KR101229799B1

KR101229799B1 - Laser repair device

Info

Publication number: KR101229799B1
Application number: KR1020110049745A
Authority: KR
Inventors: 박노중; 임재우
Original assignee: (주)펨트론
Priority date: 2011-05-25
Filing date: 2011-05-25
Publication date: 2013-02-05
Also published as: KR20120131526A

Abstract

디스플레이 모듈의 불량 픽셀을 검사하고 리페어하는 레이저 리페어 장치에 있어서, 레이저 리페어 장치는 검사 전의 상기 디스플레이 모듈이 안착되는 정렬 안착부와; 검사된 상기 디스플레이 모듈이 안착되어 언로딩(unloading)되도록 대기하는 언로딩 안착부와; 검사 전의 복수 개의 디스플레이 모듈이 장착된 카세트를 로딩(loading)시키며, 상기 카세트 내의 상기 디스플레이 모듈을 순차적으로 상기 정렬 안착부로 이송하는 로딩부와; 상기 언로딩 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈을 외부로 언로딩하는 언로딩부와; 한 쌍의 안착부를 구비하며, 상기 디스플레이 모듈의 불량 픽셀을 확인하도록 상기 디스플레이 모듈이 위치하는 검사 위치와, 상기 검사 위치로 이송되기 전의 상기 디스플레이 모듈 또는 검사 후 상기 언로딩 안착부로 이송되기 전의 상기 디스플레이 모듈이 이송 대기하는 대기 위치 간을 상기 한 쌍의 안착부가 상호 이동 가능하게 180˚ 회전시키는 회전 모듈을 포함하는 인덱스 테이블과; 상기 정렬 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈을 흡착하여 상기 대기 위치에 위치하는 상기 안착부에서 흡착 해제하는 제1 흡착부와, 상기 대기 위치에 위치하는 상기 안착부의 검사 후의 상기 디스플레이 모듈을 흡착하여 상기 언로딩 안착부에서 흡착 해제하는 제2 흡착부와, 상기 제1 흡착부와 상기 제2 흡착부를 동시에 이동시켜 상기 정렬 안착부에 안착되어 있는 검사 전 상기 디스플레이 모듈은 상기 대기 위치에 위치하는 상기 안착부로 검사 후 상기 대기 위치에 위치하는 상기 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈은 상기 언로딩 안착부로 이송되게 하는 이송 모듈을 포함하는 이송 유닛과, 상기 카세트로부터 로딩되어 상기 정렬 안착부로 이송된 상기 디스플레이 모듈을 정렬하도록 얼라인 유닛과, 상기 검사 위치에 위치한 상기 안착부에 안착된 검사 전의 상기 디스플레이 모듈을 점등시켜 불량 픽셀을 확인하는 프루브 유닛을 포함한다. 이에 따라, 검사 전의 디스플레이 모듈과 검사 후의 디스플레이 모듈을 동시에 이송함으로써, 공정 시간을 단축함과 동시에 순차적으로 검사 및 리페어 과정을 진행할 수 있어 공정 시간을 단축하여 생산성을 높일 수 있다.A laser repair apparatus for inspecting and repairing defective pixels of a display module, the laser repair apparatus comprising: an alignment seat on which the display module is seated before inspection; An unloading seating unit which waits for the inspected display module to be seated and unloaded; A loading unit which loads a cassette on which a plurality of display modules are mounted before inspection, and sequentially transfers the display module in the cassette to the alignment seat; An unloading unit which unloads the display module mounted on the unloading seat to the outside; A pair of seating portions, the inspection position at which the display module is positioned to identify defective pixels of the display module, and the display module before being transported to the inspection position or the display before being transported to the unloading seating portion after inspection An index table including a rotation module which rotates the pair of seating portions 180 ° so as to be mutually movable between the standby positions at which the module is waiting to be transferred; The first adsorption part for absorbing and releasing the adsorption from the seating part positioned at the standby position by adsorbing the display module seated on the alignment seating part, and the display module after the inspection of the seating part positioned at the standby position by adsorbing the A second adsorption part which releases adsorption from the unloading seat part, and the display module before the inspection, which is mounted on the alignment seat part by simultaneously moving the first adsorption part and the second adsorption part, are seated at the standby position. The display module seated in the seating position located in the standby position after the inspection by means of a transfer unit including a transfer module for transferring to the unloading seating portion, and the display module loaded from the cassette and transferred to the alignment seating portion The alignment unit and the seating unit located at the test position And a probe unit that turns on the display module before the seated inspection and checks for defective pixels. Accordingly, by simultaneously transferring the display module before the inspection and the display module after the inspection, the process time can be shortened, and the inspection and repair processes can be performed sequentially, thereby reducing the process time and increasing productivity.

Description

LASER REPAIR DEVICE

본 발명은 레이저 리페어 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 외부로부터 유입되는 디스플레이 모듈을 순차적으로 이송하면서도 장치 내에서 디스플레이 모듈을 정렬함과 동시에 검사 및 리페어하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a laser repair apparatus, and more particularly, to an apparatus for inspecting and repairing the display module while aligning the display module in the apparatus while sequentially transferring the display module introduced from the outside.

디스플레이 모듈(Display Module)의 제조시, 수많은 미세 픽셀들 중 한 개라도 결함이 있으면 디스플레이 모듈로서의 제 기능을 수행하지 못하므로 불량품 또는 등급하락으로 처리된다. 이와 같이 디스플레이 모듈의 일부 픽셀에만 결함이 발생하였는데도 불구하고 디스플레이 모듈을 불량품으로 폐기하거나 등급 하락의 처분을 받는 것은 수율 측면에서 비효율적이다.In the manufacture of a display module, if any one of a number of fine pixels is defective, it cannot be functioned as a display module and thus is treated as defective or deteriorated. In this way, it is inefficient in terms of yield to dispose of the display module as a defective product or to receive a drop in grade, even though only a few pixels of the display module are defective.

따라서, 상술된 문제점을 해결하기 위해 디스플레이 모듈의 불량을 확인한 후 리페어 하는 과정이 도입되었다. 여기서, 디스플레이 모듈의 제조공정 중에는 디스플레이 모듈의 불량을 확인하기 위한 디스플레이 모듈 검사공정이 있다.Therefore, in order to solve the above-mentioned problem, a process of checking a defect of a display module and then repairing it has been introduced. Here, during the manufacturing process of the display module, there is a display module inspection process for checking the defect of the display module.

이러한 디스플레이 모듈 검사시 최근에는 검사장비로 수작업이 아닌 초고속설비(AVT : Auto Vition Type)를 이용하고 있으며, 초고속설비에 의하여 약 2.5초 만에 디스플레이 모듈을 자동으로 검사하여 디스플레이 모듈의 하나의 불량 예인 픽셀이 깜박깜박하는 이상방전현상을 나타내는 불량(멸점불량) 등을 확인할 수 있다. When inspecting such a display module, recently, a high-speed facility (AVT: Auto Vition Type) is used as an inspection device, and not by hand, and the display module is automatically inspected in about 2.5 seconds by the ultra-high speed facility. Defects (blinking defects) indicating abnormal discharge phenomenon of blinking pixels can be confirmed.

상기와 같이 디스플레이 모듈 검사공정에서 멸점 불량 등의 픽셀 불량이 발견되는 경우에는 디스플레이 모듈의 불량 위치의 맵 데이타(Map Data)를 확보하여 리페어 장치로 송신하게 된다. 따라서, 리페어 장치로 이송된 디스플레이 모듈은 맵 데이타를 이용하여 불량 픽셀에 대한 리페어를 행하는 즉, 불량 픽셀을 암점화하여 양품화하는 리페어 과정을 수행 받게 된다. As described above, when pixel defects such as defects are found in the display module inspection process, map data of a defective position of the display module is secured and transmitted to the repair apparatus. Accordingly, the display module transferred to the repair apparatus performs a repair process for repairing defective pixels by using map data, that is, darkening and defecting defective pixels.

종래에는 하나의 디스플레이 모듈을 디스플레이 모듈 검사장치에서 불량 픽셀을 확인하여 표시하고, 리페어 장치에서 리페어 가공을 수행한 후 카세트로 이송하기 때문에 많은 시간이 소요되고, 그에 따라 생산성의 저하가 발생한다.Conventionally, since one display module checks and displays a bad pixel in a display module inspection apparatus and performs repair processing in a repair apparatus, it takes a lot of time, and thus a decrease in productivity occurs.

또한, 불량 픽셀 검사공정과 리페어 공정을 나누어 각각의 공정을 효율화하더라도 여전히 리페어 공정에서는 하나의 디스플레이 모듈을 순차적으로 이송하면서 리페어 공정을 수행하기에 많은 시간이 소요되고, 그에 따라 여전히 생산성의 저하의 문제점이 발생된다.In addition, even if the defective pixel inspection process and the repair process are divided to make each process more efficient, the repair process still takes a long time to perform the repair process while transferring one display module in sequence, and thus, there is still a problem of deterioration in productivity. Is generated.

특히, 이하에서 살펴볼 리페어 장치 내에 이용되는 도 1의 종래의 디스플레이 모듈의 이송의 개념도를 살펴보면 상기 문제를 확연히 알 수 있다. In particular, the problem can be clearly seen by looking at the conceptual diagram of the transfer of the conventional display module of FIG. 1 used in the repair apparatus to be described below.

도 1을 참조하여 살펴보면, 로딩된 디스플레이 모듈(2)은 제1 위치(Ⅰ)에서 정렬이 이루어지고, 제2 위치(Ⅱ)에서 비전 얼라인 유닛(5)을 통하여 디스플레이 모듈(2)의 정확한 위치 값을 파악 및 보정되며, 제3 위치(Ⅲ)에서 프루브 유닛(6)을 통하여 디스플레이 모듈(2)을 점등시켜 불량 픽셀을 파악하고 리페어하게 된다. Referring to FIG. 1, the loaded display module 2 is aligned in the first position I and the correct position of the display module 2 through the vision alignment unit 5 in the second position II. The position value is detected and corrected, and the display module 2 is turned on through the probe unit 6 at the third position III to identify and repair defective pixels.

그리고, 리페어된 디스플레이 모듈(2)은 제4 위치(Ⅳ)로 이송되어 언로더 그리퍼(Unloader Gripper)(8)에 의하여 외부로 언로딩되게 된다.The repaired display module 2 is transferred to the fourth position IV to be unloaded to the outside by the unloader gripper 8.

그러나, 제3 위치(Ⅲ)에서 디스플레이 모듈(2)의 불량 픽셀을 확인하지 못하게 되면 디스플레이 모듈의 하면 측에서 불량 픽셀을 확인하여야 하는바, 제4 위치(Ⅳ)에서 디스플레이 모듈을 180˚ 회전하여 디스플레이 모듈의 상면과 하면의 위치가 전환된 후 다시 제1 위치(Ⅰ)로 디스플레이 모듈은 이송되어 상술된 과정을 다시 진행하게 된다.However, if it is impossible to check the bad pixels of the display module 2 in the third position (III), the bad pixels should be checked on the lower surface side of the display module. The display module is rotated 180 ° in the fourth position (IV). After the positions of the upper and lower surfaces of the display module are switched, the display module is transferred to the first position I again to proceed with the above-described process again.

따라서, 리페어 공정을 수행하기에 많은 시간이 소요되어 시간의 효율성이 떨어지며, 그에 따라 생산성의 저하의 문제점이 발생된다.Therefore, it takes a lot of time to perform the repair process, the efficiency of the time is lowered, thereby causing a problem of a decrease in productivity.

