KR20060113109A - 로터리 방식의 반도체 소자 픽 앤 플레이스 장치 - Google Patents

로터리 방식의 반도체 소자 픽 앤 플레이스 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20060113109A
KR20060113109A KR1020050035985A KR20050035985A KR20060113109A KR 20060113109 A KR20060113109 A KR 20060113109A KR 1020050035985 A KR1020050035985 A KR 1020050035985A KR 20050035985 A KR20050035985 A KR 20050035985A KR 20060113109 A KR20060113109 A KR 20060113109A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
pickers
pick
picker
pitch
semiconductor device
Prior art date
Application number
KR1020050035985A
Other languages
English (en)
Inventor
최귀흠
문점주
김원주
이종철
허용강
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1020050035985A priority Critical patent/KR20060113109A/ko
Publication of KR20060113109A publication Critical patent/KR20060113109A/ko

Links

Images

Classifications

    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61N—ELECTROTHERAPY; MAGNETOTHERAPY; RADIATION THERAPY; ULTRASOUND THERAPY
    • A61N2/00—Magnetotherapy
    • A61N2/06—Magnetotherapy using magnetic fields produced by permanent magnets
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61F—FILTERS IMPLANTABLE INTO BLOOD VESSELS; PROSTHESES; DEVICES PROVIDING PATENCY TO, OR PREVENTING COLLAPSING OF, TUBULAR STRUCTURES OF THE BODY, e.g. STENTS; ORTHOPAEDIC, NURSING OR CONTRACEPTIVE DEVICES; FOMENTATION; TREATMENT OR PROTECTION OF EYES OR EARS; BANDAGES, DRESSINGS OR ABSORBENT PADS; FIRST-AID KITS
    • A61F13/00—Bandages or dressings; Absorbent pads
    • A61F13/02—Adhesive bandages or dressings
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61H—PHYSICAL THERAPY APPARATUS, e.g. DEVICES FOR LOCATING OR STIMULATING REFLEX POINTS IN THE BODY; ARTIFICIAL RESPIRATION; MASSAGE; BATHING DEVICES FOR SPECIAL THERAPEUTIC OR HYGIENIC PURPOSES OR SPECIFIC PARTS OF THE BODY
    • A61H39/00—Devices for locating or stimulating specific reflex points of the body for physical therapy, e.g. acupuncture
    • A61H39/04—Devices for pressing such points, e.g. Shiatsu or Acupressure
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61N—ELECTROTHERAPY; MAGNETOTHERAPY; RADIATION THERAPY; ULTRASOUND THERAPY
    • A61N2/00—Magnetotherapy
    • A61N2/002—Magnetotherapy in combination with another treatment

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Radiology & Medical Imaging (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Rehabilitation Therapy (AREA)
  • Epidemiology (AREA)
  • Pain & Pain Management (AREA)
  • Physical Education & Sports Medicine (AREA)
  • Heart & Thoracic Surgery (AREA)
  • Vascular Medicine (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 반도체 소자 제조 공정 설비에서 반도체 소자 이송에 사용되는 로터리(rotary) 방식의 픽 앤 플레이스(pick & place) 장치에 관한 것이다. 본 발명의 픽 앤 플레이스 장치는 프레임에 회전 가능하도록 결합된 롤러 형태의 회전 블록 상에 복수 개의 픽커(picker)가 길이 방향으로 복수의 열을 이룸과 동시에 각각의 열들이 회전 블록의 중심 축을 중심으로 하는 원주 상에 동일 간격으로 배열된다. 이와 같은 본 발명의 구조에 의하면 픽커들이 회전 블록 상에 복수의 행렬을 이루는 3차원적인 배치 구조를 갖기 때문에 픽 앤 플레이스 장치의 이송 가능한 반도체 소자의 수량이 크기 증가되어 이송 속도가 빨라지므로 설비 생산성이 향상된다. 또한 회전 블록을 프레임에서 분리하는 작업이 신속하고 용이하게 이루어질 수 있어 교체 작업으로 인한 시간적 손실이 크게 감소된다.
