KR20060100175A - Apparatus for inspecting flat panel display - Google Patents

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KR20060100175A
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Abstract

본 발명은 평면 디스플레이 검사장치에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 엘씨디(LCD), 피디피(PDP), OLED 등의 모든 평면 디스플레이를 검사하는 장치로서, 적어도 5개 이상의 자유도를 가지고 움직이면서 검사를 행할 수 있고, 동시에 검사가 용이하도록 위치가 이동되도록 하는 등 검사의 고 자유도를 실현할 수 있도록 함으로서 정확하고 신속한 검사에 의한 생산성 향상과 불량 제품의 완벽한 선별이 가능한 평면 디스플레이 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to a flat panel display inspection apparatus, and more particularly, a device for inspecting all flat panel displays such as LCD, LCD, OLED, etc., and can perform inspection while moving with at least five degrees of freedom. In addition, the present invention relates to a flat display inspection apparatus capable of improving productivity by accurate and rapid inspection and perfect selection of defective products by enabling a high degree of freedom of inspection such as moving a position to facilitate inspection.

이에 본 발명은 일정한 형태의 베이스 프레임(10); 상기 베이스 프레임(10)의 양단부에 각각 수직으로 설치되며 내부에 설치된 모터(21b)의 구동으로 승하강하는 한 쌍의 승하강수단(20); 상기 한 쌍의 승하강수단(20)의 상측을 연결하도록 설치되며 승하강수단(20)과 함께 승하강하는 승하강체(30); 상기 승하강체(30)의 상측에 회전가능하게 설치되며 안착되는 평면 디스플레이를 회전가능하게 지지하는 스테이지(40)를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.The present invention is a base frame 10 of a certain form; A pair of elevating means (20), which are installed at both ends of the base frame (10) and are vertically moved up and down by driving the motor (21b) installed therein; A lifting body 30 which is installed to connect the upper side of the pair of lifting means 20 to move up and down with the lifting means 20; It is characterized in that it comprises a stage 40 rotatably installed on the upper side of the elevating body 30 and rotatably supporting the flat display to be seated.

평면 디스플레이, 검사장치, 베이스 프레임, 승하강수단, 승하강체, 스테이지 Flat panel display, Inspection device, Base frame, Lifting means, Lifting body, Stage

Description

평면 디스플레이 검사장치{Apparatus for inspecting flat panel display}Apparatus for inspecting flat panel display}

도 1 은 본 발명에 따른 평면 디스플레이 검사장치를 나타내는 결합사시도,1 is a perspective view showing a flat display inspection apparatus according to the present invention,

도 2 는 본 발명에 따른 평면 디스플레이 검사장치를 나타내는 분해사시도,2 is an exploded perspective view showing a flat display inspection apparatus according to the present invention;

도 3 은 본 발명에 따른 평면 디스플레이 검사장치에서 제 1,2 방향전환수단을 생략한 경우를 나타내는 결합사시도,3 is a perspective view showing a case in which the first and second direction changing means is omitted in the flat display inspection apparatus according to the present invention,

도 4 는 도 3의 정면도,4 is a front view of FIG. 3;

도 5 는 도 4에서 캐리어와 함께 승하강체 및 스테이지가 상승한 상태를 나타내는 정면도,FIG. 5 is a front view illustrating a state where the lifting body and the stage are raised together with the carrier in FIG. 4; FIG.

도 6 은 본 발명에 따른 평면 디스플레이 검사장치에서 승하강수단을 나타내는 분해사시도,Figure 6 is an exploded perspective view showing the lifting means in the flat display inspection apparatus according to the present invention,

도 7 은 본 발명에 따른 평면 디스플레이 검사장치에서 제 1,2 방향전환수단이 결합된 상태를 나타내는 사시도,7 is a perspective view showing a state in which the first and second direction switching means are coupled in the flat display inspection apparatus according to the present invention;

도 8 은 본 발명에 따른 평면 디스플레이 검사장치에서 제 2 방향전환수단을 나타내는 사시도이다.8 is a perspective view showing a second direction switching means in the flat display inspection apparatus according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호설명><Code Description of Main Parts of Drawing>

1: 검사장치 10: 베이스 프레임1: inspection device 10: base frame

20: 승하강수단 21: 지지플레이트20: lifting means 21: support plate

21a: 수평보조판 21b,43,54,74: 모터21a: Horizontal Auxiliary Plate 21b, 43,54,74: Motor

21c,75: 볼스크류 21d,23a,52,65,72,77: LM블록21c, 75: Ball screw 21d, 23a, 52, 65, 72, 77: LM block

21e,56: 래크21e, 56: rack

22: 중간플레이트 22a,53,66,73,78: LM레일22: Intermediate plate 22a, 53, 66, 73, 78: LM rail

22b: 너트 22c,55: 피니언22b: nut 22c, 55: pinion

23: 캐리어 24: 직선안내수단23: carrier 24: linear guide means

25: 운동전달수단25: exercise transmission means

30: 승하강체 31: 프레임30: lifting body 31: frame

32: 플레이트 40: 스테이지32: plate 40: stage

41: 서포트 42: 감속기어박스41: support 42: reduction gear box

44: 글래스홀더 44a: 안착홈44: glass holder 44a: seating groove

44b: 회전축44b: axis of rotation

50: 제 1 방향전환수단 51: 베이스 플레이트50: first turning means 51: base plate

60: 힌지유닛 61: 하부재60: hinge unit 61: lower member

62: 상부재 63: 축62: upper part 63: shaft

70: 제 2 방향전환수단 70a: 바닥프레임70: second direction switching means 70a: floor frame

71:안내플레이트 71a: 연결블럭71: guide plate 71a: connecting block

76,76a: 크로스롤러베어링 79: 바퀴76, 76a: cross roller bearing 79: wheels

본 발명은 평면 디스플레이 검사장치에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 엘씨디(LCD), 피디피(PDP), OLED 등의 모든 평면 디스플레이를 검사하는 장치로서, 적어도 5개 이상의 자유도를 가지고 움직이면서 검사를 행할 수 있고, 동시에 검사가 용이하도록 위치가 이동되도록 하는 등 검사의 고 자유도를 실현할 수 있도록 함으로서 정확하고 신속한 검사에 의한 생산성 향상과 불량 제품의 완벽한 선별이 가능한 평면 디스플레이 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to a flat panel display inspection apparatus, and more particularly, a device for inspecting all flat panel displays such as LCD, LCD, OLED, etc., and can perform inspection while moving with at least five degrees of freedom. In addition, the present invention relates to a flat display inspection apparatus capable of improving productivity by accurate and rapid inspection and perfect selection of defective products by enabling a high degree of freedom of inspection such as moving a position to facilitate inspection.

