 같이, 피커(410)들이 단순히 X축 방향 및 Y축 방향 중에서 선택된 어느 한 방향으로만 동작되는 경우에는 다양한 크기 칩수용부들을 갖는 유저 트레이(미도시) 및 버퍼 트레이(미도시)에 상호 호환 적용되기 어렵다. 뿐만 아 니라 종래기술과 같이 일반적인 실린더(cylinder)가 아닌 주문 제작형 실린더를 사용하는 경우라면 테스트 핸들러의 제작이 용이하지 않으며, 특히 상대적으로 복잡한 구조를 갖는데 비해 그 효율이 미비할 수밖에 없다.
이에, 본 실시예에서는 아래와 같이, 제1 피킹 헤드(170)의 구조를 개선함으로써 전술한 종래기술의 문제점을 해결하고 있는 것이다. 제1 피킹 헤드(170)의 개선된 구조에 대해 도 2 내지 도 7을 참조하여 설명하도록 한다.
도 2는 피킹 헤드에서 피커들의 간격이 상호간 벌어진 상태의 사시도이고, 도 3은 피킹 헤드에서 피커들의 간격이 상호간 좁혀진 상태의 사시도이며, 도 4는 도 2의 도면에서 루프와 하우징을 제거한 상태의 사시도이고, 도 5는 도 4의 요부 확대도이며, 도 6 및 도 7은 각각 도 2 및 도 3에 대응되는 피킹 헤드의 개략적인 부분 측면 구조도이다.
이들 도면에 도시된 바와 같이, 제1 유저 트레이(110)의 칩들을 버퍼 트레이(130)로 이송 및 수납시키기 위해 제1 유저 트레이(110)와 버퍼 트레이(130) 사이에 마련되는 피킹 헤드인 제1 피킹 헤드(170)는, 칩들을 흡착하는 다수의 피커(410)와, 피커(410)들의 간격이 버퍼 트레이(130)의 판면 방향에 대해 X축 및 Y축 방향으로 좁혀지거나 벌어질 수 있도록, 피커(410)들에 연결되어 피커(410)들을 이동시키는 이동유닛(420)을 포함한다.
피커(410)는 실질적으로 칩들을 흡착하는 부분이다. 도 4를 참조할 때, 본 실시예의 제1 피킹 헤드(170)에는 총 21개의 피커(410)들이 구비된다. 따라서 제1 유저 트레이(110)에 수납된 21개의 칩들을 한번에 피킹하여 버퍼 트레이(130)로 이 송 및 수납시킬 수 있다. 물론, 21개의 피커(410)들이 한번에 동작될 수도 있으나 경우에 따라 이들의 일부가 단독 혹은 개별적으로 동작되도록 제어할 수도 있다.
이러한 피커(410)들에 의해 칩들이 피킹되기 위해서는 해당 위치에서 피커(410)들이 도 2 내지 도 4에 도시된 Z축 방향으로 업/다운(up/down)되어야 한다. 이를 위해, 피커(410)들 각각에는 피커(410)들을 업/다운시키는 업/다운 실린더와, 업/다운 실린더의 동작을 제어하는 솔레노이드 등이 갖춰진다. 다만, 본 실시예에서는 도면 이해의 편의를 위해 업/다운 실린더 및 솔레노이드에 대해서는 도시를 생략하고 있다. 이 때, 업/다운 실린더는 종래기술의 주문 제작형 실린더가 아닌 일반적인 공작 기계나 중장비 등에 널리 적용되는 통상적인 공압, 유압, 혹은 유공압 복합 실린더로 적용된다.
한편, 이동유닛(420)은 전술한 바와 같이, 피커(410)들의 간격이 도 2 내지 도 4의 X축 및 Y축 방향으로 좁혀지거나 벌어질 수 있도록 피커(410)들을 이동시키는 역할을 한다. 이 때, 피커(410)들에 대한 X축 및 Y축 방향으로의 이동이 각각 개별적으로 진행되도록 하여도 좋으나, 본 실시예에서는 피커(410)들의 간격이 X축 및 Y축 방향으로 상호간 일괄적으로 좁혀지거나 벌어질 수 있도록 이동유닛(420)과 피커(410)들을 연결하고 있다. 이러한 연결 구조는 보다 단순하고 간단하여 저비용으로 쉽게 구현할 수 있으면서도 고장 발생률이 낮아져 유지보수의 노력이 감소되는 이점이 있다.