픽 앤 플레이스(pick & place), 패키지 이송 장치, 테스트 핸들러, 픽커(picker), 롤러(roller), 반도체 패키지, 테스트 트레이, 고객 트레이

Description

로터리 방식의 반도체 소자 픽 앤 플레이스 장치{ROTARY TYPE EQUIPMENT FOR PICKING AND PLACING SEMICONDUCTOR DEVICE}
도 1은 종래 기술에 따른 반도체 소자 픽 앤 플레이스 장치의 일 예를 나타낸 사시도이다.
도 2는 종래 기술에 따른 반도체 소자 픽 앤 플레이스 장치의 동작 회수를 설명하기 위한 개략도이다.
도 3은 종래 기술에 따른 반도체 소자 픽 앤 플레이스 장치의 다른 예를 나타낸 정면도이다.
도 4a와 도 4b는 본 발명에 따른 반도체 소자 픽 앤 플레이스 장치의 일 실시예를 나타낸 정면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 반도체 소자 픽 앤 플레이스 장치의 픽커 어셈블리부를 나타낸 단면도이다.
도 6a와 도 6b는 본 발명에 따른 반도체 소자 픽 앤 플레이스 장치의 피치 변환을 설명하기 위한 부분 정면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 반도체 소자 픽 앤 플레이스 장치의 개략적인 동작 상태도이다.
도 8은 본 발명에 따른 반도체 소자 픽 앤 플레이스 장치의 동작 회수를 설 명하기 위한 개략도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
110; 픽 앤 플레이스 장치 111; 프레임
113; 메인 수직구동 실린더 120; 픽커 어셈블리부
121; 회전 블록 123; 픽커
125; 픽커 수직구동 실린더 126; 픽커 고정 블록
127; 픽커 이동 축 129; 내부공간
131; 피치 변환기 133; 가이드 슬릿
135; 피치 변환 구동 모터 136; 메인 진공 호스
137; 분기 진공 호스 139; 고정 나사
140; 로테이션 모터 150; 반도체 패키지
153; 고객 트레이 155; 테스트 트레이
본 발명은 반도체 소자 이송 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 소자 제조 공정 설비 내에서의 반도체 소자 이송에 사용되는 픽 앤 플레이스(pick & place) 장치에 관한 것이다.
일반적으로 픽 앤 플레이스 장치는 반도체 소자를 제조하기 위한 공정, 예를 들어 패키징(packaging) 공정이나 검사(test) 공정을 수행하는 공정 설비 내에 설 치되어 반도체 소자의 픽-업(pick-up)과 픽-다운(pick-down)을 담당하는 장치로서, X축과 Y축 방향으로 픽 앤 플레이스 장치를 이동시키는 X-Y 이송 수단과 연동되어 반도체 소자를 이송시키는 기능을 수행한다. 예를 들어, 반도체 패키지 검사 설비에 설치되어 테스트 트레이(test tray)와 고객 트레이(customer tray)간 반도체 패키지 이송을 수행한다.
도 1에 도시된 픽 앤 플레이스 장치(210)는 대한민국 등록특허공보 제243049호에 소개된 대표적인 종래 픽 앤 플레이스 장치의 예로서, 진공 흡착이 가능한 복수의 픽커(picker; 223)들이 링크(link) 기구(225)에 의해 테스트 트레이와 고객 트레이의 포켓 피치(pocket pitch)에 대응되는 피치 변화가 이루어지면서 픽커 수직구동 실린더(227)의 동작에 따른 픽커(223)의 픽-업(pick-up) 또는 픽-다운(pick-down)에 의해 반도체 패키지들의 흡착과 이송이 이루어지도록 구성되어 있다.