또한, 상술된 과정은 순차적으로 진행되기 때문에 상기 제3 위치(Ⅲ)에서 반전된 디스플레이 모듈이 제1 위치(Ⅰ) 위치로 이송되면, 로딩되어 제1 위치(Ⅰ)로 이송되려던 디스플레이 모듈이 이송될 수 없고, 또한 로딩되어 순차적으로 이송되던 디스플레이 모듈이 제3 위치(Ⅲ)에서 반전되어 제1 위치(Ⅰ) 위치로 이송되는 디스플레이 모듈에 의하여 진행이 연기되어 순서상에 오류가 발생하는 문제가 있다.In addition, since the above-described process proceeds sequentially, when the display module inverted at the third position (III) is moved to the first position (I), the display module which is loaded and is to be transferred to the first position (I) is The display module, which cannot be transported and is loaded and sequentially transported, is inverted at the third position (III) and is delayed by the display module transported to the first position (I), thereby causing an error in the sequence. There is.

이에, 본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로서, 디스플레이 모듈을 순차적으로 정렬 작업, 불량 픽셀 확인 및 리페어의 과정을 수행시키면서도 검사 전의 디스플레이 모듈과 검사 후의 디스플레이 모듈을 동시에 이송함으로써, 공정 시간을 단축함과 동시에 순차적으로 진행할 수 있도록 작업공정을 구성하는데 그 목적이 있다. Accordingly, the present invention has been proposed to solve the above problems of the prior art, by simultaneously transporting the display module before the inspection and the display module after the inspection while performing the process of aligning, checking bad pixels and repairing the display module sequentially The aim is to organize the work process so as to reduce the process time and proceed sequentially.

본 발명의 또 다른 목적은 디스플레이 모듈의 크기에 따라 하나의 장치에서 불량 픽셀 확인과 리페어 과정을 진행할 수 있도록 기 설정된 위치에 디스플레이 모듈이 위치할 수 있도록 정렬하여 리페어 과정을 순차적으로 진행하는데 그 목적이 있다. Another object of the present invention is to arrange the display module at a predetermined position so that one pixel can be checked and repaired in a single device according to the size of the display module. have.

상기 목적은 본 발명에 따라, 디스플레이 모듈의 불량 픽셀을 검사하고 리페어하는 레이저 리페어 장치에 있어서, 검사 전의 상기 디스플레이 모듈이 안착되는 정렬 안착부와; 검사된 상기 디스플레이 모듈이 안착되어 언로딩(unloading)되도록 대기하는 언로딩 안착부와; 검사 전의 복수 개의 디스플레이 모듈이 장착된 카세트를 로딩(loading)시키며, 상기 카세트 내의 상기 디스플레이 모듈을 순차적으로 상기 정렬 안착부로 이송하는 로딩부와; 상기 언로딩 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈을 외부로 언로딩하는 언로딩부와; 한 쌍의 안착부를 구비하며, 상기 디스플레이 모듈의 불량 픽셀을 확인하도록 상기 디스플레이 모듈이 위치하는 검사 위치와, 상기 검사 위치로 이송되기 전의 상기 디스플레이 모듈 또는 검사 후 상기 언로딩 안착부로 이송되기 전의 상기 디스플레이 모듈이 이송 대기하는 대기 위치 간을 상기 한 쌍의 안착부가 상호 이동 가능하게 180˚ 회전시키는 회전 모듈을 포함하는 인덱스 테이블과; 상기 정렬 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈을 흡착하여 상기 대기 위치에 위치하는 상기 안착부에서 흡착 해제하는 제1 흡착부와, 상기 대기 위치에 위치하는 상기 안착부의 검사 후의 상기 디스플레이 모듈을 흡착하여 상기 언로딩 안착부에서 흡착 해제하는 제2 흡착부와, 상기 제1 흡착부와 상기 제2 흡착부를 동시에 이동시켜 상기 정렬 안착부에 안착되어 있는 검사 전 상기 디스플레이 모듈은 상기 대기 위치에 위치하는 상기 안착부로 검사 후 상기 대기 위치에 위치하는 상기 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈은 상기 언로딩 안착부로 이송되게 하는 이송 모듈을 포함하는 이송 유닛과, 상기 카세트로부터 로딩되어 상기 정렬 안착부로 이송된 상기 디스플레이 모듈을 정렬하도록 얼라인 유닛과, 상기 검사 위치에 위치한 상기 안착부에 안착된 검사 전의 상기 디스플레이 모듈을 점등시켜 불량 픽셀을 확인하는 프루브 유닛을을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 리페어 장치에 의하여 달성된다.According to an aspect of the present invention, there is provided a laser repair apparatus for inspecting and repairing defective pixels of a display module, comprising: an alignment seat on which the display module is seated before inspection; An unloading seating unit which waits for the inspected display module to be seated and unloaded; A loading unit which loads a cassette on which a plurality of display modules are mounted before inspection, and sequentially transfers the display module in the cassette to the alignment seat; An unloading unit which unloads the display module mounted on the unloading seat to the outside; A pair of seating portions, the inspection position at which the display module is positioned to identify defective pixels of the display module, and the display module before being transported to the inspection position or the display before being transported to the unloading seating portion after inspection An index table including a rotation module which rotates the pair of seating portions 180 ° so as to be mutually movable between the standby positions at which the module is waiting to be transferred; The first adsorption part for absorbing and releasing the adsorption from the seating part positioned at the standby position by adsorbing the display module seated on the alignment seating part, and the display module after the inspection of the seating part positioned at the standby position by adsorbing the A second adsorption part which releases adsorption from the unloading seat part, and the display module before the inspection, which is mounted on the alignment seat part by simultaneously moving the first adsorption part and the second adsorption part, are seated at the standby position. The display module seated in the seating position located in the standby position after the inspection by means of a transfer unit including a transfer module for transferring to the unloading seating portion, and the display module loaded from the cassette and transferred to the alignment seating portion The alignment unit and the seating unit located at the test position It is achieved by a laser repair device comprising a probe unit for lighting the display module before the seated inspection to check for defective pixels.

여기서, 상기 이송 모듈은 상기 제1 흡착부를 승강이동시키는 제1 흡착이동부와; 상기 제2 흡착부를 승강이동시키는 제2 흡착이동부와; 상기 제1 흡착부와 상기 제2 흡착부가 동시에 이동될 수 있도록 상기 제1 흡착이동부 및 상기 제2 흡착이동부와 결합되는 결합부재와; 상기 정렬 안착부로부터 상기 대기 위치의 상기 안착부로 상기 디스플레이 모듈이 이송되는 방향인 X축 방향으로 상기 결합부재를 이동시켜 상기 제1 흡착부와 상기 제2 흡착부가 상기 X축 방향으로 이동되게 하는 X축 결합부재 이동부와; 수평면상에서 상기 X축 방향의 수직방향인 Y축 방향으로 상기 결합부재를 이동시켜 상기 제1 흡착부와 상기 제2 흡착부가 상기 Y축 방향으로 이동되게 하는 Y축 결합부재 이동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.Here, the transfer module includes a first adsorption moving unit for lifting and lowering the first adsorption unit; A second adsorption moving part which moves up and down the second adsorption part; A coupling member coupled to the first adsorption moving part and the second adsorption moving part so that the first adsorption part and the second adsorption part can be simultaneously moved; X to move the coupling member in the X-axis direction, which is the direction in which the display module is transported from the alignment seating part to the seating part of the standby position, so that the first adsorption part and the second adsorption part move in the X-axis direction. A shaft coupling member moving unit; And a Y-axis coupling member moving unit configured to move the coupling member in the Y-axis direction that is the vertical direction of the X-axis direction on a horizontal plane to move the first and second adsorption units in the Y-axis direction. do.

또한, 상기 얼라인 유닛은 상기 정렬 안착부에 이동가능하게 돌출되어 상기 X축 방향으로 나란히 배치되는 한 쌍의 X축 돌기부재와; 상기 한 쌍의 X축 돌기부재가 상호 접근하도록 이동시켜 상기 정렬 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈을 상기 X축 방향의 중심으로 정렬하는 X축 돌기 이송유닛과; 상기 정렬 안착부에 이동가능하게 돌출되어 상기 Y축 방향으로 나란히 배치되는 한 쌍의 Y축 돌기부재와; 상기 한 쌍의 Y축 돌기부재가 상호 접근하도록 이동시켜 상기 정렬 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈을 상기 Y축 방향의 중심으로 정렬하는 Y축 돌기 이송유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the alignment unit may include a pair of X-axis protrusion members movably protruding from the alignment seating portion and arranged side by side in the X-axis direction; An X-axis protrusion transfer unit which moves the pair of X-axis protrusion members to approach each other so as to align the display module seated on the alignment seating portion in the center of the X-axis direction; A pair of Y-axis protrusion members movably protruding from the alignment seating portion and arranged side by side in the Y-axis direction; It characterized in that it comprises a Y-axis projection conveying unit for moving the pair of Y-axis protrusion members to approach each other to align the display module seated on the alignment seat in the center of the Y-axis direction.

여기서, 상기 얼라인 유닛은 상기 디스플레이 모듈의 크기에 따라 상기 이송 유닛에 의하여 상기 정렬 안착부에 안착되어 있는 상기 디스플레이 모듈이 상기 대기 위치에 위치하는 상기 안착부의 기 설정된 위치로 이송될 수 있도록 상기 정렬 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈이 Y축 방향으로 이송되게 하는 Y축 이송유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.Here, the alignment unit is aligned so that the display module, which is seated on the alignment seat by the transfer unit, may be transferred to a predetermined position of the seating unit located in the standby position according to the size of the display module. The display module mounted on the seating portion is characterized in that it further comprises a Y-axis transfer unit to be transferred in the Y-axis direction.

또한, 상기 인덱스 테이블은 상기 검사 위치에 위치하는 상기 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈의 상면과 하면의 위치 전환이 되게 상기 디스플레이 모듈을 180˚ 회전시키는 안착부 회전체를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The index table may further include a seating part rotating body that rotates the display module by 180 ° such that the position of the upper and lower surfaces of the display module mounted on the seating part positioned at the test position is changed. .

한편, 상기 프루브 유닛은 상기 검사 위치의 상기 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈을 점등시키는 프루브 카드와; 경사를 갖는 하부 단층면을 구비하는 하부 블럭과; 상기 하부 단층면에 맞닿은 상부 단층면을 구비하는 상부 블럭과; 상기 프루브 카드가 상기 디스플레이 모듈에 탈착가능하게 하도록 상기 하부 블럭 또는 상부 블럭을 밀거나 당겨 상기 하부 단층면을 따라 상기 상부 블럭이 승강 운동하게 하는 승강구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.On the other hand, the probe unit includes a probe card for lighting the display module seated on the seating portion of the inspection position; A lower block having a lower tomographic surface having a slope; An upper block having an upper tomography surface in contact with the lower tomography surface; And a lifting and lowering driving unit which pushes or pulls the lower block or the upper block to move the upper block along the lower tomographic surface so that the probe card is detachably attached to the display module.

또한, 상기 검사 위치에 위치하는 상기 안착부의 상기 디스플레이 모듈을 상기 프루브 유닛이 점등시키도록 상기 안착부에 안착된 검사 전의 상기 디스플레이 모듈의 정확한 위치값을 파악하여 상기 프루브 유닛이 상기 디스플레이 모듈을 점등하는 위치를 보정하는 비전 얼라인부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the probe unit lights the display module by grasping the correct position value of the display module before the test seated on the seating part so that the probe unit lights up the display module of the seating part located at the test position. It further comprises a vision alignment unit for correcting the position.

또한, 상기 프루브 유닛에 의하여 점등된 상기 디스플레이 모듈의 불량 픽셀을 레이저로 리페어하는 레이저 리페어부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The apparatus may further include a laser repair unit for repairing a defective pixel of the display module lit by the probe unit with a laser.

또한, 상기 레이저 리페어부는 상기 검사 위치에 위치하는 상기 디스플레이 모듈의 상면 위에 배치되어 상기 디스플레이 모듈의 상면에서 불량 픽셀을 확인하는 상부 렌즈와; 상기 검사 위치에 위치하는 상기 디스플레이 모듈의 하면 아래에 배치되어 상기 디스플레이 모듈의 하면에서 불량 픽셀을 확인하는 하부 렌즈를 포함하는 것을 특징으로 한다.The laser repair unit may further include: an upper lens disposed on an upper surface of the display module positioned at the inspection position to identify defective pixels on the upper surface of the display module; And a lower lens disposed under a lower surface of the display module positioned at the inspection position to identify defective pixels on the lower surface of the display module.

