KR100387335B1 - Supporting device for mask - Google Patents
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Abstract
본 발명은 마스크 지지장치에 관한 것으로, 그 구성은 한 쌍의 측벽부를 가지는 베이스 프레임과, 상기 베이스프레임에 대해 회전 가능하게 지지되도록 양단에 상기 베이스 프레임의 한 쌍의 측벽부에 각각 회전 가능하게 끼워지며 그 자유단부가 상기 측벽부를 관통하여 바깥쪽으로 돌출되는 한 쌍의 축부를 가지며, 검사할 마스크가 놓여지는 상부프레임과, 상기 상부프레임에 놓여진 마스크를 위치고정하기 위한 마스크 고정수단 및 상기 상부프레임의 축부들 중 적어도 하나의 축부에 끼워져 결합되는 회전손잡이;를 구비하며, 상기 회전손잡이를 회전시킴으로써 상기 상부프레임이 상기 축부의 중심축선을 회전중심으로 하여 상기 베이스 프레임에 대해 회전되도록 구성된 것을 특징으로 하는 것으로서, 작업자가 손목을 비틀며 마스크를 기울여 검사할 필요가 없으므로 숙련된 작업자가 아니라도 간단하게 마스크의 흠결을 검사할 수 있고, 또한 전후회전이 자유로우므로 마스크의 평면과 저면을 간단하게 검사할 수 있으며, 또한 마스크의 모서리에 흠집이 발생하는 것을 방지할 수 있고, 마스크를 검사하는데 필요한 시간을 줄일 수 있는 효과가 있다.The present invention relates to a mask support apparatus, the configuration of which is a base frame having a pair of side wall portions, and rotatably fitted to the pair of side wall portions of the base frame respectively at both ends so as to be rotatably supported with respect to the base frame. A free end portion having a pair of shaft portions projecting outwardly through the side wall portion, the upper frame on which the mask to be inspected is placed, the mask fixing means for positioning the mask placed on the upper frame, And a rotation knob fitted to and coupled to at least one of the shaft portions, wherein the upper frame is rotated with respect to the base frame by rotating the rotation knob with the central axis of the shaft as the rotation center. The operator twists the wrist and tilts the mask Since there is no need to use it, even a skilled worker can easily inspect the defect of the mask, and since the rotation is free, the mask can be easily inspected on the plane and the bottom of the mask. There is an effect that can be prevented, reducing the time required to inspect the mask.
Description
본 발명은 지지장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 마스크를 지지하여 편리하고 신속하게 마스크의 상태를 검사할 수 있는 마스크 지지장치에 관한 것이다.The present invention relates to a support device, and more particularly to a mask support device that can support the mask to inspect the state of the mask conveniently and quickly.
일반적으로 마스크(mask)는 반도체 공정 중 웨이퍼(wafer) 위에 패턴(pattern)을 이식시키기 위한 포토리소그래피(photolithography) 공정에 사용하는 유리와 같은 재질의 판으로서, 패턴의 오염 및 손상방지를 위해 특히 취급 및 보관이 중요하다. 마스크 상에 인쇄된 패턴이 그대로 웨이퍼 위에 전사가 되므로 마스크 상에 긁힘이나 흠결이 있으면 그 긁힘이나 흠결 역시도 그대로 웨이퍼 위에 이식된다. 따라서 마스크는 원하는 패턴 외에 다른 긁힘이나 흠결이 없는지 엄격하게 검사되어야 한다.In general, a mask is a glass-like plate used in a photolithography process for implanting a pattern on a wafer during a semiconductor process, and is particularly handled to prevent contamination and damage to the pattern. And storage is important. Since the pattern printed on the mask is transferred onto the wafer as it is, if there are scratches or scratches on the mask, the scratches or scratches are also implanted on the wafer. Therefore, the mask must be rigorously inspected for scratches and other flaws other than the desired pattern.
도 1a 및 도 1b를 참조하면서 종래의 마스크 검사방법을 설명한다.1A and 1B, a conventional mask inspection method will be described.
먼저, 마스크(1)의 양 표면을 검사하기 위해서 마스크(1)가 보관된 별도의 박스를 열고 마스크 홀딩용 집게(2)를 사용하여 마스크(1)의 양단을 집은 뒤 마스크(1)를 상기 박스로부터 끄집어낸다.First, in order to inspect both surfaces of the mask 1, a separate box in which the mask 1 is stored is opened, and both ends of the mask 1 are picked up using the mask holding forceps 2, and then the mask 1 is opened. Pull it out of the box.
이어서, 작업자가 상기 마스크(1)의 일면을 별도의 발광장치(3) 아래에서 검사한다. 이 때 작업자는 손목을 비틀어가면서 마스크(1)가 상기 발광장치(3)에 대해서 여러 각도로 경사지게 하면서 검사를 하게 되는 것이다.Subsequently, an operator inspects one surface of the mask 1 under a separate light emitting device 3. At this time, the worker is twisting the wrist to inspect the mask 1 while inclining the light emitting device 3 at various angles.
이렇게 마스크(1)의 일면에 대한 검사가 마치게 되면 마스크(1)의 타면을 검사하기 위해서 마스크(1)를 뒤집는다. 그리고 상술한 바와 같은 방법으로 마스크(1)를 발광장치(3) 아래에서 여러 각도로 기울어가면서 검사를 한다.When the inspection of one surface of the mask 1 is finished as described above, the mask 1 is turned over to inspect the other surface of the mask 1. In the same manner as described above, the mask 1 is inspected while being inclined at various angles under the light emitting device 3.
최종적으로 검사가 끝난 마스크(1)는 다시 마스크(1)를 보관하는 별도의 박스에 넣어서 보관하게 되는 것이다.Finally, the inspected mask 1 is stored in a separate box for storing the mask 1 again.
그러나, 종래의 마스크 검사방법은, 마스크(1)의 양면을 검사하기 위해서 작업자가 손목을 비틀어 가면서 검사해야 하므로 작업자가 마스크(1)를 검사하다가 떨어트릴 위험이 있었으며, 이렇게 파손된 마스크(1)를 복구하기 위해서는 많은 비용이 수반된다는 문제점이 있었다. 또한 숙련되지 않은 작업자는 마스크(1)를 집게(2)로 집어 검사하다가 마스크(1) 표면에 긁힘이나 흠집을 발생시킬 위험이 있었으며, 마스크(1)를 검사하기 위해서 많은 시간이 소요된다는 문제점이 있었다.However, according to the conventional mask inspection method, since the operator must twist the wrist in order to inspect both sides of the mask 1, there is a risk that the operator drops the inspection of the mask 1 and thus the damaged mask 1 There was a problem that a lot of costs to recover. In addition, an inexperienced worker has a risk of causing scratches or scratches on the surface of the mask 1 while inspecting the mask 1 with the tongs 2, and it takes a long time to inspect the mask 1. there was.
본 발명은 상기한 바와 같은 제반 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 그 목적은 작업자가 손목을 비틀며 마스크를 기울여 검사할 필요가 없으므로 숙련된 작업자가 아니라도 간단하게 마스크의 흠결을 검사할 수 있고, 또한 전후회전이 자유로우므로 마스크의 평면과 저면을 간단하게 검사할 수 있으며, 또한 마스크의모서리에 흠집이 발생하는 것을 방지할 수 있고, 마스크를 검사하는데 필요한 시간을 줄일 수 있는 마스크 지지장치를 제공함에 있다.The present invention has been proposed in order to solve the above-mentioned problems, the object is that the operator does not need to check the tilting the mask while twisting the wrist, it is possible to simply check the defects of the mask even if the skilled worker, In addition, since the front and rear rotation is free, it is possible to easily inspect the plane and the bottom of the mask, and to prevent the occurrence of scratches on the edges of the mask, and to provide a mask support device that can reduce the time required for inspecting the mask. have.