그런데 전술한 예에서와 같이 종래의 픽 앤 플레이스 장치는 반도체 소자 이송을 위한 반복적인 위치 이동이 필요하기 때문에 반도체 소자를 빠른 시간 내에 이송하는 데에는 어려움이 있다. 예를 들어, 도 2에서와 같이 8×12의 포켓 배열을 이루는 고객 트레이(153)에서 16×8 포켓 배열을 이루는 테스트 트레이(155)로 반도체 패키지(150)를 8개의 픽커로 이송하는 경우, 픽 앤 플레이스 장치는 1회에 8개씩 16회에 걸쳐 반도체 패키지를 이송시켜야 한다.
이와 같은 문제를 해결하기 위한 방안으로서 픽커의 수를 늘려 픽 앤 플레이스 장치의 1회 동작으로 이송시킬 수 있는 반도체 소자의 이송 수량을 증가시킴으 로써 이송 속도를 높이는 방안을 고려해 볼 수 있으나, 이와 같은 경우 설비 크기가 증가된다는 문제점이 있다. 또한 픽커의 수를 늘리는 경우 픽커 수직구동 실린더의 동작 대기 시간이 증가되어 설비 생산성이 저하되는 문제점도 있다. 따라서 픽커 수의 증가에는 한계가 있다. 이와 같은 이유 등으로 현재 반도체 검사 설비에 사용되고 있는 픽 앤 플레이스 장치의 경우 1회에 이송 가능한 반도체 패키지의 수량이 수 개 미만으로 제한되고 있는 실정이다.
더욱이 종래의 픽 앤 플레이스 장치는 각각의 부품들이 복잡하게 상호 결합된 구조이기 때문에 노화나 고장으로 인한 부품(part)의 교체나 수리 등이 필요할 경우 많은 시간적 손실(loss)이 발생되는 문제점도 있다.
도 3에 개시된 종래 픽 앤 플레이스 장치의 다른 예로서 일본공개특허 제2002-24082호의 테이핑 장치에 적용된 예이다. 이 픽 엔 플레이스 장치(310)는 반도체 칩을 흡착하는 흡착 노즐(330)이 원반 형태의 노즐 홀더(320) 둘레를 따라 소정 간격으로 배치되어 있는 구조이다. 그러나 이와 같은 픽 엔 플레이스 장치(310)의 경우도 흡착 노즐(330)이 원반 형태의 노즐 홀더(320) 둘레를 따라 1열로 배열되는 구조이기 때문에 이송 가능한 수량이 많지 않다는 문제점이 있다.
따라서 본 발명의 목적은 설비 크기 대비 1회에 이송 가능한 반도체 소자의 수를 증가시킬 수 있는 반도체 소자 픽 앤 플레이스 장치를 제공하는 데에 있다.
본 발명의 다른 목적은 이동 거리와 동작 시간을 단축시킬 수 있는 반도체 소자 픽 앤 플레이스 장치를 제공하는 데에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 부품의 교체가 신속하고 용이하게 이루어질 수 있는 반도체 소자 픽 앤 플레이스 장치를 제공하는 데에 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 로터리 방식의 반도체 소자 픽 앤 플레이스 장치는, 반도체 소자를 흡착하는 복수의 픽커들, 그 픽커들이 길이 방향으로 복수의 열을 이루면서 각각의 열들이 중심축을 중심으로 하는 원주 상에 동일 간격으로 배열되어 있는 롤러 형태의 회전 블록, 그 회전 블록이 회전 가능하도록 결합된 프레임(frame), 회전 블록을 회전시키는 로테이션 모터(rotation motor), 및 프레임을 수직으로 구동시키는 메인 수직구동 실린더를 포함한다.
본 발명에 따른 로터리 방식의 반도체 소자 픽 앤 플레이스 장치에 있어서, 동일한 열에 있는 픽커들의 피치를 변화시키는 피치 변환기(pitch converter)를 더 포함하는 것이 바람직하다. 여기서, 피치 변환기로서는 회전 블록을 감싸는 원통형으로서 픽커들의 피치 변환을 안내하는 가이드 슬릿(guide slit)이 형성되어 있으며 픽커들이 가이드 슬릿을 관통하는 것일 수 있다.