일반적으로 엘씨디(LCD), 피디피(PDP), OLED 등의 모든 평면 디스플레이의 육안검사는 생산공정에서 생산 완료되어 측정기로 불량여부를 측정한 후 합격품에 한하여 컨베이어를 거치거나 BOX로 운반되어 최종 검사자가 손으로 들어서 평면 디스플레이의 여러 부분의 표면에 대한 불량을 육안으로 검사를 하였다.In general, visual inspection of all flat panel displays such as LCD, LCD, OLED, etc. is completed in the production process and the defects are measured by the measuring device. By hand, defects on the surface of the various parts of the flat panel display were visually inspected.

최근 영상산업의 발전과 더불어 상기와 같은 평면 디스플레이의 검사 대상체의 사이즈가 점점 증가함에 따라 검사자가 직접 손으로 들고 할 수 없는 상황에 이르게 되면서 상기 평면 디스플레이를 특정장치에 안착시켜서 표면을 육안으로 검사를 하고 있는 실정이다.With the recent development of the imaging industry, as the size of the test object of the flat display is gradually increased, the inspector cannot carry it by hand, and the flat display is placed on a specific device to visually inspect the surface. I'm doing it.

또한, 엘씨디 생산의 경우는 매우 정밀한 검사를 하게 되는데, 이때 검사자가 결함이 있다고 생각되는 부분에서의 다각적인 검사가 필요하다. 일반적으로 1∼2개의 자유도를 가진 검사장치를 이용하거나 현미경을 이용한 육안검사를 리니어 스테이지에 카메라를 설치하여 순차적으로 이동하면서 검사하는 방식 등이 사용되고 있다.In addition, in the case of LCD production, a very precise inspection is performed, which requires a multi-faceted inspection where the inspector is considered defective. In general, a method using an inspection apparatus having one to two degrees of freedom, or a visual inspection using a microscope, by installing a camera on a linear stage and sequentially moving the inspection is used.

그러나, 이처럼 1∼2개의 자유도를 가진 검사장치를 이용하여 검사할 경우 검사자의 고도의 숙련이 필요하게 되고 또한 검사 영역의 한계가 있었다.However, when the inspection using the inspection device having one or two degrees of freedom as described above requires a high level of skill of the inspector and there is a limitation of the inspection area.

이에 따라, 많은 자유도를 가지고 고정밀,고속,정속성 및 저진동 검사장치가 절실히 요구되고 있는 실정이다.Accordingly, high precision, high speed, constant speed, and low vibration inspection apparatus are urgently required with many degrees of freedom.

상기한 종래의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 엘씨디(LCD), 피디피(PDP), OLED 등의 모든 평면 디스플레이의 검사를 적어도 5개 이상의 자유도를 가지고 움직이면서 보다 정확하고 신속하게 할 수 있도록 하여 생산성 향상과 불량 제품의 완벽한 선별이 가능하며, 또한 많은 자유도로 운동시 발생하는 기구적인 마찰 및 진동을 방지하는 평면 디스플레이 검사장치를 제공하는데 있다.An object of the present invention for solving the above-mentioned problems is to make the inspection of all flat panel displays such as LCD, LCD, OLED, etc. more accurate and faster while moving with at least five degrees of freedom. The present invention provides a flat display inspection device that can improve productivity and allow perfect screening of defective products, and also prevent mechanical friction and vibration generated during movement with many degrees of freedom.

또 다른 목적은 상,하 운동에 있어 텔레스코픽 구조를 가짐으로서 검사장치를 최대한 낮게하여 설치시 공간확보의 용이성 및 평면 디스플레이 투입로봇의 제작비를 절감할 수 있는 평면 디스플레이 검사장치를 제공하는데 있다.Still another object is to provide a flat display inspection apparatus that has a telescopic structure in the up and down movement, thereby making the inspection apparatus as low as possible to reduce space during installation and reduce the manufacturing cost of the flat display input robot.

또 다른 목적은 상,하 방향으로의 운동시 양쪽 모터의 완벽한 동기제어가 어렵거나 또한 장치가 거대하여서 가공 및 조립시 오차가 발생하더라도 모터의 작동시 양쪽높이를 하드웨어적으로 보상해줌으로서 파손방지 및 정속성 그리고 저진동이 가능한 평면 디스플레이 검사장치를 제공하는데 있다.Another purpose is to prevent damages by compensating for both heights in the operation of the motor, even if it is difficult for perfect synchronous control of both motors during the movement in the up and down direction or the device is huge and errors occur during machining and assembly. To provide a flat display inspection device capable of constant speed and low vibration.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 일정한 형태의 베이스 프레임; 상기 베이스 프레임의 양단부에 각각 수직으로 설치되며 내부에 설치된 모터의 구동으로 승하강하는 한 쌍의 승하강수단; 상기 한 쌍의 승하강수단의 상측을 연결하도록 설치되며 승하강수단과 함께 승하강하는 승하강체; 상기 승하강체의 상측에 회전가능하게 설치되며 안착되는 평면 디스플레이를 회전가능하게 지지하는 스테이지를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다. The present invention for achieving the above object is a base frame of a certain form; A pair of raising and lowering means installed vertically at both ends of the base frame to move up and down by driving a motor installed therein; An elevating body which is installed to connect the upper and lower sides of the pair of elevating means, and which elevates with the elevating means; It is characterized in that it comprises a stage rotatably installed on the upper side of the lifting body and rotatably supporting the flat display is seated.

이하, 본 발명을 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1 은 본 발명에 따른 평면 디스플레이 검사장치를 나타내는 결합사시도이고, 도 2 는 본 발명에 따른 평면 디스플레이 검사장치를 나타내는 분해사시도이며, 도 3 은 본 발명에 따른 평면 디스플레이 검사장치에서 제 1,2 방향전환수단을 생략한 경우를 나타내는 결합사시도이고, 도 4 는 도 3의 정면도이며, 도 5 는 도 4에서 캐리어와 함께 승하강체 및 스테이지가 상승한 상태를 나타내는 정면도이고, 도 6 은 본 발명에 따른 평면 디스플레이 검사장치에서 승하강수단을 나타내는 분해사시도이며, 도 7 은 본 발명에 따른 평면 디스플레이 검사장치에서 제 1,2 방향전환수단이 결합된 상태를 나타내는 사시도이고, 도 8 은 본 발명에 따른 평면 디스플레이 검사장치에서 제 2 방향전환수단을 나타내는 사시도이다.1 is an exploded perspective view showing a flat display inspection apparatus according to the present invention, Figure 2 is an exploded perspective view showing a flat display inspection apparatus according to the present invention, Figure 3 is a first and second in the flat display inspection apparatus according to the present invention 4 is a front perspective view of FIG. 3, FIG. 5 is a front view illustrating a state where the lifting body and the stage are raised together with the carrier in FIG. 4, and FIG. 6 is according to the present invention. Figure 7 is an exploded perspective view showing the lifting means in the flat display inspection apparatus, Figure 7 is a perspective view showing a combined state of the first and second direction switching means in the flat display inspection apparatus according to the present invention, Figure 8 is a plane according to the present invention It is a perspective view which shows a 2nd direction switching means in a display inspection apparatus.

