KR100590614B1 - Macro/Micro Tester of a Large-sized Glass - Google Patents

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Abstract

본 발명은 디스플레이의 유리기판을 검사하는 장치에 관한 것으로, 정반의 하면 중앙부에 설치되어 대상체를 상하로 업다운시키는 업다운 구동부; 업다운 구동부에 결합되어 정반 하면에서 상하로 이동하는 업다운 플레이트; 하부단부는 업다운 플레이트의 상면에 결합되고 상부단부는 정반을 관통하여 정반 상면으로 돌출되는 다수의 업다운 샤프트; 업다운 샤프트의 상승시에 하부 일측이 업다운 샤프트의 상부단부에 결합되어 업다운 샤프트의 상승에 따라 동반 상승하는 업다운 스테이지; 그리고 정반 상면에 고정설치되며, 업다운 스테이지가 소정 높이로 상승할 때 온 스위칭에 의하여 업다운 스테이지의 하부 일측에 결합되어 상승된 업다운 스테이지를 지지하는 스테이지 지지부 등을 포함하여 구성되는 대형 유리기판 매크로/마이크로 검사장치이다.The present invention relates to an apparatus for inspecting a glass substrate of a display, the apparatus comprising: an up-down driving unit installed at a center of a lower surface of a surface plate to up and down an object; An up-down plate coupled to the up-down driving unit and moving up and down on the lower surface of the surface plate; A plurality of up-down shafts having a lower end coupled to an upper surface of the up-down plate and an upper end penetrating the surface and protruding from the surface of the surface; An up-down stage coupled to an upper end of the up-down shaft when the up-down shaft is lifted up to accompany the up-down shaft; And a large glass substrate macro / micro, which is fixedly installed on the surface of the surface plate and includes a stage supporter coupled to one lower side of the updown stage by on switching to support the raised updown stage when the updown stage rises to a predetermined height. It is an inspection device.

Description

대형 유리기판의 매크로/마이크로 검사장치{Macro/Micro Tester of a Large-sized Glass}Macro / Micro Tester of a Large-sized Glass

도1은 본 발명의 대형 유리기판 매크로/마이크로 검사장치의 정면도,1 is a front view of a large glass substrate macro / micro inspection apparatus of the present invention;

도2는 본 발명의 대형 유리기판 매크로/마이크로 검사장치의 측면도,Figure 2 is a side view of a large glass substrate macro / micro inspection apparatus of the present invention,

도3은 본 발명의 대형 유리기판 매크로/마이크로 검사장치의 평면도,Figure 3 is a plan view of a large glass substrate macro / micro inspection apparatus of the present invention,

도4a 내지 도4e는 본 발명에 따른 대형 유리기판 매크로/마이크로 검사장치의 검사장치의 작용을 보여주는 동작 정면도들이다. 4A to 4E are front views showing the operation of the inspection apparatus of the large glass substrate macro / micro inspection apparatus according to the present invention.

- 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 --Explanation of symbols for the main parts of the drawing-

100: 정반 200: 업다운 구동부100: plate 200: up-down drive unit

300: 업다운 플레이트 400: 업다운 샤프트300: up-down plate 400: up-down shaft

500: 업다운 스테이지 600: 스테이지 지지부500: up-down stage 600: stage support

700: 마이크로 글라스바 800: 주 스테이지700: micro glass bar 800: main stage

본 발명은 디스플레이 생산 공정에 사용되는 유리기판 검사장치에 관한 것으 로, 상세하게는 대형 유리기판에 대한 매크로 및 마이크로 검사를 동시에 수행할 수 있는 유리기판 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to a glass substrate inspection apparatus used in a display production process, and more particularly, to a glass substrate inspection apparatus capable of simultaneously performing macro and micro inspection on a large glass substrate.

CRT(Cathode Ray Tube, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 등은 TV나 PC의 모니터를 통하여 정보를 시각적으로 제공하는 영상 인터페이스 장치로서, 영상 정보를 디스플레이하는 원리는 다르지만 디스플레이를 실현시켜 주는 핵심부품의 하나로서 유리기판을 사용한다.CRT (Cathode Ray Tube, Liquid Crystal Display (LCD), Plasma Display Panel (PDP), etc.) is a video interface device that provides information visually through a monitor of a TV or PC. Glass substrates are used as one of the key components.

예로서, TFT(Thin Film Transistor) LCD 디스플레이를 제조하는 공정을 보면, 디스플레이에 사용되는 유리기판은 컷팅 및 액정 주입이 이루어지기 전에 크롬 코팅, 블랙 매트릭스(BM) 코팅, ITO 코팅 등의 여러 공정을 거치는 데, 이때 유리기판은 그 면상에 이물 부착, 번짐, 공정 불량 등이 발생할 수 있다. 이러한 유리기판의 이물이나 번짐(얼룩) 등은 TFT LCD 디스플레이의 성능에 치명적 영향을 주게 되므로 철저하게 검사되어야 한다. 이러한 유리기판의 이물이나 얼룩 등을 찾아내는 장치가 유리기판 검사장치이다.As an example, in the process of manufacturing thin film transistor (TFT) LCD displays, the glass substrates used in the display undergo various processes such as chrome coating, black matrix (BM) coating, ITO coating, etc. before cutting and liquid crystal injection. In this case, the glass substrate may have foreign matter adhered, smeared, and defective processes on its surface. Such foreign matters and smears on the glass substrate have a fatal effect on the performance of the TFT LCD display and should be thoroughly examined. A device for finding foreign substances or stains on the glass substrate is a glass substrate inspection apparatus.