도 1a 및 도 2a는 종래의 마스크를 검사하는 방법을 설명하기 위한 도면1A and 2A are views for explaining a method of inspecting a conventional mask.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 마스크 지지장치의 분리사시도Figure 2 is an exploded perspective view of the mask support apparatus according to an embodiment of the present invention
도 3a 및 도 3b는 도 2에 도시된 장치의 회전손잡이 부위의 단면도3A and 3B are cross-sectional views of the rotary knob portion of the apparatus shown in FIG.
도 4a 및 도 4b는 도 2에 도시된 장치의 걸림턱부재 부위의 단면도4A and 4B are cross-sectional views of the locking jaw member portion of the apparatus shown in FIG.
도 5a 및 도 5b는 도 2에 도시된 장치의 클램프부재 부위의 단면도5A and 5B are cross-sectional views of the clamp member portion of the apparatus shown in FIG.
도 6a 및 도 6b는 도 2에 도시된 장치의 하부프레임과 지지플레이트 부위의 단면도6A and 6B are cross-sectional views of the lower frame and support plate portions of the device shown in FIG.
도 7은 도 2의 Ⅶ-Ⅶ선 단면도7 is a cross-sectional view taken along line VII-VII of FIG. 2.
도 8은 도 2의 Ⅷ-Ⅷ선 단면도8 is a cross-sectional view taken along line VII-VII of FIG. 2.
도 9는 도 2에 도시된 장치의 상부프레임이 회전되는 모습을 나타낸 참고도9 is a reference diagram showing a state in which the upper frame of the device shown in Figure 2 is rotated
도 10은 도 2에 도시된 장치의 제1바닥프레임 및 제2바닥프레임의 슬라이딩모습을 나타낸 사시도FIG. 10 is a perspective view showing a sliding view of the first and second floor frames of the apparatus shown in FIG. 2; FIG.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>
10. 상부프레임 20. 베이스프레임10. Upper frame 20. Base frame
21. 측벽부 22. 연결부21. Side wall part 22. Connection part
25. 손잡이부 30. 하부프레임25. Handle 30. Lower frame
31. 지지축부 35. 코일스프링31. Support shaft 35. Coil spring
40. 지지플레이트 50. 제1바닥프레임40. Support plate 50. First floor frame
60. 제2바닥프레임 70. 회전손잡이60. Second floor frame 70. Rotating handle
80. 지지체80. Support
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 마스크 지지장치는 한 쌍의 측벽부를 가지는 베이스 프레임과; 상기 베이스프레임에 대해 회전 가능하게 지지되도록 양단에 상기 베이스 프레임의 한 쌍의 측벽부에 각각 회전 가능하게 끼워지며 그 자유단부가 상기 측벽부를 관통하여 바깥쪽으로 돌출되는 한 쌍의 축부를 가지며, 검사할 마스크가 놓여지는 상부프레임과; 상기 상부프레임에 놓여진 마스크를 위치고정하기 위한 마스크 고정수단; 및 상기 상부프레임의 축부들 중 적어도 하나의 축부에 끼워져 결합되는 회전손잡이;를 구비하며, 상기 회전손잡이를 회전시킴으로써 상기 상부프레임이 상기 축부의 중심축선을 회전중심으로 하여 상기 베이스 프레임에 대해 회전되도록 구성된 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, a mask support apparatus includes: a base frame having a pair of sidewalls; The pair of side walls of the base frame are rotatably fitted at both ends so as to be rotatably supported with respect to the base frame, and the free ends have a pair of shaft portions projecting outwardly through the side wall portions. An upper frame on which the mask is placed; Mask fixing means for fixing the mask placed on the upper frame; And a rotation knob fitted to and coupled to at least one shaft portion of the shaft portions of the upper frame, wherein the upper frame is rotated with respect to the base frame by rotating the rotation knob with the central axis of the shaft portion as the rotation center. Characterized in that configured.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 마스크 지지장치를 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a mask supporting apparatus according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2 내지 도 10은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 지지장치를 도시한 것으로, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 마스크 지지장치의 분리사시도를, 도 3a 및 도 3b는 도 2에 도시된 장치의 회전손잡이 부위의 단면도를, 도 4a 및 도 4b는 도 2에 도시된 장치의 걸림턱부재 부위의 단면도를, 도 5a 및 도 5b는 도 2에 도시된 장치의 클램프부재 부위의 단면도를, 도 6a 및 도 6b는 도 2에 도시된 장치의 하부프레임과 지지플레이트 부위의 단면도를, 도 7은 도 2의 Ⅶ-Ⅶ선 단면도를, 도 8은도 2의 Ⅷ-Ⅷ선 단면도를, 도 9는 도 2에 도시된 장치의 상부프레임이 회전되는 모습을 나타낸 참고도를, 도 10은 도 2에 도시된 장치의 제1바닥프레임 및 제2바닥프레임의 슬라이딩모습을 나타낸 사시도를 각각 나타낸 것이다.2 to 10 show a mask support device according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is an exploded perspective view of the mask support device according to an embodiment of the present invention, Figures 3a and 3b is shown in Figure 2 4A and 4B are cross-sectional views of the locking jaw member portion of the apparatus shown in FIG. 2, and FIGS. 5A and 5B are cross-sectional views of the clamp member portion of the apparatus shown in FIG. 6A and 6B are cross-sectional views of the lower frame and the support plate portion of the apparatus shown in FIG. 2, FIG. 7 is a sectional view taken along the line X-ray of FIG. 2, and FIG. 8 is a sectional view taken along line X-ray of FIG. 2 is a reference diagram showing a state in which the upper frame of the apparatus shown in FIG. 2 is rotated, and FIG. 10 is a perspective view illustrating a sliding view of the first and second floor frames of the apparatus shown in FIG.
상기 도 2 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 지지장치는 베이스프레임(20)과, 상부프레임(10)과, 마스크고정수단과, 회전손잡이(70)와, 하부프레임(30)을 포함하고 있다.2 to 10, the mask support apparatus according to the embodiment of the present invention, the base frame 20, the upper frame 10, the mask fixing means, the rotary knob 70, the lower The frame 30 is included.
상기 베이스프레임(20)은 한 쌍의 측벽부(21)와 상기 한 쌍의 측벽부(21)를 연결하는 연결부(22)를 구비하고 있다. 상기 측벽부(21)들은 각각 제1관통공(211)이 형성되어 있으며, 상기 제1관통공(211)들에는 각각 제1베어링(18)이 결합되어 있다. 그리고 상기 연결부(22)에는 그 연결부(22)로부터 돌출된 봉상의 손잡이부(25)가 더 구비되어 있다.The base frame 20 includes a pair of side wall portions 21 and a connection portion 22 connecting the pair of side wall portions 21. Each of the side wall portions 21 has a first through hole 211 formed therein, and a first bearing 18 is coupled to the first through hole 211. The connecting portion 22 is further provided with a rod-shaped handle portion 25 protruding from the connecting portion 22.
