KR100971912B1 - The prosecuting attorney system of a large-sized glass - Google Patents
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Abstract
본 발명은 평판디스플레이의 제조분야에 사용되는 대형유리기판의 선별과정에서 불량으로 선별된 대형유리기판을 육안으로 재검사하여 제사용 여부에 따라 선별하도록 하는 대형유리기판의 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to an inspection apparatus for large glass substrates to visually re-examine the large glass substrates selected as defective in the screening process of large glass substrates used in the field of flat panel display.
즉 프레임(11) 상단부 중심에 감속모터(10m)를 구비하고 곡선레일(13)을 프레임(11) 상부에 감속모터(10m)를 중심으로 하여 원형으로 형성하여 그 상부에 방향전환판(15)을 구성한 방향전환수단(10)과, 방향전환판(15) 상부에 LM가이드(21) 와 볼 스크루(22)를 평행하게 장착하되 구동모터(20m)를 구성하는 거리이동수단(20)과, 이동판(25)의 상단에, 복수의 기준블록(31)과 안착판(34)을 형성한 각도조절판(35)을 회전봉(33) 외경에 고정하고, 각도조절모터(30m)를 구성한 각도조절수단(30)과, 안착판(34) 상단 면에 LM가이드(41)와 볼 스크루(43)를 평행하게 장착하되 구동모터(40m)를 구성하는 상하이동수단(40)과, 상하이동판(45) 중심부에 회전모터(50m)를 안착 구성한 회전수단(50)과, 회전판(51) 상단 면에 다수의 진공패드장치(70)를 일정거리를 유지하도록 구성한 흡착수단(60)을 각각 구성한 것을 특징으로 한 구조이다.That is, the speed reducing motor 10m is provided at the center of the upper end of the frame 11, and the curved rail 13 is formed in a circular shape around the speed reduction motor 10m on the frame 11, and the direction switching plate 15 is formed thereon. Direction shift means (10) constituting the LM guide 21 and the ball screw 22 mounted in parallel on the direction change plate 15, the distance moving means 20 constituting the drive motor (20m), at the top of the moving plate 25, fixed to the angle control panel (35) forming a plurality of the reference block 31 and the mounting plate 34 to hoejeonbong 33 outer diameter, and angle adjustment is configured to adjust the angle motor (30m) The means 30 and the shank east means 40, which are mounted in parallel with the LM guide 41 and the ball screw 43 on the upper surface of the seating plate 34, constitute a drive motor 40m, and the shank east plate 45. Rotation means 50 seated in the center of the rotating motor 50m, and the suction means 60 configured to maintain a predetermined distance a plurality of vacuum pad device 70 on the upper surface of the rotating plate 51 It is a structure characterized in that each configured.
육안검사, 선별장치, 유리기판, 방향전환수단, 이동수단, 회전수단, 진공 Visual inspection, sorting device, glass substrate, direction changing means, moving means, rotating means, vacuum
Description
본 발명은 대형유리기판의 검사장치에 관한 것으로서 더욱 상세하게는 평판디스플레이(Flat display)의 제조분야에 사용되는 대형유리기판의 선별과정에서 불량으로 선별된 대형유리기판을 육안으로 재검사하여 제사용 여부에 따라 선별하도록 하는 대형유리기판의 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to an inspection apparatus for a large glass substrate, and more particularly, whether or not the large glass substrate selected as defective in the screening process of the large glass substrate used in the manufacturing field of a flat display is visually inspected. It relates to a large glass substrate inspection device to be sorted according to.
통상적으로 TFT-LCD(Thin film transistor-liquid crystal display)와 PDP(Plasma display panel) 및 EL(Electro luminescent) 등과 같은 평판디스플레이(Flat display)로 사용되는 유리기판은 유리용해로에서 용해된 유리물을 성형공정과 절단공정을 통한 제조과정을 거친 다음 운송과정을 거쳐서 조립과정에서 평판디스플레이를 구성하게 된다.Typically, glass substrates used as flat panel displays such as thin film transistor-liquid crystal displays (TFT-LCDs), plasma display panels (PDPs), and electro luminescent (EL), are used to mold glass materials dissolved in glass melting furnaces. After the manufacturing process through the process and cutting process, and then the transportation process to form a flat panel display in the assembly process.
상기와 같이 생성되는 유리기판은 제조과정과 운반과정에서 여러 가지 요인 으로 인하여 두께, 후미도, 평탄도, 투과율, 기포, 이물, 긁힘, 요철, 오염, 직선성 및 크기 오차 등과 같은 결함이 발생하게 됨에 따라 이를 육안검사와 샘플링검사를 통하여 불량상태를 찾고 그에 따른 사용 여부를 판단하여 사용가능한 유리기판만을 평판디스플레이의 조립과정에 사용하도록 하고 있지만 불량으로 판별된 유리기판은 전량 폐기하여 별도의 파쇄공정을 거쳐서 다시 유리용해로 용해하는 성형공정을 거치도록 하고 있다.The glass substrate produced as described above may cause defects such as thickness, tailingness, flatness, transmittance, bubbles, foreign objects, scratches, irregularities, contamination, linearity, and size error due to various factors in the manufacturing process and transportation process. As a result, visual inspection and sampling inspection are used to find the defective state and judge whether it is used accordingly, so that only usable glass substrates are used in the assembling process of the flat panel display. After going through the molding process to dissolve again by glass melting.