도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 평면 디스플레이 검사장치(1)는, 크게 베이스 프레임(10)과, 한 쌍의 승하강수단(20)과, 승하강체(30)와, 스테이지(40)로 구성되며, 여기에 제 1 방향전환수단(50) 및 제 2 방향전환수단(70)이 추가적으로 설치됨으로서 5개 이상의 자유도(수직방향 회전/상,하 운동/좌,우 운동/전,후운동/수평방향 회전)를 가지고 움직일 수 있는 것이다.As shown, the flat display inspection apparatus 1 according to the present invention comprises a base frame 10, a pair of lifting means 20, a lifting body 30, and a stage 40. The first direction switching means 50 and the second direction switching means 70 are additionally installed here, so that five or more degrees of freedom (vertical rotation / up / down / right / left / right / pre-movement / Can move with horizontal rotation).

먼저, 상기 베이스 프레임(10)은 다수의 프레임을 가로, 세로로 결합하여 일 정형태로 제작한다.First, the base frame 10 is produced in a predetermined form by combining a plurality of frames horizontally, vertically.

그리고, 상기 베이스 프레임(10)의 양단부에는 각각 한 쌍의 승하강수단(20)이 수직으로 설치되어 내부에 설치된 모터(21b)의 구동시 상,하 운동하게 되며, 검사장치(1)를 최대한 낮게하여 설치시 공간확보를 할 수 있도록 텔레스코픽 구조로 이루어진다.In addition, a pair of lifting means 20 are vertically installed at both ends of the base frame 10 to move up and down when driving the motor 21b installed therein, and to maximize the inspection device 1. It is made of telescopic structure so that space can be secured at the time of installation.

이러한 상기 승하강수단(20)은 상기 베이스 프레임(10)에 수직으로 결합되고 하단부에 형성된 수평보조판(21a)에는 모터(21b)가 설치되어 일측 높이방향으로 상기 모터(21b)의 구동으로 회전하는 볼스크류(21c)가 구비된 지지플레이트(21)와,The elevating means 20 is vertically coupled to the base frame 10 and the motor 21b is installed on the horizontal auxiliary plate 21a formed at the lower end to rotate by driving of the motor 21b in one side height direction. Support plate 21 is provided with a ball screw (21c),

상기 지지플레이트(21)의 외측방향으로 일정간격 이격되고 "ㄱ"자로 절곡된 상측면에 아래에서 설명될 승하강체(30)의 단부가 결합된 캐리어(23)와,A carrier 23 having an end portion of the elevating body 30 to be described below, which is spaced apart at a predetermined interval in the outward direction of the support plate 21 and is bent as “a”;

상기 지지플레이트(21)와 캐리어(23)의 사이에 설치되고 내,외측면이 상기 지지플레이트(21)와 캐리어(23)에 각각 직선안내수단(24)으로 슬라이딩 가능하게 결합됨과 동시에 내측면에 구비된 너트(22b)를 상기 볼스크류(21c)와 나사결합하여 볼스크류(21c)의 회전시 승하강하는 중간플레이트(22)와,It is installed between the support plate 21 and the carrier 23, the inner and outer surfaces are slidably coupled to the support plate 21 and the carrier 23 by linear guide means 24, respectively, and at the inner side. An intermediate plate 22 which is screwed with the provided nut 22b with the ball screw 21c to move up and down when the ball screw 21c rotates,

상기 중간플레이트(22)의 승하강운동에 연동하여 상기 캐리어(23)를 승하강시키는 운동전달수단(25)으로 이루어진다.It consists of an exercise transmission means 25 for elevating the carrier 23 in conjunction with the elevating movement of the intermediate plate (22).

여기서, 상기 모터(21b)는 도면과 같이 상기 볼스크류(21c)에 직접 연결할 수 도 있지만, 상기 볼스크류(21c)의 일측에 모터(21b)를 설치하고 상기 볼스크류(21c)와 모터(21b)를 서로 기어결합하여 구성할 수 있도 있다.Here, the motor 21b may be directly connected to the ball screw 21c as shown in the drawing, but the motor 21b is installed on one side of the ball screw 21c and the ball screw 21c and the motor 21b are provided. ) May be configured by gear coupling with each other.

그리고, 상기 직선안내수단(24)은 상기 지지플레이트(21)와 중간플레이트 (22) 및 캐리어(23)의 각각의 사이에 LM블럭(21d)(23a)과 LM레일(22a)을 설치하여 상호 슬라이딩 결합하여 이루어진다.The linear guide means 24 is provided between the support plate 21, the intermediate plate 22, and the carrier 23 by providing LM blocks 21d and 23a and LM rails 22a. It is made by sliding engagement.

즉, 상기 지지플레이트(21)와 중간플레이트(22)의 상호 마주하는 면에 LM블럭(21d)과 LM레일(22a)을 설치하여 슬라이딩 결합하고, 상기 캐리어(23)와 중간플레이트(22)의 상호 마주하는 면에도 LM블럭(23a)과 LM레일(22a)을 설치하여 슬라이딩 결합한 것이다.That is, the LM block 21d and the LM rail 22a are installed on the surfaces of the support plate 21 and the intermediate plate 22 that face each other, and are slidably coupled to each other. The LM block 23a and the LM rail 22a are also installed on the surfaces facing each other and are coupled to each other by sliding.

물론, 도면에서는 직선안내수단(24)으로 LM블럭(21d)(23a)과 LM레일(22a)을 사용하였지만, 반드시 여기에 한정되는 것은 아니며, 이 외에도 더욱 다양한 직선안내 구조로 구성할 수 있는 것이다.Of course, although the LM blocks 21d and 23a and the LM rail 22a are used as the linear guide means 24, the present invention is not necessarily limited thereto. .

또한, 상기 운동전달수단(25)은 상기 중간플레이트(22)의 양단부에 회전가능하게 설치되는 피니언(22c)과, 상기 지지플레이트(21)와 캐리어(23)의 마주하는 면에 각각 높이방향으로 설치되어 상기 피니언(22c)과 맞물려 결합되는 한 쌍의 래크(21e)(23b)로 이루어진다.In addition, the movement transmitting means 25 is a pinion 22c rotatably installed at both ends of the intermediate plate 22, and the support plate 21 and the surface facing the carrier 23, respectively, in the height direction It is composed of a pair of racks 21e and 23b installed and engaged with the pinion 22c.

