KR102068000B1 - Substrate Loading Device for Deposition Apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판과 마스크의 정렬 및 기판이 안치되는 기판 홀더의 승강을 가능하게 하는 증착 장치용 기판 로딩 장치에 대한 것이다.
본 발명은 유기물 증착 시스템에서 마스크를 포함한 기판 홀더를 전달받아 기판을 로딩하여 증착 챔버로 전달하는 기판 로딩 장치에 있어서, 상기 기판 홀더를 지지하고 이송하는 기판홀더 지지 및 이송 유닛을 구비하고, 승강 작동하는 기판 지지부; 및 상기 기판 홀더가 상기 기판 지지부에 지지된 상태에서 상기 기판 홀더의 상부에 구비된 마스크 캡을 승강시키는 마스크 캡 승강장치;를 포함하는 기판 로딩 장치를 제공한다. The present invention relates to a substrate loading apparatus for a deposition apparatus that enables alignment of a substrate with a mask and lifting of a substrate holder on which the substrate is placed.
The present invention provides a substrate loading apparatus that receives a substrate holder including a mask in an organic material deposition system and loads the substrate and transfers the substrate to a deposition chamber, comprising a substrate holder support and a transfer unit for supporting and transferring the substrate holder, and lifting operation A substrate support portion; And a mask cap elevating device for elevating a mask cap provided on an upper portion of the substrate holder while the substrate holder is supported by the substrate support.

Description

증착 장치용 기판 로딩 장치 {Substrate Loading Device for Deposition Apparatus} Substrate Loading Device for Deposition Apparatus}

본 발명은 증착 장치용 기판 로딩 장치에 대한 것이다. 더욱 상세하게는, 본 발명은 기판과 마스크의 정렬 및 기판이 안치되는 기판 홀더의 승강을 가능하게 하는 증착 장치용 기판 로딩 장치에 대한 것이다. The present invention relates to a substrate loading apparatus for a deposition apparatus. More specifically, the present invention relates to a substrate loading apparatus for a deposition apparatus that enables alignment of a substrate with a mask and lifting of a substrate holder on which the substrate is placed.

최근 디스플레이 기술의 급속한 발전과 더불어 액정 표시장치(Liquid Crystal Display : LCD)와 같은 디스플레이 장치뿐만 아니라 유기발광 표시장치(Organic Light Emitting Diplay : OLED)의 사용도 확산되고 있다. Recently, with the rapid development of display technology, the use of organic light emitting display devices (OLEDs) as well as display devices such as liquid crystal displays (LCDs) has been spreading.

유기발광 표시장치(OLED)는 기판상에 적층된 양극 전극, 유기막 및 음극 전극을 포함하며, 유기막에 포함된 유기 발광층에서 정공과 전자가 결합하여 여기자를 형성하고 빛을 발생시키는 원리를 이용한 표시장치이다. An organic light emitting display (OLED) includes an anode electrode, an organic layer, and a cathode electrode stacked on a substrate. The organic light emitting display device (OLED) uses holes and electrons in the organic light emitting layer included in the organic layer to form excitons and generate light. It is a display device.

기판에 원하는 패턴의 유기막을 형성하기 위해서는 기판과 소스 공급원의 사이에 마스크를 위치시켜야 한다. 상기 마스크는 유기물이 증착되는 기판의 일면에 위치하여 기판 상에 일정한 패턴의 유기막이 증착되도록 한다. 일례에 있어서, OLED 증착 공정의 경우 증착 챔버의 하부에 소스 공급원이 위치한 상태에서 소스 공급원의 상부에 위치한 기판의 하부 면에 유기물이 증착된다. 이에 따라 기판 하부에 위치한 마스크를 기판의 하부면에 고정하여야 한다. 마스크를 기판에 고정함에 있어서 핀이나 클립 등을 이용한 기계식 고정방법과 영구 자석 또는 전자석을 이용한 자력식 고정방법이 있다. To form an organic film of a desired pattern on the substrate, a mask must be placed between the substrate and the source source. The mask is positioned on one surface of the substrate on which the organic material is deposited so that an organic film having a predetermined pattern is deposited on the substrate. In one example, in the OLED deposition process, organic material is deposited on the bottom surface of the substrate located above the source source with the source source located at the bottom of the deposition chamber. Accordingly, the mask located under the substrate should be fixed to the lower surface of the substrate. In fixing the mask to the substrate, there are mechanical fixing methods using pins or clips and magnetic fixing methods using permanent magnets or electromagnets.

최근 기판의 대면적화에 따라 상기 마스크도 대형화되고 있다. 이에 다라 마스크의 처짐 문제가 발생한다. 또한 마스크를 기판에 정확히 정렬시켜야 하는데 마스크를 정렬하기 위한 별도의 회전 수단을 구비하는 등 장치가 복잡해지는 문제점도 존재한다. In recent years, the mask is also enlarged due to the large area of the substrate. This causes a problem of sagging of the mask. In addition, there is a problem in that the device has to be precisely aligned with the substrate, but the device is complicated, including a separate rotation means for aligning the mask.

한편, 인라인(In-Line) 형식의 OLED 증착 시스템에 있어서는 기판 홀더 상부의 마스크의 상부에 기판을 안치시킨 후 증착 챔버로 이동하여 기판에 유기물을 증착시킨다. 증착이 완료된 기판은 배출하고 기판 홀더와 마스크를 복귀시켜 다시 새로운 기판을 마스크의 상부에 안치시킨다. On the other hand, in the In-Line OLED deposition system, the substrate is placed on top of the mask on the substrate holder and then moved to the deposition chamber to deposit the organic material on the substrate. After the deposition is completed, the substrate is discharged and the substrate holder and the mask are returned to place the new substrate on top of the mask.

도 1은 종래 인라인 형식의 증착 시스템을 개략적으로 도시한 도면이다. 1 is a schematic view of a conventional inline type deposition system.

종래 인라인 형식의 증착 시스템(10)은, 로딩 챔버(12), 마스크 반송용 승강 챔버(14), 증착 챔버(16), 및 언로딩 챔버(18)를 포함한다.The conventional inline deposition system 10 includes a loading chamber 12, a mask conveyance lifting chamber 14, a deposition chamber 16, and an unloading chamber 18.

