KR102297834B1 - Rotational stage apparatus for inspecting a large scale panel - Google Patents

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주식회사 디이엔티
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Abstract

본 발명은 대형 패널을 검사하기 위한 회전스테이지 장치에 있어서: 고정프레임(10); 상기 고정프레임(10)에 모션프레임(21)을 자세변동 가능하게 연결하고, 모션프레임(21)의 전면으로 홀딩프레임(25)을 구비하는 탑재수단(20); 상기 홀딩프레임(25)에 패널을 지지하도록 클램프(32)를 구비하는 지지수단(30); 및 상기 모션프레임(21)의 양측으로 설치되는 LM가이드(41)에 구동모터(45)를 연결하여 자세변동을 유발하는 변위수단(40);을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 박판화ㆍ대형화되는 OLED 디스플레이 패널의 양산 공정에서 피검사물을 다자유도로 자세를 변동하여도 처짐이 없는 지지가 가능하여 검사 시간을 단축하고 정확도를 높이는 효과가 있다.The present invention provides a rotating stage apparatus for inspecting a large panel: a fixed frame (10); Mounting means (20) for connecting the motion frame (21) to the fixed frame (10) so as to be able to change the posture, and having a holding frame (25) in front of the motion frame (21); a support means (30) having a clamp (32) to support the panel on the holding frame (25); and a displacement means (40) for inducing posture change by connecting the driving motor (45) to the LM guides (41) installed on both sides of the motion frame (21).
Accordingly, in the mass production process of thinned and large-sized OLED display panels, it is possible to support the object to be inspected without sagging even by changing the posture with multiple degrees of freedom, thereby shortening the inspection time and increasing the accuracy.

Figure R1020200019960
Figure R1020200019960

Description

대형 패널 검사용 회전스테이지 장치 {Rotational stage apparatus for inspecting a large scale panel}Rotational stage apparatus for inspecting a large scale panel

본 발명은 패널 검사용 지그에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 OLED 디스플레이에 소요되는 박판 구조의 피검사물을 탑재하기 위한 대형 패널 검사용 회전스테이지 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a jig for panel inspection, and more particularly, to a rotating stage device for large panel inspection for mounting an object to be inspected having a thin plate structure required for an OLED display.

OLED 디스플레이를 양산하는 현장에서 최종적인 구동 검사에 이르기까지 공정별로 다수의 검사를 거치게 된다. 이 과정에서 OLED 디스플레이를 소정의 지그장치에 탑재하고 '프로브 핀(Probe Pin)'을 사용하여 양품 여부에 대한 판정을 내린다. OLED 디스플레이가 대형화되는 추세에서 다수의 신호 채널과 더불어 표면 평탄도를 유지하는 것이 중요한 설계요소이다.From the field where OLED displays are mass-produced to the final driving test, a number of inspections are carried out for each process. In this process, the OLED display is mounted on a predetermined jig device and a 'probe pin' is used to determine whether the product is good or not. In the trend of larger OLED displays, maintaining surface flatness along with multiple signal channels is an important design factor.

OLED 디스플레이 검사와 관련되어 하기의 한국 공개특허공보 제2017-0090774호(선행문헌 1), 한국 등록특허공보 제0712679호(선행문헌 2) 등과 같은 선행기술문헌을 참조할 수 있다.In relation to OLED display inspection, reference may be made to prior art documents such as the following Korean Patent Application Laid-Open No. 2017-0090774 (Prior Document 1) and Korean Patent Publication No. 0712679 (Prior Document 2).