그리고 본 발명에 따른 로터리 방식의 반도체 소자 픽 앤 플레이스 장치에 있어서, 픽커들은 회전 블록의 중심축을 중심으로 하는 원주 상에 45°내지 180°간격으로 배치될 수 있으나 45°간격으로 배치되는 것이 바람직하다.
그리고 본 발명에 따른 로터리 방식의 반도체 소자 픽 앤 플레이스 장치에 있어서, 회전 블록은 내부 공간이 형성된 실린더 형태이며, 회전 블록의 내부 공간에 길이 방향으로 설치된 픽커 이동축과 그 픽커 이동축 상에 결합된 픽커 고정 블 록을 포함하며, 피치 변환기에 의해 픽커 고정 블록 상에서의 피치가 변화되도록 구성될 수 있다.
이하 첨부 도면을 참조하여 본 발명에 따른 로터리 방식의 반도체 소자 픽 앤 플레이스 장치의 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 4a와 도 4b는 본 발명에 따른 반도체 소자 픽 앤 플레이스 장치의 일 실시예를 나타낸 정면도로서, 도 4a는 픽커 피치가 테스트 트레이의 포켓 피치로 변환된 상태를 나타내고, 도 4b는 픽커 피치가 고객 트레이의 포켓 피치로 변환된 상태를 나타낸다.
도 4a와 도 4b에 도시된 바와 같이, 본 발명의 반도체 소자 픽 앤 플레이스 장치(110)는 프레임(111)과 메인 수직구동 실린더(113) 및 픽커 어셈블리부(120)를 포함하여 구성된다. 그리고 픽커 어셈블리부(picker assembly part; 120)는 회전 블록(121), 픽커(123), 피치 변환기(131), 픽커 수직구동 실린더(125)를 포함한다. 이 픽 앤 플레이스 장치(110)는 도시되지 않은 X-Y 이동 수단에 결합되어 X축 Y축 이동이 이루어진다.
회전 블록(121)은 내부 공간이 형성된 롤러 형태로서, 양 측단부에서 축 결합이 이루어져 프레임(111)에 회전 가능하도록 고정된다. 그리고 회전 블록(121)의 일 측단에는 로테이션 모터(140)가 결합되어 회전에 필요한 구동력을 전달한다. 여기서, 회전 블록(121)은 양측단에서의 축 결합이 고정 나사(139)에 의해 고정되도록 하여 고정 나사(139)를 푸는 작업만으로 회전 블록(121)의 분리가 용이하게 이루어지도록 구성된다.
도 5는 본 발명에 따른 반도체 소자 픽 앤 플레이스 장치의 픽커 어셈블리부를 나타낸 단면도이다.
회전 블록(121)의 내부 공간(129)에는 도 5에 도시된 바와 같이 8개의 픽커 이동축(127)이 설치되고, 각각의 픽커 이동축(127) 상에 8개의 픽커 고정 블록(126)이 결합된다. 픽커 고정 블록(126)은 회전 블록(121)의 중심 축을 중심으로 하는 원주 상에 45°간격으로 배열된다.
각각의 픽커 고정 블록(126)에는 회전 블록(121)을 관통하여 회전 블록(121) 외부로 돌출된 픽커(123)가 결합된다. 픽커들(123)은 복수의 열을 이루는데 각각의 열들은 회전 블록(121)의 중심 축을 중심으로 하는 원주 상에 45°의 간격으로 배치되어 있다. 픽커들(123)이 회전 블록(121)의 중심축을 중심으로 하는 원주 상에 배열되는 열의 수는 필요에 고객 트레이(153)나 테스트 트레이(155)의 포켓 수 및 패키지 크기를 고려하여 적절하게 설정될 수 있다. 예를 들어, 60°간격으로 6열을 이루도록 하거나 90°간격으로 4열을 이루도록 구성될 수 있다.