또한, 상기 언로딩부는 상기 언로딩 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈을 불량 디스플레이 모듈과 정상 디스플레이 모듈로 구분하여 불량 카세트와 정상 카세트로 언로딩(unloading)시키며, 상기 불량 카세트와 상기 정상 카세트를 외부로 언로딩하는 것을 특징으로 한다. In addition, the unloading unit divides the display module seated on the unloading seat into a bad display module and a normal display module, and unloads the bad cassette and the normal cassette. It is characterized in that the unloading.

상기와 같은 구성에 따라, 본 발명에 따른 레이저 리페어 장치는 검사 전의 디스플레이 모듈과 검사 후의 디스플레이 모듈을 동시에 이송함으로써, 공정 시간을 단축함과 동시에 순차적으로 진행할 수 있어 공정 시간을 단축하여 생산성을 높일 수 있다.According to the configuration as described above, the laser repair apparatus according to the present invention by simultaneously transporting the display module before the inspection and the display module after the inspection, it is possible to proceed in sequence while reducing the process time can increase the productivity by reducing the process time have.

또한, 디스플레이 모듈의 크기에 따라 하나의 장치에서 리페어 과정을 순차적으로 진행할 수 있도록 얼라인 유닛을 이용하여 기 설정된 위치에 디스플레이 모듈이 위치할 수 있도록 정렬할 수 있다. In addition, the display module may be aligned so that the display module may be positioned at a predetermined position using an alignment unit so that the repair process may be sequentially performed in one device according to the size of the display module.

그리고, 안착부에 회동가능하게 결합되는 안착부 회전체는 검사 위치에 위치하는 안착부에 안착된 디스플레이 모듈의 상면에서 불량 픽셀의 판단이 어려운 경우 하면에서 불량 픽셀을 검사할 수 있도록 디스플레이 모듈의 Y축 중심을 기준으로 180˚ 회전시킬 수 있기 때문에 즉, 불량 픽셀의 판단시 디스플레이 모듈의 양 방향에서 불량 픽셀을 확인할 수 있어 불량 픽셀을 확인하는 정확도를 높일 수 있다.In addition, the seating unit rotatable coupled to the seating unit may have a Y in the display module so that the bad pixel may be inspected on the lower surface when it is difficult to determine the bad pixel on the upper surface of the display module seated at the seating position located at the inspection position. Since it can be rotated by 180 ° with respect to the axis center, that is, when determining the bad pixel, the bad pixel can be checked in both directions of the display module, thereby increasing the accuracy of identifying the bad pixel.

도 1은 종래의 디스플레이 모듈의 이송의 개념도이고,
도 2는 본 발명에 따른 레이저 리페어 장치를 나타낸 사시도이고,
도 3는 본 발명에 따른 레이저 리페어 장치에서 디스플레이 모듈이 이동되는 상태를 나타낸 도면이고,
도 4는 본 발명에 따른 레이저 리페어 장치에 카세트가 로딩되는 동작을 나타내는 도면이고,
도 5는 본 발명에 따른 레이저 리페어 장치의 디스플레이 모듈 로딩부 및 언로딩부를 나타낸 확대도이고,
도 6 내지 도 7은 본 발명에 따른 레이저 리페어 장치의 얼라인 유닛을 나타낸 사시도, 배면사시도이고,
도 8은 본 발명에 따른 레이저 리페어 장치의 얼라인 유닛 및 인덱스 테이블을 나타낸 평면도이고,
도 9는 본 발명에 따른 레이저 리페어 장치의 인덱스 테이블을 나타낸 사시도이고,
도 10은 본 발명에 따른 레이저 리페어 장치의 인덱스 테이블의 일부분을 확대해서 나타낸 도면이고,
도 11 내지 도 12는 본 발명에 따른 레이저 리페어 장치의 이송 유닛을 나타낸 사시도 및 평면도이고,
도 13 내지 도 14는 본 발명에 따른 레이저 리페어 장치의 프루브 유닛을 나타낸 사시도 및 평면도이고,
도 15 내지 도 16은 도 14의 C-C 선의 단면을 통하여 프루프 유닛의 승강이동을 나타낸 도면이고,
도 17 내지 도 18은 본 발명에 따른 레이저 리페어 장치의 레이저 리페어부를 나타낸 사시도 및 배면도이다.1 is a conceptual diagram of a transfer of a conventional display module,
2 is a perspective view of a laser repair apparatus according to the present invention;
3 is a view showing a state in which the display module is moved in the laser repair apparatus according to the present invention,
4 is a view showing an operation of loading a cassette in the laser repair apparatus according to the present invention,
5 is an enlarged view illustrating a display module loading unit and an unloading unit of the laser repair apparatus according to the present invention;
6 to 7 is a perspective view, a rear perspective view showing an alignment unit of the laser repair apparatus according to the present invention,
8 is a plan view illustrating an alignment unit and an index table of the laser repair apparatus according to the present invention;
9 is a perspective view showing an index table of the laser repair apparatus according to the present invention;
10 is an enlarged view of a portion of the index table of the laser repair apparatus according to the present invention.
11 to 12 are a perspective view and a plan view showing a transfer unit of the laser repair apparatus according to the present invention,
13 to 14 are a perspective view and a plan view showing a probe unit of the laser repair apparatus according to the present invention,
15 to 16 is a view showing the lifting movement of the proof unit through the cross section of the line CC of FIG.
17 to 18 are a perspective view and a rear view showing a laser repair unit of the laser repair apparatus according to the present invention.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예들에 대해 상세히 설명한다. 여기서, 본 발명에 따른 실시예들을 설명하는데 있어, 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 참조번호를 사용하며, 필요에 따라 그 설명은 생략할 수 있다.
Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail embodiments according to the present invention. Here, in describing the embodiments according to the present invention, the same reference numerals are used for the same components, and description thereof may be omitted as necessary.

도 2 및 도 3을 참조하여 살펴보면, 본 발명에 따른 레이저 리페어 장치(1)는 본체(10), 로딩부(100), 얼라인 유닛(200), 프루브 유닛(300), 인덱스 테이블(400), 이송 유닛(500), 비전 얼라인부(600), 언로딩부(700), 언로딩 안착부(800) 및 레이저 리페어부(900)를 포함한다. 그리고, 얼라인 유닛(200)은 정렬 안착부(220)를, 인덱스 테이블(400)은 한 쌍의 안착부(410)를 포함한다. Referring to FIGS. 2 and 3, the laser repair apparatus 1 according to the present invention includes a main body 10, a loading unit 100, an alignment unit 200, a probe unit 300, and an index table 400. , A transfer unit 500, a vision alignment unit 600, an unloading unit 700, an unloading seating unit 800, and a laser repair unit 900. The alignment unit 200 includes an alignment seating unit 220, and the index table 400 includes a pair of seating units 410.

여기서, 한 쌍의 안착부(410)에는 디스플레이 모듈(2)이 안착되며, 인덱스 테이블(400)은 안착부(410)에 안착된 디스플레이 모듈(2)이 디스플레이 모듈(2)의 불량 픽셀을 확인하도록 디스플레이 모듈(2)이 위치하는 검사 위치와, 검사 위치로 이송되기 전의 디스플레이 모듈(2) 또는 검사 후 언로딩 안착부(800)로 이송되기 전의 디스플레이 모듈(2)이 이송 대기하는 대기 위치 간을 상호 이동되게 한다.Here, the display module 2 is seated on the pair of seating parts 410, and the display module 2 seated on the seating part 410 identifies the defective pixels of the display module 2 by the index table 400. Between the inspection position where the display module 2 is positioned and the standby position where the display module 2 before the transfer to the inspection position or the display module 2 before the transfer to the unloading seating part 800 waits for the transfer. To be moved mutually.

정렬 안착부(220)로부터 대기 위치에 위치하는 안착부(410)로 디스플레이 모듈(2)이 이송되는 방향을 X축 방향, 수평면상에서 X축 방향의 수직방향을 Y축 방향 및 X-Y축상의 평면에 수직방향인 Z축 방향으로 하여 본 발명에 따른 레이저 리페어 장치(1)를 설명하는데 있어서 이해를 돕도록 한다.The direction in which the display module 2 is transferred from the alignment seating unit 220 to the seating unit 410 located at the standby position is in the X-axis direction, and the vertical direction in the X-axis direction on the horizontal plane is in the Y-axis direction and the plane on the XY axis. In the Z-axis direction in the vertical direction, the laser repair apparatus 1 according to the present invention will be helpful in understanding.

로딩부(100)는 검사 전의 복수 개의 디스플레이 모듈(2)이 장착된 카세트(3)를 로딩(loading)시키는 카세트 로딩부(110)와 카세트 로딩부(110)에 의하여 이송된 카세트(3) 내의 디스플레이 모듈(2)을 순차적으로 정렬 안착부(220)로 이송하는 디스플레이 모듈 로딩부(120)를 포함한다. The loading unit 100 includes a cassette loading unit 110 for loading a cassette 3 on which a plurality of display modules 2 are mounted before the inspection and a cassette 3 transferred by the cassette loading unit 110. And a display module loading unit 120 for sequentially transferring the display module 2 to the alignment seating unit 220.

도 4를 참조하여 살펴보면, 카세트 로딩부(110)는 카세트(3)를 수용하는 카세트 수용부(111), 카세트 수용부(111)에 결합되는 카세트 회전축부(112), 카세트 회전축부(112)에 연결되어 카세트 회전축부(112)를 기준으로 카세트 수용부(111)가 도 4에 도시된 바와 같이 틸트(tilt) 운동을 하도록 가압하는 카세트 실린더(113) 및 카세트 Z축 무빙 유닛(114)을 포함한다. 여기서, 카세트 Z축 무빙 유닛(114)은 카세트(3)를 Z축 방향으로 승강 이동시켜 디스플레이 모듈 이송부(120)가 기 설정된 위치의 카세트(3) 내의 디스플레이 모듈(2)을 용이하게 인출할 수 있도록 한다.Referring to FIG. 4, the cassette loading unit 110 includes a cassette accommodating portion 111 accommodating the cassette 3, a cassette rotating shaft portion 112 coupled to the cassette accommodating portion 111, and a cassette rotating shaft portion 112. The cassette cylinder 113 and the cassette Z-axis moving unit 114 which are connected to the cassette cylinder 111 to pressurize the tilting movement as shown in FIG. 4 with respect to the cassette rotating shaft part 112. Include. Here, the cassette Z-axis moving unit 114 moves the cassette 3 up and down in the Z-axis direction so that the display module transporter 120 can easily withdraw the display module 2 in the cassette 3 at a preset position. Make sure

도 5를 참조하여 살펴보면, 디스플레이 모듈 로딩부(120)는 흡착판(121)을 구비하는 탈착 유닛(122), 탈착 유닛 X축 이동부(123), 탈착 유닛 Y축 이동부(124), 탈착부(125), 탈착부 Z축 이동부(126), 탈착부 LM가이드(127)를 포함한다. Referring to FIG. 5, the display module loading unit 120 includes a desorption unit 122 having a suction plate 121, a desorption unit X-axis moving unit 123, a desorption unit Y-axis moving unit 124, and a desorption unit. 125, a detachable part Z-axis moving part 126, and a detachable part LM guide 127.

