KR20060101302A - 기판 유지 부재 및 기판 처리 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (8)
- 기판을 탑재하고 유지하여, 기판과 기판 유지면과의 열 전달에 의해 기판을 온도 제어하는 기판 유지 부재에 있어서,기판보다도 작은 기판 유지면을 가지고,상기 기판과 기판 유지면과의 열 전달율은, 기판 유지면의 중심 영역과 외주 영역 사이의 중간 영역이 상기 중심 영역과 상기 외주 영역에 대하여 낮게 되어 있고, 상기 외주 영역이 상기 중심 영역에 대하여 높게 되어 있는 것을 특징으로 하는, 기판 유지 부재.
- 제 1 항에 있어서,상기 기판 유지면의 중간 영역은, 유지한 기판의 중심으로부터 보아 기판의 반경의 80~90%의 범위에 위치하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 유지 부재.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 기판과 기판 유지면과의 열 전달율은, 기판과 기판 유지면과의 접촉 면적을 바꾸는 것에 의해 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 유지 부재.
- 제 3 항에 있어서,상기 기판 유지면에는, 기판을 지지하는 복수의 볼록부가 형성되어 있고,상기 기판과 기판 유지면과의 열 전달율은, 상기 볼록부의 단위 면적당의 수, 또는 각 볼록부의 기판과의 접촉 면적을 바꾸는 것에 의해 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 유지 부재.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 기판과 기판 유지면과의 열 전달율은, 기판 유지면의 재질을 바꾸는 것에 의해 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 유지 부재.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 기판과 기판 유지면과의 열 전달율은, 기판 유지면의 표면 거칠기를 바꾸는 것에 의해 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 유지 부재.
- 기판을 탑재하고 유지하여, 기판과 기판 유지면과의 열 전달에 의해 기판을 온도 제어하는 기판 유지 부재를 구비한 기판 처리 장치에 있어서,상기 기판 유지 부재는,기판보다도 작은 기판 유지면을 가지고,상기 기판과 기판 유지면과의 열 전달율은, 기판 유지면의 중심 영역과 외주 영역 사이의 중간 영역이 상기 중심 영역과 상기 외주 영역에 대하여 낮게 되어 있고, 상기 외주 영역이 상기 중심 영역에 대하여 높게 되어 있는 것을 특징으로 하는, 기판 처리 장치.
- 제 7 항에 있어서,상기 기판 유지면의 중간 영역은, 유지한 기판의 중심으로부터 보아 기판의 반경의 80~90%의 범위에 위치하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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