따라서, 상기 모터(21b)의 구동에 의해 상기 볼스크류(21c)가 정회전 또는 역회전하게 되면, 상기 중간플레이트(22)가 승하강하게 되고, 이와 동시에 상기 중간플레이트(22)의 양단부에 구비된 피니언(22c)은 상기 지지플레이트(21)의 래크(21e)를 따라 회전하면서 승하강하게 된다. 이때 상기 피니언(22c)과 래크(23b)로 맞물려 결합된 상기 캐리어(23)는 상기 중간플레이트(22)와 속도차를 가지고 동일방향으로 승하강하여 원하는 스트로크까지 작동하게 된다.Therefore, when the ball screw 21c rotates forward or reversely by the driving of the motor 21b, the intermediate plate 22 moves up and down, and at the same time, both ends of the intermediate plate 22 are provided. The pinion 22c moves up and down while rotating along the rack 21e of the support plate 21. At this time, the carrier 23 engaged with the pinion 22c and the rack 23b is moved up and down in the same direction with the speed difference with the intermediate plate 22 to operate to a desired stroke.

그리고, 상기 한 쌍의 승하강수단(20)의 상측을 연결하도록 승하강체(30)가 설치되며, 상기 승하강체(30)는 상기 승하강수단(20)과 함께 승하강하게 된다.Then, the elevating body 30 is installed to connect the upper side of the pair of elevating means 20, the elevating body 30 is raised and lowered together with the elevating means (20).

상기 승하강체(30)를 좀더 상세히 설명하면, 아래에서 설명될 스테이지(40)의 글래스홀더(44)의 회전시 간섭이 발생하지 않도록 상기 한 쌍의 승하강수단(20)의 사이 부분이 하측방향으로 함몰되게 "U"자 형태로 프레임(31)을 구성하고, 상기 프레임(31)의 상측 양단부에 외측방향으로 플레이트(32)를 연장형성하여 이루어진 것이다.When the lifting body 30 is described in more detail, a portion between the lifting means 20 of the pair of lifting means 20 is lowered so that interference does not occur during the rotation of the glass holder 44 of the stage 40 to be described below. It is made by forming the frame 31 in a "U" shape to be recessed, and extending the plate 32 in the outward direction on both upper ends of the frame 31.

이러한 상기 승하강체(30)는 양단부가 상기 한 쌍의 승하강수단(20)과 각각 힌지유닛(60)으로 회전가능하게 연결/결합된다.Both ends of the elevating body 30 are rotatably connected / coupled to the pair of elevating means 20 and the hinge unit 60, respectively.

상기 힌지유닛(60)은 상기 승하강수단(20)의 캐리어(23) 상측면에 결합되는 하부재(61)와, 상기 승하강체(30)의 단부 하측면에 결합되는 상부재(62)가 축(63)결합되어 상,하부재(62)(61)가 회전가능하게 구성된 것이다.The hinge unit 60 has a lower member 61 coupled to an upper side of the carrier 23 of the elevating means 20 and an upper member 62 coupled to an end lower side of the elevating body 30. The shaft 63 is coupled to the upper and lower members 62 and 61 are rotatably configured.

한편, 상기 승하강체(30)의 양단부가 상기 한 쌍의 승하강수단(20)에 힌지유닛(60)으로 회전가능하게 결합되지만, 여기서 상기 승하강체(30)의 일단부는 상기 힌지유닛(60)과의 사이에 LM블럭(65) 및 LM레일(66)을 설치하여 상호 슬라이딩 가능하게 결합되는 것이 바람직하다.On the other hand, both ends of the elevating body 30 is rotatably coupled to the pair of elevating means 20 as a hinge unit 60, where one end of the elevating body 30 is the hinge unit 60 It is preferable that the LM block 65 and the LM rail 66 are installed between the two slidably and slidably.

즉, 상기 한 쌍의 승하강수단(20)에 각각 설치된 양 모터(21b)의 구동으로 상기 양쪽의 캐리어(23)가 동시에 승하강하게 되면, 상기 승하강체(30)도 함께 승하강하게 되는데, 이때 상기 양 모터(21b)의 완벽한 동기제어가 어렵고 또한 장치가 거대하여 가공 및 조립시 발생하는 오차로 인해 상기 모터(21b)의 작동시 상기 승하강수단(20)의 양쪽 캐리어(23)를 정확한 동일높이로 동시에 승하강시키는 것이 매우 어렵다. That is, when both carriers 23 are simultaneously lifted up and down by driving both motors 21b installed in the pair of lifting means 20, the lifting body 30 is also lifted up and down together. The perfect synchronous control of both motors 21b is difficult, and the device is huge, which causes errors in machining and assembly, so that both carriers 23 of the elevating means 20 are operated at the exact same height during operation of the motor 21b. It is very difficult to move up and down at the same time.

따라서, 상기 승하강체(30)의 일단부는 상기 힌지유닛(60)과의 사이에 LM블럭(65) 및 LM레일(66)을 설치하여 상호 슬라이딩 결합함으로서, 상기 양 모터(21b) 또는 기타 여러사유로 인해 오차가 발생하여 상기 양쪽 캐리어(23)를 연결하는 승하강체(30)가 약간 기울어지게 상승할 경우에도 상기 오차만큼 상기 승하강체(30)의 일단부가 슬라이딩 하면서 하드웨어적으로 보상이 되기 때문에 파손방지 및 정속성 그리고 저진동이 가능하게 된다.Accordingly, one end of the elevating body 30 is slidably coupled to each other by installing an LM block 65 and an LM rail 66 between the hinge unit 60, and thus, the two motors 21b or other various reasons. Due to an error occurs even when the lifting body 30 connecting the two carriers 23 is slightly inclined to rise, the one end of the lifting body 30 is compensated by hardware as the error is damaged because the damage Prevention, constant speed and low vibration are possible.

그리고, 상기 승하강체(30)의 상측에는 평면 디스플레이트를 회전가능하게 지지하는 스테이지(40)가 설치된다.In addition, a stage 40 that rotatably supports the flat panel display is installed above the elevating body 30.