탈착 유닛(122)은 탈착 유닛 X축 이동부(123)와 탈착 유닛 Y축 이동부(124)에 의하여 탈착 유닛 X축 이동부(123)와 탈착 유닛 Y축 이동부(124)에 의한 이동범위 내에서 X축 방향과 Y축 방향으로 자유롭게 움직인다. The detachable unit 122 is moved by the detachable unit X-axis moving unit 123 and the detachable unit Y-axis moving unit 124 by the detachable unit X-axis moving unit 123 and the detachable unit Y-axis moving unit 124. Free movement in the X- and Y-axis directions

따라서, 탈착 유닛(122)은 기 설정된 위치의 카세트(3) 내의 디스플레이 모듈(2)을 흡착판(121)을 이용하여 흡착하고, 탈착 유닛 X축 이동부(123)와 탈착 유닛 Y축 이동부(124)에 의하여 탈착부(125)로 인계할 수 있는 위치로 디스플레이 모듈(2)을 이송되게 한다.Therefore, the desorption unit 122 adsorbs the display module 2 in the cassette 3 at the preset position using the adsorption plate 121, and the desorption unit X-axis moving unit 123 and the desorption unit Y-axis moving unit ( The display module 2 is transported to a position that can be turned over to the detachable portion 125 by 124.

또한, 탈착부(125)는 흡착 유닛(미도시)를 구비하여 탈착 유닛(122)에 의하여 이송된 디스플레이 모듈(2)을 흡착한다. In addition, the desorption unit 125 includes an adsorption unit (not shown) to adsorb the display module 2 transferred by the desorption unit 122.

그리고, 탈착부(125)와 결합하여 탈착부(125)를 Z축 방향으로 이동가능하게 하는 탈착부 Z축 이동부(126), 탈착부 Z축 이동부(126)와 결합하여 탈착부(125)에 흡착된 디스플레이 모듈(2)을 정렬 안착부(220)로 이송되도록 안내하는 탈착부 LM가이드(127) 및 탈착부(125)가 탈착부 LM가이드(127)를 따라 이동하게 하는 구동부(미도시)를 이용하여 탈착부(125)에 흡착된 디스플레이 모듈(2)이 정렬 안착부(220)에 안착되게 한다.In addition, in combination with the detachable part 125, the detachable part Z-axis moving part 126 and the detachable part Z-axis moving part 126, which allow the detachable part 125 to move in the Z-axis direction, are detachable part 125. A driving unit (not shown) for allowing the detachable part LM guide 127 and the detachable part 125 to move along the detachable part LM guide 127 to guide the display module 2 adsorbed to the alignment seat 220 to be transferred. The display module 2 adsorbed on the detachable part 125 is seated on the alignment seating part 220 by using the c).

상술된 바와 같이 기 설정된 위치의 카세트(3) 내의 디스플레이 모듈(2)을 인출하여 정렬 안착부(220)로 이송하는데 있어서 디스플레이 모듈 로딩부(120)를 그 예로 하였으나, 반드시 이에 한정되지 않고 그리퍼(미도시) 등을 이용하여 기 설정된 위치의 카세트(3) 내의 디스플레이 모듈(2)을 빼내어 정렬 안착부(220)로 이송할 수 있음은 물론이다.As described above, the display module loading unit 120 is used to take out and transfer the display module 2 in the cassette 3 at the preset position to the alignment seat 220. However, the present invention is not limited thereto. The display module 2 in the cassette 3 at a predetermined position may be removed and transferred to the alignment seating unit 220 using, for example, not shown).

또한, 언로딩부(700)는 검사 후의 언로딩 안착부(800)에 안착된 디스플레이 모듈(2)을 불량 디스플레이 모듈(2)과 정상 디스플레이 모듈(2)로 구분하여 불량 카세트(3a)와 정상 카세트(3b)로 언로딩(unloading)시키며, 불량 카세트(3a)와 정상 카세트(3b)를 외부로 언로딩하는 것을 특징으로 한다. In addition, the unloading unit 700 divides the display module 2 seated on the unloading seating part 800 into the defective display module 2 and the normal display module 2 by inspection. It is characterized by unloading to the cassette 3b and unloading the defective cassette 3a and the normal cassette 3b to the outside.

여기서, 언로딩부(700)는 검사 후의 디스플레이 모듈(2)이 장착된 불량 카세트(3a)와 정상 카세트(3b)를 외부로 언로딩시키는 카세트 언로딩부(710)와 카세트 언로딩부(710)로 검사 후의 언로딩 안착부(800)에 안착된 디스플레이 모듈(2)을 불량 카세트(3a)와 정상 카세트(3b)로 이송하는 디스플레이 모듈 언로딩부(720)를 포함한다. Here, the unloading unit 700 includes a cassette unloading unit 710 and a cassette unloading unit 710 for unloading the defective cassette 3a and the normal cassette 3b on which the display module 2 after the inspection is mounted to the outside. And a display module unloading unit 720 for transferring the display module 2 seated on the unloading seating unit 800 after the inspection to the defective cassette 3a and the normal cassette 3b.

여기서, 카세트 언로딩부(710)는 불량 카세트(3a)와 정상 카세트(3b)를 수용하는 카세트 수용부(711), 카세트 수용부(711)에 결합되는 카세트 회전축부(712), 카세트 회전축부(712)에 연결되어 카세트 회전축부(712)를 기준으로 카세트 수용부(711)가 도 4에 도시된 바와 같이 틸트(tilt) 운동을 하도록 가압하는 카세트 실린더(713) 및 카세트 Z축 무빙 유닛(714)을 포함한다.Here, the cassette unloading unit 710 may include a cassette accommodating part 711 for accommodating a defective cassette 3a and a normal cassette 3b, a cassette rotating shaft part 712 coupled to the cassette accommodating part 711, and a cassette rotating shaft part. Cassette cylinder 713 and the cassette Z-axis moving unit which is connected to 712 and presses the cassette receiving portion 711 to the tilt movement relative to the cassette rotating shaft portion 712 as shown in FIG. 714).

디스플레이 모듈 언로딩부(720)는 흡착판(721)을 구비하는 탈착 유닛(722), 탈착 유닛 X축 이동부(723), 탈착 유닛 Y축 이동부(724), 탈착부(725), 탈착부 Z축 이동부(726), 탈착부 LM가이드(727)를 포함한다. The display module unloading unit 720 includes a detachable unit 722 having a suction plate 721, a detachable unit X-axis moving unit 723, a detachable unit Y-axis moving unit 724, a detachable unit 725, and a detachable unit. The Z-axis moving part 726 and the detachable part LM guide 727 are included.

언로딩부(700)의 카세트 언로딩부(710)는 카세트 로딩부(110)에, 디스플레이 모듈 언로딩부(720) 디스플레이 모듈 이송부(120)에 대응되는 바, 언로딩부(700)는 로딩부(100)와 달리 디스플레이 모듈(2)을 카세트로 언로딩한다는 차이가 있을 뿐 언로딩부(700)의 구성요소는 로딩부(100) 동일 및 대응되기 때문에 언로딩부(700)의 구성요소에 대한 설명은 생략하기로 한다. The cassette unloading unit 710 of the unloading unit 700 corresponds to the cassette loading unit 110, and the display module unloading unit 720 and the display module transfer unit 120, and the unloading unit 700 is loaded. Unlike the unit 100, there is a difference in that the display module 2 is unloaded into a cassette. However, since the components of the unloading unit 700 are identical to and corresponding to the loading unit 100, the components of the unloading unit 700 are different. Description of the description will be omitted.

도 6 내지 도 7을 참조하여 살펴보면, 얼라인 유닛(200)은 얼라인 유닛 프레임(210), 정렬 안착부(220), X축 돌기부재(230), Y축 돌기부재(240), X축 돌기 이송유닛(250), Y축 돌기 이송유닛(260), X축 이송유닛(270) 및 Y축 이송유닛(280)을 포함한다.6 to 7, the alignment unit 200 includes an alignment unit frame 210, an alignment seating unit 220, an X-axis protrusion member 230, a Y-axis protrusion member 240, and an X-axis. And a projection transport unit 250, a Y-axis projection transport unit 260, an X-axis transport unit 270, and a Y-axis transport unit 280.

정렬 안착부(220)에는 로딩부(100)에 의하여 이송된 디스플레이 모듈(2)이 안착한다. 여기서, 정렬 안착부(220)에는 X축 방향으로 나란히 배치되는 한 쌍의 X축 돌기부재(230)와 Y축 방향으로 나란히 배치되는 Y축 돌기부재(240)가 돌출되어 배치되도록 가이드 홈(211)이 형성될 수 있다. The display module 2 transferred by the loading unit 100 is seated on the alignment seating unit 220. Here, the guide groove 211 is arranged in the alignment seating portion 220 so that a pair of X-axis protrusion members 230 arranged side by side in the X-axis direction and Y-axis protrusion members 240 arranged side by side in the Y-axis direction protrude. ) May be formed.

도 6 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 본 실시예에서는 2개의 X축 돌기부재(230) 한 쌍과 2개의 Y축 돌기부재(240) 한 쌍이 도시되어 있으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니며 한 개 또는 다수 개의 돌기부재(230, 240)가 한 쌍을 이루어 배치될 수 있음은 물론이다.6 to 7, in the present embodiment, a pair of two X-axis protrusion members 230 and a pair of two Y-axis protrusion members 240 are illustrated, but are not necessarily limited thereto. Of course, the plurality of protrusion members 230 and 240 may be arranged in pairs.

즉, 로딩부(100)에 의하여 이송된 디스플레이 모듈(2)은 정렬 안착부(220)에 돌출되어 배치된 X축 돌기부재(230)와 Y축 돌기부재(240) 사이에 위치되도록 로딩부(100)에 의하여 안착된다. That is, the display module 2 transferred by the loading unit 100 may be positioned between the X-axis protrusion member 230 and the Y-axis protrusion member 240 protruding from the alignment seating part 220. It is seated by 100).

그리고, X축 돌기 이송유닛(250)은 한 쌍의 X축 돌기부재(230)를 상호 접근 또는 이격되도록 이동시킨다. 또한, Y축 돌기 이송유닛(260)은 한 쌍의 Y축 돌기부재(240)를 상호 접근 또는 이격되도록 이동시킨다. 따라서, X축 돌기부재(230)와 Y축 돌기부재(240) 사이에 위치하는 디스플레이 모듈(2)은 X축 돌기부재(230)와 Y축 돌기부재(240)가 상호 접근함으로써 정렬 안착부(220)의 중심에 정렬되게 된다. In addition, the X-axis protrusion transport unit 250 moves the pair of X-axis protrusion members 230 to approach or be spaced apart from each other. In addition, the Y-axis protrusion transfer unit 260 moves the pair of Y-axis protrusion member 240 to approach or space each other. Therefore, the display module 2 positioned between the X-axis protrusion member 230 and the Y-axis protrusion member 240 has an alignment seating portion by the X-axis protrusion member 230 and the Y-axis protrusion member 240 approaching each other. 220 is aligned to the center of the.

여기서, X축 돌기 이송유닛(250)은 X축 돌기부재(230)와 결합되는 X축 돌기부재 연결바(251), X축 돌기부재 연결바(251)와 결합되어 X축 돌기부재 연결바(251)가 상호 이격 또는 접근하도록 배치된 X축 돌기 이송 볼 스크류(252) 및 X축 돌기 이송 볼 스크류(252)를 구동시키는 모터(253)를 포함할 수 있다. Here, the X-axis protrusion transfer unit 250 is coupled to the X-axis protrusion member connecting bar 251 and X-axis protrusion member connecting bar 251 coupled to the X-axis protrusion member 230 (X-axis protrusion member connecting bar ( 251 may include an X-axis protrusion feeding ball screw 252 and a motor 253 for driving the X-axis protrusion feeding ball screw 252 disposed to be spaced apart or approaching each other.

또한, Y축 돌기 이송유닛(260)은 Y축 돌기부재(240)와 결합되는 Y축 돌기부재 연결바(261), Y축 돌기부재 연결바(261)와 결합되어 Y축 돌기부재 연결바(261)가 상호 이격 또는 접근하도록 배치된 Y축 돌기 이송 볼 스크류(262) 및 Y축 돌기 이송 볼 스크류(262)를 구동시키는 모터(263)를 포함할 수 있다.In addition, the Y-axis protrusion transfer unit 260 is coupled to the Y-axis protrusion member connection bar 261 and the Y-axis protrusion member connection bar 261 coupled to the Y-axis protrusion member 240, Y-axis protrusion member connection bar ( 261 may include a Y-axis protrusion feeding ball screw 262 and a motor 263 for driving the Y-axis protrusion feeding ball screw 262 disposed to be spaced apart or approaching each other.