여기서 회전 블록(121)의 직경을 크게 하여 설치 가능한 픽커들(123)의 열을 증가시킬 수 있으나 설비 크기의 증가를 초래할 수 있으므로 적절한 크기를 갖도록 하는 것이 바람직하다. 그리고 회전 블록(121)의 길이를 증가시킴으로써 1회 픽-다운이나 픽-업에서 흡착되는 픽커들(123)의 수를 증가시킬 수 있으나, 고객 트레이(153)에서 1열을 구성하는 포켓 수와 일치되도록 하거나 테스트 트레이(155)의 1열을 이루는 포켓 수의 ½이 되도록 하는 것이 적당하다. 통상적인 고객 트레이가 1열당 8개의 포켓이 있으므로 8개의 픽커가 설치되도록 하는 것이 좋다.
각각의 픽커(123)는 회전 블록(121)의 내부 공간(129)에 설치된 메인 진공 호스(136)로부터 분기된 분기 진공 호스(137)에 연결되어 진공 흡입력을 제공받는다. 픽커(121)와의 진공 호스 연결이 회전 블록(121)의 외부에서 이루어지도록 하는 것도 가능하나 회전 블록(121)의 내부 공간(129)을 이용하여 진공 호스를 연결하는 것이 공간 활용 측면에서 유리하다.
도 6a와 도 6b는 본 발명에 따른 반도체 소자 픽 앤 플레이스 장치의 피치 변환을 설명하기 위한 부분 정면도이다.
회전 블록(121)의 외부에는 회전 블록(121)을 감싸는 원통 형태의 피치 변환기(131)가 설치된다. 피치 변환기(131)에는 각각의 픽커(123)와 일대일 대응되어 픽커(123)가 관통되는 가이드 슬릿(guide slit; 133)이 형성된다. 피치 변환기(131)의 일 측에는 피치변환 구동 모터(135)가 설치되어 피치 변환기(131)에 회전력을 제공한다. 피치 변환기(131)의 회전 및 가이드 슬릿(133)의 안내에 의해 동일한 열에 있는 픽커들(123)이 도 6a에서와 같이 이동되어 테스트 트레이(155)의 포켓 피치 P1에 맞도록 또는 도 6b에서와 같이 이동되어 고객 트레이(153)의 포켓 피치 P2에 맞도록 변화된다.
메인 수직구동 실린더(113)는 프레임(111)에 결합되어 프레임(111)을 수직 운동시킴으로써 픽 앤 플레이스 장치(110)의 수직 구동력을 제공한다. 그리고 픽커(123)에 설치된 픽커 수직구동 실린더(125)가 개별적인 픽커(123)의 수직 구동력을 제공한다.
한편, 본 발명에 따른 픽 앤 플레이스 장치(110)는 픽 앤 플레이스 장치가 설치되는 공정 설비의 제어기(controller)에 의해 동작이 제어되도록 구성되어 설비의 동작과 연계된 동작이 이루어지도록 하는 것이 바람직하다.
도 7은 본 발명에 따른 반도체 소자 픽 앤 플레이스 장치의 개략적인 동작 상태도이다. 그리고 도 8은 본 발명에 따른 반도체 소자 픽 앤 플레이스 장치의 동작 회수를 설명하기 위한 개략도이다.
도 4a와 도 4b 및 도 7과 도 8을 참조하여 본 발명에 따른 픽 앤 플레이스 장치의 동작을 고객 트레이에서 테스트 트레이로의 패키지 이송을 예로 하여 설명하기로 한다.
고객 트레이(153)에 수납된 반도체 패키지(150)를 테스트 트레이(155)로 이송시키기 위해서, 먼저 도 4b에 도시된 바와 같이 픽 앤 플레이스 장치(110)가 도시되지 않은 X-Y 이동 수단에 의해 고객 트레이(153)의 상부로 이동된다. 이 상태에서 메인 수직구동 실린더(113)에 의해 프레임(111)이 하강되어 픽커(123)가 반도체 패키지들(150)을 흡착한다.