상기 스테이지(40)는 상기 승하강체(30)의 양단부 상측에 각각 설치되는 서포트(41) 및 감속기어박스(42)와, 상기 서포트(41) 및 감속기어박스(42)에 양단부에 형성된 회전축(44b)이 각각 베어링(미도시)을 매개로 회전가능하게 설치되며 평면 디스플레이가 안착되도록 안착홈(44a)을 갖는 글래스홀더(44)와, 상기 감속기어박스(42)의 일측에 설치되어 상기 글래스홀더(44)를 회전시키는 모터(43)로 이루어진다.The stage 40 has a support 41 and a reduction gear box 42 which are respectively installed on both ends of the elevating body 30, and rotation shafts formed at both ends of the support 41 and the reduction gear box 42 ( Each of the glass holders 44b is rotatably installed via a bearing (not shown) and has a seating groove 44a for mounting a flat panel display, and is installed at one side of the reduction gear box 42 so that the glass is mounted. It consists of a motor 43 for rotating the holder 44.

여기서, 상기 감속기어박스(42)에 결합되는 글래스홀더(44)의 회전축(44b)은 감속기어박스(42) 내부의 기어(미도시)와 연결/결합되게 된다.Here, the rotating shaft 44b of the glass holder 44 coupled to the reduction gear box 42 is connected / coupled with a gear (not shown) inside the reduction gear box 42.

한편, 상기에서는 글래스홀더(44)를 회전가능하게 지지할 수 있도록 상기 승하강체(30)의 양단부 상측면에 서포트(41)와 감속기어박스(42)를 설치하였으나, 상기 감속기어박스(42)를 생략하고 승하강체(30)의 양단부 모두 서포트(41)로 구성하 고 상기 모터(43)를 상기 글래스홀더(44)의 회전축(44b)에 직접 연결할 수 도 있다.On the other hand, in the above, the support 41 and the reduction gear box 42 are installed on the upper side of both ends of the lifting and lowering body 30 so as to rotatably support the glass holder 44, the reduction gear box 42 2 may be configured as both ends of the lifting body 30 and the support 41, and the motor 43 may be directly connected to the rotation shaft 44b of the glass holder 44.

그리고, 상기 베이스 프레임(10)의 하측에는 상기 베이스 프레임(10)을 포함하여 앞서 설명한 전체 구조를 좌,우 방향으로 움직이게 하는 제 1 방향전환수단(50)과, 상기 제 1 방향전환수단(50)의 하측에 설치되어 제 1 방향전환수단(50)을 회전 및 전,후 방향으로 움직이게 하는 제 2 방향전환수단(70)이 설치된다.In addition, below the base frame 10, the first direction switching means 50 and the first direction switching means 50 to move the entire structure described above, including the base frame 10 in the left and right directions, The second direction switching means 70 is installed at the lower side of the first direction switching means 50 to rotate and move in the front and rear directions.

물론, 상기 제 1,2 방향전환수단(50)(70)을 생략하여도 본 발명은 작동이 가능하다.Of course, the present invention can operate even if the first and second direction changing means (50, 70) are omitted.

하지만, 더욱더 많은 자유도를 가지고 평면 디스플레이를 움직여 가면서 검사할 수 있도록 제 1,2 방향전환수단(50)(70)을 설치하는 것이 바람직하다.However, it is preferable to install the first and second turning means 50 and 70 so that the flat display can be inspected with more and more degrees of freedom.

먼저, 상기 제 1 방향전환수단(50)은 상기 베이스 프레임(10)의 하측에 LM블럭(52) 및 LM레일(53)을 설치하여 슬라이딩 가능하게 결합된 베이스 플레이트(51)와, 상기 베이스 플레이트(51)의 상측면에 설치되는 모터(54)와, 상기 모터(54)의 구동으로 회전하는 피니언(55)과, 상기 베이스 프레임(10)의 일측면에 길이방향으로 설치되어 상기 피니언(55)과 맞물려 결합된 래크(56)로 이루어진다.First, the first direction switching means 50 is installed on the lower side of the base frame 10, the LM block 52 and the LM rail 53, the base plate 51 is slidably coupled, and the base plate The motor 54 is installed on the upper side of the 51, the pinion 55 that is rotated by the drive of the motor 54, and the one side of the base frame 10 in the longitudinal direction and the pinion 55 ) And a rack 56 engaged with

따라서, 상기 모터(54)의 구동으로 피니언(55)이 정회전 또는 역회전함에 따라 상기 베이스 프레임(10)은 좌,우 운동을 하게 되는 것이다.Therefore, as the pinion 55 rotates forward or reverse by driving the motor 54, the base frame 10 moves left and right.

그리고, 상기 제 2 방향전환수단(70)은 다수의 프레임을 가로, 세로로 결합하여 일정형태로 형성되는 바닥프레임(70a)과,And, the second direction switching means 70 is a bottom frame (70a) formed in a predetermined shape by combining a plurality of frames in a horizontal, vertical,

상기 바닥프레임(70a)의 상측에 상호 일정간격 이격됨과 아울러 LM블럭(72) 및 LM레일(73)을 전,후 방향(베이스 프레임과 직각방향)으로 설치하여 슬라이딩 가능하게 결합되며 각각 일측에 설치된 모터(74)의 구동으로 회전하는 볼스크류(75)와 연결블럭(71a)으로 결합되어 볼스크류(75)의 회전시 전,후 운동하는 한 쌍의 안내플레이트(71)와,The LM block 72 and the LM rail 73 are installed in the front and rear directions (perpendicular to the base frame) and are slidably coupled to each other, and are spaced apart from each other by a predetermined interval on the bottom side of the bottom frame 70a. A pair of guide plates 71 coupled to the ball screw 75 and the connection block 71a which are rotated by the driving of the motor 74 to move before and after the ball screw 75 rotates;

상기 한 쌍의 안내플레이트(71)의 상측에 설치됨과 아울러 상기 베이스 플레이트(51)와는 LM블럭(77) 및 LM레일(78)에 의해 슬라이딩 가능하게 결합되어 상기 제 1 방향전환수단(50)을 회전가능하게 지지하는 적어도 하나 이상의 크로스롤러베어링(76)으로 이루어진다.It is installed on the upper side of the pair of guide plate 71 and the base plate 51 is slidably coupled by the LM block 77 and the LM rail 78 to the first direction switching means (50) At least one cross roller bearing 76 which rotatably supports.

도면에서는 상기 크로스롤러베어링(76)을 상기 안내플레이트(71)의 양단부측에 각각 설치하였다.In the figure, the cross roller bearings 76 are provided on both end sides of the guide plate 71, respectively.

따라서, 상기 한 쌍의 안내플레이트(71)의 일측에 각각 구비된 양 모터(74)를 동시에 동일방향으로 작동하여 볼스크류(75)를 정회전 또는 역회전 하게 되면, 상기 안내플레이트(71)가 전,후 운동을 하게 되면서 상기 제 1 방향전환수단(50) 및 베이스 프레임(10)도 함께 전,후 운동시키게 된다.Therefore, when both the motors 74 provided on one side of the pair of guide plates 71 operate in the same direction at the same time to rotate the ball screw 75 forward or reverse, the guide plate 71 is The first and second movement means 50 and the base frame 10 also move together before and after the movement.