선행문헌 1은 OLED 디스플레이 패널이 안착되며, 공기가 흡입되거나 토출되는 복수 개의 기공이 형성되고, 횡 방향 수평이동 및 종 방향 수평이동 가능하게 형성되는 스테이지유닛; 상하 이동 가능하게 형성되며, 스테이지유닛이 종 방향으로 이동되는 상태에서 하향되어 OLED 디스플레이 패널의 각 셀을 전기적 신호로 검사하는 프로브유닛; 등을 포함한다. 이에, 패널의 처짐/휨 형상이 발생하지 않아 정밀한 검사를 수행하는 효과를 기대한다.Prior Document 1 discloses a stage unit in which an OLED display panel is seated, a plurality of pores through which air is sucked or discharged, is formed, and is formed to be movable horizontally in a lateral direction and horizontally in a longitudinal direction; a probe unit which is formed to be movable up and down, and is downward in a state in which the stage unit is moved in the longitudinal direction to inspect each cell of the OLED display panel with an electrical signal; etc. Accordingly, the effect of performing a precise inspection is expected because the sagging/bending shape of the panel does not occur.

선행문헌 2에 따른 스테이지는 승하강체의 양단부에 각각 설치되는 서포트 및 감속기어박스와, 평면 디스플레이를 회전가능하게 지지하고 평면디스플레이가 안착되는 글래스홀더와, 글래스홀더를 회전시키는 모터로 구성된다. 이에, 5개 이상의 자유도를 기반으로 정확하고 신속하게 검사하여 생산성이 향상되고 불량 제품의 완벽한 선별이 가능한 효과를 기대한다.The stage according to Prior Document 2 includes a support and a reduction gearbox respectively installed at both ends of an elevating body, a glass holder that rotatably supports a flat display and the flat display is seated, and a motor that rotates the glass holder. Therefore, it is expected that the productivity will be improved by accurately and quickly inspected based on 5 or more degrees of freedom, and the effect of perfect selection of defective products is expected.

그러나, 상기한 선행기술문헌에 의하면 OLED 패널의 규격이 대형화될수록 양산에 적용하기에 미흡하여 개선의 여지를 보이고 있다.However, according to the above-mentioned prior art literature, as the size of the OLED panel increases, it is insufficient to be applied to mass production, showing room for improvement.

한국 공개특허공보 제2017-0090774호 "OLED 디스플레이 패널의 검사장치 및 이를 이용한 OLED 디스플레이 패널의 검사방법" (공개일자 : 2017.8.08.)Korean Patent Application Laid-Open No. 2017-0090774 "A device for inspecting an OLED display panel and a method for inspecting an OLED display panel using the same" (Publication date: August 8, 2017) 한국 등록특허공보 제0712679호 "평면 디스플레이 검사장치" (공개일자 : 2006.09.20.)Korean Patent Publication No. 0712679 "Flat Display Inspection Device" (published on September 20, 2006)

상기와 같은 종래의 문제점들을 개선하기 위한 본 발명의 목적은, OLED 디스플레이 패널의 규격이 박판화ㆍ대형화되어도 양산 공정에서 피검사물을 처짐이 없이 지지한 상태에서 다양한 자세로 일련의 검사를 진행할 수 있는 대형 패널 검사용 회전스테이지 장치를 제공하는 데 있다.It is an object of the present invention to improve the conventional problems as described above, even if the standard of the OLED display panel is thinned and enlarged, it is a large format that can perform a series of inspections in various postures while supporting the object to be inspected without sagging in the mass production process. To provide a rotating stage device for panel inspection.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 대형 패널을 검사하기 위한 회전스테이지 장치에 있어서: 고정프레임; 상기 고정프레임에 모션프레임을 자세변동 가능하게 연결하고, 모션프레임의 전면으로 홀딩프레임을 구비하는 탑재수단; 상기 홀딩프레임에 패널을 지지하도록 클램프를 구비하는 지지수단; 및 상기 모션프레임의 양측으로 설치되는 LM가이드에 구동모터를 연결하여 자세변동을 유발하는 변위수단;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a rotating stage apparatus for inspecting a large panel: a fixed frame; Mounting means for connecting the motion frame to the fixed frame so as to be able to change the posture, and having a holding frame in front of the motion frame; support means having a clamp to support the panel on the holding frame; and a displacement means for inducing posture change by connecting a driving motor to the LM guides installed on both sides of the motion frame.