반도체 패키지(150)의 흡착은 열 단위로 이루어진다. 제1열에 대한 픽-업이 완료되면 X-Y 이송 수단에 의해 픽 앤 플레이스 장치(110)가 상승 및 전진되고 로테이션 모터(140)가 45°회전되어 다음 열에 위치하는 픽커들(123)이 고객 트레이(153)의 제2열에 위치한 반도체 패키지들(123)의 상부로 이동된다. 이 상태에서 메인 수직구동 실린더(113)에 의해 프레임(111)이 하강되고 픽커들(123)이 제2열의 반도체 패키지들(150)을 픽-업한다. 이와 같은 일련의 동작이 계속 진행되어 8열의 픽커들(123)이 모두 반도체 패키지들(150)을 픽-업한다.
8개의 열에 대한이 픽-업이 완료되면, 메인 수직구동 실린더(113)가 상승되고 X-Y 이송 수단에 의해 픽 앤 플레이스 장치(110)가 도 4a에서와 같이 테스트 트레이(155)의 상부로 이동된다. 픽 앤 플레이스 장치(110)의 이동 과정이나 이동이 완료된 상태에서 피치 변환 구동 모터(135)의 회전에 따라 피치 변환기(131)가 회전된다. 이 과정에서 픽커 이동축(도 5의 127) 상에서 픽커 고정 블록(도 5의 126)들이 벌어지며 가이드 슬릿(133)의 안내에 따라 픽커들(123)의 피치가 테스트 트레이(155)의 포켓 피치와 일치하도록 넓어지게 된다.
테스트 트레이(155)의 포켓 피치와 일치하는 픽커 피치 변환이 완료된 상태에서 테스트 트레이(155)와 픽커들(123)의 위치 정렬이 완료되면, 메인 수직구동 실린더(113)가 프레임(111)을 하강시켜 1열의 픽커들(123)에 흡착된 반도체 패키지들(150)을 테스트 트레이(155)에 수납시킨다.
그리고 메인 수직구동 실린더(113)가 프레임(111)을 상승시키고 로테이션 모터(140)가 45°회전되어 다음 열의 픽커들(123)이 테스트 트레이(155)와 위치 정렬된 상태에서 다시 하강하여 반도체 패키지들(150)을 테스트 트레이(155)에 수납시킨다.
계속해서 전술한 바와 같은 일련의 동작이 반복적으로 이루어지면서 회전 블록(121)이 45°단위로 회전 및 픽-다운이 이루어져 반도체 패키지들(150)을 테스트 트레이(155)에 수납시킨다.
도 8에 도시된 바와 같이 16×8 배열의 테스트 트레이(155)에 반도체 패키지 (150)를 모두 수납하기 위해서는 픽 앤 플레이스 장치(110)가 1회당 64개씩 2회 동작하면 이송이 완료된다.
한편, 본 발명에 따른 로터리 방식의 픽 앤 플레이스 장치는, 테스트 트레이에 수납된 상태의 반도체 패키지와 테스터를 연결시키는 테스트 소켓들 중에서 특정 테스트 소켓의 동작이 이루어지지 않도록 설정된 경우, 고객 트레이의 특정 위치에 대응되는 픽커가 픽커 수직구동 실린더에 의해 상승되어 다른 픽커들보다 높은 위치에 있도록 함으로써 흡착이 이루어지지 않도록 할 수 있다.
열 단위의 반도체 패키지 이송 과정에서 제외된 고객 트레이의 반도체 패키지들은 모든 열에 대한 반도체 패키지 이송이 완료된 후 한꺼번에 이송되도록 하거나, 매 열 단위의 이송에서 이송이 완료된 열에 잔류되는 반도체 패키지에 대한 이송이 이루어지도록 제어될 수 있다.