따라서, X축 돌기 이송유닛(250)와 Y축 돌기 이송유닛(260) 각각은 X축 돌기 이송유닛(250)와 Y축 돌기 이송유닛(260) 각각의 X축 돌기부재 연결바(251)와 Y축 돌기부재 연결바(261)를 상호 접근시킴으로써, X축 돌기부재(230)와 Y축 돌기부재(240) 각각을 상호 접근시켜 디스플레이 모듈(2)을 정렬한다.Therefore, each of the X-axis protrusion transfer unit 250 and the Y-axis protrusion transfer unit 260 is connected to the X-axis protrusion member connection bar 251 of each of the X-axis protrusion transfer unit 250 and the Y-axis protrusion transfer unit 260. By accessing the Y-axis protrusion member connection bar 261 mutually, the X-axis protrusion member 230 and the Y-axis protrusion member 240 are approached to each other to align the display module 2.

도 8을 참조하여 살펴보면, X축 이송유닛(270)과 Y축 이송유닛(280)은 디스플레이 모듈(2)의 크기에 따라 이송 유닛(500)에 의하여 정렬 안착부(220)에 안착되어 있는 디스플레이 모듈(2)이 대기 위치에 위치하는 안착부(410)의 기 설정된 위치(line A, line B)로 이송될 수 있도록 정렬 안착부(220)에 안착된 디스플레이 모듈(2)이 X축 방향 및 Y축 방향으로 각각 이송되게 한다.Referring to FIG. 8, the X-axis transfer unit 270 and the Y-axis transfer unit 280 are mounted on the alignment seat 220 by the transfer unit 500 according to the size of the display module 2. The display module 2 seated on the alignment seat 220 may be moved in the X-axis direction so that the module 2 may be transported to a predetermined position (line A, line B) of the seat 410 in the standby position. Let each feed in the Y-axis direction.

즉, 도 8에 도시된 바와 같이 작은 크기의 디스플레이 모듈(2)은 정렬 안착부(220)의 중심에 정렬되어 이송 유닛(500)에 의하여 디스플레이 모듈(2)이 대기 위치에 위치하는 안착부(410)로 이송되어 안착될 때 Y축 이송유닛(280)에 의하여 기 설정된 위치(line A)에 디스플레이 모듈(2)의 일측면을 맞추게 된다. That is, as shown in FIG. 8, the display module 2 having a small size is aligned with the center of the alignment seat 220 so that the display module 2 is positioned in the standby position by the transfer unit 500. When the 410 is transported and seated, one side of the display module 2 is aligned at a predetermined position (line A) by the Y-axis transport unit 280.

따라서, 이송 유닛(500)에 의하여 기 설정된 위치(line A)에 정렬된 디스플레이 모듈(2)이 대기 위치에 위치하는 안착부(410)로 이송되게 되면 계속적으로 작은 크기의 디스플레이 모듈(2)을 이송할 수 있게 된다. Therefore, when the display module 2 aligned at the preset position line A by the transfer unit 500 is transferred to the seating portion 410 located at the standby position, the display module 2 having a small size is continuously removed. It can be transported.

또한, 디스플레이 모듈(2)의 크기에 따라 Y축 이송유닛(280)에 의하여 기 설정된 위치(line A)에 디스플레이 모듈(2)의 일측면을 맞춤으로써 대기 위치에 위치하는 안착부(410)에서 재정렬할 필요가 없기 때문에 공정의 효율성을 높일 수 있다. In addition, according to the size of the display module 2 in the seating portion 410 located in the standby position by aligning one side of the display module 2 to a predetermined position (line A) by the Y-axis transfer unit 280 There is no need to reorder, which increases the efficiency of the process.

또한, 후술될 이송유닛(500)에 있어서, 결합부재(550)의 폭은 일정하기 때문에 이송유닛(500)에 의하여 이송되는 디스플레이 모듈(2)의 이송범위가 한정되게 된다. 따라서, 인덱스 테이블(400)의 안착부(410)의 기 설정된 위치(line B)로 디스플레이 모듈(2)이 이송될 수 있도록 X축 이송유닛(270)은 얼라인 유닛(200)의 기 설정된 위치(line B)에 정렬 안착부(220)에 안착되는 디스플레이 모듈(2)의 중심이 위치하도록 조정될 수 있게 한다. In addition, in the transfer unit 500 to be described later, since the width of the coupling member 550 is constant, the transfer range of the display module 2 to be transferred by the transfer unit 500 is limited. Accordingly, the X-axis transfer unit 270 is a preset position of the alignment unit 200 so that the display module 2 may be transferred to a preset position line B of the seating portion 410 of the index table 400. In line B, the center of the display module 2 seated on the alignment seat 220 can be adjusted.

즉, X축 이송유닛(270)은 정렬 안착부(220), X축 돌기부재(230), Y축 돌기부재(240), X축 돌기 이송유닛(250) 및 Y축 돌기 이송유닛(260)의 하부에 배치되어 정렬 안착부(220), X축 돌기부재(230), Y축 돌기부재(240), X축 돌기 이송유닛(250) 및 Y축 돌기 이송유닛(260) 전부를 X축 방향으로 이동시킴으로써 얼라인 유닛(200)의 기 설정된 위치(line B)에 정렬 안착부(220)에 안착되는 디스플레이 모듈(2)의 중심이 위치하도록 조정될 수 있게 한다. That is, the X-axis transfer unit 270 is aligned seating portion 220, X-axis protrusion member 230, Y-axis protrusion member 240, X-axis protrusion transfer unit 250 and Y-axis protrusion transfer unit 260 Arranged in the lower portion of the alignment portion 220, the X-axis protrusion member 230, the Y-axis protrusion member 240, the X-axis protrusion transfer unit 250 and the Y-axis protrusion transfer unit 260 all the X-axis direction The center of the display module 2 seated on the alignment seating part 220 may be adjusted to be positioned at the preset position line B of the alignment unit 200.

또한, Y축 이송유닛(280)은 X축 이송유닛(270)의 하부에 배치되어 X축 이송유닛(270)을 Y축 방향을 이동시킴으로써 기 설정된 위치(line A)에 디스플레이 모듈(2)의 일측면이 정렬될 수 있도록 한다. In addition, the Y-axis transfer unit 280 is disposed below the X-axis transfer unit 270 to move the X-axis transfer unit 270 in the Y-axis direction to move the display module 2 to a preset position (line A). Allow one side to be aligned.

도 9 내지 도 10을 참조하여 살펴보면, 인덱스 테이블(400)은 한 쌍의 안착부(410), 회전 모듈(420) 및 회전 가이드(430)를 포함한다. 9 to 10, the index table 400 includes a pair of seating portions 410, a rotation module 420, and a rotation guide 430.

여기서, 안착부(410)는 불량 픽셀 검사홀(411), 안착턱(412), 안착 프레임(413), 가압프레임(4140, 가압부재(415), 가압프레임 이송 볼 스크류(416) 및 가압프레임 구동부(417)을 포함한다. Here, the seating portion 410 is a bad pixel inspection hole 411, seating jaw 412, seating frame 413, the pressing frame 4140, the pressing member 415, the pressing frame conveying ball screw 416 and the pressing frame The driving unit 417 is included.

그리고, 도 10에 도시된 바와 같이 안착프레임(413)은 내측에 불량 픽셀 검사홀(411)이 형성된 사각틀의 형상으로 형성된 것을 일 예로 하며, 안착부(410)의 내측 일측면에 안착턱(412)이 형성된 것을 특징으로 한다. 여기서, 불량 픽셀 검사홀(411)은 디스플레이 모듈(2)에 따라 다양한 형태의 틀 형상을 포함할 수 있음은 물론이다.In addition, as shown in FIG. 10, the seating frame 413 is formed in the shape of a rectangular frame in which a bad pixel inspection hole 411 is formed inside, and a seating jaw 412 is disposed at one inner side of the seating portion 410. ) Is formed. Here, the bad pixel inspection hole 411 may include various shapes of the frame shape according to the display module 2.

또한, 회전 모듈(420)은 인덱스 테이블 프레임(421), 안착부 회전체(422) 및 회전 유닛(423)을 포함한다. In addition, the rotation module 420 includes an index table frame 421, a seat rotating body 422, and a rotation unit 423.

한 쌍의 안착부(410)에는 안착부(410)를 회전시킬 수 있는 안착부 회전체(423)가 각각 결합되며, 안착부 회전체(423)는 인덱스 테이블 프레임(421)에 결합된다. 그리고, 인덱스 테이블 프레임(421)의 하부에는 인덱스 테이블 프레임(421)을 회전시키는 회전부(422)가 장착된다. A pair of seating parts 410 are respectively coupled to a seating part rotating body 423 capable of rotating the seating part 410, and the seating part rotating body 423 is coupled to the index table frame 421. In addition, a lower portion of the index table frame 421 is mounted with a rotating unit 422 for rotating the index table frame 421.

따라서, 안착부(410)에 안착된 디스플레이 모듈(2)은 인덱스 테이블 프레임(421)의 회전에 따라 180˚ 회전하여 대기 위치와 검사 위치 간을 상호 이동하게 된다.Therefore, the display module 2 seated on the seating portion 410 is rotated 180 ° according to the rotation of the index table frame 421 to move between the standby position and the inspection position.

한편, 이송 유닛(500)에 의하여 이송된 디스플레이 모듈(2)의 일측은 안착부(410)의 안착턱(412)에 안착되고 타측은 안착부(410)의 안착턱(412)에 대향하는 방향에 배치되는 가압프레임(414)에 안착된다. Meanwhile, one side of the display module 2 transferred by the transfer unit 500 is seated on the seating jaw 412 of the seating portion 410, and the other side thereof faces the seating jaw 412 of the seating portion 410. It is seated on the pressing frame 414 disposed in the.

여기서, 인덱스 테이블(400)은 안착턱(412) 및 가압프레임(414)에 안착된 디스플레이 모듈(2)을 정렬 및 고정하도록 가압프레임(414)의 내측 즉, 안착부(410)에 안착된 디스플레이 모듈(2)을 가압하는 방향으로 디스플레이 모듈(2)의 일측면을 가압하는 가압부재(415)를 구비한다. Here, the index table 400 is a display mounted on the inner side of the pressing frame 414, that is, the mounting portion 410, to align and fix the display module 2 seated on the mounting jaw 412 and the pressing frame 414. It is provided with a pressing member 415 for pressing one side of the display module 2 in the direction of pressing the module (2).

즉, 가압프레임(414)의 이동에 따라 가압부재(415)는 디스플레이 모듈(2)의 일측면을 가압하여 안착부(410)에 안착된 디스플레이 모듈(2)을 고정 및 정렬하게 된다.That is, as the pressing frame 414 moves, the pressing member 415 presses one side of the display module 2 to fix and align the display module 2 seated on the seating portion 410.

또한, 가압프레임(414)은 가압프레임 이송 볼 스크류(416)에 결합되어 가압프레임 구동부(417)의 구동에 따라 안착부에 안착된 디스플레이 모듈(2)을 가압하거나 가압 해제하는 방향으로 이동하게 된다. In addition, the pressing frame 414 is coupled to the pressing frame conveying ball screw 416 is moved in the direction for pressing or releasing the display module 2 seated on the mounting portion in accordance with the driving of the pressing frame drive unit 417. .