본 발명의 변형예로서, 상기 모션프레임은 홀딩프레임의 상대변위를 유발하는 연결대를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.As a modified example of the present invention, the motion frame is characterized in that it further includes a connecting rod for causing the relative displacement of the holding frame.

본 발명의 세부 구성에 의하면, 상기 지지수단은 패널의 처짐을 방지하도록 홀딩프레임의 중간 위치에 수직으로 지지대를 구비하는 것을 특징으로 한다.According to the detailed configuration of the present invention, the support means is characterized in that it is provided with a support vertically in the middle position of the holding frame to prevent sagging of the panel.

본 발명의 세부 구성에 의하면, 상기 변위수단은 LM가이드의 메인레일에 탑재된 구동블록을 개재하여 모션프레임에 힌지축으로 연결되고, 구동모터의 회전력을 전동부를 통하여 양측의 LM가이드에 동시에 전달하는 것을 특징으로 한다.According to the detailed configuration of the present invention, the displacement means is connected to the motion frame by a hinge axis through a driving block mounted on the main rail of the LM guide, and simultaneously transmits the rotational force of the driving motor to the LM guides on both sides through the electric part. characterized in that

본 발명의 세부 구성에 의하면, 상기 힌지축은 모션프레임에 고정되는 서브레일에 탑재된 피동블록을 개재하여 회전 가능하게 지지되는 것을 특징으로 한다.According to the detailed configuration of the present invention, the hinge shaft is characterized in that it is rotatably supported via a driven block mounted on a sub-rail fixed to the motion frame.

이상과 같이 본 발명에 의하면, 박판화ㆍ대형화되는 OLED 디스플레이 패널의 양산 공정에서 피검사물을 다자유도로 자세를 변동하여도 처짐이 없는 지지가 가능하여 검사 시간을 단축하고 정확도를 높이는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, in the mass production process of the thinned and large OLED display panel, it is possible to support the object to be inspected without sagging even when the posture is changed with multiple degrees of freedom, thereby shortening the inspection time and increasing the accuracy.

도 1은 본 발명에 따른 장치를 전체적으로 나타내는 사시도
도 2는 본 발명에 따른 장치의 지지수단을 나타내는 평면도
도 3은 본 발명에 따른 장치의 변위수단을 나타내는 사시도
도 4는 본 발명에 따른 장치의 변위수단에 대한 확대도1 is a perspective view of an apparatus according to the present invention as a whole;
2 is a plan view showing the supporting means of the device according to the present invention;
3 is a perspective view showing the displacement means of the device according to the present invention;
4 is an enlarged view of the displacement means of the device according to the present invention;

이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail based on the accompanying drawings.

본 발명은 대형 패널을 검사하기 위한 회전스테이지 장치에 관하여 제안한다. OLED 디스플레이에 소요되는 박판 구조의 패널 검사를 대상으로 하지만 반드시 이에 국한되는 것은 아니다. 검사용 회전스테이지에 로딩되는 패널은 부호 PN의 피검사물로 명명한다.The present invention proposes a rotating stage apparatus for inspecting a large panel. It is intended for panel inspection of thin-plate structure required for OLED display, but is not necessarily limited thereto. The panel loaded on the rotating stage for inspection is designated as an object to be inspected with the symbol PN.

본 발명은 후술하는 제반 구성품들을 탑재하는 고정프레임(10)을 기반으로 한다. 고정프레임(10)은 강성을 높이도록 이중 구조이면서 측방향에서 볼 때 대략 L자형을 이루고 있다.The present invention is based on a fixed frame 10 for mounting various components to be described later. The fixed frame 10 has a double structure to increase rigidity and is approximately L-shaped when viewed from the lateral direction.