또한, 상기 한 쌍의 안내플레이트(71)의 일측에 각각 구비된 양 모터(74)를 각각 다르게 작동시켜 각 모터(74)의 볼스크류(75)를 상호 다르게 회전시키게 되면, 상기 한 쌍의 안내플레이트(71)도 상호 다르게 움직이게 되면서 상기 크로스롤러베어링(76)으로 회전가능하게 설치된 상기 제 1 방향전환수단(50)과 베이스 프레임(10)을 수평방향으로 회전시키게 된다.In addition, by operating the two motors 74 respectively provided on one side of the pair of guide plates 71 to rotate the ball screw 75 of each motor 74 differently, the pair of guides As the plate 71 moves differently, the first turning means 50 and the base frame 10 rotatably installed in the cross roller bearing 76 are rotated in a horizontal direction.

한편, 상기 한 쌍의 안내플레이트(71)의 사이에는 상기 제 1 방향전환수단 (50)의 중심을 회전가능하게 지지하는 크로스롤러베어링(76a)이 설치되며, 상기 크로스롤러베어링(76a)의 하측에는 LM블럭(72) 및 LM레일(73)이 설치되어 상기 바닥프레임(70a)과 전,후 방향으로 슬라이딩 가능하게 결합되어 있다.On the other hand, between the pair of guide plate 71 is provided with a cross roller bearing 76a rotatably supporting the center of the first direction switching means 50, the lower side of the cross roller bearing 76a An LM block 72 and an LM rail 73 are installed in the LM block 72 and slidably coupled to the bottom frame 70a in the front and rear directions.

그리고, 상기 바닥프레임(70a)의 하측에는 다수개의 바퀴(79)가 설치되어 검사장치(1)의 이동이 가능하도록 되어 있다.In addition, a plurality of wheels 79 are installed below the bottom frame 70a to allow the inspection apparatus 1 to be moved.

한편, 본 발명에서는 부재간의 슬라이딩 결합을 위해 LM블럭(21d,23a,52,65,72,77)과 LM레일(22a,53,66,73,78)을 사용하였지만, 이와 동일기능을 수행하는 다른 구조를 사용할 수 있다. 또한 상기 모터(21b,43,54,74)는 서보모터를 사용하는 것이 바람직하다.Meanwhile, in the present invention, the LM blocks 21d, 23a, 52, 65, 72, 77 and the LM rails 22a, 53, 66, 73, 78 are used for sliding coupling between members. Other structures can be used. In addition, the motors 21b, 43, 54, 74 preferably use a servo motor.

이하, 본 발명에 따른 평면 디스플레이 검사장치(1)의 작용을 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the operation of the flat panel display inspection apparatus 1 according to the present invention will be described.

먼저, 평면 디스플레이가 로봇 등에 의해 상기 스테이지(40)의 글래스홀더(44)에 안착되면, 검사자는 상기 평면 디스플레이를 많은 자유도로 움직여 가면서 불량을 육안으로 검사하게 되며, 각 자유도별로 작동방법은 아래와 같다.First, when the flat display is seated on the glass holder 44 of the stage 40 by a robot or the like, the inspector visually inspects the defect while moving the flat display with many degrees of freedom, and the operation method for each degree of freedom is as follows. .

가. 수직방향 회전end. Vertical rotation

평면 디스플레이를 수직방향으로 회전시키는 방법은, 상기 승하강체(30)의 상측에 설치된 모터(43)를 작동시켜 상기 스테이지(40)의 글래스홀더(44)를 원하는 위치까지 회전시킴으로서 평면 디스플레이를 수직방향으로 회전시킬수 있다.In the method of rotating the flat panel display in a vertical direction, the flat panel display is rotated in a vertical direction by operating the motor 43 installed above the elevating body 30 to rotate the glass holder 44 of the stage 40 to a desired position. Can be rotated with

나. 상,하 운동I. Up and down movement

평면 디스플레이를 상,하 방향으로 움직이게 하는 방법은, 상기 승하강수단(20)에 설치된 모터(21b)를 작동시켜 볼스크류(21c)를 정회전 또는 역회전시키게 되면 상기 중간플레이트(22)가 상,하 방향으로 승,하강하게 됨과 동시에 래크(23b)/피니언(22c)으로 결합된 상기 캐리어(23)도 승,하강하게 되고, 이에 따라 상기 캐리어(23)와 결합된 승하강체(30)와 함께 상기 글래스홀더(44)가 상,하 방향으로 승,하강하게 됨으로서 평면 디스플레이를 상,하 운동시킬 수 있다.In the method of moving the flat display in the up and down direction, when the ball screw 21c is rotated forward or reverse by operating the motor 21b installed in the lifting means 20, the intermediate plate 22 is upward. In addition, the carrier 23 coupled to the rack 23b / pinion 22c is lifted and lowered at the same time as it moves up and down in the downward direction, and thus the lifting body 30 coupled to the carrier 23 Together, the glass holder 44 moves up and down in the up and down directions, thereby allowing the flat display to move up and down.

다. 좌,우 운동All. Left and right movement

평면 디스플레이를 좌,우 방향으로 움직이게 하는 방법은, 상기 제 1 방향전환수단(50)의 베이스 플레이트(51)에 설치된 모터(54)를 작동시켜 피니언(55)을 회전시키게 되면 상기 피니언(55)과 맞물려 결합된 래크(56)를 갖는 상기 베이스 프레임(10)이 좌,우 방향으로 움직이게 됨으로서 평면 디스플레이를 좌,우 운동시킬 수 있다.In the method of moving the flat display in the left and right directions, when the pinion 55 is rotated by operating the motor 54 installed on the base plate 51 of the first turning means 50, the pinion 55 is rotated. The base frame 10 having the racks 56 engaged with and engaged with each other may move in the left and right directions to move the flat display left and right.

라. 전,후 운동la. Before and after exercise

평면 디스플레이를 전,후 방향으로 움직이게 하는 방법은, 상기 제 2 방향전환수단(70)에서 상기 한 쌍의 안내플레이트(71)의 일측에 각각 설치된 양 모터(74)를 작동시켜 볼스크류(75)를 정회전 또는 역회전시키게 되면 상기 안내플레이트(71)가 전,후 방향으로 움직이게 되고 이에 따라 제 1 방향전환수단(50) 및 베이스 프레임(10)도 함께 전,후 방향으로 움직이게 됨으로서 평면 디스플레이를 전,후 운동시킬 수 있다.In the method of moving the flat display in the front and rear directions, the ball screw 75 is operated by operating the two motors 74 respectively installed on one side of the pair of guide plates 71 in the second turning means 70. When the forward rotation or reverse rotation of the guide plate 71 is moved in the forward and backward direction, accordingly the first direction switching means 50 and the base frame 10 is also moved in the forward and backward directions, thereby the flat display You can exercise before and after.