상기 상부프레임(10)은, 상기 베이스프레임(20)에 대해 회전 가능하게 지지되며, 검사할 마스크(1)가 놓여진다. 그리고 상기 상부프레임(10)은 판부재(17)와 한 쌍의 축부(15)와 4 개의 마스크안치대(11)를 구비하고 있다. 상기 판부재(17)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 사각형의 넓은 판형상으로 이루어지며, 상기 마스크(1)의 일면(상면)을 검사한 뒤에 그 반대면(하면)을 검사할 수 있도록 그 중앙부에 관통구멍(TH)이 형성되어 있다. 그리고 상기 판부재(17)의 양단, 즉 상기 베이스프레임(20)의 한 쌍의 측벽부(21)가 위치된 쪽에는 걸림홈(13)이 각각 마련되어 있다. 상기 한 쌍의 축부(15)는 상기 상부프레임(10)으로부터 상기 한 쌍의 측벽부(21)가 위치된 방향으로 각각 돌출된다. 그리고 상기 축부(15)들의 끝단, 즉 상기 축부(15)들의 자유단부들은 상기 측벽부(21)와 상기 상부프레임(10) 사이에 위치하는 제1베어링(18)을 관통하여 각각 바깥쪽으로 돌출되어 있다. 따라서 상기 상부프레임(10)은 그 양단이 상기 베이스프레임(20)의 한 쌍의 측벽부(21)에 각각 회전 가능하게 끼워져 있는 것이다. 그리고 상기 한 쌍의 축부(15) 중에서 어느 하나의 축부(15)에는, 도 2에 도시된 바와 같이, 축홈(151)이 축부(15)의 길이방향을 따라 길게 형성되어 있다. 상기 각 마스크안치대(11)는 상기 판부재(17)의 각 모서리에 설치되며, 상기 마스크(1)를 지지하는 부위이다. 그리고 상기 각 마스크안치대(11)에는 제1안치대홈부(112)와 제2안치대홈부(113)가 형성되어 있다. 상기 제1안치대홈부(112)는 상기 마스크안치대(11)의 상면에 형성되며, 그 제1안치대홈부(112)의 길이방향으로 지지체결합축(116)이 결합되어 있다. 상기 제2안치대홈부(113)는 상기 마스크안치대(11)의 모서리에 형성되며, 상기 검사할 대상인 마스크(1)의 모서리를 받쳐서 지지한다. 즉, 상기 마스크(1)는 상기 제2안치대홈부(113)의 바닥면(115)에 놓여지는 것이다.The upper frame 10 is rotatably supported with respect to the base frame 20, and a mask 1 to be inspected is placed. The upper frame 10 includes a plate member 17, a pair of shaft portions 15, and four mask rests 11. The plate member 17, as shown in Figure 2, is made of a wide plate shape of a square, so that one side (upper surface) of the mask 1 can be inspected so that the opposite side (lower surface) can be inspected Through-hole TH is formed in the center part. The locking grooves 13 are provided at both ends of the plate member 17, that is, on the side where the pair of side wall portions 21 of the base frame 20 are located. The pair of shaft portions 15 protrude from the upper frame 10 in the direction in which the pair of side wall portions 21 are located. The ends of the shaft parts 15, that is, the free ends of the shaft parts 15 protrude outwardly through the first bearing 18 positioned between the side wall part 21 and the upper frame 10. have. Accordingly, both ends of the upper frame 10 are rotatably fitted to the pair of side wall portions 21 of the base frame 20. In addition, as shown in FIG. 2, the shaft groove 151 is formed along the longitudinal direction of the shaft portion 15 in any one of the pair of shaft portions 15. Each mask rest 11 is installed at each corner of the plate member 17 and is a portion for supporting the mask 1. Each of the mask set 11 is provided with a first set guide groove 112 and a second set guide groove 113. The first stabilizer groove 112 is formed on the upper surface of the mask stabilizer 11, the support coupling shaft 116 is coupled in the longitudinal direction of the first stabilizer groove 112. The second stabilization groove 113 is formed at the edge of the mask stabilizer 11 and supports the edge of the mask 1 to be inspected. That is, the mask 1 is placed on the bottom surface 115 of the second stabilizer groove portion 113.
상기 마스크고정수단은 상기 상부프레임(10)의 각 마스크안치대(11)에 놓여진 마스크(1)를 위치고정하기 위해서 마련된 것으로서, 한 쌍의 지지체(80)와, 클램프부재(81)들을 포함하고 있다. 상기 한 쌍의 지지체(80)는 상기 상부프레임(10)의 양단부에 상호 접근 및 이격되는 방향으로 슬라이딩 가능하게 설치된 것이다. 각 지지체(80)의 양단 하부에는 제2관통공(82)이 형성되어 있다. 상기 제2관통공(82)에 상기 상부프레임(10)의 마스크안치대(11)의 제1안치대홈부(112)에 마련된 지지체결합축(116)이 관통되며, 상기 각 지지체(80)는 각각 상기 지지체결합축(116)을 따라 이동됨으로써, 상기 다른 하나의 지지체(80)를 향하여 접근 및 이격 가능하게 슬라이딩되는 것이다. 한편, 상기 지지체(80)와 상기 제1안치대홈부(112)의 안쪽 끝단 사이에는, 상기 지지체(80)를 상기 측벽부(21)가 위치된 방향, 즉 상기 지지체(80)가 상호 이격되는 방향으로 탄성바이어스시키는 제1스프링(117)이 구비되어 있다. 상기 제1스프링(117)은 상기 제1안치대홈부(112)에 수용되어, 상기 지지체결합축(116)에 끼워진다. 그리고 상기 제1스프링(117)의 일단은 상기 지지체(80)에 지지되고 그 타단은 상기 제1안치대홈부(112)의 끝단부에 지지된다. 상기 클램프부재(81)는 상기 각 지지체(80)의 양단에 각각 설치되며, 상기 마스크안치대(11)의 제2안치대홈부(113)의 바닥면(115)과 대면하여 상기 상부프레임(10)에 놓여진 마스크(1)의 모서리에 접촉되어 마스크(1)를 고정시키기 위해 마련된 것이다. 상기 클램프부재(81)는 전체적으로 "ㄱ" 자 형상을 가지며, 상기 지지체(80)의 양단에 핀(85)을 회동중심으로하여 각각 회동가능하게 결합되어 있다. 또한, 도 2 와 도 5a 및 도 5b 에 도시된 바와 같이, 상기 클램프부재(81)와 상기 지지체(80) 사이에는 제2스프링(83)이 설치되어 있다. 각 제2스프링(83)의 일단은 상기 지지체(80)에 형성된 스프링홈(87)에 삽입되어 있으며 그 타단은 상기 클램프부재(81)에 지지되어 있다. 상기 클램프부재(81)는 도 5b에 도시된 바와 같이, 상기 검사할 마스크(1)의 상면 모서리에 접촉되어 그 마스크(1)를 위치 고정하는 제1위치에 있을 때는 상기 클램프부재(81)가 상기 마스크안치대(11)의 걸림부(111)에 걸려서 제2스프링(83)을 압축시키게 된다. 그리고 도 5a에 도시된 바와 같이, 상기 마스크(1)의 상면으로부터 이격되어 마스크(1)의 위치고정을 해제하는 제2위치에 있을 때는 상기 클램프부재(81)의 일면과 마스크안치대(11)의 걸림부(111)는 서로 이격되며, 상기 제2스프링(83)의 복원력으로 상기 클램프부재(81)는 상기 마스크(1)의 상면으로부터 이격되는 것이다.The mask fixing means is provided to fix the mask 1 placed on each mask support 11 of the upper frame 10, and includes a pair of supports 80 and clamp members 81. have. The pair of supports 80 are slidably installed in the direction in which both ends of the upper frame 10 are approached and spaced apart from each other. Second through holes 82 are formed at the lower ends of each support 80. The support coupling shaft 116 provided in the first support groove 112 of the mask support 11 of the upper frame 10 is passed through the second through hole 82, each support 80 Each is moved along the support coupling shaft 116, so as to slide toward and away from the other support (80). On the other hand, between the support 80 and the inner end of the first stabilizer groove 112, the support 80 in the direction in which the side wall portion 21 is located, that is, the support 80 is spaced apart from each other The first spring 117 to elastically bias in the direction is provided. The first spring 117 is accommodated in the first guide groove 112, and is fitted to the support coupling shaft 116. One end of the first spring 117 is supported by the support 80, and the other end of the first spring 117 is supported by an end of the first stabilizer groove 112. The clamp members 81 are installed at both ends of the support bodies 80, respectively, and face the bottom surface 115 of the second stabilizer groove portion 113 of the mask stabilizer 11 to the upper frame 10. It is provided to fix the mask (1) in contact with the edge of the mask (1) placed on the). The clamp member 81 has a "-" shape as a whole and is rotatably coupled to both ends of the support 80 with the pins 85 at the center of rotation. Also, as shown in FIGS. 2, 5A, and 5B, a second spring 83 is provided between the clamp member 81 and the support 80. One end of each second spring 83 is inserted into a spring groove 87 formed in the support 80, and the other end thereof is supported by the clamp member 81. The clamp member 81 is in contact with the top edge of the mask 1 to be inspected, as shown in FIG. 5B, when the clamp member 81 is in a first position for fixing the mask 1. The second spring 83 is compressed by being caught by the locking portion 111 of the mask rest 11. As shown in FIG. 5A, one surface of the clamp member 81 and the mask rest 11 when the second position is spaced apart from the upper surface of the mask 1 to release the position fixing of the mask 1. The locking portions 111 are spaced apart from each other, and the clamp member 81 is spaced apart from the upper surface of the mask 1 by the restoring force of the second spring 83.