또한, 본 발명에 따르면 탑재수단(20)이 상기 고정프레임(10)에 모션프레임(21)을 자세변동 가능하게 연결하고, 모션프레임(21)의 전면으로 홀딩프레임(25)을 구비하는 구조를 이룬다. 탑재수단(20)은 모션프레임(21)과 홀딩프레임(25)을 골격으로 한다. 모션프레임(21)은 고정프레임(10)에 힌지축(23)을 개재하여 회동 가능하게 연결된다. 모션프레임(21)은 수평 상태에서 90˚ 이상의 범위로 상승될 수 있다. 홀딩프레임(25)은 실질적으로 피검사물(PN)을 로딩하는 부분으로서 모션프레임(21)의 전면에 일정한 간격을 유지하도록 장착된다.In addition, according to the present invention, the mounting means 20 connects the motion frame 21 to the fixed frame 10 so as to be able to change the posture, and has a structure including a holding frame 25 in front of the motion frame 21 . accomplish The mounting means 20 has the motion frame 21 and the holding frame 25 as a skeleton. The motion frame 21 is rotatably connected to the fixed frame 10 via a hinge shaft 23 . The motion frame 21 may be raised in a range of 90° or more in a horizontal state. The holding frame 25 is mounted to maintain a constant interval on the front of the motion frame 21 as a part for substantially loading the object to be inspected (PN).

본 발명의 변형예로서, 상기 모션프레임(21)은 홀딩프레임(25)의 상대변위를 유발하는 연결대(27)를 더 구비하는 것을 특징으로 한다. As a modified example of the present invention, the motion frame 21 is characterized in that it further includes a connecting rod 27 for causing a relative displacement of the holding frame 25 .

도 1 및 도 2를 참조하면, 피검사물(PN)의 배면을 검사하기 위해 모션프레임(21) 및 홀딩프레임(25) 사이의 틈새로 프로브(도시 생략)가 출입 및 이동한다. 연결대(27)는 회전스테이지에 전체적으로 4~6개소에 설치되며, 미소한 행정으로 정밀한 위치제어 가능한 구조를 적용한다. 검사 과정에서 연결대(27)를 가동하면 모션프레임(21)과 홀딩프레임(25)의 간격을 일시 증대하여 검사의 신속성과 정확성을 향상한다.1 and 2 , a probe (not shown) moves in and out of a gap between the motion frame 21 and the holding frame 25 in order to inspect the back surface of the object to be inspected (PN). The connecting rod 27 is installed in 4 to 6 places as a whole on the rotating stage, and a structure capable of precise positioning with a minute stroke is applied. When the connecting rod 27 is operated during the inspection process, the interval between the motion frame 21 and the holding frame 25 is temporarily increased to improve the speed and accuracy of the inspection.

또한, 본 발명에 따르면 지지수단(30)이 상기 홀딩프레임(25)에 패널을 지지하도록 클램프(32)를 구비하는 구조를 이루고 있다. 지지수단(30)은 다수의 클램프(32)와 더불어 다수의 스토퍼(34)를 이용하여 피검사물(PN)을 지지한다. 클램프(32)는 홀딩프레임(25)의 양측 변부에 수평이동 가능하게 설치된다. 스토퍼(34)는 홀딩프레임(25)의 상변과 하변에 대향되도록 설치된다. 클램프(32)와 스토퍼(34)는 간격 조절을 위해 이동 가능하게 구성하는 것이 바람직하다.In addition, according to the present invention, the support means 30 has a structure including a clamp 32 to support the panel on the holding frame 25 . The support means 30 supports the object PN by using a plurality of clamps 32 and a plurality of stoppers 34 . The clamp 32 is installed to be horizontally movable on both sides of the holding frame 25 . The stopper 34 is installed to face the upper and lower sides of the holding frame 25 . The clamp 32 and the stopper 34 are preferably configured to be movable for spacing adjustment.

본 발명의 세부 구성에 의하면, 상기 지지수단(30)은 패널의 처짐을 방지하도록 홀딩프레임(25)의 중간 위치에 수직으로 지지대(36)를 구비하는 것을 특징으로 한다. According to the detailed configuration of the present invention, the support means (30) is characterized in that it is provided with a support (36) perpendicular to the middle position of the holding frame (25) to prevent sagging of the panel.

도 1 및 도 2에서, 홀딩프레임(25)의 중간 위치에 2개의 지지대(36)가 수직으로 설치된 상태를 예시한다. 피검사물(PN)이 대형 OLED 디스플레이 패널인 경우 모션프레임(21)과 홀딩프레임(25)으로 자세가 변동되는 과정에서 요동이 발생하기 쉽다. 패널의 자세가 변동되지 않는 상태에서도 처짐이 발생하여 측정의 정확도를 낮추게 된다. 지지대(36)는 일정한 폭의 바 형태이지만 강성이 높은 소재로 형성한다. 지지대(36)는 간격 조절을 위해 이동 가능하게 구성하는 것이 바람직하다.1 and 2, the two supports 36 at the middle position of the holding frame 25 are illustrated in a vertically installed state. When the object to be inspected (PN) is a large OLED display panel, fluctuations are likely to occur in the process of changing the posture to the motion frame 21 and the holding frame 25 . Deflection occurs even when the posture of the panel does not change, reducing the accuracy of measurement. The support 36 has a bar shape of a certain width, but is formed of a material with high rigidity. The support 36 is preferably configured to be movable for spacing adjustment.

또한, 본 발명에 따르면 변위수단(40)이 상기 모션프레임(21)의 양측으로 설치되는 LM가이드(41)에 구동모터(45)를 연결하여 자세변동을 유발하는 구조를 이루고 있다. 변위수단(40)은 하나의 구동모터(45)와 2개의 LM가이드(41)를 기반으로 모션프레임(21)의 뒤틀림 없는 회동을 수행한다. 대형의 모션프레임(21)을 하나의 LM가이드(41)로 회동시키는 것은 궁극적으로 패널의 왜곡을 유발한다.In addition, according to the present invention, the displacement means 40 is configured to induce a posture change by connecting the driving motor 45 to the LM guides 41 installed on both sides of the motion frame 21 . The displacement means 40 performs distortion-free rotation of the motion frame 21 based on one driving motor 45 and two LM guides 41 . Rotating the large motion frame 21 with one LM guide 41 ultimately causes panel distortion.

본 발명의 세부 구성에 의하면, 상기 변위수단(40)은 LM가이드(41)의 메인레일(42)에 탑재된 구동블록(43)을 개재하여 모션프레임(21)에 힌지축(55)으로 연결되고, 구동모터(45)의 회전력을 전동부(47)를 통하여 양측의 LM가이드(41)에 동시에 전달하는 것을 특징으로 한다.According to the detailed configuration of the present invention, the displacement means 40 is connected to the motion frame 21 via a hinge shaft 55 via a driving block 43 mounted on the main rail 42 of the LM guide 41 . It is characterized in that the rotational force of the driving motor 45 is simultaneously transmitted to the LM guides 41 on both sides through the electric part 47.

도 3 및 도 4를 참조하면, 변위수단(40)을 구성하는 메인레일(42), 구동블록(43), 구동모터(45), 전동부(47), 힌지축(55) 등이 나타난다. 메인레일(42)과 구동블록(43)은 LM가이드(41)를 이루는 주요 구성품이다. 메인레일(42)은 고정프레임(10)에 대하여 경사진 방향으로 설치된다. 구동블록(43)은 메인레일(42) 상에 직선운동 가능하게 지지된다. 구동블록(43)은 힌지축(55)을 개재하여 모션프레임(21)에 연결된다. 구동모터(45)는 기어드모터나 서보모터를 사용하며 고정프레임(10)의 후면 중앙에 설치된다. 전동부(47)는 다수의 베벨기어를 포함하여 구성되고, 구동모터(45)의 동력을 양측의 LM가이드(41)로 전달한다.3 and 4 , the main rail 42 , the driving block 43 , the driving motor 45 , the electric part 47 , the hinge shaft 55 and the like constituting the displacement means 40 are shown. The main rail 42 and the driving block 43 are major components constituting the LM guide 41 . The main rail 42 is installed in an inclined direction with respect to the fixed frame 10 . The driving block 43 is supported on the main rail 42 so as to be capable of linear motion. The driving block 43 is connected to the motion frame 21 via the hinge shaft 55 . The driving motor 45 uses a geared motor or a servo motor and is installed in the center of the rear surface of the fixed frame 10 . The electric part 47 is configured to include a plurality of bevel gears, and transmits the power of the driving motor 45 to the LM guides 41 on both sides.