따라서, 대기 위치에 위치하는 안착부(410)에 디스플레이 모듈(2)이 안착될 때 디스플레이 모듈(2)의 크기에 따라 가압프레임(414)이 이동함으로써 디스플레이 모듈(2)의 일측은 안착턱(412)에 타측은 가압프레임(414)에 의하여 지지되도록 안착되게 된다. 그리고, 안착된 디스플레이 모듈(2)은 가압프레임(414)의 이동에 따른 가압부재(415)의 가압에 의하여 정렬 및 고정된다. Therefore, when the display module 2 is seated on the seating portion 410 positioned in the standby position, the pressing frame 414 is moved according to the size of the display module 2 so that one side of the display module 2 is seated ( The other side to 412 is to be seated to be supported by the pressing frame 414. Then, the seated display module 2 is aligned and fixed by the pressing of the pressing member 415 according to the movement of the pressing frame 414.

또한, 가압부재(415)에는 흡착공(418)을 더 포함할 수 있다. 여기서, 흡착공(418)은 가압부재(415)에 의하여 가압된 디스플레이 모듈(2)의 일측면을 흡착력에 의해 고정함으로써 안착부(410)에 안착된 디스플레이 모듈(2)을 더욱 공고히 고정한다. 여기서, 가압부재(415)에 의하여 가압된 디스플레이 모듈(2)의 일측면을 흡착하는데 있어서는 에어(air) 등이 이용될 수 있다.In addition, the pressing member 415 may further include an adsorption hole 418. Here, the adsorption hole 418 more firmly fixes the display module 2 seated on the seating portion 410 by fixing one side of the display module 2 pressed by the pressure member 415 by adsorption force. Here, air or the like may be used to adsorb one side of the display module 2 pressed by the pressing member 415.

그리고, 안착부(410)에 회동가능하게 결합되는 안착부 회전체(423)는 검사 위치에 위치하는 안착부(410)에 안착된 디스플레이 모듈(2)의 상면에서 불량 픽셀의 판단이 어려운 경우 디스플레이 모듈(2)의 하면 측에서 불량 픽셀을 검사할 수 있도록 디스플레이 모듈(2)의 Y축 중심을 기준으로 180˚ 회전시켜 디스플레이 모듈(2)의 상면과 하면을 전환시킨다. In addition, the seat rotating part 423 rotatably coupled to the seating part 410 is displayed when it is difficult to determine a bad pixel on the upper surface of the display module 2 seated on the seating part 410 located at the inspection position. The top and bottom surfaces of the display module 2 are rotated by 180 ° with respect to the Y-axis center of the display module 2 so that the bad pixels can be inspected on the bottom surface of the module 2.

따라서, 안착부 회전체(423)에 의하여 디스플레이 모듈(2)의 상면과 하면의 위치를 전환시킴으로써, 불량 픽셀의 판단시 디스플레이 모듈(2)의 정렬없이 디스플레이 모듈(2)의 양 방향에서 불량 픽셀을 확인할 수 있어 불량 픽셀을 확인하는 정확도를 높일 수 있다.Accordingly, by switching the positions of the upper and lower surfaces of the display module 2 by the seating part rotating body 423, the defective pixels in both directions of the display module 2 without alignment of the display module 2 when determining the defective pixels. This can increase the accuracy of identifying bad pixels.

즉, 후술 될 상부 렌즈(970)에 의하여 디스플레이 모듈(2)의 상부 측에서 불량 픽셀을 확인할 수 없는 경우 하부 렌즈(980)을 통하여 디스플레이 모듈(2)의 하부 측에서 불량 픽셀의 존재 여부를 확인하고, 디스플레이 모듈(2)의 하부 측에서의 불량 픽셀의 확인에 따라 안착부 회전체(423)에 의하여 디스플레이 모듈(2)의 상면과 하면의 위치 전환이 이루어지게 된다.That is, when the defective pixel cannot be identified from the upper side of the display module 2 by the upper lens 970 to be described later, the existence of the defective pixel is determined from the lower side of the display module 2 through the lower lens 980. In addition, according to the identification of the defective pixel at the lower side of the display module 2, the position change of the upper and lower surfaces of the display module 2 is performed by the mounting part rotating body 423.

도 11 및 도 12를 참조하여 살펴보면, 이송 유닛(500)은 제1 흡착부(510)와 제2 흡착부(520) 및 이송 모듈(530)을 포함한다. 여기서, 이송 모듈(530)은 제1 흡착 이동부(531), 제2 흡착이동부(532), 결합부재(533), X축 결합부재 이동부(534) 및 Y축 결합부재 이동부(535)를 포함할 수 있다.11 and 12, the transfer unit 500 includes a first adsorption unit 510, a second adsorption unit 520, and a transfer module 530. Here, the transfer module 530 may include a first suction moving part 531, a second suction moving part 532, a coupling member 533, an X axis coupling member moving part 534, and a Y axis coupling member moving part 535. ) May be included.

여기서, 이송 유닛(500)은 제1 흡착부(510)와 제2 흡착부(520)를 동시에 이동시켜 정렬 안착부(220)에 안착되어 있는 검사 전 디스플레이 모듈(2)은 대기 위치에 위치하는 안착부(410)로 검사 후 대기 위치에 위치하는 안착부(410)에 안착된 디스플레이 모듈(2)은 언로딩 안착부(800)로 동시에 이송되게 하는 것을 특징으로 한다. Here, the transfer unit 500 moves the first adsorption part 510 and the second adsorption part 520 at the same time so that the display module 2 before inspection, which is seated on the alignment seating part 220, is located at a standby position. The display module 2 seated on the seating portion 410 positioned in the standby position after the inspection by the seating portion 410 is characterized in that it is simultaneously transferred to the unloading seating portion 800.

제1 흡착부(510)는 정렬 안착부(220)에 안착된 디스플레이 모듈(2)을 흡착하고 이송 모듈(530)에 의하여 이동된 후 대기 위치에 위치하는 안착부(410)에서 흡착 해제한다. 그리고, 제2 흡착부(520)는 대기 위치에 위치하는 안착부(410)의 검사 후의 디스플레이 모듈(2)을 흡착하고 이송 모듈(530)에 의하여 이동된 후 언로딩 안착부(800)에서 흡착 해제한다.The first adsorption part 510 adsorbs the display module 2 seated on the alignment seating part 220 and releases the adsorption from the seating part 410 positioned in the standby position after being moved by the transfer module 530. In addition, the second adsorption part 520 adsorbs the display module 2 after the inspection of the seating part 410 located at the standby position and is moved by the transport module 530, and then is adsorbed by the unloading seating part 800. Release it.

또한, 제1 흡착 이동부(531)는 정렬 안착부(220)의 검사 전 디스플레이 모듈(2)을 흡착하고 대기 위치에 위치하는 안착부(410)에서 디스플레이 모듈(2)을 결합해제할 수 있도록 제1 흡착부(510)를 승강 이동 즉, Z축 방향으로 이동시킨다. In addition, the first adsorption moving part 531 may adsorb the display module 2 before the inspection of the alignment seating part 220 and disengage the display module 2 from the seating part 410 positioned at the standby position. The first adsorption part 510 is moved up and down, that is, in the Z-axis direction.

그리고, 제2 흡착이동부(532)는 대기 위치에 위치하는 안착부(410)에 안착된 검사 후 디스플레이 모듈(2)을 흡착하고 언로딩 안착부(800)에서 디스플레이 모듈을 결합해제할 수 있도록 제2 흡착부(520)를 승강 이동 즉, Z축 방향으로 이동시킨다.In addition, the second suction moving part 532 may suck the display module 2 after the test seated on the seating part 410 positioned in the standby position, and disengage the display module from the unloading seating part 800. The second adsorption part 520 is moved up and down, that is, in the Z-axis direction.

그리고, 결합부재(533)는 제1 흡착부(510)와 제2 흡착부(520)가 이송 모듈(530)에 의하여 동시에 X축 또는 Y축으로 이동될 수 있도록 제1 흡착이동부(531) 및 제2 흡착이동부(532)와 결합된다.In addition, the coupling member 533 may include the first adsorption moving part 531 such that the first adsorption part 510 and the second adsorption part 520 may be simultaneously moved on the X-axis or the Y-axis by the transfer module 530. And a second adsorption moving part 532.

X축 결합부재 이동부(534)는 결합부재(533)를 이동시켜 제1 흡착부(510)와 제2 흡착부(520)가 X축 방향으로 이동되게 하며, Y축 결합부재 이동부(535)는 Y축 방향으로 결합부재(533)를 이동시켜 제1 흡착부(510)와 제2 흡착부(520)가 Y축 방향으로 이동되게 한다. The X-axis coupling member moving part 534 moves the coupling member 533 to move the first adsorption part 510 and the second adsorption part 520 in the X-axis direction, and the Y-axis coupling member moving part 535 ) Moves the coupling member 533 in the Y-axis direction so that the first adsorption part 510 and the second adsorption part 520 are moved in the Y-axis direction.

여기서, X축 결합부재 이동부(534)는 결합부재(533)와 결합하고, X축 결합부재 이동부(534)의 하부에 Y축 결합부재 이동부(535)가 결합되어 제1 흡착부(510)와 제2 흡착부(520)가 X축 또는 Y축 방향으로 이동될 수 있게 구성되어 있으나, 반드시 이에 한정되지 않고 Y축 결합부재 이동부(535)는 결합부재(533)와 X축 결합부재 이동부(534) 사이에 배치되어 제1 흡착부(510)와 제2 흡착부(520)가 X축 또는 Y축 방향으로 이동되게 할 수 있음은 물론이다.Here, the X-axis coupling member moving unit 534 is coupled to the coupling member 533, the Y-axis coupling member moving unit 535 is coupled to the lower portion of the X-axis coupling member moving unit 534 is the first adsorption unit ( 510 and the second adsorption part 520 is configured to be moved in the X-axis or Y-axis direction, but is not necessarily limited to this, the Y-axis coupling member moving portion 535 is coupled to the coupling member 533 and the X-axis Of course, the member moving part 534 may be disposed between the first and second adsorption parts 510 and 520 to move in the X-axis or Y-axis direction.

여기서, X축 결합부재 이동부(534)와 Y축 결합부재 이동부(535) 각각은 제1 흡착부(510)와 제2 흡착부(520)가 X축 또는 Y축 방향으로 이동되도록 모터(537, 539)와 볼 스크류(536, 538)로 구성될 수 있다. Here, each of the X-axis coupling member moving unit 534 and the Y-axis coupling member moving unit 535 may include a motor (not shown) so that the first adsorption unit 510 and the second adsorption unit 520 move in the X-axis or Y-axis direction. 537 and 539 and ball screws 536 and 538.

도 13 내지 도 14를 참조하여 살펴보면, 프루브 유닛(300)은 프루브 유닛 본체(310), 프루브 카드(320), 회전판(330), 회전판 구동부(340), 프루브 유닛 X축 이동부(350), 프루브 유닛 Y축 이동부(360), 이동프레임(370), 프루브 유닛 승강부(380) 및 전원인가부(390)를 포함한다. 13 to 14, the probe unit 300 includes a probe unit body 310, a probe card 320, a rotating plate 330, a rotating plate driving unit 340, a probe unit X-axis moving unit 350, The probe unit includes a Y-axis moving unit 360, a moving frame 370, a probe unit lifting unit 380, and a power applying unit 390.

여기서, 프루브 유닛(300)은 본체(10)의 일측에 배치되어 검사 위치에 위치한 안착부(410)에 안착된 검사 전의 디스플레이 모듈(2)을 점등시켜 불량 픽셀을 확인할 수 있게 한다. Here, the probe unit 300 may be disposed on one side of the main body 10 so as to turn on the display module 2 before the test seated on the seating unit 410 located at the test position so that the bad pixel may be checked.