한편, 본 실시예에서는 상기 지지체(80)들이 상호 접근된 상태에서 그 지지체(80)들이 상호 이격되는 방향으로 슬라이딩되는 것을 방지하기 위한 록킹수단과, 상기 지지체(80)들의 록킹을 해제시키기 위한 록킹해제수단이 더 구비되어 있다.On the other hand, in the present embodiment, the locking means for preventing the support 80 from sliding in the direction in which the support 80 is mutually spaced apart from each other in the state, and the locking for releasing the locking of the support 80 Release means is further provided.
상기 록킹수단은 걸림턱부재(90)와 걸림홈(13)을 포함한다. 상기 걸림턱부재(90)는, 상기 각 지지체(80)에 승강가능하게 설치되며, 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이 돌출부(91)와 걸림돌기(92)를 포함한다. 그리고 상기 돌출부(91)와 걸림돌기(92)는 상하면에 관통공(931,932)을 가지는 걸림턱하우징(93)에 수용되어 있다. 상기 돌출부(91)는 상기 걸림턱하우징(93)의 상면 관통공(932)을 관통하여 그 걸림턱하우징(93)의 외부로 돌출된다. 상기 걸림돌기(92)는 상기 돌출부(91)의 하측부분과 나사결합되어 있으며, 하강시에 상기 걸림턱하우징(93)의 하면 관통공(931)을 관통한다. 상기 돌출부(91)에는 그 돌출부(91) 및 걸림돌기(92)를 하강되는 방향으로 탄성바이어스시키기 위한 제3스프링(94)이 끼워져 있다. 그 제3스프링(94)의 일단은 상기 걸림턱하우징(93)에 지지되며 그 타단은 상기 돌출부(91)의 외주에 압입되어 고정된 와셔(912)에 지지된다.The locking means includes a locking jaw member 90 and the locking groove 13. The locking jaw member 90 is provided to be elevated on each support 80, and includes a protrusion 91 and a locking protrusion 92 as shown in FIGS. 4A and 4B. The protrusion 91 and the locking protrusion 92 are accommodated in the locking jaw housing 93 having through holes 931 and 932 on the upper and lower surfaces thereof. The protrusion 91 penetrates through the upper surface through hole 932 of the locking jaw housing 93 and protrudes to the outside of the locking jaw housing 93. The locking protrusion 92 is screwed with the lower portion of the protrusion 91 and penetrates the lower surface through hole 931 of the locking jaw housing 93 when lowered. The protrusion 91 is fitted with a third spring 94 for elastically biasing the protrusion 91 and the locking protrusion 92 in the downward direction. One end of the third spring 94 is supported by the locking jaw housing 93, and the other end of the third spring 94 is supported by a washer 912 that is press-fitted to the outer circumference of the protrusion 91.
상기 걸림홈(13)은 상기 상부프레임(10)에 형성되며, 상기 지지체(80)들이 상호 접근된 상태에서 상기 걸림턱부재(90)의 걸림돌기(92)가 삽입되어 걸어맞추어진다.The locking groove 13 is formed in the upper frame 10, and the locking projection 92 of the locking jaw member 90 is inserted and engaged in a state in which the supports 80 are close to each other.
상기 록킹해제수단은 록킹해제부재(95)와 고정판(97)을 포함한다. 상기 고정판(97)은 상기 지지체(80)에 고정된다. 상기 록킹해제부재(95)는 상기 고정판(97)에 핀(98)에 의해 결합되며, 상기 핀(98)을 중심으로하여 상기 지지체(80)의 상방으로 회동가능하게 설치된다. 그리고 상기 록킹해제부재(95)는 그 일단이 상기 걸림돌기(92)에 연결되어 있다. 따라서 상기 록킹해제부재(95)의 회동에 의해 상기 걸림턱부재(90)의 돌출부(91)가 승강되며, 이에 따라 상기 걸림돌기(92)가 상기 걸림홈(13)으로부터 이탈되는 것이다.The locking release means includes a locking release member 95 and a fixed plate 97. The fixing plate 97 is fixed to the support 80. The locking release member 95 is coupled to the fixed plate 97 by a pin 98, and is rotatably installed above the support 80 with the pin 98 as the center. One end of the locking release member 95 is connected to the locking protrusion 92. Accordingly, the protrusion 91 of the locking jaw member 90 is elevated by the rotation of the locking release member 95, and thus the locking protrusion 92 is separated from the locking groove 13.