로딩 챔버(12)에는 기판(S)이 공급되고 기판(S)은 기판 홀더(20)의 마스크와 결합된 상태로 준비된다(①). 기판(S)이 로딩된 기판 홀더(20)는 도 1에 도시된 바와 같이, 제 1 마스크 반송용 승강 챔버(14)를 지나 증착 챔버(16)로 전달된다(①→②→③). 증착 챔버(16)에서는 기판(S)에 유기물이 증착된다. 증착이 완료된 기판(S)은 언로딩 챔버(18)로 전달된다(④). 언로딩 챔버(18)에서는 기판(S)을 기판 홀더(20)로부터 언로딩시켜 배출하고 기판 홀더(20)는 별도의 상승 기구에 의해 상승된 후(⑤), 증착 챔버(16)를 거쳐 마스크 반송용 승강 챔버(14)로 전달된다(⑥→⑦). 마스크 반송용 승강 챔버(14)에서 기판 홀더(20)는 별도의 하강 기구에 의해 하강된 후 로딩 챔버(12)로 전달된다(⑧→⑨). 기판 홀더(20)의 이송은 컨베이어 또는 레일 장치에 의해 이루어지며, 기판 홀더(20)를 로딩 챔버(12)에서 언로딩 챔버(18)까지 이송하는 제 1 이송기구(22)와, 언로딩 챔버(18)에서 상승된 기판 홀더(20)를 마스크 반송용 승강 챔버(14)로 이송하는 제 2 이송기구(24)가 포함된다. The substrate S is supplied to the loading chamber 12, and the substrate S is prepared in a state of being coupled with a mask of the substrate holder 20 (①). As shown in FIG. 1, the substrate holder 20 loaded with the substrate S is transferred to the deposition chamber 16 through the first mask conveyance lifting chamber 14 (① → ② → ③). In the deposition chamber 16, an organic material is deposited on the substrate S. FIG. Substrate S is completed is transferred to the unloading chamber 18 (④). In the unloading chamber 18, the substrate S is unloaded and discharged from the substrate holder 20, and the substrate holder 20 is raised by a separate lifting mechanism (⑤) and then masked via the deposition chamber 16. It transfers to the conveyance lifting chamber 14 (6 → 7). In the mask conveyance lifting chamber 14, the substrate holder 20 is lowered by a separate lowering mechanism and then transferred to the loading chamber 12 (8 → 9). Transfer of the substrate holder 20 is performed by a conveyor or rail device, the first transfer mechanism 22 for transferring the substrate holder 20 from the loading chamber 12 to the unloading chamber 18, and the unloading chamber The 2nd conveyance mechanism 24 which transfers the board | substrate holder 20 raised by 18 to the mask raising / lowering chamber 14 is contained.

그런데 기존 증착 시스템에 있어서는 로딩 챔버(12)와 마스크 반송용 챔버(14)가 별도로 구비되어야 하므로, 시스템에 구비되는 장비가 증가하고 시스템이 차지하는 면적이 크며 시스템 제작 비용이 증가하는 문제점이 존재하였다. However, in the conventional deposition system, since the loading chamber 12 and the mask conveyance chamber 14 must be provided separately, there is a problem that the equipment included in the system increases, the system occupies a large area, and the system manufacturing cost increases.

상기한 문제점을 해결하기 위하여 본 발명은 마스크와 기판의 처짐을 방지하고, 마스크와 기판을 간단한 구조로 정렬시키는 기판 정렬 구조를 가진 증착 장치용 기판 로딩 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. In order to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a substrate loading apparatus for a deposition apparatus having a substrate alignment structure for preventing sagging of a mask and a substrate and aligning the mask and the substrate in a simple structure.

또한, 본 발명은 기판의 로딩과 더불어 기판이 안치되는 기판 홀더의 승강을 함께 수행하는 것이 가능한 증착 장치용 기판 로딩 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. In addition, an object of the present invention is to provide a substrate loading apparatus for a deposition apparatus capable of carrying out both the loading of the substrate and the lifting and lowering of the substrate holder on which the substrate is placed.

본 발명은 유기물 증착 시스템에서 마스크를 포함한 기판 홀더를 전달받아 기판을 로딩하여 증착 챔버로 전달하는 기판 로딩 장치에 있어서, 상기 기판 홀더를 지지하고 이송하는 기판홀더 지지 및 이송 유닛을 구비하고, 승강 작동하는 기판 지지부; 및 상기 기판 홀더가 상기 기판 지지부에 지지된 상태에서 상기 기판 홀더의 상부에 구비된 마스크 캡을 승강시키는 마스크 캡 승강장치;를 포함하는 기판 로딩 장치를 제공한다. The present invention provides a substrate loading apparatus that receives a substrate holder including a mask in an organic material deposition system and loads the substrate and transfers the substrate to a deposition chamber, comprising a substrate holder support and a transfer unit for supporting and transferring the substrate holder, and lifting operation A substrate support portion; And a mask cap elevating device for elevating a mask cap provided on an upper portion of the substrate holder while the substrate holder is supported by the substrate support.

일 실시예에 있어서, 상기 기판 홀더는, 셔틀과 상기 셔틀 위에 결합되며 상기 마스크를 지지하는 마스크 프레임과 상기 마스크 프레임의 상부에 위치하는 상기 마스크 캡을 포함하고, 상기 마스크 캡에는 자석이 구비된다. In an exemplary embodiment, the substrate holder may include a shuttle, a mask frame coupled to the shuttle and supporting the mask, and the mask cap positioned on the mask frame, wherein the mask cap is provided with a magnet.

또한, 상기 셔틀의 외측 단부에는 상하 개방된 개방홈이 구비되고 상기 마스크 캡에는 상부가 막힌 걸림홈이 구비되며, 상기 마스크 캡 승강장치에는 상기 걸림홈에 걸려 상기 마스크 캡을 상승시키는 걸림 돌기가 구비될 수 있다. In addition, the outer end of the shuttle is provided with an open groove which is opened up and down and the mask cap is provided with a locking groove of the top is blocked, the mask cap lifting device is provided with a locking projection to raise the mask cap to the locking groove Can be.

일 실시예에 있어서, 상기 기판홀더 지지 및 이송 유닛은 지지 롤러 또는 컨베이어 벨트일 수 있다. In one embodiment, the substrate holder support and transfer unit may be a support roller or a conveyor belt.

바람직하게, 상기 기판 지지부를 상하 구동하는 기판 지지부 승강장치가 상기 기판 지지부에 연결된다. Preferably, a substrate support lifting device for driving the substrate support up and down is connected to the substrate support.

본 발명에 따른 기판 로딩 장치의 작동에 있어서, 상기 기판 지지부는 상승된 상태에서 상기 기판 홀더를 전달받은 후 하강하고, 상기 기판 지지부가 하강된 상태에서 상기 마스크 캡 승강장치가 상기 마스크 캡을 상승시키고 상기 기판이 상기 기판 홀더의 마스크 위에 로딩되며, 상기 마스크 캡 승강장치가 상기 마스크 캡을 상기 기판의 상부에 하강시킨 후 상기 기판을 포함한 상기 기판 홀더를 상기 증착 시스템의 증착 챔버로 전달한다. In the operation of the substrate loading apparatus according to the present invention, the substrate support is lowered after receiving the substrate holder in an elevated state, and the mask cap elevating device raises the mask cap while the substrate support is lowered. A substrate is loaded onto the mask of the substrate holder, and the mask cap lifter lowers the mask cap on top of the substrate and then transfers the substrate holder including the substrate to a deposition chamber of the deposition system.