하지만 상기와 같이 생산과정이나 운반과정에서 발생하는 불량 중에 이물질로 인한 오염은 오염물만 제거하면 불량이 해소되고 한쪽에만 기포 및 긁힘으로 인한 불량은 불량부분을 제외하거나 불량이 아닌 부분을 분할하여 작은 크기의 기판으로 재활용할 수 있는데도 한번 불량으로 선별된 유리기판은 폐기처리하고 있는 상황이다.However, as described above, the contamination caused by foreign matters during the production or transportation process is eliminated by removing only the contaminants, and the defects caused by bubbles and scratches on one side are excluded from the defective parts or divided into parts that are not defective. Even though the glass substrate can be recycled to the substrate of the glass, the glass substrate that is selected as defective is being disposed of.
이러한 상황에서 유리기판의 크기가 5세대(650 x 550)에서 7세대(1250 x 1100)으로 점점 커짐에 따라 유기기판의 크기와 무게가 작업자가 자유롭게 핸들링할 수 있는 범위를 벗어남에 따라 특히 운반과정에서 외부의 오염 물질(먼지나 손자국 등)로 인해 오염되는 경우가 빈번히 발생하여 취급과정에서의 불량으로 인해 유리기판 자체를 폐기해야 함에 따라 생산원가가 상승하여 재생하는 데 필요한 시간과 비용이 급속히 상승함으로써, 불량으로 인한 평판디스플레이의 생산원가가 높아질 뿐만 아니라 유리기판의 폐기량이 많아 별도의 폐기 공정과 장치가 필요하게 되는 등의 문제점이 발생하고 있는 추세이다.In this situation, as the size of glass substrate grows from the 5th generation (650 x 550) to the 7th generation (1250 x 1100), the size and weight of the organic substrate are beyond the range that can be handled freely by workers. Due to frequent contamination by external pollutants (such as dust or finger prints), the glass substrate itself has to be disposed of due to a defect in the handling process, which increases production costs and rapidly increases the time required for regeneration. As a result, not only the production cost of the flat panel display due to the defect is increased, but also a large amount of waste of the glass substrate requires a separate disposal process and a device.
이에 따라 종래에는 유리기판의 대형화에 따른 검사장비를 평판디스플레이 작업라인에 설치하여 정밀하고 세밀하게 유리기판의 불량을 선별하여 완성된 평판디스플레이 자체의 불량을 방지하도록 하고 있지만 불량으로 선별된 유리기판의 불량원인에 따라 선별하기 위해 별도로 고가의 다관절 로봇을 사용하여야 함에 따라 고가의 다관절 로봇을 설치하여 사용하는 데 필요한 설치 유지보수 비용이 유리기판을 선별하여 재활용하는 비용보다 높아 실효성이 미비하여 별도의 선별작업이 용이하지 않아 불량 라인으로 선별된 유리기판을 모두 폐기하고 있음에도 생산라인이나 관련업체에서는 이에 대한 적절한 해결방안이나 대안을 제시하지못하고 있는 실정에 있다. Accordingly, conventionally, inspection equipment for increasing the size of glass substrates is installed in the flat display work line to precisely and precisely select the defects of the glass substrates to prevent defects of the finished flat panel display itself. Since the expensive articulated robot must be used separately for the cause of the defect, the installation and maintenance cost required to install and use the expensive articulated robot is higher than the cost of sorting and recycling the glass substrate. Even though the glass substrate screened by the defective line is discarded because the screening process is not easy, the production line or related company cannot provide a proper solution or alternative.