이러한 이동유닛(420)은, 피커(410)들을 X축 방향으로 연결하는 다수의 X축 연결바아(421)와, 피커(410)들을 Y축 방향으로 연결하는 다수의 Y축 연결바아(422) 와, X축 연결바아(421)들의 단부에서 X축 연결바아(421)들을 상호간 링크(link) 연결시키는 다수의 X축 링크부(423)와, Y축 연결바아(422)들의 단부에서 Y축 연결바아(422)들을 상호간 링크 연결시키는 다수의 Y축 링크부(424)를 구비한다.
도 4를 통해 확인할 수 있듯이, 본 실시예에서 21개의 피커(410)들은 X축 방향으로 3개씩의 피커(410)가 Y축 방향으로 7열 줄지어 있는 것을 알 수 있다. 따라서 X축 연결바아(421)는 7개, 그리고 Y축 연결바아(422)는 3개 마련된다. 하지만, 본 발명의 권리범위가 이들의 개수에 제한되는 것은 아니다.
X축 연결바아(421)들과 Y축 연결바아(422)들 모두는 그 단부(421a,422a)가 절곡된 막대 구조를 갖는다. 이 때, 도 5에 도시된 바와 같이, 피커(410)들은 X축 연결바아(421)들 및 Y축 연결바아(422)들에 대해 각각 분리되지 않는 상태에서 상대적으로 슬라이딩 이동 가능하게 연결된다. 즉, 피커(410)들에 대한 X축 연결바아(421)들 및 Y축 연결바아(422)들의 결합 구조는 레일 타입이나 혹은 도브 테일(dove tail) 타입의 결합 구조를 갖는다.
이러한 결합 구조에 의해, 피커(410)들이 X축 방향으로 이동되는 경우 피커(410)들은 Y축 연결바아(422)를 파지한 상태에서 X축 연결바아(421)에 대해 X축으로 슬라이딩 이동되고, 피커(410)들이 Y축 방향으로 이동되는 경우 피커(410)들은 X축 연결바아(421)를 파지한 상태에서 Y축 연결바아(422)에 대해 Y축으로 슬라이딩 이동되는 동작을 가질 수 있게 된다.
X축 링크부(423)들 및 Y축 링크부(424)들은 모두, X축 연결바아(421)들과 Y축 연결바아(422)들의 절곡된 일측 단부에 상호간 지그재그(zigzag) 방식으로 결합 된다. X축 연결바아(421)들과 Y축 연결바아(422)들을 비롯하여 이러한 X축 링크부(423)들 및 Y축 링크부(424)들의 구조적인 특징에 의해 피커(410)들의 간격이 X축 및 Y축 방향으로 상호간 일괄적으로 좁혀지거나 벌어질 수 있게 되는 것이다.
피커(410)들 사이의 간격 조절을 위해, 이동유닛(420)은 Y축 방향 구동레버(426)들 및 X축 방향 구동레버(425)들을 더 포함한다. Y축 방향 구동레버(426)들은 X축 링크부(423)들이 상호간 교차하는 지점에 마련되어 피커(410)들을 Y축 방향으로 구동시키는 역할을 하고, X축 방향 구동레버(425)들은 Y축 링크부(424)들이 상호간 교차하는 지점에 마련되어 피커(410)들을 X축 방향으로 구동시키는 역할을 한다.
한편, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 피커(410)들과 이동유닛(420)은 하우징(430)에 의해 부분적으로 수용되어 있다. 하우징(430)에 의해 피커(410)들의 측면은 부분적으로 차폐되지만 상하는 개방된다.
이러한 하우징(430)은 피커(410)들의 길이 방향을 따라 상호 착탈 가능하게 결합되는 상부 하우징부(431) 및 하부 하우징부(432)로 마련된다.
상부 하우징부(431)의 상부에는 상부 하우징부(431)의 일측으로 노출된 피커(410)들의 외곽을 둘러싸는 루프(440)가 더 구비되어 있다. 루프(440)는 하우징(430)과 더불어 피커(410)들을 지지하는 역할을 할 수 있다.
상부 하우징부(431)의 측면에는 X축 방향 구동레버(425)들의 단부가 부분적으로 노출되어 동작 가능한 X축 방향 레버가이드(431a)가 형성되어 있다. 그리고 하부 하우징부(432)의 측면에는 Y축 방향 구동레버(426)들의 단부가 부분적으로 노 출되어 동작 가능한 Y축 방향 레버가이드(432a)가 형성되어 있다. X축 방향 레버가이드(431a)와 Y축 방향 레버가이드(432a)는 모두가 장공의 형태를 갖는다.
이러한 구성을 갖는 테스트 핸들러의 작용에 대해 설명하면 다음과 같다.
우선, 로딩부(100)의 초입 부분에 칩들을 수납한 제1 유저 트레이(110)가 로딩되면, 제1 피킹 헤드(170)가 제1 유저 트레이(110)의 칩들을 버퍼 트레이(130)로 이송시켜 수납시킨다.
이러한 동작에 대해 구체적으로 살펴보면, 솔레노이드(미도시)에 의해 업/다운 실린더(미도시)가 동작되어 피커(410)들이 -Z축 방향으로 다운(down)되어 제1 유저 트레이(110)의 칩들을 피킹한 후, +Z축 방향으로 업(Up)된다. 그런 다음, 주변 구조물, 예컨대 리니어 모터(linear motor)나 혹은 겐트리 등의 구조에 의해 피커(410)들은 버퍼 트레이(130)의 상부 영역으로 이송된다. 한편, 버퍼 트레이(130)의 칩수납부들의 가로/세로 피치가 제1 유저 트레이(110)의 칩들을 수납한 칩수납부들의 가로/세로 피치가 보다 큰 경우, 피커(410)들은 예컨대 그 사이 간격이 도 2와 같이 벌어져야 한다. 이를 위해 별도의 제어신호를 받은 구동부(미도시)는 X축 방향 레버가이드(431a)와 Y축 방향 레버가이드(432a)를 통해 부분적으로 노출된 X축 방향 구동레버(425)들 및 Y축 방향 구동레버(426)들을 각각 X축 방향 및 Y축 방향으로 정해진 거리만큼 이동시킨다. X축 방향 구동레버(425)들 및 Y축 방향 구동레버(426)들이 각각 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동되면, 이에 연동하여 Y축 링크부(424)들 및 X축 링크부(423)들이 상호 벌어지면서 피커(410)들을 Y축 연결바아(422)들 및 X축 연결바아(421)들 상에서 슬라이딩 이동시키게 됨에 따라 피 커(410)들은 도 3에서 도 2와 같이 그 사이의 간격이 벌어질 수 있게 되는 것이다. 도 2와 같이, 피커(410)들이 배치되면 다시 업/다운 실린더의 동작에 기초하여 피커(410)들이 -Z축 방향으로 다운(down)되어 버퍼 트레이(130)의 칩수납부로 칩들을 수납시키게 되는 것이다.
다음, 제2 피킹 헤드(190)가 버퍼 트레이(130)에 수납된 칩들을 테스트에 적합한 제1 테스트 트레이(150)에 재수납시킨다. 이후에, 제1 테스트 트레이(150)에 수납된 칩들은 테스트 사이트(200)로 반송되고 3개의 파트(210,220,230)에서 테스트 과정이 진행된다.
테스트 과정이 완료되면 테스트 과정이 완료된 칩들은 제2 테스트 트레이(310)로 이송된다. 그런 연후에, 제3 피킹 헤드(370)가 제2 테스트 트레이(310)로부터 단위 트레이(330)로 칩들을 이송 및 수납시키고, 이어 제4 피킹 헤드(390)에 의해 칩들은 최종적으로 제2 유저 트레이(350)에 테스트 결과별로 수납된다.
이와 같이, 본 실시예에 따르면, 피커(410)들의 간격이 X축 및 Y축 방향 모두로 가변될 수 있기 때문에 다양한 유저 트레이 및 버퍼 트레이에 상호 호환 적용될 수 있음은 물론 종래와 같이 제작이 어려운 주문 제작형 실린더를 사용하지 않더라도 용이하게 테스트 핸들러를 제작할 수 있으며, 특히 종래에 비해 간단하고도 단순한 구조를 가짐에도 불구하고 그 효율이 종래보다 향상될 수 있게 된다.
전술한 실시예에서는 제1 피킹 헤드(170)의 개선된 구조에 대해 설명하였지만, 실질적으로 제1 피킹 헤드(170)와 동일한 역할을 수행하는 제2 내지 제4 피킹 헤드(190,370,390)에도 전술한 동일한 구조를 적용할 수 있을 것이다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러의 개략적인 구성도이다.
도 2는 피킹 헤드에서 피커들의 간격이 상호간 벌어진 상태의 사시도이다.
도 3은 피킹 헤드에서 피커들의 간격이 상호간 좁혀진 상태의 사시도이다.
도 4는 도 2의 도면에서 루프와 하우징을 제거한 상태의 사시도이다.
도 5는 도 4의 요부 확대도이다.
도 6 및 도 7은 각각 도 2 및 도 3에 대응되는 피킹 헤드의 개략적인 부분 측면 구조도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
100 : 로딩부 130 : 버퍼 트레이
131 : 트레이본체 132 : 베이스 플레이트
133 : 교체용 플레이트 134 : 착탈 결합부
135 : 칩수납부 135a : 경사면
135b : 지지턱 200 : 테스트 사이트
300 : 언로딩부 410 : 피커
420 : 이동유닛 421 : X축 연결바아
422 : Y축 연결바아 423 : X축 링크부
424 : Y축 링크부 425 : Y축 방향 구동레버
426 : X축 방향 구동레버 430 : 하우징
440 : 루프

Claims (11)

  1. 복수의 트레이(tray) 사이에 마련되어 상기 트레이들로 칩(chip)들을 이송 및 수납시키는 피킹 헤드(picking head)를 포함하며,
    상기 피킹 헤드는,
    상기 칩들을 흡착하는 다수의 피커(picker);
    상기 피커들의 간격이 상기 트레이의 판면 방향에 대해 X축 및 Y축 방향으로 좁혀지거나 벌어질 수 있도록, 상기 피커들에 연결되어 상기 피커들을 이동시키는 이동유닛;
    상기 피커들과 상기 이동유닛을 부분적으로 수용하되 상기 피커들의 길이 방향을 따라 상호 착탈 가능하게 결합되는 상부 하우징부 및 하부 하우징부를 구비하는 하우징; 및
    상기 상부 하우징부의 상부에 마련되어 상기 상부 하우징부의 일측으로 노출된 상기 피커들의 외곽을 둘러싸는 루프를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 이동유닛은, 상기 피커들의 간격이 상기 트레이의 판면 방향에 대해 X축 및 Y축 방향으로 상호간 일괄적으로 좁혀지거나 벌어질 수 있도록 상기 피커들에 연결되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 이동유닛은,
    상기 피커들을 상기 X축 방향으로 연결하는 다수의 X축 연결바아;
    상기 피커들을 상기 Y축 방향으로 연결하는 다수의 Y축 연결바아;
    상기 X축 연결바아들의 단부에서 상기 X축 연결바아들을 상호간 링크(link) 연결시키는 다수의 X축 링크부; 및
    상기 Y축 연결바아들의 단부에서 상기 Y축 연결바아들을 상호간 링크 연결시키는 다수의 Y축 링크부를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 피커들은, 상기 X축 연결바아들 및 상기 Y축 연결바아들에 대해 각각 상대적으로 슬라이딩 이동 가능하게 연결되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 이동유닛은,
    상기 X축 링크부들에 결합되어 상기 피커들을 Y축 방향으로 구동시키는 Y축 방향 구동레버; 및
    상기 Y축 링크부들에 결합되어 상기 피커들을 X축 방향으로 구동시키는 X축 방향 구동레버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
  6. 삭제
  7. 제5항에 있어서,
    상기 하우징의 측면에는 상기 X축 방향 구동레버 및 상기 Y축 방향 구동레버가 각각 부분적으로 노출되어 동작 가능한 X축 방향 레버가이드 및 Y축 방향 레버가이드가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 상부 하우징부의 측면에는 상기 X축 방향 레버가이드가 형성되어 있고, 상기 하부 하우징부의 측면에는 상기 Y축 방향 레버가이드가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
  9. 삭제
  10. 제1항에 있어서,
    상기 피킹 헤드는,
    상기 피커들 각각에 결합되어 상기 피커들을 업/다운(up/down)시키는 업/다운 실린더; 및
    상기 업/다운 실린더의 동작을 제어하는 솔레노이드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 트레이는,
    상기 칩들이 수납되어 있는 유저 트레이(user tray);
    상기 칩들에 대한 테스트(test) 과정을 위해 상기 칩들을 소정의 테스트 사이트(test site)로 반송시키는 테스트 트레이(test tray); 및
    상기 유저 트레이와 상기 테스트 트레이 사이에 마련되어 상기 유저 트레이로부터의 칩을 상기 테스트 트레이로 전달하는 버퍼 트레이(buffer tray)를 포함하며,
    상기 피킹 헤드는, 상기 유저 트레이의 칩들을 상기 버퍼 트레이로 이송 및 수납시키기 위해 상기 유저 트레이와 상기 버퍼 트레이 사이에 마련되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
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