상기 회전손잡이(70)는 상기 상부프레임(10)을 상기 축부(15)의 중심축선을 회전중심으로 하여 상기 베이스프레임(20)에 대해 회전시키기 위하여 마련된 것이다. 이 회전손잡이(70)에는, 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 손잡이홈(71)이 형성되어 있으며, 그 손잡이홈(71)에 상기 상부프레임(10)의 축부(15)들 중 상기 축홈(151)이 마련된 축부(15)가 끼워져 결합되어 있다. 그리고 상기 회전손잡이(70)에는 키(73,key)가 상기 손잡이홈(71)에 압입되어 끼워지며, 상기 키(73)가 상기 축홈(151)에 삽입된다. 따라서 상기 회전손잡이(70)는 상기 축부(15)의 길이방향으로 이동 가능하며, 또한 상기 키(73)에 의해 상기 회전손잡이(70)와 상기 축부(15)가 상대 회전되는 것이 방지된다. 그러므로 상기 회전손잡이(70)를 회전시킴으로써 상기 상부프레임(10)이 상기 축부(15)를 회전중심으로 하여 베이스프레임(20)에 대해 회전되도록 구성되어 있다. 또한 본 실시예에서는 상기 회전손잡이(70)에 탄성부재(75)와 한 쌍의 위치결정돌기(77)가 더 구비되어 있다. 상기 탄성부재(75)는 상기 회전손잡이(70)를 상기 베이스프레임(20)의 측벽부(21)에 대해 접근시키는 방향으로 탄성바이어스시키기 위해서 마련된 것으로서, 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 그 일단은 상기 축부(15)에 지지되며 그 타단은 상기 회전손잡이(70)의 안쪽면, 즉 상기 측벽부(21)가 위치된 쪽과 가까운 내측벽면에 지지되어 있다. 상기 한 쌍의 위치결정돌기(77)는 상기 회전손잡이(70)로부터 상기 측벽부(21)가 위치된 방향으로 돌출되어 있다. 이 위치결정돌기(77)들은 상기 축부(15)의 중심축선 둘레에 180도 간격으로 배치되어 있다. 그리고 상기 위치결정돌기(77)들은 상기 측벽부(21)에 형성된 상기 한 쌍의 위치결정홈(213)에 각각 삽입되어 진다. 상기 위치결정홈(213)은 상기 한 쌍의 측벽부(21) 중에서 상기 회전손잡이(70)와 가까운 측벽부(21)에 마련되며, 상기 제1관통공(211)의 양측에 형성되어 있다. 즉, 위치결정홈(213)들은 축부(15)의 중심축선 둘레에 180도 간격으로 배치되어 있다. 상기 한 쌍의 위치결정홈(213)의 중심들을 잇는 선은 수평선상에 있어서 상기 위치결정돌기(77)들이 각각 상기 위치결정홈(213)에 삽입되면 상기 상부프레임(10)이 상기 연결부(22)와 평행한 위치가 된다. 상기 탄성부재(75)와 위치결정돌기(77)와 위치결정홈(213)은 상기 회전가능한 상부프레임(10)을 상기 베이스프레임(20)의 연결부(22)와 평행하게 되는 2개의 위치 즉, 마스크의 일면(상면)이 상방을 향하는 위치와 그 위치로부터 180도 회전되어 마스크의 타면(하면)이 상방을 향하게 되는 위치에서 각각 상기 베이스프레임(20)에 대해 위치고정하기 위한 위치고정수단으로서 마련된 것이다.The rotation knob 70 is provided to rotate the upper frame 10 with respect to the base frame 20 with the central axis of the shaft portion 15 as the rotation center. As shown in FIGS. 3A and 3B, a handle groove 71 is formed in the rotary knob 70, and the handle groove 71 has the handle 15 of the shaft portions 15 of the upper frame 10. The shaft portion 15 provided with the shaft groove 151 is fitted and engaged. In addition, a key (73) is inserted into the handle groove (71) by being inserted into the rotation knob (70), and the key (73) is inserted into the shaft groove (151). Therefore, the rotary knob 70 is movable in the longitudinal direction of the shaft portion 15, and the rotation knob 70 and the shaft portion 15 is prevented from being relatively rotated by the key 73. Therefore, by rotating the rotary knob 70, the upper frame 10 is configured to rotate relative to the base frame 20 with the shaft portion 15 as the center of rotation. In addition, in the present embodiment, the rotary knob 70 is further provided with an elastic member 75 and a pair of positioning projections 77. The elastic member 75 is provided to elastically bias the rotation knob 70 in a direction to approach the side wall portion 21 of the base frame 20, as shown in Figures 3a and 3b, One end thereof is supported by the shaft portion 15, and the other end thereof is supported by the inner side surface of the rotary knob 70, that is, the inner wall surface close to the side where the side wall portion 21 is located. The pair of positioning protrusions 77 protrude from the rotation knob 70 in the direction in which the side wall portion 21 is located. These positioning protrusions 77 are arranged at intervals of 180 degrees around the central axis of the shaft portion 15. The positioning protrusions 77 are respectively inserted into the pair of positioning grooves 213 formed in the side wall portion 21. The positioning grooves 213 are provided in the side wall portion 21 close to the rotation knob 70 of the pair of side wall portions 21 and are formed at both sides of the first through hole 211. That is, the positioning grooves 213 are arranged at intervals of 180 degrees around the central axis of the shaft portion 15. The line connecting the centers of the pair of positioning grooves 213 is on a horizontal line, and when the positioning protrusions 77 are respectively inserted into the positioning grooves 213, the upper frame 10 is connected to the connecting portion 22. Will be parallel to). The elastic member 75, the positioning protrusion 77, and the positioning groove 213 are two positions in which the rotatable upper frame 10 is parallel with the connecting portion 22 of the base frame 20. It is provided as a position fixing means for fixing the position relative to the base frame 20 at a position where one side (upper surface) of the mask is upward and rotated 180 degrees from the position so that the other side (lower surface) of the mask is upward. will be.
상기 하부프레임(30)은 상기 베이스프레임(20)의 연결부(22) 하방에 마련된 판형상의 부재이며, 상기 베이스프레임(20)을 지지한다. 한편, 본 실시예에서는 상기 베이스프레임(20)의 세로중심축선이 수직선에 대해 경사질 수 있도록 하부프레임(30)에 지지시키는 경사지지수단이 더 구비되어 있다. 상기 경지지수단은, 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이, 지지축(31)과, 결합홈부(33)와, 코일스프링(35)을포함하고 있다. 상기 지지축(31)은 상기 베이스프레임(20)의 연결부(22)의 하면에서 하방으로 돌출되게 그 연결부(22)에 고정된다. 그리고 상기 지지축(31)의 하단부에는 구형의 볼부(311)가 마련되어 있다. 상기 결합홈부(33)는 상기 하부프레임(30)의 상면에 마련되며, 상기 지지축(31)의 볼부(311)와 대응되는 구면을 가지며, 상기 볼부(311)를 감싸서 수용한다. 상기 코일스프링(35)은 상기 지지축(31)에 끼워지며, 그 양단이 상기 베이스프레임(20)과 하부프레임(30)에 각각 지지되어 있다. 상기 코일스프링(35)은, 상기 베이스프레임(20)이 상기 하부프레임(30)의 상면에 대해 경사진 위치로부터 수직인 위치가 되는 방향으로의 복원력을 제공한다. 도 6a 및 도 6b에서 참조부호 36 및 37은 상기 코일스프링(35)의 양단을 수용하여 그 코일스프링(35)의 양단이 각각 베이스프레임(20)과 하부프레임(30)에서 이탈되는 것을 방지하기 위한 스프링이탈방지판이다.The lower frame 30 is a plate-shaped member provided below the connecting portion 22 of the base frame 20 and supports the base frame 20. On the other hand, in the present embodiment is further provided with inclined support means for supporting the lower frame 30 so that the longitudinal center axis of the base frame 20 can be inclined with respect to the vertical line. As shown in FIGS. 6A and 6B, the hard supporting means includes a support shaft 31, a coupling groove 33, and a coil spring 35. The support shaft 31 is fixed to the connecting portion 22 to protrude downward from the lower surface of the connecting portion 22 of the base frame 20. A spherical ball portion 311 is provided at the lower end of the support shaft 31. The coupling groove 33 is provided on the upper surface of the lower frame 30, has a spherical surface corresponding to the ball portion 311 of the support shaft 31, wraps and accommodates the ball portion 311. The coil spring 35 is fitted to the support shaft 31, and both ends thereof are supported by the base frame 20 and the lower frame 30, respectively. The coil spring 35 provides a restoring force in a direction in which the base frame 20 becomes a vertical position from an inclined position with respect to the upper surface of the lower frame 30. In FIGS. 6A and 6B, reference numerals 36 and 37 may accommodate both ends of the coil spring 35 to prevent both ends of the coil spring 35 from being separated from the base frame 20 and the lower frame 30, respectively. Spring release prevention plate for
한편, 본 실시예에서는 상기 하부프레임(30)의 하방에 지지플레이트(40)와, 제1바닥프레임(50)과, 제2바닥프레임(60)이 더 구비되어 있다.Meanwhile, in the present embodiment, the support plate 40, the first bottom frame 50, and the second bottom frame 60 are further provided below the lower frame 30.