즉, 프루브 유닛(300)의 프루브 카드(320)는 검사 위치에 위치한 안착부(410)에 안착된 검사 전의 디스플레이 모듈(2)에 접촉되도록 프루브 유닛 X축 이동부(350), 프루브 유닛 Y축 이동부(360) 및 프루브 유닛 승강부(380)에 의하여 이동되어 검사 위치에 위치한 안착부(410)에 안착된 검사 전의 디스플레이 모듈(2)을 점등시켜 불량 픽셀을 확인한다. That is, the probe card 320 of the probe unit 300 is connected to the probe unit X-axis moving unit 350 and the probe unit Y-axis so as to contact the display module 2 before the test seated on the seating unit 410 located at the test position. The display module 2, which is moved by the moving unit 360 and the probe unit lifting unit 380 and seated on the seating unit 410 positioned at the test position, is turned on to check for defective pixels.

또한, 프루브 카드(320)는 전원인가부(390)에 전기적으로 연결된다. 그리고, 다양한 종류의 프루브 카드(320)는 회전판(330)에 결합되며, 디스플레이 모듈(2)의 크기에 따라 회전판(330)은 회전하여 각 디스플레이 모듈(2)에 맞는 프루브 카드(320)가 선별되도록 하여 디스플레이 모듈(2)을 점등시키도록 한다. 여기서, 회전판(330)은 회전판 구동부(340)에 의하여 구동되어 회전한다.In addition, the probe card 320 is electrically connected to the power applying unit 390. In addition, various types of probe cards 320 are coupled to the rotating plate 330, and the rotating plate 330 is rotated according to the size of the display module 2 so that the probe card 320 suitable for each display module 2 is selected. The display module 2 is turned on. Here, the rotating plate 330 is driven by the rotating plate driver 340 to rotate.

여기서, 디스플레이 모듈(2)의 크기에 따라 회전판(330)은 회전하여 각 디스플레이 모듈(2)에 맞는 프루브 카드(320)가 선별되기 때문에, 프루브 카드(320)가 회전하기 위해서는 전원인가부(390)와 전기적으로 연결은 해제되어야 한다. 따라서, 전원인가부(390)는 회전판(330)의 회전시 프루브 카드(320)와 전기적으로 해제되도록 전원인가부(390)를 승강 이동시키는 유닛(미도시)을 더 포함할 수 있다. Here, since the rotating plate 330 is rotated according to the size of the display module 2 and the probe card 320 suitable for each display module 2 is selected, in order for the probe card 320 to rotate, the power supply unit 390 is rotated. ) Shall be disconnected electrically. Therefore, the power applying unit 390 may further include a unit (not shown) for moving the power supply unit 390 up and down so as to be electrically released from the probe card 320 when the rotating plate 330 rotates.

또한, 회전판 구동부(340)는 이동프레임(370)에 의해 지지되며, 이동프레임(370)은 프루브 유닛 X축 이동부(350), 프루브 유닛 Y축 이동부(360) 및 프루브 유닛 승강부(380)에 의하여 이동되기 때문에, 이동프레임(370)에 이동에 따라 회전판(330)에 결합된 프루브 카드(320) 또한 이동하게 된다. 여기서, 이동프레임(370)은 이동판(371), 회전판 구동부 지지판(372) 및 지지블럭(373)을 포함할 수 있다.In addition, the rotating plate driver 340 is supported by the moving frame 370, the moving frame 370 is a probe unit X-axis moving unit 350, a probe unit Y-axis moving unit 360 and a probe unit lifting unit 380 Since it is moved by), the probe card 320 coupled to the rotating plate 330 as the moving frame 370 moves. Here, the moving frame 370 may include a moving plate 371, a rotating plate driver supporting plate 372, and a support block 373.

본 실시예에서 회전판 구동부(340)는 회전판 구동부 지지판(372)의 중앙에 형성된 회전판 구동부 지지판 홀(374)에 삽입 결합되며, 이동판(371)과 회전판 구동부 지지판(372) 사이에는 지지블럭(373)에 의해 연결됨으로써, 이동판(371)의 이동에 따라 회전판 구동부 지지판(372) 또한 이동하게 된다. In this embodiment, the rotary plate driver 340 is inserted into and coupled to the rotary plate driver support plate hole 374 formed in the center of the rotary plate driver support plate 372, and a support block 373 is provided between the movable plate 371 and the rotary plate driver support plate 372. By connecting by), the rotating plate driving unit support plate 372 also moves in accordance with the movement of the moving plate 371.

또한, 전원인가부(390)와 회전판 구동부 지지판(372) 사이에는 전원인가프레임(391)이 배치되어 회전판 구동부 지지판(372)의 이동에 따라 전원인가부(390) 또한 함께 이동된다.In addition, a power applying frame 391 is disposed between the power applying unit 390 and the rotating plate driving unit supporting plate 372 so that the power applying unit 390 is also moved along with the movement of the rotating plate driving unit supporting plate 372.

그리고, 프루브 유닛 X축 이동부(350)와 프루브 유닛 Y축 이동부(360)는 이동판(371)과 결합되어 이동판(371)을 X축 또는 Y축 방향으로 이동시킨다. 여기서, 프루브 유닛 X축 이동부(350)는 모터(351) 및 프루브 유닛 X축 볼 스크류(352)를 포함하며, 프루브 유닛 Y축 이동부(360)은 모터(361) 및 프루브 유닛 X축 볼 스크류(362)를 포함하여 이동판(371)이 X축 또는 Y축 방향으로 이동되게 할 수 있다. The probe unit X-axis moving unit 350 and the probe unit Y-axis moving unit 360 are combined with the moving plate 371 to move the moving plate 371 in the X-axis or Y-axis direction. Here, the probe unit X-axis moving unit 350 may include a motor 351 and a probe unit X-axis ball screw 352, and the probe unit Y-axis moving unit 360 may include the motor 361 and the probe unit X-axis ball. The moving plate 371 may be moved in the X-axis or Y-axis direction by including the screw 362.

도 15 내지 도 16을 참조하여 살펴보면, 프루브 유닛 승강부(380)는 상부블럭(381), 하부블럭(382), 승강구동부(385) 및 지지판(386)을 포함한다. 여기서, 승강구동부(385)는 모터(384)와 볼 스크류(383)를 포함할 수 있으며, 모터(384)의 구동에 의하여 볼 스크류(383)는 회전하고 볼 스크류(383)와 결합한 하부블럭(382)은 볼 스크류(383)의 길이 방향으로 전진 또는 후진하게 된다. 15 to 16, the probe unit lifting unit 380 includes an upper block 381, a lower block 382, a lifting driver 385, and a support plate 386. Here, the elevating driving unit 385 may include a motor 384 and a ball screw 383. The lower block (3) is rotated and coupled to the ball screw 383 by the driving of the motor 384. 382 is advanced or retracted in the longitudinal direction of the ball screw 383.

또한, 하부 블럭(382)은 경사를 갖는 하부 단층면(387)을 구비하며, 상부 블럭(381) 또한 하부 단층면(387)에 맞닿은 상부 단층면(388)을 구비하기 때문에 하부 블럭(382)을 밀거나 당기면 하부 단층면(387)을 따라 상부 블럭(386)이 승강 운동하게 된다. In addition, the lower block 382 has an inclined lower tomographic surface 387, and the upper block 381 also includes an upper tomographic surface 388 abutting the lower tomographic surface 387, so that the lower block 382 is pushed or Pulling causes the upper block 386 to move up and down along the lower tomographic surface 387.

본 실시예에서는 하부 블럭(382)을 밀거나 당기고 있으나, 반드시 이에 한정되지 않고 상부 블럭(381)을 밀거나 당김으로서 상부 블럭(381)이 하부 단층면(387)을 따라 승강 운동할 수 있음은 물론이다..In the present embodiment, the lower block 382 is pushed or pulled, but the present invention is not limited thereto, and the upper block 381 may move up and down along the lower tomographic surface 387 by pushing or pulling the upper block 381. to be..

따라서, 상부 블럭(381)이 승강 운동함에 따라 상부 블럭(381)의 상면에 맞닿은 지지판(386) 또한 승강 운동을 하게 되고 지지판(386)에 맞닿은 이동프레임(370)도 지지판(386)에 의하여 지지되어 승강 운동을 하게 된다. Therefore, as the upper block 381 moves up and down, the support plate 386 which is in contact with the upper surface of the upper block 381 is also lifted and the movable frame 370 which is in contact with the support plate 386 is also supported by the support plate 386. As a result, the lifting exercise.

즉, 프루브 유닛 승강부(380)의 하부 단층면(387)을 구비한 하부 블럭(382)을 밀거나 당김으로써 프루브 카드(320)가 디스플레이 모듈(2)에 탈착가능하게 승강 운동을 하게 된다.That is, by pushing or pulling the lower block 382 provided with the lower tomographic surface 387 of the probe unit lifting unit 380, the probe card 320 may be lifted and detached from the display module 2.

도 17 내지 18을 참조하여 살펴보면, 레이저 리페어부(900)는 레이저 옵틱(910), 지지 플레이트(920), 레이저 소스(930), 갠트리(ganrty)(940), X축 레이저 이동부(950), Y축 레이저 이동부(960), 상부 렌즈(970) 및 하부 렌즈(980)을 포함한다.Referring to FIGS. 17 to 18, the laser repair unit 900 includes a laser optic 910, a support plate 920, a laser source 930, a gantry 940, and an X-axis laser moving unit 950. And a Y-axis laser moving unit 960, an upper lens 970, and a lower lens 980.

갠트리(940)의 양측 끝단에는 Y축 레이저 이동부(960)가 배치되어 갠트리(940)를 Y축 방향으로 이동시킨다. 그리고 갠트리(940)의 상부에는 레이저 소스(930)을 지지하는 지지 플레이트(920)가 결합되며, 갠트리(940)의 상부 일측과 레이저 옵틱(910) 사이에는 X축 레이저 이동부(950)이 배치되어 레이저 옵틱(910)이 X축 방향으로 이동되게 한다. 즉, 레이저 옵틱(910)은 갠트리(940)의 양측 끝단에 배치되는 Y축 레이저 이동부(960)와, X축 레이저 이동부(950)에 의하여 X축 또는 Y축 방향으로 이동할 수 있게 된다.Y-axis laser moving parts 960 are disposed at both ends of the gantry 940 to move the gantry 940 in the Y-axis direction. The support plate 920 supporting the laser source 930 is coupled to an upper portion of the gantry 940, and an X-axis laser moving unit 950 is disposed between the upper one side of the gantry 940 and the laser optic 910. The laser optic 910 is moved in the X-axis direction. That is, the laser optic 910 may move in the X-axis or Y-axis direction by the Y-axis laser moving unit 960 and the X-axis laser moving unit 950 disposed at both ends of the gantry 940.

또한, 상부 렌즈(970)는 상술된 바와 같이 프루브 유닛(300)에 의하여 점등된 검사 위치의 디스플레이 유닛(2)의 불량 픽셀을 확인한다. 본 실시예에서는 상부 렌즈의 배율비를 달리하는 복수 개의 상부 렌즈를 구비함으로써, 불량 픽셀을 확인하는 정확도를 높힐 수 있다. In addition, the upper lens 970 identifies the defective pixel of the display unit 2 at the inspection position lit by the probe unit 300 as described above. In the present embodiment, by providing a plurality of upper lenses having different magnification ratios of the upper lens, it is possible to increase the accuracy of identifying the defective pixels.

그리고, 상부 렌즈(970)에 의하여 디스플레이 모듈(2)의 상부 측에서 불량 픽셀을 확인할 수 없는 경우 하부 렌즈(980)을 통하여 디스플레이 모듈(2)의 하부 측에서 불량 픽셀의 존재 여부를 확인한다. 여기서, 하부 렌즈(980)은 상부 렌즈(970)과는 달리 하나만이 설치되어 불량 픽셀의 존재 여부만을 확인하며, 불량 픽셀이 존재 여부가 확인되면 인덱스 테이블(400)의 안착부 회전체(423)에 의하여 디스플레이 모듈(2)의 상면과 하면의 위치 전환이 이루어지기 때문에 상부 렌즈(370)에 의하여 불량 픽셀의 정확한 확인이 가능해 진다.In addition, when the defective pixel cannot be identified at the upper side of the display module 2 by the upper lens 970, the existence of the defective pixel is confirmed at the lower side of the display module 2 through the lower lens 980. Here, unlike the upper lens 970, only one lower lens 980 is installed to check only the presence of a bad pixel, and when it is confirmed that the bad pixel exists, the seat rotator 423 of the index table 400 is identified. Since the position of the upper and lower surfaces of the display module 2 is changed by the upper lens 370, accurate identification of defective pixels is possible.