고객 트레이와 테스트 트레이 사이의 이송 경로 상에 설치되어 테스트 트레이로 반도체 패키지가 이송되기 전에 미리 피치 정렬시키는 버퍼 트레이(buffer tray)가 설치된 경우 이송 시간의 단축 정도가 감소될 수 있으나, 버퍼 트레이의 포켓 열을 늘려 이송 시간의 감소 효과를 향상시킬 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 로터리형 픽 앤 플레이스 장치는 전술한 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 중심 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다.
이상과 같은 본 발명에 따른 로터리형 픽 앤 플레이스 장치에 의하면, 픽커 들이 롤러 형태의 회전 블록 상에 길이 방향 및 원주 방향으로 복수의 행렬을 이루는 3차원적인 배치 구조를 갖기 때문에 설비 크기 대비 1회에 이송 가능한 반도체 소자의 수량이 종래에 비하여 크게 증가된다. 그리고 반도체 소자 이송을 위한 반복적인 픽 앤 플레이스의 위치 이동 시간과 픽커 수직구동 실린더의 동작 대기 시간이 크게 감소된다. 이에 따라 반도체 소자의 이송이 신속하게 이루어질 수 있어 설비 생산성이 향상된다. 특히 검사 시간이 짧은 고주파수(high frequency)와 고속(high speed) 동작 속도를 갖는 반도체 패키지에 대한 대응이 용이하다.
또한 본 발명에 따른 픽 앤 플레이스 장치에 의하면, 회전 블록과 프레임의 결합 구조가 간단하여 회전 블록의 교체가 빠른 시간 내에 이루어질 수 있기 때문에 부품(part)의 노화나 고장으로 인한 교체나 수리 등으로 인한 시간적 손실(loss)이 크게 감소될 수 있다.

Claims (6)

  1. 반도체 소자를 흡착하는 복수의 픽커;
    상기 픽커들이 복수의 열을 이루면서 각각의 열들이 중심축을 중심으로 하는 원주 상에 동일 간격으로 배열되어 있는 롤러 형태의 회전 블록;
    상기 회전 블록이 회전 가능하도록 결합된 프레임;
    상기 회전 블록을 회전시키는 로테이션 모터; 및
    상기 프레임을 수직으로 구동시키는 메인 수직구동 실린더;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 로터리 방식의 픽 앤 플레이스 장치.
  2. 제1항에 있어서, 동일한 열에 있는 상기 픽커들의 피치를 변화시키는 피치 변환기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 로터리 방식의 픽 앤 플레이스 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 피치 변환기는 상기 회전 블록을 감싸는 원통형이며 상기 픽커들의 피치 변환을 안내하는 가이드 슬릿이 형성되어 있고 상기 픽커들이 상기 가이드 슬롯에 관통된 것을 특징으로 하는 로터리 방식의 픽 앤 플레이스 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 픽커들은 상기 회전 블록의 중심축을 중심으로 하는 원주 상에 45°내지 180°간격으로 배치된 것을 특징으로 하는 로터리 방식의 픽 앤 플레이스 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 픽커들은 45°간격으로 배치된 것을 특징으로 하는 로터리 방식의 픽 앤 플레이스 장치.
  6. 제2항에 있어서, 상기 회전 블록은 내부 공간이 형성된 실린더 형태이고, 상기 회전 블록의 내부 공간에 길이 방향으로 설치된 픽커 이동축과 상기 픽커 이동축 상에 결합된 픽커 고정 블록을 포함하며, 상기 픽커들이 상기 픽커 고정 블록에 고정되어 있고, 상기 피치 변환기에 의해 상기 픽커 고정 블록 상에서의 피치가 변화되는 것을 특징으로 하는 로터리 방식의 픽 앤 플레이스 장치.