마. 수평방향 회전hemp. Horizontal rotation

평면 디스플레이를 수평 방향으로 회전시키는 방법은, 앞서 설명한 전,후 운동 방법에서 상기 양 모터(74)를 동일하게 작동시키는 않고, 각각 개별 작동을 시켜 한 쌍의 안내플레이트(71) 중 하나만 전,후 운동시키게 되면 상기 안내플레이트(71)의 상측에 크로스롤러베어링(76)으로 회전가능하게 결합된 제 1 방향전환수단(50) 및 베이스 프레임(10)이 일측 수평방향으로 회전하게 하게 된다. 즉, 하나의 안내플레이트(71)는 전,후 운동하고 다른 하나의 안내플레이트(71)는 정지된 상태로서, 이 정지된 안내플레이트(71)를 중심으로하여 평면 디스플레이를 수평방향으로 회전시킬 수 있다.In the method of rotating the flat panel display in the horizontal direction, the front and rear motion methods described above do not operate the two motors 74 in the same manner, but operate each of the individual front and rear of only one pair of guide plates 71. When the movement, the first turning means 50 and the base frame 10 rotatably coupled to the cross roller bearing 76 on the upper side of the guide plate 71 to rotate in one horizontal direction. That is, one guide plate 71 moves forward and backward and the other guide plate 71 is in a stationary state, and the flat display can be rotated horizontally around the stationary guide plate 71. have.

물론, 상기 한 쌍의 안내플레이트(71)를 동시에 전,후 운동시키면서 각 안내플레이트(71) 상호간에 운동거리를 다르게 하여도 평면 디스플레이를 수평방향으로 회전시킬 수 있는 것이다.Of course, the flat display can be rotated in the horizontal direction while the pair of guide plates 71 are moved forward and backward at the same time while varying the movement distance between the guide plates 71.

상기한 본 발명에 따르면, 엘씨디(LCD), 피디피(PDP), OLED 등의 모든 평면 디스플레이의 검사를 적어도 5개 이상의 자유도를 가지고 움직이면서 보다 정확하고 신속하게 할 수 있어서 생산성이 향상되고 불량 제품의 완벽한 선별이 가능하다.According to the present invention described above, all flat panel displays such as LCD, LCD, OLED, etc. can be inspected more accurately and quickly while moving with at least five degrees of freedom, improving productivity and perfecting defective products. Screening is possible.

또한, 상,하 운동에 있어 상기 승하강수단이 텔레스코픽 구조를 가짐으로서 검사장치를 최대한 낮게하여 설치시 공간확보의 용이성 및 평면 디스플레이 투입로봇의 제작비가 절감된다.In addition, the elevating means has a telescopic structure in the up and down movement, thereby making the inspection device as low as possible, thereby facilitating the space during installation and reducing the manufacturing cost of the flat display input robot.

그리고, 상,하 방향으로의 운동시 양쪽 모터의 완벽한 동기제어가 어렵거나 또한 장치가 거대하여서 가공 및 조립시 오차가 발생하더라도 모터의 작동시 양쪽높이를 하드웨어적으로 보상해줌으로서 파손방지 및 정속성 그리고 저진동이 가능하다.In addition, even if the movement of the motor in the up and down direction is difficult, perfect synchronization control of both motors, or the device is huge, even if errors occur during machining and assembling, the hardware is compensated for both heights during the operation of the motor to prevent damage and constant speed And low vibration is possible.

Claims (12)