즉, 디스플레이 모듈(2)의 하부 측에서의 불량 픽셀의 확인에 따라 상부 렌즈(370)를 통한 불량 픽셀을 확인하는 과정이 실행되기 때문에 공정 시간을 단축할 수 있다.That is, the process of identifying the defective pixel through the upper lens 370 is performed according to the identification of the defective pixel on the lower side of the display module 2, thereby reducing the process time.

또한, 검사 위치에서 인덱스 테이블(400)의 안착부 회전체(423)에 의하여 디스플레이 모듈(2)의 상면과 하면의 위치 전환이 이루어지기 때문에 불량 픽셀의 정확한 위치 파악이 가능하고 별도의 디스플레이 모듈(2)의 정렬 과정을 요하지 않는다.In addition, since the position change of the upper and lower surfaces of the display module 2 is performed by the seating unit rotating member 423 of the index table 400 at the inspection position, accurate positioning of the defective pixels is possible and a separate display module ( Does not require the alignment process of 2).

또한, 레이저 소스(930)에서 발생되는 레이저는 레이저 옵틱(910)을 통하여 조사되어 상부 렌즈(970)에 의하여 검출된 디스플레이 모듈(2)의 불량 픽셀을 암점화하여 리페어하게 된다. In addition, the laser generated from the laser source 930 is irradiated through the laser optic 910 to repair and repair the bad pixels of the display module 2 detected by the upper lens 970.

한편, 도 2 내지 도 3을 참조하여 살펴보면 비전 얼라인부(600)는 대기 위치에 위치하는 안착부(410)에 안착된 검사 전의 디스플레이 모듈(2)의 정확한 위치 값을 파악하기 위하여 대기 위치 상부에 위치하도록 배치될 수 있다. 또한, 비전 얼라인부(600)는 안착부(410)에 안착된 검사 전의 디스플레이 모듈(2)의 정확한 위치 값을 파악할 수 있다. 그리고, 안착부(410)에 안착된 검사 전의 디스플레이 모듈(2)의 위치 값을 이용하여 불량 픽셀의 위치 값을 보정할 수 있다. 여기서, 비전 얼라인부(600)는 CCD 카메라 등이 이용될 수 있다. Meanwhile, referring to FIGS. 2 to 3, the vision aligning unit 600 is positioned above the standby position in order to determine the exact position value of the display module 2 before the test seated on the seating unit 410 positioned at the standby position. It may be arranged to be located. In addition, the vision alignment unit 600 may determine an accurate position value of the display module 2 before the test seated on the seating unit 410. In addition, the position value of the defective pixel may be corrected using the position value of the display module 2 before the inspection seated on the seating portion 410. Here, the vision alignment unit 600 may be a CCD camera or the like.

또한, 본 발명에 따른 레이저 리페어 장치(1)는 프루브 유닛 비전 얼라인부(610)를 더 포함할 수 있다. 여기서, 프루브 유닛 비전 얼라인부(610)는 갠트리(940)의 일측에 결합되어 검사 위치에 위치하는 안착부(410)의 디스플레이 모듈(2)을 프루브 유닛(300)이 정확히 점등시키도록, 검사 위치에 위치하는 안착부(410)에 안착된 검사 전의 디스플레이 모듈(2)의 정확한 위치 값을 파악하여 프루브 유닛(300)이 디스플레이 모듈(2)을 점등하는 위치를 보정하게 된다. In addition, the laser repair apparatus 1 according to the present invention may further include a probe unit vision alignment unit 610. Here, the probe unit vision alignment unit 610 is coupled to one side of the gantry 940 so that the probe unit 300 correctly lights up the display module 2 of the seating unit 410 located at the test position. The probe unit 300 corrects the position at which the probe unit 300 turns on the display module 2 by grasping the correct position value of the display module 2 before the test seated on the seating unit 410 positioned at the position thereof.

특히, 프루브 유닛(300)에 의하여 검사 위치에 위치하는 디스플레이 모듈(2)이 점등되지 않는 경우 또는 디스플레이 모듈(2)의 교체에 의하여 프루브 카드(320)의 교체가 필요한 경우 프루브 유닛 비전 얼라인부(610)는 디스플레이 모듈(2)을 프루브 유닛(300)이 정확히 점등시키도록 프루브 유닛(300)의 접촉 위치 값을 파악하고 이를 이용하여 프루브 유닛(300)의 위치를 보정한다.In particular, when the display module 2 positioned at the test position is not turned on by the probe unit 300 or when the replacement of the probe card 320 is necessary by replacing the display module 2, the probe unit vision alignment unit ( 610 may determine the contact position value of the probe unit 300 so that the probe unit 300 lights up the display module 2 and corrects the position of the probe unit 300 by using the same.

도 3을 참조하여 살펴보면, 상술된 바와 같이 본 발명에 따른 레이저 리페어 장치(1)에 의하여 디스플레이 모듈(2)은 정렬 안착부(220), 대기 위치의 안착부(410), 검사 위치의 안착부(410), 대기 위치의 안착부(410), 언로딩 안착부(800) 순으로 이송된다. 또한, 본 발명에 따른 레이저 리페어 장치(1)에 이송 및 검사되는 디스플레이 모듈(2)은 디스플레이 패널일 수도 있다.
Referring to Figure 3, as described above by the laser repair apparatus 1 according to the present invention, the display module 2 is an alignment seating portion 220, a seating portion 410 of the standby position, a seating portion of the inspection position 410, the seating portion 410 in the standby position, and the unloading seating portion 800 are transferred in this order. In addition, the display module 2 to be transported and inspected by the laser repair apparatus 1 according to the present invention may be a display panel.

이상에서 설명한 본 발명은 바람직한 실시 예들을 통하여 상세하게 설명되었지만, 본 발명은 이러한 실시 예들의 내용에 한정되는 것이 아님을 밝혀둔다. 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면, 비록 실시 예에 제시되지 않았지만 첨부된 청구항의 기재 범위 내에서 다양한 본 발명에 대한 모조나 개량이 가능하며, 이들 모두 본 발명의 기술적 범위에 속함은 너무나 자명하다 할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.While the invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments. Those skilled in the art will appreciate that various modifications, additions and substitutions are possible, without departing from the scope of the appended claims, The genius will be so self-evident. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.

1 : 레이저 리페어 장치 2 : 디스플레이 모듈
3, 3a, 3b : 카세트 10 : 본체
100 : 로딩부 110 : 카세트 로딩부
120 : 디스플레이 모듈 이송부 200 : 얼라인 유닛
220 : 정렬 안착부 300 : 프루브 유닛
400 : 인덱스 테이블 410 : 안착부
500 : 이송 유닛 600 : 비전 얼라인부
700 : 언로딩부 800 : 언로딩 안착부
900 : 레이저 리페어부1: laser repair device 2: display module
3, 3a, 3b: cassette 10: main body
100: loading unit 110: cassette loading unit
120: display module transfer unit 200: alignment unit
220: alignment seating portion 300: probe unit
400: index table 410: seat
500: transfer unit 600: vision alignment unit
700: unloading portion 800: unloading seat
900 laser repair unit

Claims

In the laser repair device for inspecting and repairing defective pixels of the display module,
An alignment seat in which the display module before the test is seated;
An unloading seating unit which waits for the inspected display module to be seated and unloaded;
A loading unit which loads a cassette on which the plurality of display modules are mounted before inspection, and sequentially transfers the display module in the cassette to the alignment seat;
An unloading unit which unloads the display module mounted on the unloading seat to the outside;
A pair of seating portions, the inspection position at which the display module is positioned to identify defective pixels of the display module, and the display module before being transported to the inspection position or the display before being transported to the unloading seating portion after inspection An index table including a rotation module which rotates the pair of seating portions 180 ° so as to be mutually movable between the standby positions at which the module is waiting to be transferred;
A first adsorption part configured to adsorb the display module seated on the alignment seating part and to release the adsorption from the seating part positioned at the standby position;
A second adsorption unit for adsorbing the display module after the inspection of the seating unit located at the standby position and releasing the adsorption from the unloading seating unit;
The display module before the inspection, which is mounted on the alignment seat by simultaneously moving the first adsorption part and the second adsorption part, is the seating part located in the standby position, and the seating part positioned in the standby position after the inspection. The seated display module includes a transfer unit including a transfer module to be transferred to the unloading seat;
An alignment unit for aligning the display module loaded from the cassette and transferred to the alignment seat;
And a probe unit which turns on the display module before the test seated on the seating part positioned at the test position to check for defective pixels.

The method of claim 1,
The transfer module
A first adsorption moving part which moves up and down the first adsorption part;
A second adsorption moving part which moves up and down the second adsorption part;
A coupling member coupled to the first adsorption moving part and the second adsorption moving part so that the first adsorption part and the second adsorption part can be simultaneously moved;
X to move the coupling member in the X-axis direction, which is the direction in which the display module is transported from the alignment seating part to the seating part of the standby position, so that the first adsorption part and the second adsorption part move in the X-axis direction. A shaft coupling member moving unit;
And a Y-axis coupling member moving unit configured to move the coupling member in the Y-axis direction that is the vertical direction of the X-axis direction on a horizontal plane to move the first and second adsorption units in the Y-axis direction. Laser repair device.

The method of claim 2, wherein the alignment unit
A pair of X-axis protrusion members movably protruding from the alignment seating portion and arranged in parallel in the X-axis direction;
An X-axis protrusion transfer unit which moves the pair of X-axis protrusion members to approach each other so as to align the display module seated on the alignment seating portion in the center of the X-axis direction;
A pair of Y-axis protrusion members movably protruding from the alignment seating portion and arranged side by side in the Y-axis direction;
And a Y-axis protrusion transport unit which moves the pair of Y-axis protrusion members to approach each other so as to align the display module seated on the alignment seating portion in the center of the Y-axis direction.

The method of claim 3,
The alignment unit
The display seated on the alignment seating unit so that the display module seated on the alignment seating unit by the transfer unit may be transferred to a predetermined position of the seating unit located in the standby position according to the size of the display module; And a Y-axis transfer unit for allowing the module to be transferred in the Y-axis direction.

5. The method of claim 4,
The index table
And a seating part rotating body that rotates the display module by 180 ° such that the position of the upper and lower surfaces of the display module seated at the seating part positioned at the test position is changed.

The method of claim 5,
The probe unit
A probe card for lighting the display module seated on the seating portion at the test position;
A lower block having a lower tomographic surface having a slope;
An upper block having an upper tomography surface in contact with the lower tomography surface;
And a lift driver to push or pull the lower block or the upper block to move the upper block along the lower tomography surface to allow the probe card to be detachably attached to the display module.

The method according to claim 6,
Determine the correct position value of the display module before the test seated on the seating part so that the probe unit lights up the display module of the seating part located at the test position so that the probe unit lights the display module. Laser repair apparatus further comprises a vision alignment to be corrected.

The method of claim 7, wherein
And a laser repair unit for repairing defective pixels of the display module lit by the probe unit with a laser.

9. The method of claim 8,
The laser repair unit
An upper lens disposed on an upper surface of the display module positioned at the inspection position and identifying a bad pixel on the upper surface of the display module;
And a lower lens disposed under a lower surface of the display module positioned at the inspection position to identify defective pixels on the lower surface of the display module.

10. The method of claim 9,
The unloading unit divides the display module mounted on the unloading seat into a bad display module and a normal display module to unload the bad cassette and the normal cassette, and unload the bad cassette and the normal cassette to the outside. Laser repairing device, characterized in that the loading.