이에 따라, 구동모터(45)가 일방향으로 회전하면 전동부(47)를 통하여 양측의 LM가이드(41)가 동일한 방향으로 회전하고, 양측의 구동블록(43)이 승강하는 것에 연동하여 힌지축(55)를 통한 모션프레임(21)의 회동이 유발된다. 이와 같은 방식에 의하면 대형 모션프레임(21)이라도 뒤틀림이 발생하지 않는다.Accordingly, when the drive motor 45 rotates in one direction, the LM guides 41 on both sides rotate in the same direction through the electric part 47, and the drive blocks 43 on both sides are linked to the lifting and lowering of the hinge shaft ( 55), the rotation of the motion frame 21 is induced. According to this method, no distortion occurs even in the large motion frame 21 .

본 발명의 세부 구성에 의하면, 상기 힌지축(55)은 모션프레임(21)에 고정되는 서브레일(52)에 탑재된 피동블록(53)을 개재하여 회전 가능하게 지지되는 것을 특징으로 한다.According to the detailed configuration of the present invention, the hinge shaft 55 is rotatably supported via a driven block 53 mounted on a sub-rail 52 fixed to the motion frame 21 .

도 4에서, LM가이드(41)의 구동블록(43)을 모션프레임(21)에 연결하는 서브레일(52), 피동블록(53), 힌지축(55) 등이 나타난다. 서브레일(52)은 모션프레임(21)의 양측 변부를 따라 평행하게 고정된다. 피동블록(53)은 서브레일(52) 상에 직선운동 가능하게 지지된다. 힌지축(55)은 구동블록(43)과 피동블록(53)에 회전 가능하게 지지된다.In FIG. 4 , a sub-rail 52 , a driven block 53 , a hinge shaft 55 and the like connecting the driving block 43 of the LM guide 41 to the motion frame 21 are shown. The sub-rails 52 are fixed in parallel along both sides of the motion frame 21 . The driven block 53 is supported so as to be capable of linear movement on the sub-rail 52 . The hinge shaft 55 is rotatably supported by the driving block 43 and the driven block 53 .

참고로, 도 4는 모션프레임(21)이 수직으로 세워진 상태이지만 확대도는 모션프레임(21)이 수평으로 뉘어진 상태로 나타낸다.For reference, although FIG. 4 is a state in which the motion frame 21 is erected vertically, an enlarged view is shown in a state in which the motion frame 21 is laid horizontally.

이에 따라, 구동모터(45)에서 구동블록(43)으로 전달된 동력은 힌지축(55), 피동블록(53), 서브레일(52)을 통하여 모션프레임(21)으로 전달된다. 이와 같은 구성에 의하면 모션프레임(21)의 힌지축(23)을 변부의 중심에 가깝게 배치할 수 있기에 모션프레임(21)의 회동 과정에서 하중(토크) 리플을 최소할 수 있다.Accordingly, the power transmitted from the driving motor 45 to the driving block 43 is transmitted to the motion frame 21 through the hinge shaft 55 , the driven block 53 , and the sub-rail 52 . According to this configuration, since the hinge shaft 23 of the motion frame 21 can be disposed close to the center of the edge, the load (torque) ripple can be minimized during the rotation of the motion frame 21 .

본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음이 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 변형예 또는 수정예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 해야 할 것이다.The present invention is not limited to the described embodiments, and it is apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made without departing from the spirit and scope of the present invention. Accordingly, it should be said that such variations or modifications fall within the scope of the claims of the present invention.

10: 고정프레임 20: 탑재수단
21: 모션프레임 23: 힌지축
25: 홀딩프레임 27: 연결대
30: 지지수단 32: 클램프
34: 스토퍼 36: 지지대
40: 변위수단 41: LM가이드
42: 메인레일 43: 구동블록
45: 구동모터 47: 전동부
52: 서브레일 53: 피동블록
55: 힌지축 PN: 피검사물10: fixed frame 20: mounting means
21: motion frame 23: hinge axis
25: holding frame 27: connecting rod
30: support means 32: clamp
34: stopper 36: support
40: displacement means 41: LM guide
42: main rail 43: drive block
45: drive motor 47: electric part
52: sub rail 53: driven block
55: hinge axis PN: object to be inspected

Claims (5)

대형 패널을 검사하기 위한 회전스테이지 장치에 있어서:
고정프레임(10);
상기 고정프레임(10)에 모션프레임(21)을 자세변동 가능하게 연결하고, 모션프레임(21)의 전면으로 홀딩프레임(25)을 구비하는 탑재수단(20);
상기 홀딩프레임(25)에 패널을 지지하도록 클램프(32)를 구비하는 지지수단(30); 및
상기 모션프레임(21)의 양측으로 설치되는 LM가이드(41)에 구동모터(45)를 연결하여 자세변동을 유발하는 변위수단(40);을 포함하되,
상기 모션프레임(21)은 홀딩프레임(25)의 간격을 일시 증대하도록 상대변위를 유발하는 연결대(27)를 더 구비하고,
상기 지지수단(30)은 패널의 처짐을 방지하도록 홀딩프레임(25)의 중간 위치에 수직으로 일정한 폭의 바 형태를 갖춘 지지대(36)를 구비하며,
상기 변위수단(40)은 LM가이드(41)의 메인레일(42)에 탑재된 구동블록(43)을 개재하여 모션프레임(21)에 힌지축(55)으로 연결되고, 구동모터(45)의 회전력을 전동부(47)를 통하여 양측의 LM가이드(41)에 동시에 전달하는 것을 특징으로 하는 대형 패널 검사용 회전스테이지 장치.In a rotating stage device for inspecting large panels:
Fixed frame (10);
Mounting means (20) for connecting the motion frame (21) to the fixed frame (10) so as to be able to change the posture, and having a holding frame (25) in front of the motion frame (21);
a support means (30) having a clamp (32) to support the panel on the holding frame (25); and
Displacement means 40 for inducing posture change by connecting the driving motor 45 to the LM guides 41 installed on both sides of the motion frame 21;
The motion frame 21 further includes a connecting rod 27 for causing a relative displacement to temporarily increase the interval between the holding frames 25,
The support means 30 is provided with a support 36 having a vertical bar shape of a constant width at an intermediate position of the holding frame 25 to prevent sagging of the panel,
The displacement means 40 is connected to the motion frame 21 via a hinge shaft 55 via a driving block 43 mounted on the main rail 42 of the LM guide 41, and A rotating stage device for large panel inspection, characterized in that the rotational force is simultaneously transmitted to the LM guides (41) on both sides through the electric part (47). 삭제delete 삭제delete 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 힌지축(55)은 모션프레임(21)에 고정되는 서브레일(52)에 탑재된 피동블록(53)을 개재하여 회전 가능하게 지지되는 것을 특징으로 하는 대형 패널 검사용 회전스테이지 장치.The method according to claim 1,
The hinge shaft (55) is a large panel inspection rotating stage device, characterized in that it is rotatably supported via a driven block (53) mounted on the sub-rail (52) fixed to the motion frame (21).
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