바람직하게, 상기 기판 홀더가 상기 기판 지지부에 지지된 상태에서 상기 마스크의 적어도 일부를 상부로 밀어주는 마스크 밀착 부재가 추가로 구비될 수 있다. 상기 마스크 밀착 부재는 탄성 지지된 상태로 구비될 수 있다. 또한, 상기 마스크 밀착 부재가 상승 또는 상기 기판 홀더가 하강하여 상기 마스크 밀착 부재가 상기 기판 홀더의 상기 마스크를 상부로 밀어주도록 구성될 수 있다. Preferably, the mask contact member for pushing at least a portion of the mask to the upper side in the state that the substrate holder is supported on the substrate support may be further provided. The mask contact member may be provided in an elastically supported state. In addition, the mask adhesion member may be configured to be raised or the substrate holder is lowered so that the mask adhesion member may push the mask of the substrate holder upward.

바람직하게, 상기 기판 홀더의 하부면에 구비된 정렬홈에 대응하는 기판 홀더 정렬부재가 추가로 포함될 수 있다. 상기 기판 홀더 정렬부재는 바 형태로 구비되고 상기 기판 홀더 정렬부재의 상부는 첨단부를 형성하도록 구성될 수 있다. 또한, 상기 기판 홀더 정렬부재가 상승 또는 상기 기판 홀더가 상승하여 상기 기판 홀더 정렬부재의 상단이 상기 기판 홀더의 상기 정렬홈에 삽입되도록 구성될 수 있다. Preferably, the substrate holder alignment member corresponding to the alignment groove provided on the lower surface of the substrate holder may be further included. The substrate holder alignment member may be provided in a bar shape, and an upper portion of the substrate holder alignment member may be configured to form a tip. In addition, the substrate holder alignment member may be raised or the substrate holder is raised so that the upper end of the substrate holder alignment member is inserted into the alignment groove of the substrate holder.

본 발명에 따르면, 자력을 이용하여 마스크를 고정하고 마스크의 처짐을 방지하는 효과가 있다. 또한, 본 발명은 기판을 기판 홀더에 로딩함에 있어서 마스크와 기판을 간단한 구조로 상호 정렬시킬 수 있다. According to the present invention, there is an effect of fixing the mask using the magnetic force and preventing the mask from sagging. In addition, the present invention allows the mask and the substrate to be aligned with each other in a simple structure in loading the substrate into the substrate holder.

또한, 본 발명은 기판 홀더의 승강과 기판의 로딩이 하나의 챔버 장치로 수행할 수 있어 전체 증착 시스템을 간소화하고 증착 시스템의 크기 및 제조 비용을 절감할 수 있다. In addition, the present invention can be performed by raising and lowering the substrate holder and loading of the substrate in one chamber apparatus, which can simplify the entire deposition system and reduce the size and manufacturing cost of the deposition system.

도 1은 종래 인라인 형식의 증착 시스템을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 로딩 장치에 사용되는 기판 홀더의 구성을 도시한 사시도이다.
도 3는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 로딩 장치의 정면도이다.
도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 로딩 장치의 측면도로서, 증차 챔버를 통해 복귀하는 마스크를 포함한 기판 홀더가 기판 로딩 장치로 이송된 후 기판을 기판 홀더에 로딩하여 증착 챔버로 이송하는 과정을 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 로딩 장치에 있어서, 마스크 캡을 상승시키는 구성을 도시한 도면이다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 로딩 장치에 있어서, 기판 홀더를 정렬시키고 처진 마스크를 올려주는 구성을 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 로딩 장치에 있어서, 기판을 정렬시키는 구성을 도시한 사시도이다. 1 is a schematic view of a conventional inline type deposition system.
Figure 2 is a perspective view showing the configuration of a substrate holder used in the substrate loading apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.
3 is a front view of a substrate loading apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.
4A to 4D are side views of a substrate loading apparatus according to a preferred embodiment of the present invention, in which a substrate holder including a mask returning through an increasing chamber is transferred to the substrate loading apparatus, and then the substrate is loaded into the substrate holder to the deposition chamber. A diagram illustrating a process of transferring.
5 is a diagram illustrating a configuration of raising the mask cap in the substrate loading apparatus according to the preferred embodiment of the present invention.
6 and 7 are views showing the configuration of aligning the substrate holder and raising the sag mask in the substrate loading apparatus according to the preferred embodiment of the present invention.
8 is a perspective view showing a configuration of aligning the substrate in the substrate loading apparatus according to the preferred embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. 또한, 이하에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명할 것이나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정하거나 제한되지 않고 당업자에 의해 변형되어 다양하게 실시될 수 있음은 물론이다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First of all, in adding reference numerals to the components of each drawing, it should be noted that the same reference numerals have the same reference numerals as much as possible even if displayed on different drawings. In addition, in describing the present invention, if it is determined that the detailed description of the related well-known configuration or function may obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted. In addition, preferred embodiments of the present invention will be described below, but the technical spirit of the present invention is not limited thereto, but may be variously modified and modified by those skilled in the art.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 로딩 장치에 사용되는 기판 홀더의 구성을 도시한 사시도이다. Figure 2 is a perspective view showing the configuration of a substrate holder used in the substrate loading apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.

기판 홀더(20)는 셔틀(40)과, 상기 셔틀(40)에 결합되며 마스크(38)를 지지하는 마스크 프레임(36)과, 상기 마스크 프레임(36)에 지지되는 마스크(38)와, 상기 마스크 프레임(36)의 상부에 구비되는 마스크 캡(30)을 포함한다. The substrate holder 20 includes a shuttle 40, a mask frame 36 coupled to the shuttle 40 and supporting the mask 38, a mask 38 supported by the mask frame 36, and And a mask cap 30 provided on the mask frame 36.

셔틀(40)은 기판 홀더(20)를 이루는 다른 구성들을 지지하면서 후술하는 롤러에 하부가 지지되어 이송된다. The shuttle 40 is supported by the lower portion of the roller to be described later while supporting the other components constituting the substrate holder 20 is transported.

셔틀(40)은 상하가 개방된 4각 프레임 형상으로 이루어질 수 있으며, 4각 프레임의 내측에는 마스크 프레임 장착홈(42)이 형성될 수 있다. 한편, 셔틀(40)의 상기 4각 프레임의 외측 단부에는 상하가 개방된 개방홈(44a, 44b)이 형성된다. The shuttle 40 may be formed in a quadrangular frame shape of which the upper and lower sides are opened, and a mask frame mounting groove 42 may be formed inside the quadrangular frame. Meanwhile, open grooves 44a and 44b having upper and lower openings are formed at outer ends of the quadrangular frame of the shuttle 40.

마스크 프레임(36)은 마스크(38)를 지지하는 기능을 수행하며 상기 셔틀(40)의 마스크 프레임 장착홈(42)에 장착된다. The mask frame 36 performs a function of supporting the mask 38 and is mounted in the mask frame mounting groove 42 of the shuttle 40.

마스크(38)는 기판 상에 일정한 패턴으로 유기물이 증착되도록 기능하며, 본 발명에 있어서 상기 마스크(38)는 철이나 니켈과 같은 강자성체로 이루어진다. The mask 38 functions to deposit organic materials in a predetermined pattern on a substrate. In the present invention, the mask 38 is made of a ferromagnetic material such as iron or nickel.

