KR20060117663A - Cleaning brush unit for manufacture of flat panel display - Google Patents
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Abstract
Description
도 1은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 세정 브러시 유닛이 설치된 평판 디스플레이 제조를 위한 세정 장치를 개략적으로 보여주는 평면도;1 is a plan view schematically showing a cleaning apparatus for manufacturing a flat panel display with a cleaning brush unit according to an embodiment of the present invention;
도 2는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 세정 브러시 유닛이 설치된 평판 디스플레이 제조를 위한 세정 장치를 개략적으로 보여주는 정면도;Figure 2 is a front view schematically showing a cleaning device for manufacturing a flat panel display with a cleaning brush unit according to an embodiment of the present invention;
도 3은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 세정 브러시 유닛이 설치된 평판 디스플레이 제조를 위한 세정 장치를 개략적으로 보여주는 측면도이다. 3 is a side view schematically showing a cleaning apparatus for manufacturing a flat panel display having a cleaning brush unit according to an exemplary embodiment of the present invention.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings
110 : 크린부스110: clean booth
120 : 작업대120: worktable
130 : 상부 브러시 유닛130: upper brush unit
130' : 하부 브러시 유닛130 ': lower brush unit
140 : 승강부재 140: lifting member
146a : 원판캠146a: disc cam
160 : 게이지 160: gauge
본 발명은 평판 디스플레이(Flat Panel Display : 이하 FPD 라 칭함)의 세정 브러시 유닛에 관한 것으로서, 이를 보다 구체적으로 설명하자면 FPD를 세정하기 위하여 사용되는 세정용 브러시의 높낮이 조작이 용이한 평판 디스플레이의 세정 브러시 유닛에 관한 것이다. The present invention relates to a cleaning brush unit of a flat panel display (hereinafter referred to as an FPD). More specifically, the cleaning brush of a flat panel display, which can be easily manipulated and raised, is used to clean the FPD. It's about the unit.
일반적으로, 평판 디스플레이에는 LCD(Lipuid CrystalDisplay Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro luminescent Display), VFD(Vacuum FluorescentDisplay)등 여러 가지 장치가 연구 통용되고 있다.In general, various devices such as a liquid crystal display device (LCD), a plasma display panel (PDP), an electroluminescent display (ELD), and a vacuum fluorescent display (VFD) are commonly used in flat panel displays.
그 중에서도 LCD가 여러 가지의 단점에도 불구하고 화질이 우수하며 저전력을 사용한다는 점에서 가장 많이 사용되고 있다. 이러한 액정 패널을 제작하기 위해서는 매우 많은 세정공정을 거치게 된다. 이러한 세정을 위한 방법으로는 순수를 이용하여 물리적인 힘, 초음파 등을 사용하여 글라스 위에 증착된 유기물이나 무기물을 제거하는 방법을 사용하고 있으며, 그 중 가장 보편적으로 사용되는 방법의 하나는 세정 브러시 유닛을 이용하여 글라스 및 증착 전후에 발생되는 이물질 및 입자를 제거하는 것이다. Among them, LCD is the most used in that it has excellent image quality and uses low power despite various disadvantages. In order to manufacture such a liquid crystal panel, a very large number of cleaning processes are required. As a method for cleaning, a method of removing organic or inorganic substances deposited on glass using physical force and ultrasonic waves using pure water is one of the most commonly used cleaning brush units. Using to remove the foreign matter and particles generated before and after the glass and deposition.
일반적으로 세정 브러시 유닛은 통상 액정 패널을 이송하는 이송롤러 컨베이어와 같은 이송장치의 일측 상,하부에 각각 설치되어져 이송롤러 컨베이어를 따라 이송되는 액정 패널의 상면과 하면에 부착되어 있는 파티클을 브러시로 세정을 실시하게 된다. In general, the cleaning brush unit is installed on one side of the upper and lower sides of the transfer apparatus, such as a conveying roller conveyor for conveying the liquid crystal panel, and cleans the particles attached to the upper and lower surfaces of the liquid crystal panel conveyed along the conveying roller conveyor with a brush. Will be performed.
한편, 이 세정 브러시 유닛은 웜기어 방식, 볼스크류 방식 등의 높이조절장치에 의해 높낮이가 개별적으로 조절되고 있지만, 모두 초기 세팅시나 보수시 수동조작으로 직접 사람이 작동을 함으로써 정확한 값을 측정하거나 변동량을 알아보기가 불가능하였다.On the other hand, the height of the cleaning brush unit is individually controlled by the height adjusting device such as the worm gear type or the ball screw method. It was impossible to recognize.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 브러시의 높낮이 간격을 정밀하게 그리고 용이하게 조절할 수 있는 새로운 형태의 평판 디스플레이의 세정 브러시 유닛을 제공하는데 그 목적이 있다. An object of the present invention is to provide a cleaning brush unit of a new type of flat panel display that can accurately and easily adjust the height interval of the brush.
상기 기술적 과제들을 이루기 위한 평판 디스플레이의 세정 브러시 유닛은 상기 평판 디스플레이를 세정하기 위한 브러시가 장착된 브러시축; 상기 브러시축의 양단에 설치되는 제1,2베어링 하우징; 상기 브러시축의 높낮이 조절을 위해 상기 제1,2 베어링 하우징을 승강시키기 위한 승강부재를 포함하되; 상기 승강 부재는 모터; 상기 모터의 회전축에 편심회전되도록 설치되는 제1,2원판캠; 상기 제1원판캠의 캠면과 접하도록 설치되는 롤러를 갖으며 상기 제1베어링 하우징과 연결되는 제1캠로드; 상기 제2원판캠의 캠면과 접하도록 설치되는 롤러를 갖으며 상기 제2베어링 하우징과 연결되는 제2캠로드를 포함한다.The cleaning brush unit of the flat panel display for achieving the technical problem is a brush shaft mounted with a brush for cleaning the flat panel display; First and second bearing housings installed at both ends of the brush shaft; An elevating member for elevating the first and second bearing housings for height adjustment of the brush shaft; The lifting member is a motor; First and second disc cams installed to be eccentrically rotated on a rotation shaft of the motor; A first cam rod having a roller installed to be in contact with the cam surface of the first disc cam and connected to the first bearing housing; And a second cam rod having a roller installed to contact the cam surface of the second disc cam and connected to the second bearing housing.
일 실시예에 따르면, 상기 승강 부재는 상기 제1캠로드와 상기 제2캠로드의 이동간격을 체크하기 위한 게이지를 더 포함할 수 있다. According to one embodiment, the lifting member may further include a gauge for checking the movement interval of the first cam rod and the second cam rod.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도 1 내지 도 3을 참조하면서 보다 상세히 설명한다. 상기 도면들에 있어서 동일한 기능을 수행하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조번호가 병기되어 있다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 1 to 3. In the drawings, the same reference numerals are given to components that perform the same function.
본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. The embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described below. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art.
본 실시예에서 기판은 평판 디스플레이(flat panel display, 이하 'FPD') 소자를 제조하기 위한 것으로, FPD는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display), FED(FieldEmission Display), ELD(Electro Luminescence Display) 일 수 있다.In this embodiment, the substrate is for manufacturing a flat panel display (FPD) device, and the FPD is a liquid crystal display (LCD), a plasma display (PDP), a vacuum fluorescent display (VFD), or a field emission (FED). Display), ELD (Electro Luminescence Display).
도 1 내지 도 3은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 세정 브러시 유닛이 설치된 평판 디스플레이 제조를 위한 세정 장치를 개략적으로 보여주는 평면도 및 정면도 그리고 측면도이다1 to 3 are a plan view, a front view and a side view schematically showing a cleaning apparatus for manufacturing a flat panel display having a cleaning brush unit according to an embodiment of the present invention.
도 1 내지 도 3을 참고하면, 평판 디스플레이 세정장치(100)는 세정작업이 진행되는 크린부스(110)가 작업대(120)에 설치되어 있다. 크린부스(110)에는 평판 디스플레이(10)를 자동적으로 이송하기 위한 다수의 롤러(112)들을 갖는 컨베이어 장치(114)가 설치되어 있다. 1 to 3, in the flat panel
도시하지는 않았지만, 크린부스(110) 안에는 대형 평판 디스플레이의 세정작업 시 물을 분사하기 위해 복수개의 노즐장치가 구비될 수 있다. 대형 평판 디스플레이(10)는 다수의 롤러(112)들에 의해 X방향으로 이송된다. Although not shown, a plurality of nozzle devices may be provided in the
작업대(120)에는 상부와 하부에 평판 디스플레이(10)의 상면과 저면을 각각 세정하기 위한 한 쌍의 상부 브러시 유닛(130)과 하부 브러시 유닛(130')이 크린부스(110)에 배치된다. In the work table 120, a pair of
상부 브러시 유닛(130)은 브러시(133)와, 브러시축(134) 그리고 브러시축을 회전시키기 위한 회전모터(132)로 이루어지는 통상의 구성과 브러시의 높낮이를 조정하기 위한 제1승강부재(140)를 갖는다. 브러시축(134)의 양단에는 회전 가능하게 베어링이 개입된 제1,2베어링 하우징(136,137)이 설치되며, 회전모터(132)는 브러시축(134)의 일단과 통상의 커플링(138)에 의해 연결된다. The
제1승강부재(140)는 평판 디스플레이(10)의 두께에 따라 상부 브러시(133)의 높이를 변경하도록 브러시 유닛의 높낮이를 원판캠을 이용하여 미세 조절하기 위한 것이다. The first
도 2 및 도 3을 참조하면서 승강부재를 보다 구체적으로 살펴보면, 승강부재(140)는 서보모터(142)와 이 서보모터에 의해 회전하는 회전축(144)을 갖으며, 이 회전축에는 제1,2원판캠(146a,146b)이 설치된다. 이 원판캠(146a,146b)은 상부 브러시의 높낮이를 조절하기 위한 것이다. 이 제1승강부재 옆에서 나란히 하부 브러시 유닛(130')의 높낮이를 조절하기 위한 제2승강부재(130')가 설치되어 있다. 한편, 승강부재는 서보모터(142)를 제어하는 제어부(141)를 갖는다. 제어부(141)에서는 서보모터(142)의 회전량에 따른 상부 브러시의 높이를 환산하여 작업자가 제어부에서 디스플레이되는 브러시 높이를 확인하여 제어부에서 서보모터의 회전량을 제어하여 높낮이를 조절할 수 있다. Looking at the lifting member in more detail with reference to Figures 2 and 3, the
이처럼 본 발명에서는 상부의 브러시와 하부의 브러시의 높낮이 조절이 제어부에서 제어하는 서보모터(142)에 의해 이루어지는데 그 특징이 있다. As described above, in the present invention, the height adjustment of the upper brush and the lower brush is made by the
한편, 상부의 브러시축(134)의 제1베어링(136)과 제2베어링(137)에는 각각 제1캠로드(148)와 제2캠로드(149)가 설치된다. 이 제1캠로드(148)와 제2캠로드(149)는 프레임상에 설치된 LM 가이드(150)를 따라 상하 이동 가능하게 설치되며, 이 제1캠로드(148)와 제2캠로드(149)의 하단에는 원판캠의 캠면에 접하도록 설치되는 롤러(R)를 갖는다. 즉, 제1캠로드(148)와 제2캠로드(149)는 원판캠의 캠면 높이에 따라 승강하게 된다. 제1캠로드(148)의 이동 간격은 LM 가이드(150)에 설치된 게이지(160)가 체크하게 되며, 제1캠로드(148)의 이동은 원판캠(146a)의 회전에 따라 이루어진다. 작업자는 제어부(141)의 디스플레이상에서 제1캠로드(148) 또는 제2캠로드(149)의 상하변동량을 서보모터로부터 제공되는 데이터를 가지고 높이로 환산하여 확인할 수 있고, 필요한 경우 서보모터(142)를 실시간으로 작동시켜 그 간격을 조절할 수 있다. 필요에 따라, 작업자는 수작업으로 회전축(144)를 회전시켜 높낮이를 조절할 수 있으며, 도면에도 도시하지 않았지만 회전축에는 손잡이가 설치될 수 있다. Meanwhile, the
한편, 하부 브러시 유닛(130')은 상부 브러시 유닛(130)과 동일한 구성과 기능을 갖는 브러시(133)와, 브러시축(134) 그리고 브러시축을 구동시키기 위한 모터(132)로 이루어지는 통상의 구성과 브러시의 높낮이를 조정하기 위한 제2승강부재(140')를 갖는다. 제2승강부재(140')는 제1승강부재(140)와 동일한 구성과 기능을 갖는 서보모터(142), 회전축(144), 제1,2원판캠(146a,146b) 그리고 제1캠로드 (148), 제2캠로드(149)를 갖는다. 하부 브러시 유닛(130')에 대한 설명은 앞에서 설명한 상부 브러시 유닛과 거의 동일한 것으로 그에 대한 설명은 생략하기로 한다. On the other hand, the
상술한 바와 같이, 본 발명의 승강부재는 원판캠을 사용함으로써 상하 미세 조정이 가능하고, 상하 변동량을 알 수 있다. As described above, the elevating member of the present invention can be finely adjusted up and down by using the disc cam, it is possible to know the vertical fluctuation amount.
한편, 본 발명은 상기의 구성으로 이루어진 세정 브러시 유닛은 다양하게 변형될 수 있고 여러 가지 형태를 취할 수 있다. 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.On the other hand, in the present invention, the cleaning brush unit having the above configuration can be variously modified and can take various forms. It is to be understood that the invention is not to be limited to the specific forms referred to in the foregoing description, but rather includes all modifications, equivalents and substitutions that fall within the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It must be understood.
이상에서, 본 발명에 따른 세정 브러시 유닛은 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.In the above, the cleaning brush unit according to the present invention has been shown in the configuration and operation according to the above description and drawings, but this is just an example, and various changes and modifications are possible within the scope without departing from the spirit of the present invention. Of course.
상술한 바와 같이 본 발명에 따르면 다음과 같은 효과를 갖는다. 첫째, 상부 브러시 유닛과 하부 브러시 유닛의 높낮이 조절이 원판캠에 의해 이루어짐으로 설비 구조를 단순하게 할 수 있다. 둘째, 작업자는 컨트롤러 화면상에서 제1캠로드와 제2캠로드의 상하변동량을 서보모터로부터 제공되는 데이터를 가지고 확인할 수 있을 뿐만 아니라, 필요한 경우 서보모터를 작동시켜 그 간격을 편리하게 조절할 수 있다. As described above, the present invention has the following effects. First, since the height adjustment of the upper brush unit and the lower brush unit is made by the disc cam can simplify the installation structure. Second, the operator can not only check the vertical movement of the first cam rod and the second cam rod with the data provided from the servo motor, but also operate the servo motor if necessary to conveniently adjust the gap.
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100862705B1 (en) * | 2007-07-18 | 2008-10-10 | 세메스 주식회사 | Brush assembly and apparatus for treating substrate with the brush assembly, and method for installing the brush assembly |
KR100908402B1 (en) * | 2007-11-26 | 2009-07-20 | 주식회사 케이씨텍 | Substrate Cleaning Equipment |
KR101389769B1 (en) * | 2012-12-24 | 2014-04-28 | 주식회사 케이씨텍 | Substrate cleaning apparatus |
KR20170009269A (en) * | 2015-07-16 | 2017-01-25 | 한국표준과학연구원 | Water leveler |
KR20200118317A (en) * | 2019-04-05 | 2020-10-15 | 주식회사 디엠에스 | Apparatus for adjusting gap of substrate processing unit and substrate processing apparatus using the same |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10337541A (en) * | 1997-06-03 | 1998-12-22 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | Substrate cleaning device |
JP2000306789A (en) * | 1999-04-22 | 2000-11-02 | Shintani Denki Kk | Capacitor having case provided with protective mechanism and manufacture thereof |
KR20030003513A (en) * | 2001-07-03 | 2003-01-10 | 주식회사 케이씨텍 | Cleaning apparatus for Brush |
KR200306926Y1 (en) * | 2002-11-21 | 2003-03-11 | 한국디엔에스 주식회사 | The cut end cleaning apparatus of liquid crystal pannel |
KR200315448Y1 (en) * | 2003-03-13 | 2003-06-02 | 한국디엔에스 주식회사 | The cleaning apparatus for lithography display panel |
-
2005
- 2005-05-13 KR KR1020050040109A patent/KR20060117663A/en not_active Application Discontinuation
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10337541A (en) * | 1997-06-03 | 1998-12-22 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | Substrate cleaning device |
JP2000306789A (en) * | 1999-04-22 | 2000-11-02 | Shintani Denki Kk | Capacitor having case provided with protective mechanism and manufacture thereof |
KR20030003513A (en) * | 2001-07-03 | 2003-01-10 | 주식회사 케이씨텍 | Cleaning apparatus for Brush |
KR200306926Y1 (en) * | 2002-11-21 | 2003-03-11 | 한국디엔에스 주식회사 | The cut end cleaning apparatus of liquid crystal pannel |
KR200315448Y1 (en) * | 2003-03-13 | 2003-06-02 | 한국디엔에스 주식회사 | The cleaning apparatus for lithography display panel |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100862705B1 (en) * | 2007-07-18 | 2008-10-10 | 세메스 주식회사 | Brush assembly and apparatus for treating substrate with the brush assembly, and method for installing the brush assembly |
KR100908402B1 (en) * | 2007-11-26 | 2009-07-20 | 주식회사 케이씨텍 | Substrate Cleaning Equipment |
KR101389769B1 (en) * | 2012-12-24 | 2014-04-28 | 주식회사 케이씨텍 | Substrate cleaning apparatus |
KR20170009269A (en) * | 2015-07-16 | 2017-01-25 | 한국표준과학연구원 | Water leveler |
KR20200118317A (en) * | 2019-04-05 | 2020-10-15 | 주식회사 디엠에스 | Apparatus for adjusting gap of substrate processing unit and substrate processing apparatus using the same |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E601 | Decision to refuse application |