상기 지지플레이트(40)는 상기 하부프레임(30)의 하방에 마련되며 그 하부프레임(30)을 지지한다. 또한, 본 실시예에서는 상기 하부프레임(30)이 상기 지지플레이트(40)에 대해 수평회전 가능하게 그 지지플레이트(40)에 지지되도록 하는 회전지지수단이 더 구비되어 있다. 상기 회전지지수단은 돌출축(38)과, 결합홈(42)과, 제2베어링(45)을 포함한다. 상기 돌출축(38)은 상기 하부프레임(30)의 하면에서 하방으로 돌출된다. 상기 결합홈(42)은 상기 지지플레이트(40)의 상면에 형성되어 있다. 상기 제2베어링(45)은 상기 결합홈(42)에 결합되며, 상기 돌출축(38)이끼워진다. 따라서 상기 회전지지수단을 통해 상기 하부프레임(30)은, 그 하부프레임(30)의 수직선을 회전 중심으로 하여 상기 지지플레이트(40)에 대해 회전 가능하도록 상기 지지플레이트(40)에 지지되는 것이다. 그리고 상기 지지플레이트(40)의 하면에는 하방으로 돌출된 제1돌기축(47)이 마련되어 있다.The support plate 40 is provided below the lower frame 30 and supports the lower frame 30. In addition, in the present embodiment, the lower frame 30 is further provided with rotation support means for supporting the support plate 40 so as to be horizontally rotated with respect to the support plate 40. The rotation support means includes a protruding shaft 38, a coupling groove 42, and a second bearing 45. The protruding shaft 38 protrudes downward from the lower surface of the lower frame 30. The coupling groove 42 is formed on the upper surface of the support plate 40. The second bearing 45 is coupled to the coupling groove 42, the projection shaft 38 is fitted. Accordingly, the lower frame 30 is supported by the support plate 40 so as to be rotatable with respect to the support plate 40 by using the vertical line of the lower frame 30 as the rotation center. And the lower surface of the support plate 40 is provided with a first projection shaft 47 protruding downward.
상기 제1바닥프레임(50)과 제2바닥프레임(60)은 상기 지지플레이트(40)를 수평이동 가능하게 지지시키기 위한 수평이동지지수단으로 마련된 것이다.The first bottom frame 50 and the second bottom frame 60 are provided as horizontal moving support means for supporting the support plate 40 to be movable horizontally.
상기 제1바닥프레임(50)은 상기 지지플레이트(40)의 하방에 위치하며, 횡방향으로 형성된 가로홈(51)을 가지며 그 하면에는 제2돌기축(55)이 하방을 향하여 돌출되어 있다. 그리고 상기 가로홈(51)에는 상기 지지플레이트(40)의 제1돌기축(47)이 수용되는 제1가이드레일(53)이 설치되어 있다. 따라서 상기 제1돌기축(47)이 상기 제1가이드레일(53)을 따라 이동됨으로써, 상기 지지플레이트(40)는 상기 제1바닥프레임(50)에 대해 횡방향으로 상대이동될 수 있는 것이다.The first bottom frame 50 is positioned below the support plate 40, and has a horizontal groove 51 formed in a transverse direction, and a second projection shaft 55 protrudes downward from the bottom surface thereof. The horizontal groove 51 is provided with a first guide rail 53 for receiving the first protrusion shaft 47 of the support plate 40. Therefore, the first projection shaft 47 is moved along the first guide rail 53, so that the support plate 40 can be moved relative to the first floor frame 50 in the transverse direction.
상기 제2바닥프레임(60)은 상기 제1바닥프레임(50)의 하방에 위치하여 바닥면에 놓이며, 종방향으로 형성된 세로홈(61)을 가진다. 그리고 상기 세로홈(61)에는 상기 제1바닥프레임(50)의 제2돌기축(55)이 수용되는 제2가이드레일(63)이 설치되어 있다. 따라서 상기 제2돌기축(55)이 상기 제2가이드레일(63)을 따라 이동됨으로써, 상기 제1바닥프레임(50)은 상기 제2바닥프레임(60)에 대해 종방향으로 상대이동될 수 있는 것이다.The second bottom frame 60 is positioned below the first bottom frame 50 and placed on the bottom, and has a vertical groove 61 formed in a longitudinal direction. The vertical groove 61 is provided with a second guide rail 63 to accommodate the second projection shaft 55 of the first bottom frame 50. Therefore, the second projection shaft 55 is moved along the second guide rail 63, so that the first floor frame 50 can be moved relative to the second floor frame 60 in the longitudinal direction. will be.
상기와 같은 구성을 가진 본 발명의 실시예에 따른 마스크 지지장치(100)의 사용방법에 대해 설명하기로 한다.A method of using the mask support apparatus 100 according to the embodiment of the present invention having the above configuration will be described.
먼저, 도 10에 도시된 바와 같이, 지지체(80)들이 상호 접근되어 있고 도 4b에 도시된 바와 같이, 걸림돌기(92)가 걸림홈(13)에 걸려 있는 상태에서 상기 록킹해제부재(95)를 회동시켜서 상기 걸림돌기(92)가 걸림홈(13)으로부터 벗어 나게 하면 지지체(80)들의 록킹이 해제되며, 이에 따라 상기 지지체(80)는 제1스프링(117)의 복원력에 의해 도 4a에 도시된 바와 같이, 상호 이격되는 방향으로 이동된다. 이렇게 상기 지지체(80)가 상호 이격된 상태에서는 상기 록킹해제부재(95)가 상기 베이스프레임(20)의 측벽부(21) 상면에 위치되므로 상기 회전손잡이(70)를 회전시켜도 상기 록킹해제부재(95)가 상기 측벽부(21)에 걸려서 상기 상부프레임(10)은 회전되지 않는다. 따라서 상기 마스크(1)가 상기 클램프부재(81)에 의해 고정되지 않은 상태에서는 상기 상부프레임(10)이 회전되지 않으므로 상기 마스크(1)가 하방으로 떨어질 염려가 없는 것이다.First, as shown in FIG. 10, the support members 80 are close to each other, and as shown in FIG. 4B, the locking release member 95 is engaged with the locking protrusion 92 in the locking groove 13. When the locking projection 92 is released from the locking groove 13 by turning the locking of the support 80, the support 80 is according to the restoring force of the first spring 117 in Figure 4a As shown, they are moved in the direction away from each other. Thus, in the state in which the support 80 is spaced apart from each other, the locking release member 95 is located on the upper surface of the side wall portion 21 of the base frame 20, even when the rotation knob 70 is rotated. 95 is caught by the side wall portion 21 so that the upper frame 10 is not rotated. Therefore, since the upper frame 10 is not rotated in the state in which the mask 1 is not fixed by the clamp member 81, the mask 1 may not fall downward.
이어서, 상기 상부프레임(10)의 마스크안치대(11)의 제2안치대홈부(113)의 바닥면(115)에 상기 마스크(1)의 네 모서리가 접촉되도록 하여 상기 마스크(1)를 마스크안치대(11)에 놓는다. 이어서 상기 한 쌍의 지지체(80)를 각각 상기 마스크(1)가 위치된 방향, 즉 각 지지체(80)가 상호 접근되는 방향으로 슬라이딩시킨다. 이에 따라 도 5a에 도시된 바와 같은 상태에 있던 클램프부재(81)가 상기 마스크안치대(11)의 걸림부(111)에 걸려서 핀(85)을 중심으로 도 5b에 도시된 바와 같이 회동된다. 상기 클램프부재(81)의 회동에 따라 그 클램프부재(81)의 하면이 상기 마스크(1)의 상면 모서리에 접촉하게 되어 상기 마스크(1)는 그 위치가 고정되는 것이다. 또한 상기 지지체(80)가 상호 접근하는 방향으로 슬라이딩됨에 따라상기 걸림턱부재(90)의 걸림돌기(92)가 상기 상부프레임(10)의 걸림홈(13)의 상방에 위치하게 되면 상기 제3스프링(94)에 의하여 그 걸림돌기(92)가 하방으로 이동되면서 그 걸림홈(13)에 삽입되어 걸리게 되므로 상기 지지체(80)는 그 위치가 상호 접근된 상태에서 고정되는 것이다. 그리고 상기 클램프부재(81)도 역시 상기 마스크(1)의 상면에 접촉된 채로 그 위치가 유지되게 된다.Subsequently, the four edges of the mask 1 contact the bottom surface 115 of the second stabilizer groove 113 of the mask stabilizer 11 of the upper frame 10 to mask the mask 1. Place it on the support stand (11). Subsequently, the pair of supports 80 are slid in a direction in which the mask 1 is positioned, that is, in a direction in which the supports 80 are close to each other. Accordingly, the clamp member 81 in the state as shown in FIG. 5A is caught by the locking portion 111 of the mask rest 11 and rotated as shown in FIG. 5B about the pin 85. As the clamp member 81 rotates, the lower surface of the clamp member 81 comes into contact with the upper edge of the mask 1 so that the mask 1 is fixed in position. In addition, when the support protrusion 80 is slid in a direction approaching each other when the locking projection 92 of the locking jaw member 90 is located above the locking groove 13 of the upper frame 10 the third As the locking projection 92 is moved downward by the spring 94, the locking projection 92 is inserted into the locking groove 13 so that the support 80 is fixed in a state where the position is approached. In addition, the clamp member 81 is also maintained in position while being in contact with the upper surface of the mask (1).
상기와 같이 마스크(1)가 고정된 상태에서 별도의 발광장치 아래에서 그 마스크(1)의 표면에 긁힘 등의 흠결이 없는 지를 검사한다. 이어서 상기 발광장치에서 발생되는 빛의 경로 때문에 상기 마스크(1)를 기울일 필요가 있을 때에는 상기 연결부(22)에 마련된 손잡이부(25)를 잡고 상기 베이스프레임(20)을 원하는 방향, 예를 들어 도 6a의 화살표(D) 방향으로 기울인다. 상기 베이스프레임(20)은 결합홈부(33)와 볼부(311)의 결합에 의해 상기 하부프레임(30)에 대해 경사질 수 있도록 지지되어 있으므로, 상기 베이스프레임(20)을 도 6b에 도시된 바와 같이, 하부프레임(30)에 대해 기울일 수 있는 것이다. 이렇게 기울인 상태에서의 검사가 끝나면 상기 손잡이부(25)를 놓는다. 이에 따라 상기 코일스프링(32)이 제공하는 복원력에 의해 상기 베이스프레임(20)은 원위치로 돌아와서, 상기 베이스프레임(20)의 연결부(22)와 상기 하부프레임(30)이 평행하게 된다. 따라서 상기 마스크(1)도 다시 수평상태를 유지하는 것이다. 또한 상기 마스크(1)를 수평방향으로 돌려서 검사할 필요가 있을 때에는 상기 하부프레임(30)을 상기 지지플레이트(40)에 대해 수평방향으로 회전시킨다. 상기 하부프레임(30)과 지지플레이트(40) 사이에는 제2베어링(45)이 설치되어 있으므로 상기 하부프레임(30)을 상기 지지플레이트(40)에 대해 수평방향으로 회전시킬 수 있는 것이다. 또한, 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 발광장치와 상기 마스크(1) 사이의 거리가 멀어서 상기 마스크(1)를 발광장치가 위치된 곳으로 이동시킬 필요가 있을 때에는, 상기 지지플레이트(40)를 상기 제1바닥프레임(50)에 대해 횡방향으로 이동시키거나 상기 제1바닥프레임(50)을 상기 제2바닥프레임(60)에 대해 종방향으로 이동시키거나 혹은 상기 제1바닥프레임(50)을 상기 제2바닥프레임(60)에 대해 종방향으로 이동시키고 동시에 상기 지지플레이트(40)를 상기 제1바닥프레임(50)에 대해 횡방향으로 이동시켜 상기 마스크(1)를 원하는 위치에 위치될 수 있게 할 수가 있는 것이다.In the state where the mask 1 is fixed as described above, the surface of the mask 1 is inspected under a separate light emitting device for scratches or the like. Subsequently, when the mask 1 needs to be tilted due to the path of light generated by the light emitting device, the base frame 20 is held in a desired direction, for example, by holding the handle part 25 provided in the connection part 22. Tilt in the direction of arrow D of 6a. Since the base frame 20 is supported to be inclined with respect to the lower frame 30 by the coupling of the coupling groove 33 and the ball 311, the base frame 20 as shown in Figure 6b Likewise, it can be tilted with respect to the lower frame 30. After the inspection in the inclined state, the handle portion 25 is released. Accordingly, the base frame 20 is returned to its original position by the restoring force provided by the coil spring 32, so that the connecting portion 22 of the base frame 20 and the lower frame 30 are parallel to each other. Therefore, the mask 1 is also kept horizontal again. When the mask 1 needs to be inspected by rotating the mask 1 in the horizontal direction, the lower frame 30 is rotated in the horizontal direction with respect to the support plate 40. Since the second bearing 45 is installed between the lower frame 30 and the support plate 40, the lower frame 30 can be rotated in the horizontal direction with respect to the support plate 40. In addition, as shown in FIG. 10, when the distance between the light emitting device and the mask 1 is long and it is necessary to move the mask 1 to the place where the light emitting device is located, the support plate 40 is provided. Move horizontally with respect to the first floor frame 50 or move the first floor frame 50 longitudinally with respect to the second floor frame 60 or the first floor frame 50. ) Moves the support plate 40 laterally relative to the first bottom frame 50 and moves the support plate 40 laterally relative to the second bottom frame 60 to position the mask 1 at a desired position. It can be done.
상술한 바와 같이, 상기 마스크(1)의 일면에 대한 검사를 마치면, 상기 마스크(1)를 뒤집어서 그 타면을 검사한다. 이를 위해서 상기 회전손잡이(70)를 상기 측벽부(21)와 멀어지는 방향, 즉 도 3a의 화살표방향(A)으로 후퇴시킨다. 이 때 상기 회전손잡이(70)에 결합된 상기 키(73)가 상기 축부(15)의 축홈(151)을 따라서 가이드되며, 상기 회전손잡이(70)는 상기 축부(15)를 따라 상기 측벽부(21)와 멀어지는 방향으로 이동된다. 이에 따라, 상기 회전손잡이(70)의 한 쌍의 위치결정돌기(77;도 2 참조)는 상기 측벽부(21)에 형성된 위치결정홈(213;도 2 참조)으로부터 이탈된다. 따라서 상기 회전손잡이(70)를 측벽부(21)에 대해 회전시킬 수 있으며, 상기 회전손잡이(70)를 도 9의 화살표방향(E)으로 회전시키면, 상기 상부프레임(10)이, 도 9에 가상선으로 도시된 바와 같이, 상기 회전손잡이(70)와 함께 회전한다. 그리고, 상기 상부프레임(10)이 180도 회전되면 한 쌍의 위치결정돌기(77)는 다시 측벽부(21)의 각 위치결정홈(213)과 마주하는 상태가 된다. 이러한 상태에서 회전손잡이(70)에 가하던 외력을 제거하면 탄성부재(75)에 의해 회전손잡이(70)는 다시 측벽부(21) 측으로 이동되고 한 쌍의 위치결정돌기(77)는 위치결정홈(213)에 삽입되어 상기 베이스프레임(20)에 대한 상부프레임(10)의 위치고정이 행해진다. 이와 같이 함으로써 상기 관통구멍(TH; 도 2 참조)을 통해서 상기 마스크(1)의 타면(하면)을 검사할 수가 있게 되는 것이다.As described above, when the inspection of one surface of the mask 1 is finished, the mask 1 is turned over and the other surface thereof is inspected. To this end, the rotation knob 70 is retracted in a direction away from the side wall portion 21, that is, the arrow direction A of FIG. 3A. At this time, the key 73 coupled to the rotary knob 70 is guided along the shaft groove 151 of the shaft portion 15, and the rotary knob 70 is along the shaft portion 15 to the side wall portion ( 21) is moved away from. Accordingly, the pair of positioning protrusions 77 (see FIG. 2) of the rotary knob 70 is separated from the positioning grooves 213 (see FIG. 2) formed in the side wall portion 21. Therefore, the rotary knob 70 can be rotated with respect to the side wall portion 21. When the rotary knob 70 is rotated in the arrow direction E of FIG. 9, the upper frame 10 is shown in FIG. As shown by the imaginary line, it rotates with the rotation knob 70. When the upper frame 10 is rotated 180 degrees, the pair of positioning protrusions 77 are in a state of facing the positioning grooves 213 of the side wall part 21 again. In this state, when the external force applied to the rotary knob 70 is removed, the rotary knob 70 is moved back to the side wall portion 21 by the elastic member 75, and the pair of positioning protrusions 77 are positioned in the positioning groove. The position fixing of the upper frame 10 with respect to the base frame 20 is performed by inserting into 213. In this way, the other surface (lower surface) of the mask 1 can be inspected through the through hole TH (see FIG. 2).
상술한 과정을 되풀이하여 상기 마스크(1)의 타면을 검사하면, 마스크(1)의 상·하면을 모두 검사하는 것이 되는 것이다.When the other surface of the mask 1 is inspected by repeating the above-described process, the upper and lower surfaces of the mask 1 are inspected.
이어서 다른 마스크를 검사하고자 하는 경우에는 상기 록킹해제부재(95)를 도 4b의 화살표방향(B)으로 회동시킨다. 이에 따라 상기 걸림돌기(92)가 상기 걸림홈(13)으로부터 이탈되며 상기 제1스프링(117;도 2 참조)의 복원력으로 상기 지지체(90)는 상호 이격되는 방향으로 멀어지게 된다. 또한 상기 클램프부재(81)도 걸림부(111)와의 접촉이 해제되어 제2스프링(83)의 복원력에 의해 회동되면서 상기 마스크(1)의 상면과 이격되게 된다. 따라서 검사한 마스크(1)를 다시 박스에 담고 다음 검사대상 마스크를 상술한 바와 같이 검사하면 되는 것이다.Subsequently, when the other mask is to be inspected, the locking release member 95 is rotated in the arrow direction B of FIG. 4B. Accordingly, the locking protrusion 92 is separated from the locking groove 13, and the support 90 is moved away from each other by the restoring force of the first spring 117 (see FIG. 2). In addition, the clamp member 81 is also released from the contact with the engaging portion 111 is rotated by the restoring force of the second spring 83 is spaced apart from the upper surface of the mask (1). Therefore, the inspected mask 1 may be put back into the box and the next inspection target mask may be inspected as described above.
이와 같이, 본 실시예에 따른 마스크 지지장치(100)에 의하면 작업자의 손목을 비틀 필요없이 마스크(1)의 상·하면 검사가 모두 가능하며, 그 마스크(1)의 이동 및 자세변화가 쉽게 행하여질 수 있으므로 마스크(1)의 검사가 신속하게 이루어지며, 마스크(1)를 검사하다가 떨어뜨릴 위험도 없이 안전하게 마스크(1)의 검사를 할 수 있다.Thus, according to the mask support device 100 according to the present embodiment, both the upper and lower surfaces of the mask 1 can be inspected without having to twist the operator's wrist, and the mask 1 can be easily moved and changed in posture. Since the mask 1 may be inspected quickly, the mask 1 may be safely inspected without the risk of dropping the mask 1.
한편, 본 실시예에서는 상기 하부프레임(30), 지지플레이트(40), 제1바닥프레임(50), 제2바닥프레임(60) 등이 구비된 것으로 설명되었으나, 여기에 한정되는것은 물론 아니다. 상기 구성요소가 생략되어도 상기 베이스프레임(20)의 연결부(22)를 바닥에 놓고, 필요한 경우는 발광장치(3)를 옮기거나 베이스프레임(20)을 이동시켜도 본 실시예에 따른 마스크 지지장치(100)와 동일한 효과를 얻을 수 있다.Meanwhile, in the present embodiment, the lower frame 30, the support plate 40, the first bottom frame 50, the second bottom frame 60, and the like have been described, but the present invention is not limited thereto. Even if the component is omitted, the mask supporting device according to the present embodiment may be placed even if the connection part 22 of the base frame 20 is placed on the floor and the light emitting device 3 or the base frame 20 is moved if necessary. The same effect as 100) can be obtained.
이상에서와 같이 본 발명에 따른 마스크 지지장치에 의하면, 작업자가 손목을 비틀며 마스크를 기울여 검사할 필요가 없으므로 숙련된 작업자가 아니라도 간단하게 마스크의 흠결을 검사할 수 있고, 또한 전후회전이 자유로우므로 마스크의 평면과 저면을 간단하게 검사할 수 있으며, 또한 마스크의 모서리에 흠집이 발생하는 것을 방지할 수 있고, 마스크를 검사하는데 필요한 시간을 줄일 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the mask support device according to the present invention, since the operator does not need to check the tilted mask while twisting the wrist, even a skilled worker can easily inspect the defects of the mask, and the front and rear rotation is free. The plane and bottom of the mask can be easily inspected, and scratches can be prevented from occurring at the edges of the mask, and the time required for inspecting the mask can be reduced.
본 발명은 첨부된 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것이며, 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호범위는 첨부된 청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the accompanying drawings, it is intended to be illustrative, and those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent embodiments are possible from this. Therefore, the true scope of protection of the present invention should be defined only by the appended claims.
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