일정한 형태의 베이스 프레임(10);A base frame 10 of a predetermined form; 상기 베이스 프레임(10)의 양단부에 각각 수직으로 설치되며 내부에 설치된 모터(21b)의 구동으로 승하강하는 한 쌍의 승하강수단(20); A pair of elevating means (20), which are installed at both ends of the base frame (10) and are vertically moved up and down by driving the motor (21b) installed therein; 상기 한 쌍의 승하강수단(20)의 상측을 연결하도록 설치되며 승하강수단(20)과 함께 승하강하는 승하강체(30);A lifting body 30 which is installed to connect the upper side of the pair of lifting means 20 to move up and down with the lifting means 20; 상기 승하강체(30)의 상측에 회전가능하게 설치되며 안착되는 평면 디스플레이를 회전가능하게 지지하는 스테이지(40)A stage 40 rotatably installed on the upper and lower bodies 30 and rotatably supporting a flat panel display seated thereon. 를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평면 디스플레이 검사장치.Flat display inspection apparatus comprising a. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 승하강수단(20)은 상기 베이스 프레임(10)에 수직으로 결합되고 하단부에 상기 모터(21b)가 설치되어 높이방향으로 상기 모터(21b)의 구동으로 회전하는 볼스크류(21c)가 구비된 지지플레이트(21)와,The lifting means 20 is coupled to the base frame 10 in a vertical direction and the motor 21b is installed at the lower end is provided with a ball screw 21c that rotates by the drive of the motor 21b in the height direction Support plate 21, 상기 지지플레이트(21)와 일정간격 이격되고 상측면에 상기 승하강체(30)의 단부가 결합된 캐리어(23)와,A carrier 23 spaced apart from the support plate 21 at a predetermined interval and having an end portion of the elevating body 30 coupled to an upper side thereof; 상기 지지플레이트(21)와 캐리어(23)의 사이에 설치되고 내,외측면이 상기 지지플레이트(21)와 캐리어(23)에 각각 직선안내수단(24)으로 슬라이딩 결합됨과 동시에 상기 볼스크류(21c)와 결합되어 볼스크류(21c)의 회전시 승하강하는 중간플 레이트(22)와,The ball screw 21c is installed between the support plate 21 and the carrier 23, and the inner and outer surfaces are slidably coupled to the support plate 21 and the carrier 23 by linear guide means 24, respectively. ) Is combined with the intermediate plate 22 to move up and down during the rotation of the ball screw 21c, 상기 중간플레이트(22)의 승하강운동에 연동하여 상기 캐리어(23)를 승하강시키는 운동전달수단(25)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평면 디스플레이 검사장치.Flat display inspection device, characterized in that consisting of the movement transmission means (25) for raising and lowering the carrier (23) in conjunction with the lifting and lowering movement of the intermediate plate (22). 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 직선안내수단(24)은 상기 지지플레이트(21)와 중간플레이트(22) 및 캐리어(23)의 각각의 사이에 LM블럭(21d)(23a)과 LM레일(22a)을 설치하여 상호 슬라이딩 결합하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평면 디스플레이 검사장치.The linear guide means 24 is slidably coupled to each other by installing the LM block 21d (23a) and the LM rail (22a) between each of the support plate 21, the intermediate plate 22 and the carrier 23 Flat display inspection device, characterized in that made. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 운동전달수단(25)은 상기 중간플레이트(22)의 양단부에 설치되는 피니언(22c)과, 상기 지지플레이트(21)와 캐리어(23)의 마주하는 면에 각각 설치되어 상기 피니언(22c)과 맞물려 결합되는 래크(21e)(23b)로 이루어진 것을 특징으로 하는 평면 디스플레이 검사장치.The exercise transmission means 25 is installed on the opposite surface of the pinion (22c) and the support plate 21 and the carrier 23, respectively installed on both ends of the intermediate plate 22 and the pinion (22c) Flat display inspection device, characterized in that consisting of the rack (21e, 23b) to be engaged. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 한 쌍의 승하강수단(20)과 상기 승하강체(30)의 양단부는 각각 힌지유닛(60)으로 회전가능하게 연결/결합되는 것을 특징으로 하는 평면 디스플레이 검사장치.Both pairs of the elevating means (20) and the both ends of the elevating body (30) is a flat display inspection device, characterized in that rotatably connected / coupled to the hinge unit (60). 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, wherein 상기 승하강체(30)의 일단부는 상기 힌지유닛(60)과의 사이에 LM블럭(65) 및 LM레일(66)을 설치하여 상호 슬라이딩 가능하게 결합된 것을 특징으로 하는 평면 디스플레이 검사장치.One end of the elevating body (30) is a flat panel display inspection device, characterized in that the sliding unit is coupled to each other by installing the LM block (65) and the LM rail (66) between the hinge unit (60). 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 스테이지(40)는 상기 승하강체(30)의 양단부 상측면에 각각 설치되는 서포트(41) 및 감속기어박스(42)와, The stage 40 includes a support 41 and a reduction gear box 42 which are respectively installed on the upper side surfaces of both ends of the elevating body 30; 상기 서포트(41) 및 감속기어박스(42)에 양단부의 회전축(44b)이 각각 회전가능하게 설치되며 평면 디스플레이가 안착되는 글래스홀더(44)와,Glass holders 44 are rotatably installed at both ends of the support 41 and the reduction gear box 42 so that the flat display is seated, 상기 감속기어박스(42)의 일측에 설치되어 상기 글래스홀더(44)를 회전시키는 모터(43)로 이루어진 것을 특징으로 하는 평면 디스플레이 검사장치.Flat display inspection device, characterized in that made of a motor 43 is installed on one side of the reduction gear box 42 to rotate the glass holder (44). 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 승하강체(30)는 상기 글래스홀더(44)의 회전시 간섭이 발생하지 않도록 상기 한 쌍의 승하강수단(20)의 사이 부분이 하측방향으로 함몰된 "U"자 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 평면 디스플레이 검사장치.The lifting and lowering body 30 is formed in a "U" shape in which a portion between the pair of lifting means 20 is recessed downward so that interference does not occur when the glass holder 44 is rotated. Flat display inspection apparatus. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 8, 상기 베이스 프레임(10)의 하측에는 상기 베이스 프레임(10)을 좌,우 방향으로 움직이게 하는 제 1 방향전환수단(50)이 설치되는 것을 특징으로 하는 평면 디스플레이 검사장치.Flat display inspection device, characterized in that the first direction switching means (50) for moving the base frame 10 in the left and right direction is installed below the base frame (10). 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 제 1 방향전환수단(50)은 상기 베이스 프레임(10)의 하측에 LM블럭(52) 및 LM레일(53)을 설치하여 슬라이딩 가능하게 결합된 베이스 플레이트(51)와, 상기 베이스 플레이트(51)의 상측면에 설치되는 모터(54) 및 상기 모터(54)의 구동으로 회전하는 피니언(55)과, 상기 베이스 프레임(10)의 일측면에 길이방향으로 설치되어 상기 피니언(55)과 맞물려 결합된 래크(56)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평면 디스플레이 검사장치.The first direction switching means 50 is installed on the lower side of the base frame 10, the LM block 52 and the LM rail 53, the base plate 51 and slidably coupled, the base plate 51 And a pinion 55 which is rotated by the driving of the motor 54 and the motor 54 installed on the upper side of the crankshaft, and installed on one side of the base frame 10 in the longitudinal direction to engage with the pinion 55. Flat display inspection device, characterized in that made of a combined rack (56). 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 제 1 방향전환수단(50)의 하측에는 상기 제 1 방향전환수단(50)을 회전 및 전,후 방향으로 움직이게 하는 제 2 방향전환수단(70)이 설치되는 것을 특징으로 하는 평면 디스플레이 검사장치.Below the first direction switching means 50, the flat display inspection device, characterized in that the second direction switching means 70 for rotating and moving the first direction switching means 50 in the front and rear directions are installed. . 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, 상기 제 2 방향전환수단(70)은 일정한 형태의 바닥프레임(70a)과,The second direction switching means 70 and the bottom frame 70a of a predetermined form, 상기 바닥프레임(70a)의 상측에 상호 일정간격 이격됨과 아울러 LM블럭(72) 및 LM레일(73)을 설치하여 슬라이딩 가능하게 결합되며 각각 일측에 설치된 모터(74)의 구동으로 회전하는 볼스크류(75)와 결합되어 볼스크류(75)의 회전시 전,후 운동하는 한 쌍의 안내플레이트(71)와,Ball screws that are spaced apart from each other at a predetermined interval on the bottom of the bottom frame (70a) and slidably installed by installing the LM block 72 and the LM rail (73), each of which is driven by the driving of the motor 74 installed on one side ( A pair of guide plates 71 coupled to 75 to move before and after the ball screw 75 rotates, 상기 한 쌍의 안내플레이트(71)의 상측에 설치됨과 아울러 상기 베이스플레이트(51)와는 LM블럭(77) 및 LM레일(78)에 의해 슬라이딩 가능하게 결합되어 상기 제 1 방향전환수단(50)을 회전가능하게 지지하는 크로스롤러베어링(76)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 평면 디스플레이 검사장치.It is installed on the upper side of the pair of guide plate 71 and the base plate 51 is slidably coupled by the LM block 77 and the LM rail 78 to the first direction switching means (50) Flat display inspection device, characterized in that consisting of a rotatable cross roller bearing (76).
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