이에 본 발명에서는 상기와 같은 제반 문제점들을 일소하기 위하여 개발한 것으로서 일차선별과정에서 불량으로 선별된 유리기판을 평판디스플레이 생산라인에서 완전히 이탈하여 작업자의 육안으로 세밀하고 정밀하게 검사할 수 있는 별도의 검사장치를 통해 불량의 원인에 따라 재생 가능한 대형유리기판을 별도로 선별하여 불량의 원인에 따라 별도의 작업을 통해 불량의 원인을 용이하게 제거하는 세척과정만을 통해 다시 평판디스플레이 생산라인에 양품으로 사용할 수 있도록 하거나 불량부위를 절단하여 제거하거나 양품 부위를 선별분할하여 작은 사이즈의 유리기판으로 재활용할 수 있도록 하는 데 있다.Therefore, in the present invention, the glass substrate selected as defective in the first screening process is completely developed from the flat-panel display production line to separate all the problems as described above. Through the device, the large-size glass substrate that can be regenerated according to the cause of the defect is separately selected, and it can be used again as a good product in the flat-panel display production line only through the cleaning process to easily remove the cause of the defect through separate operations according to the cause of the defect. Or to remove and remove defective parts or to divide the good parts to be recycled to the glass substrate of a small size.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 이 발명의 특징은 사이즈가 크고 무게가 무거운 대형유리기판을 다수의 진공 패드로 일 측면을 흡착하는 흡착수단을 전후좌우로 이동시키는 이동수단과 전후로 회전할 수 있도록 하는 각도조절수단과 좌우로 회전할 수 있도록 하는 회전수단을 다단으로 이루어지도록 하여 흡착수단이 어떠한 방향과 각도를 유지하는 대형유리기판을 흡착하여 이동운반할 수 있도록 하는 검사장치를 구성하여 후면에 일정각도로 세워진 일차 불량으로 선별된 대형유리기판을 흡착수단의 진공패드로 일 측면을 흡착하는 검사장치의 상단에 위치시켜서 검사자가 육안으로 세밀하게 면밀히 검사할 수 있도록 하여 불량의 원인에 따라 재활용과 폐기용으로 구분하여 별도의 안착대에 선별하여 각각 안전하게 안착할 수 있도록 하는 대형유리기판의 검사장치를 구성하여 대형유리기판의 핸들링수단으로 이루어지는 검사 시스템에 있다.A feature of the present invention for achieving the above object is a large glass substrate with a large size and weight to move the adsorption means for adsorbing one side with a plurality of vacuum pads to the front and rear and left and right angles to rotate back and forth It consists of a multi-stage adjusting means and a rotating means that can rotate left and right, so that the adsorption means adsorbs and transports a large glass substrate that maintains a certain direction and angle. A large glass substrate sorted by the primary failure is placed on the upper part of the inspection device that absorbs one side with the vacuum pad of the adsorption means, so that the inspector can inspect it closely with the naked eye for recycling and disposal according to the cause of the defect. Large, separated and segregated on separate seating boards for safe seating By constructing a test device of the re-substrate in the inspection system comprising a handling means for large glass substrate.
이하 본 발명을 첨부된 도면과 함께 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
다수의 안착부(11b)와 다수의 연결대(11a)로 구성되는 일정면적을 유지하는 프레임(11) 상단부 중심에 구비한 고정편(12)에 감속모터(10m)를 고정하고 곡선레일(13)을 프레임(11) 상부에 감속모터(10m)를 중심으로 하여 원형으로 형성하고, 감속모터(10m)의 구동축(14)에 연결고정하는 방향전환판(15)의 하단에 체결 고정한 다수의 레일블록(16)이 곡선레일(13)에 안착 연결되도록 구성되는 방향전환수단(10)과;The