마스크 캡(30)은 상기 마스크(38)의 상부에 구비된다. 마스크 캡(30)의 외측 단부에는 상기 개방홈(44a, 44b)와 대응되는 위치에 걸림홈(32a, 32b)이 형성된다. 걸림홈(32a, 32b)는 상부가 막힌 형태로 구비된다. 마스크 캡(30)에는 자석(34)이 구비된다. 상기 자석(34)은 도 2에 도시된 바와 같이 마스크 캡(30)의 내측 양단을 가로지르는 막대 형태로 배치될 수 있다. 자석(34)은 영구 자석이거나 전자석일 수 있다. 자석(34)이 마스크 캡(30)에 구비됨에 따라 상기 마스크(38)가 자석(34)의 자력에 의해 하부로 처지는 것이 방지된다. The mask cap 30 is provided on the mask 38. Engaging grooves 32a and 32b are formed at outer ends of the mask cap 30 at positions corresponding to the opening grooves 44a and 44b. The catching grooves 32a and 32b are provided in a clogged upper portion. The mask cap 30 is provided with a magnet 34. As shown in FIG. 2, the magnet 34 may be disposed in the form of a rod that crosses both inner ends of the mask cap 30. Magnet 34 may be a permanent magnet or an electromagnet. As the magnet 34 is provided in the mask cap 30, the mask 38 is prevented from sagging downward by the magnetic force of the magnet 34.

도 3는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 로딩 장치의 정면도이다. 3 is a front view of a substrate loading apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 로딩 장치(50)는 기판 홀더(30)의 승강과 더불어 기판을 기판 홀더(30)에 로딩하는 기능을 함께 수행한다. 기판 로딩 장치(50)는 실질적으로 도 1에 도시된 증착 시스템의 증착 챔버(16)와 연결되는 형태로 상기 증착 시스템에 구비될 수 있다. 이러한 기판 로딩 장치(50)는 소정의 챔버(미도시) 형태로 구비될 수 있다. The substrate loading apparatus 50 according to the preferred embodiment of the present invention performs a function of loading the substrate into the substrate holder 30 together with the lifting and lowering of the substrate holder 30. Substrate loading device 50 may be provided in the deposition system in a form substantially connected to the deposition chamber 16 of the deposition system shown in FIG. The substrate loading apparatus 50 may be provided in a predetermined chamber (not shown) form.

도 3을 참조하면, 기판 로딩 장치(50)는 승강 가능한 기판 지지부(52a, 52b)를 포함한다. Referring to FIG. 3, the substrate loading apparatus 50 includes elevable substrate supports 52a and 52b.

일 실시예에 있어서, 기판 지지부(52a, 52b)는 좌우 양측에 제 1 기판 지지부(52a)와 제 2 기판 지지부(52b)를 포함하여 구성된다. 상기 기판 지지부(52a, 52b)에는 지지 롤러(74)가 구비될 수 있다. 지지 롤러(74)는 상기 기판 지지부(52a, 52b)의 길이 방향에 따라 복수개가 일렬로 구비된다. 본 발명의 실시에 있어서 상기 지지 롤러(74)는 컨베이어 벨트 형태로 구비되는 것도 가능함은 물론이다. 이에 따라 상기 지지 롤러(74)는 기판홀더 지지 및 이송 유닛으로 호칭될 수 있다. 지지 롤러(74)는 기판 홀더(30)를 지지하면서 이송하기 위하여, 별도의 구동 모터에 의해 회전가능하게 구성될 수 있다. 만약, 지지 롤러(74)를 대신하여 컨베이어 벨트가 구비되는 경우에는 컨베이어 벨트는 기판 홀더(30)의 전후 이송을 가능하도록 구성된다.In one embodiment, the substrate support portions 52a and 52b include a first substrate support portion 52a and a second substrate support portion 52b on both left and right sides thereof. Support substrates 74 may be provided on the substrate support parts 52a and 52b. A plurality of support rollers 74 are provided in a line along the longitudinal direction of the substrate support parts 52a and 52b. In the practice of the present invention, the support roller 74 may be provided in the form of a conveyor belt, of course. Accordingly, the support roller 74 may be referred to as a substrate holder support and transfer unit. The support roller 74 may be rotatably configured by a separate drive motor to transport and support the substrate holder 30. If the conveyor belt is provided in place of the support roller 74, the conveyor belt is configured to enable front and rear conveyance of the substrate holder 30.

상기 기판 지지부(52a, 52b)의 하부에는 기판 지지부 승강장치(56a, 56b)가 구동축(54a, 54b)을 통해 상기 기판 지지부(52a, 52b)와 연결된 상태로 구비된다. 상기 기판 지지부 승강장치(56a, 56b)는 상기 구동축(54a, 54b)을 수직 방향으로 직선 운동시켜 기판 지지부(52a, 52b)의 승강 운동이 가능하도록 한다. 이러한 기판 지지부 승강장치(56a, 56b)는 리니어 모터, 솔레노이드 등의 방식으로 구성될 수 있다. 기판 지지부 승강장치(56a, 56b)는 기판 로딩 장치(50)의 하부를 구성하는 베이스 부재(51)의 상부에 지지될 수 있다. Substrate support part elevating devices 56a and 56b are provided under the substrate support parts 52a and 52b in a state of being connected to the substrate support parts 52a and 52b through drive shafts 54a and 54b. The substrate support part elevating devices 56a and 56b linearly move the drive shafts 54a and 54b in the vertical direction to allow the substrate support parts 52a and 52b to move up and down. The substrate support elevating devices 56a and 56b may be configured by a linear motor, a solenoid, or the like. The substrate support lifting devices 56a and 56b may be supported on an upper portion of the base member 51 constituting the lower portion of the substrate loading device 50.

기판 로딩 장치(50)는 상기 기판 지지부(52a, 52b)에 연결되거나 또는 별도로 구비되는 마스크 캡 승강장치(58a, 58b)를 포함한다. 마스크 캡 승강장치(58a, 58b)는 상기 기판 지지부(52a, 52b)에 연결되어 상기 기판 지지부(52a, 52b)와 함께 승강될 수 있도록 구성될 수 있다. 한편, 상기 마스크 캡 승강장치(58a, 58b)는 상기 기판 지지부(52a, 52b)와 별도로 승강 구동이 가능하도록 구성된다. 마스크 캡 승강장치(58a, 58b)는 기판 홀더(20)의 마스크 캡(30)이 셔틀(40) 및 마스크 프레임(36)과 별도로 승강되도록 한다. 상기 마스크 캡 승강장치(58a, 58b)는 가로 연결바(60)를 통해 좌우측의 마스크 캡 승강장치(58a, 58b)가 연결될 수 있다. The substrate loading apparatus 50 includes mask cap lifters 58a and 58b connected to or separately provided from the substrate supports 52a and 52b. The mask cap lifting devices 58a and 58b may be connected to the substrate support parts 52a and 52b to be elevated together with the substrate support parts 52a and 52b. On the other hand, the mask cap lifting device (58a, 58b) is configured to be able to drive up and down separately from the substrate support (52a, 52b). The mask cap lifting devices 58a and 58b allow the mask cap 30 of the substrate holder 20 to be lifted separately from the shuttle 40 and the mask frame 36. The mask cap lift devices 58a and 58b may be connected to the left and right mask cap lift devices 58a and 58b through a horizontal connection bar 60.

또한, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 로딩 장치(50)는 마스크 밀착부재(66)와 기판 홀더 정렬부재(68)를 추가로 포함할 수 있다. In addition, the substrate loading apparatus 50 according to the preferred embodiment of the present invention may further include a mask contact member 66 and the substrate holder alignment member 68.

마스크 밀착 부재(66)와 기판 홀더 정렬부재(68)는 상기 기판 지지부(52a, 52b)의 사이에 구비된다. 마스크 밀착 부재(66)와 기판 홀더 정렬부재(68)는 복수의 지지 롤러(74)에 의해 지지되는 기판 홀더(20)의 하부에 실질적으로 구비된다. 또한 마스크 밀착 부재(66)와 기판 홀더 정렬부재(68) 기판 로딩 장치(50)의 베이스부(51)로부터 보조 테이블 지지부재(64)에 의해 지지되는 보조 테이블(62)의 상부에 구비될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 상기 보조 테이블 지지부재(64)는 상하로 직선 구동되는 리니어 모터와 같은 형태로 구비될 수 있다. The mask contact member 66 and the substrate holder alignment member 68 are provided between the substrate support portions 52a and 52b. The mask contact member 66 and the substrate holder alignment member 68 are substantially provided under the substrate holder 20 supported by the plurality of support rollers 74. In addition, the mask contact member 66 and the substrate holder alignment member 68 may be provided above the auxiliary table 62 supported by the auxiliary table support member 64 from the base portion 51 of the substrate loading device 50. have. In one embodiment, the auxiliary table support member 64 may be provided in the form of a linear motor that is linearly driven up and down.

마스크 밀착 부재(66)는 마스크(38)의 처짐 발생시 이를 기판 측으로 밀어주는 기능을 수행한다. 기판 홀더 정렬 부재(68)는 상측 단부로 갈수록 좁하지는 첨단부(70)를 형성하는 바 형태로 구비될 수 있다. 한편, 상기 기판 홀더(20)의 하부에는 상기 기판 홀더 정렬 부재(68)와 대응되는 정렬홈(72)이 형성된다. 정렬홈(72)은 기판 홀더(20)의 셔틀(40)의 하부면 또는 마스크 프레임(36)의 하부면에 형성될 수 있다. 마스크 밀착 부재(66)와 기판 홀더 정렬 부재(68)의 작동에 대해서는 이하에서 더 상세히 설명하도록 한다. The mask contact member 66 pushes the mask 38 toward the substrate when deflection of the mask 38 occurs. The substrate holder aligning member 68 may be provided in the form of a bar that forms the tip 70 that is narrower toward the upper end. Meanwhile, an alignment groove 72 corresponding to the substrate holder alignment member 68 is formed below the substrate holder 20. The alignment groove 72 may be formed on the bottom surface of the shuttle 40 of the substrate holder 20 or the bottom surface of the mask frame 36. The operation of the mask contact member 66 and the substrate holder alignment member 68 will be described in more detail below.

이상에서 설명한 기판 로딩 장치(50)를 이용하여 기판 홀더(20)를 전달받아 하강시키고 기판를 기판 홀더(20)에 로딩하는 방식을 이하에서 설명한다. A method of receiving and lowering the substrate holder 20 by using the substrate loading apparatus 50 described above and loading the substrate into the substrate holder 20 will be described below.

도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 로딩 장치의 측면도로서, 증차 챔버를 통해 복귀하는 마스크를 포함한 기판 홀더가 기판 로딩 장치로 이송된 후 기판을 기판 홀더에 로딩하여 증착 챔버로 이송하는 과정을 도시한 도면이다. 4A to 4D are side views of a substrate loading apparatus according to a preferred embodiment of the present invention, in which a substrate holder including a mask returning through an increasing chamber is transferred to the substrate loading apparatus, and then the substrate is loaded into the substrate holder to the deposition chamber A diagram illustrating a process of transferring.

본 발명에 따른 기판 로딩 장치(50)는 전술한 바와 같이 증착 시스템의 증착 챔버(16)를 통해 복귀하는 기판 홀더(20)를 전달받아 하강시키고 기판 홀더(20)의 마스크(38) 상부에 기판이 로딩되도록 한 후, 기판이 로딩된 기판 홀더(20)를 다시 증착 챔버(16)로 이송하는 기능을 수행한다. The substrate loading apparatus 50 according to the present invention receives and lowers the substrate holder 20 returning through the deposition chamber 16 of the deposition system as described above, and the substrate on the mask 38 of the substrate holder 20. After the loading, the substrate holder 20 loaded with the substrate is transferred to the deposition chamber 16.

도 4a를 참조하면, 기판 지지부(52b)는 기판 지지부 승강장치(56b)에 의해 상승된 상태로 대기한다. 마스크 캡 승강장치(58b)는 측면에서 볼 때 기판 홀더(30)의 이송 방향에 대해 적어도 2 개 구비될 수 있고, 세로 연결바(61)에 의해 연결되어 구비될 수 있다. 기판 지지부(52b)의 내측에는 일련의 지지 롤러(74)가 구비된 상태이며, 베이스 부재(51)로부터 지지 롤러(74)의 상단까지는 제 1 높이(h1)를 이룬다. 이 상태에서 기판에 대한 증착공정을 완료하고 기판이 배출된 기판 홀더(20)가 증착 챔버(16)로부터 제 2 이송기구(24)에 의해 기판 로딩 장치(50)로 이송되어 지지 롤러(74)로 전달된다. 제 2 이송기구(24)와 지지 롤러(74)는 실질적으로 동일한 높이에 위치한다. Referring to FIG. 4A, the substrate support 52b stands by in a raised state by the substrate support elevating device 56b. At least two mask cap lifters 58b may be provided in the transport direction of the substrate holder 30 when viewed from the side, and may be connected to each other by a vertical connection bar 61. A series of support rollers 74 are provided inside the substrate support portion 52b, and a first height h1 is formed from the base member 51 to the upper end of the support rollers 74. In this state, the deposition process for the substrate is completed and the substrate holder 20 from which the substrate is discharged is transferred from the deposition chamber 16 to the substrate loading apparatus 50 by the second transfer mechanism 24 to support the roller 74. Is delivered to. The second transfer mechanism 24 and the support roller 74 are located at substantially the same height.

도 4b를 참조하면, 기판 홀더(20)가 지지 롤러(74)에 지지된 상태에서 기판 지지부(52b)는 기판 지지부 승강장치(56b)에 의해 베이스 부재(51)로부터 지지 롤러(74)까지의 높이가 상기 제 1 높이(h1)보다 낮은 제 2 높이(h2)가 되도록 하강된다. 제 2 높이(h2)는 실질적으로는 제 1 이송기구(22)와 대응하는 높이이다. 이 상태에서 마스크 캡 승강장치(58b)의 상단은 기판 지지부(52b)의 상단으로부터 제 3 높이(d1)를 이루며 위치된다. 마스크 캡 승강장치(58b)는 마스크 캡 승강장치 구동부(76)에 의해 수직 방향으로 승강된다. 마스크 캡 승강장치 구동부(76)는 리니어 모터 형태로 구비될 수 있다. 또한, 마스크 캡 승강장치 구동부(76)는 회전형의 모터와 피니언-랙 기어의 조합으로 구성되어 상기 마스크 캡 승강장치(58b)의 상하 구동이 가능하도록 하는 것도 가능하다. Referring to FIG. 4B, in a state in which the substrate holder 20 is supported by the support roller 74, the substrate support 52b is moved from the base member 51 to the support roller 74 by the substrate support lift device 56b. The height is lowered to become the second height h2 that is lower than the first height h1. The second height h2 is substantially the height corresponding to the first transport mechanism 22. In this state, the upper end of the mask cap elevating device 58b is positioned to form a third height d1 from the upper end of the substrate support 52b. The mask cap lifter 58b is lifted in the vertical direction by the mask cap lifter driver 76. The mask cap lift driver 76 may be provided in the form of a linear motor. In addition, the mask cap lift drive unit 76 may be configured by a combination of a rotary motor and a pinion-rack gear to enable vertical mask drive of the mask cap lift device 58b.

도 4c를 참조하면, 마스크 캡 승강장치(58b)가 제 4 높이(d2)로 상승하며 기판 홀더(20)의 상부에 구비된 마스크 캡(30)만을 상승시킨다. 이 상태에서 기판(S)이 셔틀(40)에 구비된 마스크(38)의 상부와 상기 마스크 캡(30)의 사이로 공급되어 마스크(38)의 상부에 로딩된다. 도 4의 (c)에 도시되지는 않았으나 기판(S)은 기판 이송 로봇(미도시)에 의해 전달될 수 있다. 일례에 있어서, 상기 기판 이송 로봇은 공기 흡착 방식에 의해 기판(S, 예를 들면, 유리 기판)을 상측에서 흡착시킨 상태에서 기판(S)을 마스크(38)의 상부에 로딩한 후 공기 흡착을 해제함으로써 기판(S)을 분리시키는 형태로 구비될 수 있다. Referring to FIG. 4C, the mask cap elevating device 58b rises to the fourth height d2 and raises only the mask cap 30 provided on the substrate holder 20. In this state, the substrate S is supplied between the mask 38 provided in the shuttle 40 and the mask cap 30 to be loaded on the mask 38. Although not shown in FIG. 4C, the substrate S may be transferred by a substrate transfer robot (not shown). In one example, the substrate transfer robot loads the substrate S on the upper portion of the mask 38 in a state where the substrate S (for example, a glass substrate) is adsorbed from above by an air adsorption method, and then air adsorption is performed. It may be provided in the form of separating the substrate (S) by releasing.

도 4d를 참조하면, 기판(S)의 로딩이 완료된 후 상기 마스크 캡 승강장치(58b)는 제 3 높이(d1)로 하강하고 마스크 캡(30)이 기판(S)의 상부에 위치된다. 이후, 지지 롤러(74)를 구동하여 기판(S)을 포함한 기판 홀더(20)는 제 1 이송기구(22)를 통해 증착 챔버(16)로 전달된다. Referring to FIG. 4D, after the loading of the substrate S is completed, the mask cap elevating device 58b is lowered to the third height d1 and the mask cap 30 is positioned above the substrate S. Referring to FIG. Subsequently, the substrate holder 20 including the substrate S by driving the support roller 74 is transferred to the deposition chamber 16 through the first transfer mechanism 22.

도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 로딩 장치에 있어서, 마스크 캡을 상승시키는 구성을 도시한 도면이다. 5 is a diagram illustrating a configuration of raising the mask cap in the substrate loading apparatus according to the preferred embodiment of the present invention.

도 4c와 도 4d에 있어서, 마스크 캡 승강장치(58b)의 승강에 따라 마스크 캡(30)이 승강되는 구성을 도시하였는데, 마스크 캡 승강장치(58b)에 의해 마스크 캡(30)이 승강되는 실시예를 도 5를 참조하여 설명한다. 전술한 바와 같이 셔틀(40)의 일측에는 상하로 개방된 개방홈(44a, 44b)이 형성되고 마스크 캡(30)의 일측에는 상부가 막힌 걸림홈(32a, 32b)이 형성된다. 4C and 4D, the configuration in which the mask cap 30 is lifted in accordance with the lift of the mask cap lifter 58b is shown. However, the mask cap 30 is lifted and lifted by the mask cap lifter 58b. An example will be described with reference to FIG. 5. As described above, opening grooves 44a and 44b open up and down are formed at one side of the shuttle 40, and locking grooves 32a and 32b having an upper portion are formed at one side of the mask cap 30.

도 5를 참조하면, 마스크 캡 승강장치(58b)에는 걸림 돌기(78)가 수평방향으로 돌출되어 구비된다. 도 5의 (a)를 참조하면, 마스크 캡 승강장치(58b)가 상승하기 전 상태에서는 걸림 돌기(78)는 개방홈(44a)의 하부에 위치한 상태이다. 도 5의 (b)를 참조하면, 마스크 캡 승강장치(58b)가 상승함에 따라 걸림 돌기(78)는 마스크 캡(30)의 걸림홈(32a)에 걸리게 되고 마스크 캡 승강장치(58b)의 상승에 따라 마스크 캡(30)이 셔틀(40)과 이격된다. 마스크 캡 승강장치(58a, 58b)는 도 3에서와 같이 기판 로딩 장치(50)의 정면에서 볼 때 좌우에 한 쌍이 대응되도록 구비되고, 측면에서 볼 때 적어도 두 개가 구비되므로 마스크 캡 승강장치(58a, 58b)가 함께 승강하여 마스크 캡(30)을 상승시킨다. Referring to Figure 5, the mask cap lifting device 58b is provided with a locking projection 78 protrudes in the horizontal direction. Referring to FIG. 5A, in the state before the mask cap elevating device 58b is raised, the locking protrusion 78 is positioned below the opening groove 44a. Referring to FIG. 5B, as the mask cap lifter 58b is raised, the locking protrusion 78 is caught by the locking groove 32a of the mask cap 30 and the lift of the mask cap lifter 58b is raised. As a result, the mask cap 30 is spaced apart from the shuttle 40. The mask cap lifting devices 58a and 58b are provided so as to correspond to a pair from side to side when viewed from the front of the substrate loading device 50 as shown in FIG. 3, and at least two mask cap lifting devices 58a are provided from the side. , 58b) are lifted together to raise the mask cap 30.

한편, 도 4d와 같이 기판 홀더(20)에 기판(S)이 로딩된 후 제 1 이송기구(22)로 전달되기 전에, 마스크(38)의 처짐을 보상하고 기판 홀더(20)를 정렬시키는 과정이 수행될 수 있다. 또는 기판(S)이 기판 홀더(20)에 로딩되기 전이나 로딩되는 과정에서 기판 홀더(20)의 정렬이나 마스크(38)의 처짐 보상이 이루어질 수도 있다. Meanwhile, a process of compensating the deflection of the mask 38 and aligning the substrate holder 20 before the substrate S is loaded in the substrate holder 20 and transferred to the first transfer mechanism 22 as shown in FIG. 4D. This can be done. Alternatively, before the substrate S is loaded onto the substrate holder 20 or during the loading process, alignment of the substrate holder 20 or sag compensation of the mask 38 may be performed.

도 6 및 도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 로딩 장치에 있어서, 기판 홀더를 정렬시키고 처진 마스크를 올려주는 구성을 도시한 도면이다. 또한, 도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 로딩 장치에 있어서, 기판을 정렬시키는 구성을 도시한 사시도이다. 6 and 7 are views showing the configuration of aligning the substrate holder and raising the sag mask in the substrate loading apparatus according to the preferred embodiment of the present invention. 8 is a perspective view showing a configuration of aligning substrates in a substrate loading apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.

도 6과 도 7에서는 기판(S)을 기판 홀더(20)에 로딩시킨 상태에서 기판 홀더(20)의 정렬과 마스크(38)의 처짐 보상을 수행하는 것을 예시하였다.6 and 7 illustrate that alignment of the substrate holder 20 and deflection compensation of the mask 38 are performed while the substrate S is loaded on the substrate holder 20.

도 6을 참조하면, 마스크(38)는 중앙 부분이 아래로 처질 수 있다. 마스크 처짐을 보상하기 위한 마스크 밀착 부재(66)가 구비된다. 마스크 밀착 부재(66)는 도 6에서와 같이 스프링(67)에 지지된 형태로 구비될 수 있다. 한편, 기판 홀더(20)의 정렬을 위하여 기판 홀더 정렬부재(68)가 구비되고, 기판 홀더(20)의 하부에는 정렬홈(72)이 구비된다. 도 8에서와 같이, 기판 홀더 정렬부재(68)는 단부가 첨단부(70)로 구성된 바 형태일 수 있으며, 상기 정렬홈(72)은 상기 첨단부(70)의 형상에 대응되도록 구성된 라인 형태로 구비될 수 있다. Referring to FIG. 6, the mask 38 may have its center portion drooped down. A mask contact member 66 is provided to compensate for mask deflection. The mask contact member 66 may be provided in a form supported by the spring 67 as shown in FIG. Meanwhile, a substrate holder alignment member 68 is provided to align the substrate holder 20, and an alignment groove 72 is provided below the substrate holder 20. As shown in FIG. 8, the substrate holder aligning member 68 may have a bar shape having an end portion formed with a tip portion 70, and the alignment groove 72 may have a line shape configured to correspond to the shape of the tip portion 70. It may be provided as.

일 실시예에 있어서, 마스크 밀착 부재(66)와 기판 홀더 정렬부재(68)는 보조 테이블(62)의 상부에 구비된다.In one embodiment, the mask contact member 66 and the substrate holder alignment member 68 are provided above the auxiliary table 62.

도 7과 같이 마스크 밀착 부재(66)가 상승하면 마스크 밀착 부재(66)는 처진 마스크(38)를 위로 밀어주게 되며, 마스크(38)는 마스크 캡(30)에 구비된 자석(34)의 자력에 의해 기판(S)의 하부면에 부착된 상태를 유지한다. 또한, 기판 홀더 정렬부재(68)의 첨단부(70)가 정렬홈(72)에 삽입되면서 기판 홀더(20)의 정렬이 이루어진다. As shown in FIG. 7, when the mask contact member 66 is raised, the mask contact member 66 pushes the sagging mask 38 upward, and the mask 38 is a magnetic force of the magnet 34 provided in the mask cap 30. By doing so, the state attached to the lower surface of the substrate S is maintained. In addition, the tip portion 70 of the substrate holder alignment member 68 is inserted into the alignment groove 72 to align the substrate holder 20.

그런데, 도 7과 같은 상태는 기판 지지부(52a, 52b)가 마스크 밀착 부재(66) 및 기판 홀더 정렬부재(68) 방향으로 하강함으로써 이루어질 수 있다. 또는 보조 테이블 지지부재(64)를 리니어 모터와 같은 형태로 구비하는 경우에는 보조 테이블 지지부재(64)가 상기 보조 테이블(62)을 상승시킴으로써 도 7과 같은 상태가 이루어지는 것도 가능하다. 한편, 마스크(38)의 처짐 보상과 기판 홀더(20)의 정렬이 완료된 이후에는 도 7에서 도 6과 같은 상태로 복귀한다. However, the state as shown in FIG. 7 may be achieved by lowering the substrate support parts 52a and 52b toward the mask adhesion member 66 and the substrate holder alignment member 68. Alternatively, when the auxiliary table support member 64 is provided in the form of a linear motor, the state shown in FIG. 7 may be achieved by the auxiliary table support member 64 lifting the auxiliary table 62. On the other hand, after the deflection compensation of the mask 38 and the alignment of the substrate holder 20 are completed, the process returns to the state shown in FIG. 7 to FIG. 6.

본 발명에 따른 기판 로딩 장치(50)를 증착 시스템(10)에 채용하는 경우에는 종전의 로딩 챔버(12)와 마스크 반송용 승강 챔버(14)의 역할을 상기 기판 로딩 장치(50)가 모두 수행할 수 있다. 이에 따라 증착 시스템(10)의 구성을 단순화하고 시스템의 크기를 감소시킬 수 있으며 제조 비용도 절감할 수 있게 된다. When the substrate loading apparatus 50 according to the present invention is employed in the deposition system 10, the substrate loading apparatus 50 performs both the conventional loading chamber 12 and the mask conveyance lifting chamber 14. can do. Accordingly, the configuration of the deposition system 10 can be simplified, the size of the system can be reduced, and manufacturing costs can be reduced.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The above description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and those skilled in the art to which the present invention pertains may make various modifications, changes, and substitutions without departing from the essential characteristics of the present invention. will be. Accordingly, the embodiments disclosed in the present invention and the accompanying drawings are not intended to limit the technical spirit of the present invention but to describe the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by the embodiments and the accompanying drawings. . The protection scope of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the scope equivalent thereto should be construed as being included in the scope of the present invention.

10 : 증착 시스템 12 : 로딩 챔버
14 : 마스크 반송용 승강 챔버 16 : 증착 챔버
18 : 언로딩 챔버 20 : 기판 홀더
22 : 제 1 이송기구 24 : 제 2 이송기구
30 : 마스크 캡 32a, 32b : 걸림홈
34 : 자석 36 : 마스크 프레임
38 : 마스크 40 : 셔틀
42 : 마스크 프레임 장착홈 44a, 44b : 개방홈
50 : 기판 로딩 장치 51 : 베이스 부재
52a, 52b : 기판 지지부 54a, 54b : 구동축
56a, 56b : 기판 지지부 승강장치 58a, 58b : 마스크 캡 승강장치
60 : 가로 연결바 61 : 세로 연결바
62 : 보조 테이블 64 : 보조 테이블 지지부재
66 : 마스크 밀착 부재 68 : 기판 홀더 정렬부재
70 : 첨단부 72 : 정렬홈
74 : 지지 롤러 10 deposition system 12 loading chamber
14 lift-up chamber for mask conveyance 16 deposition chamber
18: unloading chamber 20: substrate holder
22: first transfer mechanism 24: second transfer mechanism
30: mask cap 32a, 32b: locking groove
34: magnet 36: mask frame
38: mask 40: shuttle
42: mask frame mounting groove 44a, 44b: opening groove
50 substrate loading apparatus 51 base member
52a, 52b: substrate support portion 54a, 54b: drive shaft
56a, 56b: board | substrate support part elevating apparatus 58a, 58b: mask cap elevating apparatus
60: horizontal connecting bar 61: vertical connecting bar
62: auxiliary table 64: auxiliary table support member
66: mask contact member 68: substrate holder alignment member
70: tip 72: alignment groove
74: support roller

Claims (12)

유기물 증착 시스템에서 마스크를 포함한 기판 홀더를 전달받아 기판을 로딩하여 증착 챔버로 전달하는 기판 로딩 장치에 있어서,
상기 기판 홀더를 지지하고 이송하는 기판홀더 지지 및 이송 유닛을 구비하고, 승강 작동하는 기판 지지부; 및
상기 기판 홀더가 상기 기판 지지부에 지지된 상태에서 상기 기판 홀더의 상부에 구비된 마스크 캡을 승강시키는 마스크 캡 승강장치;
를 포함하고,
상기 기판이 상기 기판 홀더의 상기 마스크 위에 로딩된 상태에서 상기 마스크 캡 승강장치가 상기 마스크 캡을 상기 기판의 상부로 하강시키는 것을 특징으로 하는 기판 로딩 장치.In the substrate loading apparatus for receiving a substrate holder including a mask in the organic material deposition system to load the substrate to the deposition chamber,
A substrate support having a substrate holder support and a transfer unit for supporting and transporting the substrate holder, the substrate support being operated up and down; And
A mask cap elevating device for elevating a mask cap provided on an upper portion of the substrate holder while the substrate holder is supported by the substrate support;
Including,
And the mask cap lifter lowers the mask cap to the top of the substrate while the substrate is loaded onto the mask of the substrate holder. 제 1 항에 있어서,
상기 기판 홀더는, 셔틀과 상기 셔틀 위에 결합되며 상기 마스크를 지지하는 마스크 프레임과 상기 마스크 프레임의 상부에 위치하는 상기 마스크 캡을 포함하고, 상기 마스크 캡에는 자석이 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 로딩 장치. The method of claim 1,
The substrate holder includes a shuttle and a mask frame coupled to the shuttle and supporting the mask and the mask cap positioned on the mask frame, wherein the mask cap is provided with a magnet. . 제 2 항에 있어서,
상기 셔틀의 외측 단부에는 상하 개방된 개방홈이 구비되고 상기 마스크 캡에는 상부가 막힌 걸림홈이 구비되며, 상기 마스크 캡 승강장치에는 상기 걸림홈에 걸려 상기 마스크 캡을 상승시키는 걸림 돌기가 구비된 것을 특징으로 하는 기판 로딩 장치. The method of claim 2,
The outer end of the shuttle is provided with an open groove which is opened up and down, the mask cap is provided with a locking groove of the top is blocked, and the mask cap lifting device is provided with a locking projection to raise the mask cap to catch the locking groove Characterized in that the substrate loading device. 제 1 항에 있어서,
상기 기판홀더 지지 및 이송 유닛은 지지 롤러 또는 컨베이어 벨트인 것을 특징으로 하는 기판 로딩 장치. The method of claim 1,
And the substrate holder support and transfer unit is a support roller or a conveyor belt. 제 1 항에 있어서,
상기 기판 지지부를 상하 구동하는 기판 지지부 승강장치가 상기 기판 지지부에 연결된 것을 특징으로 하는 기판 로딩 장치. The method of claim 1,
And a substrate support elevating device for driving the substrate support up and down is connected to the substrate support. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 기판 지지부는 상승된 상태에서 상기 기판 홀더를 전달받은 후 하강하고, 상기 기판 지지부가 하강된 상태에서 상기 마스크 캡 승강장치가 상기 마스크 캡을 상승시키고, 상기 기판 홀더의 상기 마스크 위에 로딩된 상태에서 상기 마스크 캡 승강장치가 상시 마스크 캡을 상기 기판의 상부로 하강시킨 후, 상기 기판을 포함한 상기 기판 홀더를 상기 증착 시스템의 증착 챔버로 전달하는 것을 특징으로 하는 기판 로딩 장치. The method according to any one of claims 1 to 5,
The substrate support is lowered after receiving the substrate holder in an elevated state, and the mask cap lift device lifts the mask cap in a state where the substrate support is lowered, and is loaded on the mask of the substrate holder. And the mask cap lifter lowers the mask cap to the top of the substrate, and then transfers the substrate holder including the substrate to a deposition chamber of the deposition system. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 기판 홀더가 상기 기판 지지부에 지지된 상태에서 상기 마스크의 적어도 일부를 상부로 밀어주는 마스크 밀착 부재를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 로딩 장치. The method according to any one of claims 1 to 5,
And a mask adhesion member that pushes at least a portion of the mask upward while the substrate holder is supported by the substrate support. 제 7 항에 있어서,
상기 마스크 밀착 부재는 탄성 지지된 상태로 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 로딩 장치. The method of claim 7, wherein
And the mask contact member is provided in an elastically supported state. 제 7 항에 있어서,
상기 마스크 밀착 부재가 상승 또는 상기 기판 홀더가 하강하여 상기 마스크 밀착 부재가 상기 기판 홀더의 상기 마스크를 상부로 밀어주는 것을 특징으로 하는 기판 로딩 장치. The method of claim 7, wherein
And the mask adhesion member pushes the mask of the substrate holder upwards, as the mask adhesion member is raised or the substrate holder is lowered. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 기판 홀더의 하부면에 구비된 정렬홈에 대응하는 기판 홀더 정렬부재를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 로딩 장치. The method according to any one of claims 1 to 5,
And a substrate holder alignment member corresponding to the alignment groove provided on the lower surface of the substrate holder. 제 10 항에 있어서,
상기 기판 홀더 정렬부재는 바 형태로 구비되고 상기 기판 홀더 정렬부재의 상부는 첨단부를 형성하는 것을 특징으로 하는 기판 로딩 장치. The method of claim 10,
The substrate holder aligning member is provided in the form of a bar and the upper portion of the substrate holder aligning member forming a tip portion. 제 10 항에 있어서,
상기 기판 홀더 정렬부재가 상승 또는 상기 기판 홀더가 상승하여 상기 기판 홀더 정렬부재의 상단이 상기 기판 홀더의 상기 정렬홈에 삽입되는 것을 특징으로하는 기판 로딩 장치.

The method of claim 10,
And the substrate holder alignment member is raised or the substrate holder is raised so that an upper end of the substrate holder alignment member is inserted into the alignment groove of the substrate holder.

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