유리기판 검사장치는 일반적으로 육안으로 이물 등을 찾아내는 매크로(Macro) 검사장치와 현미경을 이용하여 불량 상태를 세밀하게 찾아내는 마이크로(Micro) 검사장치로 구분된다. 검사의 항목에 따라 매크로 검사와 마이크로 검사를 선택해야 하는 경우가 있기는 하지만, 작업자의 육안으로 유리기판 전체에 대하여 이물질 부착 등의 불량 상태를 먼저 검사하고, 매크로 검사 결과에 따라 세밀한 검사가 요구되는 부분에 대하여 약 25배 내지 100배로 확대하여 마이크로 검사를 수행하는 것이 보통이다.Glass substrate inspection apparatuses are generally classified into a macro inspection apparatus for finding foreign matters with the naked eye and a micro inspection apparatus for finding defects in detail using a microscope. Depending on the inspection items, it is sometimes necessary to select macro inspection or micro inspection.However, the inspection of defects such as foreign matters on the entire glass substrate is performed first with the naked eye, and detailed inspection is required according to the macro inspection results. It is common to perform micro-inspection with a magnification of about 25 to 100 times for the part.

매크로 검사와 마이크로 검사를 동시에 수행하는 매크로/마이크로 검사장치를 보면, 유기기판의 사이즈가 크지 않은 종래의 경우에는 프레임의 가장자리에 설치된 배큠부만으로도 유기기판을 지지고정하는 것이 가능하고 글라스바는 보조적으로 사용되었으나, 7세대(예를들어 1870×2200) 유리기판의 경우에는 프레임의 가장자리에 설치된 배큠부만으로는 유리기판을 지지고정하는 것이 불가능하여 지지핀으로 구성되는 마이크로 검사용 글라스바(이하, 마이크로 글라스바라 함)나 배큠부로 구성되는 매크로 검사용 글라스바(이하, 매크로 글라스바라 함)를 사용해야 한다.In the macro / micro inspection apparatus which simultaneously performs macro inspection and micro inspection, in the case of the conventional organic substrate having a small size, the organic substrate can be supported and fixed only by the placement part installed at the edge of the frame, and the glass bar can be used as an aid. However, in the case of the 7th generation (for example, 1870 × 2200) glass substrate, it is impossible to fix the glass substrate only by the distribution part installed at the edge of the frame. ) Or a macro inspection glass bar (hereinafter referred to as a macro glass bar) that consists of a venting part.

그런데, 종래의 매크로/마이크로 검사장치를 이용하여 대형 유리기판에 대하여 매크로 및 마이크로 검사를 동시에 수행하면, 검사 항목에 따라 매크로 글라스바와 마이크로 글라스바를 선택하여 설치하여야 한다. 이러한 글라스바의 교체 작업 등은 공정의 효율성을 떨어뜨리고, 검사 환경을 악화시킬 수 있으며, 더구나 글라스바의 설치가 장시간 수작업으로 이루어지는 등의 여러 사정에 비추어 볼 때, 유리기판의 검사효율을 크게 떨어뜨리는 결과를 초래하고 있다.By the way, when performing macro and micro inspection on a large glass substrate at the same time by using a conventional macro / micro inspection apparatus, the macro glass bar and the micro glass bar should be selected and installed according to the inspection item. The replacement of the glass bar may reduce the efficiency of the process and worsen the inspection environment. Moreover, in view of various circumstances such as the installation of the glass bar by manual operation for a long time, the inspection efficiency of the glass substrate is greatly reduced. It is causing the impact.

본 발명은 종래의 매크로/마이크로 검사장치의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 대형 유리기판의 매크로 및 마이크로 검사를 하나의 검사장치에서 동시에 수행할 때 매크로 및 마이크로 검사에 필요한 유리기판 지지용 글라스바를 자동으로 교체하여 글라스바의 새로운 설치에 따른 공정시간의 낭비를 줄이고, 검사환경의 오염을 방지시켜, 유리기판 검사의 효율성을 증대시키는 것을 목적으로 한다.
The present invention is to solve the problem of the conventional macro / micro inspection apparatus, when the macro and micro inspection of a large glass substrate is performed at the same time in one inspection device automatically to support the glass substrate supporting glass bar for macro and micro inspection In order to reduce the waste of processing time due to the new installation of the glass bar, and to prevent contamination of the inspection environment, the purpose of increasing the efficiency of glass substrate inspection.

이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 정반의 하면 중앙부에 설치되어 대상체를 상하로 업다운시키는 업다운 구동부; 업다운 구동부에 결합되어 정반 하면에서 상하로 이동하는 업다운 플레이트; 하부단부는 업다운 플레이트의 상면에 결합되고 상부단부는 정반을 관통하여 정반 상면으로 돌출되는 다수의 업다운 샤프트; 업다운 샤프트의 상승시에 하부 일측이 업다운 샤프트의 상부단부에 결합되어 업다운 샤프트의 상승에 따라 동반 상승하는 업다운 스테이지; 그리고 정반 상면에 고정설치되며, 업다운 스테이지가 소정 높이로 상승할 때 온 스위칭에 의하여 업다운 스테이지의 하부 일측에 결합되어 상승된 업다운 스테이지를 지지하는 스테이지 지지부를 포함하여 구성되는 대형 유리기판 매크로/마이크로 검사장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention is provided with an up-down driving unit installed in the center of the lower surface of the surface plate to up and down the object; An up-down plate coupled to the up-down driving unit and moving up and down on the lower surface of the surface plate; A plurality of up-down shafts having a lower end coupled to an upper surface of the up-down plate and an upper end penetrating the surface and protruding from the surface of the surface; An up-down stage coupled to an upper end of the up-down shaft when the up-down shaft is lifted up to accompany the up-down shaft; And a large glass substrate macro / micro inspection, which is fixedly installed on the upper surface and includes a stage support unit coupled to one lower side of the up-down stage by on switching to support the raised up-down stage when the up-down stage rises to a predetermined height. Provide the device.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도1은 본 발명에 따른 대형 유리기판 매크로/마이크로 검사장치의 정면도이고, 도2는 검사장치의 측면도, 그리고 도3은 검사장치의 평면도이다. 도1 내지 도3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 매크로/마이크로 검사장치는 정반(100), 업다운 구동부(200), 업다운 플레이트(300), 업다운 샤프트(400), 업다운 스테이지(500), 스테이지 지지부(600), 마이크로 글라스바(700), 주 스테이지(800) 등으로 구성된다.1 is a front view of a large glass substrate macro / micro inspection apparatus according to the present invention, FIG. 2 is a side view of the inspection apparatus, and FIG. 3 is a plan view of the inspection apparatus. As shown in Figures 1 to 3, the macro / micro inspection apparatus of the present invention is a surface plate 100, up-down driving unit 200, up-down plate 300, up-down shaft 400, up-down stage 500, stage The support part 600, the micro glass bar 700, the main stage 800, and the like.

정반(100)은 검사 과정에서 발생하는 열팽창이나 진동을 최소화하기 위하여 소정 두께의 자연석으로 구성되며, 검사 장치 전체를 지지한다. 정반(100)에는 다수의 관통공이 형성되어 있으며, 일부는 열팽창 등을 흡수하기 위한 목적으로 형성된 것도 있으나, 본 발명의 업다운 샤프트(400)가 상하로 이동하는 통로인 다수의 업다운 홀(110)이 상하 폭방향으로 형성되어 있다.The surface plate 100 is composed of natural stones having a predetermined thickness in order to minimize thermal expansion or vibration generated during the inspection process, and supports the entire inspection apparatus. The surface plate 100 is formed with a plurality of through-holes, some of which are formed for the purpose of absorbing thermal expansion, etc., a plurality of up-down holes 110 which is a passage for moving up and down shaft 400 of the present invention is It is formed in the vertical direction.

업다운 구동부(200)는 정반의 하면 중앙부에 설치되어 업다운 플레이트(300)를 상하로 이동시키는 구동수단이다. 업다운 구동부(200)는 구동모터(210)와 스크류(220)로 구성되며, 구동모터(210)의 동작에 의하여 스크류(220)가 회전하면서, 스크류(220)에 결합된 업다운 플레이트(300)를 상하로 이동시킨다. 본 발명에서 업다운 구동부(200)로서 이용하는 구동모터(210)와 스크류(220)의 결합구조는 하나의 실시예이며, 대상체를 선형적으로 또는 이산적으로 이동시키는 수단이라면 실린더 구동부, 리니터 모터 등의 다양한 수단이 이용될 수 있다. 또한, 본 발명은 업다운 구동부(200)를 정반 하면에 하나만 설치하였으나, 정반 하면에 대칭적으로 여러개 설치하여 동작의 안정성을 높일 수 있다.The up-down driving unit 200 is a driving unit installed in the lower surface center of the surface plate to move the up-down plate 300 up and down. Up-down drive unit 200 is composed of a drive motor 210 and a screw 220, the screw 220 is rotated by the operation of the drive motor 210, the up-down plate 300 coupled to the screw 220 Move up and down. In the present invention, the coupling structure of the driving motor 210 and the screw 220 used as the up-down driving unit 200 is one embodiment, and a cylinder driving unit, a liner motor, and the like, as long as the object moves linearly or discretely. Various means of may be used. In addition, in the present invention, only one up-down driving unit 200 is installed on the lower surface of the surface, but the symmetrical number of the surface of the lower surface can be installed to increase the stability of the operation.

업다운 플레이트(300)는 소정 크기의 넓이를 갖는 평판으로서, 평판의 중심부는 업다운 구동부(200)의 스크류(220)에 스크류 결합된다. 업다운 플레이트(300)는 업다운 구동부(200)의 구동에 따라 정반 하면에 수직되는 방향으로 접근하거나 멀어지는 형태로 상하 이동한다. 업다운 플레이트(300)는 정반의 평면 형상과 동일 하게 사각형 형태로 구비할 수 있으나, 상부에 고정되는 다수의 업다운 샤프트(400)의 결합 위치에 따라 그 형태가 달라질 수 있다. 예를들어, 업다운 플레이트(300)의 꼭지점 모두에 업다운 샤프트(400)가 설치되지 않는 경우에는 설치되지 않은 부분에는 평판부를 형성시키지 않는 등의 방법으로 업다운 플레이트(300)를 구성할 수 있다. 그러나, 업다운 플레이트(300)는 상부면에 설치되는 업다운 플레이트(300)의 하중을 균형있고 충분하게 지탱할 수 있는 기하학적 구조를 가져야 한다.The up-down plate 300 is a flat plate having a predetermined size, and the center of the flat plate is screwed to the screw 220 of the up-down driving unit 200. The up-down plate 300 moves up and down in a direction perpendicular to or away from the surface of the surface according to the driving of the up-down driving unit 200. The up-down plate 300 may be provided in a square shape in the same manner as the flat shape of the surface plate, but the shape thereof may vary depending on the coupling position of the plurality of up-down shafts 400 fixed to the upper portion. For example, when the up-down shaft 400 is not installed at all of the vertices of the up-down plate 300, the up-down plate 300 may be configured by a method such as not forming a flat plate at the uninstalled portion. However, the up-down plate 300 should have a geometry that can balance and fully support the load of the up-down plate 300 installed on the upper surface.

업다운 샤프트(400)는 원주 형태를 가지며, 하부 단부는 업다운 플레이트(30)의 상부면에 고정 결합되고, 상부 단부는 정반(100)의 업다운 홀(110)을 관통하여 정반(100) 상면에 돌출된다. 업다운 샤프트(400)는 업다운 플레이트(300)의 상방향 이동거리만큼 이동하여, 업다운 스테이지(500)의 특정 하부면을 가압하면서 업다운 스테이지(500)를 상부로 이동시킨다. 업다운 샤프트(400)의 하부 단부는 업다운 플레이트(300)의 상부면에 볼트-너트 결합 등으로 고정되고, 상부 단부는 돌기 형태로 구성되어 정반의 업다운 홀(110)을 관통하면서 상하 이동한다. 업다운 샤프트(400)를 스플라인 형태로 그리고 정반의 업다운 홀(110)을 키홈으로 구성하여, 스플라인 형상의 업다운 샤프트(400)가 업다운 홀(110)에서 길이 방향으로 미끄럼 이동시키면 보다 안정적인 동작이 가능하다.The up-down shaft 400 has a circumferential shape, the lower end is fixedly coupled to the upper surface of the up-down plate 30, the upper end penetrates through the up-down hole 110 of the surface plate 100 and protrudes on the surface surface of the surface plate 100. do. The up-down shaft 400 moves by the upward movement distance of the up-down plate 300 to move the up-down stage 500 upward while pressing a specific lower surface of the up-down stage 500. The lower end of the up-down shaft 400 is fixed to the upper surface of the up-down plate 300 by a bolt-nut coupling or the like, and the upper end is configured in the form of a protrusion to move up and down while passing through the up-down hole 110 of the surface plate. By constructing the up-down shaft 400 in the form of a spline and the up-down hole 110 of the surface plate as a key groove, when the spline-shaped up-down shaft 400 slides in the longitudinal direction from the up-down hole 110, more stable operation is possible. .

업다운 스테이지(500)는 마이크로 검사용 유리기판을 지지 고정하는 것으로 서, 주 스테이지(800)에 내장되어 상하 이동한다. 업다운 스테이지(500)의 상부에는 마이크로 글라스바(700)가 다수 설치된다. 주 스테이지(800)를 이용하여 매크로 검사가 진행되는 경우, 업다운 스테이지(500)는 주 스테이지(800)의 하부에 위치하고, 마이크로 검사가 진행되는 경우에는 상승하여 주 스테이지(800)의 상부 평면보다 예를들어 8.5mm 높게 위치한 후에 다시 하강하여 마이크로 검사를 수행한다. 여기서, 업다운 스테이지(500)를 주 스테이지(800)보다 높게 상승시키는 것은 주 스테이지(800)에서 발생된 진동을 감소시키기 위한 것이다.The up-down stage 500 supports and fixes the glass substrate for micro-inspection, and is moved up and down by being embedded in the main stage 800. A plurality of micro glass bars 700 are installed on the up-down stage 500. When the macro inspection is performed using the main stage 800, the up-down stage 500 is positioned below the main stage 800, and when the micro inspection is performed, the up-down stage 500 is raised to be lower than the upper plane of the main stage 800. For example, it is placed 8.5mm high and then lowered again to perform micro inspection. Here, raising the up-down stage 500 higher than the main stage 800 is to reduce the vibration generated in the main stage 800.

업다운 스테이지(500)의 하부면에는 상승하는 업다운 샤프트(400)가 결합되는 다수의 함몰부가 구비되어 있어서, 업다운 샤프트(400)의 상부 단부의 돌기가 삽입 고정되도록 한다. The lower surface of the up-down stage 500 is provided with a plurality of depressions to which the ascending up-down shaft 400 is coupled, so that the projections of the upper end of the up-down shaft 400 are inserted and fixed.

업다운 스테이지(500)의 꼭지점 또는 모서리에는 외측으로 일정한 간격으로 연장되어 단부에 홀이 형성되는 다수의 가이드 홀(510)이 구비되고, 정반(100) 상면에는 가이드 홀(510)에 삽입되어 업다운 스테이지(500)가 정반(100) 상면에서 안정적으로 상하 이동하도록 안내하는 가이드 바(120)가 구비된다. 가이드 바(120)는 원주 형태의 바이고, 가이드 홀(510)은 중공을 갖는 원통으로 구성한다. 또는, 가이드 바(120)를 스플라인축의 형태로 그리고 가이드 홀(510)을 키홈으로 구성하여, 가이드 바(120)가 가이드 홀(510)의 내부에서 길이 방향으로 미끄럼 운동하도록 구성할 수도 있다.Vertices or corners of the up-down stage 500 are provided with a plurality of guide holes 510 extending outwardly at regular intervals to form holes at the ends, and inserted into the guide holes 510 on the upper surface of the surface plate 100 so as to be up-down stages. A guide bar 120 is provided to guide the 500 to move up and down stably on the upper surface of the surface plate 100. Guide bar 120 is a circumferential bigo, the guide hole 510 is composed of a cylinder having a hollow. Alternatively, by configuring the guide bar 120 in the form of a spline shaft and the guide hole 510 as a key groove, the guide bar 120 may be configured to slide in the longitudinal direction in the guide hole 510.

업다운 스테이지(500)의 가장자리에는 다수의 결합홈(520)이 형성되어 있는 데, 결합홈(520)에는 다수의 마이크로 글라스바(700)가 일렬로 삽입고정된다. 그 밖에, 업다운 스테이지(500)의 가장자리에는 다수의 탄성 흡착패드(미도시)가 구비되어 있다.A plurality of coupling grooves 520 are formed at an edge of the up-down stage 500, and a plurality of micro glass bars 700 are inserted and fixed in a row in the coupling groove 520. In addition, a plurality of elastic suction pads (not shown) are provided at the edge of the up-down stage 500.

스테이지 지지부(600)는 업다운 스테이지의 모서리 또는 꼭지점 등의 아래쪽에 위치하며, 정반(100) 상부면에 고정 설치된다. 스테이지 지지부(600)는 업다운 샤프트(400)에 의하여 상승된 업다운 스테이지(500)를 하부에서 지지한다. 스테이지 지지부(600)는 온오프 신호에 의하여 눕혀진 상태와 수직으로 세워지는 상태로 전환되는 일단 실린더 형태(610)로 구성할 수 있다. 실린더 구동부를 이용할 경우에는, 실린더 구동부에 결합되는 실린더 및 피스톤, 피스톤에 축결합되어 회전하는 지지바 등으로 구성된다. 또한, 스테이지 지지부(600)는 업다운 스테이지(500) 가장자리의 측방에서 안쪽으로 삽입되는 형태(620)로 구성할 수도 있다.The stage support unit 600 is positioned below the corner or the vertex of the up-down stage, and is fixedly installed on the upper surface of the surface plate 100. The stage support unit 600 supports the up-down stage 500 raised by the up-down shaft 400 from the bottom. The stage support unit 600 may be configured as a cylinder form 610 once switched to a state standing vertically with the lying state by the on-off signal. When using a cylinder drive part, it consists of a cylinder and piston couple | bonded with a cylinder drive part, the support bar axially coupled to a piston, etc. to rotate. In addition, the stage support unit 600 may be configured in a form 620 inserted inward from the side of the edge of the up-down stage 500.

일단 실린더 형태(610)의 스테이지 지지부는 상부 단부(613)에 돌기 형태를 가지고, 상부 단부(613)에 대응되는 업다운 스테이지(500)의 하부면에는 함몰부(530)를 형성시켜 결합의 안정성을 높이는 것이 바람직하다.The stage support of the cylinder form 610 has a protrusion shape at the upper end 613, and a depression 530 is formed at the lower surface of the up-down stage 500 corresponding to the upper end 613 to improve stability of the coupling. It is desirable to increase.

마이크로 글라스바(700)는 업다운 스테이지(500)의 가장자리에 형성된 결합홈(520)에 삽입되어 업다운 스테이지(500)의 폭 방향을 따라 일렬로 마운팅되는 것으로 바 형태의 유리재질이다. 마이크로 글라스바(700)의 상부면에는 소정 간격으로 다수의 지지핀(710)이 설치되어 있고, 지지핀(710)의 단부에는 볼 형태의 회전부재가 결합된다. 회전부재(720)는 상부에 마운팅되는 유리기판의 하부면과 접촉 하여 유리기판을 지지한다.The micro glass bar 700 is inserted into the coupling groove 520 formed at the edge of the up-down stage 500 and is mounted in a line along the width direction of the up-down stage 500. A plurality of support pins 710 are installed on the upper surface of the micro glass bar 700 at predetermined intervals, and a rotating member having a ball shape is coupled to an end of the support pin 710. The rotating member 720 contacts the lower surface of the glass substrate mounted on the upper portion to support the glass substrate.

주 스테이지(800)는 매크로 검사를 위한 프레임으로서, 로봇암에 의해서 이송되는 유리기판이 주 스테이지(800)의 중앙부에 도착하면 유리기판의 가장자리 및 하부면 등과 접촉하여 유리기판을 지지 고정시킨다. 주 스테이지(800)의 가장자리에는 다수의 탄성 흡착패드가 구비되어 있는 데, 탄성 흡착패드는 유리기판의 가장자리 하부면에 진공압(vacuum)을 가하여 유리기판을 흡착고정시킨다. 주 스테이지(800)의 가장자리에는 다수의 클램핑부가 구비되어 있다. 클램핑부는 유리기판의 가장자리 측면에 면접촉하여 유리 기판을 위치조정 및 고정시킨다. The main stage 800 is a frame for macro inspection. When the glass substrate conveyed by the robot arm arrives at the center of the main stage 800, the main stage 800 contacts the edge and the lower surface of the glass substrate and fixes the glass substrate. At the edge of the main stage 800, a plurality of elastic adsorption pads are provided, and the elastic adsorption pads apply a vacuum to the lower surface of the edge of the glass substrate to fix and fix the glass substrate. A plurality of clamping parts are provided at the edge of the main stage 800. The clamping part is in surface contact with the edge side of the glass substrate to position and fix the glass substrate.

매크로 글라스바(미도시)는 주 스테이지(800)의 가장자리에 형성된 다수의 결합홈에 삽입되어 주 스테이지(800)의 폭 방향을 따라 일렬로 마운팅되는 바 형태의 유리재질로서, 매크로 글라스바(미도시)의 상부면에는 소정 간격으로 다수의 배큠핀이 설치되어 있고, 배큠핀의 단부에는 흡착패드가 구비되어 있다. 흡착패드는 상부에 마운팅되는 유리기판의 하부면을 흡착하여 유리기판을 지지한다.The macro glass bar (not shown) is a bar-shaped glass material inserted into a plurality of coupling grooves formed at the edge of the main stage 800 and mounted in a line along the width direction of the main stage 800, and the macro glass bar (not shown). A plurality of vacuum pins are provided at predetermined intervals on the upper surface of the si), and suction pads are provided at ends of the vacuum pins. The adsorption pad adsorbs the lower surface of the glass substrate mounted on the upper side to support the glass substrate.

틸팅부(미도시)는 주 스테이지(800)의 하방에 설치되는 실린더부, 주 스테이지(800)의 하부측과 실린더부의 일단이 결합되는 축회전부로 구성된다. 틸팅부는 매크로 검사를 위하여 주 스테이지(800)를 경사지게 하는 것으로, 정반의 일측에 축회전 가능하게 지지되는 주 스테이지(800)의 하부의 일측을 가압하여 정반에 고 정된 주 스테이지의 회전축을 중심으로 주 스테이지(800)를 상방으로 소정 각도 회전시킨다.The tilting unit (not shown) includes a cylinder unit installed below the main stage 800, and an axial rotation unit to which the lower side of the main stage 800 and one end of the cylinder unit are coupled. The tilting part inclines the main stage 800 for the macro inspection, and presses one side of the lower part of the main stage 800 that is rotatably supported on one side of the surface plate, and mainly the rotation axis of the main stage fixed on the surface plate. The stage 800 is rotated upward by a predetermined angle.

본 발명에 따른 대형 유리기판 매크로/마이크로 검사장치의 검사장치의 작용을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the inspection apparatus of the large glass substrate macro / micro inspection apparatus according to the present invention.

먼저, 매크로 검사의 과정을 보면, 먼저 검사하고자 하는 유리기판이 로봇암에 의하여 주 스테이지(800)로 이송된다. 주 스테이지(800)의 중앙부에 도달한 유리기판은 주 스테이지(800) 및 매크로 글라스바에 안착되어 지지고정된다. 여기서, 주 스테이지는 가장자리에 구비된 탄성 흡착패드 및 측면으로부터 안쪽으로 이동되는 클램핑부를 이용하여 유리기판의 가장자리 측면 및 하부면을 지지 고정하고, 매크로 글라스바는 배큠부를 이용하여 유리기판의 중앙부 전체의 하부면을 흡착하여 지지한다. 유리기판이 고정되면, 틸팅부를 이용하여 주 스테이지(800)를 예를들어 60°정도로 경사지게 하여 육안으로 유리기판의 이상 여부를 검사한다.First, in the process of macro inspection, first, the glass substrate to be inspected is transferred to the main stage 800 by the robot arm. The glass substrate that has reached the center of the main stage 800 is seated and supported by the main stage 800 and the macro glass bar. Here, the main stage supports and fixes the edge side and the bottom surface of the glass substrate by using an elastic suction pad provided at the edge and a clamping portion moved inward from the side, and the macro glass bar uses the rear portion to cover the entire center of the glass substrate. Adsorb and support the bottom surface. When the glass substrate is fixed, the main stage 800 is inclined at, for example, about 60 ° using the tilting part, and the glass substrate is visually inspected for abnormalities.

다음으로, 마이크로 검사의 과정은 다음과 같다. 도4a 내지 도4e는 본 발명에 따른 대형 유리기판 매크로/마이크로 검사장치의 검사장치의 작용을 보여주는 동작 정면도이다.Next, the process of micro inspection is as follows. Figures 4a to 4e is an operation front view showing the operation of the inspection apparatus of the large glass substrate macro / micro inspection apparatus according to the present invention.

매크로 검사가 종료되거나 마이크로 검사를 위한 유리기판이 이송되면, 마이크로 검사를 위하여 업다운 스테이지(500)가 상승한다. 마이크로 검사를 위한 제 어신호가 입력되면, 측면 스테이지 지지부(620)가 외측으로 이동하면서, 업다운 구동부의 구동모터(210)가 동작한다. 업다운 구동부(200)의 구동모터(210)가 상승모드로 동작하면, 구동모터(210)에 결합된 스크류(220)가 정회전한다. 정회전하는 스크류(220)는 스크류(220)에 결합된 업다운 플레이트(300)를 상승시킨다. 업다운 플레이트(300)의 상승에 따라, 업다운 플레이트(300)의 상부면에 설치된 다수의 업다운 샤프트(400)가 정반(100)을 관통하여 정반의 상부면으로 돌출된다. 업다운 샤프트(400)가 계속 상승하면, 업다운 샤프트(400)의 상부 단부가 업다운 스테이지(500)의 함몰부(540)에 결합되어 업다운 스테이지(500)를 상부로 가압하면서 업다운 스테이지(500)를 상부로 이동시킨다. 업다운 스테이지(500)가 소정 위치까지 상승하면, 정반(100) 상면에 고정 설치된 스테이지 지지부(610, 620)가 동작하여 업다운 스테이지(500)의 하부면으로 삽입된다. 이때, 업다운 스테이지(500)는 주 스테이지(800)의 상부 평면보다 약 8.5mm 정도 더 상승하여 주 스테이지(800)에서 발생된 진동을 감소시킨다. 이 후, 업다운 구동부(200)는 하강모드로 변환된다. 업다운 구동부(200)의 구동모터(210)가 역회전하면 업다운 샤프트(400)는 하부로 이동하고, 업다운 스테이지(500)는 스테이지 지지부(610, 620)에 의하여 지지 고정된다. 이후, 업다운 구동부(200)의 하강 제어에 의하여 업다운 플레이트(300), 업다운 샤프트(400)가 원래의 위치까지 하강한다.When the macro inspection is finished or the glass substrate for micro inspection is transferred, the up-down stage 500 is raised for the micro inspection. When the control signal for the micro inspection is input, the driving stage 210 of the up-down driving unit operates while the side stage support 620 moves outward. When the driving motor 210 of the up-down driving unit 200 operates in the rising mode, the screw 220 coupled to the driving motor 210 rotates forward. The forward rotating screw 220 raises the up-down plate 300 coupled to the screw 220. As the up-down plate 300 rises, a plurality of up-down shafts 400 installed on the upper surface of the up-down plate 300 penetrate the surface plate 100 and protrude to the upper surface of the surface plate. If the up-down shaft 400 continues to rise, the upper end of the up-down shaft 400 is coupled to the depression 540 of the up-down stage 500 to press the up-down stage 500 upwards to raise the up-down stage 500 upward. Move to. When the up-down stage 500 rises to a predetermined position, the stage supporting parts 610 and 620 fixedly installed on the upper surface of the surface plate 100 operate to be inserted into the lower surface of the up-down stage 500. At this time, the up-down stage 500 rises about 8.5 mm more than the upper plane of the main stage 800 to reduce the vibration generated in the main stage 800. Thereafter, the up-down driving unit 200 is converted to the down mode. When the driving motor 210 of the up-down driving unit 200 reversely rotates, the up-down shaft 400 moves downward, and the up-down stage 500 is supported and fixed by the stage supporting units 610 and 620. Thereafter, the up-down plate 300 and the up-down shaft 400 are lowered to their original positions by the control of the down-down driving unit 200.

여기서, 매크로 글라스바와 마이크로 글라스바(700)의 충돌 가능성을 해결하기 위하여, 업다운 스테이지(500)가 상승할 때 주 스테이지(800)의 매크로 글라스바를 제거하는 방법을 사용할 수도 있으나, 연속되는 공정과 검사환경의 유지라는 측면에서 볼 때 매크로 글라스바와 마이크로 글라스바(700)를 평면상에서 교차되도록 위치시키면서 마이크로 글라스바(700)의 지지핀(710)의 길이를 매크로 글라스바의 배큠핀의 길이보다 길게 구성하는 것이 바람직하다.Here, in order to solve the possibility of collision between the macro glass bar and the micro glass bar 700, a method of removing the macro glass bar of the main stage 800 when the up-down stage 500 rises may be used. In view of maintaining the environment, the length of the support pin 710 of the micro glass bar 700 is longer than the length of the macro pin of the macro glass bar while the macro glass bar and the micro glass bar 700 are positioned to intersect in a plane. It is desirable to.

상승된 업다운 스테이지(500)를 이용하여 마이크로 검사를 완료하면, 상승된 업다운 스테이지(500)는 하강시켜 원래의 위치로 되돌아 온다. 여기서, 업다운 구동부(200), 업다운 플레이트(300), 업다운 샤프트(400) 등은 마이크로 검사를 위하여 업다운 스테이지를 상승시키는 방법과 동일하게 진행된다. 다만, 업다운 스테이지(500)가 최상 위치까지 이동하면, 스테이지 지지부(600)는 오프 제어에 의하여 업다운 스테이지(500)의 하부면에서 빠져 나온다.When the micro inspection is completed using the raised up-down stage 500, the raised up-down stage 500 is lowered to return to the original position. Here, the up-down driving unit 200, the up-down plate 300, the up-down shaft 400, and the like proceed in the same manner as the method of raising the up-down stage for micro inspection. However, when the up-down stage 500 moves to the uppermost position, the stage support part 600 exits from the lower surface of the up-down stage 500 by the off control.

이상의 매크로/마이크로 검사장치에 의하면, 대형 유리기판에 대한 매크로 및 마이크로 검사를 하나의 검사장치에서 동시에 수행할 수 있으며, 매크로 및 마이크로 검사에 필요한 유리기판 지지용 글라스바의 설치나 교체에 따른 시간 낭비를 줄일 수 있다. 또한, 매크로 글라스바와 마이크로 글라스바가 교차되는 구조를 갖는 경우에는 검사환경의 오염을 방지시킬 수 있다.According to the above macro / micro inspection apparatus, macro and micro inspection of a large glass substrate can be simultaneously performed in one inspection apparatus, and waste of time due to the installation or replacement of the glass substrate supporting glass bar required for macro and micro inspection. Can be reduced. In addition, when the macro glass bar and the micro glass bar have a cross structure, contamination of the inspection environment can be prevented.

Claims (8)

디스플레이에 사용되는 유리기판을 검사하는 장치에 있어서,In the apparatus for inspecting the glass substrate used for the display, 정반;Surface plate; 상기 정반의 상면에 고정 설치되며, 외부로부터 이송되는 유리기판을 지지 고정하는 주 스테이지;A main stage fixed to the upper surface of the surface plate and supporting and fixing the glass substrate transferred from the outside; 대상체를 상하로 업다운시키는 구동력을 발생하는 업다운 구동수단;Up-down driving means for generating a driving force for moving the object up and down; 상기 업다운 구동수단에 의하여 상기 정반의 상면 및 상기 주 스테이지의 내부에서 소정 간격 상하로 업다운하는 업다운 스테이지; 및An up-down stage which is moved up and down by a predetermined interval within the upper surface of the surface plate and the main stage by the up-down driving means; And 상기 정반의 상면에 설치되며, 상기 업다운 스테이지의 상승동작 모드에서 상기 업다운 스테이지가 소정 높이로 상승할 때 온 신호에 의하여 상기 업다운 스테이지의 하부에 결합되어 상기 업다운 스테이지를 지지하고, 상기 업다운 스테이지의 하강동작 모드에서 상기 업다운 스테이지가 소정 높이로 상승할 때 오프 신호에 의하여 상기 업다운 스테이지의 하부로부터 측방으로 빠져 나오는 스테이지 지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 대형 유리기판의 매크로/마이크로 검사장치.It is installed on the upper surface of the surface plate, when the up-down stage ascends to the predetermined height in the up operation mode of the up-down stage is coupled to the lower portion of the up-down stage by the on signal to support the up-down stage, the down of the up-down stage And a stage support part which exits from the lower side of the up-down stage by an off signal when the up-down stage rises to a predetermined height in an operation mode. 제1항에 있어서, 상기 업다운 구동수단은The method of claim 1, wherein the up-down drive means 상기 정반의 하부면에 설치되는 업다운 구동부;An up-down driving unit installed on the lower surface of the surface plate; 상기 정반의 하방에 배치되고, 상기 업다운 구동부에 결합되어 상기 정반의 하방에서 상하로 이동하는 업다운 플레이트; 및An up-down plate disposed below the surface plate and coupled to the up-down driving unit and configured to move up and down from below the surface plate; And 하부 단부는 상기 업다운 플레이트의 상면에 고정 설치되고, 상부 단부는 상기 정반을 관통하여 상기 정반의 상면으로 돌출되며, 상기 업다운 스테이지의 상승동작 모드에서 상기 상부 단부가 상기 업다운 스테이지의 하부면을 가압하여 상기 업다운 스테이지를 상승시키는 다수의 업다운 샤프트를 포함하는 것을 특징으로 하는 대형 유리기판의 매크로/마이크로 검사장치.The lower end is fixedly installed on the upper surface of the up-down plate, the upper end penetrates through the surface plate and protrudes to the upper surface of the surface plate. Macro / micro inspection apparatus of a large glass substrate, characterized in that it comprises a plurality of up-down shaft for raising the up-down stage. 제2항에 있어서, 상기 업다운 구동부는The method of claim 2, wherein the up-down drive unit 상기 정반의 하부면에 고정 설치되는 구동모터; 및A drive motor fixed to the lower surface of the surface plate; And 상기 구동모터에 의하여 회전하면서 상기 업다운 플레이트를 상하로 이동시키는 스크류부를 포함하는 것을 특징으로 하는 대형 유리기판의 매크로/마이크로 검사장치.Macro / micro inspection apparatus for a large glass substrate, characterized in that it comprises a screw for moving the up-down plate up and down while rotating by the drive motor. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 주 스테이지에는 다수의 배큠핀을 갖는 매크로 글라스바가 결합되는 다수의 매크로 결합홈이 형성되고, 상기 업다운 스테이지에는 다수의 지지핀을 갖는 마이크로 글라스바가 결합되는 다수의 마이크로 결합홈이 형성되어, 상기 주 스테이지는 매크로 검사용으로, 상기 업다운 스테이지는 마이크로 검사용으로 사용하는 것을 특징으로 하는 대형 유리기판의 매크로/마이크로 검사장치.The main stage is formed with a plurality of macro coupling grooves are coupled to the macro glass bar having a plurality of back pins, the plurality of micro coupling grooves are coupled to the micro glass bar having a plurality of support pins are formed in the up-down stage, A macro / micro inspection apparatus for a large glass substrate, wherein the stage is used for macro inspection and the up-down stage is used for micro inspection. 제4항에 있어서, 상기 매크로 글라스바와 마이크로 글라스바는The method of claim 4, wherein the macro glass bar and the micro glass bar 평면상으로 교차 위치하고, 상기 매크로 글라스바의 배큠핀보다 상기 마이크로 글라스바의 지지핀의 길이를 길게 형성하는 것을 특징으로 하는 대형 유리기판의 매크로/마이크로 검사장치.Cross-positioned on a plane, macro / micro inspection apparatus for a large glass substrate, characterized in that the length of the support pin of the micro glass bar longer than the pin of the macro glass bar. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 업다운 스테이지는 꼭지점 또는 모서리에 외측으로 일정한 간격으로 연장되어 그 연장 단부에 홀을 갖는 가이드 홀부를 더 포함하고,The up-down stage further includes a guide hole portion extending outward at regular intervals at vertices or corners and having holes at the extended ends thereof, 상기 정반의 상면에는 상기 가이드 홀부에 삽입되어 상기 업다운 가이드홀부가 상기 정반의 상면에서 안정적으로 상하 이동하도록 안내하는 가이드바를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대형 유리기판의 매크로/마이크로 검사장치.And a guide bar inserted into the guide hole in the upper surface of the surface plate to guide the up-down guide hole to move up and down in a stable manner on the upper surface of the surface plate. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 스테이지 지지부는The stage support according to any one of claims 1 to 6, wherein 상기 업다운 스테이지의 하부면과 접촉하여 상기 업다운 스테이지의 상승 상태를 지지하는 지지바;A support bar in contact with a lower surface of the up-down stage to support a raised state of the up-down stage; 상기 지지바를 회동시키도록 상기 지지바와 축결합하는 피스톤; 및A piston axially coupled with the support bar to pivot the support bar; And 온 신호에 의하여 상기 피스톤을 소정 간격으로 돌출시키고, 오프 신호에 의하여 상기 피스톤을 원래위치로 되돌리는 실린더 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 대형 유리기판의 매크로/마이크로 검사장치.And a cylinder drive unit protruding the piston at predetermined intervals by an on signal, and returning the piston to its original position by an off signal. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 주 스테이지를 소정 각도로 경사지게 하는 틸팅부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대형 유리기판의 매크로/마이크로 검사장치.And a tilting part for tilting the main stage at a predetermined angle.
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