상기 방향전환판(15) 상부 면에 일정거리를 유지하는 복수의 LM가이드(21)를 길이방향으로 고정하되 하부에 일정 높이를 유지하는 보조가이드(26)를 각각 구성하고, 상기 LM가이드(21) 사이에 볼 스크루(22)를 평행하게 유지하도록 양측 끝단부를 고정구(23)로 방향전환판(15) 상부에 장착하되 볼 스크루(22) 한쪽 끝단에 구동모터(20m)를 연결구(28)로 연결하며, LM가이드(21)에 연결 구비되는 다수의 가이드블록(24)을 하단에 연결고정하는 이동판(25)의 하단에 볼 스크루(22) 외경에 구비되는 스크루 너트(27)를 고정하여 구성하는 거리이동수단(20)과;A plurality of
상기 이동판(25)의 길이방향 일측 상단에, 중심부에 베어링(32)을 구비한 복 수의 기준블록(31)을 넓이방향으로 대칭이 되도록 고정하되 기준블록(31) 내측으로 베어링(32)에 양측 끝단부가 장착된 회전봉(33)을 구비하여, 상단부 일측에 안착판(34)을 형성한 각도조절판(35)의 다른 쪽 하단 측이 상기 회전봉(33)의 외경에 고정되도록 하고, 한쪽의 기준블록(31) 외측에 안착구(36)로 고정한 각도조절모터(30m)의 구동부(37)가 회전봉(33)의 한쪽에 연결되도록 구성한 각도조절수단(30)과;On the upper end of one side in the longitudinal direction of the
상기 안착판(34) 상단 면에 일정거리를 유지하는 복수의 LM가이드(41)를 길이방향으로 고정하되 하부에 일정 높이를 유지하는 보조가이드(42)를 각각 형성하고, 상기 LM가이드(41) 사이에 볼 스크루(43)를 평행하게 유지하도록 양측 끝단부를 고정구(44)로 안착판(34) 상부에 장착하되 볼 스크루(43) 한쪽 끝단에 구동모터(40m)를 연결구(48)로 연결 구성하며, LM가이드(41)에 연결 구비되는 다수의 가이드블록(46)을 하단에 연결고정하는 상하이동판(45)의 하단에 볼 스크루(43) 외경에 구비되는 스크루 너트(47)를 고정하여 구성하는 상하이동수단(40)과; A plurality of
상기 상하이동판(45) 중심부에 고정홈(53)을 형성하여 회전모터(50m)를 안착 고정하고 회전모터(50m) 상단부에 복수 이상의 고정핀(52)을 돌출시킨 회전판(51)을 구성한 회전수단(50)과;Rotating means that forms a fixing groove 53 in the center of the Shanghai
상기 회전판(51) 상단 면에, 중심부를 고정하는 일정 길이를 유지하는 기준체(61) 상단 면에 다수의 진공패드장치(70)를 일정거리를 유지하여 한쪽 측면에 체결한 다수의 고정판(62)을 기준체(61)에 일정거리를 유지하며 교차하도록 결착하여 고정한 흡착수단(60)을 각각 구성한 구조이다.On the upper surface of the
이때, 고정판(62)에 구성되는 진공패드장치(70)는 고정판(62)의 일 측면에 한쪽으로 로드(72)가 노출되는 듀얼실린더(71)와 내부로 진공축(73)이 왕복 운동하는 안내블록(74)을 각각 장착하되 로드(72)와 진공축(73)의 하단부를 고정블록(75)으로 연결하며, 진공축(73) 상단 면에 패드(76)를 구비하여 패드(76)가 듀얼실린더(71)에 의해 안내블록(74)을 기준으로 왕복운동을 하도록 하는 것을 특징으로 한 것이다.At this time, the
이상에서 살펴본 봐와 같이 본 발명의 대형유리기판의 검사장치는 사이즈가 크고 무게가 무거운 대형유리기판을 어떠한 방향과 각도를 유지하더라도 진공흡착하여 이동운반할 수 있도록 하는 검사장치를 구성하여 후면에 일정각도로 세워진 일차 불량으로 선별된 대형유리기판을 흡착수단의 진공패드로 일 측면을 흡착하는 검사장치의 상단에 위치시켜서 검사자가 육안으로 세밀하게 면밀히 검사할 수 있도록 하여 불량의 원인에 따라 재활용과 폐기용으로 구분하여 별도의 안착대에 선별하여 각각 안전하게 안착할 수 있도록 함으로써, 고가의 대형유리기판을 최대한 재활용하도록 하여 평판디스플레이의 생산원가를 절감할 수 있도록 함은 물론 고가의 다관절 로봇을 이용해야만 가능한 선별작업을 본 발명의 선별장치에서 육안검사와 검별작업을 동시에 용이하게 진행할 수 있으므로 저비용으로 고효율의 작업이 가능함에 따라 작업환경 개선에 크게 도움이 될 아주 유용한 그 기대되는 바가 매우 큰 발명이다.As described above, the inspection apparatus of the large-size glass substrate of the present invention constitutes an inspection apparatus for transporting the large-size and heavy-weight large glass substrates by vacuum suction in any direction and angle. The large glass substrate sorted by the primary defects erected at an angle is placed on the top of the inspection device that adsorbs one side with the vacuum pad of the adsorption means, allowing the inspector to inspect the details in detail with the naked eye. It is possible to reduce the production cost of flat panel display by recycling the large and expensive glass substrates as much as possible by selecting them on separate seating boards and safely seating them separately. Visual screening and screening work in the sorting device of the present invention possible At the same time, it is easy to proceed at the same time, so that high-efficiency work at low cost is very useful.