KR1020050035985A 2005-04-29 2005-04-29 로터리 방식의 반도체 소자 픽 앤 플레이스 장치 KR20060113109A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050035985A KR20060113109A (ko) 2005-04-29 2005-04-29 로터리 방식의 반도체 소자 픽 앤 플레이스 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050035985A KR20060113109A (ko) 2005-04-29 2005-04-29 로터리 방식의 반도체 소자 픽 앤 플레이스 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20060113109A true KR20060113109A (ko) 2006-11-02

Family

ID=37651519

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050035985A KR20060113109A (ko) 2005-04-29 2005-04-29 로터리 방식의 반도체 소자 픽 앤 플레이스 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20060113109A (ko)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100815130B1 (ko) * 2005-12-07 2008-03-19 세크론 주식회사 픽 앤드 플레이스 시스템
KR100829232B1 (ko) * 2006-09-29 2008-05-14 미래산업 주식회사 전자부품 테스트용 핸들러
KR101508507B1 (ko) * 2008-07-11 2015-04-03 한미반도체 주식회사 비전검사장비의 픽커 유니트
KR20190040175A (ko) 2019-04-10 2019-04-17 (주)에이피텍 웨이퍼 레벨 패키징을 수행하는 자동화 시스템
KR20230039118A (ko) * 2021-09-13 2023-03-21 길엔지니어링(주) 픽업 및 로딩 장치

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100815130B1 (ko) * 2005-12-07 2008-03-19 세크론 주식회사 픽 앤드 플레이스 시스템
KR100829232B1 (ko) * 2006-09-29 2008-05-14 미래산업 주식회사 전자부품 테스트용 핸들러
KR101508507B1 (ko) * 2008-07-11 2015-04-03 한미반도체 주식회사 비전검사장비의 픽커 유니트
KR20190040175A (ko) 2019-04-10 2019-04-17 (주)에이피텍 웨이퍼 레벨 패키징을 수행하는 자동화 시스템
KR20230039118A (ko) * 2021-09-13 2023-03-21 길엔지니어링(주) 픽업 및 로딩 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR930001285B1 (ko) 세로형 cvd 확산장치에 있어서의 웨이퍼 이송방법과 장치 및 제어장치
JP4864381B2 (ja) 半導体素子テストハンドラの素子搬送装置
KR20060113109A (ko) 로터리 방식의 반도체 소자 픽 앤 플레이스 장치
US9202733B2 (en) Robot system with independent arms
KR100583727B1 (ko) 기판 제조 장치 및 이에 사용되는 기판 이송 모듈
KR100740955B1 (ko) 기판반송장치 및 기판반송방법
US5217340A (en) Wafer transfer mechanism in vertical CVD diffusion apparatus
US20060272987A1 (en) Transfer mechanism and transfer method of semiconductor package
US8920103B2 (en) Multi-cell rotary end effector mechanism with slip ring
CN101241839B (zh) 用于制造半导体封装的系统和用于制造半导体封装的方法
CN101083902A (zh) 表面安装机
KR20090019984A (ko) 버퍼 트레이의 피치 조절 장치 및 버퍼 트레이를 이용하여반도체 장치들을 이송하는 장치
US6209194B1 (en) Apparatus for loading and unloading semiconductor device packages using servo motors
KR100829232B1 (ko) 전자부품 테스트용 핸들러
KR20040009803A (ko) 진공흡착패드의 피치 조절이 자유로운 반도체 칩 패키지이송 장치
KR101012137B1 (ko) 이송툴
KR100908496B1 (ko) 핸들러의 진공 흡착 픽커장치
WO2000058188A1 (en) Wafer handling robot having x-y stage for wafer handling and positioning
KR20090131509A (ko) 엔드이펙터 유닛과 이를 이용한 웨이퍼 위치제어장치
CN110867402A (zh) 晶圆清洗设备
JP5164108B2 (ja) 外置き型テストユニット、その制御方法及び制御プログラム
KR20120056484A (ko) 퍼지시스템의 풉 이송장치
KR100479543B1 (ko) 결함없는 고속 열처리를 제공하기 위한 시스템과 방법
JP5586062B2 (ja) 電子部品の搬送機構及びそれを備えた電子部品検査装置
JP3310259B2 (ja) 半導体製造装置及び半導体製造装置に於けるウェーハ移載方法及び半導体素子の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination