KR20060102032A - 기판 처리 시스템 및 로드 포트에 용기를 로딩하는 방법 - Google Patents

기판 처리 시스템 및 로드 포트에 용기를 로딩하는 방법 Download PDF

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KR20060102032A
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이승규
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Abstract

본 발명은 반도체 제조 시스템에 관한 것으로, 시스템은 로드 포트를 가지는 공정 설비와 로드 포트로 기판들이 수용된 용기를 로딩하는 이송 장치를 가진다. 용기가 로드 포트 상의 정해진 위치에 놓여져 있는지 여부는 검출하는 감지 장치가 제공되고, 감지 장치가 용기를 검출하면 이송 장치는 용기를 로드포트 상에 내려놓는다. 이송 장치는 가이드 레일을 따라 수평방향으로 이동하는 몸체와 이에 결합되며 용기를 지지하고 용기를 아래 방향으로 이동 가능한 홀더를 가지고, 감지 장치는 몸체가 로드 포트 상의 정해진 위치까지 이동되었는지 여부를 검출하는 위치 감지기와 용기가 정해진 높이까지 아래로 이동되었는지 여부를 검출하는 높이 감지기를 가진다.
로드 포트, 용기, 이송 장치, 센서

Description

기판 처리 시스템 및 로드 포트에 용기를 로딩하는 방법{SYSTEM FOR TREATING SUBSTRATES AND METHOD FOR LOADING CONTAINER ON AN LOAD PORT}
도 1은 일반적인 기판 처리 시스템을 개략적으로 보여주는 정면도;
도 2는 도 1의 장치 사용시 문제점을 보여주는 도면;
도 3과 도 4는 각각 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 기판 처리 시스템을 개략적으로 보여주는 측단면도 및 정면도; 그리고
도 5 내지 도 7은 로드 포트에 용기가 로딩되는 과정을 순차적으로 보여주는 도면들이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 공정설비 120 : 프레임
140 : 로드포트 142 : 받침대
144 : 측판 200 : 이송 장치
220 : 몸체 240 : 홀더
260 : 가이드 레일 300 : 제어 장치
400 : 감지 장치 420 : 높이 감지기
422 : 제 1센서 424 : 제 2센서
440 : 위치 감지기 500 : 용기
본 발명은 반도체 소자를 제조하는 시스템 및 방법에 관한 것으로, 더 상세하게는 용기가 놓이는 로드 포트와 용기를 이송하는 이송 장치를 가지는 기판 처리 시스템 및 로드 포트로 용기를 로딩하는 방법에 관한 것이다.
반도체 소자를 제조하기 위해서는 다양한 공정이 요구되므로, 반도체 제조 설비는 일반적으로 각각의 공정을 수행하는 복수의 공정설비들을 포함한다. 웨이퍼와 같은 반도체 기판들은 용기에 수납된 상태로 공정설비들간 이송된다.
최근에는 높은 청정도와 완전한 자동화를 유지하기 위해, 개방형 용기 대신 전면 개방 일체식 포드(front open unified pod, FOUP)와 같은 밀폐형 용기가 사용되고, 공정 설비는 설비 전방 단부 모듈(equipment front end module, EFEM)과 같은 기판 이송 시스템을 가진다. 한국공개특허 제 2004-64326호는 상술한 밀폐형 용기 및 기판 이송 시스템의 일 예를 개시하고 있다.
도 1은 일반적으로 사용되고 있는 기판 처리 시스템의 일 예를 개략적으로 보여주는 도면이다. 도 1을 참조하면, 기판 처리 시스템은 로드 포트(712)를 가지는 공정 설비(714)와 로드 포트(712)로 웨이퍼들이 수납되는 용기(740)를 로딩하는 이송 장치(720)를 가진다. 이송 장치(720)는 가이드 레일(726)을 따라 이동되는 몸체(722)를 가지며, 몸체(722)에는 용기(740)를 고정하고 몸체(722)로부터 아래방향으로 이동가능한 홀더(724)가 결합된다. 이송 장치(720)의 이동 및 동작은 제어 장 치(730)에 의해 제어된다. 이송 장치(720)와 로드 포트(712) 사이의 거리는 작업자에 의해 제어 장치(730)에 입력된다. 몸체(722)가 로드 포트(712)의 수직 상부에 위치되면 입력된 거리에 따라 홀더(724)가 아래로 승강한 후 용기(740)를 내려놓는다.
그러나 상술한 구조의 시스템 사용시 작업자가 이송 장치(720)와 로드 포트(712) 사이의 거리를 잘못 입력하면 도 2에 도시된 바와 같이 용기(740)가 로드 포트(712)에 도달하기 전에 홀더(724)로부터 분리되어 아래로 추락한다. 이로 인해 용기(740) 및 그 내부에 수납된 웨이퍼들, 그리고 로드 포트(712)가 파손된다.
본 발명은 웨이퍼가 수납되는 용기를 공정 설비의 로드 포트 상에 안착시킬 수 있는 기판 처리 시스템 및 용기를 로드 포트에 안착하는 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 기판 처리 시스템은 용기가 놓이는 로드 포트를 가지는 공정 설비와 용기를 상기 로드 포트 상에 로딩하는 이송 장치를 가진다. 상기 이송 장치는 상기 로드 포트의 상부를 지나도록 이동되는 몸체와 상기 몸체에 결합되며 용기를 상기 로드 포트 상으로 이동시키는 홀더를 가진다. 상기 이송 장치의 이동 및 동작은 제어 장치에 의해 제어된다. 본 발명의 일 특징에 의하면, 용기가 상기 로드 포트 상부의 정해진 위치에 도달하였는지 여부를 검출하는 감지 장치가 제공되고, 상기 제어 장치는 상기 감지 장치로부터 검출된 신호를 전송받아 이로부터 상기 이송 장치의 이동 및 동작을 제어한다.
본 발명의 일 특징에 의하면, 상기 감지 장치는 용기가 상기 로드 포트 상부의 정해진 위치에 도달하였는지 여부를 검출하는 높이 감지기를 가진다. 일 예에 의하면, 상기 높이 감지기는 상기 로드 포트 상에 설치되어 용기에 의해 눌러지는지 여부를 검출하는 제 1 센서를 가진다. 다른 예에 의하면, 상기 로드 포트는 받침대 및 이와 함께 용기가 놓이는 공간을 제공토록 상기 받침대에 서로 대향 되도록 결합되는 측판들을 가진다. 상기 높이 감지기는 상기 측판들 중 어느 하나에 설치되며 신호를 발생시키는 신호 발생기와 이와 대향되도록 측판들 중 다른 하나에 설치되며 상기 신호 발생기로부터 발생된 신호를 수신하는 신호 수신기를 포함하는 제 2 센서를 가진다.
바람직하게는 상기 높이 감지기는 상술한 제 1 센서와 제 2 센서를 모두 포함하고, 상기 제 1 센서와 상기 제 2 센서 모두에 의해 용기가 검출되면, 상기 제어 장치는 용기가 상기 홀더로부터 분리되도록 상기 이송 장치를 제어한다. 이는 용기가 상기 로드 포트에 접촉되거나 인접한 높이까지 이동되었는지 여부는 중복 검사하므로, 용기를 매우 안정적으로 상기 로드 포트에 로딩할 수 있다.
본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 이송 장치는 상기 로드 포트의 상부에 배치되어 상기 몸체의 수평이동을 안내하는 가이드 레일을 가지고, 상기 감지 장치는 용기가 수평 방향으로 상기 로드 포트의 수직 상부까지 도달하였는지 여부를 검출하는 위치 감지기를 가진다. 일 예에 의하면, 상기 위치 감지기는 상기 몸체와 상기 로드 포트 중 어느 하나에 설치되며 신호를 발생하는 신호 발생기와 상기 몸 체와 상기 로드 포트 중 다른 하나에 상기 신호 발생기에 대응되도록 설치되며 상기 신호 발생기로부터 발생된 신호를 수신하는 신호 수신기를 가진다. 일 예에 의하면, 상기 신호 발생기는 상기 측판들의 상단에 각각 설치될 수 있다.
또한, 본 발명은 용기를 로드 포트 상에 안전하게 로딩할 수 있는 방법을 제공한다. 본 발명의 방법은 이송 장치에 의해 상기 로드 포트의 상부로 용기가 이동되는 단계, 상기 이송 장치에서 용기를 지지하는 홀더가 하강하는 단계, 상기 로드 포트 상에 설치된 높이 감지기에 의해 용기가 상기 로드 포트 상의 정해진 높이까지 이동되었는지 여부를 검출하는 단계, 그리고 용기가 정해진 높이까지 이동된 것으로 검출되면, 상기 홀더로부터 용기를 분리하는 단계를 포함한다.
본 발명의 일 예에 의하면, 상기 로드 포트 상에 설치된 높이 감지기를 사용하여 상기 용기가 상기 로드 포트 상의 정해진 높이까지 이동되었는지 여부를 검출하는 단계는 상기 로드 포트의 받침대에 설치된 제 1 센서를 사용하여 상기 제 1 센서가 상기 용기에 의해 눌려지는지 여부를 검출하는 단계를 포함한다.
본 발명의 다른 예에 의하면, 상기 로드 포트 상에 설치된 높이 감지기를 사용하여 상기 용기가 상기 로드 포트 상에 정해진 높이까지 이동되었는지 여부를 검출하는 단계는 상기 용기가 놓이는 공간을 제공하도록 상기 로드 포트의 받침대에 서로 대향되게 결합되는 측판들에 제공되는 제 1 신호 발신기와 제 1 신호 수신기를 가지는 제 2 센서를 사용하여 상기 제 1 신호 수신기가 상기 제 1 신호 발신기로부터 발생되는 신호를 수신하였는지 여부를 검출하는 단계를 포함한다.
본 발명의 또 다른 예에 의하면, 상기 로드 포트 상에 설치된 높이 감지기를 사용하여 상기 용기가 상기 로드 포트 상에 정해진 높이까지 이동되었는지 여부를 검출하는 단계는 상기 로드 포트의 받침대에 설치된 제 1 센서를 사용하여 상기 제 1 센서가 상기 용기에 의해 눌려지는지 여부를 검출하는 제 1검출 단계와 상기 용기가 놓이는 공간을 제공하도록 상기 로드 포트의 받침대 상에 서로 대향되게 설치되는 측판들에 제공되는 제 1 신호 발신기와 제 1 신호 수신기를 가지는 제 2 센서를 사용하여 상기 제 1 신호 수신기가 상기 제 1 신호 발신기로부터 발생되는 신호를 수신하였는지 여부를 검출하는 제 2검출 단계를 포함하고, 상기 높이 감지기가 상기 용기가 정해진 높이까지 이동된 것으로 검출하면 상기 홀더로부터 상기 용기가 분리되는 단계는 상기 제 1 센서와 상기 제 2 센서가 상기 용기가 정해진 높이까지 이동된 것으로 검출하면 상기 홀더로부터 상기 용기가 분리되는 단계를 포함한다.
또한, 본 발명은 상기 이송 장치에 의해 상기 로드 포트의 상부로 용기가 이동되는 단계는 상기 이송 장치가 상기 로드 포트의 상부에 배치된 가이드 레일을 따라 이동되는 단계를 더 포함하고, 상기 방법은 상기 로드 포트와 상기 이송 장치에 설치된 위치 감지기를 사용하여 상기 이송 장치가 수평방향으로 상기 로드 포트의 상부의 정해진 위치까지 이동되었는지 여부를 검출하는 단계를 더 포함할 수 있다.
일 예에 의하면, 상기 로드 포트와 상기 이송 장치에 설치된 위치 감지센서를 사용하여 상기 이송 장치가 수평방향으로 상기 로드 포트의 상부의 정해진 위치까지 이동되었는지 여부를 검출하는 단계는 상기 로드 포트와 상기 이송 장치 중 어느 하나에 설치되는 제 2 신호 발신기로부터 발생된 신호를 상기 로드 포트와 상기 이송 장치 중 다른 하나에 설치되는 제 2 신호 수신기가 수신하였는지 여부를 검출하는 단계를 포함할 수 있다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 3 내지 도 7을 참조하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 위해 과장된 것이다.
도 3과 도 4는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 기판 처리 시스템(10)의 개략적인 측단면도 및 정면도이다. 정면도이다. 도 3과 도 4를 참조하면, 기판 처리 시스템(10)은 공정 설비(process unit)(100), 이송 장치(transfer unit)(200), 제어 장치(control unit)(300), 그리고 감지 장치(sensor unit)(400)를 가진다. 공정 설비(100)는 프레임(120), 로드 포트(140), 그리고 공정 챔버(160)를 가진다. 공정 챔버(160)는 소정의 공정을 수행하는 챔버로 하나 또는 복수개가 제공될 수 있다. 예컨대, 공정 챔버(160)는 화학기상증착, 식각, 포토, 측정, 또는 세정 공정 등과 같은 공정을 수행하는 챔버일 수 있다. 공정 챔버(160)의 전방에는 웨이퍼들을 수납하는 용기(500)가 놓여지는 로드 포트(140)가 배치되고, 로드 포트(140)와 공정 챔버(160) 사이에는 프레임(120)이 배치된다. 프레임(120) 내에는 로드 포트(140)에 놓인 용기(500)와 공정 챔버(160) 간에 웨이퍼를 이송하는 이송 로봇(122)이 배치된다.
이송 장치(200)는 공정 설비(100)의 로드 포트(140)로 용기(500)를 이송한다. 이송 장치(200)는 몸체(220), 홀더(240), 그리고 가이드 레일(260)을 가진다. 가이드 레일(260)은 공정 설비(100)의 로드 포트(140) 상부를 지나도록 배치된다. 몸체(220)는 가이드 레일(260)을 따라 이동 가능하도록 가이드 레일(260)에 결합된다. 몸체(220)의 저면에는 용기(500)를 잡아주는 홀더(240)가 결합된다. 홀더(240)는 수직 아래 방향으로 이동가능한 케이블(242)과 그 끝단에 결합되어 용기(500)를 고정하는 죔쇠(244)를 가진다. 즉, 이송 장치(200)의 몸체(220)는 가이드 레일(260)을 따라 로드 포트(140)의 상부에서 수평방향으로 좌우 또는 전후 이동되고, 홀더(240)의 죔쇠(244)는 몸체(220)로부터 수직방향으로 아래로 이동된다. 죔쇠(244)의 이동을 위해 케이블(242) 대신 로드가 사용될 수 있다. 대상물을 수평 방향 및 수직 방향으로 구동시키는 구조적 메커니즘은 당업계에 다양하게 알려져 있으므로 상세한 설명은 생략한다.
제어 장치(300)는 이송 장치(200)의 이동 및 동작을 제어한다. 구체적으로 제어 장치(300)는 몸체(220)의 수평 방향 이동, 홀더(240)의 상하 방향 이동, 그리고 용기(500)를 고정하는 홀더(240)의 고정 동작 등을 제어한다. 이송 장치(200)가 용기(500)를 로드 포트(140) 상의 정해진 위치에 정확하고 안전하게 로딩하는 것은 매우 중요하다. 이를 위해 몸체(220)는 로드 포트(140)의 수직 상부까지 이동되어야 하고, 홀더(240)는 로드 포트(140) 상의 안전한 높이까지 용기(500)를 아래로 이동시킨 후 용기(500)를 내려놓아야 한다.
감지 장치(400)는 용기(500)가 로드 포트(140) 상의 정해진 위치에 도달하였는지를 여부를 감지하고, 감지된 신호를 제어 장치(300)로 전송한다. 감지 장치(400)는 위치 감지기(440)와 높이 감지기(420)를 가진다. 위치 감지기(440)는 이송 장치(200)에 의해 이동되는 용기(500)가 수평 방향으로 정해진 위치에 도달하였는지 여부를 검출하고, 높이 감지기(420)는 이송 장치(200)에 의해 이동되는 용기(500)가 수직방향으로 정해진 위치에 도달하였는지 여부를 검출한다. 용기(500)가 수평 방향으로 정해진 위치에 도달하였는지 여부는 몸체(220)의 위치를 검출함으로써 알 수 있다. 일 예에 의하면 수평 방향으로 정해진 위치는 로드 포트(140)의 수직 상부에 해당되는 위치이고, 수직 방향으로 정해진 위치는 용기(500)가 로드 포트(140)의 받침대(142)에 접촉되거나 약간 이격되는 위치이다. 제어 장치(300)는 위치 감지기(440)로부터 전송된 검출 신호에 의해 가이드 레일(260)을 따라 이동되는 몸체(220)의 이동을 제어하고, 높이 감지기(420)로부터 전송된 검출 신호에 의해 홀더(240)의 이동을 제어한다.
다음에는 감지 장치(400)의 바람직한 일 예를 설명한다. 로드 포트(140)는 받침대(142)와 측판들(144)을 가진다. 받침대(142)는 대체로 평평하게 제공되고, 용기(500)는 받침대(142) 상에 놓인다. 받침대(142)에는 측판들(144)이 결합된다. 측판들(144)은 서로 대향되고 일정거리 이격되도록 배치되며, 받침대(142)와 함께 용기(500)가 놓이는 공간(146)을 제공한다.
일 예에 의하면, 위치 감지기(440)는 신호 발생기(442)와 신호 수신기(444)를 가진다. 신호 발생기(442)는 측판들(144)의 상단에 각각 설치되어 수직 상부로 광신호 등과 같은 신호를 조사한다. 신호 수신기(444)는 몸체(220)의 하부면에 각각의 신호 발생기(442)와 대응되도록 설치된다. 몸체(220)가 수평 방향으로 정해진 위치까지(즉, 로드 포트(140)의 수직 상부까지) 이동되면, 신호 수신기들(444)은 신호 발생기들(442)로부터 조사된 신호를 수신하고, 용기(500) 검출에 대응되는 신호를 제어 장치(300)로 전송한다. 선택적으로 신호 발생기(442)는 받침대(142)에 설치될 수 있으며, 신호 수신기(444)는 용기(500)에 설치될 수 있다.
높이 감지기(420)는 제 1 센서(422)와 제 2 센서(424)를 가진다. 제 1 센서(422)는 용기(500)가 놓이는 로드 포트(140)의 받침대(142) 상에 설치되며, 외부의 물체에 의해 눌러지는지 여부를 검출한다. 제 1 센서(422)가 일정 압력으로 눌러지면, 제 1 센서(422)는 제어 장치(300)로 신호를 전송한다. 제 1 센서(422)는 하나 또는 복수개가 설치될 수 있다. 제 1 센서(422)는 용기(500)가 받침대(142)에 접촉되거나 또는 받침대(142)와 매우 인접한 높이까지 이송되었는지 여부를 검출한다.
제 2 센서(424)는 측판(144)의 내측에 설치된다. 제 2 센서(424)는 받침대(142)와 측판들(144)에 의해 제공되는 공간(146)으로 용기(500)가 이동되었는지 여부를 검출한다. 제 2 센서(424)는 측판들(144) 중 하나에 배치되는 신호 발생기(424a)와 측판들(144) 중 다른 하나에 배치되는 신호 수신기(424b)를 가진다. 신호 발생기(424a)와 신호 수신기(424b)는 서로 대향되는 위치에 설치된다. 신호 발생기(424a)는 광신호와 같은 신호를 수평 방향으로 발생시키고, 신호 수신기(424b)는 신호 발생기(424a)로부터 발생된 신호를 수신한다. 신호 발생기(424a)로부터 발생된 신호는 용기(500)가 제 2 센서(424)보다 높게 위치될 때에는 신호 수신기(424b) 에 의해 수신되나, 용기(500)가 제 2 센서(424) 아래까지 이동되면 신호 수신기(424b)에 의해 수신되지 않는다. 따라서 제 2 센서(424)는 신호 수신기(424b)가 신호를 수신하지 못하면, 제어 장치(300)로 신호를 전송한다.
위치 감지기(440)로부터 신호가 전송되면, 제어 장치(300)는 몸체(220)의 이동을 중지시키고, 케이블(242)이 아래 방향으로 이동되도록 이송 장치(200)를 제어한다. 제 1 센서(422)와 제 2 센서(424)로부터 신호가 전송되면, 제어 장치(300)는 용기(500)가 홀더(240)로부터 분리되도록 죔쇠(244)를 제어한다.
본 발명에 의하면, 제어 장치는 작업자에 의해 입력된 데이터 대신 감지 장치(400)에 의해 직접 검출된 신호에 근거하여 이송 장치(200)의 위치나 동작을 제어하므로 용기(500)를 로드 포트(140) 상에 정확하게 로딩할 수 있다. 또한, 높이 감지기(420)로 제 1 센서(422)와 제 2 센서(424)가 사용되고, 이들이 용기(500)를 검출한 경우에 용기(500)가 홀더(240)로부터 분리되므로 더욱 안정적으로 용기(500)를 로드 포트(140) 상에 로딩할 수 있다.
상술한 예에서는 로드 포트(140) 상에 용기(500)의 로딩이 안정적으로 이루어지도록 높이 감지기(420)가 제 1 센서(422)와 제 2 센서(424)를 구비하고, 용기(500)와 홀더(240)의 분리는 제 1 센서(422)와 제 2 센서(424)가 모두 용기(500)를 검출한 상태에서 이루어지는 것으로 설명하였다. 그러나 이와 달리 높이 감지기(420)는 제 1 센서(422) 또는 제 2 센서(424) 중 어느 하나만을 구비할 수 있다.
다음에는 도 5 내지 7을 참조하여 본 발명의 로드 포트(140) 상에 용기(500)를 로딩하는 방법을 순차적으로 설명한다. 도 5 내지 도 7은 로드 포트(140)로 용 기(500)가 로딩되는 과정을 단계적으로 보여주는 도면들이다. 도 5 내지 도 7에서 공정 설비(100)는 로드 포트(140)만이 도시되었다. 처음에 도 5에 도시된 바와 같이, 용기(500)가 죔쇠(244)에 고정된 상태로 몸체(220)가 가이드 레일(260)을 따라 수평방향으로 이동된다. 위치 감지기(440)의 신호 발생기들(442)은 상부로 광신호를 발생한다. 몸체(220)에 설치된 신호 수신기들(444)이 대응되는 신호 발생기(442)로부터 광신호를 수신하면 몸체(220)의 이동이 멈춘다.
이후, 도 6에 도시된 바와 같이 용기(500)가 아래로 이동되도록 케이블(242)이 내려간다. 용기(500)는 받침대(142)와 측판들(144)에 의해 제공되는 공간(146) 내로 삽입된다. 신호 발생기(424a)로부터 조사된 광신호가 용기(500)에 의해 차단되어 신호 수신기(424b)가 이를 수신하지 못하면 제 2 센서(424)는 제어 장치(300)로 검출 신호를 전송한다. 또한, 용기(500)가 제 1 센서(422)를 누르면, 제 1 센서(422)는 제어 장치(300)로 검출 신호를 전송한다. 제어 장치(300)가 제 1 센서(422)와 제 2 센서(424)로부터 모두 검출 신호를 전송받으면, 도 7에 도시된 바와 같이 제어 장치(300)는 용기(500)가 죔쇠(244)로부터 분리되도록 이송 장치(200)를 제어한다.
본 발명에 의하면, 제어기는 감지 장치에 의해 직접 검출된 신호에 근거하여 이송 장치의 위치나 동작을 제어하므로 로드 포트 상에 용기를 정확하게 로딩할 수 있다.
또한, 용기가 로드 포트에 놓이기 전 용기의 높이를 제 1 센서와 제 2 센서 로 중복하여 검출하므로 로드 포트 상에 용기를 안정적으로 로딩할 수 있다.

Claims (14)

  1. 기판 처리 시스템에 있어서,
    용기가 놓이는 로드 포트를 가지는 공정 설비와;
    상기 로드 포트의 상부를 지나도록 이동되는 몸체와 상기 몸체에 결합되며 용기를 상기 로드 포트 상으로 이동하고 용기를 고정하는 홀더를 가지는 이송 장치와;
    상기 용기가 상기 로드 포트 상의 정해진 위치에 도달하였는지 여부를 검출하는 감지 장치와; 그리고
    상기 감지 장치로부터 검출된 신호를 전송받아 상기 이송 장치를 제어하는 제어 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 감지 장치는 상기 로드 포트에 대해 용기가 정해진 높이에 도달하였는지 여부를 검출하는 높이 감지기를 가지는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 높이 감지기는 상기 로드 포트 상에 설치되어 상기 용기에 의해 눌러지는지 여부를 검출하는 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 로드 포트는,
    용기가 놓이는 받침대와;
    상기 받침대와 함께 용기가 놓이는 공간을 제공하도록 상기 받침대에 결합되는 측판들을 포함하고,
    상기 높이 감지기는,
    상기 측판들 중 어느 하나에 설치되며 신호를 발생시키는 제 1 신호 발생기와;
    상기 신호 발생기와 마주보도록 상기 측판들 중 다른 하나에 설치되며 상기 제 1 신호 발생기로부터 발생되는 신호를 수신하는 제 1 신호 수신기를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 이송 장치는 상기 로드 포트의 상부에 배치되며 상기 몸체의 이동을 안내하는 가이드 레일을 더 포함하고,
    상기 감지 장치는 상기 이송 장치에 의해 이동되는 용기가 수평 방향으로 상기 로드 포트 상부에 도달하였는지 여부를 검출하는 위치 감지기를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 위치 감지기는,
    상기 몸체와 상기 로드 포트 중 어느 하나에 설치되며 신호를 발생하는 제 2 신호 발생기와;
    상기 몸체와 상기 로드 포트 중 다른 하나에 설치되며 상기 제 2 신호 발생기로부터 발생된 신호를 수신하는 제 2 신호 수신기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  7. 기판 처리 시스템에 있어서,
    용기가 놓이는 로드 포트를 가지는 공정 설비와;
    로드 포트의 상부를 지나도록 이동되는 몸체와 상기 몸체에 결합되며 상기 용기를 상기 로드 포트 상에 안착시키는 홀더를 가지는 이송 장치와;
    상기 용기가 상기 로드 포트 상부의 정해진 높이에 도달하였는지 여부를 검출하는 높이 감지기와; 그리고
    상기 높이 감지기로부터 검출된 신호를 전송받아 상기 이송 장치를 제어하는 제어기를 구비하되,
    상기 로드 포트는,
    용기가 놓이는 받침대와;
    상기 받침대와 함께 용기가 놓이는 공간을 제공하도록 상기 받침대에 결합되는 측판들을 포함하고,
    상기 높이 감지기는,
    상기 로드 포트의 받침대 상에 설치되어 상기 용기에 의해 눌러지는지 여부를 검출하는 제 1 센서와;
    상기 측판들 중 어느 하나에 설치되며 신호를 발생시키는 제 1 신호 발생기와 상기 신호 발생기와 마주보도록 상기 측판들 중 다른 하나에 설치되며 상기 제 1 신호 발생기로부터 발생되는 신호를 수신하는 제 1 신호 수신기를 포함하는 제 2 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 이송 장치는 상기 로드 포트의 상부에 배치되며 상기 몸체의 이동을 안내하는 가이드 레일을 더 포함하고,
    상기 시스템은 상기 이송 장치에 의해 이동되는 용기가 수평 방향으로 상기 로드 포트 상부에 도달하였는지 여부를 검출하는 위치 감지기를 더 포함하며,
    상기 위치 감지기는,
    상기 몸체와 상기 로드 포트 중 어느 하나에 설치되며 신호를 발생하는 제 2 신호 발생기와;
    상기 몸체와 상기 로드 포트 중 다른 하나에 설치되며 상기 제 2 신호 발생기로부터 발생된 신호를 수신하는 제 2 신호 수신기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  9. 공정 설비의 로드 포트 상에 용기를 로딩하는 방법에 있어서,
    이송 장치에 의해 상기 로드 포트의 상부로 용기가 이동되는 단계와;
    상기 이송 장치에서 상기 용기를 지지하는 홀더가 아래 방향으로 이동하는 단계와;
    상기 로드 포트에 설치된 높이 감지기를 사용하여 상기 용기가 상기 로드 포트 상의 정해진 높이까지 이동되었는지 여부를 검출하는 단계와;
    상기 높이 감지기가 상기 용기가 상기 정해진 높이까지 이동된 것으로 검출하면 상기 용기가 상기 홀더로부터 분리되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 로드 포트 상에 용기를 로딩하는 방법.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 로드 포트 상에 설치된 높이 감지기를 사용하여 상기 용기가 상기 로드 포트 상의 정해진 높이까지 이동되었는지 여부를 검출하는 단계는,
    상기 로드 포트의 받침대에 설치된 제 1 센서를 사용하여 상기 제 1 센서가 상기 용기에 의해 눌려지는지 여부를 검출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 로드 포트 상에 용기를 로딩하는 방법.
  11. 제 9항에 있어서,
    상기 로드 포트 상에 설치된 높이 감지기를 사용하여 상기 용기가 상기 로드 포트 상에 정해진 높이까지 이동되었는지 여부를 검출하는 단계는,
    상기 용기가 놓이는 공간을 제공하도록 상기 로드 포트의 받침대에 서로 대 향되게 결합되는 측판들에 제공되는 제 1 신호 발신기와 제 1 신호 수신기를 가지는 제 2 센서를 사용하여 상기 제 1 신호 수신기가 상기 제 1 신호 발신기로부터 발생되는 신호를 수신하였는지 여부를 검출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 로드 포트 상에 용기를 로딩하는 방법.
  12. 제 9항에 있어서,
    상기 로드 포트 상에 설치된 높이 감지기를 사용하여 상기 용기가 상기 로드 포트 상에 정해진 높이까지 이동되었는지 여부를 검출하는 단계는,
    상기 로드 포트의 받침대에 설치된 제 1 센서를 사용하여 상기 제 1 센서가 상기 용기에 의해 눌려지는지 여부를 검출하는 단계와;
    상기 용기가 놓이는 공간을 제공하도록 상기 로드 포트의 받침대 상에 서로 대향되게 설치되는 측판들에 제공되는 제 1 신호 발신기와 제 1 신호 수신기를 가지는 제 2 센서를 사용하여 상기 제 1 신호 수신기가 상기 제 1 신호 발신기로부터 발생되는 신호를 수신하였는지 여부를 검출하는 단계를 포함하고,
    상기 높이 감지기가 상기 용기가 정해진 높이까지 이동된 것으로 검출하면 상기 홀더로부터 상기 용기가 분리되는 단계는,
    상기 제 1 센서와 상기 제 2 센서가 상기 용기가 정해진 높이까지 이동된 것으로 검출하면 상기 홀더로부터 상기 용기가 분리되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 로드 포트 상에 용기를 로딩하는 방법.
  13. 제 9항 내지 제 12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 이송 장치에 의해 상기 로드 포트의 상부로 용기가 이동되는 단계는 상기 이송 장치가 상기 로드 포트의 상부에 배치된 가이드 레일을 따라 이동되는 단계를 더 포함하고,
    상기 방법은 상기 로드 포트와 상기 이송 장치에 설치된 위치 감지기를 사용하여 상기 이송 장치가 수평방향으로 상기 로드 포트의 상부의 정해진 위치까지 이동되었는지 여부를 검출하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 로드 포트 상에 용기를 로딩하는 방법.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 로드 포트와 상기 이송 장치에 설치된 위치 감지센서를 사용하여 상기 이송 장치가 수평방향으로 상기 로드 포트의 상부의 정해진 위치까지 이동되었는지 여부를 검출하는 단계는,
    상기 로드 포트와 상기 이송 장치 중 어느 하나에 설치되는 제 2 신호 발신기로부터 발생된 신호를 상기 로드 포트와 상기 이송 장치 중 다른 하나에 설치되는 제 2 신호 수신기가 수신하였는지 여부를 검출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 로드 포트 상에 용기를 로딩하는 방법.
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