도 2에 도시된 바와 같이 다수의 안착부(11b)와 다수의 연결대(11a)로 구성되는 일정면적을 유지하는 프레임(11) 상단부 중심에 구비한 고정편(12)에 감속모터(10m)를 고정하고 보조레일(17)과 곡선레일(13)을 프레임(11) 상부에 감속모터(10m)를 중심으로 하여 순차적으로 원형으로 형성하고, 감속모터(10m)의 구동축(14)에 연결고정하는 방향전환판(15)의 하단에 체결 고정한 다수의 레일블록(16)이 곡선레일(13)에 안착 연결되도록 구성되는 방향전환수단(10)을 구성함에 따라 감속모터(10m)를 작동방향에 따라 방향전환판(15)이 곡선레일(13)의 안내를 받으면서 회전하게 되므로 방향전환판(15) 상부에 구성되는 모든 수단이 필요에 따라 평면을 기준으로 하여 볼 때 좌우로 회전하며, 특히 각도조절수단(30)의 각도조절판(35)의 방향을 용이하게 설정할 수 있도록 하는 것이다.As shown in FIG. 2, a reduction motor (10m) is provided on a fixing piece (12) provided at the center of the upper end of the frame (11) that maintains a predetermined area composed of a plurality of seating portions (11b) and a plurality of connecting tables (11a). The
또한 도 4와 도 5에 도시된 바와 같이 방향전환수단(10)의 방향전환판(15) 상부 면에 일정거리를 유지하는 복수의 LM가이드(21)를 길이방향으로 고정하되 하부에 일정 높이를 유지하는 보조가이드(26)를 각각 구성하고, 상기 LM가이드(21) 사이에 볼 스크루(22)를 평행하게 유지하도록 양측 끝단부를 고정구(23)로 방향전환판(15) 상부에 장착하되 볼 스크루(22) 한쪽 끝단에 구동모터(20m)를 연결구(28)로 연결하며, LM가이드(21)에 연결 구비되는 다수의 가이드블록(24)을 하단에 연결 고정하는 이동판(25)의 하단에 볼 스크루(22) 외경에 구비되는 스크루 너트(27)를 고정하여 구성하는 거리이동수단(20)을 구성함으로써, 구동모터(20m)를 구동하여 볼 스크루(22)를 회전시키면 볼 스크루(22)의 외경에 구비되는 스크루 너트(27)가 이동판(25)의 하단에 고정됨에 따라 볼 스크루(22)의 회전거리만큼 이동판(25)을 이동시키게 된다.In addition, as shown in Figure 4 and 5 fixed a plurality of
이때, 방향전환판(15)과 이동판(25) 사이에 구성되는 LM가이드(21)로 인해 이동판(25)이 방향전환판(15)을 기준으로 볼 스크루(22)의 회전운동을 LM가이드(21)의 직선운동으로 변화하여 안정적으로 이동하면서도 정밀하게 작동하고 고정하도록 한 것이다.At this time, due to the
뿐만 아니라 도 6에 도시된 바와 같이 이동판(25)의 길이방향 일측 상단에, 중심부에 베어링(32)을 구비한 복수의 기준블록(31)을 넓이방향으로 대칭이 되도록 고정하되 기준블록(31) 내측으로 베어링(32)에 양측 끝단부가 장착된 회전봉(33)을 구비하여, 상단부 일측에 안착판(34)을 형성한 각도조절판(35)의 다른 쪽 하단 측이 상기 회전봉(33)의 외경에 고정되도록 하고, 한쪽의 기준블록(31) 외측에 안착구(36)로 고정한 각도조절모터(30m)의 구동부(37)가 회전봉(33)의 한쪽에 연결되도록 하는 각도조절수단(30)을 구성함으로써, 도 7에 도시된 바와 같이 각도조절모터(30m)를 구동하여 회전봉(33)을 기준블록(31)을 기준으로 회전하도록 함에 따라 회전봉(33) 외경에 고정된 각도조절판(35)이 회전봉(33)이 회전하는 각도만큼 일 측으로부터 기울어져서 안착판(34)이 이동판(25)을 기준으로 경사각을 이루도록 하는 것이다.In addition, as shown in FIG. 6, a plurality of
이때 양측 각도조절판(35)의 외부에 쇼바(S)를 장착하고 이동판(25)의 상단 양측에 기준핀(37)을 구비하여 각도조절판(35)이 회동하면서 안착판(34)이 이동판(25)과 평행이 되는 시점에서 쇼바(S)가 기준핀(37)에 접촉하도록 하고 이동판(25) 한쪽 상단부에 쇼바(S)가 돌출하도록 장착하여 안착판(34)이 이동판(25)과 직각이 되는 시점에서 각도조절판(35) 측면이 쇼바(S)에 접촉하도록 함으로써, 안착판(34)이 이동판(25)을 기준으로 평행하거나 직각이 되는 시점에서 쇼바(S)가 안전하고 정밀하게 각도조절판(35)을 멈출 수 있도록 하여 각도조절모터(30m)에 과부하가 발생하는 것을 예방할 수 있도록 하여 각도조절모터(30m)의 수명을 증가하도록 함은 물론 용량을 최소화할 수 있도록 하는 것이 바람직할 것이다.At this time, the mounting of the shoba (S) on both sides of the
또, 도 8에 도시된 바와 같이 상기 안착판(34) 상단 면에 일정거리를 유지하는 복수의 LM가이드(41)를 길이방향으로 고정하되 하부에 일정 높이를 유지하는 보조가이드(42)를 각각 형성하고, 상기 LM가이드(41) 사이에 볼 스크루(43)를 평행하게 유지하도록 양측 끝단부를 고정구(44)로 안착판(34) 상부에 장착하되 볼 스크루(43) 한쪽 끝단에 구동모터(40m)를 연결구(48)로 연결 구성하며, LM가이드(41)에 연결 구비되는 다수의 가이드블록(46)을 하단에 연결고정하는 상하이동판(45)의 하단에 볼 스크루(43) 외경에 구비되는 스크루 너트(47)를 고정하여 상하이동수 단(40)을 구성함으로써, 상기에 기술한 거리이동수단(20)과 동일한 구성이므로 도 9에서 기술한 바와 같이 구동모터(40m)를 구동하여 볼 스크루(43)를 회전시키면 볼 스크루(43)의 외경에 구비되는 스크루 너트(47)가 상하이동판(45)의 하단에 고정됨에 따라 볼 스크루(43)의 회전거리만큼 상하이동판(45)을 이동할 수 있도록 하는 것으로서 이는 안착판(34)과 상하이동판(45) 사이에 구성되는 LM가이드(41)로 인해 상하이동판(45)이 안착판(34)을 기준으로 볼 스크루(22)의 회전운동을 LM가이드(41)의 직선운동으로 변화하여 안정적으로 이동하면서도 정밀하게 작동하고 고정하도록 한 것이다.In addition, as shown in Figure 8, the
뿐만 아니라 도 8에 도시된 바와 같이 상기 상하이동판(45) 중심부에 고정홈(53)을 형성하여 회전모터(50m)를 안착 고정하고 회전모터(50m) 상단부에 복수 이상의 고정핀(52)을 돌출시킨 회전판(51)을 구비하여 회전수단(50)을 구성함에 따라 상하이동판(45)을 기준으로 회전판(51)이 회전모터(50m)로 인해 정역으로 자유로이 회전할 수 있도록 함으로써, 별도의 구성체 없이 회전판(51) 상단에 구성하는 흡착수단(60)이 방향을 용이하게 변경할 수 있도록 한 것이다.In addition, as shown in FIG. 8, a fixing groove 53 is formed in the center of the
그리고, 도 10과 도 11에 도시된 바와 같이 상기 회전판(51) 상단 면에, 중심부를 고정하는 일정 길이를 유지하는 기준체(61) 상단 면에 다수의 진공패드장치(70)를 일정거리를 유지하여 한쪽 측면에 체결한 다수의 고정판(62)을 기준체(61)에 일정거리를 유지하며 교차하도록 결착하고 고정판(62)의 한쪽 끝단부에 고정편(62)을 구비하여 각각의 고정판(63)을 연결 고정한 흡착수단(60)을 구성함에 따라 다수의 진공패드장치(70)를 규칙적으로 나열하여 패드(76)가 넓은 유리기판(2)을 균일하게 흡착할 수 있도록 하여 더욱 안정적으로 유리기판(2)을 흡착 고정할 수 있도록 하는 것이다.10 and 11, a plurality of
이때, 고정판(62)에 구성되는 진공패드장치(70)는 도 12에 도시된 바와 같이 고정판(62)의 일 측면에 한쪽으로 로드(72)가 노출되는 듀얼실린더(71)와 내부로 진공축(73)이 왕복 운동하는 안내블록(74)을 각각 장착하되 로드(72)와 진공축(73)의 하단부를 고정블록(75)으로 연결하며, 진공축(73) 상단 면에 패드(76)를 구비하여 패드(76)가 듀얼실린더(71)에 의해 안내블록(74)을 기준으로 왕복운동을 하도록 함에 따라 패드(76)가 듀얼실린더(71)의 작동에 따라 전후진 하도록 하는 구조로서, 상기에 기술된 각각의 수단들이 작동하여 다수의 패드(76)가 유리기판(2)을 동시에 밀착하거나 분리하도록 하면서도 각각의 진공패드장치(70)의 작동이 개별적으로 작동되도록 함에 따라 한두 개의 패드(76)가 진공흡착을 하지 못하더라도 나머지 정상적인 진공패드장치(70)로 유리기판(2)을 안전하고 정확하게 흡착고정할 수 있도록 하기 위한 구성임을 알 수 있다.At this time, the
상기에 기술한 바와 같이 각각 구성되는 수단들이 서로 결합하여 작용함에 따라 본 발명의 대형유리기판의 검사장치가 유기기판(2)을 용이하게 선별할 수 있도록 하는 것이다.As described above, as the means constituted by each other act in combination with each other, the inspection apparatus for the large-scale glass substrate of the present invention allows the
즉 도 14에 도시된 바와 같이 1차 불량으로 선별된 다수의 유리기판(2)을 기준 안착대(3)에 안착한 다음 선별장치(1)의 후측에 구비하여 한쪽에 검사결과 재생가능한 유리기판(2)을 안착할 재생 안착대(4)를 구비하고 검사결과 재생이 불가능한 유리기판(2)을 안착할 폐기 안착대(5)를 재생 안착대(4)와 대칭이 되도록 구비하여 사용하는 것이 바람직할 것이다.That is, as shown in FIG. 14, a plurality of
상기와 같이 구성한 상태에서 본 발명의 대형유리기판의 검사장치를 구성하는 각각의 수단이 작동하는 순서와 연관관계를 일실시 예를 통해 살펴보면 하기와 같다.Looking at the embodiment and the relationship between the operation of each means constituting the inspection apparatus of the large-size glass substrate of the present invention configured as described above through the embodiment as follows.
우선, 도 15에 도시된 바와 같이 선별장치(1) 후측에 1차 검사에서 불량으로 선별된 다수의 유리기판(2)을 안착한 기준 안착대(3)를 구비함에 따라 먼저 각도조절수단(30)을 작동하여 흡착수단(60)의 패드(76)가 유리기판(2)의 기울어진 각도만큼 기울어지게 한 다음 거리이동수단(20)을 작동하여 패드(76)가 유리기판(2)에 밀착되도록 하고 진공흡착장치(70)를 작동하여 진공이 되도록 하여 다수의 패드(76)가 유리기판(2)을 흡착하도록 한 다음 다시 거리이동수단(20)과 각도조절수단(30)을 작동하여 유리기판(2)을 기준 안착대(3)에서 이탈시킨 후 유리기판(2)이 수평을 유지하도록 한 다음 필요에 따라 회전수단(50)을 가동하여 유리기판(2)이 회전하도록 하여 작업자가 일정한 위치에서 동일한 조건으로 유리기판(2)의 표면을 육안으 로 검사할 수 있도록 하여 작업자가 세밀하고 용이하게 유리기판(2)을 검사하도록 하는 것이다.First, as shown in FIG. 15, first, the angle adjusting means 30 is provided on the rear side of the
상기와 같이 실시한 육안검사를 통한 재사용 여부에 따라 방향전환수단(10)을 작동하여 재생 안착대(4) 또는 폐기 안착대(5) 방향으로 회전시킨 다음 각도조절수단(30)을 작동하여 유리기판(2)을 재생 안착대(4)나 폐기 안착대(5)의 기울기 만큼 기울어지도록 하고 거리이동수단(20)을 작동하여 재생 안착대(4)나 폐기 안착대(5)의 위치만큼 흡착수단(60)을 이동하여 재생 안착대(4)나 폐기 안착대(5)에 유리기판(2)을 위치시킨 다음 진공흡착장치(70)의 진공을 해제하여 패드(76)에서 유리기판(2)이 이탈하도록 하여 유리기판(2)이 재생 안착대(4)나 폐기 안착대(5)에 안착시킨 다음 거리이동수단(20)과 각도조절수단(30)을 작동하여 선별장치(1)가 원위치 되도록 하는 선별작업을 반복적으로 하도록 하는 것이다.Operate the direction switching means 10 according to the reuse by visual inspection carried out as described above to rotate in the direction of the regeneration seat (4) or waste seating table (5) and then operate the angle adjusting means (30) glass substrate (2) is inclined by the inclination of the regeneration seat (4) or the waste restraint (5), and the distance moving means 20 is operated so that the suction means as much as the position of the regeneration seat (4) or the waste rest table (5). Move the 60 to position the
이때, 상기에 기술한 바와 같이 육안검사와 선별작업이 다수 이루어지면 각각의 안착대(3, 4, 5)에 안착된 유리기판(2)의 수량이 달라짐에 따라 패드(76)가 유리기판(2)에 밀착하는 위치가 조금씩 달라짐으로 이러한 거리유격은 상기에 기술한 상하이동수단(40)을 작동하여 유리기판(2)에 접착하는 패드(76)의 위치가 일정하도록 하는 것이 바람직한 것이다.At this time, as described above, when a large number of visual inspections and screening operations are performed, the
이상 상기와 같이 구성되어 작동하는 본 발명의 대형유리기판의 검사장치는 각각의 수단에서 연속적으로 진행하는 각각의 장치에서 행해지는 연속적은 동작은 각 부분에 각종 감지 센스들과 리밋 스위치 등의 신호나 진공을 위한 공기의 출입을 전기밸브로 전기적/전자적 제어 체계를 통하여 자동으로, 연속적으로 진행될 수 있도록 하는 것인데, 이는 자동화 시스템 등에 통상적으로 사용될 수 있는 제어 방법을 응용하여 별도의 제어장치를 구비시켜서 사용하는 것임으로 구체적인 설명은 생략하기로 한다. (미도시) As described above, the inspection apparatus of the large-size glass substrate of the present invention configured and operated is performed in each device continuously running in each means. In and out of the air for the vacuum to be automatically and continuously through the electrical / electronic control system to the electric valve, which is equipped with a separate control device by applying a control method that can be commonly used in automation systems, etc. The detailed description will be omitted. (Not shown)
도 1은 본 발명의 바람직한 일실시 예를 도시한 전체 구성 사시도.1 is a perspective view of the overall configuration showing a preferred embodiment of the present invention.
도 2의 (가)(나)는 본 발명의 바람직한 방향전환수단을 도시한 구성도.Figure 2 (a) (b) is a block diagram showing a preferred direction switching means of the present invention.
도 3은 본 발명의 바람직한 일실시 예를 도시한 요부 구성 사시도.Figure 3 is a perspective view of the main portion showing a preferred embodiment of the present invention.
도 4의 (가)(나)는 본 발명의 바람직한 거리이동수단을 도시한 구성도.Figure 4 (a) (b) is a block diagram showing a preferred distance moving means of the present invention.
도 5의 (가)(나)는 도 4의 가-가'선 단면을 도시한 거리이송수단의 작동상태구성도.Figure 5 (a) (b) is an operating state configuration of the distance transport means showing the cross-ga line cross-sectional view of FIG.
도 6의 (가)(나)는 본 발명의 바람직한 각도조절수단을 도시한 구성도.Figure 6 (a) (b) is a block diagram showing a preferred angle adjusting means of the present invention.
도 7의 (가)(나)는 본 발명의 바람직한 각도조절수단의 작동상태를 도시한 구성도.Figure 7 (a) (b) is a configuration diagram showing the operating state of the preferred angle adjustment means of the present invention.
도 8의 (가)(나)는 본 발명의 바람직한 상하이동수단과 회전수단을 도시한 구성도.Figure 8 (a) (b) is a block diagram showing a preferred shandong movement means and rotation means of the present invention.
도 9의 (가)(나)는 도 8의 다-다'선 단면을 도시한 상하이동수단의 작동상태구성도.Figure 9 (a) (b) is an operating state configuration diagram of the Shanghai East means showing the cross-section of the multi-line of FIG.
도 10은 본 발명의 바람직한 흡착수단의 구성을 도시한 사시도.Figure 10 is a perspective view showing the configuration of the preferred adsorption means of the present invention.
도 11은 본 발명의 바람직한 흡착수단의 구성을 도시한 부분 단면도.11 is a partial cross-sectional view showing the configuration of a preferred adsorption means of the present invention.
도 12는 본 발명의 바람직한 진공패드장치의 구성을 도시한 사시도.12 is a perspective view showing a configuration of a preferred vacuum pad device of the present invention.
도 13의 (가)(나)는 본 발명의 바람직한 진공패드장치의 작동상태를 도시한 단면 구성도.Figure 13 (a) (b) is a cross-sectional view showing the operating state of the preferred vacuum pad device of the present invention.
도 14는 본 발명의 바람직한 일실시 예를 도시한 사용상태 사시도.Figure 14 is a perspective view of the use state showing an embodiment of the present invention.
도 15의 (가)(나)(다)는 본 발명의 바람직한 일실시 예를 도시한 사용상태도.Figure 15 (a) (b) (c) is a state diagram showing a preferred embodiment of the present invention.
* 도면의 주요부분에 사용된 주요부호의 설명 *Explanation of the main symbols used in the main part of the drawing
1: 선별장치 2: 유리기판1: sorting device 2: glass substrate
3: 기준 안착대 4: 재생 안착대3: reference seating 4: recycled seating
5: 폐기 안착대 10: 방향전환수단5: disposal seat 10: direction change means
10m: 감속모터 11: 프레임10m: Reduction Motor 11: Frame
12: 고정편 13: 곡선레일12: fixed piece 13: curved rail
14: 구동축 15: 방향전환판14: drive shaft 15: direction switching plate
16: 레일블록 20: 거리이동수단16: rail block 20: distance moving means
20m, 40m: 구동모터 21, 41: LM가이드20m, 40m: Drive
22, 43: 볼 스크루 23, 44: 고정구22, 43:
24, 46: 가이드블록 25: 이동판24, 46: guide block 25: moving plate
26, 42: 보조가이드 27, 47: 스크루 너트26, 42:
28, 48: 연결구 30: 각도조절수단28, 48: connector 30: angle adjustment means
30m: 각도조절모터 31: 기준블록30m: Angle regulating motor 31: Reference block
32: 베어링 33: 회전봉32: bearing 33: rotating rod
34: 안착판 35: 각도조절판34: seating plate 35: angle adjustment plate
36: 안착구 37: 구동부36: seating hole 37: drive unit
40: 상하이동수단 45: 상하이동판40: Shanghai East Sudan 45: Shanghai East Plate
50: 회전수단 50m: 회전모터50: rotation means 50m: rotation motor
51: 회전판 52: 고정핀51: rotating plate 52: fixed pin
53: 고정홈 60: 흡착수단53: fixing groove 60: adsorption means
61: 기준체 62: 고정판61: reference body 62: fixed plate
70: 진공패드장치 71: 듀얼실린더70: vacuum pad device 71: dual cylinder
72: 로드 73: 진공축72: rod 73: vacuum shaft
74: 안내블록 75: 고정블록74: guide block 75: fixed block
76: 패드76: pad
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